專利名稱：：感光性樹脂組合物、使用其的感光性元件、抗蝕圖案的形成方法及印刷電路板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、使用其的感光性元件、抗蝕圖案的形成方法及印刷電路板的制造方法。
背景技術(shù)：
：以往，在印刷電路板的制造領(lǐng)域中，作為用于蝕刻或鍍覆等的抗蝕材料，廣泛使用感光性樹脂組合物，或者通過在支撐膜上形成由該感光性樹脂組合物構(gòu)成的層(以下，稱作"感光性樹脂組合物層")后，用保護(hù)膜披覆感光性樹脂組合物層而得到的感光性元件。使用感光性元件時(shí)，印刷電路板是通過例如以下的順序來制造的。即，首先，將感光性元件的感光性樹脂組合物層層壓在電路形成用基板上。此時(shí)，感光性樹脂組合物層的與支撐膜接觸的面相反側(cè)的面，密合于電路形成用基板的應(yīng)該形成電路的面。因此，在感光性樹脂組合物層的要密合的面上配置保護(hù)膜時(shí)，要一邊剝離保護(hù)膜一邊進(jìn)行該層壓操作。接著，通過掩模膜等以形成圖像的方式(圖案狀)曝光后，用顯影液除去未曝光部，形成抗蝕圖案。接著，將抗蝕圖案作為掩模來實(shí)施蝕刻或鍍覆處理，從而形成電路，最后，從基板上剝離除去固化部分(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。專利文獻(xiàn)l:日本特開平4-195050號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題可是，近來，隨著印刷電路基板向高密度化發(fā)展，以良好的生產(chǎn)率來制造印刷電路板變得困難起來。導(dǎo)致生產(chǎn)率降低的重要因素之一是在一直到上述用顯影液除去未曝光部的工序中，由于剝離保護(hù)膜或搬運(yùn)基板時(shí)因摩擦等而產(chǎn)生靜電。如果這樣的靜電在感光性樹脂組合物層上蓄積，則在曝光前時(shí)常有異物附著而不能形成高清晰的抗蝕圖案。另夕卜，根據(jù)本發(fā)明人的研究也可以明白，在設(shè)置有通孔的配線板的場合中，從光固化后的感光性樹脂組合物層上剝離支撐膜時(shí)，時(shí)常會(huì)產(chǎn)生通孔的開口部的固化膜破損的現(xiàn)象，即蓋孔(亍y卜)破裂。這被認(rèn)為是起因于剝離支撐膜時(shí)的放電所產(chǎn)生的沖擊。為了以良好的生產(chǎn)率來制造印刷電路板，充分防止上述的異物附著或蓋孔破裂就顯得很重要，但是，實(shí)際情況是關(guān)于提高感光性元件的耐異物附著性和蓋孔可靠性的技術(shù)在此前還沒有充分的研究。鑒于上述情況，本發(fā)明的目的是提供一種可形成耐異物附著性優(yōu)異的感光性樹脂組合物層的同時(shí)，還能形成蓋孔可靠性優(yōu)異的固化膜的感光性樹脂組合物；使用其的感光性元件、抗蝕圖案的形成方法及印刷電路板的制造方法。解決問題的方案為了解決上述問題，本發(fā)明的感光性樹脂組合物的特征在于，含有(A)粘合劑聚合物、(B)在分子內(nèi)具有至少一個(gè)可聚合的乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、(C)光聚合引發(fā)劑、以及(D)下述通式(1)所示的化合物。[化學(xué)式<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>這里，通式(1)中(2)所示的1價(jià)基團(tuán)。[化學(xué)式2〗<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>R1、R2、113和114分別獨(dú)立地表示氫原子或下述通式<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>通式(2)中，RS表示碳原子數(shù)430的烴基。根據(jù)本發(fā)明的感光性樹脂組合物，通過在上述(A)(C)成分的組合中含有上述通式(1)所示的化合物，可以充分滿足感光性樹脂組合物所要求的基本性能(感光度、清晰度、密合性)，同時(shí)，不僅可以形成耐異物附著性優(yōu)異的感光性樹脂組合物層，而且能形成蓋孔可靠性優(yōu)異的固化膜。這樣，即使是高密度化的印刷電路板也可以以良好的生產(chǎn)率來制造。利用本發(fā)明的感光性樹脂組合物起到上述效果的原因尚未明確，但本發(fā)明人推測如下。即，通過含有上述通式(1)所示的化合物，使得感光性樹脂組合物可以吸收適度的水分，可充分防止電荷的蓄積，此外，由于上述通式(l)所示的化合物與具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物的互溶性優(yōu)異，且可賦予固化膜適度的撓性，因此，可以充分減少對(duì)感光性樹脂組合物層的基本性能或固化膜的機(jī)械強(qiáng)度的影響，從而，可以有效防止異物對(duì)感光性樹脂組合物層的附著以及固化膜的蓋孔破裂。另外，從以更高水準(zhǔn)來實(shí)現(xiàn)作為感光性樹脂組合物的基本性能(感光度、清晰度、密合性)、帶電防止性及蓋孔可靠性這些全部性能的角度考慮，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，作為上述通式(1)所示的化合物，優(yōu)選含有這樣的化合物通式(1)中的R1、R2、113和114中的至少一個(gè)為上述通式(2)所示的l價(jià)基團(tuán)，且上述通式(2)中的RS為碳原子數(shù)430的脂肪族烴基。另外，本發(fā)明的感光性元件的特征在于，具備支撐膜；形成在該支撐膜上的由本發(fā)明的感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光性樹脂組合物層。根據(jù)本發(fā)明的感光性元件，通過具備由本發(fā)明的感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光性樹脂組合物層，可以在電路形成用基板上設(shè)置耐異物附著性優(yōu)異的感光性樹脂組合物，并且，可以形成蓋孔可靠性優(yōu)異的固化膜。這樣，即使是高密度化的印刷電路板，也可以以良好的生產(chǎn)率來制造。另夕卜，本發(fā)明的抗蝕圖案的形成方法的特征在于，在電路形成用基板上層疊上述本發(fā)明的感光性元件的感光性樹脂組合物層，對(duì)該感光性樹脂組合物層以形成圖像的方式照射活性光線，使曝光部進(jìn)行光固化，除去曝光部以外的部分。根據(jù)本發(fā)明的抗蝕圖案的形成方法，通過使用本發(fā)明的感光性元件將感光性樹脂組合物層層疊在電路形成用基板上，可以有效防止異物的附著和蓋孔破裂，可形成良好的抗蝕圖案。這樣，即使是高密度化的印刷電路板，也可以以良好的生產(chǎn)率來制造。另夕卜，本發(fā)明的印刷電路板的制造方法的特征在于，通過上述本發(fā)明的抗蝕圖案的形成方法，對(duì)形成有抗蝕圖案的電路形成用基板進(jìn)行蝕刻或鍍覆。根據(jù)所述的方法，利用本發(fā)明的抗蝕圖案的形成方法可以在電路形成用基板上形成良好的抗蝕圖案，因此，可以以良好的生產(chǎn)率來制造高密度化的印刷電路板。