專利名稱：：使用半曝光用正型感光性樹脂層的透明性固化膜的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及使用正型感光性樹脂層而得的透明性固化膜的制造方法。詳細(xì)地說，涉及將在基材上形成的曝光靈敏度不同的兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行曝光，最后經(jīng)過后烘的工序，從而制造透明性固化膜的方法。其中，可以用于通過將具有上述結(jié)構(gòu)的感光性樹脂層進(jìn)行半曝光，從而以高精度制作任意形狀的反射層和平坦的透射層以及接觸孔的方法，特別地涉及在制造半透射型液晶顯示元件時(shí)的應(yīng)用。
背景技術(shù)：
：一般來說，薄膜晶體管(TFT)型液晶顯示元件有反射型、半透射型、透射型的結(jié)構(gòu)等，可分別根據(jù)使用的器件而適當(dāng)選擇。其中尤其較多使用在室內(nèi)外不分晝夜都可以高精細(xì)地顯示的半透射型。在這樣的半透射型液晶顯示元件中，為了將TFT進(jìn)行平坦化并加寬開口率而使用平坦化膜。在這樣的平坦化膜上，為了保持反射部分的光散射性而提高反射效率，故而在表面制作不規(guī)則的凹凸。在該凹凸上將鋁、鉬那樣的金屬作為反射板和像素電極來進(jìn)行制膜。另一方面，在透射部使用ITO那樣的透明電極作為像素電極。為了使這些像素電極與共用電極導(dǎo)通而在平坦化膜上形成接觸孔。作為制作這樣的凹凸和接觸孔的方法，多使用下述方法，即通過使用感光性材料在a上制作厚膜突起，在其上進(jìn)一步涂布感光性材料將突起進(jìn)行一定程度的平坦化，從而制作反射用凹凸，然后形成接觸孔。但是，由于這樣的方法需要2次使用感光性材料來形成圖案，故而不能提高元件制造的產(chǎn)量(生產(chǎn)效率)，因此，要求提高該產(chǎn)量。因此近年來，人們提出并逐漸采用了在涂布感光性材料之后，通過介由半色調(diào)掩模進(jìn)行曝光(半曝光)來同時(shí)制作接觸孔和反射用凹凸的方法。這里所使用的感光性材料要求下述諸特性耐熱性、耐溶劑性等耐加工性優(yōu)異，與基底的粘附性良好，具有根據(jù)使用目的而在各種加工條件下能夠形成高精度的圖案的較寬加工裕量(margin)，而且是高靈敏度且高透明性的，并且在顯影之后膜不均勻較少，等等。因此，從這些要求特性的方面出發(fā)，一直以來，作為上述感光性材料，通用含有萘醌二疊氮化物的感光性樹脂組合物。然而，作為該感光性樹脂材料所要求的特性中重要的特性，可列舉靈敏度和加工裕量。因?yàn)殪`敏度的提高，可以使在顯示器元件等的工業(yè)生產(chǎn)中大幅縮短其生產(chǎn)時(shí)間，所以，在液晶顯示器的需要量顯著增大的現(xiàn)狀下，靈敏度已經(jīng)成為這種感光性樹脂材料所要求的最重要的特性之一。另外，為了按照設(shè)計(jì)形成高精度的反射層，加工裕量是重要的，近年來隨著141大型化，從提高合格率的方面出發(fā)，曝光裕量、顯影裕量必須較寬。但是，含有上述萘醌二疊氮化物的現(xiàn)有感光性樹脂材料，在靈敏度方面并不能充分滿足。雖然可以通過提高材料中的聚合物在堿性顯影液中的溶解性來提高靈敏度，但該方法存在界限，還有下述缺點(diǎn)，即未曝光部也發(fā)生溶解而殘膜率下降，這對于大型顯示器用基板，是造成膜不均勻的原因。因此，到目前為止，為了將感光性樹脂材料進(jìn)行高靈敏度化而提出了幾個(gè)方案。例如，有人提出了放射線敏感性樹脂組合物，其中含有堿溶性樹脂和特定的多羥基化合物及其衍生物的至少一種(例如，參考專利文獻(xiàn)l)，但是含有萘醌二疊氮化物的現(xiàn)有感光性樹脂材料，在介由半色調(diào)掩模進(jìn)行曝光時(shí)，越進(jìn)行高靈敏度化，半曝光區(qū)域的曝光裕量越有降低的傾向，不能同時(shí)實(shí)現(xiàn)高靈敏度和曝光裕量的提高。