專利名稱：陣列波導(dǎo)器件用的多維對準(zhǔn)平臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種可適用于集成光子芯片與陣列光纖自動對準(zhǔn) 的平臺，具體地說是適用于集成光子器件如光分路器、光纖準(zhǔn)直器、 陣列波導(dǎo)光柵等的六維高精度對準(zhǔn)和封裝的平臺。
背景技術(shù)：
集成光子器件具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、抗干擾能力強、性能一 致性好、穩(wěn)定可靠、便于自動化批量生產(chǎn)等突出優(yōu)勢，近年來廣泛 應(yīng)用于光通信干線網(wǎng)以及接入網(wǎng)的光纖到戶技術(shù)中。集成光子器件 的封裝是利用亞微米精度運動平臺將集成光子芯片與陣列光纖進 行對準(zhǔn)耦合并固定，實現(xiàn)器件的高性能。目前國際上評價封裝質(zhì)量
的先進技術(shù)指標(biāo)是光損耗低于0.15dB，這就要求集成光子芯片與 陣列光纖間的模場分布盡可能匹配，另一方面要求集成光子芯片光 通道與光纖的光軸對準(zhǔn)精度控制在0. In m以下。因此耦合與封裝 成為制約陣列波導(dǎo)器件發(fā)展的一個瓶頸，而且封裝成本占器件總成 本的70% 90%，封裝時間占總生產(chǎn)時間的50%以上，所以一個穩(wěn)定 且快速的封裝方式將會使產(chǎn)品更具優(yōu)勢。
本質(zhì)上，封裝的重點在于使發(fā)射光耦合到光纖或光從光纖進入 接收波導(dǎo)的光功率損耗更小。因此，在光學(xué)元件的封裝及對準(zhǔn)方面， 主要是克服光信號的傳輸損耗如光纖的插入損耗及反射損耗等，和 對準(zhǔn)時由于徑向偏移、角度偏移、波導(dǎo)端面分離、波導(dǎo)芯徑不同及 凸面的端面造成的損耗。對于插入損耗和反射損耗可以通過相應(yīng)的 光纖信號檢測裝置進行檢測和補償，對于波導(dǎo)芯徑和端面凸面也可 以用相應(yīng)的波導(dǎo)制造技術(shù)和精密切割儀器來克服，而剩下的徑向偏 移、角度偏移和波導(dǎo)端面分離則必須通過六維高精度的對準(zhǔn)機械裝 置的軸向平移和繞軸旋轉(zhuǎn)來完成對準(zhǔn)?？梢哉f六維高精度的對準(zhǔn)機 械裝置對整個光學(xué)器件封裝的性能的提高至關(guān)重要。
據(jù)上所述，對于一個六維高精度多通用的對準(zhǔn)機械裝置，其基 本要求有以下三個方面①要有精密、方便、多通用的夾具來夾持 不同型號的集成光子芯片。②要有多軸高精度的對準(zhǔn)。③隔震。對 于①和③而言，基本上高精度且方便通用的夾具和有效的隔震技術(shù) 已經(jīng)成熟；對于②來說又可以分為以下幾個要求l)高精度的位置 傳感。2)較好的傳動和制動性能。3)軸向位移和角度位移。4) 易于控制和精確的定位功能。5)整體機械裝置的組合要求和擴展
性能。高精度對準(zhǔn)實際是通過機械裝置的六軸運動來完成的，即在
軸向位移上X、 Y、 Z軸向的位移運動，在角度位移上Tx、 Ty、 Tz 繞軸的旋轉(zhuǎn)運動。但是六維運動平臺中不同自由度運動間的非嚴(yán)格 正交特性，使得光通道對準(zhǔn)過程中的逐維位置調(diào)整相互耦合干擾， 增大了實現(xiàn)多光路同時高精度對準(zhǔn)與耦合的困難，這就需要整體機 械裝置的優(yōu)化布局與組合。除此之外，對準(zhǔn)機械裝置還要預(yù)留相應(yīng) 的擴展外設(shè)設(shè)備的空間，比如增加IR-CCD、機器視覺、點膠裝置 等，以方便進行集成光子芯片模場檢測、精確對準(zhǔn)和封裝。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種對準(zhǔn)高精度高、使用方 便、多通用且擴展外設(shè)設(shè)備空間大的陣列波導(dǎo)器件用的多維對準(zhǔn)平 臺。
