專利名稱：壓電微鏡芯片作偏轉(zhuǎn)的激光投影機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光投影機，尤其涉及一種壓電微鏡芯片作偏轉(zhuǎn)的激光投影機。
背景技術(shù)：
激光投影是一個古老的話題。但其動輒70萬、80萬的市場價格使它與普通大眾無 緣。 中國在激光領(lǐng)域處于世界前列，尤其是中科院長春光機所在固態(tài)激光器方面的成 就斐然。中科院長春光機所05年以來已經(jīng)研制出60英寸——140英寸激光顯示器，07年 索尼推出55英寸激光電視，08年三菱型號為LaserVue的65英寸激光背投在美國銷售，三 星、日立、東芝紛紛加入激光電視研制行業(yè)。預(yù)測，09年——12年是激光電視導(dǎo)入期至成熟 期，將逐步取代液晶、等離子平板電視機。 技術(shù)方面，以長春光機所、Symbo1公司用高速旋轉(zhuǎn)反射棱鏡實現(xiàn)水平、垂直掃描直 接生成圖像；三菱用紅、綠、藍3原色激光混合成白色激光，作為液晶、DLP背投光源，取代原 來的UHP燈；SONY和柯達采用美國Microvision公司GEMS(gratingElectro-Mechanical System柵電機系統(tǒng))對激光進行亮度調(diào)節(jié)，然后再掃描成1080線高清圖像。
歸納激光投影方式主要有3種 1)激光取代方式用激光只是替代現(xiàn)有的UHP高壓燈作光源，其它液晶、DLP的圖
像生成器不變動，如三菱的08年推出在美國銷售的65英寸背投電視，據(jù)稱它的色域提高到
200%，耗電200瓦，僅為液晶、等離子平板電視的二分之一，價格6999美元，明顯高于現(xiàn)有
的液晶、等離子電視。由于激光束極細，需要通過光纖導(dǎo)入一個光學(xué)擴散器，使激光面積放
大百倍以上，重新聚光以后投射到液晶、DLP的匿D芯片上，投影成像。 2)激光陣列方式把RGB三色激光分別做成3個大規(guī)模激光陣列，三個激光陣列
分別對準(zhǔn)三個液晶芯片，由每一個液晶片放射出各色的圖像信息，然后經(jīng)光學(xué)棱鏡匯聚成
為一幅完整的圖像投影到屏幕。 3)激光掃描方式利用激光特有的光譜單一性產(chǎn)生出極細的激光束，射到一個高 速旋轉(zhuǎn)的反光鏡片或反光棱鏡表面，完成水平、垂直掃描，直接投射出圖像，跟傳統(tǒng)電視顯 像管工作原理一樣。如長春光機所、Symbol激光投影機。這種掃描方式無需液晶、DLP、LCOS 等芯片作中間圖像生成載體——而這個中間載體占有成本的大部分。直接掃描方式節(jié)約了 成本，發(fā)揮了激光的本體特性，這種特性是其它任何光源不可實現(xiàn)的。但它對旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、鏡
片加工的要求極高。 從上面三種激光投影方式可以看出，第3)種激光掃描方式更為合理，更有優(yōu)勢。
但問題在于現(xiàn)在所有直接掃描成像的激光投影機都是采用這種高速旋轉(zhuǎn)掃描鏡 片完成的，許多大公司并不看好這種方式，唯有Symbol等少數(shù)公司情有獨鐘。
能否不需要旋轉(zhuǎn)圓柱體的反射鏡片就有能直接掃描成像的器件呢？