另一方面，作為高靈敏度、高分辨率的感光性材料，現(xiàn)在人們開發(fā)了化學(xué)放大型抗蝕劑，并提出了，作為半導(dǎo)體用抗蝕劑而開發(fā)出的現(xiàn)有化學(xué)放大型抗蝕劑，還可以用于比i線波長短的光源(KrF、ArF),可以形成更微細(xì)的圖案(例如，參考專利文獻(xiàn)2)。但是，即使是上述的化學(xué)放大型抗蝕劑，在膜固化所使用的那樣的高溫下，以及在抗蝕劑剝離液存在下，保護(hù)基的結(jié)合部位、醚鍵的熱交聯(lián)部位也容易分解，故而耐熱性和耐化學(xué)性顯著低下，幾乎不可能作為永久膜來使用。另外，即使是為了能夠熱固化而要將環(huán)氧類、氨基塑料類的交聯(lián)體系導(dǎo)入化學(xué)放大型抗蝕劑中，也由于通過膝光而由抗蝕劑中的光產(chǎn)酸劑(以下，也稱為PAG)產(chǎn)生的酸的影響，而產(chǎn)生曝光部進(jìn)行交聯(lián)、與未曝光部的溶解對比消失等新問題，因此難以將該交聯(lián)體系導(dǎo)入化學(xué)放大型抗蝕劑。在這樣的狀況中，在制造半透射型液晶顯示元件，特別是制造平坦化膜時(shí)，通過調(diào)整半曝光用^H莫圖案的開口部口徑、間隔來進(jìn)行曝光，從而形成接觸孔、反射用凹凸圖案。但是，掩模的調(diào)整量有限，為了精度良好地形成凹凸圖案，必須降低平坦化膜的曝光靈敏度。因此為了形成接觸孔，必須增大膝光量，其結(jié)果是，難以提高制造元件的產(chǎn)量。專利文獻(xiàn)l:特開平4-211255號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:美國專利第5075199號(hào)說明書
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是，為了克服如上所述的問題，而提供在維持高靈敏度的狀態(tài)下具有較寬曝光裕量(margin)的透明性固化膜的制造方法。本發(fā)明的目的尤其是提供一種透明性固化膜的制造方法，所述透明性固化膜可以在制造半透射型液晶顯示元件中的TFT平坦化膜時(shí)應(yīng)用，特別是用于通過半啄光而同時(shí)形成接觸孔和反射用凹凸。即，作為第一方案是，一種透明性固化膜的制造方法，該制造方法包括下述工序在基材上疊層曝光靈敏度不同的兩層正型感光性樹脂層、使得低靈敏度的正型感光性樹脂層位于所述基材與高靈敏度的正型感光性樹脂層之間的工序，將該疊層后的兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行曝光的工序，將該兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行曝光后加熱的工序，將該兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行顯影的工序，將該兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行后烘烤的工序，該透明性固化膜的制造方法的特征在于，該低靈敏度的正型感光性樹脂層是含有下述的(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分的正型感光性樹脂層，(A)成分為堿溶性樹脂，(B)成分為1分子中具有兩個(gè)以上乙烯基醚基的化合物，(C)成分為通過后烘烤與(A)成分進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)的化合物，(D)成分為光產(chǎn)酸劑。