專利名稱：自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬一種平臺(tái)清潔裝置技術(shù)領(lǐng)域，是對(duì)現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)步改進(jìn)，具體涉 及一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置。光阻涂布設(shè)備的潔凈度在微影制程良率上扮演相當(dāng)重要的角色，光阻涂 布設(shè)備容易沾染灰塵粒子或光阻凝固物質(zhì)，進(jìn)而影響涂布的質(zhì)量，因此，維 護(hù)涂布平臺(tái)上的潔凈度相當(dāng)重要。一般來說光阻涂布裝置(linear coater imi t )是以精度相當(dāng)高的噴嘴 (nozzle)做涂布(coating),目前經(jīng)常在噴嘴平臺(tái)(nozzle stage)上發(fā) 生很多異常，而必須以人力方式在平臺(tái)上以無塵布或吸塵器做清潔，此種方 式會(huì)造成許多問題，例如1. 人員在清潔機(jī)臺(tái)時(shí)有可能在保養(yǎng)時(shí)造成零件(如噴嘴、線性馬達(dá)等損 壞)。2. 由于平臺(tái)之價(jià)格相當(dāng)昂貴，人員進(jìn)行清潔機(jī)臺(tái)時(shí)可能造成平臺(tái)本體損傷 的可能。3. 人員清潔機(jī)臺(tái)時(shí)間較長，潔凈度也較差，且清潔液、無塵布等耗材損失 花費(fèi)相當(dāng)可觀。4. 若潔凈度不佳將造成機(jī)臺(tái)后續(xù)異常發(fā)生，或后續(xù)玻璃背面刮傷之風(fēng)險(xiǎn)。例如我國臺(tái)灣專利公告號(hào)第M292784號(hào)之專利申請(qǐng)?zhí)峁┮环N光阻涂布設(shè)備之組件潔凈裝置，為其并無針對(duì)噴嘴平臺(tái)(nozzle stage )做重點(diǎn)式清潔， 所以清潔效果有限，此外該專利申請(qǐng)為一可拆卸之移動(dòng)裝置，欲清潔時(shí)組裝 時(shí)間相對(duì)較為耗時(shí)。又如我國臺(tái)灣專利公告號(hào)第1287472號(hào)， 一種塵埃清凈 器，主要為一除塵裝置，針對(duì)于平臺(tái)上做清潔，其系具有一空氣吸入室及一 空氣噴出室，可對(duì)被除塵對(duì)象噴出洗滌空氣，令塵埃自被除塵對(duì)象飛散，接著將塵埃吸入空氣吸入室，達(dá)到清潔效果，但該塵埃清凈器對(duì)被除塵對(duì)象噴 出洗滌空氣時(shí)，并無法有效控制塵埃之飛濺方向，經(jīng)常使塵埃擴(kuò)散，造成二 次污染。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是避免上述現(xiàn)有技術(shù)中的不是之處而提供的一種自動(dòng)清 洗承載平臺(tái)裝置，該自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置能更有效清除附于平臺(tái)上之異物；能有效降低人為造成機(jī)臺(tái)對(duì)象的損傷；能縮短清理平臺(tái)之時(shí)間，有效 降低保養(yǎng)時(shí)間，增加生產(chǎn)時(shí)效；能降低因清潔效率不佳造成的后續(xù)當(dāng)機(jī)異 常，有效降低成本。本發(fā)明的目的可通過下列的措施來實(shí)現(xiàn)一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)，其系做一往復(fù)作動(dòng)以清潔平臺(tái)，該自動(dòng) 清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)包括 一支撐架，其系位于一系統(tǒng)運(yùn)作機(jī)臺(tái)； 一第一開 口部份，其系位于該支撐架上方； 一第二開口部份，其系位于該支撐架上 方并與第一開口部份連結(jié)； 一檔片，其系位于該第一開口部份與該第二開 口部份側(cè)邊。上述所述支撐架與承載平臺(tái)間設(shè)有一機(jī)構(gòu)墊片組，增加緩沖降低震動(dòng) 所帶來之損傷。上述所述第一開口部份前端系為一吹氣孔，其吹出氣流可將平臺(tái)上之 異物吹起。上述所述吹氣孔有一角度設(shè)計(jì)30-50度，以利異物吹起。上述所述第一開口部份后端接續(xù)為一高真空管路快速接頭，其系為連 接廠物端來源及該吹氣裝置。上述所述第一開口部份之流道中更包含一過濾裝置，可過濾干燥空氣。上述所述過濾裝置可為 一可更換式干燥濾網(wǎng)。上述所述過濾裝置可為 一可靜電式干燥濾網(wǎng)。上述所述第二開口部份前端為一吸氣孔，可供吸入氣流通過，其吸入 氣流可將該平臺(tái)上之異物吸入流道。上述所述第二開口部份后端接續(xù)為一高真空管路快速接頭，其系為連 接廠物端來源及該吸氣裝置。