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，可以提供不僅能形成耐異物附著性優(yōu)異的感光性樹脂組合物層，而且能形成蓋孔可靠性優(yōu)異的固化膜的感光性樹脂組合物；以及使用其的感光性元件、抗蝕圖案的形成方法及印刷電路板的制造方法。圖1是表示本發(fā)明的感光性元件的一個(gè)實(shí)施方式的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是表示在實(shí)施例中用于評(píng)價(jià)異形蓋孔破裂率的孔破裂數(shù)測定用基板的俯視圖。圖3是圖2中用A表示的區(qū)域的三連孔的放大圖。符號(hào)說明l是感光性元件，IO是支撐體，20是感光性樹脂組合物層，30是保護(hù)膜，40是孔破裂數(shù)測定用基板，41是圓孔，42是三連孔，43是覆銅膜層疊板。具體實(shí)施方式以下，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。在本發(fā)明中，(曱基)丙烯酸是指丙烯酸及與其對(duì)應(yīng)的曱基丙烯酸，(曱基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯及與其對(duì)應(yīng)的曱基丙烯酸酯，(曱基)丙烯?；侵副；芭c其對(duì)應(yīng)的曱基丙烯?；?。<感光性樹脂組合物>首先，對(duì)本發(fā)明的感光性樹脂組合物進(jìn)行說明。本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有(A)粘合劑聚合物(以下，有時(shí)稱作"(A)成分")；(B)在分子內(nèi)具有至少一個(gè)可聚合的乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物(以下，有時(shí)稱作"(B)成分，，)；(C)光聚合引發(fā)劑(以下，有時(shí)稱作"(C)成分，，)；以及(D)下述通式(1)所示的化合物(以下，有時(shí)稱作"(D)成分")。[化學(xué)式3]CH2—CH—CH2—0—CHfCH—CH之00O0("通式(1)中，R1、R2、113和R"分別獨(dú)立地表示氫原子或下述通式(2)所示的l價(jià)基團(tuán)。[化學(xué)式2]o(2)通式(2)中，RS表示碳原子數(shù)430的烴基。作為(A)粘合劑聚合物，可以舉出例如丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、環(huán)氧系樹脂、酰胺系樹脂、酰胺環(huán)氧系樹脂、醇酸系樹脂、酚系樹脂等。從堿顯影性的角度考慮，優(yōu)選丙烯酸系樹脂。這些可以單獨(dú)使用l種，或者組合2種以上來使用。(A)粘合劑聚合物例如可以通過使聚合性單體進(jìn)行自由基聚合來制造。作為上述聚合性單體，可以舉出例如苯乙烯、乙烯基曱苯、a-曱基苯乙烯等在a-位或芳香環(huán)上被取代的可聚合的苯乙烯衍生物、雙丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺、丙烯腈、乙烯基正丁基醚等乙烯醇的酯類、(甲基)丙烯酸烷基酯、(曱基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸二曱基氨基乙酯、(曱基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(曱基)丙烯酸縮水甘油酯、2,2,2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟丙基(曱基)丙烯酸酯、(曱基)丙烯酸、a-溴(甲級(jí))丙烯酸、a-氯(曱基)丙烯酸、(3-呋喃基(甲基)丙烯酸、(3-苯乙烯基(曱基)丙烯酸、馬來酸、馬來酸酐、馬來酸單曱酯、馬來酸單乙酯以及馬來酸單異丙酯等馬來酸單酯、富馬酸、肉桂酸、a-氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸、丙炔酸等。作為上述(曱基)丙烯酸烷基酯，可以舉出例如下述通式(3)所示的化合物、這些化合物的烷基上取代有羥基、環(huán)氧基、卣基等的化合物等。[化學(xué)式5]CH2=C(Re》一COOR7(3)通式(3)中，W表示氫原子或甲基，W表示碳原子數(shù)l12的烷基。作為上述通式(3)中的R"所示的碳原子數(shù)112的烷基，可以舉出例如曱基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基及它們的結(jié)構(gòu)異構(gòu)體。作為上述通式(3)所示的化合物，具體地，可以舉出例如(曱基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸乙酯、('曱基)丙烯酸丙酯、(曱基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(曱基)丙烯酸己酯、(曱基)丙烯酸庚酯、(曱基)丙烯酸辛酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯、(曱基)丙烯酸壬酯、(曱基)丙烯酸癸酉旨、(曱基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯。這些可以單獨(dú)使用l種，或者將2種以上組合來使用。另外，為了使堿顯影性更加良好，在本發(fā)明中使用的(A)粘合劑聚合物優(yōu)選為含有羧基的物質(zhì)。這樣的(A)粘合劑聚合物，例如通過使具有羧基的聚合性單體與其它的聚合性單體進(jìn)行自由基聚合來制造。作為上述具有羧基的聚合性單體，優(yōu)選上述的(曱基)丙烯酸。另外，從實(shí)現(xiàn)堿顯影性與耐堿性的平衡的角度考慮，(A)粘合劑聚合物的羧基含有率(具有羧基的聚合性單體對(duì)于使用的全部聚合性單體的比例)優(yōu)選為12~50質(zhì)量％，更優(yōu)選為1240質(zhì)量％,特別優(yōu)選為15~30質(zhì)量％，極其優(yōu)選為1525質(zhì)量％。如果該羧基含有率小于12質(zhì)量％，則具有堿顯影性變差的傾向，如果超過50質(zhì)量％,則具有耐堿性變差的傾向。(A)粘合劑聚合物的酸值優(yōu)選為50250mgKOH/g,更優(yōu)選為70~200mgKOH/g。如果該酸值小于50mgKOH/g，則具有顯影時(shí)間變長的傾向，如果超過250mgKOH/g,則具有光固化后的抗蝕劑的耐顯影液性降低的傾向。另外，作為顯影工序進(jìn)行溶劑顯影時(shí)，優(yōu)選少量調(diào)制具有羧基的聚合性單體。另外，(A)粘合劑聚合物從撓性的角度考慮，優(yōu)選含有苯乙烯或苯乙烯衍生物作為聚合性單體。通過使用苯乙烯或苯乙烯衍生物作為聚合性單體，可以使感光性樹脂組合物的密合性和剝離特性都變得良好。從更實(shí)際地提高感光性樹脂組合物的密合性與剝離特性的角度考慮，該苯乙烯或苯乙烯衍生物的含量，以構(gòu)成(A)粘合劑聚合物的聚合性單體的總量為基準(zhǔn)，優(yōu)選為0.130質(zhì)量％，更優(yōu)選為1~28質(zhì)量％，特別優(yōu)選為1.527質(zhì)量％。如果該含量小于0.1質(zhì)量％，則具有感光性樹脂組合物的密合性降低的傾向，如果超過30質(zhì)量％,則具有剝離片增大、剝離時(shí)間變長的傾向。