作為第二方案是，根據(jù)第一方案所述的透明性固化膜的制造方法，所述膝光是半啄光。作為第三方案是，根據(jù)第一方案或第二方案所述的透明性固化膜的制造方法，所述曝光后加熱在溫度80。C140。C下進(jìn)行，且所述后烘烤在溫度150。C270。C下進(jìn)行。作為第四方案是，根據(jù)第一方案~第三方案的任一項(xiàng)所述的透明性固化膜的制造方法，所述高靈敏度的正型感光性樹脂層是含有下述的(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分的正型感光性樹脂層，(A)成分為堿溶性樹脂，(B)成分為1分子中具有兩個(gè)以上乙烯基醚基的化合物，(C)成分為通過后烘烤與(A)成分進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)的化合物，(D)成分為光產(chǎn)酸劑。作為第五方案是根據(jù)第一方案~第四方案的任一項(xiàng)所述的透明性固化膜的制造方法，所述低靈敏度的正型感光性樹脂層中，基于100質(zhì)量份(A)成分，含有1~80質(zhì)量份所述(B)成分、170質(zhì)量份所述(C)成分和0.550質(zhì)量份所述(D)成分。作為第六方案是根據(jù)第一方案~第五方案的任一項(xiàng)所述的透明性固化膜的制造方法，基材是形成了TFT元件的基材。作為第七方案是一種TFT陣列平坦化膜，包括由第一方案~第五方案的任一項(xiàng)所述的制造方法得到的透明性固化膜。作為第八方案，是一種顯示元件，具有由第一方案第五方案的任一項(xiàng)所述的制造方法得到的透明性固化膜。作為第九方案，是一種液晶顯示元件，具有由第一方案~第五方案的任一項(xiàng)所述的制造方法得到的透明性固化膜。本發(fā)明所得的透明性固化膜，因?yàn)榫哂邪肫毓鈺r(shí)靈敏度高、且膝光裕量較寬等效果，所以特別適合在以高靈敏度同時(shí)精度良好地形成TFT平坦化膜的凹凸和接觸孔的半透射型液晶顯示元件的制造中使用。具體實(shí)施例方式本發(fā)明是一種透明性固化膜的制造方法，其特征在于，包括下述工序，即在基材上將曝光靈敏度不同的兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行疊層，使得低靈敏度的正型感光性樹脂層位于所述基材與高靈敏度的正型感光性樹脂層之間，然后將由該兩層形成的正型感光性樹脂層進(jìn)行曝光、曝光后加熱(PostExposureBake:PEB)、顯影、后烘烤。詳細(xì)地說，本發(fā)明是一種透明性固化膜的制造方法，該制造方法包括下述工序，即，在基材上形成低靈敏度的正型感光性樹脂層、進(jìn)而在該低靈敏度層上疊層高靈敏度的正型感光性樹脂層、從而將曝光靈敏度不同的兩層正型感光性樹脂層疊層在基材上的工序，將該疊層后的兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行啄光的工序，將該兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行曝光后加熱的工序，將該兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行顯影的工序，將該兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行后烘烤的工序，該透明性固化膜的制造方法的特征在于，該低靈敏度的正型感光性樹脂層是含有下述的(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分的正型感光性樹脂層，(A)成分為堿溶性樹脂，(B)成分為1分子中具有兩個(gè)以上乙烯基醚基的化合物，(C)成分為通過后烘烤與(A)成分進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)的化合物，(D)成分為光產(chǎn)酸劑。