專利名稱：用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置，特別是 有關(guān)于一種具有過濾件的用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)扮演重要的角色，只要 是關(guān)于圖形定義，皆需依賴光學(xué)微影技術(shù)。光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用 上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀可透光的光罩。利用曝光原理， 則光源通過光罩投影至硅晶圓可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩 上的塵埃顆粒如微粒、粉塵或有機(jī)物都會(huì)造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于 產(chǎn)生圖形的光罩必須保持絕對潔凈，而被投射的硅晶圓或者其它半導(dǎo)體投 射體亦必須保持絕對清靜，因此在一般的晶圓制程中，都提供無塵室的環(huán) 境以避免空氣中的顆粒污染。然而，目前的無塵室也無法達(dá)到絕對無塵的 狀態(tài)。
因此，現(xiàn)代的半導(dǎo)體制程皆利用抗污染的存放裝置進(jìn)行光罩的保存與 運(yùn)輸，以使光罩保持潔凈；也利用抗污染的半導(dǎo)體組件存放裝置進(jìn)行半導(dǎo) 體組件的保存與運(yùn)輸，以使半導(dǎo)體組件保持潔凈。存放裝置是在半導(dǎo)體制 程中用于存放光罩，以利光罩在機(jī)臺(tái)之間的搬運(yùn)與傳送，并隔絕光罩與大 氣的接觸，避免光罩被雜質(zhì)污染而產(chǎn)生變化；而半導(dǎo)體組件存放裝置是在 半導(dǎo)體制程中用于存放半導(dǎo)體組件，以利半導(dǎo)體組件在機(jī)臺(tái)之間的搬運(yùn)與 傳送，并隔絕半導(dǎo)體組件與大氣的接觸，避免半導(dǎo)體組件被雜質(zhì)污染而產(chǎn) 生變化。因此，在先進(jìn)的半導(dǎo)體廠中，通常會(huì)要求該等存放裝置的潔凈度 要符合機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)接口，也就是說保持潔凈度在級(jí)數(shù)l以下。故，在該等存 放裝置中充入氣體便是目前解決的手段之一。
然而，為了進(jìn)一步提升產(chǎn)品的良率及降低制造的成本，除了達(dá)到潔凈 度的標(biāo)準(zhǔn)要求之外，還要克服因?yàn)橥鈦須怏w對于光罩的污染。這樣的外來
4氣體除了大氣以外，還有兩個(gè)來源，其一是源自于高分子材料所制成的存 放裝置本身所釋出的氣體，其二是源自于殘留在光罩或半導(dǎo)體組件表面的 微量化學(xué)溶液所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體。這些非期望氣體會(huì)對光罩或半導(dǎo)體組件 的表面產(chǎn)生霧化作用，使得光罩或半導(dǎo)體組件無法再使用而必須報(bào)廢的窘 境，使得制造成本增加。在該等存放裝置中充入氣體是目前解決光罩或半 導(dǎo)體組件霧化的手段之一，其中如何保持充入氣體的潔凈度，是一個(gè)重要 的議題。
有鑒于此，本實(shí)用新型所提供的具有過濾件的用以存放半導(dǎo)體組件或 光罩的存放裝置，乃針對現(xiàn)有技術(shù)加以改良。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的是提供一種具有過濾件的用以存放半導(dǎo)體組 件或光罩的存放裝置，可用來過濾空氣中的微塵，以避免光罩或半導(dǎo)體組 件受到污染。
本實(shí)用新型的存放裝置是由第一蓋體與第二蓋體組合而成，形成一內(nèi) 部空間可容納光罩或半導(dǎo)體組件，此存放裝置的第二蓋體是由本體與板件 組成，本體上設(shè)有至少一孔，用以連通該存放裝置的內(nèi)部空間以及外部空 間，而板件相對應(yīng)于本體的孔處設(shè)有對應(yīng)部分，過濾件置于本體與板件間， 覆蓋本體的孔，當(dāng)空氣穿過本體的孔時(shí)，可由過濾件進(jìn)行過濾，達(dá)到過濾 雜質(zhì)的效果。
一種存放裝置，用以存放半導(dǎo)體組件或光罩，包含有 一第一蓋體； 一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納半導(dǎo)體 組件或光罩，其中該第二蓋體包含有 一本體，具有至少一孔；以及一 板件，設(shè)于該本體上面對該內(nèi)部空間，具有一對應(yīng)部分對應(yīng)于該本體的孔； 以及
一過濾件，置于該本體與該板件間，覆蓋該本體的孔。 本實(shí)用新型的再一目的在于提供一種具有過濾件的用以存放半導(dǎo)體
