專利名稱：：感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法及印刷電路板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種通過激光曝光進(jìn)行圖案形成的適合作為阻焊劑材料的感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法及印刷電路板。
背景技術(shù)：
：一直以來，在形成阻焊劑(solderresist)等的等永久圖案時(shí)，使用的是通過在支撐體上涂布、干燥感光性樹脂組合物而形成感光層的感光性薄膜。作為所述永久圖案的制造方法，例如在形成所述永久圖案的鍍銅層疊板等的基材上，層疊感光性薄膜而形成層疊體，對(duì)該層疊體中的感光層進(jìn)行曝光，在該曝光后，顯影所述感光層進(jìn)而形成圖案，然后通過進(jìn)行固化處理等形成永久圖案。一直以來，在上述阻焊劑形成用的感光性組合物中，使用二季戊四醇六丙烯酸酯(以下簡(jiǎn)稱為"DPHA")作為聚合性化合物(參考特開平5—9244號(hào)公報(bào))。另外，對(duì)于以含有多官能單體為特征的DFR,記載了作為光聚合引發(fā)劑市售的肟化合物(參考特開2006—220865號(hào)公報(bào))。此外，為了提高進(jìn)行數(shù)字成像(DI)時(shí)的生產(chǎn)率，提出了一種以作為光聚合引發(fā)劑的?；炕衔锖驮诜肿又泻辛蛟拥亩郊淄衔餅楸仨毘煞?，使用聚合性化合物和含有兩個(gè)以上環(huán)氧基的環(huán)氧化合物時(shí)，適合于405nm激光下的圖案形成性、膜固化性的固化性樹脂組合物(參考特開2005—182004號(hào)公報(bào))。但是，在特開平5—9244號(hào)公報(bào)、特開2006—220865號(hào)公報(bào)、以及特開2005—182004號(hào)公報(bào)中，對(duì)于在數(shù)字成像(DI)曝光時(shí)獲得充分的靈敏度，同時(shí)獲得新鮮保存性優(yōu)異的感光性組合物，而且對(duì)于在作為絕緣可靠性的加速評(píng)價(jià)的、高速加速壽命試驗(yàn)(二HAST試驗(yàn))中獲得的良好的結(jié)果，既沒有公開也沒有暗示，目前的情況是希望進(jìn)一步的改善、開發(fā)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于該情況而提出的，課題是解決以往的上述各種問題，實(shí)現(xiàn)下面的目的。即，本發(fā)明的目的是提供一種在維持顯影性的同時(shí)提高絕緣可靠性的感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法及印刷電路板。作為用于解決上述課題的手段，如下所示。即，〈1〉一種感光性組合物，其特征在于，含有粘合劑、聚合性化合物、填料和光聚合引發(fā)劑，該聚合性化合物的1/0值的重量平均為0.52以下?！?〉上述〈1〉中記載的感光性組合物，其中，聚合性化合物的1/0值的重量平均為0.43以下?！?〉上述〈1〉一〈2〉任何一項(xiàng)中記載的感光性組合物，其中，聚合性化合物具有兩個(gè)以上的聚合性基?！?〉上述〈1〉一〈3〉任何一項(xiàng)中記載的感光性組合物，其中，聚合性化合物是二羥甲基三環(huán)癸垸二(甲基)丙烯酸酯?！?〉上述〈1〉一〈4〉任何一項(xiàng)中記載的感光性組合物，其中，光聚合引發(fā)劑是肟衍生物。〈6〉上述〈1〉一〈5〉任何一項(xiàng)中記載的感光性組合物，其還含有熱交聯(lián)劑?！?〉上述〈6〉中記載的感光性組合物，其中熱交聯(lián)劑是選自環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁垸化合物、聚異氰酸酯化合物、使聚異氰酸酯化合物與封端劑反應(yīng)得到的化合物、以及蜜胺衍生物的至少一種?！?〉一種感光性薄膜，其特征在于，通過在支撐體上具有由上述〈1〉一〈7〉任何一項(xiàng)中記載的感光性組合物組成的感光層形成?！?〉一種感光性層疊體，其特征在于，在基體上具有由上述〈1〉_〈7〉任何一項(xiàng)中記載的感光性組合物組成的感光層?！?0〉一種永久圖案形成方法，其特征在于，至少包括對(duì)由上述U〉一〈7〉任何一項(xiàng)中記載的感光性組合物形成的感光層進(jìn)行曝光的步驟。〈11〉上述〈10〉中記載的永久圖案形成方法，其中，曝光是在用光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)整光后，通過配置了微透鏡的微透鏡陣列來進(jìn)行的，其中所述微透鏡具有可以校正因該光調(diào)制機(jī)構(gòu)中描繪部的射出面變形而產(chǎn)生的像差的非球面?！?2〉上述〈10>—〈11〉任何一項(xiàng)中記載的永久圖案形成方法，其中進(jìn)行曝光后，對(duì)感光層進(jìn)行顯影?！?3〉上述〈12〉中記載的永久圖案形成方法，其中進(jìn)行顯影后，對(duì)感光層進(jìn)行固化處理?！?4〉一種印刷電路板，其特征在于由上述〈10〉一〈13〉任何一項(xiàng)中記載的永久圖案形成方法形成永久圖案。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，可以解決以往的各種問題，可以提供一種在維持顯影性的同時(shí)提高絕緣可靠性的感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法及印刷電路板。具體實(shí)施方式(感光性組合物)本發(fā)明中，感光性組合物含有粘合劑、聚合性化合物、填料和光聚合引發(fā)劑，還根據(jù)需要含有其他成分?！凑澈蟿底鳛樗稣澈蟿瑑?yōu)選使用在側(cè)鏈含有酸性基和乙烯性不飽和鍵的高分子化合物、環(huán)氧丙烯酸酯化合物，其中，特別優(yōu)選使用在側(cè)鏈含有酸性基和乙烯性不飽和鍵的高分子化合物。一在側(cè)鏈含有酸性基和乙烯性不飽和鍵的高分子化合物一作為所述酸性基，可以舉出羧基、磷酸基、磺酸基等，而從獲得原料的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選羧基。另外，作為所述粘合劑，可以使用在分子內(nèi)至少有一個(gè)可以聚合的雙鍵，例如(甲基)丙烯酸酯基或(甲基)丙烯酰胺基等丙烯酸基，羧酸的乙烯酯、乙烯醚、烯丙醚等的各種聚合性雙鍵。更具體而言，作為酸性基，可以舉出向含有作為酸性基的羧基的丙烯酸樹脂上，加成含環(huán)狀醚基的聚合性化合物例如縮水甘油基丙烯酸酯、縮水甘油基甲基丙烯酸酯、桂皮酸等不飽和脂肪酸的縮水甘油酸酯或脂環(huán)式環(huán)氧基(例如在同一分子中具有環(huán)己烯氧化物等的環(huán)氧基)和(甲基)丙烯?；幕衔锏群h(huán)氧基的聚合性化合物得到的化合物等。另外，還可以舉出向含有酸性基及羥基的丙烯酸樹脂加成異氰酸酯(甲基)丙烯酸乙酯等含異氰酸酯基的聚合性化合物得到的化合物，向含有酸酐基的丙烯酸樹脂加成(甲基)丙烯酸羥基烷基酯等含有羥基的聚合性化合物得到的化合物等。另外，還可以舉出共聚合縮水甘油基甲基丙烯酸酯等含環(huán)狀醚基的聚合物化合物和(甲基)丙烯?；榛サ纫蚁┫祮误w，向側(cè)鏈的環(huán)氧基加成(甲基)丙烯酸得到的化合物等。這些例子可以舉出專利2763775號(hào)公報(bào)、特開平3—172301號(hào)公報(bào)、特開2000—232264號(hào)公報(bào)等。其中，所述粘合劑更優(yōu)選從向高分子化合物的酸性基的一部分加成含環(huán)狀醚基(例如部分結(jié)構(gòu)具有環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基的基)聚合性化合物得到的高分子化合物以及向高分子化合物的環(huán)狀醚基的一部分或全部加成含羧基聚合性化合物得到的高分子化合物的任意一種中選擇的高分子化合物。此時(shí)，酸性基與具有環(huán)狀醚基的化合物的加成反應(yīng)優(yōu)選在催化劑存在下實(shí)施，特別優(yōu)選該催化劑為從酸性化合物及中性化合物中選擇的催化劑。其中，從感光性組合物的經(jīng)時(shí)顯影穩(wěn)定性的點(diǎn)出發(fā)，粘合劑優(yōu)選為在側(cè)鏈含有羧基、可含有雜環(huán)的芳香族基、且在側(cè)鏈含有乙烯性不飽和鍵的高分子化合物。一一可含有雜環(huán)的芳香族基一一作為所述可含有雜環(huán)的芳香族基(以下有時(shí)簡(jiǎn)稱為"芳香族基"。)，例如可以舉出苯環(huán)、由23個(gè)苯環(huán)形成稠環(huán)的基、苯環(huán)與5員不飽和環(huán)形成稠環(huán)的基等。作為所述芳香族基的具體例，可以舉出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基、吲哚環(huán)基、苯并呋喃環(huán)基、苯并噻吩環(huán)基、吡唑環(huán)基、異噁唑環(huán)基、異噻唑環(huán)基、噴唑環(huán)基、苯并異噁唑環(huán)基、苯并異噻唑環(huán)基、咪唑環(huán)基、噁唑環(huán)基、噻唑環(huán)基、苯并咪唑環(huán)基、苯并噁唑環(huán)基、苯并噻唑環(huán)基、吡啶環(huán)基、喹啉環(huán)基、異喹啉環(huán)基、噠嗪環(huán)基、嘧啶環(huán)基、吡嗪環(huán)基、酞嗪環(huán)基、喹唑啉環(huán)基、喹喔啉環(huán)基、氮丙啶環(huán)基、菲啶環(huán)基、咔唑環(huán)基、嘌呤環(huán)基、吡喃環(huán)基、哌啶環(huán)基、哌嗪環(huán)基、吲哚環(huán)基、吲哚嗪環(huán)基、色烯環(huán)基、肉啉環(huán)基、吖啶環(huán)基、吩噻嗪環(huán)基、四唑環(huán)基、三嗪環(huán)基等，其中，優(yōu)選具有烴芳香族基，更優(yōu)選苯基、萘基。所述芳香族基也可以具有取代基，作為所述取代基，例如可以舉出鹵素原子、可具有取代基的氨基、烷氧羰基、羥基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅垸基、硝基、氰基、可分別具有取代基的垸基、鏈烯基、炔基、芳基、雜環(huán)基等。作為所述烷基，例如可以舉出碳原子數(shù)為120的直鏈狀的垸基、分支狀的烷基、環(huán)狀的烷基等。作為所述烷基的具體例，可以舉出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、十三垸基、十六烷基、十八垸基、二十垸基、異丙基、異丁基、仲丁基、叔丁基、異戊基、新戊基、l一甲基丁基、異己基、2—乙基己基、2—甲基己基、環(huán)己基、環(huán)戊基、2—降冰片基等。其中，更優(yōu)選碳原子數(shù)為112的直鏈狀的烷基、碳原子數(shù)為312的分支狀的垸基以及碳原子數(shù)為510的環(huán)狀的烷基。作為所述烷基可具有的取代基，例如可以舉出去除氫原子的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基，作為這樣的取代基，例如可以舉出鹵素原子(一F、一Br、一C1、一I)、羥基、烷氧基、芳氧基、巰基、垸基硫代基、芳基硫代基、垸基二硫代基、芳基二硫代基、氨基、N—垸基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、N，N—二芳基氨基、N—垸基一N—芳基氨基、酰氧基、氨基甲酰氧基、N—烷基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、N，N—二烷基氨基甲酰氧基、N，N—二芳基氨基甲酰氧基、N—烷基一N—芳基氨基甲酰氧基、烷基硫氧基、芳基硫氧基、?；虼?、酰胺基、N—垸基酰胺基、N—芳基酰胺基、脲基、N'—烷基脲基、N'，N'—二垸基脲基、N，一芳基脲基、N'，N，—二芳基脲基、N，一烷基一N'—芳基脲基、N—烷基脲基、N—芳基脲基、N'—烷基一N—烷基脲基、N'—烷基一N—芳基脲基、N，，N，一二烷基—N—垸基脲基、N，，N，一二垸基一N—芳基脲基、N'—芳基一N—垸基脲基、N'—芳基一N—芳基脲基、N'，N'—二芳基一N—烷基脲基、N，，N'—二芳基一N—芳基脲基、N'一垸基一N'—芳基一N—垸基脲基、N'—烷基一N'—芳基一N—芳基脲基、烷氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、N—垸基一N—垸氧基羰基氨基、N—烷基一N—芳氧基羰基氨基、N—芳基一N—烷氧基羰基氨基、N—芳基一N—芳氧基羰基氨基、甲酸基、?；?、羧基、烷氧羰基、芳氧基羰基、氨基甲?；?、N—烷基氨基甲?；?、N，N—二垸基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲?；，N—二芳基氨基甲酰基、N—垸基一N—芳基氨基甲?；⑼榛鶃喕酋；?、芳基亞磺?；?、烷基磺?；⒎蓟酋；?、磺基(—S03H)及其共軛堿基(稱為磺酸根基(sulfonato))、垸氧基磺?；?、芳氧基磺?；眮喕酋?sulfmamoyl，7少7^于乇^/W基、N—烷基氨亞磺酰基、N，N—二垸基氨亞磺酰基、N—芳基氨亞磺?；，N—二芳基氨亞磺?；?、N—烷基一N—芳基氨亞磺?；?、氨磺?；?、N—垸基氨磺?；，N—二烷基氨磺?；—芳基氨磺?；?、N，N—二芳基氨磺?；?、N—垸基一N—芳基氨磺酰基、膦?；?一P0此)及其共軛堿基(稱為膦酸根(phosphonato，爾7求于卜)基)、二烷基膦?；?一P03(alkyl)2)"以下"alkyl"是指院基。"、二芳基膦?；?一P03(aryl)2)"以下"aryl"是指芳基。"、垸基芳基膦?；?一P03(alkyl)(aryl))、一烷基膦?；?一P03(alkyl))及其共軛堿基(稱為烷基膦酸根基)、一芳基膦?；?一P03H(aryl))及其共軛堿(稱為芳基膦酸根基)、膦酰氧基(—OP03H2)及其共軛堿(稱為膦酸根氧基)、二垸基膦酰氧基(—OP03H(alkyl)2)、二芳基膦酰氧基(一OPOs(aryl)2)、烷基芳基膦酰氧基(一0P03(alkyl)(aryl))、一烷基膦酰氧基(—OP03H(alkyl))及其共軛堿基(稱為垸基膦酸根氧基)、一芳基膦酰氧基(—0P03H(aryl))及其共軛堿基(稱為芳基膦酸根氧基)、氰基、硝基、芳基、鏈烯基、炔基、雜環(huán)基、甲硅垸基等。作為這些取代基中的烷基的具體例，可以舉出上述的垸基。作為所述取代基中的芳基的具體例，可以舉出苯基、聯(lián)苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基、米(mesityl)基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氯甲基苯基、羥基苯基、甲氧苯基、乙氧苯基、苯氧苯基、乙酸基苯基、苯甲酸基苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、甲胺基苯基、二甲胺基苯基、乙酰胺基苯基、羧苯基、甲氧羰基苯基、乙氧苯基羰基、苯氧羰基苯基、N—苯羰基苯基、氰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基等。作為所述取代基中的鏈烯基的具體例，可以舉出乙烯基、1一丙烯基、1—丁烯基、肉桂基、2—氯一1—乙烯基(工亍二，)等。作為所述取代基中的炔基的具體例，可以舉出次乙基、l一丙炔基、1一丁炔基、三甲基甲硅烷基次乙基等。作為所述取代基中的酰基(R"C0—)的R、可以舉出氫原子、所述的烷基、芳基等。在這些取代基中，優(yōu)選鹵素原子(一F、一Br、一C1、一I)、烷氧基、芳氧基、烷基硫代基、芳基硫代基、N—垸基氨基、N，N—二烷基氨基、酰氧基、N—烷基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、酰胺基、甲酸基、?；?、羧基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨基甲?；?、N—烷基氨基甲?；?、N，N—二烷基氨基甲?；—芳基氨基甲?；?、N—垸基一N—芳基氨基甲?；?、磺基、磺酸根基、氨磺酰基、N—烷基氨磺酰基、N，N—二垸基氨磺?；?、N—芳基氨磺?；—烷基一N—芳基氨磺?；?、膦?；?、膦酸根基、二烷基膦?；?、二芳基膦酰基、一垸基膦?；?、垸基膦酸根基、一芳基膦?；?、芳基膦酸根基、膦酰氧基、膦酸根氧基、芳基、鏈烯基等。另外，作為所述取代基中的雜環(huán)基，例如可以舉出吡啶基、哌啶基等，作為所述取代基中的甲硅烷基，可以舉出三甲基甲硅垸基等。另一方面，作為上述垸基中的亞烷基，例如可以舉出除去所述碳原子數(shù)為120的垸基上的氫原子的任意一個(gè)而成為2價(jià)的有機(jī)殘基的亞垸基，可以優(yōu)選舉出碳原子數(shù)為112的直鏈狀的亞垸基、碳原子數(shù)為312的分支狀的亞烷基以及碳原子數(shù)為510的環(huán)狀的亞烷基等。作為這樣通過組合取代基和亞烷基得到的取代烷基的優(yōu)選具體例，可以舉出氯甲基、溴甲基、2—氯乙基、三氟甲基、甲氧基甲基、異丙氧基甲基、丁氧基甲基、叔丁氧基丁基、甲氧基乙氧基乙基、烯丙氧基甲基、苯氧基甲基、苯氧甲基、甲硫基甲基、甲苯基硫代甲基、吡啶基甲基、四甲基哌啶基甲基、N—乙?；募谆哙せ谆⑷谆坠柰榛谆?、甲氧基乙基、乙胺基乙基、二乙胺基丙基、嗎啉代丙基、乙酰氧基甲基、苯甲酸基甲基、N—環(huán)己基氨基甲酰氧基乙基、N—苯基氨基甲酰氧基乙基、乙酰胺基乙基、N—甲基苯甲酰基氨基丙基、2—氧基乙基、2"氧基丙基、羧基丙基、甲氧羰基乙基、烯丙氧基羰基丁基、氯苯氧羰基甲基、氨基甲?；谆—甲基氨基甲?；一，N—二丙基氨基甲?；谆—(甲氧苯基)氨基甲?；一?、N—甲基一N—(磺基苯基)氨基甲酰基甲基、磺基丁基、磺酸根丁基、氨磺酰丁基、N—乙基氨磺酰甲基、N，N—二丙基氨磺酰丙基、N—甲苯基氨磺酰丙基、N，N—二丙基氨磺酰丙基、N一甲苯基氨磺酰丙基、N—甲基一N—(膦酰苯基)氨磺酰辛基、膦酰丁基、膦酸根己基、二乙基膦酰丁基、二苯基膦酰丙基、甲基膦酰丁基、甲基膦酸根丁基、甲苯基膦酰膦酸根己基、甲苯基膦酸根己基、膦酰氧基丙基、膦酸根氧基丁基、芐基、苯乙基、ci一甲基芐基、l一甲基一l一苯乙基、對(duì)甲芐基、肉桂基、烯丙基、l一丙烯基甲基、2—丁烯基、2—甲基烯丙基、2—甲基丙烯基甲基、2—丙炔基、2—丁炔基、3—丁炔基等。作為所述芳基，例如可以舉出苯環(huán)、23個(gè)苯環(huán)形成稠環(huán)而成的基、苯環(huán)與5員不飽和環(huán)形成稠環(huán)而成的基等。作為芳基的具體例，例如可以舉出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基等。其中，更優(yōu)選苯基、萘基。所述烷基也可以具有取代基，作為具有這樣的取代基的芳基(以下有時(shí)也稱為"取代芳基"。)，例如作為在所述芳基的環(huán)形成碳原子上的取代基，可以舉出具有去掉氫原子的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。