專(zhuān)利名稱(chēng)：：正型感光性樹(shù)脂組合物以及由其得到的多孔膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及正型感光性樹(shù)脂組合物和由其得到的固化膜，以及使用該固化膜的各種材料。該正型感光性樹(shù)脂組合物特別適合用作液晶顯示元件或EL顯示元件中的邊沿或?qū)娱g絕緣膜、對(duì)應(yīng)于噴墨方式的遮光材料或隔片材料。
背景技術(shù)：
：一般在薄膜晶體管(TFT)型液晶顯示元件、有機(jī)EL(電致發(fā)光)元件等顯示器元件中，設(shè)置有已形成圖案的電極保護(hù)膜、平坦化膜、絕緣膜等。作為形成這些膜的材料，在感光性樹(shù)脂組合物中，目前正廣泛4吏用那些具有用于得到所需要圖案的工序數(shù)少、并且具有充分的平坦性等特征的感光性樹(shù)脂組合物。另外，在顯示器顯示元件的制作工序中，使用噴墨的全色顯示1^1制作技術(shù)近年來(lái)也研究得很活躍。例如，有關(guān)液晶顯示元件中濾色器的制作，相對(duì)于目前的印刷法、電沉積法、染色法或顏料分歉法，提出了首先在遮斷光的感光性樹(shù)脂層中形成規(guī)定已構(gòu)被圖的像素的間隔(以下稱(chēng)為邊沿)、再在該邊沿所包圍的開(kāi)口部?jī)?nèi)滴下墨滴的濾色器及其制造方法(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)l、專(zhuān)利文獻(xiàn)2和專(zhuān)利文獻(xiàn)3)等。另外在有機(jī)EL顯示元件中也提出了首先制作邊沿、再同樣滴下成為發(fā)光層的墨，從而制作有機(jī)EL顯示元件的方法(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)4)。然而在噴墨法中滴下邊沿所包圍的墨滴的情況下，為了防止墨滴超過(guò)邊沿而溢出至相鄰像素的狀況，需要在基板上保持親墨性(親水性)，在邊沿表面保持拒水性。為了達(dá)到上述目的，通過(guò)連續(xù)的等離子體處理，可以在^4l上保持親水性，并且在邊沿上保持拒^M生，但是工序復(fù)雜。另外有在感光性有機(jī)薄膜中配合氟類(lèi)表面活性劑或氟類(lèi)聚合物的例子，但是相溶性或添加量等，不僅要考慮感光性還包括涂層性，需要考慮的方面較多，難以稱(chēng)得上實(shí)用。專(zhuān)利文獻(xiàn)l:特開(kāi)平10-206627號(hào)7>才艮專(zhuān)利文獻(xiàn)2:特開(kāi)平11-326625號(hào)>^才艮專(zhuān)利文獻(xiàn)3:特開(kāi)平2000-187111號(hào)7>才艮專(zhuān)利文獻(xiàn)4:特開(kāi)平11-54270號(hào)7>才艮
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述事實(shí)而做出的，其所要解決的課JI^1提供一種感光性樹(shù)脂組合物，其能夠容易地以高精度和高產(chǎn)量形成膜圖案，其圖案表面具有高拒水性，經(jīng)過(guò)等離子體等處理后其拒水性也不會(huì)較大損傷，并具有絕緣性。另外本發(fā)明的課M提儉使用這樣的正型感光性樹(shù)脂組合物得到的固化膜，該固化膜在使用噴墨的M制作中，能夠防止墨滴超出邊沿而溢出至相鄰的像素，并提供使用這樣的固化膜制作的各種元件材料。本發(fā)明者為了解決上述課題進(jìn)行了專(zhuān)心研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)了本發(fā)明。即本發(fā)明第1觀點(diǎn)為一種正型感光性樹(shù)脂組合物，含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分以及(E)溶劑，(A)成分(i)與(ii)共聚得到的堿溶性樹(shù)脂，(i)不飽和羧酸，(ii)選自丙烯酸酯化合物、甲基丙烯酸酯化合物、馬來(lái)酰亞胺、丙烯腈、馬來(lái)酸酐、苯乙烯化合物和乙烯基化合物中的l種以上的化合物，(B)成分?jǐn)?shù)均分子量為100~2000的硅氧烷化合物，(C)成分1，2-醌二疊氮化合物，(D)成分交聯(lián)性化合物，(E)溶劑。笫2觀點(diǎn)為第1觀點(diǎn)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其中(A)成分的堿溶性樹(shù)脂的數(shù)均分子量按聚苯乙烯換算為2000~30000,第3觀點(diǎn)為第1或第2觀點(diǎn)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，(D)成分的交聯(lián)性化合物是含有2官能以上環(huán)氡基的化合物，第4觀點(diǎn)為第1~第3觀點(diǎn)任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其中(D)成分的交聯(lián)性化合物是式(1)表示的化合物，式中，k是210的整數(shù)，m表示04的整數(shù)，R表示k價(jià)的有機(jī)基團(tuán)。