組件或光罩的存放裝置，可用來過濾空氣中的微塵，以保持用以存放半導(dǎo)
體組件或光罩的存放裝置內(nèi)的潔凈度。
本實(shí)用新型的有益效果是，可以保持充入氣體的潔凈度，以利半導(dǎo)體組件在機(jī)臺(tái)之間的搬運(yùn)與傳送。

圖1，是本實(shí)用新型的用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置的示意
圖2A與圖2B，是本實(shí)用新型用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置 與過濾件的示意圖3A至圖3E，是本實(shí)用新型中第二蓋體的板件的對應(yīng)部分的型態(tài)示 意圖4A與圖4B，是本實(shí)用新型用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置 中固定件與過濾件配置的關(guān)系圖5A至圖51，是本實(shí)用新型中固定件的型態(tài)與設(shè)置于用以存放半導(dǎo) 體組件或光罩的存放裝置中固定過濾件的示意圖6A至圖6C，是本實(shí)用新型中固定件與過濾件的關(guān)系示意圖7A至圖7D，是本實(shí)用新型中氣密裝置的配置的示意圖。主要組件符號(hào)說明
過濾件4
固定件5
孔隙51
突出的頂部53
第一蓋體6
第二蓋體7
本體71
板件72
第一表面721
對應(yīng)部分73
舌片731
縫隙74
氣密裝置8
孔A具體實(shí)施方式
由于本實(shí)用新型是揭露一種具有過濾件的用以存放半導(dǎo)體組件或光 罩的存放裝置的結(jié)構(gòu)，其中所利用到的一些光罩或半導(dǎo)體組件或存放裝置 的詳細(xì)制造或處理過程，是利用現(xiàn)有技術(shù)來達(dá)成，故在下述說明中，并不 作完整描述。而且下述內(nèi)文中的圖式，亦并未依據(jù)實(shí)際的相關(guān)尺寸完整繪 制，其作用僅在表達(dá)與本實(shí)用新型特征有關(guān)的示意圖。
請先參閱圖1，此是本實(shí)用新型的用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放
裝置的示意圖，用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置是由一第一蓋體6 與一第二蓋體7組合而成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩或半導(dǎo)體組件，而 在第二蓋體7上包含有至少一孔A，用以連通該存放裝置的內(nèi)部空間以及 外部空間。
接著請參閱圖2A與圖2B，用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置的 第二蓋體7是由本體71與板件72組合而成，本體71上設(shè)置至少一孔A， 而在板件72相對于本體71的孔A處設(shè)對應(yīng)部分73，對應(yīng)部分73具有至 少一個(gè)縫隙74以供空氣流通。其次，過濾件4設(shè)置于本體71與板件72 之間，覆蓋本體71的孔A，當(dāng)空氣流通過本體71的孔A時(shí)，過濾件4將 過濾其中的雜質(zhì)，以保持該存放裝置的內(nèi)部空間空氣的潔凈度。圖2A是 各組件的分解圖，圖2B是組件組合后的剖面圖。
第二蓋體7的板件72具有大致平坦的第一表面721，而前述相對于本 體71的孔A的對應(yīng)部分73可以凸設(shè)于第一表面721、凹設(shè)于第一表面721 或與第一表面721共平面，其示意圖如圖3A、圖3B與圖3C所示。對應(yīng)部 分73亦可設(shè)置成舌片731的型態(tài)，如圖3D所示，當(dāng)舌片731受到抬升時(shí)， 會(huì)產(chǎn)生供空氣流通的縫隙74;該舌片731上可再設(shè)置至少一個(gè)縫隙74， 如圖3E所示。
接著，在本體71與板件72間，可再設(shè)置固定件5以固定過濾件4， 固定件5可設(shè)置于本體71與過濾件4間或板件72與過濾件4之間，如圖 4A與圖4B所示，當(dāng)然，固定件5具有供空氣流通的孔隙51。
固定件5的型態(tài)可隨著使用者的選擇而有所不同，如圖5A至圖51所 示，固定件5可以通氣閥的型態(tài)，控制該通氣閥可控制空氣的進(jìn)出量，其 示意圖如圖5A所示，其組合剖面圖如圖5B所示。固定件5亦可為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，以使空氣出入，如圖5C與圖5D所示。固定件5可具有突出的頂部53， 如圖5E與圖5F所示，當(dāng)固定件5具有突出的頂部時(shí)，板件72的對應(yīng)部 分73可設(shè)置成為舌片731型態(tài)，如圖5G所示，固定件5突出的頂部53 可抬升舌片731，對應(yīng)部分73因此會(huì)有縫隙74能夠使空氣流通。固定件 5亦可將過濾件4整片包裹，以達(dá)到固定過濾件4的效果，如圖5H所示； 而此種整片包裹方式的固定件5，亦得設(shè)置突出的頂部53，如圖5I所示， 該突出的頂部得以頂持板件72上設(shè)置成為舌片731型態(tài)的對應(yīng)部分73， 對應(yīng)部分73因此會(huì)有縫隙74能夠使空氣流通。
