專利名稱：基板外觀檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板外觀檢査裝置。
背景技術(shù)：
以往，公知有如下的基板外觀檢査裝置在制造LCD(液晶顯示器)
等的FPD (平板顯示器)時，通過目視來觀察在玻璃基板上產(chǎn)生的缺陷 等。這樣，基于目視的檢查一般也被稱為宏觀觀察，通過將基于宏觀觀 察單元的面光源照射到支承在保持器上的被檢査基板的表面，并利用電 視攝像機拍攝被檢查基板表面的反射光的變化，從而進(jìn)行基于宏觀觀察 的外觀檢查(例如參照專利文獻(xiàn)1的圖6)。
專利文獻(xiàn)1日本特開平10-111253號公報
但是，在上述專利文獻(xiàn)l中，在LCD的制造工序中，在對生產(chǎn)線上 搬送來的玻璃基板進(jìn)行基于攝像機的外觀檢査的情況下，需要暫時從生 產(chǎn)線中取出玻璃基板進(jìn)行檢査，存在無法縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間的問題。進(jìn) 而，在獨立于生產(chǎn)線來配置外觀檢査裝置的情況下，需要其配置空間和 搬送機械手等機構(gòu)，也存在難以實現(xiàn)制造設(shè)備的節(jié)省空間化的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這種情況而完成的，其目的在于提供下述的基板外觀 檢査裝置不用從生產(chǎn)線中取出在生產(chǎn)線上搬送來的玻璃基板，就能夠 對其整個面進(jìn)行詳細(xì)的外觀檢査，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)節(jié)拍時間的縮短和制造 設(shè)備的小型化。
為了解決上述課題，本發(fā)明采用以下的手段。
本發(fā)明提供基板外觀檢査裝置，該基板外觀檢查裝置具有照明部， 其產(chǎn)生對在生產(chǎn)線上搬送來的基板的表面進(jìn)行照射的照明光；攝影部，
其對從該照明部發(fā)出并在所述基板的表面反射的反射光所產(chǎn)生的該基板
的表面的像進(jìn)行拍攝；第1移動機構(gòu)，其使這些照明部和攝影部在與所 述生產(chǎn)線上的所述基板的搬送方向交叉的方向上一體地移動；以及第2 移動機構(gòu)，其使該第1移動機構(gòu)在所述生產(chǎn)線的搬送方向上移動，所述 攝影部配置于來自所述照明部的照明光的在所述基板的表面的單向反射 光的光束的范圍外。
根據(jù)本發(fā)明，從照明部產(chǎn)生的照明光照射到基板的表面，通過攝影 部的動作來拍攝其反射光。由此，例如在監(jiān)視器上顯示所拍攝的基板表 面的圖像，能夠在監(jiān)視器上進(jìn)行目視觀察。
該情況下，由于攝影部配置在單向反射光的光束的范圍外，所以顯 示在監(jiān)視器上的圖像中不會產(chǎn)生亮度飽和的區(qū)域。因此，觀察者能夠沒 有遺漏地觀察圖像的整體所顯示的基板的外觀。
并且，通過第1移動機構(gòu)的動作，使照明部和攝影部在與生產(chǎn)線的 搬送方向交叉的方向上一體地移動，由此，能夠?qū)宓膶挾确较蛘w (即，與基板的搬送方向交叉的方向整體)進(jìn)行詳細(xì)的觀察。并且，關(guān) 于生產(chǎn)線的搬送方向，通過生產(chǎn)線使基板移動，由此，能夠沿搬送方向 整體對基板進(jìn)行詳細(xì)的觀察。因此，即使基板大型化，也能夠容易地進(jìn) 行基板整體的詳細(xì)的檢査。
并且，通過第2移動機構(gòu)的動作，即使基板在線上停止的情況下， 也能夠使照明部和攝影部在基板的搬送方向上一體地移動，能夠?qū)?的整體進(jìn)行詳細(xì)的觀察。
并且，由于對配置在生產(chǎn)線上的狀態(tài)下的基板進(jìn)行觀察，所以不需 要從生產(chǎn)線中取出基板。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)節(jié)拍時間的縮短。并且， 不需要基板取出機構(gòu)等的單獨的裝置，能夠減小設(shè)置空間，實現(xiàn)設(shè)備的 小型化。
