專利名稱：基板的制造裝置及其方法
基板的制造裝置及其方法
駄領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種平^M示裝置用的繊的制造裝置及方法，具術(shù)步及進(jìn)行映 像處理中使用的液晶顯示裝置(LCD)等的平板顯示裝置用基板的壓痕檢查與硅涂 敷的制造裝置及方，去。
背景絲
最近的信息處理設(shè)備正急速發(fā)展為具有多種功能與更高速的信息處理速度。 這種信息處理裝置具有顯示規(guī)定信息的顯示面板。此前顯示面板中主要使用陰極 射線管(cathode ray tube)監(jiān)視器，但最近隨著技術(shù)的急速發(fā)展，輕且占有空間 小的液晶顯示體辨板顯碟置的1頓正急居隨大。
通常，液晶顯示裝置具備接受門(gate)信號(hào)與對劇言號(hào)后顯示映像的液晶 顯示面板。在液晶顯示面板的門極側(cè)，附著多個(gè)門帶載體包(gate Tape Carrier Package),在源極側(cè)，附著多個(gè) 帶載體包。門帶載體包向液晶顯示面板輸出 門信號(hào)， 帶載體包向液晶顯示面板輸出數(shù)據(jù)信號(hào)。
因此，液晶顯^置用的 包含液晶顯示面板與附著于其上的多個(gè)門帶載 體包和繊帶載體包。
制造這種液晶顯示裝置用的基板的工序包含壓痕檢查工序，檢查門帶載體 包和數(shù)據(jù)帶載體包與液晶顯示面板的結(jié)合錯(cuò)誤；以及保護(hù)膜涂層工序，在門帶載 體包與數(shù)據(jù)帶載體包的各輸出導(dǎo)線上形成保護(hù)膜。
通常，執(zhí)行壓痕檢查工序用的裝置與執(zhí)行傲戶膜涂層工序用的驢分別設(shè)置 在不同的空間中，所以空間禾,率斷氐。另外，依次執(zhí)行壓痕檢查工序與保護(hù)膜 涂層工序，壓痕檢査花費(fèi)多的時(shí)間。從而，工序時(shí)間增加，生產(chǎn)率降低。
這種問題不限于液晶顯^置用的 ，在PDP或有機(jī)EL ，板顯/^g用 的 中^1用
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而做出的，其目的在于掛共一種能夠高效率地執(zhí)行壓 痕檢查工序與傲戶膜涂層工序的 制造裝置及方法。
另外，本發(fā)明提供一種在執(zhí)行壓痕檢查工序與保4戶膜涂層工序吋、可使空間 禾明:摔提高的 的制造裝置及方法。
本發(fā)明要解決的課題不限于此，本領(lǐng)域的技術(shù)人員通過下面的記載，可明確 理解未言及的其它課題。
本發(fā)明提供一種對-繊執(zhí)行壓痕檢査工序、與包含硅的f尉戶膜的涂層工序的 裝置。鎌的制造體具有檢查模塊與涂敷模塊。
檢查模1^附著于 上而向所述基板輸入輸出信號(hào)的信號(hào)收發(fā)部件與所述
對及間的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行檢查。涂敷模i央配備在與所述檢查模塊高度彼此不同的上
下層上，在所述信號(hào)收發(fā)部件與所述基板上形成保護(hù)輸入輸出所述信號(hào)的{言號(hào)收 發(fā)部件的導(dǎo)線的傲戶膜。
另外，繊的制造體還可具備升降部件。升降部件為了向戶艦檢査模塊或
所述涂敷模i央移送附著有所述信號(hào)收發(fā)部件的基板，相對地面向垂直方向移動(dòng)而 將戶皿基板移送到所述檢查模塊與所述涂敷模i央之間。
另一方面，戶，檢查，莫i央具備第1工作臺(tái)和攝像部。第1工作臺(tái)固定有從所
述升降部件移送的所述基板。攝像部配置在所述鎌的下方，攝像戶誠繊中附 著有戶;M信號(hào)收發(fā)部件的焊接區(qū)域。
戶; ^涂敷模塊具備第2工作臺(tái)與涂敷部。在第2工作臺(tái)中固定有A^，升降 部件移送的所述繊。涂敷部配置在所述繊的上方，噴出抗氧化液而在所述信
號(hào)收發(fā)部件與^;M基feJi涂上卩，《^t戶月莫D
另外，本發(fā)明衝共一種執(zhí)行壓痕檢査工序與硅涂層工序的方法。首先，將檢 査模塊與涂敷模塊設(shè)置在高度彼此不同的上下層，戶誠檢査模塊對附著于 ± 而向所述s^輸出信號(hào)的信號(hào)收發(fā)部件與所述基板的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行檢查，所述涂 敷模塊在戶腿信號(hào)收發(fā)部件與戶誠鎌上形成《尉戶膜。馬歐力戶誠檢查模士央，檢查
多個(gè)繊中的第N(其中，這里N為1以上的自然激個(gè)繊和與其對應(yīng)的信號(hào)收發(fā) 部件的結(jié)合狀態(tài)，與此同時(shí)，使戶，涂敷模塊驅(qū)動(dòng)，在戶，基板中的第(N+1)個(gè)以 下的凝^Ji依^f^^f述f尉戶膜。
另外，基于用于實(shí)JILh述本發(fā)明目的的一^ir征的顯碟置用繊制造髓
包含檢査模塊與涂募好莫塊。檢查模i劃寸接受映像信號(hào)后顯示映像的顯示面板、與附著于該顯示面板而向 所述顯示面板提供所述映像信號(hào)的信號(hào)收發(fā)部件的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行檢查。涂敷模塊 配置在與戶腐檢査模塊高度彼此不同的上下層，在戶腿顯示面板與戶腿信號(hào)收發(fā) 部件形鵬于保護(hù)輸出戶艦映像信號(hào)的戶腿信號(hào)雌部件的導(dǎo)線的保護(hù)膜。
另外，本發(fā)明的St及的制造體具備移送繊的第1移送單元；對從i魏1 移送單元移送的基板執(zhí)行工序的處理單元；和移送由該處理單元執(zhí)行了工序的基 板的第2移送單元。所述處理單元具有檢查模塊，檢査向 輸出信號(hào)的信號(hào) 收發(fā)部件與戶腿,間的結(jié)合狀態(tài)；涂敷模塊，位于與該檢查模塊彼此不同的層，
在所述信號(hào)收發(fā)部件與所述基板形成用于保護(hù)所述信號(hào)收發(fā)部件的導(dǎo)線的保護(hù)
膜；和升降部件，可向上下方向移動(dòng)，以向所述檢查模塊和戶腿涂敷模塊有選擇
地移送由所述第1移送單元移送的基板。
戶;M檢查模塊、所述涂敷模塊和所述升降部件分別包含軸，所述升降部件與 所述檢査模塊、和戶服升降部件與戶腿涂敷模塊之間的 移送可通過戶艦軸的 旋轉(zhuǎn) 行。