根據(jù)本發(fā)明的制造方法的，可以通過在基材上將曝光靈敏度不同的兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行疊層，從而在介由半色調(diào)掩模進(jìn)行曝光時(shí)，在高靈敏度的正型感光性樹脂層(以下，稱為高靈敏度層)與低靈敏度的正型感光性樹脂層(以下，稱為低靈敏度層)中形成不同的圖案形狀。即，根據(jù)本發(fā)明的制造方法，可以通過介由半色調(diào)掩模，利用l次曝光在高靈敏度層和低靈敏度層中形成不同的圖像形狀。在本發(fā)明中，由于按照使低靈敏度層位于所述基材與高靈敏度層之間那樣進(jìn)行疊層，故而在顯影時(shí)，作為未啄光部殘存高靈敏度層和低靈敏度層，在半曝光部、高靈敏度層被除去而殘存低靈敏度層，在完全曝光部、正型感光性樹脂層(高靈敏度層和低靈敏度層)完全被除去而基材露出。這里所說的半啄光部是可以以少于完全曝光部的膝光量進(jìn)行顯影，并能夠形成理想的圖像(image)的部分。為了得到理想的圖像，要求抑制疊層的低靈敏度層與高靈敏度層的混合。在所述兩層的混合的抑制不充分的情況下，低靈敏度層與高靈敏度層的界面變得不清晰，半曝光時(shí)難以得到理想的圖像。在本發(fā)明中，形成低靈敏度層時(shí)，通過涂布形成該層的正型感光性樹脂組合物的溶液，然后進(jìn)行預(yù)干燥(加熱處理)，從而使該樹脂組合物所含有的成分彼此進(jìn)行交聯(lián)，由此在基材上形成難溶于有機(jī)溶劑的膜。因此，之后在低靈敏度層上形成高靈敏度層時(shí)，即使涂布形成該層的正型感光性樹脂組合物溶液，低靈敏度層與高靈敏度層也不會(huì)發(fā)生混合。而且，在對高靈敏度層和低靈敏度層分別照射小于開始顯影所需的曝光量的光的情況下，顯影時(shí)膜減少被抑制，在照射開始顯影所需的曝光量的光之后，迅速顯影(高精度且高靈敏度的)是優(yōu)選的。這里，在半膝光部，顯影時(shí)低靈敏度層溶解結(jié)束時(shí)的曝光量與高靈敏度層開始溶解時(shí)的曝光量的差為半曝光裕量。這與高靈敏度層與低靈敏度層的靈敏度差密切相關(guān)，這兩層的靈敏度差越大則半曝光裕量越大。即，高靈敏度層的靈敏度越高，低靈敏度層的靈敏度越低，曝光裕量就越寬。為了得到高精度的圖像，優(yōu)選半曝光裕量為10mJ以上。另一方面，為了提高制造元件的產(chǎn)量，低靈敏度層具有一定程度的高靈敏度是重要的。這是因?yàn)?，如果為了提高半膝光裕量而過度增大低靈敏度層開始顯影所需的曝光量，則結(jié)果會(huì)降低低靈敏度層的靈敏度，反而造成產(chǎn)量降低。故而，作為低靈敏度層，優(yōu)選例如靈敏度較高的化學(xué)放大型感光層。因此，要求高靈敏度層是比高靈敏度的低靈敏度層更加高靈敏度的感光層，優(yōu)選靈敏度更高的化學(xué)放大型感光層。本發(fā)明所使用的正型感光性樹脂層如上所述，可以通過在形成所期望的圖像之后進(jìn)行后烘烤來得到透明的固化膜。以下對于更優(yōu)選的正型感光性樹脂層進(jìn)行敘述。<低靈敏度正型感光性樹脂層(低靈敏度層)>本發(fā)明所使用的低靈敏度層是由下述正型感光性樹脂組合物形成的，所述正型感光性樹脂組合物含有作為(A)成分的堿溶性樹脂、作為(B)成分的1分子中具有兩個(gè)以上乙烯基醚基的化合物、作為(C)成分的通過后烘烤與(A)成分進(jìn)行交M應(yīng)的化合物、以及作為(D)成分的光產(chǎn)酸劑。通常，低靈敏度層可以通過將上述正型感光性樹脂組合物在(E)溶劑中溶解而制成溶液形態(tài)，再將該溶液涂布在基材上并進(jìn)行干燥，從而形成。