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種壓電微鏡芯片作偏轉(zhuǎn)的激光投影機，其核心——壓電微鏡，是根 據(jù)壓電材料的反壓電效應(yīng)原理，給壓電材料加上正向電壓時，壓電材料在極化方向上產(chǎn)生 正向力；給壓電材料加上反向電壓時，壓電材料在極化方向上產(chǎn)生反向力，兩個相反力的作 用使壓電材料產(chǎn)生機械擴張、壓縮變形，實現(xiàn)電——機械運動轉(zhuǎn)換。該壓電微鏡由水平偏轉(zhuǎn) 壓電片和垂直偏轉(zhuǎn)壓電片疊加組成一組雙重結(jié)構(gòu)，在最上層壓電材料的表面拋光處理成為 鏡面，使其成為激光束掃描的偏轉(zhuǎn)面從圖像的正面看，左右方向上的偏轉(zhuǎn)完成水平方向的 掃描，上下方向上的偏轉(zhuǎn)完成垂直方向上的掃描。RGB——即紅、綠、藍三束激光通過一個光 學(xué)棱鏡匯集成一束激光，射到壓電微鏡反光鏡面上，壓電微鏡受控制電路的控制使激光作 水平、垂直掃描，完成一幀幀圖像。 本發(fā)明利用激光發(fā)光頻譜的單一性所產(chǎn)生的極細的激光束，經(jīng)過壓電微鏡掃描直 接生成圖像，完全不需要液晶、數(shù)字微鏡DMD、 LCOS等圖像生成器作中間載體，簡化了整體 方案及結(jié)構(gòu)，大幅度降低成本，使之成為市場容易接受，可以廣泛推廣的激光投影機。
本發(fā)明的技術(shù)方案是 1、壓電微鏡芯片作為激光束偏轉(zhuǎn)、掃描的核心器件。該芯片的基本結(jié)構(gòu)由兩層壓 電材料組成。其中，上層由2片壓電片平行排列，2片壓電片之間有電氣隔離，其中一片壓電 片施加正向電壓和電流，另一片壓電片施加反向電壓和電流，組成"推 一 挽"式結(jié)構(gòu)，當(dāng)交 變電流流經(jīng)兩個電流方向不同的壓電片時，其中一片壓電片作向上運動，而另一片壓電片 作向下運動，類似于"蹺蹺板"運動；反之亦然。同理，當(dāng)圖像掃描的鋸齒波電流流經(jīng)這兩片 壓電片時，"蹺蹺板"即按照鋸齒波電流的規(guī)律作鋸齒波運動； 2、在兩片壓電片之上有一層反光層，反光層作高光鏡面處理，當(dāng)激光束射向反光
層鏡面時，激光束便隨著"蹺蹺板"的運動作偏轉(zhuǎn)掃描，直接投向投影屏幕； 3、在上述兩片壓電片的下面有一層隔離層，隔離層下面就是第2層壓電材料層，
該層也有2片壓電片，2片壓電片平行排列，它們之間也有電氣隔離，其中一片壓電片施加
正向電壓和電流，另一片壓電片施加反向電壓和電流，組成"推一挽"式結(jié)構(gòu)，當(dāng)圖像掃描
的鋸齒波電流流經(jīng)第二層的兩片不同電流方向的壓電片時，該層壓電片即按照鋸齒波電流
的規(guī)律作鋸齒波運動； 上、下兩層壓電片必須互呈90。角度，以共同完成圖像的水平、垂直掃描；
4、將上述兩層壓電片及其附件組成為一體，裝入一個封閉的芯片內(nèi)，芯片頂端有 光學(xué)玻璃覆蓋在壓電層的反光鏡面之上，必要時抽成真空；壓電片工作的引腳線從芯片內(nèi) 引出。 5、激光選用可以線性調(diào)節(jié)的激光，R(紅)、G(綠)、藍(B)三束激光經(jīng)由一組光學(xué) 棱鏡匯聚成為一束激光； 6、控制電路包括二個部分1)R、G、B三色激光的線性調(diào)節(jié)。其調(diào)節(jié)跟隨圖像信號 中的色彩信號、亮度信號的變化而變化；2)壓電微鏡片的鋸齒波驅(qū)動電路。鋸齒波驅(qū)動電 路由圖像視頻的行同步、幀同步、消隱脈沖信號所決定；
本發(fā)明的有用效果是 1、激光束掃描直接生成圖像利用激光發(fā)光頻譜的單一性所產(chǎn)生的極細的激光 束，經(jīng)過掃描直接生成圖像，完全不需要液晶、數(shù)字微鏡DMD、 LCOS等圖像生成器作中間載體，大大簡化了整體方案及結(jié)構(gòu)，大大降低成本，而這些圖像生成器成本占整個投影機成本 的主要成分，它們的技術(shù)復(fù)雜性、加工難度隨著高清技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的不斷推出呈幾何級數(shù)增加， 以致達到現(xiàn)今技術(shù)的極限。