專利名稱：一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種顯微鏡，尤其涉及一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)。
技術(shù)背景目前使用的顯微鏡或放大鏡檢驗(yàn)載物臺(tái)都是固定的或簡(jiǎn)易移動(dòng)的，作業(yè) 員檢查產(chǎn)品時(shí)需要用手把產(chǎn)品移動(dòng)觀察。這樣通過(guò)顯微鏡全面檢查產(chǎn)品或樣 本時(shí)，可視的視野比較小，用手移動(dòng)產(chǎn)品或樣本容易造成漏看，檢查速度 慢，作業(yè)員不停用手移產(chǎn)品容易產(chǎn)生疲勞和效率低且操作不方便。同時(shí)，如 果檢測(cè)的產(chǎn)品是電子產(chǎn)品，在移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)品與載物臺(tái)產(chǎn)生磨擦引起靜電對(duì)電子元器件造成靜電擊穿損壞。特別是FPC柔性板在檢驗(yàn)過(guò)程中頻繁移動(dòng)產(chǎn) 品容易把表面磨花或有折鮍造成新的不良。而且在檢査的過(guò)程中都是俯視檢 查的，需要對(duì)一些角度進(jìn)行檢査還要用手轉(zhuǎn)換檢查。中國(guó)實(shí)用新型專利200620040469. 9說(shuō)明書公開(kāi)了一種光學(xué)顯微鏡自移式 載物臺(tái)，在載物臺(tái)上設(shè)置有一與載物臺(tái)固結(jié)的可移動(dòng)面板，可移動(dòng)面板上方 裝一帶有移動(dòng)臂的步進(jìn)馬達(dá)，側(cè)面則裝一帶有條形齒輪的步進(jìn)馬達(dá)；所述的 移動(dòng)臂，通過(guò)設(shè)于該移動(dòng)臂上的傘齒輪組以及設(shè)于可移動(dòng)面板上、與移動(dòng)臂 同軸向設(shè)置的平面齒條構(gòu)成左右移動(dòng)的位移調(diào)控機(jī)構(gòu)；所述的步進(jìn)馬達(dá)上的 條形齒輪則與設(shè)于可移動(dòng)面板的另一上下位置設(shè)置的平面齒條構(gòu)成上下移動(dòng) 的位移調(diào)控機(jī)構(gòu)；步進(jìn)馬達(dá)采用數(shù)字集成電路控制。這種載物臺(tái)只能實(shí)現(xiàn)左 右移動(dòng)和上下移動(dòng)，不能實(shí)現(xiàn)前后移動(dòng)，對(duì)于將顯微鏡用于進(jìn)行大批量檢測(cè) 產(chǎn)品，且產(chǎn)品的檢測(cè)的前后、左右尺寸大于顯微鏡的視野時(shí)，作業(yè)員需要不 停用手前后移動(dòng)產(chǎn)品，容易把表面磨花或有折皺造成新的不良，而且在檢査 的過(guò)程中都是俯視檢查的，需要對(duì)一些角度進(jìn)行檢查還要用手轉(zhuǎn)換檢査，操 作不方便。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種可前后移動(dòng)的顯微鏡移動(dòng)載物為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，其包括 基座l、可左右移動(dòng)地連接在該基座1上的X移動(dòng)板2，其中，所述X移動(dòng)板2上可移動(dòng)地連接有可前后移動(dòng)的Y移動(dòng)板3 。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，其中，所述X移動(dòng)板2通過(guò)第一絲杠螺 母機(jī)構(gòu)4連接在所述基座1上。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，其中，所述第一絲杠螺母機(jī)構(gòu)4由第一 伺服馬達(dá)41驅(qū)動(dòng)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，其中，所述基座1上設(shè)有可感應(yīng)所述X 移動(dòng)板2相對(duì)該基座1移動(dòng)的左、右極限位置的左位置傳感器42和右位置傳 感器43，該左位置傳感器42和右位置傳感器43可控制所述第一伺服馬達(dá)41停 止轉(zhuǎn)動(dòng)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，其中，所述Y移動(dòng)板3通過(guò)第二絲杠螺 母機(jī)構(gòu)5連接在所述X移動(dòng)板2上。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，其中，所述第二絲杠螺母機(jī)構(gòu)5由第二 伺服馬達(dá)51驅(qū)動(dòng)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，其中，所述X移動(dòng)板2上設(shè)有可感應(yīng)所 述Y移動(dòng)板3相對(duì)該X移動(dòng)板2移動(dòng)的前、后極限位置的前位置傳感器52和 后位置傳感器53，該前位置傳感器52和后位置傳感器53可控制所述第二伺服 馬達(dá)51停止轉(zhuǎn)動(dòng)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，其中，所述Y移動(dòng)板3的頂面上設(shè)有可 吸附被檢查產(chǎn)品的真空吸氣孔。