上述所述第二開口部份之流道中更包含一黏片滾簡，其系位于該吸氣 裝置出口處。上述所述黏片滾簡系為一可拆換式黏片滾簡，可輔助并加強(qiáng)吸附后之異物掉落之可能性。上述所述黏片滾簡系為 一可自動(dòng)化更換式黏片滾簡，可由自動(dòng)化機(jī)構(gòu)自動(dòng)更換新的黏片滾簡。上述所述第二開口部份之流道上包含一吸氣裝置角度調(diào)節(jié)栓，該角度調(diào)節(jié)栓可調(diào)節(jié)吸氣裝置與承載平臺(tái)之角度。上述所述角度調(diào)節(jié)栓系為一手動(dòng)旋鈕式微調(diào)裝置。上述所述角度調(diào)節(jié)栓系為 一 自動(dòng)化調(diào)整之微調(diào)裝置。上述所述自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)于回復(fù)時(shí)只可進(jìn)行吸氣之動(dòng)作。上述所述文件片為一隔檔硬物，其系可清除較大之突起物。上述所述文件片為可調(diào)式檔片，可調(diào)整檔片與承載平臺(tái)之距離。上述所述文件片與第一開口部份及第二開口部份間有一異物回流空間，避免吹出氣流于平臺(tái)上造成擾流而將異物擴(kuò)散。 上述所述支撐架可做為 一龍門式架構(gòu)。本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù)具有如下優(yōu)點(diǎn) 一是能更有效清除附于平臺(tái)上之異物；二是能有效降低人為造成機(jī)臺(tái)對(duì)象的損傷；三是能縮短清理平臺(tái)之 時(shí)間，有效降低保養(yǎng)時(shí)間，增加生產(chǎn)時(shí)效；四是能降低因清潔效率不佳造 成的后續(xù)當(dāng)機(jī)異常，有效降低成本。


圖l為本發(fā)明之結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明于前進(jìn)方向之實(shí)施狀態(tài)示意圖。圖3為本發(fā)明于回復(fù)方向之實(shí)施狀態(tài)示意圖。圖4為本發(fā)明之作動(dòng)運(yùn)行方式示意圖。圖5為本發(fā)明之龍門式結(jié)構(gòu)示意圖。圖號(hào)說明iO平臺(tái) 12自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)13系統(tǒng)運(yùn)作機(jī)臺(tái) 14支撐架16第一開口部份 18第二開口部份20檔片 22高真空管路快速接頭24機(jī)構(gòu)墊片組 26過濾裝置28黏片滾簡32吹氣氣流 36電磁閥34吸氣氣流 38前進(jìn)信號(hào) 42龍門式框架30角度調(diào)節(jié)栓40后退信號(hào)具體實(shí)施方式
本發(fā)明系為 一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)，以下遂配合圖式來進(jìn)一步說 明本創(chuàng)作之特點(diǎn)。第一圖為本發(fā)明之結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示， 一平臺(tái)10上方有一自動(dòng)清 洗承載平臺(tái)系統(tǒng)12，其中有一系統(tǒng)運(yùn)作機(jī)臺(tái)13， 一支撐架14,位于該系統(tǒng) 運(yùn)作機(jī)臺(tái)13上方，該支撐架14上接續(xù)有兩開口， 一為第一開口部份16， 其系位于該支撐架14上方， 一第二開口部份18，其系位于該支撐架14上 方并與第一開口部份16連結(jié)，該第一開口部份16與第二開口部份18后端 接續(xù)為一高真空管路快速接頭22,其系主要為連接廠物端來源及該裝置， 其中第一開口部份16系由快速接頭22接續(xù)廠物端高壓吹出裝置，其廠物 端來源可控制吹出氣流的壓力大小，其中第二開口部份18系由快速接頭22 接續(xù)廠物端高壓吸入裝置，其廠物端來源可控制吸入氣流的壓力大小吹吸 氣壓力可相互配合達(dá)到平衡； 一檔片20,其系位于第一開口部份16及第二 開口部份18之側(cè)邊，且該檔片20系為一可調(diào)式檔片，可調(diào)整文件片20與 系統(tǒng)運(yùn)作機(jī)臺(tái)13上平臺(tái)IO之距離，使其該檔片20可為一隔檔硬物，其系 可清除較大之突起物，避免凸起物傷害該系統(tǒng)運(yùn)作機(jī)臺(tái)13上接近平臺(tái)10 之噴涂嘴；此外該可調(diào)整檔片20與第一開口部份16和第二開口部份18間 有一異物回流空間，其第一開口部份16將異物自平臺(tái)IO上吹起時(shí)可使異 物在其異物回流空間飄浮，并該空間可避免吹出氣流于平臺(tái)10上造成擾流， 令異物擴(kuò)散造成再次污染，再經(jīng)由第二開口部份18將此空間之飄浮異物吸 ??