在本發(fā)明中，"苯乙烯衍生物，，是指苯乙蹄的氫原子被取代基(烷基等有機(jī)基團(tuán)或卣原子等)取代的物質(zhì)。從實(shí)現(xiàn)機(jī)械強(qiáng)度和堿顯影性的平衡的角度考慮，(A)粘合劑聚合物的重均分子量優(yōu)選為20000~300000,更優(yōu)選為40000150000。如果重均分子量小于20000,則具有耐顯影液性降低的傾向，如果超過300000,則具有顯影時(shí)間變長的傾向。本發(fā)明的重均分子量是通過凝膠滲透色譜法測定的、利用4吏用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯制成的標(biāo)準(zhǔn)曲線換算的值。這些(A)粘合劑聚合物可以單獨(dú)使用l種，或者組合2種以上來使用。作為組合2種以上使用時(shí)的粘合劑聚合物，可以舉出例如由不同的共聚成分構(gòu)成的2種以上的粘合劑聚合物、重均分子量不同的2種以上的粘合劑聚合物、分散度不同的2種以上的粘合劑聚合物等。接著，對(duì)作為(B)成分的、具有至少一個(gè)可聚合的乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物(以下，稱作"光聚合性化合物")進(jìn)行說明。作為(B)光聚合性化合物，可以舉出例如使a，p-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而得的化合物、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷等雙酚A系(曱基)丙烯酸酯化合物、使a，P-不飽和羧酸與含有縮水甘油基的化合物進(jìn)行反應(yīng)而得的化合物、具有氨酯鍵的(曱基)丙烯酸酯化合物等氨酯單體、丫-氯-(3-羥丙基-|3，-(曱基)丙烯?；趸一彵蕉跛狨?、P-羥基乙基-p，-(曱基)丙烯?；趸一彵蕉跛狨ァ?3-羥基丙基-p，-(甲基)丙烯酰基氧基乙基鄰苯二曱酸酯、(甲基)丙烯酸烷基酯等，優(yōu)選以雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物或具有氨酯鍵的(曱基)丙烯酸酯化合物作為必須成分。這些可以單獨(dú)或組合2種以上來使用。作為上述2,2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷，可以舉出例如2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基二乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基三乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基四乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基六乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基七乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基八乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基九乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十一乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十二乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十三乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十四乙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十五乙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十六乙氧基)苯基)丙烷等。其中，2，2-雙(4-(曱基丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷，作為BPE-500(新中村化學(xué)工業(yè)抹式會(huì)社制造，制品名)可以商業(yè)地購入，2,2-雙(4-(曱基丙烯酰氧基十五乙氧基)苯基)丙烷，作為BPE-1300(新中村化學(xué)工業(yè)抹式會(huì)社制造，制品名)可以商業(yè)地購入。這些可以單獨(dú)或組合2種以上來使用。作為上述2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷，可以舉出例如2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基二丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基三丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基四丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基五丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基六丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基七丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基八丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基九丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十丙氧基)苯基)丙烷、2,2_雙U-((曱基)丙烯酰氧基十一丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十二丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基十三丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十四丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十五丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基十六丙氧基)苯基)丙烷等。這些可以單獨(dú)或組合2種以上來使用。作為上述2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷，可以舉出例如2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基二乙氧基八丙氧基)苯基)丙烷、2,2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基四乙氧基四丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((曱基)丙烯酰氧基六乙氧基六丙氧基)苯基)丙烷等。這些可以單獨(dú)或組合2種以上來使用。