第5觀點(diǎn)為第1~第4觀點(diǎn)任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其中(E)溶劑含有選自丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、2-庚酮、丙二醇丙基醚、丙二醇丙基醚乙酸酯、乳酸乙酯和乳酸丁酯中的至少l種溶劑，第6觀點(diǎn)為第1~第5觀點(diǎn)任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，基于IOO質(zhì)量份(A)成分，含有0.1~30質(zhì)量份的(B)成分、5~100質(zhì)量份的(C)成分和1~80質(zhì)量份的(D)成分，第7觀點(diǎn)為第1~第6觀點(diǎn)任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其中在正型感光性樹(shù)脂組合物中還含有0.2質(zhì)量％以下作為(G)成分的表面活性劑，第8觀點(diǎn)為使用第1~第7觀點(diǎn)任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物得到的固化膜，第9觀點(diǎn)為有機(jī)EL顯示元件用的隔片材料，具有第8觀點(diǎn)所述的固化膜，第IO觀點(diǎn)為液晶顯示元件，具有第8觀點(diǎn)所述的固化膜的，第11觀點(diǎn)為液晶顯示器用陣列平坦化膜，由第8觀點(diǎn)所述的固化膜形成，第12觀點(diǎn)為層間絕緣膜，由第8觀點(diǎn)所述的固化膜形成。本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物具有高保存穩(wěn)定性，適合作為用于形成在液晶顯示元件、有機(jī)EL顯示元件等中使用的圖案狀絕緣性膜的材料和像素間隔片材料，其能夠容易地以高精度和高產(chǎn)量形成絕緣性的多孑L質(zhì)膜圖案，圖案表面具有高拒7JC性，經(jīng)過(guò)臭氧處理后其拒水性也不會(huì)降低很多。另外使用本發(fā)明的上述正型感光性樹(shù)脂組合物得到的固化膜，在使用噴墨的J41制作中，能夠防止墨滴超出邊沿而溢出至相鄰像素的狀況，進(jìn)而能夠提脊使用這樣的固化膜制作的各種元件材料。具體實(shí)施例方式本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物是下述的組合物，其含有(A)成分堿溶性樹(shù)脂、(B)成分硅氧烷化合物、(C)成分1，2-醌二疊氮化合物、(D)成分交聯(lián)性化合物、(E)溶劑，并且根據(jù)各自所需還含有(F)成分其它堿溶性樹(shù)脂、(G)成分表面活性劑或(H)成分助粘劑。下面對(duì)各成分進(jìn)行詳細(xì)描述。<A成分>本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物中使用的(A)成分是不飽和羧酸與選自丙烯酸酯化合物、甲基丙烯酸酯化合物、馬來(lái)酰亞胺化合物、丙烯腈、馬來(lái)酸酐、苯乙烯化合物和乙烯基化合物中的至少l種化合物共聚得到的聚合物(下面稱(chēng)為特定聚合物)，是堿溶性樹(shù)脂。即本發(fā)明中使用的(A)成分，是上述特定聚合物中具有可溶于堿性溶液這樣的性質(zhì)的成分。因此，(A)成分可以使用選自具有這種所謂可溶于堿性溶液性質(zhì)的特定共聚物中的1種或者多種堿溶性樹(shù)脂。該特定共聚物按照聚苯乙烯換算的數(shù)均分子量(以下稱(chēng)為數(shù)均分子量)必須為2000~30000。優(yōu)選為2500~15000，更優(yōu)選為3000~10000。在數(shù)均分子量不足2000的情況下，有時(shí)得到的圖案形狀不佳，或圖案的殘膜率下降，或圖案的耐熱性下降。另一方面，在數(shù)均分子量超過(guò)30000的情況下，有時(shí)正型感光性樹(shù)脂組合物的涂覆性變得不佳，或顯影性下降而出現(xiàn)剝離現(xiàn)象，還有時(shí)得到的圖案形狀有時(shí)不佳，或在有機(jī)溶劑中的溶解性下降。另外，在數(shù)均分子量超過(guò)40000的情況下，有時(shí)50jiim以下的圖案間存在殘?jiān)直媛氏陆怠Ｗ鳛橛糜讷@得該特定共聚物的單體成分中的不飽和羧酸，不特別限制，作為具體例子可列舉，丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、馬來(lái)酸、富馬酸、巴豆酸、鄰^甲酸單-2-(丙烯酰IUO乙基酯、鄰&甲酸單-2-(甲基丙烯酰氡基)乙基酯、N-(a苯基)馬來(lái)酰亞胺、N-(g苯基)甲基丙烯酰胺、N-(g苯基)丙烯酰胺等。與這種不飽和羧酸共聚的單體成分為，選自丙烯酸酯化合物、甲基丙烯酸酯化合物、馬來(lái)酰亞胺化合物、丙烯腈、馬來(lái)酸酐、苯乙烯化合物和乙烯基化合物中的至少l種化合物。因而既可以單獨(dú)使用l種，也可以幾種合并使用。在幾種合并使用的情況下，其中在至少含有甲基丙烯酸酯化合物和馬來(lái)酰亞胺化合物的情況下，由于能夠賦予固化膜更高的耐熱性，因此優(yōu)選。這些化合物的具體例子列舉如下。作為丙烯酸酯化合物，可列舉例如，丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸-2-羥乙酯、丙烯酸-2-羥丙酯、丙烯酸縮7JC甘油酯、丙烯酸千酯、丙烯酸萘酯、丙烯酸蒽酯、丙烯酸蒽基曱酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸-2，2，2-三氟乙酯、丙烯酸叔丁酯、丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸異水片酯、丙烯酸-2-曱氡基乙酯、丙烯酸甲氧基三甘醇酯、丙烯酸-2-乙氡基乙酯、丙烯酸四氫糠酯、丙烯酸-3-甲氡基丁酯、丙烯酸2-甲基-2-金剛烷酯、丙烯酸2-丙基-2-金剛烷酯、丙烯酸8-甲基-8-三環(huán)癸酯和丙烯酸8-乙基-8-三環(huán)癸酯等。