DLP由于加工難度大，成品率低，至今還只有單片式占據(jù)市場， 與盡管有缺陷的液晶不分仲伯，并沒有將3LCD液晶擠出市場之外；3片式DLP投影機價格 太高，市場無法接受，主流市場基本無貨可供；對LC0S抱有極大希望，投資也巨大，但除了 JVC、索尼少量推出外，目前還無法與液晶、DLP相抗衡。因此省掉這一塊，即省掉了主要成 本、研制投資和時間。利用極細的激光束掃描直接生成圖像的效率最高、成本最低、時間最 短，無疑是最佳方案。反之，若把激光當(dāng)作UHP高壓燈、LED發(fā)光二極管等普通散光光源來 用，則根本沒有發(fā)揮激光的特點，這樣的投影機只能稱為"激光作光源的投影機"，而不是真 正意義的"激光投影機"。 其次，UHP高壓燈、LED為散光光源，只有聚焦收斂成為一束，才能進入比光源面積 更小約0. 7英寸的LCD、DLP、LC0S芯片的窗口 ，才能充分利用好光源的光能，否則造成光的 損失；與此相反，由于激光束太細，僅約lmm的直徑，必須"擴光"幾百倍，才能覆蓋整個0. 7 英寸的窗口。 一方面3LCD、或DLP、LC0S的成本很高無法降下來，另一方面又加上激光及光 學(xué)擴光、混光的高成本，使得總體成本上升，其結(jié)果是得不尚失！而唯一可以得到的是激 光的色彩比UHP、LED燈更為豐富、艷麗，更節(jié)電而已，但卻付出更高成本的代價，是一個"削 腳適履"的笨辦法。 本發(fā)明方案的優(yōu)勢在于充分利用激光所具有的獨有特性，以極細的激光束直接 掃描生成圖像，如同電視顯像管用電子掃描在熒光屏上顯示圖像一樣，而這又是UHP高壓 燈、LED發(fā)光二極管等任何光源都是不可能做到的。
2、掃描的核心器件——壓電微鏡芯片 本發(fā)明沒有采用長春光機所和Symbol公司的在圓柱體貼滿光學(xué)鏡片的旋轉(zhuǎn)鏡的 辦法，而是根據(jù)壓電材料的反壓電原理，給壓電材料加上正向電壓時，壓電材料在極化方向 上產(chǎn)生正向力；給壓電材料加上反向電壓時，壓電材料在極化方向上產(chǎn)生反向力，兩個相反 力的作用使壓電材料產(chǎn)生機械擴張、壓縮變形，成為"蹺蹺板"，實現(xiàn)電——機械運動轉(zhuǎn)換。
壓電材料種類很多，其加工工藝也相當(dāng)成熟。以"機——電"轉(zhuǎn)換或"電——機"轉(zhuǎn) 換的壓電器件在電子領(lǐng)域早已經(jīng)廣泛應(yīng)用。它的加工工藝遠沒有需要納米加工技術(shù)的匿D 芯片、液晶、LC0S等那樣的高精密、高難度、高成本，而芯片的合格率卻比起它們高得多。
在體積方面，由于激光光束極細，該壓電微鏡的面積可以縮小在1平方厘米以內(nèi)， 厚度薄到僅幾個毫米，如同一片光可改寫的存儲器EPR0M芯片一般大小，引腳只有幾根；完 全拋棄了旋轉(zhuǎn)圓柱體的結(jié)構(gòu)形狀，更不需要微電機驅(qū)動，無機械旋轉(zhuǎn)運動，在壓電微鏡芯片 的彈性形變范圍內(nèi)工作，壽命極長，并且無噪音、無磨損、無發(fā)熱、環(huán)保。
成本方面，由于液晶、DMD、LC0S芯片的成本和加工難度與其像素的多少直接相關(guān)， 以n個像素的成本為N計算，則只有一片的壓電微鏡芯片的成本只有它們的N分之一 ！這 還不包括前者全部像素及其復(fù)雜的驅(qū)動線路和驅(qū)動元件在內(nèi)。故，壓電微鏡的制造成本遠 遠低于液晶、DMD、 LC0S的制造成本。 3、與3LCD —樣，RGB三色激光的匯聚采用光學(xué)棱鏡，將紅、綠、藍三色激光匯聚成 為一束激光，投射到壓電微鏡芯片上。由于激光束的直經(jīng)極小，約lmm左右。若以激光束的 直徑lmm計，棱鏡體積可以小于4 X 4 X 4 (mm)以內(nèi)，這對于目前0. 7英時的3LCD液晶投影棱鏡來說，3色激光匯聚棱鏡體積僅為3片液晶匯聚棱鏡的幾百分之一 ！ 4、光效率液晶透光方式和它的窗口面積是液晶投影光效低的致命缺點。光線透
