專利名稱：龍門式光罩清潔裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬清潔裝置技術(shù)領(lǐng)域，是對現(xiàn)在的改進，具體涉及一種龍門式清 潔光罩之裝置。
技術(shù)背景隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，晶圓代工已經(jīng)成為全球無法取代的技術(shù)之 一，再加上電子組件的尺寸愈來愈小，只要在制程上有一點小瑕疵，就會影 響電路效能，因此在制程中對于環(huán)境的清潔度要求高，若不嚴(yán)格把關(guān)，將來 產(chǎn)品的質(zhì)量問題，勢必受到威脅。在半導(dǎo)體制程中，有一道曝光制程，是先將一具有圖案之光罩置于晶圓 的上方，再利用一曝光光源透過光罩射于一晶圓上，之后將此晶圓浸入一顯 影液中，就可以在晶圓上看到光罩的圖案了。所以在制程中必須注意到光罩 表面是否清潔， 一般光罩表面都存在很多肉眼看不見的粒子，如果在尚未清 潔掉這些粒子就進行曝光，那么就可能顯出與光罩圖案不一樣的圖案了?，F(xiàn) 有技術(shù)是先利用曝光機檢測出光罩表面是否有粒子存在，接著就用人工方式進行清潔，如第一圖所示，包含使用氮氣槍噴于置于光罩承載裝置10上的 光罩12表面；但是因為人為近距離接觸或多次清潔光罩的關(guān)系，造成光罩 容易損壞并提高其汰舊換新的速度，這樣會增加成本。從臺灣公開號200702265專利技術(shù)。 一種基板用的搬運除塵裝置，雖然 與本發(fā)明都有清潔的作用，不過此專利的除塵單元并沒有如本發(fā)明有一風(fēng)刀 裝置，它所噴出來的洗滌空氣較無力道，而且該除塵單元亦無法自由移動， 所以在清潔時，對于基板表面上的粒子較無法均勻地清潔，在實施當(dāng)中效果有限。還有臺灣公開號1287472專利是一種塵埃清凈器，雖然也與本發(fā)明相關(guān)， 但是它亦沒有風(fēng)刀裝置，只有藉由空氣噴出室和空氣吸入室將將塵埃帶走， 而且洗滌空氣只能藉一噴出隙縫噴出，換句話說，噴出方向只有單一方向， 如此在清潔之時效果亦受限。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是避免上述現(xiàn)有技術(shù)中的不是之處而提供的一種龍門式 光罩清潔裝置，該裝置可以將光罩上的粒子或雜質(zhì)清除干凈，避免人為多次 接觸光罩，增加制程上產(chǎn)出的速度。本發(fā)明的目的可通過下列的措施來實現(xiàn)本發(fā)明包含至少二支撐裝置，其系設(shè)置于一地面上； 一風(fēng)刀裝置，其系 裝設(shè)在該支撐裝置間；以及一控制裝置，其系控制該支撐裝置與該風(fēng)刀裝置 之整體架構(gòu)，控制所有組件動作。上述所述支撐裝置下端為固定式，更包含一支撐架，固定于該地面之上， 并連結(jié)該二支撐裝置。上述所述固定式支撐裝置，包含至少二固定座，以固定該支撐裝置于該 地面上。上述所述支撐裝置為下端可動式，使其方便移動搬移。 上述所述可動式支撐裝置之下端為輪軸式，使其方便滑動搬移。 上述所述可動式支撐裝置之下端為機械式，可由該控制裝置控制該龍門式光罩清潔裝置移動。上述所述支撐裝置之內(nèi)側(cè)設(shè)置一光罩承載固定裝置，用來固定該光罩承載裝置上述所述光罩承載固定裝置為至少二導(dǎo)輪，用來固定該光罩承載裝置。上述所述風(fēng)刀裝置更包含至少一風(fēng)刀，位于該支撐裝置間；至少一吹 氣管路， 一端接續(xù)該風(fēng)刀出風(fēng)口，另一端接續(xù)一進氣裝置；至少一吸氣管路， 一端接續(xù)一吸氣口，另一端接續(xù)一出氣裝置。上述所述風(fēng)刀裝置為可移動式，使該風(fēng)刀裝置可上下、左右移動及該風(fēng) 刀角度偏轉(zhuǎn)，讓清潔光罩時更為干凈。上述所述風(fēng)刀裝置更包含至少二調(diào)節(jié)器，其系位于該支撐裝置與該風(fēng)刀 之間。上述所述調(diào)節(jié)器可為手動旋鈕式調(diào)整器。 上述所述調(diào)節(jié)器可為機械式自動調(diào)整器，可由該控制裝置控制。 上述所述風(fēng)刀可為條狀式或片狀式。上述所述吹氣管路可架設(shè)于該支撐裝置內(nèi)，沿該支撐裝置內(nèi)接續(xù)該進氣 裝置。上述所述吹氣管路可架設(shè)于該支撐裝置外，沿該支撐裝置外接續(xù)該進氣 裝置。上述所述吸氣管路之該吸氣口端裝設(shè)于該支撐裝置上，避免吹出氣流于支撐架與風(fēng)刀間造成擾流而將異物擴散造成再次污染。