專利名稱：一種陣列基板檢測電路及檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及陣列基板的電路檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及陣列基板上顯示面板的檢測
電路及檢測方法。
背景技術(shù)：
陣列基板上顯示面板外圍電路的設(shè)計(jì)主要考慮兩個(gè)因素。 一個(gè)因素是陣列基板上 顯示面板(Panel)的陣列排布；另一個(gè)是顯示面板的測試工藝對各個(gè)顯示面板的檢測。
目前，大約半數(shù)以上的TFT-LCD (薄膜晶體管液晶顯示器)制造廠家采用向陣列基 板上的顯示面板獨(dú)立地施加檢測信號來實(shí)現(xiàn)對顯示面板的檢測。 在實(shí)現(xiàn)所述檢測的過程中，一方面，所述陣列基板上顯示面板的檢測個(gè)數(shù)受到檢 測設(shè)備的信號傳輸通道個(gè)數(shù)的影響；具體的講就是所述陣列基板上每一個(gè)顯示面板需要一 個(gè)檢測設(shè)備的信號傳輸通道為其輸入檢測信號。這樣在檢測設(shè)備的信號傳輸通道較少的情 況下，能夠檢測的顯示面板的個(gè)數(shù)也相對較少。例如G5代線(TFT-LCD第5代產(chǎn)線)的檢 測設(shè)備一般為16個(gè)信號傳輸通道，即最多檢測16個(gè)顯示面板。另一方面，顯示面板的檢測 方法通常分兩個(gè)步驟首先需要對所有顯示面板進(jìn)行短路電流檢測，即短路性檢測；其次， 根據(jù)顯示面板的短路情況進(jìn)行檢測頭檢測。 其中，所述的短路電流檢測，是通過檢測設(shè)備的信號傳輸通道向所有顯示面板施 加檢測信號，從而判斷出現(xiàn)短路性不良的顯示面板；所述的檢測頭檢測，是通過對進(jìn)行短路 電流檢測后所確定的出現(xiàn)短路性不良的顯示面板施加專門檢測短路性不良的檢測信號，對 沒有出現(xiàn)短路性不良的顯示面板施加正常檢測信號。 現(xiàn)有技術(shù)中，為了提高檢測設(shè)備的檢測效率常常將多個(gè)顯示面板并聯(lián)連接進(jìn)行檢 測，如圖l所示，陣列基板上至少兩個(gè)顯示面板中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電 連接，并引出有檢測引腳。下面以對陣列基板上的兩個(gè)顯示面板a與b的檢測電路為例進(jìn) 行具體說明； 在陣列基板上，顯示面板a與顯示面板b中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián) 電連接，即柵極信號線相互并聯(lián)電連接并通過柵極信號線檢測引腳al引出；偶數(shù)數(shù)據(jù)信號 線相互并聯(lián)電連接并通過偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線檢測引腳a2引出；奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電 連接并通過奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線檢測引腳a3引出；公共電極信號線相互并聯(lián)電連接并通過公 共電極信號線檢測引腳a4引出。 在檢測上述顯示面板a與b時(shí)，對所述顯示面板a與顯示面板b施加檢測信號；即 同時(shí)給所述檢測引腳al， a2， a3， a4施加檢測信號；對所述并聯(lián)電連接的顯示面板a與顯示 面板b進(jìn)行短路性不良檢測，得到檢測結(jié)果。如果所述的至少兩個(gè)顯示面板為陣列基板上 某列或者某行顯示面板，則在進(jìn)行短路性不良檢測時(shí)，只能檢測出現(xiàn)短路性不良的某行或 者某列，無法準(zhǔn)確的確定出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的一個(gè)技術(shù)問題在于提供了一種陣列基板檢測電路，既能夠?qū)﹃?br> 列基板上的多個(gè)顯示面板同時(shí)進(jìn)行檢測，又能準(zhǔn)確定位出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。 為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明陣列基板檢測電路采用的技術(shù)方案為 陣列基板上各顯示面板列中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到列信
號線上，并引出有列檢測引腳； 陣列基板上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到行信號線上，并引出有行檢測引腳； 陣列基板上相鄰的顯示面板列之間設(shè)有列控制信號線，所述列控制信號線與所述行信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了列開關(guān)節(jié)點(diǎn)； 陣列基板上相鄰的顯示面板行之間設(shè)有行控制信號線，所述行控制信號線與所述列信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了行開關(guān)節(jié)點(diǎn)。 本發(fā)明實(shí)施例提供的一種陣列基板檢測電路，通過陣列基板上各顯示面板列中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到列信號線上，并引出有列檢測引腳與陣列基板上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到行信號線上，并引出有行檢測引腳，使得在對所述的陣列基板進(jìn)行短路性不良檢測時(shí)，可以同時(shí)對所述的陣列基板上個(gè)顯示面板列或者顯示面板行進(jìn)行檢測，從而檢測顯示面板的數(shù)量增加，提高了檢測設(shè)備的檢測效率；又由于在所述的陣列基板上相鄰的顯示面板列之間設(shè)有列控制信號線，所述列控制信號線與所述行信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了列開關(guān)節(jié)點(diǎn)，以及在陣列基板上相鄰的顯示面板行之間設(shè)有行控制信號線，所述行控制信號線與所述列信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了行開關(guān)節(jié)點(diǎn)，通過控制列開關(guān)節(jié)點(diǎn)與行開關(guān)節(jié)點(diǎn)的導(dǎo)通與斷開，能夠分別對各顯示面板列和各顯示面板行進(jìn)行短路性不良檢測，根據(jù)檢測結(jié)果，通過顯示面板列和顯示面板行之間的交叉定位，能夠準(zhǔn)確定位出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。 本發(fā)明所要解決的一個(gè)技術(shù)問題在于提供了一種陣列基板檢測方法，既能夠?qū)﹃?br> 列基板上的多個(gè)顯示面板同時(shí)進(jìn)行檢測，又能準(zhǔn)確定位出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。 為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明陣列基板檢測方法采用的技術(shù)方案為 對陣列基板上各顯示面板列同時(shí)施加檢測信號，進(jìn)行短路性不良檢測，得到列檢