固定件5可以大致覆蓋過濾件4，如圖6A所示；或可僅框住過濾件4， 如圖6B所示；亦可將過濾件4整片包裹，如圖6C所示，均視使用者使用 的需要。
為使空氣填充入用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置的內(nèi)部空間 有更好的效果，可再增設(shè)氣密裝置8，氣密裝置8如圖7A至圖7B所示， 可環(huán)設(shè)于固定件5的周圍；氣密裝置8如圖7C與圖7D所示，可環(huán)設(shè)于第 二蓋體7本體71的孔A，端視使用的需要而得變更其設(shè)置的位置。在此， 氣密裝置為一軟塑料零件。
以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本實(shí)用新 型的申請專利權(quán)利；同時(shí)以上的描述，對于熟知本技術(shù)領(lǐng)域的專門人士應(yīng) 可明了及實(shí)施，因此其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變 或修飾，均應(yīng)包含在下述的申請專利范圍中。
權(quán)利要求1. 一種存放裝置，用以存放半導(dǎo)體組件或光罩，其特征在于包含有 一第一蓋體；一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納半導(dǎo) 體組件或光罩，其中該第二蓋體包含有 一本體，具有至少一孔；以及一板件，設(shè)于該本體上面對該內(nèi)部空間，具有一對應(yīng)部分對應(yīng)于該 本體的孔；以及一過濾件，置于該本體與該板件間，覆蓋該本體的孔。
2. 如權(quán)利要求1的存放裝置，其特征在于，還包含有一固定件，用以 固定該過濾件于該本體與該板件間。
3. 如權(quán)利要求2的存放裝置，其特征在于，該固定件具有至少一孔 隙可供空氣流通。
4. 如權(quán)利要求2的存放裝置，其特征在于，該固定件覆蓋該過濾件。
5. 如權(quán)利要求2的存放裝置，其特征在于，該固定件框住該過濾件。
6. 如權(quán)利要求2的存放裝置，其特征在于，該固定件整片包裹該過濾件。
7. 如權(quán)利要求2的存放裝置，其特征在于，該固定件另包含有一氣密 裝置。
8. 如權(quán)利要求7的存放裝置，其特征在于，該氣密裝置環(huán)設(shè)于該固定件。
9. 如權(quán)利要求7的存放裝置，其特征在于，該氣密裝置環(huán)設(shè)于該孔。
10. 如權(quán)利要求7的存放裝置，其特征在于，該氣密裝置為軟塑料零件。
11. 如權(quán)利要求2的存放裝置，其特征在于，該固定件具有突出的頂部。
12. 如權(quán)利要求11的存放裝置，其特征在于，該板件的對應(yīng)部分是為 一舌片，其中該固定件突出的頂部可抬升該舌片。
13. 如權(quán)利要求2的存放裝置，其特征在于，該固定件為一通氣閥。
14. 如權(quán)利要求2的存放裝置，其特征在于，該固定件為一環(huán)狀結(jié)構(gòu)。
15. 如權(quán)利要求1的存放裝置，其特征在于，該板件具有一平坦的第 一表面，該板件的對應(yīng)部分是凸設(shè)或凹設(shè)于該第一表面或與該第一表面共 平面。
16. 如權(quán)利要求1的存放裝置，其特征在于，該板件的對應(yīng)部分具有 至少一縫隙。
專利摘要本實(shí)用新型一種具有過濾件的用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置。此種存放裝置由第一蓋體與第二蓋體組合而成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩或半導(dǎo)體組件，此存放裝置的第二蓋體是本體與板件組成，本體上設(shè)有至少一孔，用以連通該存放裝置的內(nèi)部空間以及外部空間，而板件相對應(yīng)于本體的孔處設(shè)有對應(yīng)部分，過濾件置于本體與板件間，覆蓋本體的孔，當(dāng)空氣穿過本體的孔時(shí)，可由過濾件進(jìn)行過濾，達(dá)到過濾雜質(zhì)的效果。
文檔編號(hào)G03F1/66GK201156532SQ200720193489
公開日2008年11月26日 申請日期2007年11月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月22日
發(fā)明者王勝弘 申請人:家登精密工業(yè)股份有限公司