作為上述使a，(3-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而得的化合物，可以舉出例如亞乙基數(shù)為2~14的聚乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、亞丙基數(shù)為214的聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亞乙基數(shù)為2~14且亞丙基數(shù)為214的聚乙二醇聚丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、三羥曱基丙烷二(曱基)丙烯酸酯、三羥曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二乙氧基三(曱基)丙烯酸酯、三羥曱基丙烷三乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥曱基丙烷四乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥曱基丙烷五乙氧基三(曱基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羥曱基曱烷四(曱基)丙烯酸酯、亞丙基數(shù)為2~14的聚丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(曱基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(曱基)丙烯酸酯等。作為上述氨酯單體，在(3位具有OH基的(甲基)丙烯酸類單體與異佛爾酮二異氰酸酯、2,6-曱苯二異氰酸酯、2,4-曱苯二異氰酸酯、1,6-六亞曱基二異氰酸酯等二異氰酸酯化合物的加成反應(yīng)物、三((曱基)丙烯酰氧基四乙二醇異氰酸酯)六亞曱基異氰尿酸酯、EO改性氨酯二(曱基)丙烯酸酯、EO及PO改性氨酯二(甲基)丙烯酸酯等。這里，EO表示表示環(huán)氧乙烷，EO改性的化合物具有環(huán)氧乙烷基的嵌段結(jié)構(gòu)。另夕卜，PO表示環(huán)氧丙烷，PO改性的化合物具有環(huán)氧丙烷基的嵌段結(jié)構(gòu)。作為EO改性氨酯二(曱基)丙烯酸酯，可以舉出例如新中村化學(xué)工業(yè)抹式會(huì)社制造的制品名UA-ll等。另外，作為EO與PO改性氨酯二(甲基)丙烯酸酯，可以舉出例如新中村化學(xué)工業(yè)林式會(huì)社制造的制品名UA-13等。作為(0成分即光聚合引發(fā)劑，可以舉出例如二苯曱酮、^>^，-四甲基-4,4，-二氨基二苯曱酮(米氏酮)、N，N，-四乙基-4,4，-二氨基二苯曱酮、4-曱氧基-4，-二甲氨基二苯曱酮、2-節(jié)基-2-二曱氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-1、2-曱基-1-[4-(曱硫基)苯基]-2-嗎啉代-丙酮-l等芳香族酮；2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、l-氯蒽醌、2-曱基蒽醌、1，4-萘醌、9,10-菲醌、2-曱基-l,4-萘醌、2，3-二曱基蒽醌等醌類；苯偶因曱醚、苯偶因乙醚、苯偶因苯基醚等笨偶因醚化合物；苯偶因、曱基苯偶因、乙基苯偶因等苯偶因化合物；聯(lián)苯?？s二曱醇等聯(lián)苯酰衍生物；2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5-二(曱氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰曱氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物、2-(對(duì)曱氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物等2，4，5-三芳基咪唑二聚物；9-苯基吖啶、1，7-雙(9,9，-吖啶基)庚烷等吖啶衍生物；N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生物、香豆素系化合物、，噪唑系化合物等。另外，兩個(gè)2,4，5-三芳基咪唑的芳基的取代基可以相同而成為對(duì)象的化合物，也可以不同而成為非對(duì)稱的化合物。另外，可以像組合二乙基噻唑酮與二甲氨基安息香酸這樣，組合噻唑酮系化合物與叔胺化合物。另外，其中，從密合性與感光度的角度考慮，更優(yōu)選2,4,5-三芳基咪唑二聚物。這些可以單獨(dú)或組合2種以上來使用。作為(D)成分的用上述通式(1)表示的化合物，可以使用市售品。作為可商業(yè)地購入的產(chǎn)品，可以舉出例如"ElectrostripperEM-1，，和"ElectrostripperEM-1A，，(均由花王林式會(huì)社制造，商品名)等。上述通式(1)中，R^R"是氫原子或用上述通式(2)表示的l價(jià)基團(tuán)，在本發(fā)明中，分布于R^R"的用上述通式(2)表示的l價(jià)基團(tuán)的比例在(D)成分中優(yōu)選為1080%,更優(yōu)選為2050%。如果通式(2)表示的基團(tuán)的分布比例超過80%,則具有清晰度、密合性降低的傾向，如果小于10%,則具有防帶電的效果變?nèi)醯膬A向。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，所含有的上述通式(1)所示的化合物的羥基的總摩爾數(shù)MoH與酯基(RLW為上述通式(2)所示的1價(jià)基團(tuán)的場合)的總摩爾數(shù)MESTER之比[MoH/MESTER]優(yōu)選在0.1~4的范圍內(nèi)，更優(yōu)選在0.25i的范圍內(nèi)。另外，當(dāng)上述通式(1)所示的化合物具有上述通式(2)所示的1價(jià)基團(tuán)時(shí)，通式(2)中的RS優(yōu)選為碳原子數(shù)430的脂肪族烴基，更優(yōu)選為碳原子數(shù)425的脂肪族烴基，特別優(yōu)選為碳原子數(shù)520的脂肪族烴基，最優(yōu)選為碳原子數(shù)10-20的脂肪族烴基。作為這樣的化合物，可以舉出例如雙甘油油酸酉旨。雙甘油油酸酯，例如可以商業(yè)地購入"ElectrostripperEM-l"和"ElectrostripperEM-1A，，(均由花王林式會(huì)社制造，商品名)。此外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物，優(yōu)選含有用上述通式(1)表示的、R1、R2、113和RA分別獨(dú)立地為氳原子或-CO-Cr/H33的化合物的混合物，該混合物中R、R2、R3和R4中的-CO-CnH33的分布比例為1080%。如果-CO-CnH33的分布比例超過80%,則具有清晰度、密合性降低的傾向，如果小于lOo/o,則具有防帶電效果減弱的傾向。作為這樣的混合物，可以商業(yè)地購入例如"ElectrostripperEM-I"(花王抹式會(huì)社制造，商品名，-CO-C17H33的分布比例40%)和"ElectrostripperEM-1A，，(均由花王林式會(huì)社制造，商品名，-CO-C17H33的分布比例30%)。