測結(jié)果，其中，陣列基板上各顯示面板列中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到
列信號線上； 對陣列基板上各顯示面板行同時(shí)施加檢測信號，進(jìn)行短路性不良檢測，得到行檢測結(jié)果，其中，陣列基板上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到行信號線上； 根據(jù)所述列檢測結(jié)果與所述行檢測結(jié)果，確定所述陣列基板上出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。 本發(fā)明實(shí)施例提供的一種陣列基板檢測方法，通過陣列基板上各顯示面板列中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到列信號線上，并引出有列檢測引腳與陣列基板上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到行信號線上，并引出有行檢測引腳，使得在對所述的陣列基板進(jìn)行短路性不良檢測時(shí)，可以同時(shí)對所述的陣列基板上個(gè)顯示面板列或者顯示面板行進(jìn)行檢測，從而檢測顯示面板的數(shù)量增加，提高了檢測設(shè)
5備的檢測效率；又由于在所述的陣列基板上相鄰的顯示面板列之間設(shè)有列控制信號線，所 述列控制信號線與所述行信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了列開關(guān)節(jié)點(diǎn)，以及在陣列基板上相鄰的顯 示面板行之間設(shè)有行控制信號線，所述行控制信號線與所述列信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了行開 關(guān)節(jié)點(diǎn)，通過控制列開關(guān)節(jié)點(diǎn)與行開關(guān)節(jié)點(diǎn)的導(dǎo)通與斷開，能夠分別對各顯示面板列和各 顯示面板行進(jìn)行短路性不良檢測，根據(jù)檢測結(jié)果，通過顯示面板列和顯示面板行之間的交 叉定位，能夠準(zhǔn)確定位出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中陣列基板中兩個(gè)并聯(lián)顯示面板的檢測電路排布圖 圖2為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的陣列基板檢測電路排布圖3a為圖2所示的本發(fā)明實(shí)施例中開關(guān)節(jié)點(diǎn)A的構(gòu)造示意圖3b為圖3a所示的開關(guān)節(jié)點(diǎn)A的制造工藝流程圖4a為圖2所示的本發(fā)明實(shí)施例中節(jié)點(diǎn)B的構(gòu)造示意圖4b為圖4a所示的節(jié)點(diǎn)B的制造工藝流程圖5a為圖2所示的本發(fā)明實(shí)施例中開關(guān)節(jié)點(diǎn)C的構(gòu)造示意圖5b為圖5a所示的開關(guān)節(jié)點(diǎn)C的制造工藝流程圖6為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的陣列基板檢測方法流程圖。
附圖標(biāo)號說明
al柵極信號線檢測引腳； a3奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線檢測引腳； 1第一柵極信號線列檢測引腳； l"第三柵極信號線列檢測引腳； 2'第二偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引 3第一奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引月 3"第三奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引 4'第二公共電極信號線列檢測引 5第一奇數(shù)數(shù)據(jù)線信號行檢測引月 5 "第三奇數(shù)數(shù)據(jù)線信號行檢測弓I 6'第二偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線行檢測引 7第一公共電極信號線行檢測引月 7 "第三公共電極信號線行檢測弓I 8'第二柵線極信號線行檢測引腳
a2偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線檢測引腳； a4公共電極信號線檢測引腳； 1'第二柵極信號線列檢測引腳； 2第一偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引腳 2"第三偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引月 3'第二奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引 4第一公共電極信號線列檢測引腳 4"第三公共電極信號線列檢測引月 5'第二奇數(shù)數(shù)據(jù)線信號行檢測引 6第一偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線行檢測引腳 6"第三偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線行檢測引月
9列控制信號線一； 10'行控制信號線二 A為第一類型節(jié)點(diǎn)； B為第三類型節(jié)點(diǎn) C為第二類型節(jié)點(diǎn)； 20控制信號線； 24摻雜半導(dǎo)體層；
9'列控制信號線二 ;
7'第二公共電極信號線行檢效 8第一柵線極信號線行檢測引崩 8"第三柵線極信號線行檢測引 10行控制信號線一 ;
l引
21柵電極 25源電極
22 !
