專利名稱：光罩修補(bǔ)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光罩制作技術(shù)，尤其涉及一種對(duì)光罩制作過(guò)程中產(chǎn)生的針孔 空洞進(jìn)行修補(bǔ)的方法。
背景技術(shù)：
光罩作為一種將透明/不透明圖像在感光膠上曝光的媒介，它內(nèi)部含有高
精度的電路圖像，光罩的材料主要含有包括玻璃基材、鉻(Cr)層、氧化鉻 層、感光膠等。
隨著半導(dǎo)體/液晶顯示技術(shù)的飛速發(fā)展，作為半導(dǎo)體、液晶顯示器中的一 個(gè)重要配件，市場(chǎng)上對(duì)光罩的需求量越來(lái)越大，同時(shí)對(duì)光罩的精度和各項(xiàng)性 能指標(biāo)的要求也越來(lái)越高。特別是在半導(dǎo)體制造方面，隨著對(duì)半導(dǎo)體精度的 要求從微米量級(jí)提升到納米量級(jí)，光罩的精度要求也越來(lái)越重要，光罩精度 提升的主要表征是線條變小，如何使線寬盡可能縮小，是目前光罩制造行業(yè) 面臨的一個(gè)嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。
光罩的制作過(guò)程如下
在蘇打玻璃或石英玻璃基材表面上濺射一層鉻(Cr)層形成遮光層； 在絡(luò)層上面加涂覆一層氧化鉻層；
在氧化鉻層上面涂覆一層感光膠，并使用軟件控制曝光裝置對(duì)感光膠進(jìn) 行電子束曝光或鐳射曝光；
使用化學(xué)藥液顯影、蝕刻，將部分鉻層刻蝕掉，從而形成圖案，其表面 保留的鉻層即為圖案遮光區(qū)。
上述制作過(guò)程中，在玻璃表面濺射鉻層時(shí)，環(huán)境中微小的灰塵和顆粒掉 落在濺射表面；或者使用化學(xué)藥液蝕刻的過(guò)程中，都可能導(dǎo)致鉻層表面遮光 層出現(xiàn)針孔空洞。這種針孔空洞的產(chǎn)生，會(huì)造成線條的缺失，導(dǎo)致光罩報(bào)廢。
為了減少光罩的報(bào)廢，便需要對(duì)出現(xiàn)針孔空洞的光罩進(jìn)行修補(bǔ)。現(xiàn)有技 術(shù)中，對(duì)有針孔空洞的光罩采用的修補(bǔ)方法如下采用納米級(jí)的石英導(dǎo)管注 射，將石英導(dǎo)管內(nèi)的修補(bǔ)材質(zhì)(即修補(bǔ)液)注入光罩的針孔空洞處后，使用
不同加熱裝置對(duì)修補(bǔ)液進(jìn)行加溫加熱處理，使修補(bǔ)液固化在針孔空洞的表面， 達(dá)到修復(fù)的功能。
上述修補(bǔ)方法中，修補(bǔ)液都會(huì)存放在類似于醫(yī)用針管的石英導(dǎo)管中，其
導(dǎo)管口徑為0.5um;在修補(bǔ)過(guò)程中，修補(bǔ)液往往無(wú)法從0.5iim的導(dǎo)管口中 擠出，而要將導(dǎo)管口折斷，使導(dǎo)管口徑變成5um以上，才能擠出修補(bǔ)液。 這將導(dǎo)致兩大問(wèn)題
1、 石英導(dǎo)管口被折斷后，導(dǎo)管只能做報(bào)廢處理，而導(dǎo)管報(bào)廢的同時(shí)還導(dǎo) 致了殘留在導(dǎo)管內(nèi)的修補(bǔ)液的報(bào)廢，造成大量石英導(dǎo)管和修補(bǔ)液的浪費(fèi)；