過液晶體時將損失大部分光源，再由于窗口面積擋住了另一部分光，所以液晶投影的光效
最低，只有采用3片液晶之后才能彌補液晶光效的不足；DLP投影的DMD芯片光效比液晶芯
片高得多，但它的各個像素之間存在間隙，不可能達到全反射；單片DLP還需要色輪，使DLP
投影機的光效只能達到1/3，為此DLP又采取多色輪才能使光效有所改善；壓電微鏡反射鏡
片僅只有一片，可以達到全反射的光效，故其光效率最高。 5、高清制式的制約隨著顯示圖像越來越向數(shù)字高分辨率、高色域發(fā)展，新的高清 標(biāo)準(zhǔn)不斷提出，給制造液晶、DLP、 LCOS芯片的難度越來越大，成本越來越高；而采用激光 掃描直接生成的激光投影方式不會造成大的影響，而且由于激光投影是一種開放式掃描成 像，它不同于顯像管封閉式掃描成像，顯像管由于受到顯像管屏幕尺寸和內(nèi)部的高壓限制， 屏幕越大成本越高，而以壓電微鏡激光掃描直接成像的投影機將不會受到制式和高清發(fā)展 的影響。


圖1是壓電微鏡工作原理圖。其中1——壓電片1 ;2——壓電片2 ;12——反光鏡 面；15——活動連接器1 ;9——內(nèi)部連線1 圖2是壓電微鏡結(jié)構(gòu)圖。其中1——壓電片1;2——壓電片2;3——壓電片3;
4——壓電片4 ;5——引腳線1 ;6——引腳線2 ;7——引腳線3 ;8——引腳線4 ;9——內(nèi)部 連線l ;10——內(nèi)部連線2 ;11——絕緣基板l ;12——反光鏡面；13——絕緣基板2 ;15——
活動連接器1 ;16——活動連接器2 ;17——固定底座 圖3是做成芯片的外形結(jié)構(gòu)圖，其中5——引腳線1 ;6——引腳線2 ;7——引腳線 3 ;8——引腳線4 ;19——壓電微鏡芯片；20——外殼；18——空腳； 圖4是壓電微鏡激光投影機總體工作原理圖。其中R——紅色激光器；G——綠色 激光器；B——藍色激光器；L——匯聚棱鏡；19——壓電微鏡芯片；F——全反射凸透鏡。
具體實施例方式1、壓電微鏡工作原理如圖1所示。 在圖la)、圖lb)中，壓電片1(1)和壓電片2(2)相隔在一個平面上，它們的上面分 別用活動連接器1 (15)與反光鏡面(12)連接；如圖lc)，當(dāng)正電源由引腳線1 (5)進入壓電 片l(l)，出來后，再由內(nèi)部連線1(9)進入壓電片2(2)，流經(jīng)壓電片2(2)并從引腳線2(6) 端引出，此時壓電片(1)受正向電流向上變形被拉長，而壓電片2(2)受到反向電流向下變 形被壓縮，如圖la中的虛線所示；由于反光鏡面(12)都有活動連接器1(15)與兩塊壓電片 連接，因而作順時針偏轉(zhuǎn)一個角度+ 9 ;反之，當(dāng)正電源從壓電片2(2)的引腳線2(6)進入， 出來之后，經(jīng)內(nèi)部連線1(9)又進入壓電片l(l)，并從它的引腳線1(5)流出時，壓電片(1) 受反向電流向下變形被壓縮，而壓電片2(2)受到正向電流向上變形被拉長，由于反光鏡面 (12)都有活動連接器1(15)分別與兩塊壓電片連接，因而作逆時針偏轉(zhuǎn)一個角度-e ;當(dāng)交 變電流流經(jīng)兩塊壓電片時，反光鏡面(12)即作+ e和-e交替偏轉(zhuǎn)動作，如同"蹺蹺板"一 樣，總偏轉(zhuǎn)角度為2e ;