26漏電極;
23半導(dǎo)體層 27鈍化層；
6
28第一接觸過孔；29第二接觸過孔；30連接電極；31玻璃基板；
40信號線； 41斷開線； 42連續(xù)線；43導(dǎo)電層； 44第三接觸過孔；45第四接觸過孔
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明實(shí)施例提供的陣列基板檢測電路及檢測方法進(jìn)行詳細(xì)描述。 本發(fā)明實(shí)施例提供的一種陣列基板檢測電路，包括 陣列基板上各顯示面板列中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到列信號線上，并引出有列檢測引腳；陣列基板上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到行信號線上，并引出有行檢測引腳；陣列基板上相鄰的顯示面板列之間設(shè)有列控制信號線，所述列控制信號線與所述行信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了列開關(guān)節(jié)點(diǎn)；陣列基板上相鄰的顯示面板行之間設(shè)有行控制信號線，所述行控制信號線與所述列信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了行開關(guān)節(jié)點(diǎn)。 本發(fā)明實(shí)施例提供的一種陣列基板檢測電路，通過陣列基板上各顯示面板列中類
型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到列信號線上，并引出有列檢測引腳與陣列基板
上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接行信號線上，并引出有行檢
測引腳，使得在對所述的陣列基板進(jìn)行短路性不良檢測時(shí)，可以同時(shí)對所述的陣列基板上
個(gè)顯示面板列或者顯示面板行進(jìn)行檢測，從而檢測顯示面板的數(shù)量增加，提高了檢測設(shè)備
的檢測效率；又由于在所述的陣列基板上相鄰的顯示面板列之間設(shè)有列控制信號線，所述
列控制信號線與所述行信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了列開關(guān)節(jié)點(diǎn)，以及在陣列基板上相鄰的顯示
面板行之間設(shè)有行控制信號線，所述行控制信號線與所述列信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了行開關(guān)
節(jié)點(diǎn)，通過控制列開關(guān)節(jié)點(diǎn)與行開關(guān)節(jié)點(diǎn)的導(dǎo)通與斷開，能夠分別對各顯示面板列和各顯
示面板行進(jìn)行短路性不良檢測，根據(jù)檢測結(jié)果，通過顯示面板列和顯示面板行之間的交叉
定位，能夠準(zhǔn)確定位出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。 下面以9塊顯示面板組成的陣列基板為例進(jìn)行詳細(xì)說明。 如圖2所示，該陣列基板上從以三行三列的矩陣形式排布有9塊顯示面板為第一顯示面板行a、d、g ;第二顯示面板行b、e、h ;第三顯示面板行c、f、 j。其中，所述的a、b、c為第一顯示面板列；所述的d、e、f為第二顯示面板列；所述的g、h、 j為第三顯示面板列。
以上所述陣列基板上的顯示面板列中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到列信號線上，并引出有列檢測引腳；即在第一顯示面板列中，列柵極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第一柵極信號線列檢測引腳1引出，列偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連接并通過第一偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引腳2引出，列奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連接并通過第一奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引腳3引出，列公共電極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第一公共電極信號線列檢測引腳4引出；在第二顯示面板列中，列柵極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第
二柵極信號線列檢測引腳1'引出，列偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連接并通過第二偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引腳2'引出，列奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連接并通過第二奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引腳3'引出，列公共電極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第二公共電極信號線列檢測引腳4'引出；第三顯示面板列中，列柵極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第三柵極信號線列檢測引腳1 "引出，列偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連接并通過第三偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引 腳2"引出，列奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連接并通過第三奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線列檢測引腳3" 引出，列公共電極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第三公共電極信號線列檢測引腳4"引出。