另外，根據(jù)本發(fā)明的-鎌的制造方法，將檢查模塊和涂敷?！姥肱渲迷诟叨缺?br> 此不同的上下層，所述檢查模i似寸向基板輸入輸出信號(hào)的信號(hào)收發(fā)部件與所述基
板之間的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行檢查，所述涂敷模塊在所述信號(hào)收發(fā)部件與所述基板中形 成用于保護(hù)所述信號(hào)收發(fā)部件的導(dǎo)線的保護(hù)膜，將被移送的基板中選擇出的 移送至斷述檢査模塊，執(zhí)行檢查工序，將所述移送的基板中未被選擇的 移送
至u所述涂敷模塊，執(zhí)行涂層工序。將在戶脫檢查模土央進(jìn)行了檢查的繊可移送到
臓涂敷模塊)執(zhí)行涂層工序。
發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明，育^)多高效率地執(zhí)行壓痕檢查與4射戶膜涂層工序。 根據(jù)本發(fā)明，基板的制造裝置由于在高度彼此不同的上下層設(shè)置檢查模塊與
涂敷模i夬，所以可f是高空間利用率。


圖1是^本發(fā)明一實(shí)施方式的顯^置的審隨系統(tǒng)的圖。
圖2是表示圖1所示的液晶顯示裝置的平面圖。 圖3是沿圖2的切挫M I-r的截面圖。圖4是沿圖2的切斷線n-n'的截面圖。
圖5是表示圖1所示的檢査模塊的平面圖。
圖6是表示圖5所示的檢查模塊的截面圖。
圖7是表示圖6所示的第1工作臺(tái)的其它動(dòng)作狀態(tài)的截面圖。
圖8是表示圖1所示的涂敷模塊的平面圖。
圖9是表示圖8所示的涂敷模塊的截面圖。
圖IO是表示利用圖1所示的液晶顯示裝置的制造系統(tǒng)制造液晶顯示裝置的方 法的流程圖。
圖11是表示圖1所示的顯示裝置的制造系統(tǒng)制造液晶顯示裝置的工序過程圖。
圖12是表示圖1所示的顯示裝置的制造系統(tǒng)制造液晶顯示裝置的工序過程圖。
圖13是表示圖1戶B的顯^g的制造系統(tǒng)制造液晶顯示^S的工序過程圖。
圖M是表示圖i所示的顯^置的制造系統(tǒng)制造液晶顯^a的工序過程圖。
圖15是表示圖1所示的顯満置的制造系統(tǒng)制造液晶顯示驢的工序過程圖。
圖16是表示圖1所示的顯滿置的制造系統(tǒng)制造液晶顯^fi的工序過程圖。
圖17是表示圖1所示的顯^置的制it^、統(tǒng)制造液晶顯示，的工序過程圖。
圖18是表示圖1所示的顯g置的制造系統(tǒng)制造液晶顯^置的工序過程圖。
將說明
10 ^J戶膜(氧化防止材料)
ioo液晶顯示裝置、(包含液晶顯示裝置的平板顯^S用的)繊
100a第l液晶顯^g置 110液晶顯示面板111陣列 llla第l基礎(chǔ)對反 11 lb門線 111c門絕緣膜
llld繊線
llle絕緣膜
11 If象素電極
112對置
112a第2基礎(chǔ)繊
112b濾色鏡
112c共用電極
113液晶層
120門帶載體包
121第l帶基薄膜(base film)
122門導(dǎo)線
123門芯片
130繊帶載體包
131第2帶基薄膜
132數(shù)據(jù)導(dǎo)線
133數(shù)據(jù)芯片
140各向異性導(dǎo)電薄膜(各向異性導(dǎo)電部件)
141導(dǎo)電粒子
200檢査模塊
210、 240第l工作臺(tái)
211軸部件
211a軸
211b輥
211c滑輪
212、 230第1框架
212a、 231 (形成有開口部的)上面212b、 232側(cè)壁 213第l旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部 2M皮帶
220檢查攝像機(jī)(攝像部) 300涂敷模塊 310第2工作臺(tái) 311軸部件 312第2框架
312a (形成有開口部的)上面
312b側(cè)壁
313第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部
320對準(zhǔn)攝像機(jī)
330涂敷部
400升降部件
410第3工作臺(tái)
411軸部件
412第3框架
420垂直移動(dòng)部
500a第l移送單元
510a移送軸部件
500b第2移送單元
510b移送軸部件
600鎌的制造體
下面，參照附圖1 18 —步詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。本發(fā)明的實(shí)施 方式可變形為各種方式，不能解釋為本發(fā)明的范圍限于下述實(shí)施方式。本實(shí)施方 式是為了對本領(lǐng)域具有平均知識(shí)的Ai4—步完全說明本發(fā)明而提供的。因此，有
時(shí)附圖中的要素形狀為了強(qiáng)調(diào)更明確的說明而被夸張。
圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施方式的 的制造裝置600的圖。如圖1所示，本基板的制造裝置600制造包含顯示映像的液晶顯示裝置的平
板顯示，用的基板(下面稱為"液晶顯^置")100。下面，參照圖2 圖4說 明液晶顯示驢100之后，具體說明繊的制造驢600的構(gòu)成。
圖2是表示圖1所示的液晶顯示裝置100的平面圖，圖3是沿圖2的切斷線 I-r的截面圖，圖4是沿圖2的切斷線II-n'的截面圖。
如圖2 圖4所示，液晶顯示裝置100具備顯示映像的液晶顯示面板110、與 附著于其周邊的信號(hào)收發(fā)部件，信號(hào)收發(fā)部件至少包含輸出門信號(hào)的多個(gè)門帶載 體包120、和輸出 信號(hào)的多個(gè)數(shù)據(jù)帶載體包130，此外，也可包含對應(yīng)于這些 門信號(hào)和辦劇言號(hào)以外的輸入輸出信號(hào)的部件。
液晶顯示面板110從門帶載體包120接受門信號(hào)，從數(shù)據(jù)帶載體包130接受
數(shù)據(jù)信號(hào)，并顯示映像。具體而言，液晶顯示面板iio具備陣列基板m、與陣列
111相X寸置的對置^t及112、和夾在陣列基板111與對置 112之間的液晶 層113。
陣列基板111具備第1基礎(chǔ)基板llla、發(fā)送門信號(hào)的多個(gè)門線lllb、和發(fā)送 數(shù)據(jù)信號(hào)的多個(gè)數(shù)據(jù)線llld。 .
