專利名稱：一種顯微觀察移動臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種移動臺，特別是關(guān)于一種用于顯微觀察的移動臺。
背景技術(shù)：
目前用于顯微鏡觀察的移動臺分為手動和自動兩種；手動的移動快速、結(jié)構(gòu) 簡便、成本低廉，但精度不高，操作不便；自動的采用計算機(jī)程序控制，雖然精 度高些，但其結(jié)構(gòu)復(fù)雜、加工精度要求高、成本很貴，而且移動速度較慢。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述問題，本發(fā)明的目的是提出一種移動速度快、精度高的顯微觀察移 動臺。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取以下技術(shù)方案 一種顯微觀察移動臺，它包括 一機(jī)架和連接在所述機(jī)架上的光學(xué)平臺，在所述光學(xué)平臺上設(shè)置有粗精度導(dǎo)軌組，
所述粗精度導(dǎo)軌組頂部設(shè)置有高精度導(dǎo)軌組和由高精度導(dǎo)軌組帶動的載物臺；所
述粗精度導(dǎo)軌組包括平行滑設(shè)在第一、第二導(dǎo)向裝置上的第一、第二滑塊， 一連 接在所述第一、第二滑塊上且與所述第一、第二導(dǎo)向裝置水平垂直的第三導(dǎo)向裝 置，所述第三導(dǎo)向裝置上滑設(shè)一第三滑塊，在所述機(jī)架上設(shè)置有驅(qū)動所述第一、 第二滑塊的第一驅(qū)動組，在所述第一、第二滑塊上設(shè)置有驅(qū)動所述第三滑塊的第
二驅(qū)動組；所述第三滑塊上垂向穿設(shè)一定位柱，與所述第三導(dǎo)向裝置平行設(shè)置一 穿過所述第三滑塊和定位柱的壓桿，所述壓桿兩端的頂部分別設(shè)置一連接在所述 第一、第二滑塊上的壓緊所述壓桿用的壓緊部件；所述高精度導(dǎo)軌組包括設(shè)置在 具有支撐導(dǎo)向作用的所述定位柱頂部的第四滑塊，所述第四滑塊由設(shè)置在所述定 位柱上的第三驅(qū)動組驅(qū)動，與所述第四滑塊的運(yùn)動方向呈水平垂直，在具有支撐 導(dǎo)向作用的所述第四滑塊的頂部設(shè)置一第五滑塊，所述第五滑塊由設(shè)置在所述第 四滑塊上的第四驅(qū)動組驅(qū)動，所述第五滑塊頂部連接所述載物臺。
所述第一、第二、第三導(dǎo)向裝置分別包括一對平行設(shè)置的光杠，所述第一、 第二、第三滑塊分別穿設(shè)在對應(yīng)的一對所述光杠上。
所述第一、第二驅(qū)動組分別包括一電機(jī)，各所述電機(jī)的輸出端分別連接一齒 輪，各所述齒輪分別通過一傳送帶連接另一齒輪，各所述傳送帶一側(cè)的帶體上分 別連接對應(yīng)的所述滑塊。
所述第三、第四驅(qū)動組分別包括一電機(jī)，各所述電機(jī)的輸出端分別連接一齒
輪，各所述齒輪分別通過一傳送帶連接另一齒輪，各所述另一齒輪的輸出軸上分 別連接一絲杠，各所述絲杠上分別連接所述第四滑塊和第五滑塊。
所述第三滑塊為一 T型滑塊，所述第三導(dǎo)向裝置的兩光杠分別穿過所述T型 滑塊的兩翼耳；所述T型滑塊的主體部位垂向穿設(shè)所述定位柱，且所述T型滑塊 和定位柱分別設(shè)置一橫向孔，所述壓桿穿設(shè)過所述兩橫向孔。
所述壓緊部件為鎖緊氣缸、電磁閥、凸輪之一。
所述定位柱的底部具有壓盤，所述定位柱頂部與所述第四滑塊之間還可以設(shè) 置一光滑平板。
本發(fā)明由于采取以上技術(shù)方案，本發(fā)明具有以下優(yōu)點1、本發(fā)明在一光學(xué)平 臺上設(shè)置了上、下兩層導(dǎo)軌組，基本都包括驅(qū)動電機(jī)、傳動組件、導(dǎo)軌、滑塊， 下層導(dǎo)軌組為粗精度導(dǎo)軌組，實現(xiàn)載物臺在橫縱兩方向的快速粗移動，節(jié)省了運(yùn) 行時間；上層導(dǎo)軌組為高精度滑軌組，只需占據(jù)很小的空間、行走很短的行程， 就可在下層導(dǎo)軌組粗定位的基礎(chǔ)上，完成橫縱兩方向的精確微動，節(jié)省了成本。