以上所述陣列基板上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連 接到行信號線上，并引出有行檢測引腳；即在第一行顯示面板中，行奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并 聯(lián)電連接并通過第一奇數(shù)數(shù)據(jù)線信號行檢測引腳5引出，行偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連 接并通過第一偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線行檢測引腳6引出，行公共電極信號線相互并聯(lián)電連接并通 過第一公共電極信號線行檢測引腳7引出，行柵極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第一柵線 極信號線行檢測引腳8引出；在第二行顯示面板中，行奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連接并 通過第二奇數(shù)數(shù)據(jù)線信號行檢測引腳5'引出，行偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連接并通過第 二偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線行檢測引腳6'引出，行公共電極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第二公共 電極信號線行檢測引腳7'引出，行柵極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第二柵線極信號線行 檢測引腳8'引出；在第三行顯示面板中，行奇數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連接并通過第三奇 數(shù)數(shù)據(jù)線信號行檢測引腳5"引出，行偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線相互并聯(lián)電連接并通過第三偶數(shù)數(shù)據(jù) 信號線行檢測引腳6"引出，行公共電極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第三公共電極信號 線行檢測引腳7"引出，行柵極信號線相互并聯(lián)電連接并通過第三柵線極信號線行檢測引腳 8"引出。 所述陣列基板上相鄰的顯示面板列之間設(shè)有列控制信號線，所述列控制信號線與 所述行信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了列開關(guān)節(jié)點(diǎn)；即在第一顯示面板列與第二顯示面板列之間的 行偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線與列控制信號線一 9的交點(diǎn)處設(shè)置了第一類型的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)A ;行奇數(shù) 數(shù)據(jù)信號線與列控制信號線一 9的交點(diǎn)處設(shè)置了第一類型的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)A ;行柵極信號線 與列控制信號線一 9的交點(diǎn)處設(shè)置了第二類型的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)C ;行公共電極信號線與列控
制信號線一 9的交點(diǎn)處設(shè)置了第二類型的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)C ;以上所述的第一顯示面板列與第 二顯示面板列之間的列控制信號線一9控制所述的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)導(dǎo)通與斷開；其中，上述提
到的第二顯示面板列與第三顯示面板列之間的列控制信號線二 9'與列控制信號線一 9功
能相同，此處不再贅述。 所述陣列基板上相鄰的顯示面板行之間設(shè)有行控制信號線，所述行控制信號線與 所述列信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了行開關(guān)節(jié)點(diǎn)；即在第一顯示面板行與第二顯示面板行之間列 偶數(shù)數(shù)據(jù)信號線與行控制信號線一 10的交點(diǎn)處設(shè)置了第一類型的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)A ;列奇數(shù)數(shù)