2、 石英導(dǎo)管口徑增大到5um以上后，修補(bǔ)厚度與修補(bǔ)精度均難以準(zhǔn)確 控制，還浪費(fèi)了大量的修補(bǔ)時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種光罩修補(bǔ)方法，該方法無(wú)需折 斷石英導(dǎo)管即可順利將修補(bǔ)液注入針孔空洞內(nèi)，避免石英導(dǎo)管和修補(bǔ)液的浪 費(fèi)，并且可以準(zhǔn)確地控制修補(bǔ)精度與厚度、縮短修補(bǔ)時(shí)間。 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案 一種光罩修補(bǔ)方法，其特征在于，該方法包括以下步驟 采用加熱裝置對(duì)光罩上待修補(bǔ)的針孔空洞表面進(jìn)行第一次加熱； 采用納米級(jí)的石英導(dǎo)管注射，將石英導(dǎo)管內(nèi)的修補(bǔ)液注入針孔空洞； 采用加熱裝置對(duì)所述注入修補(bǔ)液后的針孔空洞進(jìn)行第二次加熱。 本發(fā)明的有益效果是-
本發(fā)明的實(shí)施例通過(guò)對(duì)針孔空洞進(jìn)行預(yù)加熱，從而使石英導(dǎo)管內(nèi)的修補(bǔ) 液可順利地注入針孔空洞內(nèi)，避免了石英導(dǎo)管和修補(bǔ)液的浪費(fèi)，并且可以準(zhǔn) 確地控制修補(bǔ)精度與厚度，大大縮短了修補(bǔ)時(shí)間。
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。


圖1是本發(fā)明提供的光罩修補(bǔ)方法一個(gè)實(shí)施例的方法流程圖。
具體實(shí)施例方式
參考圖1，該圖是本發(fā)明提供的光罩修補(bǔ)方法一個(gè)實(shí)施例的方法流程如圖所示，本實(shí)施例對(duì)光罩表面的針孔空洞進(jìn)行一次修補(bǔ)處理的具體流程如 下
在步驟SOl中，采用加熱裝置對(duì)光罩上待修補(bǔ)的針孔空洞表面進(jìn)行第一
次加熱，加熱時(shí)間為20-30秒。
在步驟S02中，采用納米級(jí)的石英導(dǎo)管注射，將石英導(dǎo)管內(nèi)的修補(bǔ)液注 入針孔空洞。
在步驟S03中，采用加熱裝置對(duì)所述注入修補(bǔ)液后的針孔空洞進(jìn)行第二 次加熱，加熱時(shí)間30-60秒，使其干燥成形。
在步驟S04中，采用加熱裝置對(duì)所述注入修補(bǔ)液后的針孔空洞進(jìn)行第三 次加熱，加熱時(shí)間30-60秒，達(dá)到固化修補(bǔ)液的效果。
具體實(shí)現(xiàn)時(shí)，對(duì)針孔空洞進(jìn)行第一次加熱、第二次加熱和第三次加熱， 均可采用熱風(fēng)干燥用熱風(fēng)機(jī)(加熱槍)的熱風(fēng)燒制方式，以450-50(TC的加熱 溫度，距離針孔空洞表面2-5cm高度進(jìn)行。
作為一個(gè)較佳的實(shí)施，上述第一次加熱的時(shí)間可為20秒、第二次加熱的 時(shí)間可為60秒、第三次加熱的時(shí)間可為30秒；加熱溫度可為475°C;加熱 槍距離針孔空洞表面的高度可為2cm。
本發(fā)明的實(shí)施例通過(guò)在涂抹修補(bǔ)液之前，對(duì)光罩針孔缺陷處表面進(jìn)行預(yù) 加熱處理，克服了現(xiàn)有技術(shù)的光罩修補(bǔ)方法存在不便與缺陷。由于經(jīng)過(guò)了預(yù) 加熱處理，光罩的空洞表面產(chǎn)生了熱量，此時(shí)石英導(dǎo)管接觸光罩表面，由于 石英導(dǎo)管為硬質(zhì)，導(dǎo)管口受到空洞表面高溫影響，熱氣進(jìn)入石英導(dǎo)管，導(dǎo)致 修補(bǔ)液很容易地順著細(xì)導(dǎo)管流出，沉積在光罩缺陷表面，達(dá)到了不需要折斷 導(dǎo)管、 一次吐出修補(bǔ)液的效果，從而避免了石英導(dǎo)管的報(bào)廢，增加了石英導(dǎo) 管的使用壽命；進(jìn)一步地，由于修補(bǔ)液從0.5um口徑流出，從而在修補(bǔ)小針 孔時(shí)，也減少了修補(bǔ)液的浪費(fèi)，并且使修補(bǔ)精度從5um提升到了0.5"m，從 而更加適用。