作為甲基丙烯酸酯化合物，可列舉例如甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸-2-羥乙酯、甲基丙烯酸-2-羥丙酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、曱基丙烯酸節(jié)酯、曱基丙烯酸萘酯、曱基丙烯酸蒽酯、甲基丙烯酸蒽基甲酯、甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸-2,2，2-三氟乙酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、曱基丙烯酸異冰片酯、曱基丙烯酸-2-曱氧基乙酯、甲基丙烯酸曱氧基三甘醇酯、曱基丙烯酸-2-乙氡基乙酯、甲基丙烯酸四氫糠酯、甲基丙烯酸-3-甲氡基丁酯、曱基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷酯、甲基丙烯酸2-丙基-2-金剛烷酯、甲基丙烯酸8-甲基-8-三環(huán)癸酯和甲基丙烯酸8-乙基-8-三環(huán)癸酯等。作為乙烯基化合物，可列舉例如，乙烯基萘、甲基乙烯基醚、芐基乙烯基醚、2-幾乙基乙烯基醚、苯基乙烯基醚和丙基乙烯基醚等。作為苯乙烯化合物，可列舉例如，苯乙烯、甲基苯乙烯、氯苯乙烯、溴苯乙烯等。作為馬來(lái)酰亞胺化合物，可列舉例如，馬來(lái)酰亞胺、N-曱基馬來(lái)酰亞胺、N-苯基馬來(lái)酰亞胺和N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺等。在本發(fā)明中，基于用于獲得特定共聚物的單體成分的總量，不飽和羧酸的比率優(yōu)選為1~30質(zhì)量％，更優(yōu)選為3~25質(zhì)量％，最優(yōu)選為5~20質(zhì)量％。在不足1質(zhì)量％的情況下，在堿性顯影液中的溶解性有時(shí)不充分，在超過(guò)30質(zhì)量％的情況下，由于在堿性顯影液中的溶解性過(guò)高，因此有時(shí)引起未曝光部分的溶解而導(dǎo)致殘膜率下降。對(duì)本發(fā)明中使用的特定共聚物的獲得方法不特別限制，例如，可以通過(guò)將適當(dāng)選自上述不飽和羧酸中的至少l種單體，與選自上述丙烯酸酯化合物、曱基丙烯酸酯化合物、馬來(lái)酰亞胺化合物、丙烯腈、馬來(lái)酸酐、苯乙烯化合物和乙烯基化合物中的至少l種單體，與根據(jù)需要的上述單體以外的單體，以及根據(jù)需要的聚合引發(fā)劑等，在溶劑中于50110X:的溫度下進(jìn)行聚合反應(yīng)來(lái)獲得。這時(shí)所4吏用的溶劑，只要能夠溶解構(gòu)成特定共聚物的單體和特定共聚物即可，沒(méi)有特別的限制。作為具體例，可列舉后述(E)溶劑中記載的溶劑。由此獲得的特定共聚物通常是該特定共聚物溶解在溶劑中的溶液的狀態(tài)。另外，在攪拌下將上述獲得的特定共聚物的溶液投入到乙醚或水等中j吏之再沉淀，將生成的沉淀物過(guò)濾洗凈后，在常壓或減壓下通過(guò)常溫或9者加熱干燥，可以制成特定共聚物的粉體。通過(guò)這樣的操作，可以除去與特定共聚物共存的聚合引發(fā)劑和未反應(yīng)的單體，其結(jié)果可以獲得精制的特定共聚物的粉體。在一次操作不能充分精制的情況下，可以將得到的粉體再溶解在溶劑中，重復(fù)進(jìn)行上述操作。在本發(fā)明中，可以直接使用特定共聚物的粉體，也可以將其粉體再溶解在例如后述的(E)溶劑那樣的溶劑中，作為溶液的狀態(tài)使用。<B成分>(B)成分是按照聚苯乙烯換算數(shù)均分子量為100~2000的聚硅氧烷化合物。作為這種硅氧烷化合物，可列舉例如，直鏈狀聚二甲基硅氧烷樹(shù)脂、支鏈聚二甲基硅氧烷樹(shù)脂、環(huán)狀聚二曱基硅氧烷樹(shù)脂、改性聚二甲基硅氧烷樹(shù)脂、聚二甲M氧烷共聚物等。作為它們的具體例，可列舉，聚二甲M氧烷、聚曱基乙M氧烷、聚甲基苯基硅氧烷、聚甲基氫化硅氧烷、聚曱基丙基硅氧烷、聚二苯M氧烷、聚甲基丁基硅氧烷等直鏈狀珪氧烷或其共聚物，環(huán)狀聚二曱基硅氧烷、環(huán)狀聚曱基苯基硅氧烷、環(huán)狀聚甲基氬化硅氧烷、環(huán)狀聚甲基乙^l:氧烷、環(huán)狀聚甲基丙基硅氧烷、環(huán)狀聚甲基丁基硅氧烷等環(huán)狀硅氧烷，烷氧基改性、聚醚改性、氟改性、甲基苯乙烯基改性、高級(jí)脂肪酸酯改性、親水性特殊改性、高級(jí)烷氧基改性等非^Jl性基團(tuán)改性聚二甲基硅氧烷，氨基改性、環(huán)氡基改性、氣基改性、曱醇改性、曱基丙烯酰基改性、巰基改性、苯酚改性等反應(yīng)性基團(tuán)改性的聚二甲M氧烷以及它們的共聚物等。作為上述硅氧烷的市售品，可列舉例如，L-45(日本-二力一(林)制造)、SH200、510、550、710、705、1107(東W歹々:n—二;x歹(林)制造)、X—22-162C、3701E、3710、1821、164S、170DX、176DX、164A、4952、KF96、50、54、99、351、618、910、700、6001、6002、8010、KR271、282(信越化學(xué)工業(yè)(林)制造)等直鏈狀珪氧烷樹(shù)脂，VS-7158(日本:x二力一(林)制造)、BY11-003(東1^.夕、々n—二;y歹(株)10制造)等環(huán)狀珪氧烷樹(shù)脂，L-77、720、7001、7604、Y-7006、L-9300、FZ—2101、2110、2130、2161、3704、3711、3722、3703、3720、3736、3705、3760(日本工二力一(林)制造)、SF8427、8428、8413、8417、SH193、194、l卯、192、556、3746、3749、3771、8400、SRX280A、BY16-036、-848、—828、-853B、-855B、-839、-845、—752、-750、-838、-150B、BX16-854、-866、SF8421EG、SH28PA、SH30PA、ST89PA、ST103PA(東^二:/歹(林)制造)、ES1001N、1023、X-22-161、-163、-169、-162、-164、KF-860、-101、-102、-6001、-6011、-6015、-8001、-351、-412、-910、-905(信越化學(xué)工業(yè)(林)制造)等改性硅氧烷樹(shù)脂，F(xiàn)S1265(東lx.y々:n—二y歹(林)制造)、X-22-820、FL100(信越化學(xué)工業(yè)(林)制造)等氟改性珪氧烷樹(shù)脂，F(xiàn)Z-2203、2207、2222(日本工二力一(林)制造)等聚硅氧烷與聚環(huán)氧烷的共聚物。