據(jù)信號線與行控制信號線一 10的交點(diǎn)處設(shè)置了第一類型的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)A ;列柵極信號線與 行控制信號線一 10的交點(diǎn)處設(shè)置了第二類型的行開關(guān)節(jié)點(diǎn)C ;列公共電極信號線與行控制 信號線一 10的交點(diǎn)處設(shè)置了第二類型的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)C ;以上所述的第一顯示面板行與第二 顯示面板行之間的行控制信號線一 IO控制所述的行開關(guān)節(jié)點(diǎn)導(dǎo)通與斷開；其中，上述提到
的第二顯示面板行與第三顯示面板行之間的行控制信號線二 10'與行控制信號線一 10的 功能相同，此處不再贅述。其中，所述第一類型開關(guān)節(jié)點(diǎn)A和第二類型開關(guān)節(jié)點(diǎn)C為薄膜晶 體管，但并不限于薄膜晶體管。所述的第一類型的開關(guān)節(jié)點(diǎn)A如圖中的符號"令"所示，所 述的第二類型的開關(guān)節(jié)點(diǎn)C如圖中的符號"A"所示。 在所述陣列基板上，所述柵極信號線與公共電極信號線交點(diǎn)處或所述列控制信號 線與行控制信號線交點(diǎn)處設(shè)置有起交叉隔離作用的第三類型節(jié)點(diǎn)B，如圖中符號'""所示。該交叉隔離節(jié)點(diǎn)B傳輸同層的不同信號，并且所述的同層的不同信號傳輸經(jīng)過節(jié)點(diǎn)B時(shí)，互 不干擾。 其中，以上所述的行檢領(lǐng)U引腳或者列檢領(lǐng)U引腳用于與檢領(lǐng)股備的信號傳輸通道相連。
需要注意的是，所述的檢測設(shè)備給陣列基板施加檢測信號是通過檢測設(shè)備其自身 的一個(gè)個(gè)信號傳輸通道來傳輸?shù)摹Ｃ總€(gè)傳輸通道可以對應(yīng)如圖2所示的一行或者一列顯 示面板。本發(fā)明實(shí)施例中一個(gè)信號傳輸通道能夠?yàn)橐涣谢蛘咭恍酗@示面板施加檢測信號， 這樣就增加了檢測設(shè)備檢測顯示面板的個(gè)數(shù)。由于檢測設(shè)備的檢測信號傳輸通道的個(gè)數(shù)有 限，就使得以上所述的顯示面板的橫向排布個(gè)數(shù)與縱向排布個(gè)數(shù)之和不大于檢測設(shè)備的檢 測信號傳輸通道的個(gè)數(shù)。 應(yīng)當(dāng)理解的是，以上所述的顯示面板行與顯示面板列，為廣義上的顯示面板行與 顯示面板列，既包括陣列基板上呈矩陣排布的顯示面板的矩陣行和矩陣列，也包括陣列基 板上呈矩陣排布的顯示面板對角相連形成的顯示面板行與顯示面板列，其中，在后一種情 況下，顯示面板行與顯示面板列可以相互垂直，也可以不相互垂直。 還需要注意的是，所述的開關(guān)節(jié)點(diǎn)A、 C的構(gòu)造，如圖3a、圖5a所示，能夠采用 TFT(薄膜晶體管)實(shí)現(xiàn)對電路開斷的控制，類似于常見的像素TFT設(shè)計(jì)或短路環(huán)(Short Ring)設(shè)計(jì)。所述的TFT器件包括柵電極21、柵絕緣層22、半導(dǎo)體層23、摻雜半導(dǎo)體層24、 源電極(Source) 25、漏電極(Drain) 26、鈍化層27、第一接觸過孔28、第二接觸過孔29、連接 電極30。 所述開關(guān)節(jié)點(diǎn)A的制作流程如圖3b所示，各層的構(gòu)圖和顯示面板區(qū)域各層的構(gòu)圖 是同步的，只是圖形有所不同。其具體的實(shí)現(xiàn)流程為 在玻璃基板31上先沉積第一金屬薄膜，經(jīng)過曝光、刻蝕等構(gòu)圖工藝形成柵電極21 的圖形，柵電極21是控制信號線20上的一部分。然后沉積柵絕緣層22和半導(dǎo)體層23、摻 雜半導(dǎo)體層24，經(jīng)過曝光、刻蝕等構(gòu)圖工藝形成有源層圖形；接著進(jìn)行沉積第二金屬薄膜， 經(jīng)過曝光、刻蝕等構(gòu)圖工藝，形成包括源電極25和漏電極26的圖形。所述有源層圖形、源電 極25、漏電極26的圖形也可以在一次構(gòu)圖工藝中形成，是本領(lǐng)域技術(shù)人員都熟悉的工藝， 在此不再贅述。然后沉積鈍化層27，形成鈍化層。 下面結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例說明開關(guān)節(jié)點(diǎn)A的作用，如圖3a， 3b所示，給控制信號線20 施加控制節(jié)點(diǎn)導(dǎo)通的控制信號，即柵電極21通有導(dǎo)通信號，源電極25和漏電極26導(dǎo)通，那 么圖3a中的信號線40就導(dǎo)通了。對應(yīng)到圖2中，如果從列控制信號線一 9的輸入端施加 導(dǎo)通控制信號，同時(shí)從行檢測引腳5和6施加檢測信號，那么列控制信號線一 9和與行檢測 引腳5、6相連的電連接線的交點(diǎn)對應(yīng)的開關(guān)節(jié)點(diǎn)A都處于導(dǎo)通狀態(tài)，行檢測引腳5和6上 施加的檢測信號就可以傳輸?shù)綑M向并聯(lián)的顯示面板d ;反之，如果列信號控制線一 9沒有信 號或者施加的信號未達(dá)到導(dǎo)通閾值，行檢測引腳5和6就無法將信號傳輸?shù)綄?yīng)的橫向并 聯(lián)的顯示面板d。從而實(shí)現(xiàn)了列控制信號線一 9對所述顯示面板a與所述顯示面板d之間 檢測信號通斷的控制。 所述的開關(guān)節(jié)點(diǎn)C的制作流程如圖5b所示，各層的構(gòu)圖和顯示面板區(qū)域各層的構(gòu) 圖是同步的，只是圖形有所不同。具體實(shí)現(xiàn)流程如下 在玻璃基板31上先沉積第一金屬薄膜，經(jīng)過曝光、刻蝕等構(gòu)圖工藝形成柵電極21 的圖形，柵電極21是控制信號線20上的一部分，還形成了信號線40的圖形。然后沉積柵