各門線lllb形成于第1基礎(chǔ) llla的上面，門線lllb的襯墊部與門帶載 體包120電連接，接受門信號(hào)。
在形成有門線lllb的第1基礎(chǔ)繊llla的上面，形成有門絕緣膜lllc，在 門絕緣膜lllc的上面，形成有數(shù)據(jù)線llld。各 線llld沿與門線lllb的長度 方向正交的方向延伸形成，配置在門線lllb的長度方向上。 線llld的襯墊 部與數(shù)據(jù)帶載4本包130電連接，接受數(shù)據(jù)信號(hào)。
雖然未圖示，但在陣列基板111中形成有與門線lllb和數(shù)據(jù)線llld連接的 多個(gè)薄膜晶體管。薄膜晶體管在第l基礎(chǔ)基板llla上配置成陣列方式，轉(zhuǎn)換象素 電壓。
在形成有 線llld的柵極絕緣膜lllc的上面,至少形成一個(gè)絕緣膜llle。 在絕緣膜llle上，形成多個(gè)象素電極lllf，從薄膜晶體管向各象素電極lllf施 加象素電壓。
在陣列 111上，具備對置 112。對置 112具備第2基礎(chǔ)基阪112a、 形成于第2基礎(chǔ)基板112a上且利用光來發(fā)現(xiàn)規(guī)定顏色的濾色鏡112b、和形成于濾 色鏡112b Jl^施加共用電壓的共用電極U2co液晶層113根據(jù)在象素電極lllf與共用電極112C之間形成的電場，調(diào)節(jié)光
透過率，并將調(diào)節(jié)后的光提供給濾色鏡112b。由此，顯示映像。
在陣列基板111的端部，附著有門帶載體包120與數(shù)據(jù)帶載體包130。 具體而言，門帶載體包120附著于陣列基板111的門區(qū)域GA1、 GA2上，在門 區(qū)域GA1、 GA2中形成有門線lllb的襯墊部。在本實(shí)施方式中，陣列基板lll具 備二個(gè)門區(qū)域GA1、 GA2，門帶載體包120位于門線lllb的兩端部。但是，陣列基 板111也可具備一個(gè)門區(qū)域GA1。在這種情況下，門帶載體包120僅位于門線lllb 的一端部。
各門帶載體包120具備第1帶基薄膜121、形成于第1帶基薄膜121上的多 個(gè)門導(dǎo)線122、和門芯片123。各門導(dǎo)線122從門芯片123接受門信號(hào)后輸出。
對門帶載體包120與陣列 111之間，Jii共各向異性導(dǎo)電部件(各向異性導(dǎo) 電薄膜(Anisotropic Conductive Film)) 140，使門帶載體包120與門線lllb導(dǎo) 通。在門線lllb的襯墊部與各向異性導(dǎo)電薄膜140之間，形成門襯墊電極GPE。 門襯墊電極GPE由氧化銦錫(Indium Tin Oxide: ITO)或氧化銦鋅(Indi咖Zinc Oxide: IZ0)等透明導(dǎo)電性物質(zhì)構(gòu)成。從門導(dǎo)線122輸出的信號(hào)經(jīng)各向異性導(dǎo)電薄 膜140和門襯墊電極GPE施加于門線lllb的襯墊部。
在陣列基板111的源極區(qū)域SA上附著數(shù)據(jù)帶載體包130。數(shù)據(jù)帶載體包130 具備第2帶基薄膜131、形成于第2帶基薄膜131上的多個(gè)數(shù)據(jù)導(dǎo)線132、和 芯片133。各數(shù)據(jù)導(dǎo)線132從數(shù)據(jù)芯片133接受 信號(hào)后輸出。
對 帶載體包130與陣列繊111之間，^j共各向異性導(dǎo)電薄膜140，使 數(shù)據(jù)帶載體包130與 線llld導(dǎo)通。在數(shù)據(jù)線llld的襯墊部與各向異性導(dǎo)電 薄膜140之間，形皿據(jù)襯墊電極DPE。數(shù)據(jù)襯墊電極DPE由與門襯墊電極GPE 相同的材質(zhì)構(gòu)成。從數(shù)據(jù)導(dǎo)線132輸出的數(shù)據(jù)信號(hào)經(jīng)各向異性導(dǎo)電薄膜140和數(shù) 據(jù)襯墊電極DPE施加于數(shù)據(jù)線llld的襯墊部。
如圖1和圖2所示，^=反的制造驢600具有第1移送單元500a、處理單元 和第2移送單元500b。第1移送單元500a與第2移送單元500b可被J^共給與本 發(fā)明的 制造裝置600串聯(lián)(inline)連接的其它裝置。處理單元具有檢査模 塊200，檢查液晶顯示面板110與門及f^帶載體包120、 130之間的結(jié)合關(guān)系； 涂敷模塊300，形成(涂層)用于《跌門帶載體包120與翻帶載體包130的{緣膜; 和升降部件400，垂直或水平移送液晶顯示裝置100。第1移送單元500a向處理單元水平移送執(zhí)行工序的基板，第2移送單元500b向處理單元的外部水平移送由
處理單元處理過的繊。
檢查模決200與涂敷模塊300位于高度彼此不同的上下層。這提高顯^置 的制造系統(tǒng)600的空間禾lj用率。在本實(shí)施方式中，檢查模塊200位于涂勞好莫塊300 的上方，但也可與此不同，使涂敷模塊300位于檢査模塊200的上方。
從上力看時(shí)，第l移送單元500a、升降部件400、檢查模塊200和涂敷模塊 300、以及第2移送單元500b依次配置成一列，檢查模塊200與涂敷模塊300的 至少與升降部件400相連的部分重疊。第1移送單元500a、涂敷?！姥?00、和第2 移送單元500b配置于同一層，檢查模±央200配置于其它層。
圖5是表示圖1所示的檢查模塊200的平面圖，圖6是圖5所示的檢査模塊 200的截面圖。
如圖1和圖5所示，檢查模塊200具備第1工作臺(tái)210和至少一個(gè)攝像部(檢 查攝像抑220。第1工作臺(tái)210具有多W由部件211 、第1框架212和第1旋轉(zhuǎn)驅(qū) 動(dòng)部213。第1工作臺(tái)210具有比液晶顯示面板110小的尺寸。
具體而言，軸部件211彼此平ftt也并歹脂己置，彼此以規(guī)定的距離隔開。各軸 部件211具有軸211a、多個(gè)輥211b和二個(gè)滑輪211c。
軸211a為棒狀，通過第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部213沿單向旋轉(zhuǎn)。軸211a被插入到多 個(gè)輥211b中。輥211b彼此隔開，與軸211a—起旋轉(zhuǎn)。
如圖6所示，載置于第1工作臺(tái)210上的液晶顯示面板110與軸211a相對置 地配置，由多個(gè)輥211b支撐。液晶顯示面板110 3!31輥211b的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，育詢多 沿軸部件211的旋轉(zhuǎn)方向水平移動(dòng)。