；另于支撐架14與系統(tǒng)運(yùn)作機(jī)臺(tái)13間設(shè)有一機(jī)構(gòu)墊片組24，其主要目的為減緩震動(dòng)造成的硬件摩擦，且減少硬件摩擦所產(chǎn)生之異物；其中該第 一開口部份16前端系為一吹氣孔，其吹出氣流可將平臺(tái)IO上之異物吹起, 該吹氣孔有一角度設(shè)計(jì)30-50度，可利于吹起異物，于第一開口 16部份之 流道中設(shè)有一過濾裝置26，其為一種靜電式及可更換式之干燥濾網(wǎng)，主要 用以過濾及干燥空氣；自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)12上之第二開口部份18之 前端為一吸氣孔，系主要供吸入氣流通過，其吸入氣流可將平臺(tái)IO上之異 物吸該第二開口部份18之流道中，達(dá)到清潔之效果，另于第二開口部份18之流道中出口端有一可拆換式之黏片滾簡28，可輔助并加強(qiáng)吸附后異物掉落之黏附性，該黏片滾簡28為一可自動(dòng)更換之黏片滾簡，可由自動(dòng)化機(jī)構(gòu) 自動(dòng)更換新的黏片滾簡；位于該第二開口部份18之流道內(nèi)有一吸氣裝置角 度調(diào)節(jié)栓30，該角度調(diào)節(jié)栓30系可為一自動(dòng)化調(diào)整之微調(diào)裝置，亦可為一 手動(dòng)式旋鈕微調(diào)裝置，主要用以調(diào)整吸氣孔與平臺(tái)IO角度，用以吸附平臺(tái) IO較為廣泛之面積。第二圖為本發(fā)明于前進(jìn)方向之實(shí)施狀態(tài)示意圖，如圖所示，如該系統(tǒng) 于前進(jìn)方向作動(dòng)時(shí)，其第一開口部份16內(nèi)之吹氣氣流32與第二開口部份 18內(nèi)之吸氣氣流34,可同時(shí)產(chǎn)生于前進(jìn)方向作動(dòng)，由此吹氣氣流32，通過 流道內(nèi)的過濾裝置26,將異物吹起，再經(jīng)由檔片20阻擋，可避免吹氣氣流 32于平臺(tái)IO上造成擾流，將異物擴(kuò)散，接著再經(jīng)由第二開口部份18，將 平臺(tái)10上異物吸入，并于第二開口部份18之流道中出口端之黏片滾簡28， 吸附異物。第三圖為本發(fā)明于回復(fù)方向之實(shí)施狀態(tài)示意圖，如圖所示且配合第四 圖，如該系統(tǒng)于回復(fù)方向作動(dòng)時(shí)，其第一開口部份16內(nèi)將因電磁閩36控 制而停止產(chǎn)生吹氣氣流32，而第二開口部份18內(nèi)之吸氣氣流34，因電磁 閥36控制而可產(chǎn)生于回復(fù)方向作動(dòng)。第四圖為本發(fā)明之作動(dòng)運(yùn)行方式示意圖，如圖所示，當(dāng)該系統(tǒng)于前進(jìn) 方向作動(dòng)時(shí)，其第一開口部分16與第二開口部分18會(huì)同時(shí)因電磁閩36導(dǎo) 通而進(jìn)行作動(dòng)，吹氣氣流32與吸氣氣流34可同時(shí)產(chǎn)生于前進(jìn)方向；當(dāng)該 系統(tǒng)行進(jìn)之末端時(shí)，則前進(jìn)方向信號(hào)38會(huì)同時(shí)關(guān)閉第一開口部分16與第 二開口部分18之電磁閥36，停止所有動(dòng)作；當(dāng)該系統(tǒng)于回復(fù)方向作動(dòng)時(shí)， 后退信號(hào)40則會(huì)單獨(dú)控制第二開口部分18,再進(jìn)行二次抽除動(dòng)作；待系統(tǒng) 回復(fù)至原點(diǎn)后，所有信號(hào)皆關(guān)閉，結(jié)束所有流程動(dòng)作。第五圖為本發(fā)明之龍門式結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示， 一平臺(tái)10上方有一 自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)12 ，位于該自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)12中有一系統(tǒng)運(yùn) 作機(jī)臺(tái)13,該系統(tǒng)運(yùn)作機(jī)臺(tái)13上具有一支撐架14， 一龍門式框架42位于 該支撐架14上方，并與該支撐架14整體相接合，該支撐架14系可于該龍 門式框42上做前進(jìn)及回復(fù)之動(dòng)作；該支撐架14上接續(xù)有兩開口， 一為第 一開口部份16，其系位于該支撐架14上方， 一第二開口部份18，其系位 于該支撐架14上方并與第一開口部份16連結(jié)，該第一開口后端接續(xù)為一 高真空管路快速接頭22，其系主要為連接廠物端來源及該裝置； 