作為所述芳基可具有的取代基，例如可以舉出所述的烷基、取代烷基、作為所述烷基可具有的取代基顯示的基。作為所述取代芳基的優(yōu)選具體例，可以舉出聯(lián)苯基、甲苯基、二甲苯基、米基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氟苯基、氯甲基苯基、三氟甲基苯基、羥苯基、甲氧苯基、甲氧基乙氧基苯基、烯丙氧基苯基、苯氧苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、乙胺基苯基、二乙胺基苯基、嗎啉代苯基、乙酰氧基苯基、苯甲酸基苯基、N—環(huán)己基氨基甲酰氧基苯基、N—苯基氨基甲酰氧基苯基、乙酰胺基苯基、N—甲基苯甲酰基氨基苯基、羧苯基、甲氧羰基苯基、烯丙氧基羰基苯基、氯苯氧羰基苯基、氨基甲?；交一甲基氨基甲?；交?、N，N—二丙基氨基甲?；交—(甲氧苯基)氨基甲?；交?、N—甲基一N—(磺基苯基)氨基甲?；交?、磺基苯基、磺酸根苯基、氨磺酰苯基、N—乙基氨磺酰苯基、N，N—二丙基氨磺酰苯基、N—甲苯基氨磺酰苯基、N—甲基一N—(膦酰苯基)氨磺酰苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基、二乙基膦酰苯基、二苯基膦酰苯基、甲基膦酰苯基、甲基膦酸根苯基、甲苯基膦酰苯基、甲苯基膦酸根苯基、烯丙基苯基、1一丙烯基甲基苯基、2—丁烯基苯基、2—甲基烯丙基苯基、2—甲基丙烯基苯基、2—丙炔基苯基、2—丁炔基苯基、3—丁炔基苯基等。作為所述鏈烯基(一C(R。2)=C(R。3)(R。4))及炔基(一C三C(R。5))，例如可以舉出R。2、R。3、IT及R。5為由一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的基。作為R。2、RQ3、R°4、R°5，優(yōu)選氫原子、鹵素原子、烷基、取代烷基、芳基、取代芳基等。作為它們的具體例，可以舉出作為上述例子顯示的基。其中，更優(yōu)選為氫原子、鹵素原子、碳原子數(shù)為110的直鏈狀的烷基、分支狀的垸基、環(huán)狀的烷基。作為所述鏈烯基及炔基的優(yōu)選具體例，可以舉出乙烯基、l一丙烯基、l一丁烯基、l一戊烯基、1—己烯基、l一辛烯基、1一甲基一1一丙烯基、2—甲基一1一丙烯基、2—甲基一l一丁烯基、2—苯基一l一乙烯基、2—氯一l一乙烯基、乙炔基、l一丙炔基、l一丁炔基、苯基乙炔基等。作為雜環(huán)基，可以舉出作為取代烷基的取代基例示的吡啶基等。作為所述氧基(IT0—)，可以使用IT為去除氫原子的一價(jià)的非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。作為這樣的氧基，可以舉出垸氧基、芳氧基、酰氧基、氨基甲酰氧基、N—烷基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、N，N—二烷基氨基甲酰氧基、N，N—二芳基氨基甲酰氧基、N—烷基一N—芳基氨基甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。作為它們中的垸基以及芳基，可以舉出所述作為垸基、取代烷基、芳基、取代芳基顯示的基。另外，作為酰氧基中的?；?R，0—)，可以舉出R07為作為前面的例子舉出的垸基、取代烷基、芳基以及取代芳基的?；Ｔ谶@些取代基中，更優(yōu)選垸氧基、芳氧基、酰氧基、芳基硫氧基。作為優(yōu)選的氧基的具體例，可以舉出甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、十二烷氧基、芐氧基、烯丙氧基、苯乙氧基、羧基乙氧基、甲氧羰基乙氧基、乙氧羰基乙氧基、甲氧基乙氧基、苯氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、嗎啉代乙氧基、嗎啉代丙氧基、烯丙氧基乙氧基乙氧基、苯氧基、甲苯氧基、二甲苯氧基、菜氧基、菜氧基、異丙苯氧基、甲氧基苯氧基、乙氧基苯氧基、氯苯氧基、溴苯氧基、乙酰氧基、苯甲酸基、萘氧基、苯磺酰氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。作為也含有酰胺基的氨基(R°8NH—、(R。9)(R。1。)N—)，例如可以舉出R°8、Rfl9、R^為去除氫原子的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。其中，R°9、R,也可以結(jié)合形成環(huán)。作為所述氨基，例如可以舉出N—烷基氨基、N，N—二垸基氨基、N一芳基氨基、N，N—二芳基氨基、N—烷基一N—芳基氨基、酰胺基、N—垸基酰胺基、N—芳基酰胺基、脲基、N'—垸基脲基、N'，N'—二烷基脲基、N，一芳基脲基、N'，N，—二芳基脲基、N，一垸基一N'—芳基脲基、N—垸基脲基、N—芳基脲基、N，一垸基一N—垸基脲基、N，一垸基一N—芳基脲基、N'，N'—二垸基一N—烷基脲基、N'—垸基一N'—芳基脲基、N'，N，一二烷基一N—垸基脲基、N'，N，—二垸基一N'—芳基脲基、N'—芳基一N—烷基脲基、N'—芳基一N—芳基脲基、N'，N'一二芳基一N—垸基脲基、N'，N'—二芳基一N—芳基脲基、N'_垸基一N，一芳基一N—烷基脲基、N，一烷基一N'—芳基一N—芳基脲基、垸氧羰基氨基、芳氧羰基氨基、N—烷基一N—垸氧羰基氨基、N—烷基一N—烷氧羰基氨基、N—芳基一N—垸氧羰基氨基、N—芳基一N—芳氧羰基氨基等。作為它們中的烷基及芳基，可以舉出上述的作為垸基、取代烷基、芳基、以及取代芳基顯示的基。另外，酰胺(7*A7S/)基、N—垸基酰胺基、N—芳基酰胺基中的?；?ITC0—)的IT如上所述。其中，更優(yōu)選N—烷基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、酰胺基。作為取代氨基的優(yōu)選具體例，可以舉出甲胺基、乙胺基、二乙胺基、嗎啉代基、哌啶基、吡咯代基、苯胺基、苯甲酰胺基、乙酰胺基等。作為磺?；?R011一S02—)，例如可以舉出R"'為由一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的基。作為這樣的磺?；鐑?yōu)選垸基磺?；?、芳基磺酰基等。作為它們中的垸基、芳基，可以舉出上述的作為垸基、取代垸基、芳基、以及取代芳基顯示的基。作為所述磺?；木唧w例，可以舉出丁基磺?；?、苯磺?；?、氯苯基磺?；取Ｈ缟纤?，所述磺酸根基(一S03—)是指磺基(sulpho)基(—S03H)的共軛堿陰離子基，通常優(yōu)選與對(duì)陽離子一起使用。作為這樣的對(duì)陽離子，可以適當(dāng)使用通常已知的對(duì)陽離子，例如鎗類(例如銨類、锍類、轔類、碘鎗類、疊氮鐺(7-二々A)類等)、金屬離子類(例如Na+、K+、Ca2+、Z,等)。作為所述羰基(R。'3—C0—)，例如可以使用R。'3為由一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的基。作為這樣的羰基，例如可以舉出甲酸基、?；Ⅳ然?、垸氧羰基、芳氧羰基、氨基甲?；?、N—烷基氨基甲酰基、N，N—二垸基氨基甲酰基、N一芳基氨基甲?；，N—二芳基氨基甲?；?、N—烷基一N'—芳基氨基甲?；?。作為它們中的烷基及芳基，可以舉出上述作為垸基、取代烷基芳基、以及取代芳基顯示的基。作為所述羰基，可以舉出甲?；?、?；?、羧基、垸氧羰基、芳氧羰基、氨基甲酰基、N—烷基氨基甲酰基、N，N—二垸基氨基甲?；?、N—芳基氨基甲?；?，進(jìn)而更優(yōu)選甲酸基、酰基、烷氧羰基以及芳氧羰基。作為所述羰基的具體例，可以舉出甲?；?、乙酰基、苯甲?；?、羧基、甲氧羰基、乙氧羰基、烯丙氧基羰基、二甲胺基苯基乙烯基羰基、甲氧羰基甲氧羰基、N—甲基氨基甲?；?、N—苯基氨基甲酰基、N，N—二乙基氨基甲?；?、嗎啉代羰基等。作為所述亞磺?；鵤w—So—),可以使用RO"為由一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的基。作為這樣的亞磺?；缈梢耘e出烷基亞磺?；⒎蓟鶃喕酋；喕撬狨；—垸基亞磺酸?；，N—二烷基亞磺酸?；—芳基亞磺酸?；?、N，N—二芳基亞磺酸?；?、N—烷基一N—芳基亞磺酸酰基等。作為它們中的烷基及芳基，可以舉出所述作為烷基、取代烷基、芳基、以，更優(yōu)選烷基亞磺酰基、芳基亞磺?；?。作為這樣的取代亞磺酰基的具體例，可以舉出己基亞磺?；?、芐基亞磺?；?、甲苯基亞磺?；取Ｋ鋈〈Ⅴ；侵胳Ⅴ；系囊粋€(gè)或兩個(gè)羥基被其他有機(jī)氧基取代的基，例如可以舉出上述的二烷基膦酰基、二芳基膦?；?、烷基芳基膦酰基、一垸基膦?；?、一芳基膦酰基等。其中，更優(yōu)選二烷基膦?；⒍蓟Ⅴ；Ｗ鳛樗鲮Ⅴ；母鼉?yōu)選的具體例，可以舉出二乙基膦?；?、二丁基膦?；?、二苯基膦?；?。如上所述，所述膦酸根基(一P0晶—、—P03H—)是指膦?；?一PO孔)的來源于酸第一離解或酸第二離解的共軛堿陰離子基。通常優(yōu)選與對(duì)陽離子一起使用。作為這樣的對(duì)陽離子，可以適當(dāng)選擇通常已知的對(duì)陽離子，例如各種鑰類(銨類、锍類、鱗類、碘鎗類、疊氮鐺(7、y'二々A)類等)以及金屬離子類(Na+、K+、Ca2+、Zn"等)。所述膦酸根基是指上述的膦酰基中將一個(gè)羥基取代成有機(jī)氧基的基的共軛堿陰離子基，作為這樣的具體例，可以舉出上述的一烷基膦?；?一P03H(alkyl))、一芳基膦酰基(—P03H(aryl))的共軛堿。所述芳香族基可以通過通常的自由基聚合法利用含有芳香族基的自由基聚合性化合物一種以上和根據(jù)需要作為共聚合成分的其他自由基聚合性化合物一種以上制造。作為所述自由基聚合法，通常可以舉出例如懸浮聚合法或者溶液聚合法等。作為所述含有芳香族基的自由基聚合性化合物，例如優(yōu)選通式(A—1)表示的化合物、通式(A—2)表示的化合物。通式《A，1〗O其中，所述通式(A—l)中，R,、R2及R3表示氫原子或1價(jià)的有機(jī)基。L表示有機(jī)基，也可以沒有。Ar表示可含有雜環(huán)的芳香族基。其中，所述通式(A—2)中，R,、R2及R3以及Ar表示與所述通式(A一l)相同的意義。作為所述L的有機(jī)基，例如為由非金屬原子構(gòu)成的多價(jià)的有機(jī)基，可以舉出由160個(gè)碳原子、010個(gè)氮原子、050個(gè)氧原子、1100個(gè)氫原子以及020個(gè)硫原子構(gòu)成的有機(jī)基。更具體而言，作為所述L的有機(jī)基，可以舉出組合下述結(jié)構(gòu)單元而構(gòu)成的有機(jī)基、多價(jià)萘、多價(jià)蒽等。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>所述L的連結(jié)基也可以具有取代基，作為所述取代基，可以舉出所述的鹵素原子、羥基、羧基、磺酸根、硝基、氰基、酰胺基、氨基、垸基、鏈烯基、炔基、芳基、取代氧基、取代磺?；?、取代羰基、取代亞磺?；?、磺基、膦?；?、膦酸根基、甲硅烷基、雜環(huán)基。在所述通式(A—l)表示的化合物以及通式(A—2)表示的化合物中，從靈敏度的方面出發(fā)，優(yōu)選通式(A—l)。另外，在所述通式(A—l)中，從穩(wěn)定性的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選具有連結(jié)基，作為所述L的有機(jī)基，從非圖像部的除去性(顯影性)的方面出發(fā)，優(yōu)選碳原子數(shù)為14的亞垸基。所述通式(A—1)表示的化合物成為含有下述通式(A—3)的結(jié)構(gòu)單元的化合物。另外，所述通式(A—2)表示的化合物成為含有下述通式(A一4)的結(jié)構(gòu)單元的化合物。其中，從貯存穩(wěn)定性的方面出發(fā)，優(yōu)選通式(A—3)的結(jié)構(gòu)單元。通式(A—3)民1一4-如通式(A—4》其中，在所述通式(A—3)及通式(A—4)中，R,、&及Rs以及Ar表示與所述通式(A—1)及通式(A—2)相同的意義。在所述通式(A—3)及通式(A—4)中，從非圖像部的除去性(顯影性)的方面出發(fā)，優(yōu)選^及R2為氫原子，R3為甲基。另外，從非圖像部的除去性(顯影性)的方面出發(fā)，所述通式(A—3)的L優(yōu)選為碳原子數(shù)為14的亞垸基。作為所述通式(A—l)表示的化合物或通式(A—2)表示的化合物，沒有特別限制，例如可以舉出以下的例示化合物(1)(30)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula>在所述例示化合物(1)(30)中，優(yōu)選(5)、(6)、(11)、(14)及(28)，其中，從貯存穩(wěn)定性及顯影性的方面出發(fā)，更優(yōu)選(5)及(6)。對(duì)所述可含有雜環(huán)的芳香族基在所述粘合劑中的含量，沒有特別限制，在將高分子化合物的全部結(jié)構(gòu)單元設(shè)為100mol^的情況下，優(yōu)選含有20mol^以上所述通式(A—3)表示的結(jié)構(gòu)單元，更優(yōu)選含有3045mol%。如果所述含量不到20mol%,則貯存穩(wěn)定性可能會(huì)變低，如果超過45mol%，則顯影性可能會(huì)降低。一一乙烯性不飽和鍵一一作為所述乙烯性不飽和鍵，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選下述通式(A—5)(A—7)表示的乙烯性不飽和鍵。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>通式(A-7〗其中，所述通式(A—5)(A—7)中，R!Ru彼此獨(dú)立，表示l價(jià)有機(jī)基。X及Y彼此獨(dú)立，表示氧原子、硫原子或一N—R4。Z表示氧原子、硫原子、一N-R4或亞苯基。R4表示氫原子或1價(jià)的有機(jī)基。在所述通式(A—5)中，作為R,，彼此獨(dú)立，例如優(yōu)選為氫原子、可具有取代基的烷基等，從自由基反應(yīng)性高的方面出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、甲作為所述&及R3，彼此獨(dú)立，例如可以舉出氫原子、鹵素原子、氨基、羧基、烷氧羰基、磺基、硝基、氰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基、可具有取代基的垸氧基、可具有取代基的芳氧基、可具有取代基的垸基氨基、可具有取代基的芳基氨基、可具有取代基的垸基磺?；?、可具有取代基的芳基磺?；龋瑥淖杂苫磻?yīng)性高的方面出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、羧基、垸氧羰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基。作為所述&，例如優(yōu)選可具有取代基的垸基等，從自由基反應(yīng)性高的點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、甲基、乙基、異丙基。在此，作為可以導(dǎo)入的所述取代基，例如可以舉出烷基、鏈烯基、炔基、芳基、垸氧基、芳氧基、鹵素原子、氨基、烷基氨基、芳基氨基、羧基、烷氧羰基、磺基、硝基、氰基、酰胺基、烷基磺酰基、芳基磺?；取Ｔ谒鐾ㄊ?A—6)中，作為R4Rs，例如優(yōu)選氫原子、鹵素原子、氨基、二烷基氨基、羧基、烷氧羰基、磺基、硝基、氰基、可具有取代基的垸基、可具有取代基的芳基、可具有取代基的烷氧基、可具有取代基的芳氧基、可具有取代基的垸基氨基、可具有取代基的芳基氨基、可具有取代基的垸基磺?；?、可具有取代基的芳基磺?；?，更優(yōu)選氫原子、羧基、烷氧羰基、可具有取代基的垸基、可具有取代基的芳基。作為可以導(dǎo)入的所述取代基，例示在所述通式(A—5)中舉出的取代基。在所述通式(A—7)中，作為&，例如優(yōu)選氫原子、可具有取代基的烷基等，從自由基反應(yīng)性高的方面出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、甲基。作為所述Rw、Rn，彼此獨(dú)立，例如優(yōu)選氫原子、鹵素原子、氨基、二垸基氨基、羧基、垸氧羰基、磺基、硝基、氰基、可具有取代基的垸基、可具有取代基的芳基、可具有取代基的烷氧基、可具有取代基的芳氧基、可具有取代基的垸基氨基、可具有取代基的芳基氨基、可具有取代基的烷基磺酰基、可具有取代基的芳基磺酰基等，從自由基反應(yīng)性高的方面出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、羧基、烷氧羰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基。在此，作為可以導(dǎo)入的所述取代基，例示在所述通式(A—5)中舉出的取代基。作為Z，表示氧原子、硫原子、—NRn—或可具有取代基的亞苯基。Ru表示可具有取代基的烷基等，從自由基反應(yīng)性高的方面出發(fā)，優(yōu)選氫原子、甲基、乙基、異丙基。在所述通式(A—5)(A—7)表示的側(cè)鏈乙烯性不飽和鍵中，從聚合反應(yīng)性高、靈敏度高的方面出發(fā)，更優(yōu)選通常(A—5)的化合物。對(duì)所述乙烯性不飽和鍵在所述高分子化合物中的含量，沒有特別限制，優(yōu)選為0.53.0meq/g，更優(yōu)選為1.03.0meq/g，特別優(yōu)選為1.52.8meq/g。如果所述含量不到0.5meq/g，則固化反應(yīng)量少，因而可能會(huì)成為低靈敏度，如果多于3.0meq/g，則貯存穩(wěn)定性可能會(huì)劣化。在此，所述含量(meq/g)例如可以利用碘值滴定來測(cè)定。作為向側(cè)鏈導(dǎo)入所述通式(A_5)表示的乙烯性不飽和鍵的方法，沒有特別限制，例如可以通過使在側(cè)鏈含有羧基的高分子化合物與乙烯性不飽和鍵及含有環(huán)氧基的化合物發(fā)生加成反應(yīng)得到。所述在側(cè)鏈具有羧基的高分子化合物，例如可以通過通常的自由基聚合法利用含有羧基的自由基聚合性化合物一種以上和根據(jù)需要作為共聚合成分的其他自由基聚合性化合物一種以上制造，作為所述自由基聚合法，例如可以舉出懸浮聚合法、溶液聚合法等。作為所述具有乙烯性不飽和鍵及環(huán)氧基的化合物，只要具有它們即可，沒有特別限制，例如優(yōu)選下述通式(A—8)表示的化合物及通式(A一9)表示的化合物。e,<formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>其中，所述通式(A—8)中，^表示氫原子或甲基。L,表示有機(jī)基。其中，所述通式(A—9)中，R2表示氫原子或甲基。L2表示有機(jī)基。W表示47員環(huán)的脂肪族烴基。在所述通式(A—8)表示的化合物及通式(A—9)表示的化合物中，優(yōu)選通式(A—8)表示的化合物，在所述通式(A—8)中，更優(yōu)選L,為碳原子數(shù)14的亞垸基。作為所述通式(A—8)表示的化合物及通式(A—9)表示的化合物,沒有特別限制，例如可以舉出以下的例示化合物(31)(40)。