上述(A)粘合劑聚合物的配合量，相對(duì)于(A)成分和(B)成分的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選為3080質(zhì)量份，更優(yōu)選為5070質(zhì)量份。如果該配合量小于40質(zhì)量份，則光固化物容易變脆，當(dāng)用作感光性元件時(shí)，具有涂膜性變差的傾向，如果超過80質(zhì)量份，則具有光敏度不充分而光固化物變脆的傾向。上述(B)光聚合性化合物的配合量，相對(duì)于(A)成分和(B)成分的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選為2060質(zhì)量份，更優(yōu)選為3055質(zhì)量份。如果該配合量小于20質(zhì)量份，則具有光敏度不充分的傾向，如果超過60質(zhì)量份，則光固化物變脆，當(dāng)用作感光性元件時(shí)，具有涂膜性變差的傾向。上述(C)光聚合引發(fā)劑的配合量，相對(duì)于(A)成分和(B)成分的總量IOO質(zhì)量份，優(yōu)選為0.01~20質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.25質(zhì)量份。如果該配合量小于0.01質(zhì)量份，則具有光敏度不充分的傾向，如果超過20質(zhì)量份，則在曝光時(shí)，具有在組合物的表面的吸收增大、內(nèi)部的光固化不充分的傾向。上述(D)通式(1)所示的化合物的配合量，相對(duì)于(A)成分和(B)成分的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.01-20質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.55質(zhì)量份。如果該配合量小于0.01質(zhì)量份，則具有防帶電效果不充分的傾向，如果超過20質(zhì)量份，則具有與銅的密合性降低的傾向。另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，根據(jù)需要可以含有孔雀綠等染料、三溴苯砜、隱色結(jié)晶紫等光顯色劑、熱顯色防止劑、對(duì)曱苯^t酰胺等增塑劑、顏料、填充劑、消泡劑、阻燃劑、穩(wěn)定劑、密合性賦予劑、流平劑、剝離促進(jìn)劑、抗氧化劑、香料、成像劑、熱交聯(lián)劑等添加劑，這些添加劑可以單獨(dú)或組合2種以上來含有。這些添加劑的配合量，相對(duì)于(A)成分和(B)成分的總量100質(zhì)量份，優(yōu)選各為0.0120質(zhì)量份。另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物，可以根據(jù)需要溶解于曱醇、乙醇、丙酮、曱基乙基酮、曱基溶纖劑、乙基溶纖劑、曱苯、N,N-二曱基曱酰胺、丙二醇單曱基醚等溶劑或它們的混合溶劑中，作為固體成分30~60質(zhì)量％左右的溶液來涂布。本發(fā)明的感光性樹脂組合物并無特別限制，優(yōu)選在金屬面的表面上作為液態(tài)抗蝕劑進(jìn)行涂布并干燥后，根據(jù)需要披覆保護(hù)膜來使用，或者以感光性元件的形態(tài)來使用，所述金屬可以舉出例如銅、銅系合金、鎳、鉻、鐵、不銹鋼等鐵系合金，優(yōu)選銅、銅系合金、鐵系合金。由本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的感光性樹脂組合物層的厚度因用途而異，但干燥后的厚度優(yōu)選為l~200(im,更優(yōu)選為l~100|_im。如果該厚度小于lpm,則具有工業(yè)上的涂布困難的傾向，如果超過200nm，雖然蓋孔可靠性提高，但是具有感光度不充分、抗蝕層底部的光固化性惡化的傾向。<感光性元件>本發(fā)明的感光性元件的特征在于，具備支撐膜；在該支撐膜上形成的由上述本發(fā)明的感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光性樹脂組合物層。另外，本發(fā)明的感光性元件優(yōu)選進(jìn)一步具備保護(hù)膜，該保護(hù)膜以接觸于感光性樹脂組合物層的與支撐膜相反側(cè)的面的方式來層疊。圖1是表示合適的實(shí)施方式涉及的感光性元件的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖1所示，感光性元件1具備支撐膜10;設(shè)置于該支撐膜10上的感光性樹脂組合物層20;設(shè)置于感光性樹脂組合物層20上的保護(hù)膜30。這里，感光性樹脂組合物層20是采用上述本發(fā)明的感光性樹脂組合物而形成的層。作為支撐膜IO，可以舉出例如聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚酯等具有耐熱性和耐溶劑性的聚合物膜。其中，從透明性的角度考慮，優(yōu)選使用聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯膜。這些聚合物膜必須在之后可以從感光性樹脂組合物層20上除去，因此，不能夠是實(shí)施了無法除去的表面處理的聚合物膜或是無法除去的材質(zhì)。另外，支撐膜10的厚度優(yōu)選為1100jim,更優(yōu)選為130pm。如果支撐膜的厚度小于1jim，則機(jī)械強(qiáng)度降低，涂布感光性樹脂組合物時(shí)或在顯影前剝離支撐膜時(shí)，具有支撐膜容易破損的傾向，另一方面，如果超過100jim,則具有清晰度降低的傾向、而且具有Y介才各上升的傾向。感光性樹脂組合物層20,例如可以通過在支撐膜IO上涂布本發(fā)明的感光性樹脂組合物后，進(jìn)行干燥來形成。涂布可以用例如輥涂機(jī)、逗號(hào)涂布機(jī)、凹版涂布機(jī)、氣刀涂布機(jī)、模涂機(jī)(diecoater)、氺奉》'余才幾、噴霧〉余布才幾等公知的方法來進(jìn)行。另外，干燥可以在70150。C下進(jìn)行530分鐘左右。在支撐膜10上涂布感光性樹脂組合物時(shí)，優(yōu)選涂布將感光性樹脂組合物根據(jù)需要溶解于曱醇、乙醇、丙酮、甲基乙基酮、曱基溶纖劑、乙基溶纖劑、曱苯、N,N-二甲基甲酰胺、丙二醇單甲基醚等溶劑或它們的混合溶劑中而得到的固體成分30~60質(zhì)量％左右的溶液。只是此時(shí)，干燥后的感光層20中的殘存有機(jī)溶劑量優(yōu)選為2質(zhì)量％以下，以防止在后續(xù)工序中有機(jī)溶劑擴(kuò)散。感光性樹脂組合物層20的厚度因用途而異，但干燥后的厚度優(yōu)選為1200pm,更優(yōu)選為l100|im。如果該厚度小于l(im，則具有工業(yè)涂布困難的傾向，如果超過200)im，則雖然蓋孔可靠性提高，但是具有感光度不充分、抗蝕層底部的光固化性惡化的傾向。作為保護(hù)膜30，可以使用例如聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚酯等具有耐熱性與耐溶劑性的聚合物膜。作為市售產(chǎn)品，可以舉出例如王子制紙公司制造的"ALPHANMA-410"、"E-200C";信越膜公司制造的聚丙烯膜；帝人公司制造的"PS-25"等PS系列等聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜等，但并不限于此。