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的陣列波導(dǎo)器件用的多 維對準(zhǔn)平臺，在底板上設(shè)有中間運動平臺，在所述的底板上設(shè)有以 所述的中間運動平臺左右對稱分布的兩臺六維高精度運動平臺，所 述的中間運動平臺是在固立臺上設(shè)有固定臺，在所述的固定臺上轉(zhuǎn) 動設(shè)有繞Y軸旋轉(zhuǎn)動平臺，在所述的固定臺上安裝有通過第三高品 質(zhì)彈性聯(lián)軸節(jié)與所述的繞Y軸旋轉(zhuǎn)動平臺傳動連接的第二步進電 機，在所述的繞Y軸旋轉(zhuǎn)動平臺上設(shè)有轉(zhuǎn)接臺，在所述的轉(zhuǎn)接臺上 方布置有所述的高精密通用的集成光子芯片夾具和真空吸附口，每 臺六維高精度運動平臺的結(jié)構(gòu)是在所述的底板上設(shè)有X軸軸向運 動平臺，所述的X軸軸向運動平臺的動平臺與Z軸軸向運動平臺的 固定臺連接，在所述的Z軸軸向運動平臺的動平臺上設(shè)有連接體， 所述的連接體與Y軸軸向運動平臺的固定臺連接，所述的Y軸軸向 運動平臺的驅(qū)動電機尾部向下，所述的Y軸軸向運動平臺的動平臺 與繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺的固定臺連接，在所述的繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty 運動平臺的動平臺上設(shè)有轉(zhuǎn)接板，所述的轉(zhuǎn)接板與繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx 運動平臺的固定臺連接，所述的繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺的動平臺 與繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平臺的固定臺連接，在所述的繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz 運動平臺的動平臺上設(shè)有連接板和夾具，在所述的夾具上設(shè)有與所 述的集成光子芯片夾具(503)對應(yīng)的高精密通用的波導(dǎo)夾具。
對于六維高精度運動平臺，從下至上布局依次是X軸軸向運動 平臺、Z軸軸向運動平臺、Y軸軸向運動平臺、繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動 平臺、繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺、繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平臺，其中Y 軸軸向運動平臺的驅(qū)動電機尾部向下，通過連接體與Z軸軸向運動 平臺連接；繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺與繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺則通 過轉(zhuǎn)接板連接，這種布局可方便整個平臺擴展IR-CCD,機器視覺，
點膠裝置等外設(shè)設(shè)備。
六維高精度運動平臺考慮到抗傾覆力矩安全系數(shù)尺，為保證整 體平臺的穩(wěn)定和在精度上的要求，六維高精度運動平臺有重心設(shè)在
x軸軸向運動平臺和z軸軸向運動平臺的交點上。
所述的X軸軸向運動平臺、Z軸軸向運動平臺和Y軸軸向運動 平臺的結(jié)構(gòu)是在第一固定臺上設(shè)有線性滑塊導(dǎo)軌，所述的線性滑塊 導(dǎo)軌兩端設(shè)有零位開關(guān)和限位開關(guān)，在所述的線性滑塊導(dǎo)軌上滑動 設(shè)有第一動平臺，交流伺服電機通過安裝臺安裝在所述的第一固定 臺上并通過高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節(jié)連接有高精密滾珠螺桿，所述的高精 密滾珠螺桿通過滑塊與所述的第一動平臺連接，在所述的第一固定 臺上設(shè)有RS232接口 ，在所述的第一動平臺上設(shè)有光柵尺。采用交 流伺服電機驅(qū)動與光柵尺實現(xiàn)閉環(huán)控制，RS232接口，雙邊重復(fù)精-度達到士0.1um，光柵尺的理論分辨率達到10nm，并且電機和滾 珠螺桿通過高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節(jié)連接；