上述所述吸氣管路之吸氣口端裝設(shè)于風(fēng)刀上及風(fēng)刀側(cè)邊，避免吹出氣流于該支撐架與該風(fēng)刀間造成擾流而將異物擴散造成再次污染。 上述所述控制裝置可固定于該支撐裝置上。 上述所述控制裝置可固定于該風(fēng)刀裝置上。 上述所述還包含一訊號線，連接該支撐裝置以及該控制裝置。 上述所述還包含一訊號線，連接該風(fēng)刀裝置以及該控制裝置。上述所述控制裝置可為一無線傳輸系統(tǒng)，裝設(shè)于該支撐裝置上，利用無 線傳輸控制該無線傳輸系統(tǒng)作動。上述所述控制裝置可為一無線傳輸系統(tǒng)，裝設(shè)于該風(fēng)刀裝置上，利用無 線傳輸控制該無線傳輸系統(tǒng)作動。本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù)具有如下優(yōu)點 一是可避免工作人員近距離接觸與多次接觸；二是清潔光罩的速度更快；三是潔凈均勻度更高，本發(fā)明是半導(dǎo) 體制程中重要工具，具有較大的巿場潛力。


圖i為現(xiàn)有技術(shù)光罩承載裝置之示意圖。圖2為本發(fā)明之裝置結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3為本發(fā)明于清洗光罩之示意圖。 圖4為本發(fā)明之條狀式風(fēng)刀的局部放大圖。 圖5為本發(fā)明之片狀式風(fēng)刀的局部放大圖。 圖6為本發(fā)明之另一實施例之結(jié)構(gòu)示意圖。 圖7為本發(fā)明之再一實施例之結(jié)構(gòu)示意圖。主要組件符號說明10光罩承載裝置12光罩14光罩16手把18滾輪20車身22龍門式光罩清潔裝置24固定座26導(dǎo)輪28控制裝置30支撐裝置32調(diào)節(jié)器34風(fēng)刀裝置35支撐架36風(fēng)刀38吹氣管路40吸氣管路42滾輪44條狀式風(fēng)刀 46片狀式風(fēng)刀 48 進氣裝置50出氣裝置 52機械裝置具體實施方式
本發(fā)明系為一種龍門式光罩清潔裝置，其針對清潔光罩上的粒子或雜質(zhì) 而設(shè)計，可以取代一般習(xí)知的人工清潔方式，使得光罩不易受到傷害，而且 讓半導(dǎo)體制程在產(chǎn)出上可以達(dá)到更高的效率。參照附圖l,現(xiàn)有技術(shù)之一實施例。就習(xí)知技術(shù)而言，有一光罩承載裝 置IO,其中包含了一光罩支撐平臺14，其系可提供光罩12放置處；此支撐平臺14面積愈大，對于尺寸較大的光罩12也可以提供較大的容置位置。參照附圖2，其系為本發(fā)明之一較佳實施例。本發(fā)明之龍門式光罩清潔 裝置22系包括有二支撐裝置30分開置于一地面上，并有一支撐架35固定 于該地面之上，并連結(jié)該二支撐裝置30。支撐裝置30二外側(cè)分別設(shè)置一固 定座24，以固定支撐裝置30穩(wěn)固于地面上，使其在清潔之時不容易移動； 再有一風(fēng)刀裝置34裝設(shè)在此二支撐裝置30中間，讓整個光罩清潔裝置的形 狀成為一龍門形狀。此風(fēng)刀裝置34系包含有風(fēng)刀36、吹氣管路38和吸氣管 路40，風(fēng)刀36位于在二支撐裝置30中間，且風(fēng)刀36可為條狀式或片狀式。 另外請同時參照第三圖與第二圖，吹氣管路38可架設(shè)于該支撐裝置30內(nèi)， 沿該支撐裝置30內(nèi)接續(xù)一進氣裝置48,或者架設(shè)于支撐裝置30外，沿該支 撐裝置30外接續(xù)一進氣裝置48亦可，另一端則接續(xù)該風(fēng)刀36出風(fēng)口；另 外吸氣管路40則一端接續(xù)一吸氣口，另一端接續(xù)一出氣裝置50。該吸氣管 路40之該吸氣口端可裝設(shè)于該支撐裝置30上或該風(fēng)刀36上及該風(fēng)刀36側(cè) 邊，避免吹出氣流于該支撐架34與該風(fēng)刀36間造成擾流而將異物擴散造成 再次污染；另外，由于光罩承載裝置10之尺寸并無固定規(guī)格，故可在風(fēng)刀36與支撐裝置30之間分別設(shè)置一調(diào)節(jié)器32,此調(diào)節(jié)器32可以是手動旋鈕 式調(diào)節(jié)器或者是機械式自動調(diào)節(jié)器并由其控制裝置28控制皆可。藉由它可 使風(fēng)刀裝置34上下或左右移動及該風(fēng)刀36角度偏轉(zhuǎn)，這樣一來就可以適應(yīng) 光罩承載裝置10的高度，而且在清潔光罩12上的粒子時，不僅可以不需用人工方式處理，也可以變得更有效率。