以下對于各成分進(jìn)行敘述。砜、二[4-(3-氨基-4-羥基苯氧基)苯基丙烷、2，2-二[4-(3-氨基-4-羥基苯氧基)苯基I六氟丙烷等具有酚性羥基的二胺化合物，1，3-二氨基-4-巰基苯、1，3-二氨基-5-巰基苯、1，4-二氨基-2-巰基苯、二(4-氨基-3-巰基苯基)醚、2，2-二(3-氨基-4-巰基苯基)六氟丙烷等具有苯石克酚基的二胺化合物，1，3-二M苯-4-磺酸、1，3-二M苯-5-磺酸、1，4-二氨基苯陽2-磺酸、二(4-氨基苯-3-磺酸)醚、4，4，-二氨基聯(lián)苯-3，3，-二磺酸、4，4，-二氨基-3，3，-二曱，苯-6，6，-二磺酸等具有磺酸基的二胺化合物。還可以列舉對苯二胺、間苯二胺、4，4，-亞曱基-二(2，6-乙基苯胺)、4，4，-亞甲基-二(2-異丙基-6-甲基苯胺)、4，4，-亞甲基-二(2，6-二異丙基苯胺)、2，4，6-三曱基-1，3-苯二胺、2，3，5，6-四甲基-1，4-苯二胺、鄰聯(lián)甲苯胺、間聯(lián)曱苯胺、3，3，，5，5，-四曱基聯(lián)苯胺、二[4-(3-氨基苯lL&)苯基砜、2，2-二[4-(3-氨基苯氧基)苯基丙烷、2，2-二[4-(3-氨基苯氧基)苯基六氟丙烷、4，4，-二氨基-3，3，-二曱基二環(huán)己基甲烷、4，4，-二絲二苯基醚、3，4-二絲二苯基醚、4，4，-二絲二苯甲烷、2，2-二(4-苯胺基)六氟丙烷、2，2-二(3-苯胺基)六氟丙烷、2，2-二(3-氨基-4-曱苯甲?；?六氟丙烷、1，4-二(4-氨基苯llJ0苯、1，3-二(4-氨基苯氧基)苯、二[4-(4-絲苯猛)苯基砜、2，2-二[4-(4-絲苯氧基)苯基丙烷、2，2-二[4-(4-氨基苯lL&)苯基六氟丙烷等二胺化合物?？梢詫?種或2種以上的這些化合物組合使用。本發(fā)明所使用的聚酰胺酸是由(a)四羧酸二酐化合物與(b)二胺化合物制造的情況下，優(yōu)選兩化合物的配合比，即〈(b)二胺化合物的總摩爾lt/(a)四羧酸二酐化合物的總摩爾數(shù)>為0.7~1.2。與通常的縮聚反應(yīng)一樣，該摩爾比越接近l則生成的聚酰胺酸的聚合度越大，因而分子量增加。另外，在過量使用二胺化合物進(jìn)行聚合時(shí)，可以使羧酸酐與剩余的聚酰胺酸的末端^J^進(jìn)行反應(yīng)從而保護(hù)末端氨基。作為這樣的羧酸酐的例子，可以列舉鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐、馬來酸酐、萘二甲酸酐、氬化鄰苯二甲酸酐、甲基-5-降冰片烯-2，3-二羧酸酐、衣康酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐等。在制造聚酰胺酸時(shí)，二胺化合物與四羧酸二酐化合物進(jìn)行反應(yīng)的反應(yīng)溫度可以選擇-20150。C的任意溫度，優(yōu)選為-5100。C的任意溫度。為了得到高分子量的聚酰胺酸，可以在反應(yīng)溫度5。C40。C、反應(yīng)時(shí)間1小時(shí)~48小時(shí)的范圍內(nèi)適當(dāng)選擇。為了得到低分子量且保存穩(wěn)定性高的被部分酰亞胺化的聚酰胺酸，更優(yōu)選選自反應(yīng)溫度40。C卯。C、反應(yīng)時(shí)間10小時(shí)以上。另外，將末端^J^被酸酐保護(hù)的情況下，反應(yīng)溫度可以選擇-20~150。C的任意溫度，優(yōu)選為-5100。C的任意溫度。二胺化合物與四羧酸二酐化合物的反應(yīng)可以在溶劑中進(jìn)行。