2、 本發(fā)明在粗、精導(dǎo)軌組之間設(shè)置定位柱連接，下層粗精度導(dǎo)軌組移動的同時，帶 動高精度導(dǎo)軌組一起移動，當(dāng)粗略位置找到后，粗精度導(dǎo)軌組停止運(yùn)動，由穿設(shè) 在定位柱中的壓桿將定位柱牢牢地壓緊在基座(光學(xué)平臺)上，實現(xiàn)高精度滑軌 組的粗略定位。3、由于在定位柱頂部通過平板支撐設(shè)置高精度導(dǎo)軌組，定位柱定 位后，高精度導(dǎo)軌組在微動電機(jī)的驅(qū)動下，在橫縱兩方向上微略移動，實現(xiàn)精確 定位。4、本發(fā)明由于采用定位柱定位和壓桿鎖緊的方式，使得定位柱壓緊牢固， 解決了被測物抖動的現(xiàn)象。5、本發(fā)明中的壓桿鎖緊方式可以采用氣動鎖緊，也可 以采用電磁吸附、凸輪壓緊等方式，方法多，形式不唯一。6、本發(fā)明中粗精度導(dǎo) 軌組采用兩個垂直驅(qū)動組，高精度導(dǎo)軌組采用兩個垂直驅(qū)動組，驅(qū)動連接的方式 也不唯一，可變性高。因此，此本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡單，是一種用于顯微觀察的自動 移動臺的革新。


圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)總示意圖
圖2是本發(fā)明粗精度導(dǎo)軌組的示意圖
圖3是本發(fā)明高精度導(dǎo)軌組的示意圖
圖4是圖3的俯視示意圖
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。
如圖l、圖2所示，本發(fā)明包括一機(jī)架l， 一設(shè)置在機(jī)架1上的光學(xué)平臺2，
光學(xué)平臺2的表面光滑平整，與觀察物鏡的視場平面平行。在光學(xué)平臺2上，設(shè) 置有上、下兩層導(dǎo)軌組，下層是粗精度導(dǎo)軌組，上層是高精度導(dǎo)軌組，兩層導(dǎo)軌 組都可以帶動載物臺3實現(xiàn)橫縱兩方向的移動。
下層粗精度導(dǎo)軌組以實現(xiàn)載物臺3的粗定位為目的，它包括在機(jī)架1上固定 設(shè)置的作為導(dǎo)向裝置的兩組平行的光杠組4，每一光杠組4中都包括上下平行設(shè)置 的兩根光杠。兩光杠組4上分別穿設(shè)第一滑塊5和第二滑塊5'。在第一滑塊5 (或 第二滑塊5')外側(cè)的機(jī)架1上設(shè)置有包括第一電機(jī)6和第一電機(jī)6帶動的一組傳 動裝置7在內(nèi)的第一驅(qū)動組，此第一驅(qū)動組帶動該側(cè)的第一滑塊5在光杠組4上 滑動。本實施例中的傳動裝置7包括兩帶輪71、 72，其中帶輪71固定在第一電機(jī) 6的輸出端，另一帶輪72固定在支撐光杠組4用的固定架上，兩帶輪71、 72之間 連接一傳送帶73，在傳送帶73上連接一連接板74，連接板74另一側(cè)連接第一滑 塊5，這樣，第一電機(jī)6就可以通過傳動裝置7帶動第一滑塊5在光杠組4上滑動， 進(jìn)行水平方向的前后移動。當(dāng)然，傳動裝置7還可以為一由第一電機(jī)6帶動的絲 杠，絲杠再穿接第一滑塊5，也可以使第一滑塊5在光杠組4上滑動。因此，這里 所述的第一驅(qū)動組的傳動方式并不唯一，能夠?qū)崿F(xiàn)所連接的滑塊在光杠組4上滑 動即可。
如圖2、圖3所示，在兩光杠組4之間設(shè)置一與兩光杠組4呈水平垂直的作為 第三導(dǎo)向裝置的第三光杠組，第三光杠組包括水平平行設(shè)置的兩光杠8，兩光杠8 分別穿過作為第三個滑塊的T型滑塊9的兩翼耳后，兩端分別固定連接到兩側(cè)光 杠組4的第一滑塊5和第二滑塊5'上。這樣當(dāng)?shù)谝浑姍C(jī)6帶動一側(cè)的第一滑塊5 前后移動時，就可以通過第三光杠組帶動另一側(cè)的第二滑塊5'同步前后運(yùn)動，同 時也帶動T型滑塊9同步運(yùn)動。在T型滑塊9的主體部位設(shè)置一水平橫向孔10和 一連通水平橫向孔10的垂向通孔， 一帶有水平通孔的定位柱11自上而下插入垂 向通孔內(nèi)，定位柱11的底部具有一壓盤12。 一壓桿13橫向穿過T型滑塊9的水 平橫向孔10和定位柱11的水平通孔，將二者穿設(shè)成一體。壓桿13兩端的上方分 別設(shè)置一連接在第一滑塊5和第二滑塊5'上的氣缸14，兩氣缸14的活塞可以頂 在壓桿13上。在T型滑塊9的外側(cè)設(shè)置有一與第一驅(qū)動組結(jié)構(gòu)相同或類似的第二 驅(qū)動組，這樣當(dāng)?shù)诙?qū)動組的第二電機(jī)15啟動時，就可以通過傳送帶16和連接 板17帶動T型滑塊9沿第三光杠組的方向滑動，進(jìn)行水平方向的左右移動。