所述的繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺、繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺和繞 Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平臺的結(jié)構(gòu)是在第二固定臺上滑動設(shè)有第二動平 臺，步進電機安裝在所述的第二固定臺上并通過第二高品質(zhì)彈性聯(lián) 軸節(jié)連接有蝸桿，在所述的第二動平臺上設(shè)有與所述的蝸桿嚙合的 蝸輪，在所述的步進電機上設(shè)有RS232接口 。其高精密旋轉(zhuǎn)軸系和 精密研配的蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)，具有限位功能，初始零位功能，采用步
進電機實現(xiàn)開環(huán)控制，RS232接口 ，步進電機的理論分辨率為o.ooor， 雙邊重復(fù)精度達到士 o.oor 。
所說的中間運動平臺包含的繞Y軸旋轉(zhuǎn)平臺，其分別包括高精 密旋轉(zhuǎn)軸系、精密軸承導(dǎo)軌和精密研配的蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)，采用第二 步進電機實現(xiàn)開環(huán)控制，RS232接口 ，第二步進電機的理論分辨率 為o.ooor，雙邊重復(fù)精度達到士o.oor，并且第二步進電機和滾珠螺 桿通過第三高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節(jié)連接。
綜上所述，本發(fā)明是一種對準(zhǔn)高精度高、使用方便、多通用且 擴展外設(shè)設(shè)備空間大的陣列波導(dǎo)器件用的多維對準(zhǔn)平臺。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖2是本發(fā)明的中間平臺的結(jié)構(gòu)示意圖
圖3是軸向運動平臺的結(jié)構(gòu)示意圖4是繞軸旋轉(zhuǎn)平臺的結(jié)構(gòu)示意圖5是兩陣列波導(dǎo)存在徑向偏移的原理簡圖6是兩陣列波導(dǎo)存在角度偏移的原理簡圖7是兩波導(dǎo)存在波導(dǎo)端面分離的原理簡圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步說明。
參見圖1、圖2、圖3和圖4，在底板100上設(shè)有中間運動平 臺200，在底板100上設(shè)有以中間運動平臺200左右對稱分布的第 一六維高精度運動平臺300和第二六維高精度運動平臺400，中間 運動平臺200是在固立臺202上設(shè)有固定臺2013，在固定臺2013 上轉(zhuǎn)動設(shè)有繞Y軸旋轉(zhuǎn)動平臺2014，在固定臺2013上安裝有通過 第三高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節(jié)2012與繞Y軸旋轉(zhuǎn)動平臺2014傳動連接的 第二步進電機2011，在繞Y軸旋轉(zhuǎn)動平臺2014上設(shè)有轉(zhuǎn)接臺203， 在轉(zhuǎn)接臺203上方布置有高精密通用的集成光子芯片夾具503和真 空吸附口 5031，第一六維高精度運動平臺300的結(jié)構(gòu)是在底板100 上設(shè)有第一X軸軸向運動平臺301， 第一X軸軸向運動平臺301 的動平臺與第一 Z軸軸向運動平臺302的固定臺連接，在第一 Z 軸軸向運動平臺302的動平臺上設(shè)有第一連接體304，第一連接體 304與第一Y軸軸向運動平臺303的固定臺連接，第一Y軸軸向運 動平臺303的驅(qū)動電機尾部向下，第一 Y軸軸向運動平臺303的動 平臺與第一繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺306的固定臺連接，在第一繞 Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺306的動平臺上設(shè)有第一轉(zhuǎn)接板305，第一轉(zhuǎn) 接板305與第一繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺307的固定臺連接，第一 繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺307的動平臺與第一繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平 