上述硅氧烷化合物中，特別是從與(A)成分(堿溶性樹(shù)脂)的相溶性、在顯影液中的溶解性以及非膝光區(qū)域(遮光部分)即殘存圖案上面部分的拒水性方面來(lái)看，優(yōu)選按照聚苯乙烯換算的數(shù)平均分子量(以下稱(chēng)為Mn)為2000以下的化合物。另一方面在Mn小的情況下，由于非瀑光區(qū)域(遮光部分)表面有時(shí)不能充分獲得拒水性，因此Mn優(yōu)選為100以上。其中更優(yōu)選粘度為5~100cst的化合物。在本發(fā)明中也可以并用多種這樣的硅氧烷化合物。(B)成分的硅氧烷化合物的用量，相對(duì)于100質(zhì)量份(A)成分(堿溶性樹(shù)脂)優(yōu)選為0.1~30質(zhì)量份，更優(yōu)選為1~20質(zhì)量份，特別優(yōu)選3~15質(zhì)量份。(B)成分化合物的用量如果是不足上述范圍的下限的量，有時(shí)圖案表面上的拒水性容易變得不充分，另外形成的空孔尺寸過(guò)小。另一方面，(B)成分化合物的用量如果是超過(guò)上述范圍的量，則在形成涂膜時(shí)有時(shí)發(fā)生泛白或膜不均勻。在本發(fā)明中，通過(guò)適當(dāng)選擇(B)成分的種類(lèi)及其使用比例，可以控制涂膜中形成的空孔的尺寸。<(c)成分>作為(C)成分的1，2-醌二疊氮化合物，可以4吏用含有羥基或M中的任一種或者兩種的化合物，可以使用這些羥基或氨基(在含有羥基和氨基兩者時(shí)為其總量)中，優(yōu)選10~100摩爾％、特別優(yōu)選20~95摩爾°/。用1，2-醌二疊氮磺酸進(jìn)行了酯化或者酰胺化的化合物。作為上述含有羥基的化合物，可列舉例如，苯酚、鄰甲酚、間甲酚、對(duì)甲酚、氫醌、間苯二酚、鄰苯二酚、沒(méi)食子酸甲酯、沒(méi)食子酸乙酯、1,3，3—三(4-羥基^10丁烷、4，4-異亞丙基聯(lián)苯酚、2，2-二(4一羥基苯基)丙烷、1，1-二(4-鞋基苯基)環(huán)己烷、4，4，-二羥基苯基砜、4，4-六氟異亞丙基聯(lián)苯酚、4,4，，4，，-三羥基苯基乙烷、1，1，1一三羥基苯基乙烷、4,4，國(guó)[1一[4一[1一(4-羥基苯基)一l一甲基乙基笨基]亞乙基l雙酚、2，4-二羥基二苯甲酮、2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，2，，4，4，-四羥基二苯曱酮、2，3，4，4，-四羥基二苯甲酮、2，2，，3，4，4，國(guó)五羥基二苯曱酮、2，5-二(2-羥基-5-甲基節(jié)基)甲基等酚化合物，乙醇、2-丙醇、4-丁醇、環(huán)己醇、乙二醇、丙二醇、二甘醇、二丙二醇、2-甲氧基乙醇、2-丁氡基乙醇、2-甲氡基丙醇、2-丁氡基丙醇、乳酸乙酯、乳酸丁酯等脂肪族醇類(lèi)。另外，作為上述含有氨基的化合物，可列舉，苯胺、鄰甲苯胺、間甲苯胺、對(duì)曱苯胺、4-^二苯基曱烷、4-M二苯基、鄰苯二胺、間苯二胺、對(duì)苯二胺、4，4，-二M苯基甲烷、4,4，-二氨基二苯基醚等苯胺類(lèi)，氨基環(huán)己烷。還有，作為含有羥基和氨基兩者的化合物，可列舉例如，鄰氨基苯酚、間氨基苯酚、對(duì)氨基苯酚、4-氨基間苯二酚、2，3-二氨基苯酚、2，4-二絲苯酚、4，4，-二絲-4，，-羥基三苯基甲烷、4-絲-4，，4，，-二羥基三苯基曱烷、二(4-絲-3-絲-5-羥基苯基)醚、二(4-氨基-3-絲-5-幾基苯基)甲烷、2,2-二(4-氨基-3-絲-5-羥基苯基)丙烷、2,2-二(4-絲-3-絲-5-羥基苯基)六氟丙烷等氨基苯酚類(lèi)，2-氨基乙醇、3-M丙醇、4-氨基環(huán)己醇等鏈烷醇胺類(lèi)。這些1,2-醌二疊氮化合物可以單獨(dú)〗吏用或者組合2種以上^f吏用。本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物中(C)成分的含量，相對(duì)于100質(zhì)量份(A)成分，優(yōu)選為5100質(zhì)量份，更優(yōu)選為8~50質(zhì)量份，進(jìn)而優(yōu)選為10~40質(zhì)量份。在不足5質(zhì)量份的情況下，正型感光性樹(shù)脂組合物的瀑光部分與未瀑光部分在顯影液中的溶解速度差變小，有時(shí)通過(guò)顯影形成圖案困難。另外如果超過(guò)100質(zhì)量份，由于短時(shí)間的曝光不能使得l，2-醌二疊氮化合物充分分解，因此有時(shí)感光度降低，或者(C)成分吸收光導(dǎo)致固化膜的透明性降低。<D成分>(D)成分是對(duì)(A)成分具有交聯(lián)性的化合物。作為這樣的具有交聯(lián)性的化合物，可列#^有羥甲基、曱lt^曱基等交聯(lián)形成取^fm的蜜胺系化合物或取代脲系化合物，含有環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基等交聯(lián)形成取^im的化合物，以及含有封端化異氰酸酯的化合物等。另外(D)成分的交聯(lián)性化合物是具有至少2個(gè)交聯(lián)形成取代基的化合物，從耐熱性、保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選^^有環(huán)lL^或氧雜環(huán)丁烷基的化合物。作為這樣的化合物，可列舉例如，三(2，3-環(huán)氧基丙基)異氰脲酸酯、l,4-丁二醇二縮水甘油醚、1，2-環(huán)氧基-4-(環(huán)氧基乙基)環(huán)己烷、甘油三縮7JC甘油醚、二甘醇二縮7jc甘油醚、2，6-二縮水甘油基苯基縮水甘油醚、1,1，3-三[對(duì)-(2，3-環(huán)氡基丙氡基)苯基丙烷、1,2-環(huán)己烷二羧酸二縮7JC甘油酯、4，4，-亞甲基二(N,N-二縮水甘油基苯胺)、3，4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基-3，4-環(huán)氧基環(huán)己烷羧酸酯、三羥甲基乙烷三縮7JC甘油醚和雙酚_A-二縮7jc甘油醚，以及季戊四醇聚縮7JC甘油醚等。