在圖lc)中，電源是從壓電片的兩側(cè)面供給，而在圖Id)中，電源是從壓電片的頂、 底面供給，它們的功用原理上一樣，這也是壓電效應(yīng)的另一大特點； 如果流經(jīng)兩片壓電片的是鋸齒波電流，則反光鏡面(12)就作鋸齒波偏轉(zhuǎn)動作如 圖le)，當(dāng)鋸齒波電流T在tl階段，壓電片1(1)受反向電流驅(qū)動而壓電片2(2)受正向電流 驅(qū)動時，反光鏡面(12)作逆時針線性偏轉(zhuǎn)；當(dāng)鋸齒波電流T在t2階段，壓電片1(1)受正向 電流驅(qū)動而壓電片2(2)受反向電流驅(qū)動時，由于〖2<<〖1，反光鏡面(12)作正時針?biāo)矔r 偏轉(zhuǎn)，如此循環(huán)； 2、在圖2中，壓電片1(1)與壓電片2(2)并行、相隔排列，并固定在一塊絕緣基板 1(11)上面，它們之間有一根內(nèi)部連線U9)作電氣相連；壓電片1(1)和壓電片2(2)的上 面是活動連接器1 (15)，活動連接上面連接反光鏡面(12)，壓電片1 (1)與壓電片2(2)共同 完成行掃描的偏轉(zhuǎn)； 壓電片3(3)與壓電片4(4)并行、相隔排列，并固定在一塊絕緣基板2 (13)上面， 它們之間有一根內(nèi)部連線2(10)電氣相連；壓電片3(3)與壓電片4(4)的上面是兩個活動 連接器2(16);活動連接器2(16)與上層的絕緣基板1(11)活動連接；壓電片3(3)與壓電 片4(4)共同完成幀掃描的偏轉(zhuǎn)； 壓電片l(l)和壓電片2(2)與壓電片3(3)和壓電片4(4)必須互呈90°角度，以 共同完成圖像的水平、垂直掃描； 實際上由于行偏轉(zhuǎn)的角度比幀偏轉(zhuǎn)的角度大得多，壓電片1(1)與壓電片2(2)可 以分別采用雙層、或者多層壓電片重疊，以加大行偏轉(zhuǎn)角度；
絕緣基板2(13)與固定底座(17)安置在一起。
以上組裝成壓電微鏡芯片(19)整體； 3、圖3中，壓電微鏡芯片(19)裝在外殼(20)內(nèi)，8只引腳分別從壓電微鏡芯片 (19)內(nèi)引出到外殼外面，其中4只為空腳(18)，另外4只分別是引腳線1 (5)、引腳線2 (6)、 引腳線3(7)、引腳線4(8); 4、圖4中，三色激光器——紅色激光器(R)、綠色激光器(G)、藍色激光器(B)分別 從3個角度對準(zhǔn)并與光學(xué)匯聚棱鏡(L)相連接(注——為顯示激光路徑有意拉開作圖以便 說明)，匯聚棱鏡(L)使3束激光匯聚成一束激光射出到壓電微鏡芯片(19)進行掃描，掃 描后的激光打到全反射凸透鏡(F)上面；由于壓電微鏡的偏轉(zhuǎn)角有限，則全反射凸透鏡(F) 可以將微偏轉(zhuǎn)角度進一步放大，投射到屏幕上。
權(quán)利要求
一種壓電微鏡芯片作偏轉(zhuǎn)的激光投影機，紅色激光器(R)、綠色激光器(G)、藍色激光器(B)三色激光器分別從3個角度對準(zhǔn)并與光學(xué)匯聚棱鏡(L)相連接，匯聚棱鏡(L)使3束激光匯聚成一束激光射出到壓電微鏡芯片(19)上進行掃描，掃描后的激光打到全反射凸透鏡(F)上面，壓電片1(1)和壓電片2(2)相隔在一個平面上，它們的上面分別用活動連接器1(15)與反光鏡面(12)連接；當(dāng)正電源由引腳線1(5)進入壓電片1(1)，出來后再由內(nèi)部連線1(9)進入壓電片2(2)，流經(jīng)壓電片2(2)并從引腳線2(6)端引出，此時壓電片(1)受正向電流向上變形被拉長，而壓電片2(2)受到反向電流向下變形被壓縮，由于反光鏡面(12)都有活動連接器1(15)與兩塊壓電片連接，因而作順時針偏轉(zhuǎn)一個角度+θ；反之，當(dāng)正電源從壓電片2(2)的引腳線2(6)進入，出來之后，經(jīng)內(nèi)部連線1(9)又進入壓電片1(1)，并從它的引腳線1(5)流出時，壓電片(1)受反向電流向下變形被壓縮，而壓電片2(2)受到正向電流向上變形被