臺308的固定臺連接，在第一繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平臺的動平臺308 上設(shè)有第一連接板500和第一夾具501，在第一夾具501上設(shè)有與 集成光子芯片夾具503對應(yīng)的高精密通用的第一波導(dǎo)夾具502;第 二六維高精度運動平臺400的結(jié)構(gòu)是在底板100上設(shè)有第二X軸軸 向運動平臺401， 第二X軸軸向運動平臺401的動平臺與第二Z 軸軸向運動平臺402的固定臺連接，在第二 Z軸軸向運動平臺402 的動平臺上設(shè)有第二連接體404，第二連接體404與第二Y軸軸向 運動平臺403的固定臺連接，第二Y軸軸向運動平臺403的驅(qū)動電 機尾部向下，第二Y軸軸向運動平臺403的動平臺與第二繞Y軸旋 轉(zhuǎn)Ty運動平臺406的固定臺連接，在第二繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺 406的動平臺上設(shè)有第二轉(zhuǎn)接板405，第二轉(zhuǎn)接板405與第二繞X 軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺407的固定臺連接，第二繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平 臺407的動平臺與第二繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平臺408的固定臺連接， 第二繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平臺408的動平臺上設(shè)有第二連接板506 和第二夾具505，在第二夾具505上設(shè)有與集成光子芯片夾具503 對應(yīng)的高精密通用的第二波導(dǎo)夾具504。
對于第一六維高精度運動平臺300和第二六維高精度運動平 臺400，為避免光通道對準(zhǔn)過程中的逐維位置調(diào)整相互耦合干擾， 在角度位移上Ty、 Tx、 Tz繞軸的旋轉(zhuǎn)運動中心應(yīng)盡可能與集成光 子芯片的中心點重合，為滿足這一條件，其結(jié)構(gòu)從下至上布局依次 是X軸軸向運動平臺301/401、 Z軸軸向運動平臺302/402、 Y軸軸 向運動平臺303/403、繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺306/406、繞X軸旋 轉(zhuǎn)Tx運動平臺307/407、繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平臺308/408。其中 Y軸軸向運動平臺303/403的驅(qū)動電機尾部向下，通過連接體 304/404與Z軸軸向運動平臺302/402連接；繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動 平臺與繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺則通過轉(zhuǎn)接板305/405連接。這種 布局可方便整個平臺擴展IR-CCD，機器視覺，點膠裝置等外設(shè)設(shè)
備o
第一六維高精度運動平臺300和第二六維高精度運動平臺400 考慮到抗傾覆力矩安全系數(shù)《，為保證整體平臺的穩(wěn)定和在精度上 的要求，六維運動平臺重心須在X軸軸向運動平臺和Z軸軸向運動 平臺的交點上，如果傾覆力矩i^過大，可通過一定的配重來增加 抗傾覆力矩乾。
仏
為達到一定的精度，第一六維高精度運動平臺300和第二六維 高精度運動平臺400中的結(jié)構(gòu)是在第一固定臺3018上設(shè)有線性滑 塊導(dǎo)軌3013，線性滑塊導(dǎo)軌3013兩端設(shè)有零位開關(guān)和限位開關(guān)， 在線性滑塊導(dǎo)軌3013上滑動設(shè)有第一動平臺30110，交流伺服電 機3016通過安裝3014安裝在第一固定臺3018上并通過高品質(zhì)彈 性聯(lián)軸節(jié)3015連接有高精密滾珠螺桿3012，高精密滾珠螺桿3012 通過滑塊3011與第一動平臺30110連接，在第一固定臺3018上設(shè) 有RS232接口 3017，在第 一 動平臺30110上設(shè)有光柵尺3019 ，采 用交流伺服電機3016與光柵尺3019實現(xiàn)閉環(huán)控制，RS232接口 3017，雙邊重復(fù)精度達到±0. 1 u m，光柵尺3019的理論分辨率為 10nm，并且交流伺服電機3016和高精密滾珠螺桿3012通過高品質(zhì) 彈性聯(lián)軸節(jié)3015連接，如圖3所示。
繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺、繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺和繞Z軸旋 轉(zhuǎn)Tz運動平臺的結(jié)構(gòu)是在第二固定臺3065上滑動設(shè)有第二動平臺 3061,步進電機3063安裝在第二固定臺3065上并通過第二高品質(zhì) 彈性聯(lián)軸節(jié)3062連接有蝸桿3066，在第二動平臺3061上設(shè)有與 蝸桿3066嚙合的蝸輪3067，在步進電機3063上設(shè)有RS232接口 3064，其高精密旋轉(zhuǎn)軸系和精密研配的蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)，具有限位功
能，初始零位功能，采用步進電機3063實現(xiàn)開環(huán)控制，步進電機 3063的理論分辨率為o.ooor，雙邊重復(fù)精度達到士 0.001。，如圖4所 示。這樣不僅有高精度的位置傳感和較好的傳動和制動性能，而且 易于控制并有精確的定位功能。
第一六維高精度運動平臺300和第二六維高精度運動平臺 400中第一 Y軸軸向運動平臺303和第二 Y軸軸向運動平臺403的 驅(qū)動電機布置在運動平臺的下方，這樣避免因電機過大而造成其他 外設(shè)設(shè)備如機器視覺等無法工作，而且平臺夾具上端擴展其他外設(shè)
設(shè)備更力口方便o
為方便對準(zhǔn)，所說的中間運動平臺200包含的繞Y軸旋轉(zhuǎn)平 臺2014，其特征分別包括高精密旋轉(zhuǎn)軸系、精密軸承導(dǎo)軌和精密 研配的蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)，采用第二步進電機2011實現(xiàn)開環(huán)控制， RS232接口，第二步進電機2011的理論分辨率為0.0001°，雙邊重復(fù) 精度達到士0.001。，并且第二步進電機2011和滾珠螺桿通過高品質(zhì) 彈性聯(lián)軸節(jié)2012連接。
以lxiV陣列光纖和集成光子芯片的對準(zhǔn)和封裝為例，來說明本 發(fā)明工作時的具體工藝過程
1、 裝夾將潔凈的集成光子芯片裝夾在集成光子芯片夾具503 上；將lxiV陣列光纖分別裝夾在第一波導(dǎo)夾具502和第二波導(dǎo)夾具 504上。
2、 對準(zhǔn)通過第一六維高精度運動平臺300和第二六維高精 度運動平臺400來調(diào)節(jié)上述陣列光纖的位置，使用機器視覺或者紅 外相機進行初步粗對準(zhǔn)，再通過相應(yīng)的算法控制上述六維平臺進行 精對準(zhǔn)，以達到損耗的光功率最小。
3、 封裝通過點膠裝置進行點膠，紫外燈固化，進行封裝。
權(quán)利要求
1、一種陣列波導(dǎo)器件用的多維對準(zhǔn)平臺，其特征是在底板(100)上設(shè)有中間運動平臺(2O0)，在所述的底板(100)上設(shè)有以所述的中間運動平臺(200)左右對稱分布的兩臺六維高精度運動平臺，所述的中間運動平臺(200)是在固立臺(202)上設(shè)有固定臺(2013)，在所述的固定臺(2013)上轉(zhuǎn)動設(shè)有繞 Y 軸旋轉(zhuǎn)動平臺(2014)，在所述的固定臺(2013)上安裝有通過第三高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節(jié)(2012)與所述的繞Y軸旋轉(zhuǎn)動平臺(2014)傳動連接的第二步進電機(2011)，在所述的繞Y軸旋轉(zhuǎn)動平臺(2014)上設(shè)有轉(zhuǎn)接臺(203)，在所述的轉(zhuǎn)接臺(203)上方布置有所述的高精密通用的集成光子芯片夾具(503)和真空吸附口(5031)，每臺六維高精度運動平臺的結(jié)構(gòu)是在所述的底板(100)上設(shè)有X軸軸向