另外，作為含有至少兩個(gè)環(huán)氧基的化合物，可以使用含有環(huán)氡基的聚合物。作為這樣的聚合物，只要是具有環(huán)氧基的聚合物即可以使用，沒(méi)有特別地限制。這樣的聚合物可以通過(guò)使用含有環(huán)ftj^的加聚性單體的加聚來(lái)制造，另外也可以通過(guò)含有羥基的高分子化合物與表氯醇、曱苯磺酸縮7JC甘油基酯等含有環(huán)氧基的化合物反應(yīng)來(lái)制造。例如可列舉，聚縮7JC甘油基丙烯酸酯、甲基丙烯酸縮水甘油基酯和甲基丙烯酸乙酯的共聚物、甲基丙烯酸縮7^甘油基酯和苯乙烯和甲基丙烯酸-2-羥乙酯的共聚物等加聚聚合物，環(huán)lL基酚醛清漆等縮聚聚合物。作為這種聚合物的重均分子量，例如為300~200000。其中優(yōu)選下式(1)表示的含有2個(gè)以上環(huán)氡基的化合物。(式中，k是210的整數(shù)，m表示04的整數(shù)，R表示k價(jià)的有機(jī)基團(tuán))另外，作為具有至少2個(gè)環(huán)氡基同時(shí)具有氨基的環(huán)氧樹(shù)脂，可列舉YH-434、YH434L(東都化成(林)制造)，作為具有環(huán)己烯氧化物結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹(shù)脂，可列舉工求U—KGT-401、工求U—KGT-403、工求!J一KGT-301、工求y—FGT—302、ir口年廿^TK2021、^口年廿一K3000(^一七/l^化學(xué)工業(yè)(林)制造)，作為雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂，可列舉工匕?！骋徊?現(xiàn)為jER)1001、工匕°〕一卜1002、工匕。^一卜1003、工匕°3—卜1004、工匕。n—卜i007、工tf〕一卜1009、工匕。3一卜1010、工匕?！骋徊?28(以上為^亇八°:/工求年、>1/^:/(林)制造)等，作為雙酚F型環(huán)氧樹(shù)脂，可列舉工匕。:n—卜(現(xiàn)為jER)807(^亇Ay工求年^!/^y(林)制造)等，作為苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂，可列舉工匕。rt一卜(現(xiàn)為jer)152、工匕。3—卜154(以上為、:？亇/《:/工求年、乂i/、:^:/(抹)制造)、eppn201、eppn202(以上為日本化藥(林)制造)等，作為甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂，可列舉EOCN-102、EOCN-103S、EOCN-104S、EOCN—1020、EOCN-1025、EOCN-1027(以上為日本化藥(林)制造)、工匕。3—卜(現(xiàn)為jER)180S75(、2卞/《:/工求年、>1^:^:/(株)制造)，作為脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂，可列舉f于〕—少EX-252(于^ir^r厶亍、;/夕7(林)制造)、CY175、CY177、CY179(以上為CIBA—GEIGYA.G制造)、7，^^V卜CY-182、卜CY-192、7，/1^^<卜CY-184(以上為CIBA-GEIGYA.G制造)、工匕°夕口V200、工匕。夕口y400(以上為大日本O年工業(yè)(林)制造)、工匕。〕一卜(現(xiàn)為jER)871、工匕?！骋徊?72(以上^卞八。乂工求年^l^i^:/(株)制造)、ED-5661、ED-5662(以上i，二一乂〕一亍^乂^(林)制造)等，作為脂肪族聚縮7JC甘油醚，可列舉f于3—/1^EX-611、f于3—/kEX-612、^于3—少EX-614、f、亍3—622、f于3—/PEX-411、f亍3—/kEX-512、f于〕一/l^EX-522、，于〕一/kEX-421、，于3—汝EX—313、f于3—/kEX-314、，、于^—EX-321(于^fir^r厶于5/夕7(林)制造)等。這些交聯(lián)性化合物可以單獨(dú)使用或者2種以上組合使用。另外(D)成分化合物的用量相對(duì)于100質(zhì)量份(A)成分的堿溶性樹(shù)脂，為1~80質(zhì)量份，優(yōu)選5~40質(zhì)量份。(D)成分化合物的用量如果是不足上述范圍下限的過(guò)少量，則熱固化不充分，得不到滿意的固化膜，另一方面，如果(D)成分化合物的用量是超過(guò)上述范圍上限的過(guò)多量，則顯影變得不充分，會(huì)產(chǎn)生顯影殘?jiān)?lt;(E)溶劑>本發(fā)明中使用的(E)溶劑是溶解(A)成分~(C)成分和(D)成分，并且溶解根據(jù)需要添加的后述(F)成分~(H)成分等的溶劑，只要是具有這樣的溶解性能的溶劑即可，對(duì)其種類(lèi)和結(jié)構(gòu)等不特別限制。作為這樣的(E)溶劑，可列舉例如，乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二甘醇單甲醚、二甘醇單乙醚、丙二醇、丙二醇單甲醚、丙二醇單曱醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、甲苯、二甲苯、甲乙酮、環(huán)戊酮、環(huán)己酮、2-庚酮、Y-丁內(nèi)酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、乙氡基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-鞋基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氡基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氡基丙酸乙酯、3-乙氡基丙酸曱酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺和N—甲基吡咯烷酮等。