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，其中，所述Y移動(dòng)板3的頂面上固定有 底板6，該底板6的一側(cè)鉸接有面板7 ，該底板6與該面板7之間連接有真作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，其中，所述面板7的頂面上設(shè)有可吸附 被檢查產(chǎn)品的真空吸氣孔71 。本實(shí)用新型一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于在可左右移動(dòng) 的X移動(dòng)板上可移動(dòng)地連接有可前后移動(dòng)的Y移動(dòng)板，因此，對(duì)于將顯微鏡用于進(jìn)行大批量檢測(cè)產(chǎn)品，且產(chǎn)品的檢測(cè)的前后、左右尺寸大于顯微鏡的視 野時(shí)，作業(yè)員就不需要用手前后移動(dòng)產(chǎn)品，產(chǎn)品的表面不會(huì)在檢測(cè)過(guò)程中磨 花或產(chǎn)生折皺。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。圖1是用本實(shí)用新型一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)的立體分解結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了說(shuō)明方便，將在使用顯微鏡時(shí)，使用者的左邊方向定義為左方向， 右邊方向定義為右方向；遠(yuǎn)離使用者的面前的方向定義為前方向，接近使用 者的面前的方向定義為后方向。請(qǐng)參閱圖1 ，本實(shí)用新型一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，包括基座1 、 x移動(dòng) 板2 、 Y移動(dòng)板3 、第一絲杠螺母機(jī)構(gòu)4 、第二絲杠螺母機(jī)構(gòu)5 、底板6 、 面板7 、真空氣囊8 ?；?用于將載物臺(tái)固定在顯微鏡的工作臺(tái)上；X移動(dòng)板2通過(guò)第一絲 杠螺母機(jī)構(gòu)4連接在基座1上，該第一絲杠螺母機(jī)構(gòu)4由第一伺服馬達(dá)41驅(qū) 動(dòng)，使該X移動(dòng)板2可以相對(duì)基座1左右移動(dòng)；為了防止第一伺服馬達(dá)41驅(qū) 動(dòng)第一絲杠螺母機(jī)構(gòu)4使X移動(dòng)板2超出移動(dòng)范圍而損壞第一伺服馬達(dá)41 ， 在基座1上設(shè)有可感應(yīng)X移動(dòng)板2相對(duì)該基座1移動(dòng)的左、右極限位置的左 位置傳感器42和右位置傳感器43，該左位置傳感器42和右位置傳感器43可控 制第一伺服馬達(dá)41停止轉(zhuǎn)動(dòng)。在該基座1上設(shè)有引導(dǎo)該X移動(dòng)板2移動(dòng)的第 一導(dǎo)軌，X移動(dòng)板2上設(shè)有與該第一導(dǎo)軌相匹配的第一導(dǎo)向塊(利用導(dǎo)軌和導(dǎo)向塊引導(dǎo)一部件相對(duì)另一部件平穩(wěn)滑動(dòng)或移動(dòng)使慣用手段，故在圖中未示 出)，以保證X移動(dòng)板2能相對(duì)基座1平穩(wěn)地移動(dòng)。當(dāng)然，第一導(dǎo)軌也可以 設(shè)置在X移動(dòng)板2上，第一導(dǎo)向塊設(shè)置在該基座1上，也可以起到導(dǎo)向作 用。Y移動(dòng)板3通過(guò)第二絲杠螺母機(jī)構(gòu)5連接在X移動(dòng)扳2上，該第二絲杠 螺母機(jī)構(gòu)5由第二伺服馬達(dá)51驅(qū)動(dòng)，使該Y移動(dòng)板3相對(duì)該X移動(dòng)板2前后 移動(dòng)；為了防止第二伺服馬達(dá)51驅(qū)動(dòng)第二絲杠螺母機(jī)構(gòu)5使Y移動(dòng)板3超出 移動(dòng)范圍而損壞第二伺服馬達(dá)51 ，在X移動(dòng)板2上設(shè)有可感應(yīng)所述Y移動(dòng)板3相對(duì)該X移動(dòng)板2移動(dòng)的前、后極限位置的前位置傳感器52和后位置傳感 器53，該前位置傳感器52和后位置傳感器53可控制所述第二伺服馬達(dá)51停止 轉(zhuǎn)動(dòng)。在該X移動(dòng)板2上設(shè)有引導(dǎo)該Y移動(dòng)板3移動(dòng)的第二導(dǎo)軌，Y移動(dòng)板3上設(shè)有與該第二導(dǎo)軌相匹配的第二導(dǎo)向塊，以保證Y移動(dòng)板3能相對(duì)X移動(dòng)板2平穩(wěn)地移動(dòng)。當(dāng)然，第二導(dǎo)軌也可以設(shè)置在Y移動(dòng)板3上，第一導(dǎo)向塊設(shè)置在該X移動(dòng)板2上，也可以起到導(dǎo)向作用。