在支撐裝置30二內(nèi)側(cè)可分別設(shè)置一光罩承載固定裝置，二導(dǎo)輪26,用 來固定光罩承載裝置10;最后， 一控制裝置28可設(shè)置在支撐裝置30或風(fēng)刀 裝置34上，藉由它可以控制上述所有組件的自動作動。而除此之外，控制 裝置28也可以藉由訊號線連接至支撐裝置30或風(fēng)刀裝置34上。如果要用 無線控制，則此控制裝置28可為一無線傳輸系統(tǒng)，且設(shè)置在支撐裝置30或 風(fēng)刀裝置34上，利用無線傳輸控制即可使該無線傳輸系統(tǒng)作動。在本發(fā)明中，上述的條狀式風(fēng)刀44結(jié)構(gòu)與片狀式風(fēng)刀46結(jié)構(gòu)系以局部 放大圖展現(xiàn)于說明書中，參照附圖4，其中此條狀式風(fēng)刀44還可以在一支撐 架35上前后移動；而如第五圖所示，片狀式風(fēng)刀46可設(shè)置在支撐架35上, 在整個支撐架35上將氮氣吹出來。參照附圖3,當(dāng)使用此龍門式光罩清潔裝置22來對光罩12作清潔之時， 可以利用車身20的手把16與滾輪18將光罩承載裝置IO全部推入龍門式光 罩清潔裝置22之中，使該光罩支撐裝置10位于風(fēng)刀裝置34之下方。而后 將氮氣從一進氣裝置48導(dǎo)入其吹氣管路38里，就可以從風(fēng)刀36之出風(fēng)口 噴于光罩12上，將光罩12上的異物吹起及吹散，此時將異物吹起時在風(fēng)刀 36與支撐裝置30間會造成一區(qū)域范圍的擾流使異物飄散，即并同時用吸氣 管路40藉由一吸氣口與出氣裝置50將區(qū)域范圍內(nèi)飄散的異物與雜質(zhì)全部導(dǎo) 出于龍門式光罩清潔裝置22外面。上述實施例系以固定座24將支撐裝置30固定于地面上，除了此固定方 式之外，還有一替代方式，其系為輪軸式，參照附圖6，也就是用滾輪42 來代替固定座24，其系在支撐裝置30底部分別設(shè)有滾輪42,以方便于地面 上移動整個龍門式光罩清潔裝置22。而此一實施例系包括有二支撐裝置30 分開置于一地面上，并有一支撐架35固定于該地面之上，并連結(jié)該二支撐 裝置30。有一風(fēng)刀裝置34裝設(shè)在此二支撐裝置30中間，讓整個光罩清潔裝 置的形狀成為一龍門形狀。此風(fēng)刀裝置34系包含有風(fēng)刀36、吹氣管路38 和吸氣管路40，風(fēng)刀36位于在二支撐裝置30中間，且風(fēng)刀36可為條狀式 或片狀式。另外吹氣管路38可架設(shè)于該支撐裝置30內(nèi)，沿該支撐裝置30 內(nèi)接續(xù)一進氣裝置48，或者架設(shè)于支撐裝置30外，沿該支撐裝置30外接續(xù) 一進氣裝置48亦可，另一端則接續(xù)該風(fēng)刀36出風(fēng)口；另外吸氣管路40則 一端接續(xù)一吸氣口，另一端接續(xù)一出氣裝置50。該吸氣管路40之該吸氣口 端可裝設(shè)于該支撐裝置30上或該風(fēng)刀36上及該風(fēng)刀36側(cè)邊，避免吹出氣 流于該支撐架34與該風(fēng)刀36間造成擾流而將異物擴散造成再次污染；另外， 由于光罩承載裝置10之尺寸并無固定規(guī)格，故可在風(fēng)刀36與支撐裝置30 之間分別設(shè)置一調(diào)節(jié)器32，此調(diào)節(jié)器32可以是手動旋鈕式調(diào)節(jié)器或者是機 械式自動調(diào)節(jié)器并由其控制裝置28控制皆可。藉由它可使風(fēng)刀裝置34上下 或左右移動及該風(fēng)刀36角度偏轉(zhuǎn)，這樣一來就可以適應(yīng)光罩承載裝置10的 高度，而且在清潔光罩12上的粒子時，不僅可以不需用人工方式處理，也 可以變得更有效率。在支撐裝置30二內(nèi)側(cè)可分別設(shè)置一光罩承載固定裝置，二導(dǎo)輪26，用 來固定光罩承載裝置10;最后， 一控制裝置28可設(shè)置在支撐裝置30或風(fēng)刀 裝置34上，藉由它可以控制上述所有組件的自動作動。而除此之外，控制裝置28也可以藉由訊號線連接至支撐裝置30或風(fēng)刀裝置34上。如果要用 無線控制，則此控制裝置28可為一無線傳輸系統(tǒng)，且設(shè)置在支撐裝置30或 風(fēng)刀裝置34上，利用無線傳輸控制即可使該無線傳輸系統(tǒng)作動。除了固定式與輪軸式之外，還有一種實施方式為機械式，參照附圖7， 在該支撐裝置下端設(shè)有一機械裝置52,其系由控制裝置28控制，并使龍門 式光罩清潔裝置22移動。此一實施例系包括有二支撐裝置30分開置于一地 面上，并有一支撐架35固定于該地面之上，并連結(jié)該二支撐裝置30。有一 風(fēng)刀裝置裝34設(shè)在此二支撐裝置30中間，讓整個光罩清潔裝置的形狀成為 一龍門形狀。