這些溶劑可以單獨(dú)4吏用1種或者2種以上組合^f吏用。這些(E)溶劑中，從涂膜性良好并且安全性高的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、2-庚S同、丙二醇丙基醚、丙二醇丙基醚乙酸酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯等。這些溶劑一般作為用于光致抗蝕劑材料的溶劑使用。<F成分>(F)成分是除了(A)成分以外的其它堿溶性樹(shù)脂。本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物中，在不損害本發(fā)明效果的限度內(nèi)，還可以含有基于100質(zhì)量份(A)成分為1~卯質(zhì)量份的除(A)成分以外的其它堿溶性樹(shù)脂。作為這樣的(F)成分，可列舉例如，除(A)成分以外的丙烯酸類(lèi)樹(shù)脂和羥基苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、苯酚酚醛清漆樹(shù)脂、聚酰胺樹(shù)脂、聚酰亞胺前體、聚酰亞胺樹(shù)脂等。<G成分>(G)成分是表面活性劑。為了提高涂敷性，在不損害本發(fā)明效果的限度內(nèi)，在本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物中還可以含有表面活性劑。作為(G)成分的表面活性劑，沒(méi)有特別地限制，可列舉例如，氟類(lèi)表面活性劑、硅酮類(lèi)表面活性劑、非離子類(lèi)表面活性劑等。作為這種表面活性劑，可以使用例如，住友xy—工厶(株)制造、大日本一y年化學(xué)工業(yè)(林)制造或旭硝子(林)制造等的市售品。這些市售品由于容易獲得，因此都適合。作為其具體的例子，可列舉，工7卜、乂:/EF301、EF303、EF352((林)^工厶3(制造))、>力、77、乂夕F171、F173(大日本一y斧化學(xué)工業(yè)(林)制造)、7口，—KFC430、FC431(住友7U—工厶(林)制造)、7步匕^—K、AG710、f"—7口yS-382、SCIOI、SC102、SC103、SC104、SC105、SC106(旭硝子(林)制造)等氟類(lèi)表面活性劑。(G)成分的表面活性劑可以單獨(dú)j吏用l種或者2種以上組合^^用。在使用表面活性劑的情況下，其含量在正型感光性樹(shù)脂組合物100質(zhì)量％中通常為0.2質(zhì)量％以下，優(yōu)選為0.1質(zhì)量％以下。即^f吏將(G)成分的表面活性劑的用量設(shè)定為超過(guò)0.2質(zhì)量％的量，上述涂敷性的改良效果也不明顯，變得不經(jīng)濟(jì)。<h成分>(h)成分是助粘劑。為了提高與顯影后的基板的粘合性，本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物還可以添加助粘劑。作為這樣助粘劑的具體例子，可列舉，三甲基氯珪烷、二甲基乙烯基氯珪烷、甲基二苯基氯硅烷、氯甲基二甲基氯硅烷等氯硅烷類(lèi)，三甲基甲氧M烷、二甲基二乙氧M烷、甲基二曱IU^烷、二曱基乙烯基乙氧M烷、二苯基二甲IU^烷、苯基三乙lL^硅烷等烷氧基硅烷類(lèi)，六曱基二硅氮烷、N，N，-二(三甲基曱硅烷基)脲、二曱基三甲基甲硅烷基胺、三曱基甲硅烷基咪唑等硅氮烷類(lèi)，乙烯基三氯硅烷、y-M丙基三乙lLi^烷、y-甲基丙烯酰lL^丙基三乙氧基硅烷、y-環(huán)氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、y-(N-哌啶基)丙基三乙氧基硅烷等硅烷類(lèi)，苯并三唑、苯并咪唑、吲唑、咪唑、2-巰基苯并咪唑、2—巰基苯并噻唑、2—巰基苯并噁唑、尿唑、硫尿嘧啶、巰基咪唑、巰基嘧啶等雜環(huán)狀化合物，以及l(fā)，l-二甲基脲、1，3-二曱基脲等脲或者硫脲化合物。上述助粘劑，可以使用例如，信越化學(xué)工業(yè)(林)制造、GE東芝、乂y3—>(抹)制造和東W二y歹(株)制造等的市售品化合物，這些市售品可以容易地獲得。作為(h)成分，可以使用上述助粘劑中的1種或者2種以上組合使用。這些助粘劑的添加量，相對(duì)于100質(zhì)量份(A)成分，通常為20質(zhì)量份以下，優(yōu)選為0.01~10質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.5~10質(zhì)量份。如果使用20質(zhì)量份以上，則涂膜的耐熱性有時(shí)降低，另外如果不足0.1質(zhì)量份，則有時(shí)不能得到助粘劑的充分效果。<其它添加劑>另外，在不損害本發(fā)明效果的限度內(nèi)，根據(jù)需要，本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物中還可以含有流變調(diào)節(jié)劑、顏料、染料、保存穩(wěn)定劑、消泡劑或者多元酚、多元羧酸等助溶劑等。<正型感光性樹(shù)脂組合物>本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物是下述的組合物，其含有(A)成分的堿溶性樹(shù)脂、(B)成分的硅氧烷化合物、(C)成分的1，2-醌二疊氮化合物、(D)成分的交聯(lián)性化合物和(E)溶劑，并且根據(jù)各自所需還可以含有(F)成分的其它堿溶性樹(shù)脂、(G)成分的表面活性劑、(H)成分的助粘劑以及其它添加劑中l(wèi)種以上。其中，本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物的優(yōu)選例子如下所述。