作為所述含有羧基的自由基聚合性化合物，例如包括丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、異巴豆酸、馬來酸、對(duì)羧基苯乙烯等，特別優(yōu)選丙烯酸、甲基丙烯酸等。作為所述向側(cè)鏈的導(dǎo)入反應(yīng)，例如可以通過將三乙胺、芐基甲胺等叔胺，十二垸基三甲基氯化銨、四甲基氯化銨、四乙基氯化銨等季銨鹽，吡啶，三苯膦等作為催化劑，在有機(jī)溶劑中，使其在反應(yīng)溫度5015(TC下反應(yīng)數(shù)小時(shí)數(shù)十小時(shí)來進(jìn)行。作為所述在側(cè)鏈具有乙烯性不飽和鍵的結(jié)構(gòu)單元，沒有特別限制，例如優(yōu)選下述通式(A—10)表示的結(jié)構(gòu)、通式(A—11)表示的結(jié)構(gòu)以及利用它們的混合表示的結(jié)構(gòu)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>通式(a-10)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>通式(a—11》其中，所述通式(A—IO)及通式(A—ll)中，RaRc表示氫原子或l價(jià)的有機(jī)基。K表示氫原子或甲基。Li表示可具有連結(jié)基的有機(jī)基。在所述通式(A—IO)表示的結(jié)構(gòu)或通式(A—ll)表示的結(jié)構(gòu)的高分子化合物中的含量，優(yōu)選為20mol^以上，更優(yōu)選為2050mol%,特別優(yōu)選為2545mol%。如果所述含量不到20mol%,則固化反應(yīng)量少，因而可能會(huì)成為低靈敏度，如果多于50molX，則貯存穩(wěn)定性可能會(huì)劣化。一—羧基一一在本發(fā)明的高分子化合物中，為了提高非圖像部除去性等各性能，也可以具有羧基。所述羧基可以通過使具有酸基的自由基聚合性化合物發(fā)生共聚合而向所述高分子化合物賦予。作為這樣的具有自由基聚合性的酸基，例如可以舉出羧酸、磺酸、磷酸基等，特別優(yōu)選羧酸。作為所述具有羧基的自由基聚合性化合物，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、異巴豆酸、馬來酸、對(duì)羧基苯乙烯等，其中，優(yōu)選丙烯酸、甲基丙烯酸、對(duì)羧基苯乙烯。它們可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。所述羧基在粘合劑中的含量，為1.04.0meq/g，優(yōu)選為1.53.0meq/g。所述含量不到1.Omeq/g時(shí)，顯影性有時(shí)會(huì)變得不充分，如果超過4.Omeq/g，則可能會(huì)變得容易受到堿水顯影引起的圖像強(qiáng)度受損。為了提高圖像強(qiáng)度等各性能，上述高分子化合物除了所述自由基聚合性化合物以外，還優(yōu)選使其他自由基聚合性化合物共聚合。作為所述其他自由基聚合性化合物，例如可以舉出從丙烯酸酯類、甲基丙烯酸酯類、苯乙烯類等中選擇的自由基聚合性化合物等。具體而言，可以舉出丙烯酸烷基酯等丙烯酸酯類，丙烯酸芳基酯，甲基丙烯酸烷基酯等甲基丙烯酸酯類，甲基丙烯酸芳基酯，苯乙烯、烷基苯乙烯等苯乙烯類，烷氧基苯乙烯，鹵代苯乙烯等。作為所述丙烯酸酯類，烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為120，例如可以舉出丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸戊酯、丙烯酸乙基己基酯、丙烯酸辛酯、丙烯酸叔辛酯、丙烯酸氯乙基酯、丙烯酸2，2—二甲基羥基丙基酯、丙烯酸5—羥基烷基酯、三羥甲基丙烷一丙烯酸酯、季戊四醇一丙烯酸酯、縮水甘油丙烯酸酯、丙烯酸芐基酯、丙烯酸甲氧基節(jié)基酯、丙烯酸糠酯、四氫糠基丙烯酸酯等。作為所述丙烯酸芳基酯，例如可以舉出丙烯酸苯基酯等。作為所述甲基丙烯酸酯類，烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為120，例如可以舉出甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸戊基酯、甲基丙烯酸己酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸芐基酯、甲基丙烯酸氯芐基酯、甲基丙烯酸辛基酯、甲基丙烯酸4一羥基丁基酯、甲基丙烯酸5—羥基戊基酯、甲基丙烯酸2，2—二甲基一3一羥基丙基酯、三羥甲基丙烷一甲基丙烯酸酯、季戊四醇一甲基丙烯酸酯、縮水甘油基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸糠酯、四氫糠基甲基丙烯酸酯等。作為所述甲基丙烯酸芳基酯，例如可以舉出甲基丙烯酸苯基酯、甲基丙烯酸甲苯基酯、甲基丙烯酸萘基酯等。作為所述苯乙烯類，例如可以舉出甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、異丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、環(huán)己基苯乙烯、癸基苯乙烯、芐基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙酸基甲基苯乙烯等。作為所述垸氧基苯乙烯，例如可以舉出甲氧基苯乙烯、4一甲氧基一3一甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯等。作為所述鹵代苯乙烯，例如可以舉出氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2—溴一4一三氟甲基苯乙烯、4一氟一3—三氟甲基苯乙稀等。這些自由基聚合性化合物可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。作為在合成本發(fā)明的高分子化合物時(shí)使用的溶劑，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出二氯化乙烯、環(huán)己酮、甲基乙基甲酮、丙酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、2—甲氧基乙基乙酸酯、l一甲氧基一2—丙醇、l一甲氧基一2—丙基乙酸酯、N，N—二甲基甲酰胺、N，N—二甲基乙酰胺、二甲亞砜、甲苯、醋酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯等。它們可以單獨(dú)使用一種，也可以混合使用兩種以上。本發(fā)明中，高分子化合物的分子量以質(zhì)均分子量?jī)?yōu)選為10,000以上，更優(yōu)選為10，00050,000。所述質(zhì)均分子量如果低于10,000，則固化膜強(qiáng)度可能會(huì)不足，如果超過50，000，則顯影性存在降低的趨勢(shì)。另外，本發(fā)明中，在高分子化合物中也可以含有未反應(yīng)的單體。這種情況下，所述單體在所述高分子化合物中的含量?jī)?yōu)選為15質(zhì)量％以下。本發(fā)明中，高分子化合物可以單獨(dú)使用一種，也可以混合使用兩種以上。另外，也可以混合使用其他高分子化合物。這種情況下，所述其他高分子化合物在所述本發(fā)明的高分子化合物中的含量，優(yōu)選為50質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為30質(zhì)量％以下。〈環(huán)氧丙烯酸酯化合物〉所謂上述環(huán)氧丙烯酸酯化合物是含有具有來自環(huán)氧化合物的骨架，而且在分子中具有乙烯性不飽和雙鍵環(huán)羧基地化合物。這樣的化合物通過例如使多官能環(huán)氧化合物和含有羧基的單體反應(yīng)后，再加成多元酸酐的方法等獲得。作為多官能環(huán)氧化合物，可列舉例如聯(lián)二甲苯酚型或聯(lián)酚型環(huán)氧樹脂("YX4000日本環(huán)氧樹脂(J即anEpoxyResin)公司制"等)或它們的混合物、具有三聚異氰酸酯骨架等的雜環(huán)式環(huán)氧樹脂("TEIPIC;日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)公司制"、卜PT810;西巴特殊化學(xué)藥品(CIBASPECIALTYCHEMICALS)公司制"等)、雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚S型環(huán)氧樹脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、鹵素化苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂(例如，四縮水甘油基二氨基二苯基甲烷等)、乙內(nèi)酰脲型環(huán)氧樹脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹脂、三羥基苯基甲烷型環(huán)氧樹脂、雙酚A型酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、四苯酚基乙烷型環(huán)氧樹脂、鄰苯二甲酸縮水甘油基酯樹脂、四縮水甘油基二甲苯?；彝闃渲?、含萘基環(huán)氧樹脂("ESN—190、ESN—360;新日鐵化學(xué)公司制"、"HP—4032、EXA—4750、EXA—4700;大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制"等)、具有二環(huán)戊二烯骨架的環(huán)氧樹脂("HP—7200、HP—7200H;大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制"等)；利用苯酚、鄰甲酚、萘酚等酚化合物與具有酚性羥基地芳香族醛的縮合反應(yīng)得到的聚苯酚化合物與表氯醇的反應(yīng)物；利用苯酚化合物與二乙烯基苯或二環(huán)戊二烯等二烯烴化合物的加成反應(yīng)得到的聚苯酚化合物與表氯醇的反應(yīng)物；用過乙酸等環(huán)氧化4一乙烯基環(huán)己烯一1一氧化物的開環(huán)聚合物得到的產(chǎn)物；具有三縮水甘油基異氰尿酸酯等雜環(huán)的環(huán)氧樹脂；縮水甘油甲基丙烯酸酯共聚物系環(huán)氧樹脂("CP—50S、CP—50M;日本油脂公司制"等)、環(huán)己基馬來酰亞胺與縮水甘油甲基丙烯酸酯的共聚合環(huán)氧樹脂；選自苯酚和甲酚等一種和對(duì)羥基苯甲醛縮合物進(jìn)行縮水甘油醚化形成的環(huán)氧樹脂；雙(縮水甘油氧基苯基)芴型環(huán)氧樹脂；雙(縮水甘油氧基苯基)金剛垸型環(huán)氧樹脂等。這些環(huán)氧樹脂可以單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。作為含有羧基的單體的例子，可列舉(甲基)丙烯酸、乙烯基苯甲酸、馬來酸、馬來酸單垸基酯、富馬酸、衣康酸、巴豆酸、肉桂酸、山梨酸、a—氰基肉桂酸、丙烯酸二聚物；另外，還可列舉(甲基)丙烯酸2—羥乙酯等具有羥基的單體與馬來酸酐、酞酸酐、環(huán)己烷二羧酸酐等環(huán)狀酸酐的加成反應(yīng)物；與含有鹵素的羧酸化合物的反應(yīng)生成物、o)—羧基一聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯等。此外，作為市售品，可以使用東亞合成化學(xué)工業(yè)(株)制的阿咯逆旅克斯(7口二、乂夕7)M—5300、M—5400、M—5500和M—5600、新中村化學(xué)工業(yè)(株)制的NK酯CB—1和CBX—1、共榮社油脂化學(xué)工業(yè)(株)制的HOA-MP和HOA—MS、大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)(株)制的匕、、7〕一卜#2100等。他們可以單獨(dú)使用一種，也可以二種以上并用。另外，作為多元酸酐，還可以使用例如琥珀酸酐、甲基琥珀酸酐、2，3—二甲基琥珀酸酐、2，2—二甲基琥珀酸酐、乙基琥珀酸酐、十二碳烯基琥珀酸酐、壬烯基琥珀酸酐、馬來酸酐、甲基馬來酸酐、2，3—二甲基馬來酸酐、2—氯馬來酸酐、2，3—二氯馬來酸酐、溴代馬來酸酐、衣康酸酐、焦檸檬酸酐、西撒庫特(、乂77〕、;/卜)酸酐、酞酸酐、四氫酞酸酐、四氯酞酸酐、四溴酞酸酐、六氫酞酸酐、甲基四氫酞酸酐、甲基六氫酞酸酐、甲橋(工:/K乂于i/:/)四氫酞酸酐、甲基甲橋四氫酞酸酐、氯菌酸酐和5—(2，5—二氧四氫呋喃基)一3—甲基一3—環(huán)己烯一l，2—二羧酸酐等二元酸酐、偏苯三酸酐、苯均四酸酐、3，3'，4，4，一二苯甲酮四羧酸等多元酸酐等。它們可以單獨(dú)使用一種，也可以二種以上并用。各自依次進(jìn)行反應(yīng)，可獲得環(huán)氧丙烯酸酯，但是使它們反應(yīng)的比率相對(duì)于1當(dāng)量多官能環(huán)氧化合物，含有羧基的單體的羧基是0.8—1.2當(dāng)量，優(yōu)選為0.9—1.1當(dāng)量，多元酸酐是O.l—l.O當(dāng)量，優(yōu)選為0.3—1.0當(dāng)另外，特開平5_70528號(hào)公報(bào)記載的含有芴骨架的環(huán)氧丙烯酸酯(不具有羧基的化合物)與酸酐加成得到的化合物等也可以用作本發(fā)明的環(huán)氧丙烯酸酯。上述環(huán)氧丙烯酸酯化合物的分子量?jī)?yōu)選為IOOO—100000，更優(yōu)選為2000—50000。該分子量低于1000時(shí)，有時(shí)感光層表面的粘性增強(qiáng)，并且在后述的感光層固化后，有時(shí)膜質(zhì)變脆，或者，表面硬度惡化，而超過100000時(shí)，有時(shí)顯影性惡化。另外，樹脂的合成也變得困難。上述粘合劑在上述感光性組合物中的固體成分含量?jī)?yōu)選為580質(zhì)量%，更優(yōu)選為1070質(zhì)量Q^。上述粘合劑在上述感光性組合物中的固體成分含量?jī)?yōu)選為580質(zhì)量%，更優(yōu)選為1070質(zhì)量％。該固體成分含量如果不到5質(zhì)量％，則感光層的膜強(qiáng)度容易變?nèi)?，該感光層的表面的粘?tack)有時(shí)會(huì)惡化，如果超過80質(zhì)量％，則曝光靈敏度可能會(huì)降低。<聚合性化合物>作為上述聚合性化合物，只要I/O值的重量平均為0.52以下，則沒有特別限制，可以根據(jù)需要適當(dāng)選擇。另外，上述聚合性化合物的I/O值的重量平均優(yōu)選為0.43以下，并且優(yōu)選在分子中具有兩個(gè)以上聚合性基的化合物，例如，二羥甲基三環(huán)癸烷二(甲基)丙烯酸酯(三環(huán)癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯)。在這里，把二羥甲基三環(huán)癸烷二丙烯酸酯(三環(huán)癸垸二甲醇二丙烯酸酯，NK酯A一DCP)的結(jié)構(gòu)式作為通式(B—l)如下所示。CH2=CHCOCH2作為上述I/0值的重量平均的上限值，例如，從提高絕緣可靠性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選為0.52，特別優(yōu)選為0.43。作為上述I/0值的重量平均的下限值，例如，從提高清晰度的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選為0.350，進(jìn)一步優(yōu)選為0.380，特別優(yōu)選為0.400。作為調(diào)整上述粘合劑的1/0值的重量平均的方法，可以通過適當(dāng)選擇構(gòu)成共聚物的單體的種類、以及使該單體聚合時(shí)的聚合比(含量)的至少一種，將其調(diào)整為規(guī)定的范圍。上述1/0值是按照有機(jī)概念使用也稱為(無極性值)/(有極性值)的各種有機(jī)化合物的極性獲得的值，是對(duì)各官能基設(shè)定參數(shù)的官能基給與法之一。作為上述I/0值，具體內(nèi)容在有機(jī)概念圖(甲田善生著，三共出版(1984));K瞧M0T0PHARMACEUTICALBULLETIN,第1號(hào)，第1一16項(xiàng)(1954年)；化學(xué)的領(lǐng)域，第11巻，第10號(hào)，719—725項(xiàng)(1957年)；7k夕、、，/7-亇—于/h第34號(hào)，第97—lll項(xiàng)(1979年)；7P^，y7-亇一于/W第50號(hào)，第79—82項(xiàng)(1981年)；等文獻(xiàn)中進(jìn)行了詳細(xì)說明。上述i/o值的概念是把化合物的性質(zhì)分為表示共價(jià)鍵的有極性基和表示離子鍵的無極性基，把所有的有機(jī)化合物位于稱為有機(jī)軸和無機(jī)軸的平行坐標(biāo)上的每一點(diǎn)來表示。上述所謂的無極性值是將對(duì)有機(jī)化合物所具有的各種取代基和鍵等的沸點(diǎn)的影響力的大小以羥基為標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行數(shù)值化得到的值。具體地講，由于在碳原子數(shù)5的附近取直鏈醇的沸點(diǎn)曲線和直鏈?zhǔn)灥姆悬c(diǎn)曲線的距離時(shí)，為約IOO'C，所以把1個(gè)羥基的影響力以數(shù)值計(jì)定義為100，基于該樹脂，將對(duì)各種取代基或者各種鍵等的沸點(diǎn)的影響力進(jìn)行數(shù)值化獲得的值就是有機(jī)化合物所具有的取代基的無極性值。例如，一C00H基的無極性值是150，雙鍵的無極性值是2。因此，所謂的某種有機(jī)化合物的無極性值指該化合物所具有的各種取代基和鍵等的無極性值的總和。上述所謂的有機(jī)性值是以分子內(nèi)的亞甲基為單位，以對(duì)表示該亞甲基的碳原子的沸點(diǎn)的影響力為標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行定義的。即，由于在直鏈飽和烴化合物的碳原子數(shù)5—10附近附加1個(gè)碳引起沸點(diǎn)升高的平均值是20°C，所以以此為標(biāo)準(zhǔn)，把1個(gè)碳原子的有機(jī)性值定義為20，以此為基礎(chǔ)，將對(duì)各種取代基和鍵等的沸點(diǎn)的影響力進(jìn)行數(shù)值化獲得的值就是有機(jī)性值。例如，硝基(一NO》的有機(jī)性值是70。上述I/O值越接近于0越表示是非極性(疏水性、有極性的大小)的有機(jī)化合物，越大越表示是極性(親水性、無極性的大小)的有機(jī)化合物。另外，I/O值的重量平均，例如，當(dāng)以a重量％聚合性化合物A、b重量^B的比率混合使用聚合性化合物時(shí)(a+b=100)，按照I/0值的重量平均=(A的I/0值Xa/100+B的I/0值Xb/100)進(jìn)行計(jì)算。