此風(fēng)刀裝置34系包含有風(fēng)刀36、吹氣管路38和吸氣管路40， 風(fēng)刀36位于在二支撐裝置30中間，且風(fēng)刀36可為條狀式或片狀式。另外 吹氣管路38可架設(shè)于該支撐裝置30內(nèi)，沿該支撐裝置30內(nèi)接續(xù)一進氣裝 置48，或者架設(shè)于支撐裝置30外，沿該支撐裝置30外接續(xù)一進氣裝置48 亦可，另一端則接續(xù)該風(fēng)刀36出風(fēng)口；另外吸氣管路40則一端接續(xù)一吸氣 口，另一端接續(xù)一出氣裝置50。該吸氣管路40之該吸氣口端可裝設(shè)于該支 撐裝置30上或該風(fēng)刀36上及該風(fēng)刀36側(cè)邊，避免吹出氣流于該支撐架34 與該風(fēng)刀36間造成擾流而將異物擴散造成再次污染；另外，由于光罩承載 裝置10之尺寸并無固定規(guī)格，故可在風(fēng)刀36與支撐裝置30之間分別設(shè)置 一調(diào)節(jié)器32，此調(diào)節(jié)器32可以是手動旋鈕式調(diào)節(jié)器或者是機械式自動調(diào)節(jié) 器并由其控制裝置28控制皆可。藉由它可使風(fēng)刀裝置34上下或左右移動及 該風(fēng)刀36角度偏轉(zhuǎn)，這樣一來就可以適應(yīng)光罩承載裝置10的高度，而且在 清潔光罩12上的粒子時，不僅可以不需用人工方式處理，也可以變得更有 效率。在支撐裝置30二內(nèi)側(cè)可分別設(shè)置一光罩承載固定裝置，二導(dǎo)輪26,用來固定光罩承載裝置10;最后， 一控制裝置28可設(shè)置在支撐裝置30或風(fēng)刀 裝置34上，藉由它可以控制上述所有組件的自動作動。而除此之外，控制 裝置28也可以藉由訊號線連接至支撐裝置30或風(fēng)刀裝置34上。如果要用 無線控制，則此控制裝置28可為一無線傳輸系統(tǒng)，且設(shè)置在支撐裝置30或 風(fēng)刀裝置34上，利用無線傳輸控制即可使該無線傳輸系統(tǒng)作動。如此一來，藉由上述實施例可以得知如果無法移動光罩承載裝置IO,也 可以移動龍門式光罩清潔裝置22來達(dá)到清潔光罩12的效果。以上所述者，僅為本發(fā)明一較佳實施例而已，并非用來限定本發(fā)明實施 之范圍，故舉凡依本發(fā)明申請專利范圍所述之形狀、構(gòu)造、特征及精神所為 之均等變化與修飾，均應(yīng)包括于本發(fā)明之申請專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于包含至少二支撐裝置，其系設(shè)置于一地面上；一風(fēng)刀裝置，其系裝設(shè)在該支撐裝置間；以及一控制裝置，其系控制該支撐裝置與該風(fēng)刀裝置之整體架構(gòu)，控制所有組件作動。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該支撐裝置 下端為固定式者，更包含一支撐架，其系固定于該地面之上，并連結(jié)該二支撐裝置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該固定 式支撐裝置，更包含至少二固定座，以固定該支撐裝置于該地面上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該支撐裝置 為下端可動式者，使其方便移動搬移。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該可動 式支撐裝置之下端為輪軸式者，使其方便滑動搬移。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該可動 式支撐裝置之下端為機械式者，可由該控制裝置控制該龍門式光罩清潔裝 置移動。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該支撐裝置 之內(nèi)側(cè)設(shè)置一光罩承載固定裝置，用來固定該光罩承載裝置。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該光罩 承載固定裝置為至少二導(dǎo)輪，用來固定該光罩承載裝置。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該風(fēng)刀裝置 更包含至少一風(fēng)刀，其系位于該支撐裝置間；至少一吹氣管路， 一端接續(xù)該風(fēng)刀出風(fēng)口，另一端接續(xù)一進氣裝置； 至少一吸氣管路， 一端接續(xù)一吸氣口，另一端接續(xù)一出氣裝置。