的組合物中，基于100質(zhì)量份(A)成分還含有1~卯質(zhì)量份(F)成分的正型感光性樹(shù)脂組合物。:在上述[1或[2的組合物中，基于100質(zhì)量份(A)成分還含有0.2質(zhì)量％以下(G)成分的正型感光性樹(shù)脂組合物。、[2或[3的組合物中，基于100質(zhì)量份(A)成分還含有0.5~10質(zhì)量份(H)成分的正型感光性樹(shù)脂組合物。本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物中固體成分的比例，只要各成分均勻地溶解在溶劑中即不特別限定，例如為1~80質(zhì)量％，另外例如為5~60質(zhì)量％，或者為10~50質(zhì)量％。這里所謂固體成分是指從正型感光性樹(shù)脂組合物的全部成分中除去(E)溶劑后的成分。對(duì)本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物的調(diào)制方法不特別限制，作為其調(diào)制方法，可列舉例如，將(A)成分(堿溶性樹(shù)脂)溶解在(E)溶劑中，在該溶液中按照規(guī)定的比例混合(B)成分(硅氧烷化合物)、(C)成分(1，2-醌二疊氮化合物)和(D)成分(交聯(lián)性化合物)形成均勻溶液的方法，或者在該調(diào)制法的適當(dāng)階段中，根據(jù)需要再添加(F)成分(其它堿溶性樹(shù)脂)、(G)成分(表面活性劑)、(H)成分(助粘劑)和其它添加劑進(jìn)行混合的方法。在調(diào)制本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物時(shí)，可以直接使用通過(guò)在(E)溶劑中聚合反應(yīng)得到的特定共聚物的溶液，這時(shí)當(dāng)向該(A)成分的溶液中與上述同樣加入(B)成分、(C)成分、(D)成分等形成均勻溶液時(shí)，為了調(diào)節(jié)濃度可以再追加投入(E)溶劑。這時(shí)，特定共聚物形成過(guò)程中使用的(E)溶劑與正型感光性樹(shù)脂組合物調(diào)制時(shí)用于調(diào)節(jié)濃度的(E)溶劑可以相同，也可以不同。而且，調(diào)制成的正型感光性樹(shù)脂組合物的溶液優(yōu)選在使用孔徑為0.2ium左右的過(guò)濾器等過(guò)濾后使用。<涂膜及固化膜>在半導(dǎo)體a(例如硅/二氧化硅包^^、氮化硅基板、^r屬例如鋁、鉬、鉻等包覆的基板、玻璃基板、石英基板、ITOl^L等)上，通過(guò)旋涂、流涂、輥涂、狹縫涂敷、狹縫涂布后旋涂、噴墨涂敷等涂敷本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物，然后通過(guò)熱板或烘箱等預(yù)干燥，可以形成涂膜。然后通過(guò)加熱處理該涂膜，形成正型感光性樹(shù)脂膜。作為該加熱處理的條件，釆用例如適當(dāng)選自溫度70"C~160X:、時(shí)間0.3~60分鐘的范圍中的加熱溫度和加熱時(shí)間。加熱溫度和加熱時(shí)間優(yōu)選為80"€~140匸、0.5~10分鐘。另外，由正型感光性樹(shù)脂組合物形成的正型感光性樹(shù)脂膜的膜厚，例如為0.130inm，另外例如0.210Mm，進(jìn)而例如為0.2~5pm。通過(guò)在上述得到的涂膜上安裝具有規(guī)定圖案的掩模，并照射紫外線等光，在堿顯影液中顯影，沖洗膝光部分，可以得到端面鋒利的起伏圖案。作為可以使用的堿性顯影液，可列舉例如，氫氧化鉀、氫氧化鈉等堿金屬氬氧化物的水溶液，氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、膽堿等氫氧化季銨的水溶液，乙醇胺、丙胺、乙二胺等胺水溶液等堿性水溶液。另夕卜，這些顯影液中還可以加入表面活性劑等。上述中，0.1~2.38質(zhì)量％氫氧化四乙基銨的水溶液一船:作為光致抗蝕劑的顯影液使用，在本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中也使用該堿性顯影液，不會(huì)引起膨脹等問(wèn)題，能夠良好地顯影。另外作為顯影方法，可以^^用液盛法、浸漬法、搖動(dòng)浸漬法等任意一種。這時(shí)的顯影時(shí)間通常為15~180秒。顯影后，使用流水對(duì)正型感光性樹(shù)脂膜進(jìn)行例如20~90秒的洗滌，接著使用壓縮空氣或壓縮氮?dú)饣蛘咄ㄟ^(guò)旋轉(zhuǎn)風(fēng)干，除去基敗上的水分，從而得到形成圖案的膜。接著，對(duì)這樣的圖案形成膜，通過(guò)進(jìn)行用于熱固化的后烘干，具體地講通過(guò)使用熱板、烘箱等進(jìn)行加熱，從而得到耐熱性、透明性、平坦化性、低吸7jc性、耐化學(xué)性等優(yōu)異，并具有良好的起伏圖案的膜。作為后烘千，一般釆用選自140t:250"C溫度范圍中的加熱溫度，在熱板上處理530分鐘，在烘箱中處理30~90分鐘的方法。而且，通過(guò)這樣的后烘干，可以得到具有良好圖案形狀的目標(biāo)固化膜。如上所述，通過(guò)本發(fā)明的正型感光性樹(shù)脂組合物，可以形成有充分的高感光度并且顯影時(shí)未曝光部分的膜減非常小、具有微細(xì)圖案的多孔質(zhì)涂膜。另外，由該涂膜得到的固化膜是多孑L質(zhì)的，具有下述特征耐熱性、耐溶劑性優(yōu)異，膜表面具有高拒水性，經(jīng)過(guò)連續(xù)等離子體處理后其拒水性也不會(huì)受到較大損害。因此，能夠適用于液晶顯示器或有機(jī)EL顯示器中的各種膜，例如劃分4象素用的邊沿、層間絕緣膜、保護(hù)膜、絕緣膜等，同時(shí)也適用于TFT型液晶元件的陣列平坦化膜等用途。