下面，對(duì)上述i/o值的計(jì)算方法的一個(gè)例子進(jìn)行說明。季戊四醇四丙烯酸酯的1/0值通過按照下面的方法計(jì)算無極性值和有機(jī)性值，接著計(jì)算式子(無極性值)/(有極性值)來求出。由于季戊四醇四丙烯酸酯具有17個(gè)碳原子，所以季戊四醇四丙烯酸酯的有極性值計(jì)算為20(碳原子的有極性值)X17(碳原子數(shù))=340。季戊四醇四丙烯酸酯的無極性值如下計(jì)算由于季戊四醇四丙烯酸酯有4個(gè)羧基，有4個(gè)雙鍵，所以季戊四醇四丙烯酸酯的無極性值是60(酯基的無極性值)X4(酯基的個(gè)數(shù))+2(雙鍵的無極性值)X4(雙鍵的個(gè)數(shù))=248。因此，判定季戊四醇四丙烯酸酯的I/0值是248(上述共聚物的無極性值)/340(上述共聚物的有極性值)=0.729。另外，本發(fā)明中，所謂的"聚合性化合物"不包括可以包含粘合劑中的聚合性化合物。所述聚合性化合物在所述感光性組合物固體成分中的固體成分含量，優(yōu)選為550質(zhì)量％，更優(yōu)選為1040質(zhì)量％。如果該固體成分含量不到5質(zhì)量％，則會(huì)產(chǎn)生顯影性的惡化、曝光靈敏度的降低等問題，如果超過50質(zhì)量％，則感光層的粘合性有時(shí)會(huì)變得過強(qiáng)，不優(yōu)選。<填料(無機(jī)填充劑)>由于上述無機(jī)填充劑具有可以提高永久圖案的表面硬度，可以將線膨脹系數(shù)抑制在較低水平，或者將固化膜本身的介電常數(shù)及電介質(zhì)損耗角抑制在較低水平，所以可以適用于本發(fā)明的感光性組合物。作為前述填料(無機(jī)填充劑)，沒有特別限制，可以從公知的填料中適當(dāng)選擇，可列舉例如高嶺土、硫酸鋇、鈦酸鋇、氧化硅粉、微粉狀氧化硅、氣相法硅石、無定形硅石、結(jié)晶性硅石、熔融硅石、球狀硅石、滑石、粘土、碳酸鎂、碳酸鈣、氧化鋁、氫氧化鋁、云母等。前述填料(無機(jī)填充劑)的平均粒徑優(yōu)選低于3Mm，更優(yōu)選為0.1—2Mfli。當(dāng)該平均粒徑為3Mm以上時(shí)，有時(shí)由于光彌散而導(dǎo)致分辨率劣化。前述填料(無機(jī)填充劑)的添加量?jī)?yōu)選為575質(zhì)量％，更優(yōu)選為8一70質(zhì)量％，特別優(yōu)選為10—65質(zhì)量％。當(dāng)該添加量低于5質(zhì)量％時(shí)，有時(shí)不能充分降低其線膨脹系數(shù)，當(dāng)其超過90質(zhì)量%時(shí)，有時(shí)在感光層表面形成固化膜時(shí)，該固化膜的膜質(zhì)變脆，且在使用永久圖案形成布線時(shí)，有時(shí)作為布線的保護(hù)膜的功能被破壞。也可以根據(jù)需要添加有機(jī)微粒子。作為適合的有機(jī)微粒子，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可列舉例如三聚氰胺樹脂、苯并鳥糞胺樹脂、交聯(lián)聚苯乙烯樹脂等。另外，可以使用平均粒徑為0.12Mm、吸油量為100200mVg左右的硅石、由交聯(lián)樹脂構(gòu)成的球狀多孔質(zhì)微粒子等。在前述填料(無機(jī)填充劑)中，由于含有平均粒徑為0.1—2Mm的粒子，所以隨著永久圖案在印刷布線基板上薄型化，即使薄層化為5—20Mm厚，填料(無機(jī)填充劑)粒子也不會(huì)破壞永久圖案的表里兩面，該結(jié)果，即使在高加速度試驗(yàn)(HAST)中也不會(huì)產(chǎn)生樹枝狀晶體，可以形成耐熱性、耐濕性優(yōu)異的永久圖案。<光聚合引發(fā)劑〉作為所述光聚合引發(fā)劑，使用肟衍生物。另外，根據(jù)需要也可以含有其他光聚合引發(fā)劑。作為所述肟衍生物，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，優(yōu)選至少具有芳香族基的化合物，更優(yōu)選具有下述通式(I)及通式(II)的任意一種表示的部分結(jié)構(gòu)的化合物。所述肟衍生物也可以并用兩種以上。其中，所述通式(I)及(II)中，Ar表示芳香族基及雜環(huán)基中的任意一種。Y'表示氫原子及一價(jià)取代基中的任意一種。Y2表示脂肪族基、芳香族基、雜環(huán)基、C0Y3、C0^及C0NY4Y5中的任意一種。Y3、f及f表示脂肪族基、芳香族基及雜環(huán)基中的任意一種。m表示l以上的整數(shù)。作為所述Y1，優(yōu)選為氫原子、脂肪族基及芳香族基中的任意一種。作為所述Y2，優(yōu)選脂肪族基、一C0—(脂肪族基)、一CO—(芳香族基)、—CO—(雜環(huán)基)、—C02—(脂肪族基)、—C02—(芳香族基)及—C02—(雜環(huán)基)中的任意一種。作為所述f及Y4，優(yōu)選為脂肪族基及芳香族基中的任意一種。作為肟衍生物，也可以為用所述通式(I)及通式(II)表示的結(jié)構(gòu)經(jīng)由連結(jié)基結(jié)合多個(gè)而成的化合物。其中，在所述通式(I)及通式(II)中，所述脂肪族基表示可分別具有取代基的烷基、鏈烯基、炔基，所述芳香族基表示可分別具有取代基的芳基、雜環(huán)(hetero環(huán))基，作為所述一價(jià)的取代基，表示鹵素原子、可具有取代基的氨基、烷氧基羰基、羥基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅垸基、硝基、氰基、可分別具有取代基的烷基、鏈烯基、炔基、芳基、雜環(huán)基。作為所述芳香族基，可以舉出13個(gè)苯環(huán)形成稠環(huán)的基、苯環(huán)與5員不飽和環(huán)形成稠環(huán)的基，作為具體例，可以舉出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基，其中，優(yōu)選具有苯基及萘基中的任意一種的基，特別優(yōu)選具有萘基的基。通式(tt)另外，這些芳香族基也可以具有取代基，作為這樣的取代基，可以舉出由除了氫原子以外的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基。例如可以舉出后述的烷基、取代垸基、或作為取代烷基中的取代基表示的基等。另夕卜，作為所述雜環(huán)(hetero環(huán))基，可以舉出吡咯環(huán)基、呋喃環(huán)基、噻吩環(huán)基、剛哚環(huán)基、苯并呋喃環(huán)基、苯并噻吩環(huán)基、吡唑環(huán)基、異噁唑環(huán)基、異噻唑環(huán)基、吲唑環(huán)基、苯并異噁唑環(huán)基、苯并異噻唑環(huán)基、咪唑環(huán)基、噁唑環(huán)基、噻唑環(huán)基、苯并咪唑環(huán)基、苯并噁唑環(huán)基、苯并噻唑環(huán)基、吡啶環(huán)基、喹啉環(huán)基、異喹啉環(huán)基、噠嗪環(huán)基、嘧啶環(huán)基、吡嗪環(huán)基、酞嗪環(huán)基、喹唑啉環(huán)基、喹喔啉環(huán)基、氮丙啶(7、乂Ii-y)環(huán)基、菲啶環(huán)基、咔唑環(huán)基、嘌呤環(huán)基、吡喃環(huán)基、哌啶環(huán)基、哌嗪環(huán)基、嗎啉環(huán)基、吲哚環(huán)基、吲哚嗪環(huán)基、色烯環(huán)基、肉啉環(huán)基、吖啶環(huán)基、吩噻嗪環(huán)基、四唑環(huán)基、三嗪環(huán)基等，其中，特別優(yōu)選呋喃環(huán)基、噻吩環(huán)基、咪唑環(huán)基、噻唑環(huán)基、苯并噻唑環(huán)基、嘧啶環(huán)基、吲哚環(huán)基、吖啶環(huán)基。另外，這些雜環(huán)基也可以具有取代基，作為這樣的取代基，可以舉出去除氫原子的l價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基。例如可以舉出后述的垸基、作為取代烷基或取代烷基中的取代基顯示的基。作為所述一價(jià)取代基，優(yōu)選鹵素原子、可具有取代基的氨基、烷氧基羰基、羥基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅烷基、硝基、氰基、可分別具有取代基的烷基、鏈烯基、炔基、芳基、雜環(huán)基。另外，作為所述由非金屬原子構(gòu)成的l價(jià)取代基，優(yōu)選可分別具有取代基的垸基、鏈烯基、炔基、芳基、雜環(huán)基。作為所述可具有取代基的垸基，可以舉出碳原子數(shù)為120的直鏈狀、分支狀及環(huán)狀的垸基，作為其具體例，可以舉出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、十三垸基、十六烷基、十八烷基、二十烷基、異丙基、異丁基、仲丁基、叔丁基、異戊基、新戊基、l一甲基丁基、異己基、2—乙基己基、2—甲基己基、環(huán)己基、環(huán)戊基、2—降冰片基。其中，更優(yōu)選碳原子數(shù)為112的直鏈狀、碳原子數(shù)為312的分支狀以及碳原子數(shù)為510的環(huán)狀的垸基。作為所述可具有取代基的烷基的取代基，可以舉出去除氫原子的一價(jià)非金屬原子構(gòu)成的取代基，作為優(yōu)選例，可以舉出鹵素原子(一F、一Br、_C1、一I)、羥基、烷氧基、芳氧基、巰基、烷基硫代基、芳基硫代基、垸基二硫代基、芳基二硫代基、氨基、N—烷基氨基、N,N—二垸基氨基、N—芳基氨基、N，N—二芳基氨基、N—垸基一N—芳基氨基、酰氧基、氨基甲酰氧基、N—烷基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、N，N—二烷基氨基甲酰氧基、N，N—二芳基氨基甲酰氧基、N—烷基一N—芳基氨基甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧(sulfoxy)基、酰基硫代基、酰胺基、N一烷基酰胺基、N—芳基酰胺基、脲基、N'—垸基脲基、N'，N'—二烷基脲基、N，一芳基脲基、N，，N'—二芳基脲基、N，一烷基一N，一芳基脲基、N—烷基脲基、N—芳基脲基、N，一垸基一N—垸基脲基、N，一垸基一N—芳基脲基、N，，N，—二烷基一N—烷基脲基、N，，N'—二烷基—N—芳基脲基、N'—芳基—N—烷基脲基、N'—芳基一N—芳基脲基、N'，N，—二芳基—N—烷基脲基、N，，N'—二芳基一N—芳基脲基、N，一烷基一N'—芳基一N—烷基脲基、N'—垸基一N'—芳基一N—芳基脲基、烷氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、N—烷基一N—烷氧基羰基氨基、N—垸基一N—芳氧基羰基氨基、N—芳基一N—烷氧基羰基氨基、N—芳基一N—芳氧基羰基氨基、甲酸基、?；?、羧基、垸氧羰基、芳氧基羰基、氨基甲?；—烷基氨基甲?；?、N，N—二烷基氨基甲?；—芳基氨基甲?；，N—二芳基氨基甲酰基、N—垸基一N—芳基氨基甲?；③鶃喕酋；⒎蓟鶃喕酋；③酋；?、芳基磺?；⒒腔?—S03H)及其共軛堿(稱為磺酸根(sulfonato)基)基、垸氧基磺?；?、芳氧基磺?；?、氨亞磺酰(sulfinamoyl，7少7^于乇,/10基、N—垸基氨亞磺酰基、N，N—二烷基氨亞磺?；—芳基氨亞磺?；?、N，N—二芳基氨亞磺?；—烷基一N—芳基氨亞磺?；被酋；?、N—烷基氨磺?；?、N，N—二烷基氨磺?；?、N—芳基氨磺酰基、N，N—二芳基氨磺?；?、N—烷基一N—芳基氨磺?；?、膦?；?一P0晶)及其共軛堿基(稱為膦酸根(phosphonato，'于、^'于、于卜)基)、二烷基膦酰基(一P03(alkyl)2)"alkyl二烷基，以下同"、二芳基膦?；?—P03(aryl)2)"aryl二芳基，以下同"、垸基芳基膦?；?一P03(alkyl)(aryl))、一烷基膦酰基(一P03(alkyl))及其共軛堿基(稱為垸基膦酸根基)、一芳基膦酰基(—P03H(aryl))及其共軛堿基(稱為芳基膦酸根基)、膦酰氧基(—0P03H2)及其共軛堿基(稱為膦酸根氧基)、二垸基膦酰氧基(—0P03H(alkyl)2)、二芳基膦酰氧基(一0P03(aryl)2)、烷基芳基膦酰氧基(—0P03(alkyl)(aryl))、，一烷基膦酰氧基(—OP03H(alkyl))及其共軛堿基(稱為烷基膦酸根氧基)、一芳基膦酰氧基(—OP03H(aryl))及其共軛堿基(稱為芳基膦酸根氧基)、氰基、硝基、芳基、鏈烯基、炔基、雜環(huán)基、甲硅烷基等。作為這些取代基中的垸基的具體例，可以舉出上述的垸基，作為所述取代基中的芳基的具體例，可以舉出苯基、聯(lián)苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基、米(mesityl)基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氯甲基苯基、羥基苯基、甲氧苯基、乙氧苯基、苯氧苯基、乙酸基苯基、苯甲酸基苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、甲胺基苯基、二甲胺基苯基、乙酰胺基苯基、羧苯基、甲氧羰基苯基、乙氧苯基羰基、苯氧羰基苯基、N—苯羰基苯基、氰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基等。另外，作為所述取代基中的鏈烯基的例子，可以舉出乙烯基、l一丙烯基、l一丁烯基、肉桂基、2—氯一1一乙烯基等，作為所述取代基中的炔基的例子，可以舉出乙炔基、l一丙炔基、l一丁炔基、三甲基甲硅烷基乙炔基等。作為所述取代基中的雜環(huán)基，例如可以舉出吡啶基、哌啶基等。作為所述取代基中的甲硅垸基，可以舉出三甲基甲硅垸基等。在所述取代基中也可以含有?；?R，0—)，作為該?；缈梢耘e出該R。'為氫原子、上述烷基、芳基等的?；?。作為?；?R，0—)的RC'，可以舉出氫原子以及所述垸基、芳基。在這些取代基中，進(jìn)而優(yōu)選鹵素原子(一F、一Br、一C1、一I)、垸氧基、芳氧基、烷基硫代基、芳基硫代基、N—烷基氨基、N，N—二烷基氨基、酰氧基、N—烷基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、酰胺基、甲酸基、?；?、羧基、垸氧基羰基、芳氧基羰基、氨基甲?；—垸基氨基甲?；?、N，N—二垸基氨基甲?；—芳基氨基甲?；?、N—烷基一N—芳基氨基甲酰基、磺基、磺酸根基、氨磺?；—垸基氨磺?；?、N，N—二烷基氨磺?；—芳基氨磺?；—垸基一N—芳基氨磺?；?、膦?；㈧⑺岣?、二烷基膦?；?、二芳基膦?；?、一垸基膦?；?、烷基膦酸根基、一芳基膦?；?、芳基膦酸根基、膦酰氧基、膦酸根氧基、芳基、鏈烯基。另一方面，作為取代垸基中的亞垸基，可以舉出除去所述碳原子數(shù)為120的烷基上的氫原子的任意一個(gè)而成為2價(jià)的有機(jī)殘基的亞烷基，可以優(yōu)選舉出碳原子數(shù)為112的直鏈狀、碳原子數(shù)為312的分支狀以及碳原子數(shù)為510的環(huán)狀的亞垸基。作為這樣通過組合取代基和亞垸基得到的取代烷基的優(yōu)選具體例，可以舉出氯甲基、溴甲基、2—氯乙基、三氟甲基、甲氧基甲基、異丙氧基甲基、丁氧基甲基、叔丁氧基丁基、甲氧基乙氧基乙基、烯丙氧基甲基、苯氧基甲基、苯氧甲基、甲硫基甲基、甲苯基硫代甲基、吡啶基甲基、四甲基哌啶基甲基、N—乙?；募谆哙せ谆⑷谆坠枸谆?、甲氧基乙基、乙胺基乙基、二乙胺基丙基、嗎啉代丙基、乙酰氧基甲基、苯甲酸基甲基、N—環(huán)己基氨基甲酰氧基乙基、N—苯基氨基甲酰氧基乙基、乙酰胺基乙基、N—甲基苯甲?；被?、2—氧基乙基、2—氧基丙基、羧基丙基、甲氧羰基乙基、烯丙氧基羰基丁基、氯苯氧羰基甲基、氨基甲?；谆?、N—甲基氨基甲酰基乙基、N，N—二丙基氨基甲?；谆?、N—(甲氧苯基)氨基甲?；一?、N—甲基一N—(磺基苯基)氨基甲?；谆?、磺基丁基、膦磺酸根丁基、氨磺酰丁基、N—乙基氨磺酰甲基、N，N—二丙基氨磺酰丙基、N—甲苯基氨磺酰丙基、N，N—二丙基氨磺酰丙基、N—甲苯基氨磺酰丙基、N—甲基一N—(膦酰苯基)氨磺酰辛基、膦酰丁基、膦酸根已基、二乙基膦酰丁基、二苯基膦酰丙基、甲基膦酰丁基、甲基膦酸根丁基、甲苯基膦酰己基、甲苯基膦酸根己基、膦酰氧基丙基、膦酸根氧基丁基、芐基、苯乙基、a—甲基節(jié)基、1—甲基一l一苯乙基、對(duì)甲節(jié)基、肉桂基、烯丙基、l一丙烯基甲基、2—丁烯基、2—甲代烯丙基、2—甲基丙烯基甲基、2—丙炔基、2一丁炔基、3—丁炔基等。作為所述芳基，可以舉出13個(gè)苯環(huán)形成稠環(huán)而成的基、苯環(huán)與5員不飽和環(huán)形成稠環(huán)而成的基，作為具體例，可以舉出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基，其中，更優(yōu)選苯基、萘基。作為所述取代芳基，作為在所述芳基的環(huán)形成碳原子上的取代基，可以使用具有去掉氫原子的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。作為優(yōu)選取代基的例子，可以舉出所述的垸基、取代垸基以及在前面作為取代垸基中的取代基顯示的基。作為所述取代芳基的優(yōu)選具體例，可以舉出聯(lián)苯基、甲苯基、二甲苯基、米基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氟苯基、氯甲基苯基、三氟甲基苯基、羥苯基、甲氧苯基、甲氧基乙氧基苯基、烯丙氧基苯基、苯氧苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、乙胺基苯基、二乙胺基苯基、嗎啉代苯基、乙酰氧基苯基、苯甲酸基苯基、N—環(huán)己基氨基甲酰氧基苯基、N—苯基氨基甲酰氧基苯基、乙酰胺基苯基、N—甲基苯甲?；被交?、羧苯基、甲氧羰基苯基、烯丙氧基羰基苯基、氯苯氧羰基苯基、氨基甲?；交一甲基氨基甲?；交?、N，N—二丙基氨基甲?；交?、N—(甲氧苯基)氨基甲酰基苯基、N—甲基一N—(磺基苯基)氨基甲酰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、氨磺酰苯基、N—乙基氨磺酰苯基、N，N—二丙基氨磺酰苯基、N—甲苯基氨磺酰苯基、N—甲基一N—(膦酰苯基)氨磺酰苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基、二乙基膦酰苯基、二苯基膦酰苯基、甲基膦酰苯基、甲基膦酸根苯基、甲苯基膦酰苯基、甲苯基膦酸根苯基、烯丙基苯基、1一丙烯基甲基苯基、2—丁烯基苯基、2—甲基烯丙基苯基、2—甲基丙烯基苯基、2—丙炔基苯基、2—丁炔基苯基、3—丁炔基苯基等。作為所述鏈烯基、所述取代鏈烯基、所述炔基及所述取代炔基(一C(R02)=C(R03)(R。4)及一C三C(R°5))，可以使用R。2、R。3、R。4、R仍為由一價(jià)的非金屬原子構(gòu)成的基的基。作為R°2、R°3、R°4、R°5，優(yōu)選氫原子、鹵素原子、垸基、取代烷基、芳基及取代芳基，作為它們的具體例，可以舉出作為上述例子顯示的基。