并且，在上述發(fā)明中，所述第1移動機構(gòu)也可以具有第1導(dǎo)軌， 其架設(shè)在與所述生產(chǎn)線的搬送方向交叉的方向上；第1滑動件，其搭載 所述照明部和所述攝影部，且能夠移動地支承在所述第1導(dǎo)軌上；以及 第1驅(qū)動裝置，其沿著所述第1導(dǎo)軌驅(qū)動該第1滑動件。通過這樣構(gòu)成，通過第1驅(qū)動裝置的動作來使第1滑動件在架設(shè)在 與生產(chǎn)線的搬送方向交叉的方向上的第1導(dǎo)軌上移動，由此，能夠使照 明部和攝影部在與生產(chǎn)線的搬送方向交叉的方向上一體地移動。并且， 由于將第1導(dǎo)軌架設(shè)在與生產(chǎn)線的搬送方向交叉的方向上，所以，不用 選擇生產(chǎn)線的位置就能夠設(shè)置第1移動機構(gòu)。并且，能夠在己經(jīng)構(gòu)筑的 生產(chǎn)線中后安裝第l移動機構(gòu)。
并且，在上述發(fā)明中，所述第2移動機構(gòu)也可以具有第2導(dǎo)軌，
其沿著所述生產(chǎn)線的搬送方向配置；第2滑動件，其搭載所述第1移動
機構(gòu)，且能夠移動地支承在所述第2導(dǎo)軌上；以及第2驅(qū)動裝置，其沿
著所述第2導(dǎo)軌驅(qū)動該第2滑動件。
通過這樣構(gòu)成，通過第2驅(qū)動裝置的動作來使第2滑動件在沿著生產(chǎn)線的搬送方向配置的第2導(dǎo)軌上移動，由此，能夠使照明部和攝影部 在生產(chǎn)線的搬送方向上一體地移動。并且，由于沿著生產(chǎn)線的搬送方向 配置第2導(dǎo)軌，所以，不用選擇生產(chǎn)線的位置就能夠設(shè)置第2移動機構(gòu)。 并且，能夠在已經(jīng)構(gòu)筑的生產(chǎn)線中后安裝第2移動機構(gòu)。并且，在上述發(fā)明中，也可以具有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)使所述攝影部以從所述照明部照射的照射光的照射范圍的中心為旋轉(zhuǎn)支點進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)。
通過這樣構(gòu)成，通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的動作，使攝影部以從照明部照射的照射光的照射范圍的中心為旋轉(zhuǎn)支點進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，能夠一邊改變攝 影部的視點一邊進(jìn)行基板檢查。由此，能夠進(jìn)行近似于直接的目視觀察 的觀察。
并且，在上述發(fā)明中，所述攝影部也可以具有對所述基板的表面的像放大進(jìn)行拍攝的變焦機構(gòu)，使所述攝影部以攝影位置為支點在二維方 向上轉(zhuǎn)動，以使檢測出的所述基板上的缺陷進(jìn)入所述攝影部的視野內(nèi)。
通過這樣構(gòu)成，使攝影部以攝影位置為支點在二維方向上轉(zhuǎn)動，以使檢測出的基板上的缺陷進(jìn)入攝影部的視野內(nèi)，并通過變焦機構(gòu)對基板 的表面的像放大進(jìn)行拍攝，由此，能夠容易地觀察基板的表面的缺陷部分。
并且，在上述發(fā)明中，該基板外觀檢査裝置也可以具有監(jiān)視器，該 監(jiān)視器顯示由所述攝影部拍攝的像，該基板外觀檢査裝置使所述第1滑 動件以恒定的速度移動，使得通過連續(xù)地在所述監(jiān)視器上映出由所述攝影 部拍攝的圖像而獲得的動態(tài)圖像成為能夠由觀察者確認(rèn)缺陷的圖像流。
通過這樣構(gòu)成，通過映出了基板的表面的監(jiān)視器上的動態(tài)圖像，觀 察者能夠容易地發(fā)現(xiàn)缺陷。
并且，在上述發(fā)明中，該基板外觀檢査裝置也可以具有存儲部，該 存儲部將由所述攝影部拍攝的基于所述照明部的照明范圍的圖像和與該 圖像對應(yīng)的所述基板上的坐標(biāo)位置對應(yīng)起來進(jìn)行保存。