作為這時(shí)可以使用的溶劑，可以列舉N，N-二曱基曱酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮、N-乙烯基吡咯烷酮、N-曱基己內(nèi)酰胺、二曱亞砜、四甲基脲、吡啶、二甲砜、六曱基亞砜、間甲酚、，丁內(nèi)酯、乙酸乙酯、乙酸丁基、乳酸乙酯、3-曱氧基丙酸甲酯、2-曱氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、2-曱氧基丙酸乙酯、3-乙氡基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸乙酯、乙二醇二甲醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇甲乙醚、丙二醇二甲醚、雙丙甘醇二甲醚、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、二甘醇單甲醚、二甘醇單乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、雙丙甘醇單甲醚、雙丙甘醇單乙醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、卡必醇乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、環(huán)己酮、甲乙酮、甲基異丁基酮、2-庚酮等。它們既可以單獨(dú)使用，也可以混合使用。進(jìn)而，即使是不溶解聚酰胺酸的溶劑，只要在聚合反應(yīng)所生成的聚酰胺酸不析出的范圍內(nèi)，就可以在上述溶劑中混合使用。含有這樣得到的聚酰胺酸的溶液可以直接用于調(diào)制正型感光性樹脂組合物的溶液。另外，也可以使聚酰胺酸在水、甲醇、乙醇等貧溶劑中進(jìn)行沉淀分離而回收，然后使用。這樣得到的聚酰胺酸也可以將g進(jìn)行酯化，作為聚酰胺酸酯使用。這樣得到的聚酰胺酸既可以單獨(dú)使用，也可以與上述堿溶性樹脂同時(shí)使用。另外，在本發(fā)明中，可以使用任意的聚酰亞胺。作為本發(fā)明所使用的聚酰亞胺是使上述聚酰胺酸等聚酰亞胺前體通過化學(xué)方法或熱方法50%以上進(jìn)行酰亞胺化的產(chǎn)物。這些聚酰亞胺中也含有聚酰胺酰亞胺、聚醚酰亞胺等共聚物。為了賦予堿溶性，本發(fā)明所使用的正型感光性樹脂組合物中的聚酰亞胺優(yōu)選具有羧基或酚性羥基，或者具有可通過熱或酸作用而生成羧酸或酚性羥基的基團(tuán)。作為在聚酰亞胺中導(dǎo)入羧基、酚性羥基的方法，可使用下述方法使用具有羧基或酚性羥基的單體的方法、用具有羧基或酚性羥基的酸酐封閉胺末端的方法、或在將聚酰亞胺前體進(jìn)行酰亞胺化時(shí)使酰亞胺化率為99%以下的方法等。另外，在聚酰亞胺中導(dǎo)入利用熱或酸作用而生成羧酸或酚性羥基的基團(tuán)的方法，有下述方法使用利用熱或酸作用而生成氣基或酚性羥基的單體的方法；使通過熱或酸作用解離的基團(tuán)與預(yù)先導(dǎo)入的羧基、酚性羥基或酰亞胺化后的羧酸殘基進(jìn)行反應(yīng)的方法。這樣的聚酰亞胺可以在合成上述聚酰亞胺前體之后，通過進(jìn)行化學(xué)酰亞胺化或熱酰亞胺化來得到。作為化學(xué)酰亞胺化的方法，一般4吏用在聚酰亞胺前體溶液中添加過量的乙酸酐和吡啶，使之在室溫100。C進(jìn)行反應(yīng)的方法。另夕卜，作為熱酰亞胺化的方法，一般使用將聚酰亞胺前體溶液在溫度180°C250。C進(jìn)行脫水并同時(shí)力口熱的方法。這樣得到的聚酰亞胺既可以單獨(dú)使用又可以與上述其它堿溶性樹脂(例如特定共聚物等)同時(shí)使用。