其中，更優(yōu)選為氫原子、鹵素原子、碳原子數(shù)為110的直鏈狀、分支狀、環(huán)狀的烷基。具體而言，可以舉出乙烯基、l一丙烯基、l一丁烯基、l一戊烯基、1一己烯基、1—辛烯基、1—甲基一l一丙烯基、2—甲基一1一丙烯基、2—甲基—l一丁烯基、2—苯基一1一乙烯基、2—氯一1—乙烯基、乙炔基、1一丙炔基、l一丁炔基、苯基乙炔基等。作為雜環(huán)基，可以舉出作為取代垸基的取代基例示的吡啶基等。作為所述取代氧基(IT0—)，可以使用Re6為去除氫原子的一價(jià)的非金屬原子構(gòu)成的基的取代基。作為優(yōu)選的取代氧基，可以舉出垸氧基、芳氧基、酰氧基、氨基甲酰氧基、N—烷基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、N，N—二烷基氨基甲酰氧基、N，N—二芳基氨基甲酰氧基、N—垸基一N—芳基氨基甲酰氧基、烷基硫氧基、芳基硫氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基。作為它們中的烷基以及芳基，可以舉出所述作為烷基、取代烷基以及芳基、取代芳基顯示的基。另外，作為酰氧基中的?；?R"C0—)，可以舉出R"為作為前面的例子舉出的烷基、取代垸基、芳基以及取代芳基的酰基。在這些取代基中，更優(yōu)選垸氧基、芳氧基、酰氧基、芳基硫氧基。作為優(yōu)選的取代氧基的具體例，可以舉出甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、十二烷氧基、芐氧基、烯丙氧基、苯乙氧基、羧基乙氧基、甲氧羰基乙氧基、乙氧羰基乙氧基、甲氧基乙氧基、苯氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、嗎啉代乙氧基、嗎啉代丙氧基、烯丙氧基乙氧基乙氧基、苯氧基、甲苯氧基、二甲苯氧基、菜氧基、米氧基、異丙苯氧基、甲氧基苯氧基、乙氧基苯氧基、氯苯氧基、溴苯氧基、乙酰氧基、苯甲酸基、萘氧基、苯磺酰氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。作為也含有酰胺基的取代氨基(RQ8NH—、(R°9)(R,)N—)，可以使用Rfl8、R°9、R,為去除氫原子的一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。其中，R°9、R,也可以結(jié)合形成環(huán)。作為取代氨基的優(yōu)選例，可以舉出N—垸基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、N，N—二芳基氨基、N—烷基一N一芳基氨基、酰胺(7〉；"7S/)基、N—烷基酰胺基、N—芳基酰胺基、脲基、N'—烷基脲基、N'，N'—二垸基脲基、N'—芳基脲基、N'，N'一二芳基脲基、N'—烷基一N'—芳基脲基、N—烷基脲基、N—芳基脲基、N，一烷基一N—烷基脲基、N，一垸基一N—芳基脲基、N，，N，_二垸基一N—烷基脲基、N，一烷基一N'—芳基脲基、N，，N，一二烷基一N—烷基脲基、N'，N'—二烷基一N'—芳基脲基、N'—芳基一N—垸基脲基、N'—芳基—N—芳基脲基、N，，N，—二芳基一N—垸基脲基、N，，N，一二芳基一N—芳基脲基、N'—烷基一N'—芳基一N—烷基脲基、N'—垸基一N'—芳基一N—芳基脲基、垸氧羰基氨基、芳氧羰基氨基、N—浣基一N—烷氧羰基氨基、N—烷基一N—烷氧羰基氨基、N—芳基一N—垸氧羰基氨基、N—芳基一N—芳氧羰基氨基。作為它們中的垸基、芳基，可以舉出上述的作為烷基、取代垸基以及芳基、取代芳基顯示的基，酰胺基、N—垸基酰胺基、N—芳基酰胺基中的?；?R°7C0—)的R"如上所述。其中，更優(yōu)選N—烷基氨基、N，N—二烷基氨基、N—芳基氨基、酰胺基。作為取代氨基的優(yōu)選具體例，可以舉出甲胺基、乙胺基、二乙胺基、嗎啉代基、哌啶基、吡咯代基、苯胺基、苯甲酰胺基、乙酰胺基等。作為取代磺?；?IT一S02—)，可以使用R。"為由一價(jià)非金屬原子團(tuán)構(gòu)成的基的取代基。作為更優(yōu)選的例子，可以舉出烷基磺酰基、芳基磺酰基。作為它們中的垸基、芳基，可以舉出上述的作為烷基、取代烷基以及芳基、取代芳基顯示的基。作為這樣的取代磺?；木唧w例，可以舉出丁基磺?；⒈交酋；?、氯苯基磺?；取Ｈ缟纤?，磺酸根(sulfonato，7少本于卜)基(一S0D是指磺基(sulpho)基(一SOJO的共軛堿陰離子基，通常優(yōu)選與對(duì)陽離子(対陽<才^)一起使用。作為這樣的對(duì)陽離子，可以舉出通常已知的對(duì)陽離子，即各種鑰類(銨類、锍類、鱗類、碘鎗類、疊氮鎗""二々類等)以及金屬離子類(Na+、K+、Ca2+、Zr^等)。作為取代羰基(RW3—C0—)，可以使用R"3為由一價(jià)非金屬原子構(gòu)成的基的取代基。作為取代羰基的優(yōu)選例，可以舉出甲?；?、?；?、羧基、烷氧羰基、芳氧羰基、氨基甲?；—垸基氨基甲?；?、N，N—二垸基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲?；?、N，N—二芳基氨基甲?；—垸基一N'—芳基氨基甲?；Ｗ鳛樗鼈冎械嫩?、芳基，可以舉出上述作為烷基、取代烷基以及芳基、取代芳基顯示的基。其中，作為更優(yōu)選的取代羰基，可以舉出甲酰基、酰基、羧基、烷氧羰基、芳氧羰基、氨基甲?；?、N—垸基氨基甲酰基、N，N—二垸基氨基甲?；—芳基氨基甲?；鳛檫M(jìn)而更優(yōu)選的取代羰基，可以舉出甲酰基、酰基、垸氧羰基以及芳氧羰基。作為優(yōu)選的取代羰基的具體例，可以舉出甲?；⒁阴；?、苯甲酰基、羧基、甲氧羰基、乙氧羰基、烯丙氧基羰基、二甲胺基苯基乙烯基羰基、甲氧羰基甲氧羰基、N—甲基氨基甲?；?、N—苯基氨基甲?；?、N，N—二乙基氨基甲?；?、嗎啉代羰基等。作為取代亞磺?；?RW4—S0—)，可以使用R。"為由一價(jià)非金屬原子構(gòu)成的基的取代基。作為優(yōu)選例，可以舉出烷基亞磺?；?、芳基亞磺酰基、亞磺?；?、N—垸基亞磺酰基、N，N—二垸基亞磺?；—芳基亞磺?；?、N，N—二芳基亞磺?；?、N—垸基一N—芳基亞磺酰基。作為它們中的烷基、芳基，可以舉出所述作為烷基、取代烷基以及芳基、取代芳基顯示的基。其中，更優(yōu)選垸基亞磺?；?、芳基亞磺酰基。作為這樣的取代亞磺?；木唧w例，可以舉出己基亞磺?；?、芐基亞磺酰基、甲苯基亞磺酰基等。取代膦?；侵胳Ⅴ；系囊粋€(gè)或兩個(gè)羥基被其他有機(jī)氧基取代的基，作為優(yōu)選例，可以舉出上述的二垸基膦?；?、二芳基膦酰基、垸基芳基膦?；?、一垸基膦?；?、一芳基膦?；?。其中，更優(yōu)選二烷基膦?；约岸蓟Ⅴ；?。作為這樣的具體例，可以舉出二乙基膦酰基、二丁基膦?；⒍交Ⅴ；?。如上所述，膦酸根基(一P03H2_、—P03『)是指膦?；?—P03H2)的來源于酸第一離解或酸第二離解的共軛堿陰離子基。通常優(yōu)選與對(duì)陽離子一起使用。作為這樣的對(duì)陽離子，可以舉出通常已知的對(duì)陽離子，即各種鎗類(銨類、锍類、鱗類、碘鐵類、疊氮鎗"、y'二々A)類等)以及金屬離子類(Na+、k+、Ca2+、Zn2+等)。取代膦酸根基是指上述的取代膦?；袑⒁粋€(gè)羥基取代成有機(jī)氧基的基的共軛堿陰離子基，作為具體例，可以舉出上述的一烷基膦?；?一P03H(alkyl))、一芳基膦酰基(一P0sH(aryl))的共軛堿基。作為所述肟衍生物，更優(yōu)選用下述通式(III)及通式(IV)的任意一個(gè)表示的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage40</formula>通式(III)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage40</formula>通式(泣)其中，所述通式(ni)及通式(iv)中，r,。,表示與通式(i)及通式(ii)中的Y'相同的意義，f表示與通式(i)及通式(n)中的y2相同的意義。作為所述RUH，更優(yōu)選為氫原子及脂肪族基中的任意一個(gè)，特別優(yōu)選為碳原子數(shù)為iio的脂肪族基。作為所述脂肪族基，例如可以舉出甲基、乙基、丙基、辛基、烯丙基等。作為所述Y12，特別優(yōu)選為一CO—(脂肪族基)。作為所述Y"中的脂肪族基，優(yōu)選碳原子數(shù)為110的脂肪族基。具體而言，例如優(yōu)選甲基、乙基、丙基、丁基、辛基、環(huán)己基、芐基等。作為所述肟衍生物的其他具體例，例如可以舉出在特開2001—233842號(hào)公報(bào)、特表2004—534797號(hào)公報(bào)以及特表2002—519732號(hào)公報(bào)等中公開的化合物以及下述結(jié)構(gòu)式表示的化合物等。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage42</formula>上述結(jié)構(gòu)式中，R表示n—C3H7、以及p—CH3C孔中的任意一種。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage43</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage45</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage45</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage45</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage45</formula>作為所述肟化合物，也可以優(yōu)選使用下述通式(v)表示的肟化合物(N51)m—ArA」通式(V)其中，所述通式(V)中，Y2、Ar表示與通式(I)禾卩(II)中的相同的意思。m表示0以上的整數(shù)。y5表示取代基，m為2以上的情況下，該Y5可以相同或不同。A表示4、5、6及7員環(huán)的任意一種，這些環(huán)也可以分別含有雜原子。在所述通式(V)表示的肟化合物中，更優(yōu)選為下述通式(VI)表示的化合物，特別優(yōu)選為下述通式(VII)及(VIII)的任意一種表示的化合物。^、通式(VI)X一其中，所述通式(VI)中，Y2、Y5、m及Ar表示與通式(V)中的相同的意義。X表示O及S的任意一種。A表示5及6員環(huán)的任意一種。通式(孤)其中，所述通式(vn)及通式(vni)中，y6也可以具有取代基，表示烷基。i表示o6的任意一個(gè)整數(shù)。y7表示垸基、烷氧基、芳氧基、鹵素原子、磺?；约磅Ｑ趸娜我庖环N，l為2以上的情況下，該f可以相同或不同。x及a表示與通式(vi)相同的意義。所述通式(v)及(vi)中，作為用y5表示的取代基，沒有特別限制，例如可以舉出烷基、烷氧基、芳氧基、鹵素原子、磺?；ⅤＱ趸?、硝基、通式(觀)酰胺基等。其中，優(yōu)選為烷基、垸氧基、芳氧基、鹵素原子、磺?；磅Ｑ趸娜我庖环N。在此，作為所述用通式(V)表示的肟化合物的具體例，可以舉出下述結(jié)構(gòu)式(1)(54)表示的化合物，在本發(fā)明中，不被這些所限定。結(jié)構(gòu)式(1)結(jié)構(gòu)式(2)結(jié)構(gòu)式(3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage47</formula>結(jié)構(gòu)式(4)結(jié)構(gòu)式(5)結(jié)構(gòu)式(6)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage47</formula>結(jié)構(gòu)式(7〉結(jié)構(gòu)式(s)結(jié)構(gòu)式(9〉結(jié)構(gòu)式(10)結(jié)構(gòu)式(n)結(jié)構(gòu)式(12)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage47</formula>16結(jié)構(gòu)式("〉結(jié)構(gòu)式(14)結(jié)構(gòu)式(15)比OAc結(jié)構(gòu)式(19)結(jié)構(gòu)式(1"結(jié)構(gòu)式(2Q)結(jié)構(gòu)式(21)結(jié)構(gòu)式(22)結(jié)構(gòu)式H7)結(jié)構(gòu)式(18)結(jié)構(gòu)式(23')<formula>formulaseeoriginaldocumentpage47</formula>結(jié)構(gòu)式(24)結(jié)構(gòu)式(25)結(jié)構(gòu)式(26)結(jié)構(gòu)式(27)結(jié)構(gòu)式(28)<table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table>其中，所述結(jié)構(gòu)式(1)(54)中，Me表示甲基。Ph表示苯基。Ac表示乙?；?。所述肟化合物的含量例如以固體成分換算優(yōu)選為O.115質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.510質(zhì)量％，特別優(yōu)選為1.0—8.0質(zhì)量％。小于O.1質(zhì)量％時(shí)靈敏度下降，有時(shí)難以獲得足夠硬度的固化膜，大于15質(zhì)量％時(shí)不僅薄膜化時(shí)的粘性惡化，有時(shí)由于Tg降低，固化膜薄脆。一其他光聚合引發(fā)劑—作為所述其他光聚合引發(fā)劑，只要具有引發(fā)所述聚合性化合物的聚合的能力，則沒有特別限制，可以從公知的光聚合引發(fā)劑中適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選對(duì)紫外線區(qū)域到可見的光線具有感光性的光聚合引發(fā)劑，可以為與被光激發(fā)的增感劑發(fā)生某種作用、產(chǎn)生活性自由基的活化劑，也可以為對(duì)應(yīng)單體的種類而引發(fā)陽離子聚合的引發(fā)劑。另外，所述光聚合引發(fā)劑優(yōu)選至少含有一種在約300800nm的范圍內(nèi)至少具有約50的摩爾消光系數(shù)的成分。所述波長(zhǎng)更優(yōu)選330500nm。作為所述其他光聚合引發(fā)劑，例如可以舉出鹵代烴衍生物(例如具有三嗪骨架的鹵化烴衍生物、具有噁二唑骨架的鹵化烴衍生物等)、六芳基聯(lián)咪唑、有機(jī)過氧化物、硫代化合物、酮化合物、吖啶化合物、茂金屬類等。具體而言，可以舉出在特開2005—258431號(hào)公報(bào)中記載的化合物等。其中，從感光層的靈敏度、保存性及感光層與基板的粘附性等觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選酮化合物及吖啶化合物。所述其他光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。所述光聚合引發(fā)劑在所述感光性組合物中的固體成分含量?jī)?yōu)選為0.130質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.520質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.515質(zhì)量％。<其它成分>作為所述其他成分，例如可以舉出熱交聯(lián)劑、粘附促進(jìn)劑、增感劑、熱聚合抑制劑、增塑劑、著色劑(著色顏料或染料)等，進(jìn)而也可以并用其他輔助劑類(例如導(dǎo)電性顆粒、填充劑、消泡劑、阻燃劑、流平劑、剝離促進(jìn)劑、抗氧化劑、香料、表面張力調(diào)節(jié)劑、鏈移動(dòng)劑等)。通過適當(dāng)含有這些成分，可以調(diào)節(jié)需要的感光性薄膜的穩(wěn)定性、照相性、膜物理性能等性質(zhì)。一熱交聯(lián)劑一作為所述熱交聯(lián)劑，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，為了改良用所述感光性薄膜形成的感光層在固化后的膜強(qiáng)度，在不給顯影性等帶來不良影響的范圍內(nèi)，例如可以使用在1分子內(nèi)至少具有2個(gè)環(huán)氧乙垸基的環(huán)氧化合物、在1分子中至少具有2個(gè)氧雜環(huán)丁垸基的氧雜環(huán)丁烷(oxetane)化合物，可列舉如特開2007—47729號(hào)公報(bào)中記載的具有環(huán)氧乙烷基的環(huán)氧化合物、在e位具有垸基的環(huán)氧化合物、具有氧雜環(huán)丁垸基的氧雜環(huán)丁烷化合物、聚異氰酸酯化合物、使聚異氰酸酯和其衍生物的異氰酸酯基與封端劑反應(yīng)獲得的化合物等。另外，作為上述熱交聯(lián)劑，可以使用蜜胺衍生物。作為該蜜胺衍生物，可列舉例如羥甲基蜜胺、烷基化羥甲基蜜胺(用甲基、乙基、丁基等醚化羥甲基得到的化合物)等。它們可以單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。其中，從貯存穩(wěn)定性良好、在感光層的表面硬度或固化膜的膜強(qiáng)度本身的提高上是有效的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選烷基化羥甲基蜜胺，特別優(yōu)選六甲基化羥甲基蜜胺。所述熱交聯(lián)劑在所述感光性組合物固體成分中的固體成分含量?jī)?yōu)選為150質(zhì)量％，更優(yōu)選為330質(zhì)量％。如果該固體成分含量不到1質(zhì)量％，則沒有固化膜的膜強(qiáng)度的提高，如果超過50質(zhì)量％，則有時(shí)發(fā)生顯影性的受損或曝光靈敏度的降低。一粘附促進(jìn)劑一為了提高各層間的粘附性或感光層與基材之間的粘附性，可以在各層中使用公知的所謂粘附促進(jìn)劑。作為所述粘附促進(jìn)劑，例如可以優(yōu)選舉出特開平5—11439號(hào)公報(bào)、特開平5—341532號(hào)公報(bào)及特開平6—43638號(hào)公報(bào)等中記載的粘附促進(jìn)劑。具體而言，可以舉出苯并咪唑、苯并噁唑、苯并噻唑、2—巰基苯并咪唑、2—巰基苯并噁唑、2—巰基苯并噻唑、3—嗎啉代甲基一1一苯基—三唑一2—硫酮、3—嗎啉代甲基一5—苯基一噁二唑一2—硫酮、5—氨基一3—嗎啉代甲基一噻二唑一2—硫酮、及2—巰基一5—甲基硫代一噻二唑、三唑、四唑、苯并三唑、羧基苯并三唑、含氨基苯并三唑、硅烷偶合劑等。作為所述粘附促進(jìn)劑的含量，相對(duì)所述感光層的全部成分，優(yōu)選為0.001質(zhì)量％20質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.1質(zhì)量％5質(zhì)量％。一增感劑一作為所述感光性組合物，也可以含有增感劑。