通過這樣構(gòu)成，在存儲部中保存觀察者發(fā)現(xiàn)了缺陷的基板的圖像和 與該圖像對應(yīng)的基板上的坐標(biāo)位置，由此，能夠作為以后再次確認(rèn)/驗證 判定結(jié)果時的數(shù)據(jù)進(jìn)行活用。
并且，在上述發(fā)明中，所述攝影部也可以具有對所述基板的表面的 缺陷放大進(jìn)行拍攝的變焦機構(gòu)，在所述存儲部中保存由該變焦機構(gòu)放大 后的缺陷的像。
通過這樣構(gòu)成，以后再次確認(rèn)/驗證判定結(jié)果時，能夠容易地確認(rèn)基 板的表面的缺陷部分。
并且，在上述發(fā)明中，該基板外觀檢査裝置也可以具有顯示由所 述攝影部拍攝的像的監(jiān)視器；和對顯示在所述監(jiān)視器上的所述圖像中的 缺陷的任意的位置進(jìn)行指定的指示器，算出由該指示器所指定的缺陷的 位置坐標(biāo)，與所述基板對應(yīng)起來進(jìn)行存儲。
通過這樣構(gòu)成，能夠容易地在事后確定在檢查中檢測出的基板上的 缺陷的位置。
根據(jù)本發(fā)明，發(fā)揮如下效果不用從生產(chǎn)線中取出在生產(chǎn)線上搬送 來的玻璃基板，就能夠?qū)ζ湔麄€面進(jìn)行詳細(xì)的外觀檢查，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn) 節(jié)拍時間的縮短和制造設(shè)備的小型化。


圖1是從上方觀察本發(fā)明第1實施方式的基板外觀檢查裝置的示意
結(jié)構(gòu)圖。
圖2是圖1的基板外觀檢查裝置的側(cè)視圖。
圖3是示出圖1的基板外觀檢査裝置的檢査裝置單元的示意圖。 圖4是示出基板的生產(chǎn)線的示意圖。
圖5是示出本發(fā)明第2實施方式的基板外觀檢査裝置的導(dǎo)向件的示意圖。
圖6是示出圖5的基板外觀檢査裝置的檢查裝置單元的圖。
圖7是示出圖5的導(dǎo)向件的變形例的示意圖。
符號說明
1、 31:基板外觀檢查裝置；5:監(jiān)視器；7:第1移動機構(gòu)；9:第 2移動機構(gòu)；11:照明裝置(照明部)；13:攝像機(攝影部)；15:第l 導(dǎo)軌；17:第l滑動件；21:第2導(dǎo)軌；23:第2滑動件；33:導(dǎo)向件 (旋轉(zhuǎn)機構(gòu))；50:基板；52:生產(chǎn)線。
具體實施方式
[第1實施方式]
下面，參照

本發(fā)明第1實施方式的基板外觀檢查裝置。 本實施方式的基板外觀檢查裝置1主要是設(shè)置在基板的生產(chǎn)線上、 用于對通過輸送機等搬送來的基板表面進(jìn)行檢査的裝置。
如圖1和圖2所示，基板外觀檢査裝置1具有檢査裝置單元3，
其觀察在生產(chǎn)線52上搬送來的基板50的表面的外觀；監(jiān)視器5，其顯示
由該檢查裝置單元3所拍攝的圖像；第1移動機構(gòu)7，其使檢查裝置單元
3在與基板50的搬送方向交叉的方向上移動；以及第2移動機構(gòu)9，其 使檢查裝置單元3在基板50的搬送方向上移動。
如圖3所示，檢查裝置單元3具有照明裝置(照明部)11，其產(chǎn) 生散射光和會聚光來作為向基板50的表面照射的照明光；和攝像機(攝
影部)13，其對從該照明裝置11發(fā)出并由基板50的表面反射的反射光 所產(chǎn)生的基板50的表面的像進(jìn)行拍攝。這些照明裝置11和攝像機13設(shè) 置在后述的第1移動機構(gòu)7上。
照明裝置11配置成，使得照明光的光軸相對于生產(chǎn)線52上的基板 50的表面傾斜預(yù)定的傾斜角度。并且，如圖3所示，從照明裝置ll射出
會聚光。
另外，可以從照明裝置11射出散射光或會聚光中的任一方。
并且，優(yōu)選照明裝置ll具有使從光源射出的照明光會聚的菲涅耳 透鏡；和在透明狀態(tài)和散射狀態(tài)之間進(jìn)行切換的透射型液晶散射板。根 據(jù)基板50的檢查條件，在透明狀態(tài)和散射狀態(tài)之間切換透射型液晶散射板。