9絕緣層22和半導(dǎo)體層23、摻雜半導(dǎo)體層24，經(jīng)過曝光、刻蝕等構(gòu)圖工藝形成有源層圖形；接 著進(jìn)行沉積第二金屬薄膜，經(jīng)過曝光、刻蝕等構(gòu)圖工藝，形成包括信號線40、源電極25和漏 極26的圖形。當(dāng)然有源層圖形、源電極25、漏電極26的圖形也可以在一次構(gòu)圖工藝中形 成，是本領(lǐng)域技術(shù)人員都熟悉的工藝，在此不再贅述。然后沉積鈍化層27，形成鈍化層。然 后進(jìn)行過孔構(gòu)圖工藝，形成第一接觸過孔28和第二接觸過孔29;最后，沉積第三金屬薄膜， 材料同面板顯示區(qū)域像素電極的材料氧化銦錫(ITO)，經(jīng)過曝光、刻蝕等構(gòu)圖工藝后形成了 連接電極30的圖形。將第一接觸過孔28和第二接觸過孔29進(jìn)行連接，信號線40分別與 源電極25和漏電極26相連，形成最終的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)。如果節(jié)點(diǎn)開啟，信號線40導(dǎo)通。
下面結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例說明開關(guān)節(jié)點(diǎn)C的作用，如圖5a和圖5b所示，給控制信號 線20施加控制節(jié)點(diǎn)導(dǎo)通的控制信號，即柵電極21有信號，源電極25和漏電極26導(dǎo)通，又 因?yàn)樵措姌O25和信號線40連接，漏電極26和信號線40連接，那么信號線40就導(dǎo)通了 。 對應(yīng)到圖2中，如果從行控制信號線一 10的輸入端施加導(dǎo)通控制信號，同時(shí)從列檢測引腳 1和4的輸入端施加檢測信號，那么行控制信號線一 10與所述列檢測引腳1、4電連接線的 交點(diǎn)處對應(yīng)的開關(guān)節(jié)點(diǎn)C都處于導(dǎo)通狀態(tài)，列檢測引腳1和4上傳輸信號可以傳輸?shù)綄?yīng) 的縱向并聯(lián)的顯示面板b上。反之，如果行控制信號線一 10沒有施加信號或者施加的信號 無法導(dǎo)通節(jié)點(diǎn)，顯示面板a與顯示面板b之間不導(dǎo)通。從而實(shí)現(xiàn)了行控制信號線一 10對顯 示面板a與顯示面板b之間通斷的控制。 所述的交叉隔離節(jié)點(diǎn)B的構(gòu)造圖如圖4a所示，是為了同層設(shè)置且膜層材料相同但
對應(yīng)信號不同的線相交時(shí)使用的，目的是為了防止信號串?dāng)_，必須隔離開，不能直接重疊。 比如圖2中列檢測引腳1和行檢測引腳7的電連接線交叉處，列控制信號線一 9和行控制信 號線一 10的電連接線交叉處，列檢測引腳4和行檢測引腳8之間的交點(diǎn)處都設(shè)置有所述的 交叉隔離節(jié)點(diǎn)B，這樣的線相交時(shí)，有一條線是斷開的，然后通過設(shè)置隔離的膜層最后經(jīng)過 連接電極連接起來。圖4a所示，41為斷開線，42為連續(xù)線，41經(jīng)過本發(fā)明設(shè)計(jì)的節(jié)點(diǎn)連接 后，和連續(xù)線42隔離。各層的構(gòu)圖和顯示面板區(qū)域各層的構(gòu)圖是同步的，只是圖形有所不 同。也就是說各層用到了什么材料，就和顯示面板區(qū)域中對應(yīng)的相同材料一起沉積、構(gòu)圖。
如圖4b所示，交叉隔離節(jié)點(diǎn)B的具體實(shí)現(xiàn)流程如下 在玻璃基板31上先沉積第一金屬薄膜，材料和顯示區(qū)域的柵線相同，經(jīng)過曝光、 刻蝕等構(gòu)圖工藝形成包括斷開線41和連續(xù)線42的圖形。然后沉積柵絕緣層22和第二金 屬薄膜，經(jīng)過曝光、刻蝕等構(gòu)圖工藝形成導(dǎo)電層43的圖形，導(dǎo)電層43的材料和上述提到的 源極漏極的材料一樣；然后沉積鈍化層27，形成鈍化層。然后進(jìn)行過孔構(gòu)圖工藝，形成第三 接觸過孔44和第四接觸過孔45 ;最后，沉積第三金屬薄膜，材料同面板顯示區(qū)域像素電極 的材料氧化銦錫(ITO)，經(jīng)過曝光、刻蝕等構(gòu)圖工藝后形成了連接電極30的圖形。將第三接 觸過孔44和第四接觸過孔45進(jìn)行連接，也就是說對斷開線41進(jìn)行了連接，形成最終的設(shè) 計(jì)結(jié)構(gòu)。 下面結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例說明交叉隔離節(jié)點(diǎn)B的作用，如圖4a和圖4b所示，斷開線 41為圖2中所示的行檢測引腳7、7'、7"連接的行公共電極信號線；連續(xù)線42為圖2中列 檢測引腳1、1'、1"連接的列柵極信號線；以圖2中的行檢測引腳7連接的行公共電極信號 線與列檢測引腳1連接的列柵極信號線的交叉點(diǎn)處對應(yīng)的交叉隔離節(jié)點(diǎn)B為例所述的行 檢測引腳7與列檢測引腳1通過交叉隔離節(jié)點(diǎn)B分別導(dǎo)通，從而使得所述行檢測引腳7與列檢測引腳1中的檢測信號可以分別通過節(jié)點(diǎn)B傳遞給其他的顯示面板；正是由于所述的
行檢測引腳7連接的行公共電極信號線和列檢測引腳1連接的列柵極信號線的交叉節(jié)點(diǎn)處
存在柵絕緣層22所以所述的交叉隔離節(jié)點(diǎn)B可以對兩路檢測信號進(jìn)行隔離傳輸，從而使得
所述兩路檢測信號可以同時(shí)通不同的信號，但不會發(fā)生串?dāng)_。當(dāng)然圖2中還有一些同層設(shè)
置且傳輸相同信號的信號線相交，其結(jié)構(gòu)和交叉隔離節(jié)點(diǎn)B類似，在此不在贅述。 如圖6所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的一種陣列基板檢測方法，包括 601 :對陣列基板上各顯示面板列同時(shí)施加檢測信號，進(jìn)行短路性不良檢測，得到