拉長，由于反光鏡面(12)都有活動連接器1(15)分別與兩塊壓電片連接，因而作逆時針偏轉(zhuǎn)一個角度-θ；當(dāng)交變電流流經(jīng)兩塊壓電片時，反光鏡面(12)即作+θ和-θ交替偏轉(zhuǎn)動作，如同“蹺蹺板”一樣，總偏轉(zhuǎn)角度為2θ；如果流經(jīng)兩片壓電片的是鋸齒波電流，則反光鏡面(12)就作鋸齒波偏轉(zhuǎn)動作當(dāng)鋸齒波電流T在t1階段，壓電片1(1)受反向電流驅(qū)動而壓電片2(2)受正向電流驅(qū)動時，反光鏡面(12)作逆時針線性偏轉(zhuǎn)；當(dāng)鋸齒波電流T在t2階段，壓電片1(1)受正向電流驅(qū)動而壓電片2(2)受反向電流驅(qū)動時，由于t2＜＜t1，反光鏡面(12)作正時針?biāo)矔r偏轉(zhuǎn)，如此循環(huán)；壓電微鏡片(19)的結(jié)構(gòu)是壓電片1(1)與壓電片2(2)并行、相隔排列，并固定在一塊絕緣基板1(11)上面，它們之間有一根內(nèi)部連線1(9)作電氣相連；壓電片1(1)和壓電片2(2)的上面是活動連接器1(15)，活動連接上面連接反光鏡面(12)，壓電片1(1)與壓電片2(2)共同完成行掃描的偏轉(zhuǎn)；壓電片3(3)與壓電片4(4)并行、相隔排列，并固定在一塊絕緣基板2(13)上面，它們之間有一根內(nèi)部連線2(10)電氣相連；壓電片3(3)與壓電片4(4)的上面是兩個活動連接器2(16)；活動連接器2(16)與上層的絕緣基板1(11)活動連接；壓電片3(3)與壓電片4(4)共同完成幀掃描的偏轉(zhuǎn)；壓電片1(1)和壓電片2(2)與壓電片3(3)和壓電片4(4)必須互呈90°角度，以共同完成圖像的水平、垂直掃描；根據(jù)實際，由于行偏轉(zhuǎn)的角度比幀偏轉(zhuǎn)的角度大得多，壓電片1(1)與壓電片2(2)可以分別采用雙層、或者多層壓電片重疊，以加大行偏轉(zhuǎn)角度；絕緣基板2(13)與固定底座(17)安置在一起，以上組裝成壓電微鏡芯片(19)整體，最后壓電微鏡芯片(19)裝在外殼(20)內(nèi)，其引腳分別從壓電微鏡芯片(19)內(nèi)引出到外殼(20)外面，
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電微鏡芯片作偏轉(zhuǎn)的激光投影機，其特征在于電源可以 從壓電片的兩側(cè)面供給，也可以從壓電片的頂、底面供給，它們的功用原理上一樣。
全文摘要
一種壓電微鏡芯片作偏轉(zhuǎn)的激光投影機，其核心－壓電微鏡芯片，完全拋棄了高速旋轉(zhuǎn)反光鏡作偏轉(zhuǎn)，而根據(jù)壓電材料的反壓電效應(yīng)原理，給壓電材料加上正、反向電流時，產(chǎn)生機械擴張和壓縮變形，產(chǎn)生“蹺蹺板”運動，實現(xiàn)電－機轉(zhuǎn)換；壓電微鏡最上層為鏡面，紅、綠、藍三束激光通過一個光學(xué)棱鏡匯集成一束激光，射到壓電微鏡反光鏡面上，壓電微鏡受控于控制電路使激光束作水平、垂直掃描，完成一幀幀圖像；由于用極細的激光束直接生成圖像，完全不需要液晶、數(shù)字微鏡、LCOS等圖像生成器作中間載體，簡化了整體方案及結(jié)構(gòu)；若以DLP或LCOS芯片的生產(chǎn)成本為N，則壓電微鏡芯片的成本僅為它們的N分之一，大幅度降低成本，使之成為市場容易接受，可以廣泛推廣的激光投影機。
文檔編號G03B21/14GK101762957SQ20081014797
公開日2010年6月30日 申請日期2008年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月24日
發(fā)明者陳友余 申請人:陳友余