感光性元件1也可以使用與上述支撐膜同樣的聚合物膜來作為保護(hù)膜。保護(hù)膜30與感光性樹脂組合物層20之間的粘接力，優(yōu)選小于感光性樹脂組合物層20與支撐膜IO之間的粘接力，以便保護(hù)膜30容易從感光性樹脂組合物層20上剝離。另外，保護(hù)膜優(yōu)選為低魚眼的膜。所說的"魚眼，，是指，在通過熱熔融、混煉、擠出、雙軸延伸、澆鑄法等將材料制造成膜時(shí)，材料的異物、未熔化物、氧化劣化物等被帶到膜中的物質(zhì)。保護(hù)膜30的厚度優(yōu)選為l~100pm，更優(yōu)選為550(im，進(jìn)一步優(yōu)選為5~30^im,特別優(yōu)選為1530|im。如果該厚度小于l(im，則在層壓時(shí)，具有保護(hù)膜容易被破壞的傾向，如果超過100jim,則具有難以維持廉價(jià)性的傾向。感光性元件1可以進(jìn)一步具有緩沖層、粘接層、光吸收層、氣體阻擋層等中間層等。感光性元件l，例如可以直接以平板狀的形態(tài)儲(chǔ)存，或者也可以巻繞到圓筒狀等巻芯上，以巻狀的形態(tài)儲(chǔ)存。此時(shí)，優(yōu)選巻繞成支撐體10在最外側(cè)。另外，當(dāng)感光性元件1為不具有保護(hù)膜30的2層結(jié)構(gòu)時(shí)，涉及的感光性元件可以直接以平板狀的形態(tài)儲(chǔ)存，或者也可以在感光性樹脂組合物層20的與支撐膜側(cè)相反側(cè)的面上進(jìn)一步層疊保護(hù)膜，巻繞到圓筒狀等巻芯上，以巻狀的形態(tài)儲(chǔ)存。作為巻芯，只要是以往使用的即可，并無特別限制，可以舉出例如聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚氯乙烯樹脂、ABS樹脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)等塑料等。另外，在被巻繞成巻狀的感光性元件(感光性元件巻)的端面，出于保護(hù)端面的目的，優(yōu)選設(shè)置端面隔板，從耐熔邊的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選設(shè)置防濕端面隔板。另外，在捆包感光性元件l時(shí)，優(yōu)選用透濕性小的黑鐵皮包覆來包裝。<抗蝕圖案的形成方法>本發(fā)明的抗蝕圖案的形成方法是，層疊由上述本發(fā)明的感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光性樹脂組合物層或上述本發(fā)明的感光性元件的感光性樹脂組合物層，對(duì)感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分照射活性光線，使曝光部光固化，接著，除去曝光部以外的部分。這里，"電路形成用基板"是指具備絕緣層與形成于該絕緣層上的導(dǎo)體層的基板。本發(fā)明的抗蝕圖案的形成方法中，當(dāng)使用具有保護(hù)膜的上述感光性元件1時(shí)，利用具備如下工序的方法來形成抗蝕圖案將感光性元件1的保護(hù)膜30從感光性樹脂組合物層20上慢慢剝離，將與此同時(shí)慢慢露出來的感光性樹脂組合物層20的面的部分，密合于電路形成用基板的要形成電路的面上，從而在電路形成用基板上層疊感光性樹脂組合物層20的第l工序；對(duì)感光性樹脂組合物層20的要曝光的規(guī)定部分，照射活性光線來形成曝光部的第2工序；接著，除去曝光部以外的未曝光部的第3工序。作為第1工序中的將感光性樹脂組合物層層疊于電路形成用基板上的方法，可以舉出在除去保護(hù)膜后，通過一邊加熱感光性樹脂組合物層，一邊將感光性樹脂組合物層壓接于電路形成用基板上來進(jìn)行層疊的方法。該操作出于密合性與追從性的目的，優(yōu)選在減壓下進(jìn)行層疊。感光性元件的層疊，優(yōu)選將感光性樹脂組合物層和/或電路形成用基板加熱至70130°C,壓接壓力優(yōu)選為0.11.0MPa左右(110kgf/cm2左右)，但這些條件并無特別限制。另夕卜，如果如上所述將感光性樹脂組合物層加熱至70~130°C，則沒有必要預(yù)先對(duì)電路形成用基板進(jìn)行預(yù)熱處理，但是為了進(jìn)一步提高層疊性，也可以進(jìn)行電路形成用基板的預(yù)熱處理。另夕卜，層疊有感光性樹脂組合物層的電路形成用基板的表面通常是金屬面，但并無特別限制。作為第2工序中的形成曝光部的方法，可以舉出通過被稱作原圖的負(fù)片或正片掩模圖案來以形成圖像的方式照射活性光線的方法(掩模曝光法)。此時(shí)，存在于感光性樹脂組合物層上的支撐膜對(duì)活性光線透明時(shí)，可以透過支撐膜來照射活性光線，支撐膜為蔽光性時(shí)，是在除去支撐膜之后對(duì)感光性樹脂組合物層照射活性光線。另外，也可以采用通過使用激光器曝光法等直接描繪法來以形成圖像的方式照射活性光線的方法。作為活性光線的光源，可以使用公知的光源，公知的光源例如碳弧燈、水銀蒸氣弧燈、高壓水銀燈、氙燈等可有效地放射紫外線、可見光等的光源。另外，也可以使用Ar離子激光器、半導(dǎo)體激光器等有效放射紫外線、可見光等的光源。此外，也可以使用照相用散光燈、太陽燈等可有效放射可見光的光源。作為第3工序中的除去曝光部以外的部分的方法，當(dāng)感光性樹脂組合物層上存在支撐膜時(shí)，可以舉出首先除去支撐膜，然后，用濕式顯影、干式顯影等來除去曝光部以外的部分，來進(jìn)行顯影的方法。這樣，形成抗蝕圖案。在濕式顯影時(shí)，例如采用堿性水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑系顯影液等與感光性樹脂組合物對(duì)應(yīng)的顯影液，通過例如噴霧、搖動(dòng)浸漬、刷涂、刮涂等公知的方法來顯影。作為顯影液，使用堿性水溶液等安全且穩(wěn)定的、操作性良好的顯影液。作為上述堿性水溶液的堿，可以使用例如鋰、鈉或鉀的氪氧化物等氫氧化堿；鋰、17鈉、鉀或銨的碳酸鹽或碳酸氫鹽等碳酸堿；磷酸鉀、磷酸鈉等堿金屬磷酸鹽；焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等堿金屬焦磷酸鹽等。另外，作為用于顯影的堿性水溶液，優(yōu)選0.1~5質(zhì)量％碳酸鈉的稀溶液、0.1~5質(zhì)量％碳酸鐘的稀溶液、0.15質(zhì)量％氳氧化鈉的稀溶液、0.1~5質(zhì)量％四硼酸鈉的稀溶液等。另夕卜，用于顯影的堿性水溶液的pH優(yōu)選為911的范圍，其溫度根據(jù)感光性樹脂組合物層的顯影性進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外，堿性水溶液中還可以混有表面活性劑、消泡劑、少量的用于促進(jìn)顯影的有機(jī)溶劑等。作為上述水系顯影液，可以舉出由水或堿性水溶液與一種以上的有機(jī)溶劑構(gòu)成的顯影液。這里，作為堿性水溶液所含有的堿物質(zhì)，除了前述的物質(zhì)以外，還可以舉出例如硼砂或偏硅酸鈉、四曱基氫氧化銨、乙醇胺、乙二胺、二乙三胺、2-氨基-2-羥基曱基-l,3-丙二醇、1,3-二氨基丙醇-2、嗎啉等。顯影液的pH，在抗蝕劑的顯影可充分進(jìn)行的范圍內(nèi)優(yōu)選盡可能的小，優(yōu)選pH為812,更優(yōu)選pH為9~10。