列檢測結(jié)果，其中，陣列基板上各顯示面板列中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連
接到列信號線上。 進(jìn)一步地，該步驟包括通過列檢測引腳對陣列基板上各顯示面板列同時(shí)施加檢
測信號，同時(shí)通過列控制信號線控制列開關(guān)節(jié)點(diǎn)關(guān)斷，從而控制行信號線的關(guān)斷，通過行控
制信號線控制行開關(guān)節(jié)點(diǎn)導(dǎo)通，從而控制列信號線的導(dǎo)通，得到列檢測結(jié)果。
602 :對陣列基板上各顯示面板行同時(shí)施加檢測信號，進(jìn)行短路性不良檢測，得到
行檢測結(jié)果，其中，陣列基板上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連
接到行信號線上。
進(jìn)一步地，該步驟包括通過行檢測引腳對陣列基板上各顯示面板行同時(shí)施加檢
測信號，同時(shí)通過行控制信號線控制行開關(guān)節(jié)點(diǎn)關(guān)斷，從而控制列信號線的關(guān)斷，通過列控
制信號線控制列開關(guān)節(jié)點(diǎn)導(dǎo)通，從而控制行信號線的導(dǎo)通，得到行檢測結(jié)果。 603:根據(jù)所述列檢測結(jié)果與所述行檢測結(jié)果，確定所述陣列基板上出現(xiàn)短路性不
良的顯示面板。 進(jìn)一步地，該步驟具體為根據(jù)所述列檢測結(jié)果所確定的出現(xiàn)短路性不良的顯示 面板列，與所述行檢測結(jié)果所確定的出現(xiàn)短路性不良的顯示面板行進(jìn)行十字交叉定位，確 定所述陣列基板上出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。
為了更加清楚的闡述本發(fā)明，以下通過具體的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。 如圖2所示的陣列基板由9塊顯示面板組成，在對顯示面板進(jìn)行檢測時(shí)，陣列基板
檢測(Array Test)設(shè)備的檢測分為兩個(gè)步驟 步驟一、短路檢測； 檢測設(shè)備通過各個(gè)信號傳輸通道，向顯示面板的外圍檢測引腳施加檢測信號，所 述檢測引腳將所述檢測信號傳遞到其所對應(yīng)的顯示面板中。如果所述的顯示面板有短路性 不良，則檢測設(shè)備會記錄該顯示面板，并發(fā)出報(bào)警信號。以上所述的短路檢測具體在本發(fā)明 實(shí)施例中需要進(jìn)行兩次短路檢測，從而可以精確定位出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。本實(shí)施 例中具體的短路檢測過程為(l)第一次短路檢測。向如圖2中指示的1、2、3、4與l'、2'、 3'、4'與l"、2"、3"、4"的列檢測引腳分別加入檢測信號，此時(shí)，3列顯示面板都加入了短路 檢測信號。同時(shí)向列控制信號線一 9和列控制信號線二 9'輸入控制信號，使列控制信號線 一 9和列控制信號線二 9'上的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)斷開；向行控制信號線一 10和行控制信號線二 10'輸入控制信號，行控制信號線一 IO和行控制信號線二 10'上的行開關(guān)節(jié)點(diǎn)導(dǎo)通，從而使 得顯示面板列與列之間相互斷開；在第一次短路檢測中，如果顯示面板b有短路性不良，那 么第一次短路檢測的結(jié)果是第一顯示面板列a、 b、 c都報(bào)警，并記錄該列短路性不良；
(2)第二次短路檢測。如圖2中指示的5、6、7、8與5'、6'、7'、8'與5"、6"、7"、8"
11的行檢測引腳分別加入檢測信號，此時(shí)，3行顯示面板都加入了短路檢測信號。同時(shí)向列控 制信號線一 9號和列控制信號線二 9'輸入控制信號，使列控制信號線一 9和列控制信號線 二9'上的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)導(dǎo)通；向行控制信號線一 IO和行控制信號線二 10'輸入控制信號， 行控制信號線一 10和行控制信號線二 10'上的行開關(guān)節(jié)點(diǎn)斷開，從而使得顯示面板行與行 之間相互斷開；檢測結(jié)果是第二顯示面板行b，e，h報(bào)警，并記錄該行短路行不良。這樣以 來，根據(jù)列和行兩次短路檢測的結(jié)果，就交叉定位了真正發(fā)生短路性不良的顯示面板b。
步驟二、檢測頭檢測 檢測頭檢測是指檢測設(shè)備分別對所有顯示面板進(jìn)行電場性檢測。檢測設(shè)備會根 據(jù)先前記錄的有短路性不良的顯示面板設(shè)備進(jìn)行分類檢測；對記錄有短路性不良的顯示面 板，檢測設(shè)備會自動選擇特殊的短路性檢測信號對其進(jìn)行電場性檢測。所述的短路性檢測 信號，是針對短路性不良顯示面板特別設(shè)計(jì)的。 本實(shí)施例中，在步驟一中確定的出現(xiàn)短路性不良的顯示面板后，將進(jìn)一步進(jìn)行檢 測頭的電場檢測的路徑設(shè)定為a- > b- > c- > f- > e- > d- > g- > h- > j。當(dāng)檢測頭 運(yùn)動在第一顯示面板列a上時(shí)，列檢測引腳1，2，3，4所對應(yīng)的信號傳輸通道選擇正常普通 的檢測信號，當(dāng)檢測頭運(yùn)動到第一顯示面板列b上時(shí)，列檢測引腳1， 2， 3， 4所對應(yīng)的信號傳 輸通道選擇短路性檢測信號，當(dāng)檢測頭運(yùn)動到第一顯示面板列c上時(shí)，列檢測引腳1，2，3，4 所對應(yīng)的信號通道選擇正常檢測信號；也就是在進(jìn)行檢測頭的電場檢測時(shí)，對出現(xiàn)短路性 不良的顯示面板選擇短路性檢測信號，其余正常的顯示面板選擇正常檢測信號。