在軸211a的兩端部，分別固定結(jié)合個(gè)接)滑輪211c。軸部件211的滑輪211c 中的任一個(gè)與第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部213連接。作為本發(fā)明的一例，第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部213 與軸部件211中的第1 M由部件的滑輪211c連接。第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部213的旋轉(zhuǎn)力 經(jīng)連接的滑輪211c傳遞到第l個(gè)軸部件，由此，第1^由部件旋轉(zhuǎn)。
彼此相鄰的二個(gè)滑輪由皮帶214連接。第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部213的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)皮帶 214從第1個(gè)軸部件依次傳遞，從而軸部件211旋轉(zhuǎn)。
第1框架212包圍軸部件211，具有四角環(huán)狀。第1框架212具有形成有開 口部的上面212a和從上面212a的端部向下方向延伸的側(cè)壁212b。軸部件211的 兩端部逝立軸承結(jié)合于第1框架212的側(cè)壁212b上。由此，軸部件211以固定于
15第1框架212上的狀態(tài)通過配備在第1框架212外側(cè)的第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部213旋轉(zhuǎn)。 軸部件211經(jīng)形成于第1框架212上面212a的開口部而露出，各軸部件211
的與液晶顯示面板110接觸的部位、即輥211b的歡端位于第1框架212的上面
212a的上惻。由此，第1框架212與液晶顯示面板110隔開。
檢查模塊200檢査門及數(shù)據(jù)帶載體包120、 130 (參照圖2)與液晶顯示面板110
之間的結(jié)合狀態(tài)，但為此，必需相對第1工作臺(tái)固定搭載于第1工作臺(tái)210上的
液晶顯示面板IIO。
圖7是表示圖6所示的第1工作臺(tái)的其它動(dòng)作模式的截面圖。
如圖7所示，本發(fā)明的其它動(dòng)作模式的第1工作臺(tái)240具備多個(gè)軸部件211
和第1框架230。圖7所示的軸部件211具有與圖6所示的軸部件211相同的構(gòu)成，
所以附加相同的參照符號(hào)，并省略對其的具體說明。
第1框架230為四角環(huán)狀，包圍軸部件211。第1框架230具有開口的上面 231和從上面231的端部向下方向延伸的側(cè)壁232。軸部件211 Jti共成相對第1框 架230(《12)的側(cè)壁232(二212b)沿上下方向相對移動(dòng)而能夠"裝"、"拆"。
移送液晶顯示面板110日對B圖6所示，軸部件211處于"裝"狀態(tài)，液晶顯 示面板110搭載于軸部件211的輥211b上，軸部件211以被軸承結(jié)合于第1框架 212 (=230)的側(cè)壁212b (=232)的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)，使纟夜晶顯示面板110沿著第1工作臺(tái) 210 (=240)相對地面水平移動(dòng)。
相對于此，在檢查液晶顯示面板110與門及數(shù)據(jù)帶載體包120、 130(參照圖 2)間的結(jié)合狀態(tài)時(shí)如圖7所示，軸部件211處于"拆"狀態(tài)，從第1框架230 (=212) 分離，將液晶顯示面板110固定在第l框架230的上面231(二212a)。此時(shí)，第l 框架230的上面231支撐液晶顯示面板110的端部。
這樣，第1工作臺(tái)210通過控審糊部件211與第1框架212的高低，可切換 按照載置于任一個(gè)上的液晶顯示面板110，相對第1工作臺(tái)210 7jC平移送(圖6)、 或固定(圖7)液晶顯示裝置100等兩個(gè)動(dòng)作模式。
該工作臺(tái)的動(dòng)作模式切換對下述全部工作臺(tái)都一樣。
另外，如圖5和圖6所示，在第l工作臺(tái)210的下麗fi備檢查攝像機(jī)220。 在本實(shí)施方式中，檢査模塊200具備一個(gè)檢査攝像機(jī)220，但也可具備多個(gè)檢查攝
像機(jī)。在這種情況下，與第i工作臺(tái)2lo的相對^a彼此不同地配置檢查攝像機(jī)。
檢査攝像機(jī)220沿液晶顯示面板110的門區(qū)域GA和源極區(qū)域SA(參照圖2)
16移動(dòng)，同時(shí)，攝^iM;各向異性導(dǎo)電薄膜i40而形成在液晶顯示面板iio上的壓
痕。具體而言，各向異性導(dǎo)電薄膜140包含使門及數(shù)據(jù)帶載體包120、 130與液晶 顯示而板110導(dǎo)電的導(dǎo)電粒子141 (參照圖3和圖4)。當(dāng)將門及纖帶載體包120、 130附著于液晶顯7^:面板110時(shí)，向門及 帶載體包120、 130^i乓適當(dāng)壓力和 熱。由此，通過各向異性導(dǎo)電薄膜140的導(dǎo)電粒子141，在門襯墊電極GPE(參照 圖3)和數(shù)據(jù)襯墊電極DPE (參照圖4)形》:ffi痕。
檢査攝像機(jī)220攝像在液晶顯示面板110的背面由導(dǎo)電粒子形成的壓痕。在 門及 5帶載體包120、 130與液晶顯示面板110之間有無結(jié)雜誤，根據(jù)壓痕的 位置和個(gè)數(shù)等來決定，所述壓痕^31由檢查攝像機(jī)220攝像的圖象來識(shí)別的。
圖8是表示圖1所示的涂敷模塊的平面圖，圖9是表示圖8所示的涂敷模土央 的截面圖。
如圖1和圖8戶際，在檢査模塊200的下方，衛(wèi)共涂敷模塊300。涂敷?！姥?300具備固定液晶顯示面板110的第2工作臺(tái)310、檢查液晶顯示面板110與第2 工作臺(tái)310之間的校正狀態(tài)的至少一個(gè)對準(zhǔn)攝像機(jī)320、和形成保護(hù)膜的至少一個(gè) 涂敷部330。
第2工作臺(tái)310具備多個(gè)軸部件311、第2框架312和第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部313。 各軸部件311具有與上述第1工作臺(tái)210的軸部件211相同的構(gòu)成部件，所以附