在對(duì)所述感光層進(jìn)行曝光、顯影的情況下，從提高在該曝光及顯影后不使該感光層需要曝光的部分的厚度發(fā)生變化的所述光的最小能量(靈敏度)的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選并用所述增感劑。作為所述增感劑，可以根據(jù)所述光照射機(jī)構(gòu)(例如可見光線或紫外光及可見光激光)來適當(dāng)選擇。所述增感劑在活性能量線的作用下成為激發(fā)狀態(tài)，可以通過與其他物質(zhì)(例如自由基產(chǎn)生劑、酸產(chǎn)生劑等)相互作用(例如能量移動(dòng)、電子移動(dòng)等)，產(chǎn)生自由基或酸等有用基。作為所述增感劑，至少含有一種從縮環(huán)系化合物、氨基苯基甲酮系化合物、多環(huán)芳香族類、具有酸性環(huán)的化合物、具有堿性環(huán)的化合物、具有熒光增白劑環(huán)的化合物中選擇的至少一種，根據(jù)需要也可以含有其他增感劑。作為增感劑，從提高靈敏度的點(diǎn)出發(fā)，進(jìn)而優(yōu)選為雜縮環(huán)系化合物、氨基二苯甲酮系化合物，特別優(yōu)選為雜縮環(huán)系化合物。一一縮環(huán)系化合物一一在所述例示化合物中，作為芳香族環(huán)或雜環(huán)發(fā)生縮環(huán)的化合物(縮環(huán)系化合物)，優(yōu)選為雜縮環(huán)系化合物。所述雜縮環(huán)系化合物是指在環(huán)中具有雜元素的多環(huán)式化合物，在所述環(huán)中，優(yōu)選含有氮原子。作為所述雜縮環(huán)系化合物，例如可以舉出雜縮環(huán)系酮化合物。在所述雜縮環(huán)系化合物中，更優(yōu)選吖啶酮化合物及噻噸酮化合物，其中特別優(yōu)選噻噸酮化合物。作為所述雜縮環(huán)系酮化合物，具體而言，例如可以舉出吖啶酮、氯吖啶酮、N—甲基吖啶酮、N—丁基吖啶酮、N—丁基一氯吖啶酮等吖啶酮化合物；噻噸酮、異丙基噻噸酮、2，4一二乙基噻噸酮、l一氯一4—丙氧基噻噸酮、全塔庫耳(Quantacure)QTX(商品名)等噻噸酮化合物；3—(2一苯并呋喃甲?；?一7—二乙基氨基香豆素、3_(2—苯并呋喃甲酰基)一7_(l—吡咯烷基)香豆素、3—苯甲酰一7—二乙基氨基香豆素、3—(2—甲氧基苯甲酰)一7—二乙基氨基香豆素、3—(4—二甲基氨基苯甲酰)一7—二乙基氨基香豆素、3，3'—羰基雙(5，7—二一正丙氧基香豆素)、3，3，一羰基雙(7—二乙基氨基香豆素)、3—苯甲?！?—甲氧基香豆素、3—(2—呋喃甲酰)一7—二乙基氨基香豆素、3—(4—二乙基氨基肉桂酰基)一7—二乙基氨基香豆素、7—甲氧基一3—(3—吡啶基羰基)香豆素、3—苯甲酰一5，7—二丙氧基香豆素、7—苯并三唑一2—?；愣顾?、7—二乙基氨基—4一甲基香豆素、此外還有特開平5—19475號(hào)、特開平7—271028號(hào)、特開2002—363206號(hào)、特開2002—363207號(hào)、特開2002—363208號(hào)、特開2002—363209號(hào)公報(bào)等中記載的香豆素化合物等香豆素類等。另外，還可以舉出公知的多環(huán)芳香族類(例如芘、茈、9，IO—苯并菲)、氧雜蒽類(例如熒光素、四溴螢光素、四碘熒光素、若丹明B、孟加拉玫瑰紅)、花青苷類(例如吲哚羰花青、硫代羰花青、氧雜羰花青)、部花青類(例如部花青、羰部花青)、噻嗪類(例如硫堇、亞甲藍(lán)、甲苯胺藍(lán))、蒽醌類(例如蒽醌)、斯夸琳(^夕7y々A)類(例如斯夸琳)等。上述增感劑的含量，相對(duì)所述感光性組合物的全部固體成分，優(yōu)選為0.014質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.022質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.051質(zhì)量％。該含量如果不到0.01質(zhì)量％，那么有時(shí)靈敏度降低，如果超過4質(zhì)量％，那么圖案的形狀有時(shí)會(huì)惡化。所述感光性組合物中的所述增感劑與光聚合引發(fā)劑的含量的質(zhì)量比優(yōu)選為[(增感劑)/(肟衍生物)]=1/0.11/100，更優(yōu)選為1/11/50。所述增感劑的含量與所述光聚合引發(fā)劑的含量的質(zhì)量比如果在上述范圍外，則靈敏度可能會(huì)降低，而且靈敏度的經(jīng)時(shí)變化可能會(huì)惡化。一熱聚合抑制劑一所述熱聚合抑制劑可以防止發(fā)生所述感光層中的所述聚合性化合物的熱聚合或經(jīng)時(shí)地聚合，所以也可以添加。作為所述熱聚合抑制劑，例如可以舉出4一甲氧基苯酚、氫醌、烷基或芳基取代氫醌、叔丁基兒茶酚、焦酚、2—羥基苯甲酮、4一甲氧基一2一羥基苯甲酮、氯化亞銅、吩噻嗪、四氫醌、萘胺、P—萘酚、2，6—二叔丁基一4—甲酚、2，2，一亞甲基雙(4一甲基一6—叔丁基苯酚)、吡啶、硝基苯、二硝基苯、苦味酸、4—甲苯胺、亞甲藍(lán)、銅與有機(jī)螯合劑反應(yīng)物、水楊酸甲酯及吩噻嗪、亞硝基化合物、亞硝基化合物與Al的螯合物等。作為所述熱聚合抑制劑的含量，相對(duì)所述聚合性化合物，優(yōu)選0.0015質(zhì)量％，更優(yōu)選0.0052質(zhì)量％，特別優(yōu)選0.011質(zhì)量％。該含量如果不到0.001質(zhì)量％,則有時(shí)保存時(shí)的穩(wěn)定性會(huì)降低，如果超過5質(zhì)量％，則相對(duì)活性能量線的靈敏度會(huì)降低。一增塑劑一為了控制所述感光層的膜物理性能(撓性)，也可以添加所述增塑劑。作為所述增塑劑，例如可以舉出鄰苯二酸二甲酯、鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯二甲酸二異丁酯、鄰苯二甲酸二庚酯、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二環(huán)己酯、鄰苯二甲酸二十三烷基酯、鄰苯二甲酸丁基芐基酯、鄰苯二甲酸二異癸酯、鄰苯二甲酸二苯基酯、鄰苯二甲酸二烯丙基酯、鄰苯二甲酸辛基癸酰基酯等鄰苯二甲酸酯類；三甘醇二乙酸酯、四甘醇二乙酸酯、鄰苯二甲酸二甲基葡萄糖酯、乙基鄰苯二甲酰基乙基乙醇酸酯、甲基鄰苯二甲?；一掖妓狨?、丁基鄰苯二甲?；』掖妓狨ァ⑷蚀级了狨サ榷减ヮ?；磷酸三甲苯酚酯、磷酸三苯酯等磷酸酯類；4一甲苯磺酰胺、苯磺酰胺、N—正丁基苯磺酰胺、N—正丁基乙酰胺等酰胺類；己二酸二異丁酯、己二酸二辛酯、癸二酸二甲酯、癸二酸二丁酯、癸二酸二辛酯、壬二酸二辛酯、順丁烯二酸二丁酯等脂肪酸二元酸酯類；檸檬酸三乙酯、檸檬酸三丁酯、甘油三乙酸酯、月桂酸丁酯、4，5—二乙氧基環(huán)己烷一1，2—二羧酸二辛酯等聚乙二醇、聚丙二醇等乙二醇類。所述增塑劑的含量，相對(duì)所述感光性組合物的全部成分，優(yōu)選0.150質(zhì)量％，更優(yōu)選O.540質(zhì)量％，特別優(yōu)選130質(zhì)量％。一著色顏料一作為所述著色顏料，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出維多利亞純藍(lán)BO(C.I.42595)、(堿性)槐黃(C.I.41000)、脂溶(fat)黒HB(C.I.26150)、莫諾賴特黃GT(C.I.顏料黃12)、永久黃GR(C.L顏料黃17)、永久黃HR(C.I.顏料黃83)、永久胭脂紅FBB(C，I.顏料紅146)、廣告畫顏料紅ESB(C.I.顏料紫19)、永久紅寶石FBH(C.I.顏料紅11)、法斯特爾粉紅B蘇普拉(C.I.顏料紅81)、莫鈉斯特拉爾堅(jiān)牢藍(lán)(C.I.顏料藍(lán)15)、莫諾賴特堅(jiān)牢黒B(C.I.顏料黒1)、碳、C.I.顏料紅97、C.I.顏料紅122、C.I.顏料紅149、C.I.顏料紅168、C.I.顏料紅177、C.I.顏料紅180、C.L顏料紅192、C.L顏料紅215、C.1.顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.L顏料藍(lán)15:1、C.1.顏料藍(lán)15:4、C.1.顏料藍(lán)15:6、C.I.顏料藍(lán)22、C.I.顏料藍(lán)60、C.I.顏料藍(lán)64等。它們可以單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。另外，根據(jù)需要，也可以使用從公知的染料中適當(dāng)選擇的染料。所述著色顏料在所述感光性組合物中的固體成分含量，可以考慮永久圖案形成時(shí)的感光層的曝光靈敏度、析像度等決定，根據(jù)所述著色顏料的種類不同而不同，通常優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.055質(zhì)量%。(感光性薄膜)本發(fā)明的感光性薄膜通過在支撐體上層疊由感光性組合物組成的感光層形成。優(yōu)選的是在上述感光層上層疊保護(hù)層，根據(jù)需要，可通過層疊緩沖層、阻氧層(PC層)等其它層形成。作為上述感光性薄膜的形式，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可列舉例如在上述支撐體上按順序具有上述感光層、上述保護(hù)層的形式、在上述支撐體上按順序具有上述PC層、上述感光層、上述保護(hù)層的形式、在上述支撐體上按順序具有上述緩沖層、上述PC層、上述感光層、上述保護(hù)層的形式等。另外，上述感光層可以是單層，也可以是多層。<感光層>作為在上述感光層的上述感光性薄膜中設(shè)置的場(chǎng)所，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但是，通常層疊在上述支撐體上。前述感光層優(yōu)選在后述的曝光工序中，通過具有n個(gè)接受來自光照射裝置的光并射出的描繪部的光調(diào)制裝置，使來自前述光照射裝置的光調(diào)制后，用通過了排列有具有可以矯正由前述描繪部中的射出面的變形引起的像差的非球面的微透鏡的微透鏡陣列的光進(jìn)行曝光。在對(duì)上述感光層進(jìn)行曝光、顯影的情況下，作為該感光層的曝光部分的厚度在該曝光及顯影后不發(fā)生變化的、在所述曝光中使用的光的最小能量，優(yōu)選為100mJ/cm2以下，更優(yōu)選為70mJ/cm2以下。上述曝光中使用的光的最小能量超過100mJ/cm2時(shí)，由于曝光所需時(shí)間變長(zhǎng)，所以不優(yōu)選。在此，所述"使該感光層的曝光部分的厚度在該曝光及顯影后不發(fā)生變化的、在所述曝光中使用的光的最小能量"是指所謂的顯影靈敏度，例如可以從表示對(duì)所述感光層進(jìn)行曝光時(shí)的所述曝光中使用的光的能量(曝光量)與接著所述曝光而利用所述顯影處理產(chǎn)生的所述固化層的厚度之間的關(guān)系的曲線圖(靈敏度曲線)求得。所述固化層的厚度隨著所述曝光量增加而增加，然后變成與所述曝光前的所述感光層的厚度大致相同而且大致恒定。所述顯影靈敏度是通過讀取所述固化層的厚度成為大致恒定時(shí)的最小曝光量而求得的值。在此，所述固化層的厚度與所述曝光前的所述感光層的厚度之間的差為士lum以內(nèi)時(shí)，認(rèn)為所述固化層的厚度不被曝光及顯影改變。作為所述固化層及所述曝光前的所述感光層的厚度的測(cè)定方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出使用膜厚測(cè)定裝置、表面粗糙度測(cè)定機(jī)(例如寸一7-^1400D(東京精密公司制))等進(jìn)行測(cè)定的方法等。對(duì)所述感光層的厚度沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為3100um，更優(yōu)選為570um。前述感光層的形成方法例如有使本發(fā)明的前述感光性組合物溶解、乳化或分散于水或溶劑中，配制感光性組合物溶液，將該溶液直接涂敷在上述支撐體上，使其干燥，由此進(jìn)行層疊的方法。前述感光性組合物溶液的溶劑沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如有甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、仲丁醇、正己醇等醇類；丙酮、甲基乙基甲酮、甲基異丁基甲酮、環(huán)己酮、二異丁基甲酮等酮類；醋酸乙酯、醋酸丁酯、醋酸正戊酯、硫酸甲酯、丙酸乙酯、酞酸二甲酯、安息香酸乙酯及乙酸甲氧基丙酯等酯類；甲苯、二甲苯、苯、乙基苯等芳香族烴類；四氯化碳、三氯乙烯、氯仿、1,1,1-三氯乙烷、二氯甲烷、一氯苯等鹵代烴類；四氫呋喃、二乙醚、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、1-甲氧基-2-丙醇等醚類；二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二甲基亞砜、環(huán)丁砜等。這些物質(zhì)可以單獨(dú)使用l種，也可以同時(shí)使用2種以上。另外，也可以添加公知的表面活性劑。前述涂敷方法沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如，使用旋壓涂敷機(jī)、狹縫旋壓涂敷機(jī)、軋輥涂敷機(jī)、模涂敷機(jī)、幕式涂敷機(jī)等直接涂敷在前述支持體上的方法。前述干燥條件因各成分、溶劑的種類、使用比例等而異，通常在601KTC的溫度下干燥30秒15分鐘左右。本發(fā)明中，上述感光層通過含有粘合劑、聚合性化合物和填料形成，還可根據(jù)需要，由含有其它成分的感光性組合物形成。<支撐體〉作為所述支撐體，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，優(yōu)選可以剝離所述感光層而且光的透過性良好的支撐體，進(jìn)而更優(yōu)選表面的平滑性良好。所述支撐體優(yōu)選為合成樹脂制而且透明的支撐體，例如可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、三乙酸纖維素、二乙酸纖維素、聚(甲基)丙烯酸烷基酯、聚(甲基)丙烯酸酯共聚物、聚氯乙烯、聚乙烯醇、聚碳酸酯、聚苯乙烯、賽璐玢、聚偏二氯乙烯共聚物、聚酰胺、聚酰亞胺、氯乙烯*醋酸乙烯共聚物、聚四氟乙烯、聚三氯乙烯、纖維素系薄膜、尼龍薄膜等各種塑料薄膜，其中，特別優(yōu)選聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯。它們可以單獨(dú)使用1種或并用2種以上。作為所述支撐體的厚度，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選2150um，更優(yōu)選5100um，特別優(yōu)選850um。所述支撐體可以為單層，也可以具有多層結(jié)構(gòu)。作為所述支撐體的形狀，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但優(yōu)選長(zhǎng)條狀。作為所述長(zhǎng)條狀的支撐體的長(zhǎng)度，沒有特別限制，例如可以舉出1020，OOOm的長(zhǎng)度。<保護(hù)層>所述感光性薄膜也可以在感光層上形成保護(hù)層。作為所述保護(hù)層，例如可以舉出在所述支撐體中使用的保護(hù)層，紙，層疊有聚乙烯、聚丙烯的紙等，其中，優(yōu)選聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜。作為所述保護(hù)層的厚度，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選5100um，更優(yōu)選850um，特別優(yōu)選1030um。作為所述支撐體與保護(hù)層的組合(支撐體/保護(hù)層)，例如可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚乙烯、聚氯乙烯/賽璐玢、聚酰亞胺/聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯等。另外，通過表面處理支撐體及保護(hù)層的至少一個(gè)，能夠調(diào)節(jié)層間粘接力。所述支撐體的表面處理也可以用于提高與所述感光層的粘接力而實(shí)施，例如可以舉出底涂層的涂設(shè)、電暈放電處理、火焰處理、紫外線照射處理、高頻照射處理、輝光放電照射處理、活性等離子照射處理、激光光線照射處理等。另外，作為所述支撐體與所述保護(hù)層之間的靜摩擦系數(shù)，優(yōu)選為0.31.4，更優(yōu)選為0.5L2。如果所述靜摩擦系數(shù)不到0.3，則由于過滑，在成為輥狀的情況下，可能會(huì)發(fā)生巻偏離，如果超過1.4，可能會(huì)難以巻成良好的輥狀。所述感光性薄膜例如優(yōu)選巻繞在圓筒狀的巻芯上，以長(zhǎng)條狀巻成輥狀保管。作為所述長(zhǎng)條狀的感光性薄膜的長(zhǎng)度，沒有特別限制，例如可以從1020，OOOm的范圍適當(dāng)選擇。另外，為了便于用戶使用，也可以進(jìn)行切斷加工，使100l,000m范圍的長(zhǎng)條狀成為輥狀。此外，這種情況下，優(yōu)選所述支撐體被巻繞成為最外側(cè)。另外，也可以將所述輥狀的感光性薄膜切成薄片狀。保管時(shí)，從保護(hù)端面、防止邊緣熔合的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在端面設(shè)置隔離件(s印arator)(特別是防濕性的隔離件、放干燥劑的隔離件)，另外還優(yōu)選包裝也使用透濕性低的材料。所述保護(hù)層也可以為了調(diào)節(jié)所述保護(hù)層與所述感光層之間的粘接性而進(jìn)行表面處理。所述表面處理例如在所述保護(hù)層的表面形成由聚有機(jī)硅氧烷、氟化聚烯烴、聚氟乙烯、聚乙烯醇等聚合物構(gòu)成的底涂層。該底涂層的形成可以通過在所述保護(hù)層的表面涂敷所述聚合物的涂敷液之后，使其在3015(TC下干燥130分鐘形成。所述使其干燥時(shí)的溫度特別優(yōu)選為50120°C。<其他層>作為所述感光性薄膜中的其他層，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出緩沖層、阻氧層(PC層)、剝離層、粘接層、光吸收層、表面保護(hù)層等層?？梢詥为?dú)具有這些層中的l層，也可以具有2層以上。另外，也可以在所述感光層上具有保護(hù)層。<感光性薄膜的制造方法>所述感光性薄膜例如可以如下所述制造。首先，將所述感光性組合物中含有的材料溶解、乳化或分散于水或溶劑中，配制感光性薄膜用的感光性組合物溶液。作為上述溶劑，可列舉與上述感光性組合物溶液的溶劑相同的溶劑。接著，可以在所述支撐體上涂敷所述感光性組合物溶液，使其干燥，形成感光層，制造感光性薄膜。作為所述感光性組合物溶液的涂敷方法，可列舉上述的方法。