運動平臺，所述的X軸軸向運動平臺的動平臺與Z軸軸向運動平臺的固定臺連接，在所述的Z軸軸向運動平臺的動平臺上設(shè)有連接體，所述的連接體與Y軸軸向運動平臺的固定臺連接，所述的Y軸軸向運動平臺的驅(qū)動電機尾部向下，所述的Y軸軸向運動平臺的動平臺與繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺的固定臺連接，在所述的繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺的動平臺上設(shè)有轉(zhuǎn)接板，所述的轉(zhuǎn)接板與繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺的固定臺連接，所述的繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx運動平臺的動平臺與繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平臺的固定臺連接，在所述的繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平臺的動平臺上設(shè)有連接板和夾具，在所述的夾具上設(shè)有與所述的集成光子芯片夾具(503)對應(yīng)的高精密通用的波導(dǎo)夾具。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1中所述的陣列波導(dǎo)器件用的多維對準(zhǔn)平 臺，其特征是所述的六維高精度運動平臺的重心設(shè)在所述的X 軸軸向運動平臺和所述的Z軸軸向運動平臺的交點上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陣列波導(dǎo)器件用的多維對準(zhǔn)平 臺，其特征是所述的X軸軸向運動平臺、Z軸軸向運動平臺302/402 和Y軸軸向運動平臺的結(jié)構(gòu)是在第一固定臺上設(shè)有線性滑塊導(dǎo)軌， 所述的線性滑塊導(dǎo)軌兩端設(shè)有零位開關(guān)和限位開關(guān)，在所述的線性 滑塊導(dǎo)軌上滑動設(shè)有第一動平臺，交流伺服電機通過安裝臺安裝在 所述的第一固定臺上并通過高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節(jié)連接有高精密滾珠 螺桿，所述的高精密滾珠螺桿通過滑塊與所述的第一動平臺連接， 在所述的第一固定臺上設(shè)有RS232接口 ，在所述的第一動平臺上設(shè) 有光柵尺。
4、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陣列波導(dǎo)器件用的多維對準(zhǔn)平 臺，其特征是所述的繞Y軸旋轉(zhuǎn)Ty運動平臺、繞X軸旋轉(zhuǎn)Tx 運動平臺和繞Z軸旋轉(zhuǎn)Tz運動平臺的結(jié)構(gòu)是在第二固定臺上滑動 設(shè)有第二動平臺，步進電機安裝在所述的第二固定臺上并通過第二 高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節(jié)連接有蝸桿，在所述的第二動平臺上設(shè)有與所述 的蝸桿嚙合的蝸輪，在所述的步進電機上設(shè)有RS232接口。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種陣列波導(dǎo)器件用的多維對準(zhǔn)平臺，在底板(100)上設(shè)有中間運動平臺(200)，在所述的底板(100)上設(shè)有以所述的中間運動平臺(200)左右對稱分布的兩臺六維高精度運動平臺。本發(fā)明設(shè)有六維高精度的運動平臺和其緊湊、合理的結(jié)構(gòu)布局，可有效應(yīng)用于要求高精度對準(zhǔn)的各種平面波導(dǎo)的對準(zhǔn)和封裝，并且可方便擴展IR-CCD、機器視覺、點膠裝置、UV固化裝置等外設(shè)設(shè)備，且操作簡單，運動范圍大，精度高。
文檔編號G02B6/30GK101363947SQ200810143178
公開日2009年2月11日 申請日期2008年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月10日
發(fā)明者段吉安, 煜 鄭 申請人:中南大學(xué)