苯基亞乙基二苯酚與2摩爾1，2-萘醌-2-二疊氮基-5-磺酰氯進(jìn)行縮合反應(yīng)而合成的感光劑(l，2-醌二疊氮化合物)GT4:環(huán)氧化丁烷四羧酸四-(3-環(huán)己烯基甲基)修飾￡-己內(nèi)酯[數(shù)均分子量和重均分子量的測定對按照以下合成例得到的特定共聚物的數(shù)均分子量和重均分子量，使用日本分光(林)制造的GPC裝置(Shodex(注冊商標(biāo))柱KF803L和KF804L),在將洗脫溶劑四氫呋喃以流量lml/分鐘流過柱中(柱溫度邾。C)而使之洗脫的條件下進(jìn)行測定。此外，下述數(shù)均分子量(以下，稱為Mn)和重均分子量(以下，稱為Mw)用聚苯乙烯校準(zhǔn)值表示。<合成例1>使用19.4gMAA、35.3gCHMI、25.5gHEMA、19.8gMMA作為構(gòu)成特定共聚物的單體成分，使用5gAIBN作為自由基聚合引發(fā)劑，通過使它們在212.5g溶劑PGMEA中、在溫度60。C~100。C進(jìn)行聚合反應(yīng)，從而得到Mn為4100、Mw為7600的(A)成分(特定共聚物)溶液(特定共聚物濃度32.0質(zhì)量％)。(Pl)<合成例2>使用15.5gMAA、35.3gCHMI、25.5gHEMA、23.7gMMA作為構(gòu)成特定共聚物的單體成分，使用5gAIBN作為自由基聚合引發(fā)劑，通過使它們在212.5g溶劑PGMEA中、在溫度60°C~100。C進(jìn)行聚合反應(yīng)，從而得到Mn為4400、Mw為7000的(A)成分(特定共聚物)溶液(特定共聚物濃度32.0質(zhì)量％)。(P2)<纟且合物例1~5>按照下表l所示的組成，通過在(A)成分的溶液中，以規(guī)定比例混合(B)成分、(C)成分、(D)成分和(E)溶劑，以及(F)成分，在溫度23。C攪拌30分鐘，或在35。C攪拌3三天而制成均勻溶液，從而調(diào)制各實(shí)施例和各比較例的正型感光性樹脂組合物溶液。同樣的操作，在低靈敏度層上形成高靈敏度層，進(jìn)行照射紫外線、曝光后加熱、顯影、洗滌。這時(shí)，曝光部的殘膜量為2nm士5。/。的曝光量范圍是半曝光裕量。[評價(jià)的結(jié)果將進(jìn)行以上評價(jià)的結(jié)果示于下表2。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage46</column></row><table>*加熱后透射率是在250"C、加熱30分鐘后的值。實(shí)施例14中，通過上層使用高靈敏度層、下層使用低靈敏度層，可以維持高透射率，并在高靈敏度且沒有膜減的狀態(tài)下進(jìn)行顯影，進(jìn)而可以在半曝光時(shí)得到較寬曝光裕量。另一方面，比較例1中可以在高靈敏度且沒有膜減的狀態(tài)下進(jìn)行顯影，但半曝光裕量顯著低下。另外，比較例2和3任一者與實(shí)施例1~實(shí)施例4相比均為低靈敏度且未膝光部有膜減，另外從兩者的結(jié)果可知，這些單層體系中，靈敏度越高則半曝光裕量、透射率越低。工業(yè)可利用性通過本發(fā)明的透明性固化膜的制造方法所得的透明性固化膜，適合作為可以在制造半透射型液晶顯示元件中的TFT平坦化膜時(shí)應(yīng)用的材料，特別是適合作為形成用于通過半曝光同時(shí)形成接觸孔和反射用凹凸的透明性固化膜的材料。權(quán)利要求1.一種透明性固化膜的制造方法，該制造方法包括下述工序在基材上疊層曝光靈敏度不同的兩層正型感光性樹脂層、使得低靈敏度的正型感光性樹脂層位于所述基材與高靈敏度的正型感光性樹脂層之間的工序，將該疊層后的兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行曝光的工序，將該兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行曝光后加熱的工序，將該兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