一檔片20,其系位于第一開口部份16及第二開口部份18之側(cè)邊，該檔片20為一隔檔硬物，其系可清除較大之突起物，避免凸起物傷害該平臺(tái)上系統(tǒng)運(yùn)作機(jī)臺(tái)13之噴涂嘴，且該檔片20系為一可調(diào)式檔片，可調(diào)整檔片20與自動(dòng)清洗 承載平臺(tái)系統(tǒng)12之距離，此外該檔片20與第一開口部份16和第二開口部 份18間有一異物回流空間，該空間可避免吹出氣流于平臺(tái)IO上造成擾流， 使異物擴(kuò)散造成再次污染；另于支撐架14與承載平臺(tái)間設(shè)有一機(jī)構(gòu)墊片組 24,其主要目的為減緩震動(dòng)造成的硬件摩擦；其中該第一開口部份16前端 系為一吹氣孔，其吹出氣流可將平臺(tái)IO上之異物吹起，該吹氣孔有一角度 設(shè)計(jì)30-50度，可利于吹起異物，于第一開口 16部份之流道中設(shè)有一過濾 裝置26，其為一種靜電式及可更換式之干燥濾網(wǎng)，主要用以過濾干燥空氣； 自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)12上之第二開口部份18之前端為一吸氣孔，系主 要供吸入氣流通過，其吸入氣流可將平臺(tái)10上之異物吸該第二開口部份18 之流道中，達(dá)到清潔之效果，另于第二開口部份18之流道中出口端有一可 拆換式之黏片滾簡28,可輔助并加強(qiáng)吸附后異物掉落之黏附性，該黏片滾 簡28為 一可自動(dòng)更換之黏片滾簡，可由自動(dòng)化機(jī)構(gòu)自動(dòng)更換新的黏片滾簡； 位于該第二開口部份18之流道內(nèi)有一吸氣裝置角度調(diào)節(jié)栓30,該角度調(diào)節(jié) 栓30系為一自動(dòng)化調(diào)整之微調(diào)裝置，為一手動(dòng)式旋鈕微調(diào)裝置，主要用以 調(diào)節(jié)第二開口部份18與自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)12之角度。當(dāng)該系統(tǒng)在龍 門式框架42上于前進(jìn)方向作動(dòng)時(shí)，其第一開口部份16內(nèi)之吹氣氣流32與 第二開口部份18內(nèi)之吸氣氣流34,可同時(shí)產(chǎn)生于前進(jìn)方向作動(dòng)，由此吹氣 氣流32，通過流道內(nèi)的過濾裝置26，將異物吹起，再經(jīng)由檔片20阻擋， 可避免吹氣氣流32于平臺(tái)10上造成擾流，將異物擴(kuò)散，接著再經(jīng)由第二 開口部份18，將平臺(tái)10上異物吸入，并于第二開口部份18之流道中出口 端之黏片滾簡28，吸附異物。當(dāng)該系統(tǒng)在龍門式框架42上，于回復(fù)方向作 動(dòng)時(shí)，其第一開口部份16內(nèi)將因電磁閥36控制而停止產(chǎn)生吹氣氣流32， 而第二開口部份18內(nèi)之吸氣氣流34，因電磁閥36控制而可產(chǎn)生于回復(fù)方 向作動(dòng)。以上所述實(shí)施例僅系為說明本發(fā)明之技術(shù)思想及特點(diǎn)，其目的在使熟習(xí) 此項(xiàng)技藝之人士能夠了解本發(fā)明之內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，當(dāng)不能以之限定本發(fā)明 之專利范圍，即大凡依本發(fā)明所揭示之精神所作之均等變化或修飾，仍應(yīng)涵 蓋在本發(fā)明之專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)包括一支撐架，其系位于一系統(tǒng)運(yùn)作機(jī)臺(tái)；一第一開口部份，其系位于該支撐架上方；一第二開口部份，其系位于該支撐架上方并與第一開口部份連結(jié)；一檔片，其系位于該第一開口部份與該第二開口部份側(cè)邊。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該支撐 架與承載平臺(tái)間設(shè)有一機(jī)構(gòu)墊片組，增加緩沖降低震動(dòng)所帶來之損傷。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該第 一開口部份前端系為一吹氣孔，其吹出氣流可將平臺(tái)上之異物吹起。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該吹氣孔有一角度設(shè)計(jì)30-50度，以利異物吹起。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于 該第一開口部份后端接續(xù)為一高真空管路快速接頭，其系為連接廠物端來 源及該吹氣裝置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該第 一開口部份之流道中更包含一過濾裝置，可過濾干燥空氣。