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該風(fēng) 刀裝置為可移動式，使該風(fēng)刀裝置可上下、左右移動及該風(fēng)刀角度偏轉(zhuǎn)， 讓清潔光罩時更為干凈。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該風(fēng) 刀裝置更包含至少二調(diào)節(jié)器，其系位于該支撐裝置與該風(fēng)刀之間。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1或11所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該調(diào) 節(jié)器可為手動旋鈕式調(diào)整器。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1或11所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該調(diào) 節(jié)器可為機械式自動調(diào)整器，可由該控制裝置控制。
14. 根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該風(fēng) 刀可為條狀式或片狀式。
15. 根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該吹 氣管路可架設(shè)于該支撐裝置內(nèi)，沿該支撐裝置內(nèi)接續(xù)該進氣裝置。
16. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該吹氣管 路可架設(shè)于該支撐裝置外，沿該支撐裝置外接續(xù)該進氣裝置。
17. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該吸氣管 路之該吸氣口端裝設(shè)于該支撐裝置上，避免吹出氣流于支撐架與風(fēng)刀間造 成擾流而將異物擴散造成再次污染。
18. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該吸氣管 路之吸氣口端裝設(shè)于風(fēng)刀上及風(fēng)刀側(cè)邊，避免吹出氣流于該支撐架與該風(fēng) 刀間造成擾流而將異物擴散造成再次污染。
19. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該控制裝 置可固定于該支撐裝置上。
20. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該控制裝 置可固定于該風(fēng)刀裝置上。
21. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于可包含一 訊號線，其系連接該支撐裝置以及該控制裝置。
22. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于可包含一 訊號線，其系連接該風(fēng)刀裝置以及該控制裝置。
23. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該控制裝 置可為一無線傳輸系統(tǒng)，其系裝設(shè)于該支撐裝置上，利用無線傳輸控制該 無線傳輸系統(tǒng)作動。
24. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種龍門式光罩清潔裝置，其特征在于該控制裝 置可為一無線傳輸系統(tǒng)，其系裝設(shè)于該風(fēng)刀裝置上，利用無線傳輸控制該 無線傳輸系統(tǒng)作動。
全文摘要
本發(fā)明系揭露一種龍門式光罩清潔裝置，其系提供二支撐裝置，并將其分開置放，而后將一風(fēng)刀裝置裝設(shè)于兩支撐裝置之間，并利用一控制裝置控制所有組件作動。當(dāng)要進行清潔之時，把光罩承載裝置移至風(fēng)刀裝置下方，這樣一來，就可以利用風(fēng)刀所吹出來的氣體對光罩進行清潔了。本發(fā)明不但可以避免人員多次近距離接觸，更可以縮短清潔光罩的時間提高生產(chǎn)的速度。
文檔編號G03F1/82GK101281376SQ200810090268
公開日2008年10月8日 申請日期2008年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月31日
發(fā)明者劉耀隆, 楊東晃 申請人:深超光電(深圳)有限公司