加相同的參照符號(hào)，并省略重復(fù)說明。
在第2工作臺(tái)310中在軸部件311上載置了液晶顯示面板110的情況下，軸 部件311的多個(gè)輥211b支撐液晶顯示面板110。 ^夜晶顯示面板110通過輥211b 的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，富的多向軸部件311的旋轉(zhuǎn)方向水平移動(dòng)。
第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部313與軸部件311中的任一個(gè)相連接，向相連接的軸部fH專 遞旋轉(zhuǎn)力。相鄰的二個(gè)軸部件由皮帶314彼lt鏈接，連接于第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部313 的軸部件的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)皮帶314傳遞至湘鄰的軸部件。由此，軸部件311旋轉(zhuǎn)。
另一方面，第2框架312包圍軸部件311，具有四角環(huán)狀。具體而言，第2 框架312具有形成了開口部的上面312a和從上面312a的端部延伸的側(cè)壁312b。 軸部件311的兩端部通過軸承結(jié)合于第2框架312的側(cè)壁312b。由此，軸部件311 以固定于第2框架312上的狀態(tài)通過配備在第2框架312外側(cè)的第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部 313來旋轉(zhuǎn)。
軸部件311經(jīng)形成于第2框架312的上面312a的開口部而露出，各軸部件311與液晶顯示面板110接觸的部位、即輥211b的g端位于第2框架312的上 面312a的上側(cè)。由此，第2框架312與液晶顯示面板110隔開。
涂敷模塊300在將液晶顯示面板110載置于第2框架312上，并固定于第2 工作臺(tái)310上的狀態(tài)下，形成保護(hù)膜。
與上述圖7所示的第1工作臺(tái)240 —樣，軸部件311相對第2框架312的側(cè) 壁312b沿上下方向相對移動(dòng)而能夠拆裝。
此時(shí)，在將液晶顯示面板UO載置、固定于第2框架312上的狀態(tài)下，形成 保護(hù)膜，當(dāng)移送液晶顯示裝置110時(shí)，軸部件311與第2框架312結(jié)合于而彭掌 液晶顯示面板110。
另一方面，對準(zhǔn)攝像機(jī)320配備在第2工作臺(tái)310的下方，攝像液晶顯示裝 置100與第2工作臺(tái)310。在將液晶顯示面板110固定到第2框架312的上面312a 之前，第2工作臺(tái)310與液晶顯f瀬100之間的校正(對衝利用由對準(zhǔn)攝像機(jī) 320攝像的圖象來調(diào)節(jié)。
在本實(shí)施方式中，涂敷模塊300具備一個(gè)對準(zhǔn)攝像機(jī)320，但對準(zhǔn)攝像機(jī)320 的數(shù)量也可隨著液晶顯示體100的大小和工序效率增加。
在第2工作臺(tái)310的上方，配備涂敷部330。涂敷部330配置在液晶顯g 置100的上方，沿液晶顯示面板110的端部移動(dòng)，同時(shí)噴出氧化防止材料10。氧 化防止材料10例如是硅，被提供到液晶顯示裝置100，而形成保護(hù)膜。
在本實(shí)施方式中，涂敷模塊300具備一個(gè)涂敷部330，但涂敷部330的數(shù)量 也可隨著液晶顯^S 100的大小和工，效率增加。例如，涂敷模塊300具備4 個(gè)涂敷部的情況下，對應(yīng)于液晶顯示面板110的源極區(qū)域SA(參照圖2)配置二個(gè) 涂敷部，對應(yīng)于液晶顯示面板110的門區(qū)域GA1、 GA2(參照圖2)，分別配置一個(gè) 涂敷部。
另外，如圖1所示，在涂敷模塊300的""i則，酉己備升降部件400。升降部件 400具備第3工作臺(tái)410和垂直移動(dòng)部420，將液晶顯示裝置100移送到檢查模土央 200或涂敷模塊300。
具體而言，第3工作臺(tái)410具有多個(gè)軸部件411與第3框架412。各軸部件 411具有與第1工作臺(tái)210的軸部件211相同的構(gòu)成，第3框架412具有與第1 工作臺(tái)210的第1框架212相同的構(gòu)成。另外，軸部件411與第3框架412之間 的結(jié)合l系與軸部件211與第l框架212之間的結(jié)合^^相同。因此，省略對其的具體說明。
第3工作臺(tái)410的軸部件411支撐液晶顯示面板110的下面，以中心軸為基
準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)，沿著第3工作臺(tái)410相對地面向水平方向移送液晶顯示裝置100。
在第3工作臺(tái)410的下方配備垂直移動(dòng)部420。在本實(shí)施方式中，升降部件 400具備二個(gè)垂直移動(dòng)部420，但垂直移動(dòng)部420的數(shù)量可隨著第3工作臺(tái)410的 大小增加或》或少。
垂直移動(dòng)部420相對地面向垂直方向移動(dòng)，使第3工作臺(tái)410向上或向下移 動(dòng)。這樣，升降部件400通過垂直移動(dòng)部420的垂直移動(dòng)，調(diào)節(jié)第3工作臺(tái)410 與地面間的距離。由此，第3工作臺(tái)410可根據(jù)垂直移動(dòng)部420的高度，位于與 第1工作臺(tái)410相同的層，也可位于與第2工作臺(tái)410相同的層。
升降部件400調(diào)節(jié)垂直移動(dòng)部420的垂直移動(dòng)，將固定于第3工作臺(tái)410的 液晶顯示裝置100垂直移送到彼此位于不同層的第1和第2工作臺(tái)210、 310中任 一層的高度之后，可在第3工作臺(tái)410上7jC平移送液晶顯示裝置100，實(shí)現(xiàn)與第l 或第2工作臺(tái)210、 310移送液晶顯g置100。這里，如圖1所示，在檢查模塊 200位于涂敷模塊300上方的情況下，通過升降部件400，首先未被形成保護(hù)膜IO 的液晶顯示體100上升，在第1工作臺(tái)210執(zhí)行檢査工序，之后下降，在第2 工作臺(tái)310拋亍凃敷工序，從而在液晶顯^置100形成保護(hù)膜10。