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，大大地避免了石英導(dǎo)管和修補(bǔ)液的浪費(fèi)，經(jīng)過(guò) 統(tǒng)計(jì)表明，采用傳統(tǒng)的修補(bǔ)方法，以一天平均耗費(fèi)3支石英導(dǎo)管計(jì)算， 一個(gè)月 需耗費(fèi)90支石英導(dǎo)管；而實(shí)施本發(fā)明后，在相同環(huán)境下， 一支石英導(dǎo)管可以 使用15天， 一個(gè)月只需耗費(fèi)2支石英導(dǎo)管，大大地節(jié)省了石英導(dǎo)管、以及導(dǎo)管 內(nèi)的修補(bǔ)液；另一方面，采用傳統(tǒng)的修補(bǔ)方法，進(jìn)行一次修補(bǔ)作業(yè)所耗費(fèi)的
時(shí)間約為15分鐘，而實(shí)施本發(fā)明后，進(jìn)行一次修補(bǔ)作業(yè)所耗費(fèi)的時(shí)間約為5 分鐘，僅為原時(shí)間的三分之一左右，大大降低了修補(bǔ)所花的時(shí)間，提高了作 業(yè)效率和作業(yè)精度。
以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾， 這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1、一種光罩修補(bǔ)方法，其特征在于，該方法包括以下步驟采用加熱裝置對(duì)光罩上待修補(bǔ)的針孔空洞表面進(jìn)行第一次加熱；采用納米級(jí)的石英導(dǎo)管注射，將石英導(dǎo)管內(nèi)的修補(bǔ)液注入針孔空洞；采用加熱裝置對(duì)所述注入修補(bǔ)液后的針孔空洞進(jìn)行第二次加熱。
2、 如權(quán)利要求1所述的光罩修補(bǔ)方法，其特征在于，對(duì)所述針孔空洞進(jìn) 行第二次加熱后，還包括以下步驟采用加熱裝置對(duì)所述針孔空洞進(jìn)行第三次加熱。
3、 如權(quán)利要求2所述的光罩修補(bǔ)方法，其特征在于，所述第一次加熱、 第二次加熱、第三次加熱時(shí)間分別為20-30秒、30-60秒、30-60秒。
4、 如權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的光罩修補(bǔ)方法，其特征在于，所述加 熱裝置為熱風(fēng)機(jī)、加熱溫度為450-500℃、加熱裝置與針孔空洞之間的距離為 2-5厘米。
5、 如權(quán)利要求3所述的光罩修補(bǔ)方法，其特征在于，所述第一次加熱、 第二次加熱、第三次加熱時(shí)間分別為20秒、60秒、30秒。
6、 如權(quán)利要求4所述的光罩修補(bǔ)方法，其特征在于，所述加熱溫度為 475°C、加熱裝置與針孔空洞之間的距離為2厘米。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種光罩修補(bǔ)方法，該方法包括以下步驟采用加熱裝置對(duì)光罩上待修補(bǔ)的針孔空洞表面進(jìn)行第一次加熱；采用納米級(jí)的石英導(dǎo)管注射，將石英導(dǎo)管內(nèi)的修補(bǔ)液注入針孔空洞；采用加熱裝置對(duì)所述注入修補(bǔ)液后的針孔空洞進(jìn)行第二次加熱。本發(fā)明避免了導(dǎo)管和修補(bǔ)液的浪費(fèi)，并且可以準(zhǔn)確地控制修補(bǔ)精度與厚度，大大縮短了修補(bǔ)時(shí)間。
文檔編號(hào)G03F1/72GK101344718SQ20081014192
公開(kāi)日2009年1月14日 申請(qǐng)日期2008年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月15日
發(fā)明者杜武兵, 瞿照地 申請(qǐng)人:深圳市路維電子有限公司