作為上述有機(jī)溶劑，可以舉出例如3丙酮醇、丙酮、乙酸乙酯、具有碳原子數(shù)14的烷氧基的烷氧基乙醇、乙醇、異丙醇、丁醇、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丁基醚等。這些可以單獨(dú)或者組合2種以上來使用。有機(jī)溶劑的濃度通常優(yōu)選為2~90質(zhì)量％,其溫度可以根據(jù)顯影性進(jìn)4亍調(diào)節(jié)。另外，水系顯影液中可以混有少量的表面活性劑、消泡劑等。作為單獨(dú)使用有機(jī)溶劑的有機(jī)溶劑系顯影液，可以舉出例如1,1,1-三氯乙烷、N-曱基吡咯烷酮、N,N-二曱基曱酰胺、環(huán)己酮、甲基異丁基酮、，丁內(nèi)酯等。為了防止著火，這些有機(jī)溶劑優(yōu)選在120質(zhì)量°/。的范圍內(nèi)添加水。上述顯影液可以根據(jù)需要并用2種以上。作為顯影的方式，可以舉出例如浸漬方式、攪拌方式、噴霧方式、刷涂、刮涂等。其中，從提高清晰度的角度考慮優(yōu)選采用高壓噴霧方式。在本發(fā)明的抗蝕圖案的形成方法中，作為顯影后的處理，可以根據(jù)需要進(jìn)行6025(TC左右的加熱或0.210mJ/cm2左右的曝光，從而進(jìn)一步固化抗蝕圖案。另外，作為顯影后的處理，可以采用例如氯化銅溶液、氯化鐵溶液、堿性蝕刻溶液等進(jìn)行金屬面的蝕刻。其中，從蝕刻因子良好的角度考慮，優(yōu)選使用氯化鐵溶液。<印刷電路板的制造方法>本發(fā)明的印刷電路板的制造方法的特征在于，對(duì)通過上述本發(fā)明的抗蝕圖案的形成方法形成抗蝕圖案的電路形成用基板進(jìn)行蝕刻或鍍覆。電路形成用基板的蝕刻或鍍覆，是以形成的抗蝕圖案為掩模對(duì)電路形成用基板的導(dǎo)體層等進(jìn)行的。作為蝕刻液，可以舉出氯化銅溶液、氯化鐵溶液、石威性蝕刻溶液、過氧化氬蝕刻液等，其中，從蝕刻因子良好的角度考慮，優(yōu)選使用氯化鐵溶液。另外，作為進(jìn)行鍍覆時(shí)的鍍覆種類，可以舉出例如硫酸銅鍍覆、焦磷酸銅鍍覆等鍍銅、高均一焊料鍍覆等鍍焊料、瓦特浴(硫酸鎳-氯化鎳)鍍覆、氨基磺酸鎳等鍍鎳、鍍硬金、鍍軟金等鍍金等。蝕刻或鍍覆結(jié)束后，抗蝕圖案例如可以采用比用于顯影的堿性水溶液堿性更強(qiáng)的水溶液進(jìn)行剝離。作為該強(qiáng)堿性水溶液，可以使用例如0.1~10質(zhì)量％氫氧化鈉水溶液、0.1~10質(zhì)量％氬氧化鉀水溶液等。作為剝離方式，可以舉出例如浸漬方式、噴霧方式等。這些剝離方式可以單獨(dú)使用也可以并用。釆用以上的制造方法，可以適宜地制造具有小徑通孔的多層印刷電路板等印刷電路板。實(shí)施例以下，基于實(shí)施例與比較例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更具體的說明，但本發(fā)明不限于以下實(shí)施例。<(A)成分1的合成>向具備攪拌機(jī)、回流冷凝器、溫度計(jì)、滴液漏斗以及氮?dú)鈱?dǎo)入管的燒瓶中，加入曱基溶纖劑與曱苯的混合溶液(曱基溶纖劑/甲苯=3/2(質(zhì)量比))(以下，稱作"溶液s")400g，一邊吹入氮?dú)庖贿呥M(jìn)行攪拌，并加熱至8(TC。另一方面，準(zhǔn)備混合了作為聚合性單體的甲基丙烯酸125g、曱基丙烯酸曱酯250g、丙烯酸丁酯100g及苯乙烯25g與偶氮二異丁腈0.8g的溶液(以下，稱作"溶液a")，對(duì)加熱至80。C的溶液s用4小時(shí)滴加溶液a后，一邊在80。C攪拌一邊保溫2小時(shí)。進(jìn)而，將在100g的溶液s中溶解有偶氮二異丁腈1.2g的溶液，用IO分鐘滴加于燒瓶內(nèi)。然后，一邊攪拌滴加后的溶液一邊在80。C保溫3小時(shí)后，用30分鐘加熱至90。C。在90。C保溫2小時(shí)后冷卻，得到粘合劑聚合物溶液。向該粘合劑聚合物溶液中添加丙酮，制備成不揮發(fā)成分(固體成分)為50質(zhì)量％，得到作為(A)成分1的粘合劑聚合物溶液。得到的粘合劑聚合物的重均分子量為80000。重均分子量是通過凝膠滲透色譜法來測定，使用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯的標(biāo)準(zhǔn)曲線換算而導(dǎo)出。GPC的條件如下所述。(GPC條件)泵日立L-6000型[日立制作所林式會(huì)社制造)]色譜柱GelpackGL-R420+GelpackGL-R430+GelpackGL-R440(共計(jì)3根)(均由日立化成工業(yè)抹式會(huì)社制造，商品名)洗脫液四氬p夫喃測定溫度25°C流量2.05mL/分鐘檢測器日立L-3300型RI[日立制作所抹式會(huì)社制造]<(A)成分2的合成>作為聚合性單體，使用曱基丙烯酸100g、曱基丙烯酸甲酯275g、丙烯酸乙酯125g，除此以外，進(jìn)行與(A)成分l的合成同樣的操作，得到作為(A)成分2的粘合劑聚合物溶液(不揮發(fā)成分(固體成分)50質(zhì)量％)。得到的粘合劑聚合物的重均分子量為80000。(實(shí)施例14和比較例1)將表l所示的材料以同一表所示的配合量(單位質(zhì)量份)進(jìn)行配合，得到實(shí)施例14和比較例1的感光性樹脂組合物的溶液。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>配合單位質(zhì)量份對(duì)表1中的各材料的說明如下。*1:2,2-雙(4-(甲基丙烯酰氧基十五乙氧基)苯基)(新中村化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造，商品名"BPE-500")*2:氯-P-羥丙基-P，-曱基丙烯?；趸一彵蕉跛狨?日立化成工業(yè)林式會(huì)社制造，商品名"FA-MECH，，)*3:"ElectrostripperEM-lA"(花王抹式會(huì)社制造，商品名)(是用上述通式(l)表示的、R1、R2、RS和R"分別獨(dú)立地為氫原子或-CO-CnH33的化合物的混合物，R1、R2、R3和R4中的-CO-CnH33的分布比例為30%。)*4:"ElectrostripperEM-l"(花王抹式會(huì)社制造，商品名)(是用上述通式(l)表示的、R1、R2、RS和R"分別獨(dú)立地為氫原子或-CO-CnH33的化合物的混合物，R1、R2、R3和R4中的-CO-CnH33的分布比例為40%。)接著，將得到的各感光性樹脂組合物的溶液，均勻地涂布于作為支撐體的16pm厚的聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯膜(商品名"G2-16",帝人林式會(huì)社制造)上，用100。C的熱風(fēng)對(duì)流式干燥機(jī)千燥10分鐘后，用聚乙烯制的保護(hù)膜(商品名"NF-13"，Tamapoly抹式會(huì)社制造)披覆，得到實(shí)施例14和比較例1的感光性元件。感光性樹脂組合物層的干燥后的膜厚為40pn。如圖2所示，在將35pm厚的銅箔粘貼于兩面的1.6mm厚的鍍銅膜層疊板(日立化成工業(yè)抹式會(huì)社制造，商品名"MCL-E67")上，用剝離器以直徑為4mm、5mm和6mm的孔徑，分別制作圓孔41和三個(gè)圓孔相連的三連孔42。