顯示裝置的制造系統(tǒng)600還具備第l移送單元500a，向升降部件400移送 液晶顯:^置100;以及第2移送單元500b，向外部移送執(zhí)行了與涂敷模i夾300 禾口/或檢查模塊200相關(guān)的工序后的液晶顯示裝置100。第1移送單元500a以升降 部件400為基準(zhǔn)，位于涂敷模i央300的相反側(cè)，第2移送單元500b以涂敷模i央300 為基準(zhǔn)，^立于升降部件400的相反側(cè)。
移送單元500a、 500b分別具備多個(gè)移送軸部件510a、 510b。在本實(shí)施方式 中，各移送軸部件510a、 510b具有與第l工作臺(tái)210的軸部件211相同的構(gòu)成， 移送軸部件510a、 510b的驅(qū)動(dòng)方》她與軸部件211的驅(qū)動(dòng)方法相同，所以省略對 其的具體說明。
下面，參照附圖具體說明制造液晶顯示錢用繊100的方法。 圖10是表示利用圖1所示的繊的制造錢600制造液晶顯燕置(如上所 述，下面的"液晶顯^g"是(包力夜晶顯示裝置的平板顯^S用的)"繊") 的方法的流程圖，圖11 圖18是表示利用圖1所示的基阪的制皿置制造液晶顯示裝置的工序的圖。
如圖IO、圖11和圖12所示，首先，由第1至第M液晶顯^置構(gòu)成的M個(gè) 液晶顯^置中，第1液晶顯示裝置100a從第1移送單元500a水平移動(dòng)到升降 部件400，而固定在升降部件400的第3工作臺(tái)410，升降部件400將第1液晶顯 示裝置100a移送到檢查模塊200(步驟SU0)。這里，M為l以上的自然數(shù)。
具體而言，如圖11所示，第1液晶顯示裝置100a被固定在升降部件400的 第3工作臺(tái)410。接著，如圖12所示，升降部件400的垂直移動(dòng)部420向上方移 動(dòng)第3工作臺(tái)410，由此，第3工作臺(tái)410位于與檢查模塊200的第1工作臺(tái)210 相同的層。
如圖12所示，第3工作臺(tái)410的各軸部件411旋轉(zhuǎn)，而將第1液晶顯示^g 100a水平移送到第1工作臺(tái)210。與此同時(shí)，第1工作臺(tái)210的各軸部件211也 旋轉(zhuǎn)，從而將第1液晶顯示體100a的液晶顯示面板110水平移送到第1工作臺(tái) 210。
如圖13所示，若第1液晶顯g置100a的液晶顯示面板110被全面移送到 第1工作臺(tái)210上的位置，則被固定在第l工作臺(tái)上。
圖14是,Ail方看第1工作臺(tái)210與載置固定于其上的第1液晶顯示裝置100a 的平面圖，第1液晶顯示裝置100a的液晶顯示面板110中門區(qū)域GA1、 GA2和源 極區(qū)域SA位于第1工作臺(tái)210的第1框架212的外側(cè)。
如圖10所示，檢査模塊200進(jìn)行第1液晶顯示裝置100a的壓痕檢查、即檢 査第1液晶顯示裝置100a的液晶顯示面板110與門及數(shù)據(jù)帶載體包120、 130之 間的結(jié)合狀態(tài)。與此同時(shí)，涂敷模±央300從第2液晶顯示裝置100b開始對第2以 下的液晶顯示裝置依次形成保護(hù)膜(步驟S120)。
參照圖7和圖14說明第1液晶顯^置100a的壓痕檢M禾呈則如下所述。 若在第l工作臺(tái)240(=210)上固定液晶顯示面板110，則撿查模塊200的檢査攝像 機(jī)220沿液晶顯示面板110的端部移動(dòng)，同時(shí)攝像液晶顯示面板110的壓痕。艮P， 檢查攝像機(jī)220沿著液晶顯示面板110中附著有門帶載體包120和 帶載體包 130的焊接(bonding)區(qū)域BA移動(dòng)，同時(shí)，對通過各向異性導(dǎo)電薄膜140在焊接 (結(jié)合)區(qū)域BA中形成的壓痕進(jìn)行攝像。
如圖13和圖15所示，升降部件400在將第1液晶顯^置100a移送到第1 工作臺(tái)210之后，再次下降第3工作臺(tái)410，使之位于與第2工作臺(tái)310相同的層。接著，從第1移送單元500a向第3工作臺(tái)410移送第2液晶顯示，100b，并暫 吋固定在第3工作臺(tái)410，接著，從第3工作臺(tái)410向涂敷模塊300的第2工作臺(tái) 310移送第2液晶顯示裝置100b。
如圖15所示，第2工作臺(tái)210使各軸部件311旋轉(zhuǎn)，而將來自升降部件400 的第3工作臺(tái)410的第2液晶顯示裝置100b移送到第2工作臺(tái)310之后，固定。
如圖9和圖16所示，酉己備在第2工作臺(tái)310下方的對準(zhǔn)攝像機(jī)320沿第2 工作臺(tái)310的端部移動(dòng)，同時(shí)，攝像第2液晶顯示裝置100b與第2工作臺(tái)310。 禾擁對準(zhǔn)攝像機(jī)320攝像的圖象，校正第2工作臺(tái)310與第2液晶顯示^S 100b。
如圖9所示，涂敷部330被配置在第2液晶顯示體100bH00)的上方。涂 敷部330沿第2液晶顯示裝置100b的悍接區(qū)域BA移動(dòng)，同時(shí)噴出抗氧化液10， 由此，在第2液晶顯示裝置100b的液晶顯示面板110中形成《對戶膜150。
如圖17所示，《尉戶膜150覆蓋門帶載體包120的上端部及側(cè)面，涂層露出在 門帶載體包120的側(cè)面的門導(dǎo)線122。由此，{尉戶膜150防止門導(dǎo)線122的氧化。
雖未圖示，但保護(hù)膜150在第2液晶顯^置100b(參照圖16)的數(shù)據(jù)帶載體 包130中也與門帶載體包120 —樣形成，防止繊帶載體包130的對居導(dǎo)線132滲 照圖4)的氧化。
如圖18所示，當(dāng)?shù)?液晶顯碟置100b的f尉戶膜150 (參照圖17)形成完成 時(shí)，第2工作臺(tái)310的各軸部件311旋轉(zhuǎn)，1魏2液晶顯^Sl00b移動(dòng)到第2 移送單元500b側(cè)。第2移送單元500b向外部移送第2液晶顯g置100b。
另一方面，若將第2液晶顯示裝置100b從涂敷模塊300移送到第2移送單元 500b，則第3液晶顯示裝置100c從第1移送單元500a被移送到升降部件400，升 降部件400將第3液晶顯示裝置100c移送到涂夷好寞決300的第2工作臺(tái)310。涂 敷?！姥?00在第3液晶顯示體100c形劍尉戶膜150 (參照圖17)之后，將第3液 晶顯示裝置100c移送到第2移送單元500b。
這樣，涂敷模±央300依次形成f尉戶膜150 (參照圖17)，直到第2 第M液晶 顯示裝置，在*液晶顯示裝置中禾傭相同的過禾新多成保護(hù)膜150。
另一方面，如圖10所示，若檢查模±央200中第1液晶顯示裝置100a的壓痕 檢査完成，則升降部件400使第3工作臺(tái)310向上方移動(dòng)，將第3工作臺(tái)310配 置在與檢査模塊200的第1工作臺(tái)210相同的層。