該第一伺服馬達(dá)41和該第二伺服馬達(dá)51由伺服集成電路搖桿裝置(圖中 未示出)。Y移動(dòng)板3的頂面上固定有底板6 ，該底板6的一側(cè)鉸接有面板7，該 面板7的頂面上設(shè)有可吸附被檢査產(chǎn)品的真空吸氣孔71;該底板6與該面板 7之間連接有真空氣囊8，通過(guò)控制該真空氣囊8內(nèi)的真空度(亦即充氣的 飽滿程度)可以控制該面板7的傾斜角度，以適應(yīng)對(duì)檢測(cè)產(chǎn)品時(shí)產(chǎn)品需要傾 斜一定角度的需要。當(dāng)然，在Y移動(dòng)板3的頂面上也可以設(shè)置可吸附被檢查產(chǎn)品的真空吸氣 孔，以方便定位對(duì)沒(méi)有角度傾斜要求的產(chǎn)品進(jìn)行定位。
權(quán)利要求1.一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，包括基座(1)、可左右移動(dòng)地連接在該基座(1)上的X移動(dòng)板(2)，其特征在于所述X移動(dòng)板(2)上可移動(dòng)地連接有可前后移動(dòng)的Y移動(dòng)板(3)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，其特征在于所述X 移動(dòng)板(2 )通過(guò)第一絲杠螺母機(jī)構(gòu)(4 )連接在所述基座(1 )上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，其特征在于所述第 一絲杠螺母機(jī)構(gòu)(4)由第一伺服馬達(dá)(41)驅(qū)動(dòng)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，其特征在于所述基 座(1 )上設(shè)有可感應(yīng)所述X移動(dòng)板(2 )相對(duì)該基座(1 )移動(dòng)的左、右 極限位置的左位置傳感器(42)和右位置傳感器(43)，該左位置傳感器(42)和右位置 傳感器(43)可控制所述第一伺服馬達(dá)(41)停止轉(zhuǎn)動(dòng)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，其特征在于所述Y 移動(dòng)板(3 )通過(guò)第二絲杠螺母機(jī)構(gòu)(5 )連接在所述X移動(dòng)板(2 )上。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，其特征在于所述第 二絲杠螺母機(jī)構(gòu)(5 )由第二伺服馬達(dá)(51)驅(qū)動(dòng)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，其特征在于所述X 移動(dòng)板(2 )上設(shè)有可感應(yīng)所述Y移動(dòng)板(3 )相對(duì)該X移動(dòng)板(2 )移動(dòng) 的前、后極限位置的前位置傳感器(52)和后位置傳感器(53)，該前位置傳感器(52) 和后位置傳感器(53)可控制所述第二伺服馬達(dá)(51)停止轉(zhuǎn)動(dòng)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，其特征 在于所述Y移動(dòng)板(3)的頂面上設(shè)有可吸附被檢査產(chǎn)品的真空吸氣孔。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的-種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，其特征 在于所述Y移動(dòng)板(3 )的頂面上固定有底板(6 )，該底板(6 )的一 側(cè)鉸接有面板(7 )，該底板(6 )與該面板(7 )之間連接有真空氣囊(8-)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，其特征在于所述 面板(7)的頂面上設(shè)有可吸附被檢查產(chǎn)品的真空吸氣孔(71)。
專利摘要本實(shí)用新型是關(guān)于一種顯微鏡移動(dòng)載物臺(tái)，包括基座(1)、可左右移動(dòng)地連接在該基座(1)上的X移動(dòng)板(2)，其中，所述X移動(dòng)板(2)上可移動(dòng)地連接有可前后移動(dòng)的Y移動(dòng)板(3)。采用這種結(jié)構(gòu)后，對(duì)于將顯微鏡用于進(jìn)行大批量檢測(cè)產(chǎn)品，且產(chǎn)品的檢測(cè)的前后、左右尺寸大于顯微鏡的視野時(shí)，作業(yè)員就不需要用手前后移動(dòng)產(chǎn)品，產(chǎn)品的表面不會(huì)在檢測(cè)過(guò)程中磨花或產(chǎn)生折皺。
文檔編號(hào)G02B21/24GK201110907SQ20072017240
公開(kāi)日2008年9月3日 申請(qǐng)日期2007年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月10日
發(fā)明者陸賀生, 聰 魯 申請(qǐng)人:比亞迪股份有限公司