攝像機13例如是CCD等的能夠獲得二維圖像的攝像機，能夠獲得 靜態(tài)圖像或動態(tài)圖像的至少一方的圖像。攝像機13配置成，其光軸相對 于生產(chǎn)線52上的基板50的表面傾斜預(yù)定的傾斜角度，并且，使光軸與 照明裝置11的照明范圍的中心一致。
該攝像機13被支承為，能夠以照明范圍的中心為旋轉(zhuǎn)支點在XY的 二維方向轉(zhuǎn)動，或者以成為視點位置的攝像機13的攝影位置為旋轉(zhuǎn)支點 在XY的二維方向轉(zhuǎn)動，也可以通過觀察者對操縱桿等操作部的操作， 遠(yuǎn)距離操作攝像機13，使其成為期望的攝影位置和攝影角度。
另外，攝像機13具有變焦機構(gòu)。利用該變焦機構(gòu)對檢測出的缺陷進(jìn) 行放大，能夠使攝像機13以攝影位置為旋轉(zhuǎn)支點在XY的二維方向上轉(zhuǎn) 動，以使該缺陷進(jìn)入攝像機13的視野內(nèi)。
并且，攝像機13被支承為，位于來自照明裝置11的照明光的、由 基板50的表面單向反射的會聚光的范圍外。另外，為了獲得清晰的圖像， 優(yōu)選在會聚光的范圍外且在會聚光的附近設(shè)置攝像機13。
如圖2所示，監(jiān)視器5與攝像機13連接，顯示由攝像機13所拍攝 的基板50的表面的圖像。并且，監(jiān)視器5具有存儲部(省略圖示)，該 存儲部存儲由攝像機13所拍攝的照明范圍的宏觀像和所放大的缺陷像。
第1移動機構(gòu)7具有第1導(dǎo)軌15，其架設(shè)在與生產(chǎn)線52的搬送 方向(Y方向)交叉的寬度方向(X方向)上；第1滑動件17，其能夠 移動地支承在該第1導(dǎo)軌15上；以及例如由直線電動機等直線驅(qū)動機構(gòu) 構(gòu)成的第1驅(qū)動裝置(省略圖示)，其沿著第1導(dǎo)軌15驅(qū)動該第1滑動
件17。
也可以使第1滑動件17以一定的速度移動，使得通過連續(xù)地在監(jiān)視
器5上映出由攝像機13所拍攝的圖像而獲得的動態(tài)圖像成為能夠由觀察 者確認(rèn)基板50上的缺陷的程度的圖像流，并在觀察者發(fā)現(xiàn)缺陷時使第1 滑動件17停止。該情況下，當(dāng)觀察者判定為缺陷時，將由攝像機13所 拍攝的圖像作為靜態(tài)圖像保存起來，并且求出相對于該靜態(tài)圖像的基板 50上的坐標(biāo)位置，將其作為位置信息保存起來。這樣，通過僅保存觀察 者判定為缺陷的靜態(tài)圖像和位置信息，能夠作為以后再次確認(rèn)/驗證判定 結(jié)果時的數(shù)據(jù)進(jìn)行活用。
第1導(dǎo)軌15是一對平行的導(dǎo)軌部件。第1導(dǎo)軌15以位于生產(chǎn)線52 的上方的方式將長度方向的兩端部分別支承在后述的第2移動機構(gòu)9上。 并且，第1導(dǎo)軌15的一對導(dǎo)軌部件在生產(chǎn)線52的搬送方向上隔開間隔 配置，分別支承第1滑動件17的兩端部。
第1滑動件17形成為具有矩形狀的開口部的框狀，在X方向上對置 的兩框部上搭載有照明裝置11和攝像機13。由此，相對于在第1滑動件 17下方搬送的基板50,來自照明裝置11的照明光通過開口部照射到基 板50上，并且，來自基板50的表面的反射光通過開口部入射到攝像機 13，拍攝基板50的表面的像。并且，當(dāng)沿著第1導(dǎo)軌15驅(qū)動第1滑動 件17時，照明裝置11和攝像機13在與生產(chǎn)線52的搬送方向正交的方 向上一體地移動。
第2移動機構(gòu)9具有 一對基座19，其沿著生產(chǎn)線52的搬送方向 配置；第2導(dǎo)軌21，其安裝在該基座19上；第2滑動件23，其能夠移 動地支承在該第2導(dǎo)軌21上；以及例如由直線電動機等直線驅(qū)動機構(gòu)構(gòu) 成的第2驅(qū)動裝置(省略圖示)，其沿著第2導(dǎo)軌21驅(qū)動該第2滑動件 23。
基座19與生產(chǎn)線52的基板搬送路徑平行地配置在其兩側(cè)。并且， 基座19能夠根據(jù)生產(chǎn)線52的基板搬送高度上下進(jìn)行位置調(diào)節(jié)。由此， 能夠相對于由構(gòu)成基板搬送路徑的輸送機54搬送的基板50，來調(diào)節(jié)檢查 裝置單元3的高度，使得攝像機13的焦點位置為最佳。