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于 該過濾裝置可為一可更換式干燥濾網(wǎng)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于 該過濾裝置可為一可靜電式干燥濾網(wǎng)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該第 二開口部份前端為一吸氣孔，可供吸入氣流通過，其吸入氣流可將該平臺(tái) 上之異物吸入流道。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于:該第二開口部份后端接續(xù)為一高真空管路快速接頭，其系為連接廠物端 來源及該吸氣裝置。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于 該第二開口部份之流道中更包含一黏片滾筒，其系位于該吸氣裝置出口 處。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1或11所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于 該黏片滾筒系為一可拆換式黏片滾筒，可輔助并加強(qiáng)吸附后之異物掉落 之可能性。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1或11所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于-該黏片滾筒系為一可自動(dòng)化更換式黏片滾筒，可由自動(dòng)化機(jī)構(gòu)自動(dòng)更換 新的黏片滾筒。
14. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該第 二開口部份之流道上包含一吸氣裝置角度調(diào)節(jié)栓，該角度調(diào)節(jié)栓可調(diào)節(jié) 吸氣裝置與承載平臺(tái)之角度。
15. 根據(jù)權(quán)利要求1或14所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于: 該角度調(diào)節(jié)栓系為一手動(dòng)旋鈕式微調(diào)裝置。
16. 根據(jù)權(quán)利要求1或14所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于: 該角度調(diào)節(jié)栓系為一自動(dòng)化調(diào)整之微調(diào)裝置。
17. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該自 動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)于回復(fù)時(shí)只可進(jìn)行吸氣之動(dòng)作。
18. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該文 件片為一隔檔硬物，其系可清除較大之突起物。
19. 根據(jù)權(quán)利要求1或18所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于: 該文件片為可調(diào)式檔片，可調(diào)整檔片與承載平臺(tái)之距離。
20. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該文件片與第一開口部份及第二開口部份間有一異物回流空間，避免吹出氣 流于平臺(tái)上造成擾流而將異物擴(kuò)散。 21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)裝置，其特征在于該支 撐架可做為一龍門式架構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明系提供一種自動(dòng)清洗承載平臺(tái)系統(tǒng)，其特征在于可做前進(jìn)及回復(fù)之往復(fù)運(yùn)動(dòng)，用以清潔一平臺(tái)。其系包括一支撐架，位于一系統(tǒng)運(yùn)作機(jī)臺(tái)上，該支撐架上接續(xù)有兩開口，一為第一開口部份，一為第二開口部份；一檔片，其系位于該第一開口部份與第二開口部份側(cè)邊，該第一開口部份前端為一吹氣孔，其吹出氣流可將平臺(tái)上之異物吹起，該第二開口部份前端為一吸氣孔，可供吸入氣流通過，吸入氣流可將該平臺(tái)上之異物吸入流道，位于該第一開口部份與第二開口部份側(cè)邊之一檔片，其系可清除較大之突起物。
文檔編號(hào)G03F7/16GK101281373SQ200810090269
公開日2008年10月8日 申請(qǐng)日期2008年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月31日
發(fā)明者劉耀隆, 葉奕志 申請(qǐng)人:深超光電(深圳)有限公司