實(shí)施例下面列舉實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)地說(shuō)明，但是本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。進(jìn)行以下評(píng)價(jià)，結(jié)果顯示在下表2中。<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>正如M2中所示的結(jié)果可以判斷的那樣，實(shí)施例1~4的正型感光性樹(shù)脂組合物均是高感光度，未曝光部分中的膜減非常小，在UV等離子體處理前后表面均具有高拒水性，另外在膜中形成空孔，顯示低介電常數(shù)。對(duì)于比較例2~4，正型感光性樹(shù)脂組合物的溶液穩(wěn)定性低，不能獲得均勻的溶液。另外對(duì)于比較例6，雖然得到了的均勻溶液，#室溫*中發(fā)生了凝膠化。比較例1的正型感光性樹(shù)脂組合物雖然具有高感光度，未曝光部分中的膜減也小，但是膜表面的拒水性及等離子體處理耐性低，另外膜中也未形成空孔。比較例5和7的正型感光性樹(shù)脂組合物雖然具有高感光度，未曝光部分中的膜減也小，另外可以獲得高拒水性，但是UV等離子體耐性低，另外膜中未形成空孔，也沒(méi)有觀察到介電常數(shù)降低。工業(yè)上的可利用性本發(fā)明中的正型感光性樹(shù)脂組合物適合作為形成薄膜晶體管(TFT)型液晶顯示元件、有機(jī)EL元件等各種顯示器中的保護(hù)膜、平坦化膜、絕緣膜等固化膜的材料，特別適合作為形成TFT型液晶元件的層間絕緣膜、濾色器的保護(hù)模、陣列平坦化膜、反射型顯示器的反射膜下側(cè)的凹凸膜、有機(jī)EL元件的絕緣膜等的材料，另外也適合作為顯微透鏡材料等各種電子材料。權(quán)利要求1.一種正型感光性樹(shù)脂組合物，含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分以及(E)溶劑，(A)成分(i)與(ii)共聚得到的堿溶性樹(shù)脂，(i)不飽和羧酸，(ii)選自丙烯酸酯化合物、甲基丙烯酸酯化合物、馬來(lái)酰亞胺化合物、丙烯腈、馬來(lái)酸酐、苯乙烯化合物和乙烯基化合物中1種以上的化合物，(B)成分?jǐn)?shù)均分子量為100～2000的硅氧烷化合物，(C)成分1，2-醌二疊氮化合物，(D)成分交聯(lián)性化合物，(E)溶劑。2.如權(quán)利要求1所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，(A)成分的堿溶性樹(shù)脂的數(shù)均分子量按聚苯乙烯換算為2000~30000。3.如權(quán)利要求1或2所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于(D)成分的交聯(lián)性化合物是含有2官能以上環(huán)氧基的化合物。4.如權(quán)利要求1~3任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，(D)成分的交聯(lián)性化合物是式(1)表示的化合物，式中，k是210的整數(shù)，m表示04的整數(shù)，R表示k價(jià)的有機(jī)基團(tuán)。5.如權(quán)利要求1~4任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，(E)溶劑含有選自丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、2-庚酮、丙二醇丙基醚、丙二醇丙基醚乙酸酯、乳酸乙酯和乳酸丁酯中至少l種溶劑。6.如權(quán)利要求1~5任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，基于100質(zhì)量份(A)成分，含有0.1~30質(zhì)量份的(B)成分、5~IOO質(zhì)量份的(C)成分和1~80質(zhì)量份的(D)成分。7.如權(quán)利要求1~6任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，在正型感光性樹(shù)脂組合物中還含有0.2質(zhì)量％以下作為(G)成分的表面活性劑。8.使用權(quán)利要求1~7任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物得到的固化膜。9.有機(jī)EL顯示元件用的隔片材料，具有權(quán)利要求8所述的固化膜。10.液晶顯示元件，具有權(quán)利要求8所述的固化膜。11.液晶顯示器用陣列平坦化膜，由權(quán)利要求8所述的固化膜形成。12.層間絕緣膜，由權(quán)利要求8所述的固化膜形成。全文摘要本發(fā)明的目的是提供感光性樹(shù)脂組合物，其能夠容易地以高精度和高產(chǎn)量形成膜圖案，該膜圖案即使在等離子體等處理后圖案表面也具有高拒水性，并且具有絕緣性，并提供使用這樣的正型感光性樹(shù)脂組合物得到的、適合用于各種顯示器膜材料中的固化膜。本發(fā)明解決問(wèn)題的方法是，提供正型感光性樹(shù)脂組合物，其含有(A)成分(i)與(ii)共聚得到的堿溶性樹(shù)脂，(i)不飽和羧酸，(ii)選自丙烯酸酯化合物、甲基丙烯酸酯化合物、馬來(lái)酰亞胺、丙烯腈、馬來(lái)酸酐、苯乙烯化合物和乙烯基化合物中1種以上的化合物，(B)成分?jǐn)?shù)均分子量為100～2000的硅氧烷化合物，(C)成分1，2-醌二疊氮化合物，(D)成分交聯(lián)性化合物，(E)溶劑，并提供使用該組合物得到的固化膜。文檔編號(hào)G03F7/004GK101443704SQ200780017560公開(kāi)日2009年5月27日申請(qǐng)日期2007年5月16日優(yōu)先權(quán)日2006年5月16日發(fā)明者畑中真申請(qǐng)人:日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社