第1工作臺(tái)210向與上述相反的方向旋轉(zhuǎn)軸部件211，邊卸載第1液晶顯示
21裝置lOOa，邊向第3工作臺(tái)310移送，第1液晶顯^置100a被固定在第3工作 臺(tái)310。
升降部件400再次下降，再次將第3工作臺(tái)310配置在與第2工作臺(tái)310相 同的層。第3工作臺(tái)310將第l液晶顯g置100a移送到第2工作臺(tái)310，將第 1液晶顯示裝置100a固定在第2工作臺(tái)310。涂敷模決300在第1液晶顯示， 100a中形成《尉戶膜150 (參照圖18)。其間，第4液晶顯示體100d在第1移送單 元500a待機(jī)。
第1液晶顯示裝置100a的保護(hù)膜150的形成也可在第M液晶顯7丁魂置的保護(hù) 膜形成完成后進(jìn)行，若第1液晶顯^置100a的壓痕檢査完成，則也可在當(dāng)前配 置于涂敷模塊300的液晶顯^置的丫斜戶膜150的形成完成之后立即進(jìn)行。在第1 液晶顯示裝置100a的保護(hù)膜150的形成在第M液晶顯^置的《斜戶膜形成后進(jìn)行 的情況下，第1液晶顯示裝置100a以固定于第1工作臺(tái)210的狀態(tài)待機(jī)。
在本實(shí)施方式中，顯示裝置的制造系統(tǒng)600為了防lbE痕檢查造成的生產(chǎn)率 下降，僅進(jìn)行M個(gè)液晶顯示裝置中的第1液晶顯g置100a的壓痕檢査，但壓痕 檢査的次數(shù)和周期也可隨著工序效率及制品收獲率來增加。
如上戶脫，顯>彌置的制造系統(tǒng)600逝i同時(shí)進(jìn)行液晶顯^S的壓痕檢查 與保護(hù)膜涂層，可縮短工序時(shí)間，并且提高生產(chǎn)率。
權(quán)利要求
1、一種基板的制造裝置，其特征在于，具備檢查模塊，對向基板輸入輸出信號(hào)的信號(hào)收發(fā)部件與所述基板間的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行檢查；以及涂敷模塊，配置在與所述檢查模塊彼此高度不同的上下層，在所述信號(hào)收發(fā)部件與所述基板上形成保護(hù)膜，該保護(hù)膜用于保護(hù)所述信號(hào)收發(fā)部件的導(dǎo)線。
2、 根據(jù)權(quán)禾腰求1戶腿的掛反的帝隨裝置，其特征在于， 還具備沿上下方向移動(dòng)的升降部件，以便向所述檢查模塊^^M涂敷模i央移送附著有戶，信號(hào)收發(fā)部件的基板。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2戶腿的繊的制徵置，其特征在于，所述檢査模塊具備第1工作臺(tái)，固定有從戶，升降部件移送的戶，基板；以及攝像部，配置在固定于卵悉第i工作臺(tái)的戶誠繊的下方，攝像戶;MM中 附著有戶腿信號(hào)收發(fā)部件的焊接區(qū)域。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3戶脫的繊的制造裝置，其特征在于， 怖悉信號(hào)收發(fā)部件經(jīng)具有導(dǎo)電粒子的各向異性導(dǎo)電部件、M熱壓接附著于所述繊，戶;M攝像部對3M:戶;f^導(dǎo)電粒子而形成在戶;Mmi:的壓痕進(jìn)行攝像。
5、 根據(jù)權(quán)禾腰求3胸丞的繊的制造裝置，其特征在于，臓凃敷模塊具備第2工作臺(tái)，固定有從戶/M升降部件移送的所述基板；以及 涂敷部，配置在置于戶脫第2工作臺(tái)的繊的上方，噴出抗氧化液而^E^3悉 信號(hào)收發(fā)部件與所述基教上涂層^M保護(hù)膜。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5戶脫的繊的制造體，其特征在于，所述第1和第2工作臺(tái)分別具備多^由，該多個(gè)軸彼此并列配置，并衝2旋 轉(zhuǎn)來水平移送載置于其上的戶， 。
7、 根據(jù)權(quán)禾腰求6戶腿的M的制3t^S，其特征在于，戶，第i和第2工作臺(tái)中的至少一個(gè)還具備與戶;M軸結(jié)合而肯,固定戶，軸的位置的框架。
8、 根據(jù)權(quán)禾腰求7戶腿的繊的制造裝置，其特征在于，戶皿軸被可"拆"、"裝"地固定在所述框架上，在"裝"狀態(tài)下，所述軸可 水平禾多動(dòng)地支撐載置于所述工作臺(tái)上的基板，在"拆"狀態(tài)下，所述框架固定支撐載置于所述工作臺(tái)上的基板。
9、 根據(jù)權(quán)禾腰求2所述的鎌的制驟置，其特征在于，所述升降部件具備第3工作臺(tái)，具有多個(gè)軸和框架，所述多個(gè)軸彼此并列配置、并通過旋轉(zhuǎn)來 移送載置于其上的戶滿基板，戶腿框架與所述軸結(jié)合而駒多固定所述軸的位置； 以及垂直移動(dòng)部，使戶;f^第3工作臺(tái)向上下方向移動(dòng)。
10、 根據(jù)權(quán)利要求1戶腿的 的審隨皿，其特征在于， 戶脫檢查模塊配置在戶腿涂敷模塊的上方。
11、 根據(jù)權(quán)利要求1戶腿的繊的制造體，其特征在于，還具備.-第1移送單元，通過軸的旋轉(zhuǎn)，向所述升降部件移送基板；以及 第2移送單元，配置在所述涂敷模塊的H則，由所述、凃敷?！繼$1供基板，通過軸的旋轉(zhuǎn)來移送 。
12、 一種基板的制造方法，其特征在于，包含如下步馬聚 將檢查模塊與涂敷模塊設(shè)置在高度彼此不同的上下層，戶欣檢查模i規(guī)附著于基板上而向所述 輸入輸出信號(hào)的信號(hào)收發(fā)部件與所述基板的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行 檢査，戶腿涂敷模塊在戶脫信號(hào)收發(fā)部件與卵悉 ±形成傲戶膜；以及1妙脫檢查模±夫驅(qū)動(dòng)，從而對多個(gè)繊中的第N個(gè)繊和與其對應(yīng)的信號(hào)收 發(fā)部件的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行檢查，與此同時(shí)，4妙萬述涂敷模塊驅(qū)動(dòng)，從而在戶腿繊 中的第(N+l)個(gè)以下的Sfe上依次形jt^M保護(hù)膜，其中，N為l以上的自然數(shù)。