一旦下層粗精度導(dǎo)軌組完成粗定位后，便可以啟動兩氣缸14，兩氣缸14的活 塞桿伸出向下壓緊壓桿13的兩端，通過壓桿13向下壓定位柱11，使定位柱11 底部的壓盤12緊緊地壓在光學(xué)平臺2上，不會再發(fā)生任何移動。
如圖3、圖4所示，上層高精度導(dǎo)軌組以實現(xiàn)載物臺3的精確定位為目的，包 括在定位柱11頂部固定設(shè)置一平板15，如果定位柱ll頂面足夠大，也可以不設(shè) 置平板15。以不設(shè)置平板15為例，在定位柱ll上，固定連接一第三電機(jī)16，第 三電機(jī)16通過兩齒輪17、 17，和一傳送帶18驅(qū)動一第一絲杠19，第一絲杠19 穿過固定在定位柱11上的支撐板20后，連接一第四滑塊21，第四滑塊21座設(shè)在 具有支撐導(dǎo)向作用的定位柱11上，當(dāng)?shù)谌姍C(jī)16啟動時，就可以驅(qū)使第四滑塊 21在定位柱11上滑動。第三電機(jī)16，兩齒輪17、 17，，傳送帶18和第一絲杠19 構(gòu)成第三驅(qū)動組，根據(jù)傳動原理，第三驅(qū)動組也可以設(shè)置為與第一或第二驅(qū)動組 類似的結(jié)構(gòu)，只要能滿足第四滑塊的滑動即可。
在第四滑塊21上，固定連接一第四電機(jī)22和一支撐板23，第四電機(jī)22的輸 出端通過兩齒輪24、 24'和一傳送帶25驅(qū)動一第二絲杠26，第二絲杠26穿過固 定在第四滑塊21上的支撐板23后，連接一第五滑塊27，第五滑塊27座設(shè)在第四 滑塊21的頂部，可以在其上滑動。第四電機(jī)22，兩齒輪24、 24，，傳送帶25和 第二絲杠26構(gòu)成第四驅(qū)動組，根據(jù)傳動原理，第四驅(qū)動組也可以設(shè)置為與前面驅(qū) 動組類似的結(jié)構(gòu)，只要能滿足第五滑塊27的滑動即可。在第五滑塊27上連接載 物臺3。第三驅(qū)動組和第四驅(qū)動組可以分別啟動或同時啟動，均可以帶動載物臺3 完成精確定位。
綜上所述，本發(fā)朋可以在下層粗精度導(dǎo)軌組的作用下，完成機(jī)構(gòu)的快速粗定 位，在上層高精度導(dǎo)軌組的作用下，完成機(jī)構(gòu)的微動精定位。
上述實施例中，壓桿13的壓緊方式除采用鎖緊氣缸14壓緊外，還可以采用 電磁吸附、凸輪壓緊等方式。
以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，凡對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改 或等同替換者，均不應(yīng)排除在本發(fā)明的保護(hù)范圍之外。
權(quán)利要求
1、一種顯微觀察移動臺，其特征在于它包括一機(jī)架和連接在所述機(jī)架上的光學(xué)平臺，在所述光學(xué)平臺上設(shè)置有粗精度導(dǎo)軌組，所述粗精度導(dǎo)軌組頂部設(shè)置有高精度導(dǎo)軌組和由高精度導(dǎo)軌組帶動的載物臺；所述粗精度導(dǎo)軌組包括平行滑設(shè)在第一、第二導(dǎo)向裝置上的第一、第二滑塊，一連接在所述第一、第二滑塊上且與所述第一、第二導(dǎo)向裝置水平垂直的第三導(dǎo)向裝置，所述第三導(dǎo)向裝置上滑設(shè)一第三滑塊，在所述機(jī)架上設(shè)置有驅(qū)動所述第一、第二滑塊的第一驅(qū)動組，在所述第一、第二滑塊上設(shè)置有驅(qū)動所述第三滑塊的第二驅(qū)動組；所述第三滑塊上垂向穿設(shè)一定位柱，與所述第三導(dǎo)向裝置平行設(shè)置一穿過所述第三滑塊和定位柱的壓桿，所述壓桿兩端的頂部分別設(shè)置一連接在所述第一、第二滑塊上的壓緊所述壓桿用的壓緊部件；所述高精度導(dǎo)軌組包括設(shè)置在具有支撐導(dǎo)向作用的所述定位柱頂部的第四滑塊，所述第四滑塊由設(shè)置在所述定位柱上的第三驅(qū)動組驅(qū)動，與所述第四滑塊的運(yùn)動方向呈水平垂直，在具有支撐導(dǎo)向作用的所述第四滑塊的頂部設(shè)置一第五滑塊，所述第五滑塊由設(shè)置在所述第四滑塊上的第四驅(qū)動組驅(qū)動，所述第五滑塊頂部連接所述載物臺。