第2導(dǎo)軌21是一對平行的導(dǎo)軌部件。第2導(dǎo)軌21沿著基座19的上 端面，以與生產(chǎn)線52的搬送方向平行的方式安裝。
第2滑動件23是長度與上述第1導(dǎo)軌15之間的寬度相同程度的板 狀部件，第1導(dǎo)軌15的長度方向的兩端部分別安裝在第2滑動件23上。
艮P，第1移動機構(gòu)7和第2移動機構(gòu)9以相互正交的方式組合，構(gòu) 成為能夠使檢查裝置單元3在XY方向的二維方向上移動的XY臺。由 此，檢査裝置單元3能夠通過第1移動機構(gòu)7的動作在與生產(chǎn)線52的搬 送方向交叉的方向上移動，同時，通過第2移動機構(gòu)9的動作在生產(chǎn)線 52的搬送方向上以預(yù)定間距移動，由此，相對于基板50的整個面，按照 預(yù)定間距左右彎彎曲曲地行進(jìn)。
并且，本實施方式的基板外觀檢査裝置1例如在第1導(dǎo)軌15和第2 導(dǎo)軌21上分別設(shè)置X刻度和Y刻度，根據(jù)通過這些刻度讀取的檢査裝 置單元3的XY坐標(biāo)，將顯示在監(jiān)視器5上的圖像的中心位置與基板50 上的坐標(biāo)對應(yīng)起來，存儲在存儲部中。并且，也可以利用指示器(省略 圖示)來指定該圖像中的缺陷的中心位置，由此來算出缺陷的位置坐標(biāo) (即X方向距離和Y方向距離)，與基板50的坐標(biāo)對應(yīng)起來存儲在存儲 部中。
說明這樣構(gòu)成的本實施方式的基板外觀檢査裝置1的作用。 要通過本實施方式的基板外觀檢査裝置1對在生產(chǎn)線52上搬送的基
板50進(jìn)行檢查，首先，將基板外觀檢査裝置1設(shè)置在生產(chǎn)線52的任意
位置上。
例如在圖4所示那樣從第1制造裝置56向第2制造裝置58搬送基 板50的生產(chǎn)線52上，即在基板搬送路徑具有大約彎折90°的拐角部分 的生產(chǎn)線上，在設(shè)置位置60、 62、 64那樣的使基板50直線移動的直線 搬送線的位置上，在生產(chǎn)線52的兩側(cè)配置基座19，以將第1導(dǎo)軌15架 設(shè)在與生產(chǎn)線52的基板搬送方向交叉的方向上。
而且，例如從在基板50上涂敷抗蝕劑的制造裝置搬出來的基板50 由生產(chǎn)線52的輸送機54向設(shè)置在下一制造工序中的制造裝置搬送。這 里，搬送來的基板50在基板外觀檢查裝置1的檢査區(qū)域內(nèi)暫時停止。如
圖1的箭頭A所示，使檢査裝置單元3移動以進(jìn)行光柵掃描，遍及基板 50的表面的整體從照明裝置11照射照明光，利用攝像機13拍攝基板50 的表面的像。
例如如圖4所示那樣，在成為各制造裝置56、 58的搬出側(cè)或搬入側(cè) 的設(shè)置位置60、 64設(shè)置基板外觀檢査裝置1的情況下，當(dāng)利用設(shè)置在成 為基板搬送路徑的輸送機54的間隙的位置檢測傳感器(省略圖示)檢測 到基板50被搬入檢查區(qū)域內(nèi)時，停止輸送機54的驅(qū)動，使基板50在設(shè) 置于設(shè)置位置60、 64的基板外觀檢査裝置1的檢査區(qū)域內(nèi)停止。然后， 通過第1移動機構(gòu)7的動作，使檢査裝置單元3在與生產(chǎn)線52的基板搬 送方向正交的方向上往復(fù)移動，由此，能夠?qū)?0的短邊方向整體進(jìn) 行詳細(xì)的觀察。
并且，通過第2移動機構(gòu)9的動作，使第1移動機構(gòu)7在生產(chǎn)線52 的搬送方向上以比照明范圍的照射寬度稍短的寬度間距移動，由此，能 夠?qū)?0的長邊方向整體進(jìn)行詳細(xì)的觀察。
并且，在圖4所示的設(shè)置位置62設(shè)置基板外觀檢查裝置1的情況下， 搬送來的基板50在相對于設(shè)置位置60旋轉(zhuǎn)大約90°后的狀態(tài)下被搬送。 即，基板50以如下方式被搬送在搬送線的拐角部分不改變朝向，僅移 動方向改變大約90° 。因此，相對于設(shè)置位置62的基板外觀檢查裝置1， 基板50以相對于設(shè)置位置60處的基板外觀檢査裝置1的朝向旋轉(zhuǎn)大約 90°后的朝向被搬送。