所述感光性薄膜由于使用所述感光性組合物，所以耐鍍性、靈敏度、顯影性、及粘附性良好，可以優(yōu)選用于保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等永久圖案等各種圖案的形成、濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造、全息攝影、微型機(jī)械，印樣等圖案形成用等，特別可以優(yōu)選用于印刷電路板等永久圖案形成用。特別是由于上述感光性薄膜的該薄膜的厚度均一，所以在形成永久圖案時(shí)，即使薄層化永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑等)，在高加速度試驗(yàn)(HAST)中也不會(huì)產(chǎn)生樹枝狀晶體，可以得到耐熱性、耐濕性出色的高精細(xì)的永久圖案，所以可以高精細(xì)地進(jìn)行向基材的層疊。(感光性層疊體)所述感光性層疊體是在基體上至少具有所述感光層、層疊根據(jù)目的適當(dāng)選擇的其他層而成的。<基體>所述基體應(yīng)該成為形成有感光層的被處理基體或轉(zhuǎn)印有本發(fā)明的感光性薄膜的至少感光層的被轉(zhuǎn)印體，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以從表面平滑性高的基體到具有有凸凹的表面的基體中任意選擇。優(yōu)選板狀的基體，可以使用所謂的基板。具體而言，可以舉出公知的印刷線路板制造用基板(印刷電路板)、玻璃板(例如鈉鈣玻璃板等)、合成樹脂性薄膜、紙、金屬板等。<感光性層疊體的制造方法>作為所述感光性層疊體的制造方法，作為第一方式，可以舉出在所述基體的表面涂敷并干燥所述感光性組合物的方法，作為第二方式，可以舉出對(duì)上述感光性薄膜中的至少感光層進(jìn)行加熱及加壓的至少一種，并同時(shí)轉(zhuǎn)印進(jìn)而層疊的方法。所述第一方式分感光性層疊體的制造方法是在所述基體上涂敷及干燥所述感光性組合物，從而形成感光層。作為所述涂敷及干燥的方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選在所述基體的表面上，使所述感光性組合物溶解、乳化或分散于水或溶劑，配制感光性組合物溶液，直接涂敷并干燥該溶液從而層疊的方法。作為所述涂敷方法及干燥條件，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，與在所述感光性薄膜中使用的相同的方法及條件下進(jìn)行。所述第二方式的感光性層疊體的制造方法是在所述基體的表面邊進(jìn)行加熱及加壓的至少一方邊層疊本發(fā)明的感光性薄膜。其中，所述感光性薄膜具有所述保護(hù)薄膜的情況下，優(yōu)選剝離該保護(hù)薄膜，并在所述基體上重疊所述感光層從而進(jìn)行層疊。作為所述加熱溫度，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但例如優(yōu)選15180。C，更優(yōu)選60140。C。作為所述加壓的壓力，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但例如優(yōu)選O.11.0MPa，更優(yōu)選0.20.8MPa。作為進(jìn)行所述加熱的至少任意一種的裝置，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出層壓機(jī)(例如大成層壓機(jī)公司制，VP—II,二f-'一乇一卜>(株)帝ijVP130)等。本發(fā)明的所述感光性薄膜及所述感光性層疊體由于使用本發(fā)明的所述感光性組合物，所以可以有效地形成靈敏度、析像度、及粘附性良好且高精細(xì)的永久圖案，所以可以優(yōu)選用于保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等永久圖案等各種圖案的形成、濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造、全息攝影、微型電機(jī)，印樣等圖案形成用等，特別可以優(yōu)選用于印刷電路板等永久圖案形成用。特別是由于上述感光性薄膜的厚度均一，所以在形成永久圖案時(shí)，即使薄層化永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑等)，在高加速度試驗(yàn)(HAST)中也不會(huì)發(fā)生離子遷移樹枝狀晶體，可以得到、耐熱性、耐濕性出色的高精細(xì)的永久圖案，所以可以高精細(xì)地進(jìn)行向基材的層疊。(永久圖案形成方法)上述永久圖案形成方法至少包括曝光工序，還包括適當(dāng)選擇的顯影工序等其他工序。此外，圖案形成裝置與所述永久圖案形成方法的說明相通并加以明確，但是具有上述感光性層疊體，并且至少具有光照射機(jī)構(gòu)和光調(diào)制機(jī)構(gòu)。[曝光工序]所述曝光工序是對(duì)上述感光層進(jìn)行曝光的工序。所述感光層及基體的材料如上所述。作為所述曝光的對(duì)象，只要是所述感光層即可，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如，如上所述，優(yōu)選對(duì)在基體上邊進(jìn)行加熱及加壓的至少一方邊層疊感光性組合物從而形成的感光性層疊體中的感光層進(jìn)行。作為所述曝光，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以舉出數(shù)字曝光、模擬曝光等，其中，優(yōu)選數(shù)字曝光。作為所述模擬曝光，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出借助具有規(guī)定的圖案的光掩模，用(超)高壓汞燈、氙氣燈、鹵素?zé)舻冗M(jìn)行曝光的方法。作為所述數(shù)字曝光，只要是不用所述光掩模進(jìn)行的曝光即可，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選使至少具備光照射機(jī)構(gòu)及光調(diào)制機(jī)構(gòu)的曝光頭和所述感光層的至少任意一個(gè)移動(dòng)，同時(shí)，利用所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)圖案信息調(diào)制從所述光照射機(jī)構(gòu)射出的光并同時(shí)從所述曝光頭對(duì)所述感光層進(jìn)行照射從而進(jìn)行曝光。作為所述數(shù)字曝光中使用的光源，只要是發(fā)出從紫外到近紅外線的光源即可，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以使用(超)高壓汞燈、氙氣燈、碳棒弧光燈、鹵素?zé)艏皬?fù)印機(jī)用等的熒光管或激光等公知光源，其中優(yōu)選(超)高壓汞燈、激光，更優(yōu)選激光。(超)高壓汞燈是向硅玻璃管等中密封汞的放電燈，將汞的蒸氣壓設(shè)定在高值來提高發(fā)光效率的裝置。亮線光譜中，可以使用用ND過濾器等而只有1種波長(zhǎng)的亮線光譜，也可以使用具有多種亮線光譜的光線。所述激光的"laser"是LightAmplificationbyStimulatedEmissionofRadiation(利用光的受激發(fā)射的光的放大)的首字母簡(jiǎn)稱。作為發(fā)出所述激光的裝置，是利用在具有旋轉(zhuǎn)分布(反転分布)的物質(zhì)中發(fā)生的受激發(fā)射的現(xiàn)象，利用光波的放大、振蕩，創(chuàng)造相干性、方向性更強(qiáng)的單色光的振蕩器及放大器。作為所述激光的激發(fā)介質(zhì)，有結(jié)晶、玻璃、液體、色素、氣體等，可以從這些介質(zhì)中使用固體激光、液體激光、氣體激光、半導(dǎo)體激光等公知的激光。具體而言，作為氣體激光，可以舉出Ar離子激光(364nm、351nm)、Kr離子激光(356nm、351nm)、He—Cd激光(325nm)，作為固體激光，可以舉出YAG激光、YV04激光(1，064nm)、YAG激光或YV(V激光的2倍波(532mn)、3倍波(355nm)、4倍波(266nm)、波導(dǎo)型波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換元件與AlGaAs、InGaAs半導(dǎo)體的組合(380400nm)、波導(dǎo)型波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換元件與AlGalnP或AlGaAs半導(dǎo)體t的組合(300350nm)、AlGalnN(350470nm)等。作為其中優(yōu)選的激光，從成本方面出發(fā)，可以舉出AlGalnN半導(dǎo)體激光(市售InGaN系半導(dǎo)體激光375nm或405nm)在生產(chǎn)率方面為高輸出的355nm激光。所述激光的波長(zhǎng)例如優(yōu)選為2001，500nm，更優(yōu)選為300800nm，進(jìn)而優(yōu)選為330500nm，特別優(yōu)選為350420nm。—光調(diào)制機(jī)構(gòu)一作為所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)，具有代表性的方法可以舉出優(yōu)選具有n個(gè)描繪部，對(duì)應(yīng)所述圖案信息控制所述描繪部的方法。具體而言，可以舉出數(shù)字*微鏡*器件(DMD)、MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystems))型的空間光調(diào)制元件(SLM;空間光調(diào)節(jié)器(SpacialLightModulator))、利用電光學(xué)效果調(diào)制透過光的光學(xué)元件(PLZT元件)、液晶光開閉器(FLC)等，其中，可以優(yōu)選舉出DMD。使用所述DMD的情況下，來自光源的光被適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)系照射在所述DMD上，來自在DMD上二維排列的各鏡的反射光，經(jīng)過其他光學(xué)系等，在感光層上形成排列成二維的光點(diǎn)的像?？梢砸匀缦滤龅男问?，對(duì)感光層的整個(gè)面進(jìn)行曝光，即如果不直接在光點(diǎn)與光點(diǎn)之間曝光，而使上述二維排列的光點(diǎn)的像，相對(duì)二維的排列方向略微傾斜的方向移動(dòng)，后方列的光點(diǎn)在最初列的光點(diǎn)與光點(diǎn)之間進(jìn)行曝光。所述DMD通過控制各鏡角度，接通一關(guān)斷(ON—OFF)上述光點(diǎn)，可以形成圖像圖案。通過排列使用具有這樣的所述DMD的曝光頭，可以對(duì)應(yīng)各種寬度的基板。在上述DMD中，上述光點(diǎn)的亮度只有接通或關(guān)斷2個(gè)等級(jí)，但如果使用鏡等級(jí)型空間調(diào)制元件，則可以進(jìn)行256個(gè)等級(jí)的曝光。另外，所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)優(yōu)選具有基于要形成的圖案信息生成控制信號(hào)的圖案信號(hào)生成機(jī)構(gòu)。這種情況下，所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述圖案信號(hào)生成機(jī)構(gòu)所生成的控制信號(hào)來調(diào)制光。作為所述控制信號(hào)，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出數(shù)字信號(hào)。另一方面，所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)的其他代表性方法，可以舉出使用多角鏡(polygonmirror)的方法。在此，多角鏡是指在周圍具有一列的平面反射面的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件。所述多角鏡在感光層上反射照射來自光源的光，而反射光的光點(diǎn)被該平面鏡的旋轉(zhuǎn)掃描。通過使基板相對(duì)該掃描方向成直角地移動(dòng)，可以對(duì)基板上的感光層的整個(gè)面進(jìn)行曝光。接著，可以通過接通一關(guān)斷來自光源的光的強(qiáng)度或?qū)⑵淇刂茷橹虚g色調(diào)，形成圖像圖案。此時(shí)，可以通過使來自光源的光成為多束，縮短掃描時(shí)間。作為本發(fā)明的光調(diào)制機(jī)構(gòu)，除了上述以外，還可以舉出特開平5—150175號(hào)公報(bào)中記載的使用多角鏡描繪的例子；特表2004—523101號(hào)公報(bào)(國際公開第2002/039793號(hào)手冊(cè))中記載的視覺地獲取下部層的圖像的一部分，利用使用多角鏡的裝置，使上部層的位置與下部層的位置一致、曝光的例子；特開2004—56080號(hào)公報(bào)中記載的具有DMD曝光的例子；特表2002—523905號(hào)公報(bào)中記載的具備多角鏡的曝光裝置、特開2001—255661號(hào)公報(bào)中記載的具備多角鏡的曝光裝置、特幵2003—50469號(hào)公報(bào)中記載的組合DMD、LD、多重曝光的例子；特開2003—156853號(hào)公報(bào)中記載的利用基板的部位改變曝光量的曝光方法的例子；特開2005—43576號(hào)公報(bào)中記載的錯(cuò)位調(diào)整的曝光方法的例子等?！庹丈錂C(jī)構(gòu)一作為所述光照射機(jī)構(gòu)即光的照射方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇所述曝光光源，優(yōu)選舉出復(fù)合進(jìn)而照射2種以上的來自這些光源的光，特別優(yōu)選舉出照射復(fù)合2種以上的光的激光(合波激光)。作為所述合波激光的照射方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出利用具有多種激光光源、多模光纖和從該多種激光光源照射的激光進(jìn)行聚光并使其在所述多模光纖復(fù)合的聚光光學(xué)系的機(jī)構(gòu)，構(gòu)成并照射合波激光的方法。對(duì)所述激光的光束直徑，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，從深色隔離壁的析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，在高斯(Gaussian)光束的1/62值下優(yōu)選為530nm，更優(yōu)選為720Pm。在本發(fā)明中，優(yōu)選對(duì)應(yīng)圖像數(shù)據(jù)對(duì)激光進(jìn)行空間光調(diào)制。因而，為此優(yōu)選使用作為空間光調(diào)制元件的所述DMD。作為具有所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)及所述光照射機(jī)構(gòu)的曝光裝置，例如可以使用特開2005—222039號(hào)公報(bào)、特開2005—258431號(hào)公報(bào)、特開2006—30966號(hào)公報(bào)等中記載的裝置，但本發(fā)明中的曝光裝置不被其所限定。<顯影工序〉作為所述顯影，是通過除去所述感光層的未曝光部分進(jìn)行的。作為所述未固化區(qū)域的除去方法，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出使用顯影液除去的方法等。作為所述顯影液，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出堿性水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑等，其中，優(yōu)選弱堿性的水溶液。作為該弱堿水溶液的堿成分，例如可以舉出氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鋰、碳酸氫鈉、碳酸氫鐘、磷酸鈉、磷酸鉀、焦磷酸鈉、焦磷酸鉀、硼砂等。作為所述弱堿性的水溶液的pH，例如優(yōu)選約為812，更優(yōu)選約為911。作為所述弱堿性的水溶液，例如可以舉出0.15質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液或碳酸鉀水溶液等。作為所述顯影液的溫度，可以根據(jù)所述感光層的顯影性適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選約為2540°C。所述顯影液也可以與表面活性劑、消泡劑、有機(jī)堿(例如乙二胺、乙醇胺、四甲基氫氧化銨、二亞乙基三胺、三亞乙基五胺、嗎啉、三乙醇胺等)或用于促進(jìn)顯影的有機(jī)溶劑(例如醇類、酮類、酯類、醚類、酰胺類、內(nèi)酯類等)等并用。另外，所述顯影液可以為混合水或堿水溶液與有機(jī)溶劑的水系顯影液，也可以單獨(dú)為有機(jī)溶劑。在所述圖案的形成中，也可以包括例如固化處理工序、蝕刻工序、鍍敷工序等。它們可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。<固化處理工序>所述圖案的形成方法在為形成保護(hù)膜、層間絕緣膜、阻焊劑圖案等永久圖案或?yàn)V色片的永久圖案形成方法的情況下，優(yōu)選具備在進(jìn)行所述顯影工序之后，對(duì)感光層進(jìn)行固化處理的固化處理工序。作為所述固化處理，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出全面曝光處理、全面加熱處理等。作為所述全面曝光處理的方法，例如可以舉出在所述顯影之后，對(duì)形成有所述永久圖案的所述層疊體上的全面進(jìn)行曝光的方法。利用該全面曝光，可以促進(jìn)將要形成所述感光層的感光性組合物中的樹脂的固化，可以使所述永久圖案的表面固化。作為進(jìn)行所述全面曝光的裝置，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出超高壓汞燈等UV曝光機(jī)、氙氣燈使用的曝光機(jī)、激光曝光機(jī)等。曝光量通常為102，000mj/cm2。作為所述全面加熱處理的方法，可以舉出在所述顯影之后，對(duì)已形成的所述永久圖案的所述層疊體上的全面進(jìn)行加熱的方法。利用該全面加熱，可以提高所述永久圖案的表面的膜強(qiáng)度。作為所述全面加熱中的加熱溫度，優(yōu)選為120250。C，更優(yōu)選為12020(TC。如果該加熱溫度不到12(TC，則有時(shí)不能得到利用加熱處理的膜強(qiáng)度的提高，如果超過25(TC，則有時(shí)發(fā)生所述感光性組合物中的樹脂的分解，膜質(zhì)輕微變脆。作為所述全面加熱的加熱時(shí)間，優(yōu)選為10120分鐘，更優(yōu)選為1560分鐘。