13、 根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板的制造方法，其年寺征在于，對戶;M第N個(gè) 和與其對應(yīng)的信號(hào)收發(fā)部件之間的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行檢査的步 驟包含如下步驟將所述第N個(gè)基板固定在戶/M檢查模塊的第1工作臺(tái)上；將戶，檢查模塊的攝像部配置在戶; ^第N個(gè) 的下方；以及 戶;M攝像部對戶，第n個(gè) 中附著有戶，信號(hào)收發(fā)部件的焊接區(qū)域進(jìn)行攝
14、 根據(jù)權(quán)禾腰求13戶脫的^4反的制造方法，^ 1寺征在于， 戶，信號(hào)收發(fā)部件經(jīng)具有導(dǎo)電粒子的各向異性導(dǎo)電部件、通過熱壓接附著于所述繊，所述攝像部沿"腐第N個(gè)凝反的焯接區(qū)i凝多動(dòng)，同時(shí)，對M:所述導(dǎo)電粒子 而形成在BW基板上的壓痕進(jìn)行攝像。
15、 根據(jù)權(quán)利要求14 "腿的^"反的制造方法，其特征在于，形戯腿保護(hù)膜的步驟包含如下步驟 將所述基板固定在戶，涂敷模塊的第2工作臺(tái)上；將所3^涂敷模塊的涂敷部配置在/^丞 的焊接區(qū)域的上方； n^;M涂敷部沿所述基板的焊接區(qū)i或移動(dòng)，同時(shí)，在戶皿 和與其對應(yīng)的信號(hào)收發(fā)部件上涂層戶/ 3i保護(hù)膜；以及 /Ai M第2工作臺(tái)卸#^斤述 。
16、 根據(jù)權(quán)禾腰求12戶脫的繊的制造方法，其特征在于，還包含如下步驟若戶脫第N個(gè)繊的結(jié)合狀態(tài)檢查完成，貝湘對地面垂直移送戶腿第N個(gè)基 板，并配置在卵悉涂敷模塊中；以及驅(qū)動(dòng)戶; ^涂敷模i央，在所述第N個(gè) 和與其對應(yīng)的信號(hào)收發(fā)部件的上面形戯湖斜戶膜。
17、 一種基板的制3t裝置，其特征在于，具備 第1移送單元，移送 ;處理單元，對由所述第1移送單元移送的 執(zhí)行工序；以及 第2移送單元，移送由所述處理單元執(zhí)行了工序的基板，臓處理單元具備檢查模塊，對向基板輸出信號(hào)的信號(hào)收發(fā)部件與戶;M基阪間的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行檢査;涂敷模塊，位于與所述檢查模i央彼此不同的層，在戶;M信號(hào)收發(fā)部件與所述對反上形成用于傲戶戶腿信號(hào)收發(fā)部件的導(dǎo)線的《尉戶膜；以及升降部件，可向上下方向移動(dòng)，以向所述檢查模塊和戶;M涂敷模i央選擇性地 移送由戶皿第1移送單元移送的 。
18、 根據(jù)權(quán)禾腰求17戶腿的鎌的制造體，其特征在于， 戶腿檢査模塊、戶腿涂敷模塊和戶脫升ra件分別具備用于移送繊的軸。
19、 根據(jù)權(quán)利要求18戶脫的鎌的制造驢，其特征在于， 所述第1移送單元與所述第2移送單元分別具備用于移送 的軸。
20、 根據(jù)權(quán)利要求17怖丞的,的制造^S，其特征在于， 當(dāng)從上方看時(shí)，所述第1移送單元、,皿升降部件、所述檢查模塊和0M涂敷模塊、以及戶腿第2移送單元依次相連并配置成一列，戶腿檢查模塊與戶;f^涂敷模塊的至少與所述升降部件相連的部分被重疊配置。
21、 根據(jù)權(quán)禾腰求20戶脫的繊的制造體，其特征在于，所述第1移送單元、所述涂敷模i央和所述第2移送單元配置于同一層。
22、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的3W的制造^S，其特征在于， 戶腐信號(hào)收發(fā)部件經(jīng)具有導(dǎo)電粒子的各向異性導(dǎo)電部件、M:熱壓接附著于所述對及，戶皿檢查模塊具，像部，該攝像部對 所述導(dǎo)電粒子而形成在戶， 上的壓痕進(jìn)行攝像，戶，涂敷模塊具備涂敷部，該涂敷部在戶;M信號(hào)收發(fā)部件和戶，mii涂敷硅。
23、 一種繊的制造方法，其特征在于，將檢查模塊和涂敷模i央配置在高度彼此不同的上下層，戶腿檢查模±樹向基 板輸入輸出信號(hào)的信號(hào)收發(fā)部件與所述基板之間的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行檢查，所述涂敷 模塊在所述信號(hào)收發(fā)部件與所述基^Ji形成用于保護(hù)所述信號(hào)收發(fā)部件的導(dǎo)線的 鵬莫，將從移送的 中選擇出的 移送到戶皿檢查模塊，執(zhí)行檢査工序，將所述移送的 中未1^擇的 移送到戶;^涂敷模塊，執(zhí)行涂層工序。
24、 根據(jù)權(quán)利要求23戶脫的 的制造方法，其特征在于， 由戶誠檢查模塊進(jìn)行了檢查的SI及被移送到戶Jf3S涂敷模塊，執(zhí)行涂層工序。
25、 根據(jù)權(quán)利要求23戶脫的繊的制造方法，其特征在于， 基板經(jīng)由可向上下方向移動(dòng)的升降部件移送到所述涂敷模塊或所述檢査模塊。
26、 根據(jù)權(quán)禾腰求25戶腿的繊的制造方法，其特征在于，向戶，升降部件、戶，檢查模塊和戶;M涂敷模塊分別，軸，在戶，升降部件與所述檢查模塊、所述升降部件與所述涂敷模i央之間，通過軸的旋轉(zhuǎn)鄉(xiāng)行基板的移送。
27、根據(jù)權(quán)利要求23所述的鎌的制造方法，其特征在于，所述信號(hào)收發(fā)部件經(jīng)具有導(dǎo)電粒子的各向異性導(dǎo)電部件、通過熱壓接附著于 臓掛反，戶艦檢査工序?qū)νㄟ^所述導(dǎo)電粒子而形h誠所述繊上的壓痕進(jìn)行攝像， 所述涂層工序在卵悉信號(hào)收發(fā)部件和戶皿 上涂敷硅。
全文摘要
本發(fā)明提供一種效率地進(jìn)行映像處理中使用的液晶顯示裝置(LCD)等平板顯示裝置用的基板的壓痕檢查與硅涂敷的基板的制造裝置及其方法。基板的制造裝置具有配置在高度彼此不同的上下層上的檢查模塊與涂敷模塊。具體而言，檢查模塊對附著于基板上而向基板輸出信號(hào)的信號(hào)收發(fā)部件與基板的結(jié)合狀態(tài)進(jìn)行檢查。涂敷模塊在信號(hào)發(fā)送部件和基板上形成用于保護(hù)信號(hào)收發(fā)部件的導(dǎo)線的保護(hù)膜。此時(shí)，由于檢查模塊與涂敷模塊配備在高度彼此不同的上下層上，所以可提高空間利用率。
文檔編號(hào)G02F1/13GK101452125SQ20081017045
公開日2009年6月10日 申請日期2008年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月20日
發(fā)明者尹舜暎, 淵 李 申請人:細(xì)美事有限公司