接著，使基板50在生產(chǎn)線52的設(shè)置位置62上停止。然后，通過第 1移動機構(gòu)7的動作，相對于搬送來的長方形的基板50，使檢査裝置單 元3在與生產(chǎn)線52的基板搬送方向正交的方向上往復(fù)移動，由此，能夠 對基板50的長邊方向整體進(jìn)行詳細(xì)的觀察。
并且，通過第2移動機構(gòu)9的動作，使第1移動機構(gòu)7在生產(chǎn)線52 的搬送方向上以比照明范圍的照射寬度稍短的間距移動，由此，能夠?qū)?基板50的短邊方向整體進(jìn)行詳細(xì)的觀察。
由此，相對于在基板50的表面上形成的長方形的圖案的排列方向， 在設(shè)置位置60和設(shè)置位置62，能夠從相差大約90。的方向照明并進(jìn)行
拍攝，能夠更詳細(xì)地檢查基板50的表面的缺陷。
這樣，由攝像機13全面掃描后的基板50的表面的圖像顯示在監(jiān)視
器5上，通過觀察者的目視觀察來進(jìn)行基板50的外觀檢查。因此，即使 基板50大型化，也能夠容易地進(jìn)行基板50整體的詳細(xì)的檢查。
該情況下，如圖3所示，由于攝像機13被支承為，位于從基板50 反射的單向反射光的光束的范圍外，所以，攝像機13的照明光的入射不 會飽和，能夠獲得高精度的圖像。因此，觀察者能夠良好地觀察監(jiān)視器5 的圖像的整體所顯示的基板50。
并且，由于顯示在監(jiān)視器5上的圖像的中心位置25和缺陷27的位 置與基板50上的坐標(biāo)對應(yīng)起來存儲在存儲部中，所以，例如利用微觀觀 察裝置等其他的檢查裝置讀出該缺陷27的坐標(biāo)，由此能夠進(jìn)行再檢查。
如以上說明的那樣，根據(jù)本實施方式的基板外觀檢查裝置1，僅通 過在與生產(chǎn)線52的基板搬送方向正交的寬度方向進(jìn)行架設(shè)，就能夠容易 地在現(xiàn)有的生產(chǎn)線的基板搬送空間中進(jìn)行設(shè)置，并且，不用將基板50取 出到生產(chǎn)線52外，在生產(chǎn)線中就能夠進(jìn)行基板50的宏觀檢查。
因此，在生產(chǎn)線52的基板搬送路徑中，通過顯示在監(jiān)視器5上的基 板50的表面的圖像進(jìn)行宏觀檢查，從而不需要以往那樣的將基板搬送到 生產(chǎn)線外的基板取出機構(gòu)等的單獨裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)節(jié)拍時間的縮短。 并且，能夠有效地活用生產(chǎn)線52上方的空間，實現(xiàn)制造設(shè)備的小型化。 并且，由于沿著現(xiàn)有的生產(chǎn)線52的基板搬送路徑配置基板外觀檢査裝置 1，所以，也能夠在已經(jīng)構(gòu)筑的生產(chǎn)線52上簡單地后安裝基板外觀檢査 裝置1。
另外，本實施方式的基板外觀檢查裝置1具有第1移動機構(gòu)7和第 2移動機構(gòu)9，但是，取而代之，通過僅具有第1移動機構(gòu)7，將搬送基 板50的輸送機兼用作第2移動機構(gòu)9，也能夠?qū)?0的搬送方向整體 進(jìn)行詳細(xì)的觀察。并且，通過省略第2移動機構(gòu)9，能夠使基板外觀檢査 裝置1更加小型化。
并且，例如，本實施方式的基板外觀檢査裝置1利用監(jiān)視器5進(jìn)行 目視檢查，但是，也可以在基板外觀檢查裝置1的下游側(cè)具有進(jìn)一步放
大在上游側(cè)檢測出的缺陷來進(jìn)行詳細(xì)檢査的微觀檢査裝置，利用宏觀檢 査獲得缺陷的坐標(biāo)，根據(jù)該缺陷的位置信息，利用微觀檢查裝置進(jìn)行缺 陷的詳細(xì)檢査。
接著，參照圖5和圖6說明本發(fā)明第2實施方式的基板外觀檢查裝 置31。
本實施方式的基板外觀檢査裝置31的檢査裝置單元3具有導(dǎo)向件 (旋轉(zhuǎn)機構(gòu))33。
下面，對與第1實施方式的基板外觀檢査裝置1的結(jié)構(gòu)相同的部位， 附加同一標(biāo)號并省略說明。