2、 如權(quán)利要求l所述的一種顯微觀察移動臺，其特征在于所述第一、第二、 第三導(dǎo)向裝置分別包括一對平行設(shè)置的光杠，所述第一、第二、第三滑塊分別穿 設(shè)在對應(yīng)的一對所述光杠上。
3、 如權(quán)利要求l所述的一種顯微觀察移動臺，其特征在于所述第一、第二 驅(qū)動組分別包括一電機(jī)，各所述電機(jī)的輸出端分別連接一齒輪，各所述齒輪分別 通過一傳送帶連接另一齒輪，各所述傳送帶一側(cè)的帶體上分別連接對應(yīng)的所述滑 塊。
4、 如權(quán)利要求2所述的一種顯微觀察移動臺，其特征在于所述第一、第二 驅(qū)動組分別包括一電機(jī)，各所述電機(jī)的輸出端分別連接一齒輪，各所述齒輪分別 通過一傳送帶連接另一齒輪，各所述傳送帶一側(cè)的帶體上分別連接對應(yīng)的所述滑 塊。
5、 如權(quán)利要求1或2或3或4所述的一種顯微觀察移動臺，其特征在于所 述第三、第四驅(qū)動組分別包括一電機(jī)，各所述電機(jī)的輸出端分別連接一齒輪，各 所述齒輪分別通過一傳送帶連接另一齒輪，各所述另一齒輪的輸出軸上分別連接 一絲杠，各所述絲杠上分別連接所述第四滑塊和第五滑塊。
6、 如權(quán)利要求2或4所述的一種顯微觀察移動臺，其特征在于所述第三滑 塊為一 T型滑塊，所述第三導(dǎo)向裝置的兩光杠分別穿過所述T型滑塊的兩翼耳；所述T型滑塊的主體部位垂向穿設(shè)所述定位柱，且所述T型滑塊和定位柱分別設(shè)置一橫向孔，所述壓桿穿設(shè)過所述兩橫向孔。
7、 如權(quán)利要求1或2或3或4所述的一種顯微觀察移動臺，其特征在于所述壓緊部件為鎖緊氣缸、電磁閥、凸輪之一。
8、 如權(quán)利要求5所述的一種顯微觀察移動臺，其特征在于所述壓緊部件為鎖緊氣缸、電磁閥、凸輪之一。
9、 如權(quán)利要求6所述的一種顯微觀察移動臺，其特征在于所述壓緊部件為鎖緊氣缸、電磁閥、凸輪之一。
10、 如權(quán)利要求1 9所述的一種顯微觀察移動臺，其特征在于所述定位柱的底部具有壓盤，所述定位柱頂部與所述第四滑塊之間設(shè)置一光滑平板。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種顯微觀察移動臺，它包括機(jī)架和光學(xué)平臺，光學(xué)平臺上設(shè)置下層粗精度導(dǎo)軌組和上層高精度導(dǎo)軌組，粗精度導(dǎo)軌組包括平行滑設(shè)在第一、第二導(dǎo)向裝置上的第一、第二滑塊，連接在第一、第二滑塊上且與第一、第二導(dǎo)向裝置水平垂直的第三導(dǎo)向裝置，第三導(dǎo)向裝置上滑設(shè)第三滑塊，第三滑塊上垂向穿設(shè)一定位柱，一壓桿與第三導(dǎo)向裝置平行穿過第三滑塊和定位柱，壓桿兩端的頂部分別設(shè)置一壓緊部件；高精度導(dǎo)軌組包括設(shè)置在定位柱頂部的第四滑塊，第四滑塊頂部設(shè)置一運(yùn)動方向與其垂直的第五滑塊，第五滑塊頂部連接載物臺。本發(fā)明在粗精度導(dǎo)軌組作用下實現(xiàn)載物臺快速粗定位，在高精度滑軌組作用下實現(xiàn)載物臺精確定位，定位準(zhǔn)確，節(jié)省成本。
文檔編號G02B21/24GK101382649SQ200810224699
公開日2009年3月11日 申請日期2008年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月24日
發(fā)明者姚廣軍, 徐偉新, 陳百捷 申請人:陳百捷