對(duì)于在制作圓孔41和三連孔42時(shí)生成的毛刺，使用具有#600相當(dāng)?shù)姆ㄌm的研磨機(jī)(三啟抹式會(huì)社)來除去，將其用作孔破裂數(shù)測定用基板。將得到的孔石皮裂數(shù)測定用基板40加溫至80°C，按照使感光性樹脂組合物層側(cè)成為孔破裂數(shù)測定用基板40側(cè)的方式，一邊剝離保護(hù)膜一邊用120°C、0.4MPa的條件將實(shí)施例14和比較例1中得到的感光性元件層壓在該銅表面上。層壓后，冷卻孔破裂數(shù)測定用基板40，在孔破裂數(shù)測定用基板的溫度成為23。C的時(shí)刻，使41段格階段式曝光表(富士膠巻株式會(huì)社制造，商品名"日立41段格階段式曝光表，，)密合于聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯膜面上，采用具有高壓水銀燈的曝光機(jī)(ORC林式會(huì)社制造，商品名"HMW-201B，，)，以23段格光固化的曝光量來光固化感光性樹脂組合物層。曝光后，在室溫(25°C)下放置15分鐘，接著，剝離作為支撐體的聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯膜。測定此時(shí)的形成于三連孔42上的固化膜的孔破裂數(shù)，算出異形蓋孔破裂率?？梢栽u(píng)價(jià)為，該異形蓋孔破裂率越小，蓋孔可靠性就越良好。另夕卜，作為耐異物附著性的評(píng)價(jià)，在感光性元件的剝離聚乙烯制保護(hù)膜而露出的感光性樹脂組合物層上，以均勻分散的方式載置100個(gè)裁剪成3mm見方的包藥紙(東京日本油紙株式會(huì)社制造)，接著，使載置包藥紙的面朝下。測定殘留于感光性樹脂組合物層上的包藥紙的數(shù)量，算出異物附著率。可以評(píng)價(jià)為，該異物附著率越小，耐異物附著性就越良好。<感光度>為了調(diào)查感光度，將在上述得到的感光性元件的感光性樹脂組合物層層壓在鍍銅膜層疊板上。接著，使具有41段格階段式曝光表的光工具密合于感光性樹脂組合物層，以70mJ/cr^進(jìn)行曝光。然后，通過顯影后的殘存階段段格數(shù)來評(píng)價(jià)感光度。其結(jié)果示于表2中。這里，殘存的階段式曝光表的段格數(shù)越高(數(shù)值越大)，就意味著感光度越高。<清晰度>首先，與感光度的評(píng)價(jià)同樣地操作，將感光性元件的感光性樹脂組合物層層壓于鍍銅膜層疊板上。接著，使具有41段格階段式曝光表的光工具，與作為清晰度評(píng)價(jià)用負(fù)片的具有線寬/間隔寬度為30/30200/200(單位pm)的配線圖案的光工具密合于感光性樹脂組合物層，以41段格階段式曝光表的顯影后的殘存階段段格數(shù)成為23的能量進(jìn)行曝光。然后，根據(jù)利用顯影處理而可干凈地除去未曝光部的線寬間的間隔寬度的最小值來評(píng)價(jià)清晰度。其結(jié)果示于表2中。清晰度的評(píng)價(jià)是數(shù)值越小表示越良好。<密合性>首先，與清晰度的評(píng)價(jià)同樣地操作，將感光性元件的感光性樹脂組合物層層壓于鍍銅膜層疊板上。接著，使具有41段格階段式曝光表的光工具，與作為清晰度評(píng)價(jià)用負(fù)片的具有線寬/間隔寬度為647(單位pm)的配線圖案的光工具密合于感光性樹脂組合物層，以41段格階段式曝光表的顯影后的殘存階段段格數(shù)成為23的能量進(jìn)行曝光。并且，根據(jù)顯影后沒有剝離而密合的線寬的最小值來評(píng)價(jià)密合性。其結(jié)果示于表2中。密合性的評(píng)價(jià)是線寬的最小值越小表示越良好。在表2總結(jié)了對(duì)實(shí)施例14和比較例1的感光性元件進(jìn)行的如上所述的評(píng)價(jià)的結(jié)果。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>從表2所示的結(jié)果可以清楚地知道，由本發(fā)明的感光性樹脂組合物(實(shí)施例14)制作的感光性元件，其感光度、清晰度和密合性十分優(yōu)異，并且，與由比較例1的感光性樹脂組合物制作的感光性元件相比，異形蓋孔破裂率和異物附著率小。因此，根據(jù)本發(fā)明的感光性樹脂組合物，可以形成良好的抗蝕圖案，即使是高密度化的印刷電路板，也能以良好的生產(chǎn)率進(jìn)行制造。產(chǎn)業(yè)上的可應(yīng)用性根據(jù)本發(fā)明，可以提供不僅可以形成耐異物附著性優(yōu)異的感光性樹脂組合物層，而且可形成蓋孔可靠性優(yōu)異的固化膜的感光性樹脂組合物；以及使用其的感光性元件、抗蝕圖案的形成方法及印刷電路板的制造方法。權(quán)利要求1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(A)粘合劑聚合物、(B)在分子內(nèi)具有至少一個(gè)可聚合的乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、(C)光聚合引發(fā)劑、以及(D)下述通式(1)所示的化合物，[化學(xué)式1]通式(1)中，R1、R2、R3和R4分別獨(dú)立地表示氫原子或下述通式(2)所示的1價(jià)基團(tuán)，[化學(xué)式2]通式(2)中，R5表示碳原子數(shù)4～30的烴基。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為所述通式(1)所示的化合物，含有所述通式(1)中的R1、R2、113和114中的至少一個(gè)為所述通式(2)所示的1價(jià)基團(tuán)、且所述通式(2)中的RS為碳原子數(shù)430的脂肪族烴基的化合物。3.—種感光性元件，其特征在于，具備支撐膜、形成于該支撐膜上的由權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光性樹脂組合物層。4.一種抗蝕圖案的形成方法，其特征在于，在電路形成用基板上層疊權(quán)利要求3所述的感光性元件的感光性樹脂組合物層，對(duì)該感光性樹脂組合物層以形成圖像的方式照射活性光線使曝光部進(jìn)行光固化，除去曝光部以外的部分。5.—種印刷電路板的制造方法，其特征在于，對(duì)通過權(quán)利要求4所述的抗蝕圖案的形成方法而形成有抗蝕圖案的電路形成用基板，進(jìn)行蝕刻或鍍覆。全文摘要本發(fā)明的感光性樹脂組合物的特征在于，含有(A)粘合劑聚合物、(B)在分子內(nèi)具有至少一個(gè)以上的可聚合的乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物、(C)光聚合引發(fā)劑、以及(D)下述通式(1)所示的化合物，[化學(xué)式1]式(1)中，R¹、R²、R³和R⁴分別獨(dú)立地是氫原子或下述通式(2)，[化學(xué)式2]式(2)中，R⁵表示碳原子數(shù)4～30的烴基。文檔編號(hào)G03F7/004GK101410755SQ20078001039公開日2009年4月15日申請(qǐng)日期2007年3月14日優(yōu)先權(quán)日2006年3月31日發(fā)明者渡邊滿明申請(qǐng)人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社