導(dǎo)向件33以使得攝像機13的光軸始終朝向從照明裝置11照射的照 明光在基板50上的照射范圍的中心位置35的方式使攝像機13旋轉(zhuǎn)。具 體而言，導(dǎo)向件33是半圓弧狀的導(dǎo)軌，攝像機13安裝成能夠沿著導(dǎo)向 件33移動。
并且，導(dǎo)向件33以攝像機13的光軸相對于基板50的角度逐漸變小 的方式，相對于基板50向照明光的反射方向側(cè)傾斜大約45°的角度進(jìn)行 設(shè)置。由此，如圖6所示，能夠使攝像機13在繞中心位置35大約180。 的范圍內(nèi)，在傾斜大約45°的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)移動。
這樣，例如像攝像機位置13A、 13B、 13C那樣，能夠一邊改變攝像 機13的視點一邊進(jìn)行基板50的檢查。因此，能夠與觀察者相對于基板 50左右歪頭同樣地，由目視觀察者進(jìn)行近似于直視的觀察。
另外，如圖7所示，也可以在導(dǎo)向件33上安裝第2導(dǎo)向件37，來 引導(dǎo)攝像機13的高度方向的移動，相對于照明光的反射軸，該第2導(dǎo)向 件37能夠任意地改變攝像機13的光軸相對于基板50的角度。
如圖6和圖7所示，通過使攝像機13以照明光的照射范圍的中心位 置為旋轉(zhuǎn)支點在左右方向和前后方向旋轉(zhuǎn)，能夠利用從相對于基板50的 多方向改變視點的攝像機13進(jìn)行拍攝，能夠提高基板50上的缺陷檢測 的精度。
以上，參照附圖詳細(xì)敘述了本發(fā)明的各實施方式，但是，具體結(jié)構(gòu)
不限于該實施方式，還包含不脫離本發(fā)明的主旨的范圍的設(shè)計變更等。
例如，也可以將上述各實施方式的基板外觀檢查裝置1、 31的基座
19形成為架設(shè)在生產(chǎn)線52的寬度方向上的形狀。這樣，例如也能夠像圖 4的設(shè)置位置那樣，在生產(chǎn)線52的拐角66、 68處設(shè)置基板外觀檢査裝置 1、 31。因此，能夠在以往成為死空間的生產(chǎn)線52的拐角部分的基板搬 入側(cè)和基板搬出側(cè)設(shè)置基板外觀檢査裝置1、 31，能夠不被生產(chǎn)線52的 形狀所左右地構(gòu)筑基板外觀檢査裝置1、 31，進(jìn)一步有效活用生產(chǎn)線52 上方的空間，能夠?qū)崿F(xiàn)制造設(shè)備的小型化。
并且，成為檢査裝置單元3的照明掃描區(qū)域的檢査區(qū)域也能夠由空 氣浮起臺來代替，該空氣浮起臺使基板50從輥式輸送機浮起預(yù)定高度。 該情況下，為了使基板50的浮起高度保持為恒定，在臺的上表面設(shè)置噴 出空氣的噴出孔和抽吸空氣的抽吸孔，通過空氣的噴出壓力和抽吸壓力 使基板50浮起一定高度。這樣，通過使基板50浮起，能夠完全以非接 觸的方式支承基板50，因此，能夠減小由樣品玻璃那樣的透明基板的背 面下的背景造成的影響，能夠防止由于偽缺陷而造成的誤檢測。
權(quán)利要求
1.一種基板外觀檢查裝置，該基板外觀檢查裝置具有照明部，其產(chǎn)生對在生產(chǎn)線上搬送來的基板的表面進(jìn)行照射的照明光；攝影部，其對從該照明部發(fā)出并在所述基板的表面反射的反射光所產(chǎn)生的該基板的表面的像進(jìn)行拍攝；第1移動機構(gòu)，其使這些照明部和攝影部在與所述生產(chǎn)線的所述基板的搬送方向交叉的方向上一體地移動；以及第2移動機構(gòu)，其使該第1移動機構(gòu)在所述生產(chǎn)線的搬送方向上移動，所述攝影部配置于來自所述照明部的照明光的在所述基板的表面的單向反射光的光束的范圍外。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板外觀檢查裝置，其中， 所述第1移動機構(gòu)具有第1導(dǎo)軌，其架設(shè)在與所述生產(chǎn)線的搬送方向交叉的方向上； 第1滑動件，其搭載所述照明部和所述攝影部，且能夠移動地支承 在所述第l導(dǎo)軌上；以及第1驅(qū)動裝置，其沿著所述第1導(dǎo)軌驅(qū)動該第1滑動件。