作為進(jìn)行所述全面加熱的裝置，沒有特別限制，可以從公知的裝置中根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出干式烤箱(dryoven)、熱板、IR加熱器等。所述圖案的形成方法可以用于在利用405mn的激光曝光的直接描繪中必需防止氧引起的感光層的靈敏度降低的各種圖案的形成等中，可以優(yōu)選用于兼顧高密度化和高生產(chǎn)率的圖案的形成。在所述永久圖案形成方法中，利用所述永久圖案形成方法形成的永久圖案如果為所述保護(hù)膜或者所述層間絕緣膜，則可以保護(hù)布線不受來自外部的沖擊或彎曲，特別是在為所述層間絕緣膜的情況下，例如可以用于半導(dǎo)體或構(gòu)件向多層布線基板或內(nèi)裝布線基板等的高密度實(shí)裝。所述永久圖案形成方法由于使用上述感光性組合物，所以可以優(yōu)選用于保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等永久圖案等各種圖案的形成用、濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造、全息攝影、微型電機(jī)，印樣等的制造，特別可以優(yōu)選用于印刷電路板等永久圖案形成。實(shí)施例以下利用實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)說明，但是只要不超出本發(fā)明的宗旨，本發(fā)明不被這些實(shí)施例所限定。另外，除非特別聲明，"份"是質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。(實(shí)施例1)一感光性薄膜的制備一在作為支撐體的厚16nm的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜(東"株式會(huì)社制，16FB50)上，涂布并干燥由下述組成構(gòu)成的感光性組合物溶液，在上述支撐體上形成厚30um的感光層。在上述感光層上，層疊厚20ixm的聚丙烯薄膜(王子特殊紙株式會(huì)社制，了，77yE—200)作為保護(hù)層，從而制備感光性薄膜。<感光性組合物溶液>的組成下述粘合劑一l的溶液....................................100質(zhì)量份三環(huán)癸垸二丙烯酸酯(商品名NK酯A—DCP)……18質(zhì)量份下述式I一2表示的光聚合引發(fā)劑........................1.0質(zhì)量份下述式S—l表示的增感劑.................................0.7質(zhì)量份愛普特托(工求卜一卜)YD—8125(環(huán)氧等量170g/eg.東都化成株式會(huì)社制，雙酚A系環(huán)氧樹脂).................................8.9質(zhì)量份雙氰胺0.5質(zhì)量份顏料分散液80.21質(zhì)量份梅甲法特(>力'77、乂7)F—78OF(大日本油墨株式會(huì)社制)的30質(zhì)量％甲乙酮溶液..........................................0.2質(zhì)量份另外，上述顏料分散液預(yù)先混合硫酸鋇(堺化學(xué)株式會(huì)社制，B30)30質(zhì)量份、上述粘合劑一l的溶液50質(zhì)量份、酞菁藍(lán)0.16份和蒽醌系黃色顏料(PY24)0.07質(zhì)量份后，以電動(dòng)磨機(jī)(千一夕一^少)M—250(7^^一社制)，使用直徑1.0mm的氧化鋯小球，以線速度9m/s分散3小時(shí)進(jìn)行調(diào)制。S-1(合成例l)粘合劑l的合成向1，OOOmL三口燒瓶中加入l一甲氧基一2—丙醇159g，在氮?dú)饬飨?，加熱?5°C。用2小時(shí)向其中滴甲基丙烯酸芐基酯63.4g、甲基丙烯酸72.3g、V—601(和光純藥制)4.15g的l一甲氧基一2—丙醇159g溶液。滴落結(jié)束后，進(jìn)一步加熱5小時(shí)，使其反應(yīng)。接著，停止加熱，得到甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸(30/70mol^比)的共聚物。接著，將所述共聚物溶液中的120.0g移至300mL三口燒瓶中，加入甲基丙烯酸縮水甘油酯16.6g、對(duì)甲氧基苯酚0.16g，攪拌使其溶解。溶解后，加入三苯基膦3.0g，加熱至10(TC，進(jìn)行加成反應(yīng)。用氣相色譜法(gaschromatography)確認(rèn)甲基丙烯酸縮水甘油酯消失后，停止加熱。加入l一甲氧基一2—丙醇38g，配制酸值112mgK0H/g、質(zhì)均分子量15000、固體成分為30質(zhì)量％的粘合劑一1的溶液。一在基體上的層疊一在作為上述基體的鍍銅疊層板(沒有穿通孔，銅厚為12um)的表面實(shí)施化學(xué)研磨處理而配制。在該鍍銅疊層板上，剝離所述感光性薄膜中的保護(hù)層，以使所述感光性薄膜的感光層與所述鍍銅疊層板接觸，同時(shí)用真空層壓機(jī)(二于3、一千一卜y(株)社制，VP130)使其層疊，從而配制成依次層疊所述鍍銅疊層板、所述感光層和所述聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)而成的層疊體。壓粘條件為真空吸引時(shí)間40秒、壓粘溫度70'C、壓粘壓力0.2MPa、加壓時(shí)間10秒。對(duì)上述層疊體，如下進(jìn)行靈敏度的評(píng)價(jià)。<靈敏度>將上述層疊體在室溫(23°C，55%RH)下靜置10分鐘。在得到的上述層疊體的感光層表面，使用INPREXIP-3000(富士膠片社制，匕。夕ir/Pt:°:y^=1.0um)，將L/S(線/空間)=50um/50um的圖案數(shù)據(jù)，照射以21/2倍間隔、從0.5mJ/cm2到500mJ/cm2的光能量不同的光，進(jìn)行曝光，使L/S(線/空間)=50ym/50iim的線性圖案固化。在室溫下靜置10分鐘，然后從所述感光性層疊體剝?nèi)ニ鲋误w，用噴射壓O.15MPa向鍍銅疊層板上的感光層的整個(gè)面噴射3(TC的1質(zhì)量％碳酸鈉水溶液，噴射顯影時(shí)間為所述最短顯影時(shí)間的23倍時(shí)間(或者4060秒)，溶解除去未固化的區(qū)域。使用激光顯微鏡(VK—9500，年一工乂7社制；物鏡50倍)測(cè)量這樣得到的L=50iim的圖案的線寬，把線寬為50um的曝光量作為靈敏度(最適曝光量)。結(jié)果示于表l。一顯影和固化處理一從所述層疊體剝?nèi)ゾ蹖?duì)苯二甲酸乙二酯薄膜(支撐體)，用0.15MPa的壓力向上述感光層的整個(gè)面噴射30'C的1質(zhì)量％碳酸鈉水溶液60秒，溶解除去未固化的區(qū)域。然后，進(jìn)行水洗，使其干燥，形成永久圖案。<顯影性>從所述層疊體剝?nèi)ゾ蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯(支撐體)，用0.15MPa的壓力向鍍銅疊層板上的所述感光層的整個(gè)面噴射3(TC的1質(zhì)量％碳酸鈉水溶液，測(cè)定從開始噴射碳酸鈉水溶液到溶解除去鍍銅疊層板上的感光層所需要的時(shí)間，將其作為最短顯影時(shí)間。該最短顯影時(shí)間越短，則顯影性越出色。結(jié)果示于表l。<絕緣可靠性的評(píng)價(jià)(HAST試驗(yàn))>除了使用將銅厚12txm的鍍銅疊層板按照線/空間二50ym/50iim以梳型形成布線的材料作為上述基材以外，對(duì)于與上述永久圖案形成方法同樣制作的永久圖案，進(jìn)行了HAST試驗(yàn)來評(píng)價(jià)樹枝狀晶體和絕緣電阻(Q)。在HAST試驗(yàn)中，使用高加速度試驗(yàn)器，對(duì)電子部件模塊，在溫度為130'C且相對(duì)濕度85%的氛圍氣體中，施加200小時(shí)10V電壓后，在相同條件下測(cè)量導(dǎo)體泵的絕緣電阻(Q)，然后，觀察導(dǎo)體泵的樹枝狀晶體，如下進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表l。評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)〇沒有樹枝狀晶體X:有樹枝狀晶體<生保存性的評(píng)價(jià)〉將上述層疊體在室溫(23°C，55%RH)下用防濕袋(黑色聚乙烯制的筒狀袋，膜厚80um，水蒸氣透過率25g/m2*24hr以下)密閉后，在4(TC下保存3天后，用與在上述最短顯影時(shí)間的評(píng)價(jià)中相同的方法測(cè)量上述最短顯影時(shí)間，把上述最短顯影時(shí)間的評(píng)價(jià)中得到的值記為t。，把保存3天后的上述最短顯影時(shí)間的值記為t,，計(jì)算出t,/t。的值。但是，把在測(cè)量t,時(shí)即使進(jìn)行60秒噴射顯影也不能除去上述感光層的情況記為"X"。得到的值越接近于l，意味著生保存性越優(yōu)異。結(jié)果示于表l?！次鱿穸鹊脑u(píng)價(jià)〉在室溫(23。C，55%RH)下靜置所述感光性層疊體10分鐘。在得到的上述層疊體的感光層表面，使用INPREXIP-3000(富士膠片社制，像素節(jié)距(匕。夕ir/P匕。、;/于)=1.0um)，從直徑40um400um，按照上述最適曝光量照射10ixm刻度的圓孔圖案數(shù)據(jù)，進(jìn)行各個(gè)孔徑的圖案曝光。在室溫下靜置IO分鐘之后，用與在上述最短顯影時(shí)間的評(píng)價(jià)中相同的方法，噴射顯影時(shí)間為用上述方法求出的最短顯影時(shí)間的2倍，溶解除去未固化的區(qū)域。用光學(xué)顯微鏡觀察這樣得到的固化樹脂圖案的表面，把在固化樹脂圖案上沒有堵塞、皺巴等異常的最小圓孔徑作為析像度。該析像度的數(shù)值越小越好。結(jié)果示于表l。(實(shí)施例2)除了用三環(huán)癸烷二甲基丙烯酸酯(商品名NK酯DCP)代替三環(huán)癸垸二丙烯酸酯(商品名NK酯A—DCP)以外，與實(shí)施例l相同地制造層疊體和永久圖案，與實(shí)施例l相同地進(jìn)行靈敏度、顯影性、生保存性、析像度、以及絕緣可靠性的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表l。(實(shí)施例3)除了用三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(商品名NK酯TMPT)代替三環(huán)癸烷二丙烯酸酯(商品名M酯A—DCP)以外，與實(shí)施例l相同地制造層疊體和永久圖案，與實(shí)施例1相同地進(jìn)行靈敏度、顯影性、生保存性、析像度、以及絕緣可靠性的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表l。(實(shí)施例4)除了用下述式I一l表示的光聚合引發(fā)劑代替上述式I一2表示的光聚合引發(fā)劑以外，與實(shí)施例l相同地制造層疊體和永久圖案，與實(shí)施例l相同地進(jìn)行靈敏度、顯影性、生保存性、析像度、以及絕緣可靠性的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表l。(實(shí)施例5)除了用艾咖庫耳(Irgacure)907(于/《7〃、乂亇]i亍<$力少)代替上述式I一2表示的光聚合引發(fā)劑以外，與實(shí)施例1相同地制造層疊體和永久圖案，與實(shí)施例l相同地進(jìn)行靈敏度、顯影性、生保存性、析像度、以及絕緣可靠性的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表l。(比較例1)除了用環(huán)氧化三羥甲基丙垸三丙烯酸酯(商品名NK酯A—TMPT)代替三環(huán)癸烷二丙烯酸酯(商品名NK酯A—DCP)以外，與實(shí)施例l相同地制造層疊體和永久圖案，與實(shí)施例l相同地進(jìn)行靈敏度、顯影性、生保存性、析像度、以及絕緣可靠性的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表l。(比較例2)除了用季戊四醇四丙烯酸酯(商品名NK酯A—T腿T)代替三環(huán)癸垸二丙烯酸酯(商品名NK酯A—DCP)以外，與實(shí)施例l相同地制造層疊體和永久圖案，與實(shí)施例l相同地進(jìn)行靈敏度、顯影性、生保存性、析像度、以及絕緣可靠性的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表l。(比較例3)除了用二季戊四醇六丙烯酸酯(商品名甲雅勒(kayarad)DPHA，日本化藥株式會(huì)社制)代替三環(huán)癸烷二丙烯酸酯(商品名NK酯A—DCP)以外，與實(shí)施例1相同地制造層疊體和永久圖案，與實(shí)施例1相同地進(jìn)行靈敏度、顯影性、生保存性、析像度、以及絕緣可靠性的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。表1聚合性化合物絕緣可靠性種類I/O值光聚合引發(fā)劑靈敏度(mJ/cm2)顯影性(秒)生保存性析像度(圓孔)樹枝狀晶體絕緣電阻(Q)綜合評(píng)價(jià)實(shí)施例1MC酯A—DCP0.4281-234121.260拜〇6X107〇實(shí)施例2NK酯DCP0.3851-234141.160nm〇7X107◎?qū)嵤├?NK酯TMPT0.5171-234101.260拜O5X107△O實(shí)施例4NK酯A一DCP0.4281-150111.260拜〇6X107o實(shí)施例5NK酯A一DCP0.428艾咖庫耳90734014X60(im〇6X107〇比較例1NK酯A一TMPT0.6201-224101.260拜X3X107X比較例2NK酯A—TMMT0.7291-224101.260拜X2X107X比較例3甲雅勒DPHA0.7201-224101.160(imX2X107X由表l的結(jié)果可知，就實(shí)施例1一5而言，與比較例1—3相比，由于聚合性化合物的I/0值的重量平均低，聚合性化合物是疏水化的，所以在維持顯影性的同時(shí)可以提高絕緣可靠性。工業(yè)上的可利用性本發(fā)明的感光性薄膜由于在維持顯影性的同時(shí)提高絕緣可靠性，可以有效地形成高精細(xì)的永久圖案，所以可以優(yōu)選用于保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等永久圖案等各種圖案的形成、濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造、全息攝影、微型電機(jī)，印樣等的制造等，特別可以優(yōu)選用于印刷電路板等永久圖案形成用。本發(fā)明的圖案形成方法由于使用上述感光性組合物，所以可以優(yōu)選用于保護(hù)膜、層間絕緣膜及阻焊劑圖案等永久圖案等各種圖案的形成、濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造、全息攝影、微型電機(jī)，印樣等的制造等，特別可以優(yōu)選用于印刷電路板等永久圖案形成。權(quán)利要求1.一種感光性組合物，其特征在于，含有粘合劑、聚合性化合物、填料和光聚合引發(fā)劑，該聚合性化合物的I/O值的重量平均為0.52以下。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，聚合性化合物的1/0值的重量平均為0.43以下。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，聚合性化合物具有兩個(gè)以上的聚合性基。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，聚合性化合物是二羥甲基三環(huán)癸烷二(甲基)丙烯酸酯。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，光聚合引發(fā)劑是肟衍生物。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其還含有熱交聯(lián)劑。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的感光性組合物，其中，熱交聯(lián)劑是選自環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁垸化合物、聚異氰酸酯化合物、使聚異氰酸酯化合物與封端劑反應(yīng)得到的化合物以及蜜胺衍生物中的至少一種。8.—種感光性薄膜，其特征在于，通過在支撐體上具有由權(quán)利要求1中所述的感光性組合物組成的感光層形成。9.一種感光性層疊體，其特征在于，在基體上具有由權(quán)利要求l中所述的感光性組合物組成的感光層。10.—種永久圖案形成方法，其特征在于，至少包括對(duì)由權(quán)利要求1中所述的感光性組合物形成的感光層進(jìn)行曝光的步驟。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的永久圖案形成方法，其中，曝光是在用光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)整光后，通過配置了微透鏡的微透鏡陣列來進(jìn)行的，其中所述微透鏡具有可以校正因該光調(diào)制機(jī)構(gòu)中描繪部的射出面變形而產(chǎn)生的像差的非球面。12.根據(jù)權(quán)利要求IO所述的永久圖案形成方法，其中，進(jìn)行曝光后，對(duì)感光層進(jìn)行顯影。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的永久圖案形成方法，其中，進(jìn)行顯影后，對(duì)感光層進(jìn)行固化處理。14.一種印刷電路板，其特征在于，由權(quán)利要求10中所述的永久圖案形成方法形成永久圖案。全文摘要本發(fā)明涉及一種通過激光曝光進(jìn)行圖案形成的適合作為阻焊劑材料的感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法及印刷電路板，它們可以在維持顯影性的同時(shí)提高絕緣可靠性。本發(fā)明的感光性組合物含有粘合劑、聚合性化合物、填料和光聚合引發(fā)劑，該聚合性化合物的I/O值的重量平均為0.52以下。本發(fā)明還提供一種永久圖案形成方法，其至少包括對(duì)感光性組合物形成的感光層進(jìn)行曝光的步驟。文檔編號(hào)G03F7/027GK101398620SQ200810165790公開日2009年4月1日申請(qǐng)日期2008年9月23日優(yōu)先權(quán)日2007年9月28日發(fā)明者池田貴美申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社