行顯影的工序，將該兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行后烘烤的工序，該透明性固化膜的制造方法的特征在于，該低靈敏度的正型感光性樹脂層是含有下述的(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分的正型感光性樹脂層，(A)成分為堿溶性樹脂，(B)成分為1分子中具有兩個(gè)以上乙烯基醚基的化合物，(C)成分為通過后烘烤與(A)成分進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)的化合物，(D)成分為光產(chǎn)酸劑。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的透明性固化膜的制造方法，所述曝光是半曝光。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的透明性固化膜的制造方法，所述曝光后加熱在溫度80°C~140。C下進(jìn)行，且所述后烘烤在溫度150。C~270。C下進(jìn)行。4.根據(jù)權(quán)利要求1~3的任一項(xiàng)所述的透明性固化膜的制造方法，所述高靈敏度的正型感光性樹脂層是含有下述的(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分的正型感光性樹脂層，(A)成分為堿溶性樹脂，(B)成分為1分子中具有兩個(gè)以上乙烯基醚基的化合物，(C)成分為通過后烘烤與(A)成分進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)的化合物，(D)成分為光產(chǎn)酸劑。5.根據(jù)權(quán)利要求1~4的任一項(xiàng)所述的透明性固化膜的制造方法，所述低靈敏度的正型感光性樹脂層中，基于100質(zhì)量份(A)成分，含有1~80質(zhì)量份所述(B)成分、3~70質(zhì)量份所述(C)成分和0.5~50質(zhì)量份所述(D)成分。6.根據(jù)權(quán)利要求1~5的任一項(xiàng)所述的透明性固化膜的制造方法，基材是形成了TFT元件的基材。7.—種TFT陣列平坦化膜，包括由權(quán)利要求1~5的任一項(xiàng)所述的制造方法得到的透明性固化膜。8.—種顯示元件，具有由權(quán)利要求1~5的任一項(xiàng)所述的制造方法得到的透明性固化膜。9.一種液晶顯示元件，具有由權(quán)利要求1~5的任一項(xiàng)所述的制造方法得到的透明性固化膜。全文摘要本發(fā)明的課題是提供在維持高靈敏度的狀態(tài)下具有較寬曝光裕量的透明性固化膜的制造方法，尤其是提供一種透明性固化膜的制造方法，所述透明性固化膜可以在制造半透射型液晶顯示元件中的TFT平坦化膜時(shí)應(yīng)用，特別是用于通過半曝光而同時(shí)形成接觸孔和反射用凹凸。作為本發(fā)明的解決問題的方法是，提供一種透明性固化膜的制造方法，其特征在于，包括下述工序在基材上將曝光靈敏度不同的兩層正型感光性樹脂層進(jìn)行疊層，使得低靈敏度的正型感光性樹脂層位于所述基材與高靈敏度的正型感光性樹脂層之間，然后將該正型感光性樹脂層進(jìn)行曝光、曝光后加熱、顯影、后烘烤。并且提供一種顯示元件，具有通過這樣的方法得到的透明性固化膜。文檔編號(hào)G03F7/004GK101517492SQ20078003465公開日2009年8月26日申請日期2007年9月18日優(yōu)先權(quán)日2006年9月20日發(fā)明者畑中真申請人:日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社