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板外觀檢查裝置，其中， 所述第2移動機構(gòu)具有第2導(dǎo)軌，其沿著所述生產(chǎn)線的搬送方向配置；第2滑動件，其搭載所述第1移動機構(gòu)，且能夠移動地支承在所述 第2導(dǎo)軌上；以及第2驅(qū)動裝置，其沿著所述第2導(dǎo)軌驅(qū)動該第2滑動件。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板外觀檢査裝置，其中， 該基板外觀檢查裝置具有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)使所述攝影部以從所述照明部照射的照射光的照射范圍的中心為旋轉(zhuǎn)支點進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板外觀檢査裝置，其中，所述攝影部具有對所述基板的表面的像放大進(jìn)行拍攝的變焦機構(gòu)， 該基板外觀檢査裝置使所述攝影部以攝影位置為支點在二維方向上轉(zhuǎn) 動，以使檢測出的所述基板上的缺陷進(jìn)入所述攝影部的視野內(nèi)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板外觀檢查裝置，其中， 該基板外觀檢查裝置具有監(jiān)視器，該監(jiān)視器顯示由所述攝影部拍攝的像，該基板外觀檢査裝置使所述第1滑動件以一定的速度移動，使得通' 過連續(xù)地在所述監(jiān)視器上映出由所述攝影部拍攝的圖像而獲得的動態(tài)圖 像成為能夠由觀察者確認(rèn)缺陷的圖像流。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板外觀檢査裝置，其中，該基板外觀檢査裝置具有存儲部，該存儲部將由所述攝影部拍攝的 基于所述照明部的照明范圍的圖像和與該圖像對應(yīng)的所述基板上的坐標(biāo) 位置對應(yīng)起來進(jìn)行保存。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板外觀檢查裝置，其中， 所述攝影部具有對所述基板的表面的缺陷放大進(jìn)行拍攝的變焦機構(gòu)，在所述存儲部中保存由該變焦機構(gòu)放大后的缺陷的像。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板外觀檢査裝置，其中，該基板外觀檢査裝置具有顯示由所述攝影部拍攝的像的監(jiān)視器； 和對顯示在所述監(jiān)視器上的所述圖像中的缺陷的位置進(jìn)行指定的指示 器，該基板外觀檢查裝置算出由該指示器所指定的缺陷的位置坐標(biāo)，與 所述基板對應(yīng)起來進(jìn)行存儲。
全文摘要
本發(fā)明提供基板外觀檢查裝置。不用從生產(chǎn)線中取出在生產(chǎn)線上搬送來的玻璃基板，就能夠?qū)ζ湔麄€面進(jìn)行詳細(xì)的外觀檢查，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)節(jié)拍時間的縮短和制造設(shè)備的小型化?；逋庥^檢查裝置(1)具有照明裝置(11)，其產(chǎn)生對在生產(chǎn)線(52)上搬送來的基板(50)的表面進(jìn)行照射的照明光；攝像機(13)，其對由照明裝置(11)照明的基板(50)的表面的像進(jìn)行拍攝；以及移動機構(gòu)，其使這些照明裝置(11)和攝像機(13)在與生產(chǎn)線(52)上的基板(50)的搬送方向交叉的方向上一體地移動，攝像機(13)配置于來自照明裝置(11)的照明光的在基板(50)的表面的單向反射光的光束的范圍外。
文檔編號G02F1/13GK101339143SQ20081012812
公開日2009年1月7日 申請日期2008年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月6日
發(fā)明者岡平裕幸 申請人:奧林巴斯株式會社