這樣就通過列和行即縱橫兩次短路檢測，實(shí)現(xiàn)了利用有限的檢測設(shè)備的信號傳輸 通道，去檢測更多的顯示面板的目的；同時(shí)，在有短路性不良發(fā)生的情況下，通過橫縱兩次 短路檢測可以準(zhǔn)確定位發(fā)生短路性不良的顯示面板，提高了檢測設(shè)備的檢出率；更進(jìn)一步 的，由于在陣列基板上，并聯(lián)的顯示面板之間的相 互連通，能夠以較快的速度釋放ESD(靜 電釋放)擊穿電流，起到保護(hù)顯示面板內(nèi)線路的作用。 本發(fā)明實(shí)施例提供的一種陣列基板檢測方法，通過陣列基板上各顯示面板列中類 型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到列信號線上，并引出有列檢測引腳與陣列基板 上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到行信號線上，并引出有行 檢測引腳，使得在對所述的陣列基板進(jìn)行短路性不良檢測時(shí)，可以同時(shí)對所述的陣列基板 上個(gè)顯示面板列或者顯示面板行進(jìn)行檢測，從而檢測顯示面板的數(shù)量增加，提高了檢測設(shè) 備的檢測效率；又由于在所述的陣列基板上相鄰的顯示面板列之間設(shè)有列控制信號線，所 述列控制信號線與所述行信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了列開關(guān)節(jié)點(diǎn)，以及在陣列基板上相鄰的顯 示面板行之間設(shè)有行控制信號線，所述行控制信號線與所述列信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了行開 關(guān)節(jié)點(diǎn)，通過控制列開關(guān)節(jié)點(diǎn)與行開關(guān)節(jié)點(diǎn)的導(dǎo)通與斷開，能夠分別對各顯示面板列和各 顯示面板行進(jìn)行短路性不良檢測，根據(jù)檢測結(jié)果，通過顯示面板列和顯示面板行之間的交 叉定位，能夠準(zhǔn)確定位出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。 以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何 熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵 蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種陣列基板檢測電路，其特征在于，陣列基板上各顯示面板列中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到列信號線上，并引出有列檢測引腳；陣列基板上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到行信號線上，并引出有行檢測引腳；陣列基板上相鄰的顯示面板列之間設(shè)有列控制信號線，所述列控制信號線與所述行信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了列開關(guān)節(jié)點(diǎn)；陣列基板上相鄰的顯示面板行之間設(shè)有行控制信號線，所述行控制信號線與所述列信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了行開關(guān)節(jié)點(diǎn)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板檢測電路，其特征在于，所述的列信號線和行信號線包括柵極信號線、數(shù)據(jù)信號線和公共電極信號線。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板檢測電路，其特征在于，所述的列開關(guān)節(jié)點(diǎn)和行開關(guān)節(jié)點(diǎn)分別包括第一類型節(jié)點(diǎn)和第二類型節(jié)點(diǎn)；其中，所述第一類型節(jié)點(diǎn)設(shè)置于所述數(shù)據(jù)信號線與控制信號線的交點(diǎn)處；所述第二類型節(jié)點(diǎn)設(shè)置于所述柵極信號線與控制信號線的交點(diǎn)處，或者公共電極信號線與控制信號線交點(diǎn)處。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的陣列基板檢測電路，其特征在于，所述第一類型節(jié)點(diǎn)和第二類型節(jié)點(diǎn)為薄膜晶體管開關(guān)節(jié)點(diǎn)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板檢測電路，其特征在于，所述柵極信號線與公共電極信號線交點(diǎn)處或所述列控制信號線與行控制信號線交點(diǎn)處設(shè)置有起交叉隔離作用的第三類型節(jié)點(diǎn)。
6. —種陣列基板檢測方法，其特征在于，該方法包括對陣列基板上各顯示面板列同時(shí)施加檢測信號，進(jìn)行短路性不良檢測，得到列檢測結(jié)果，其中，陣列基板上各顯示面板列中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到列信號線上；對陣列基板上各顯示面板行同時(shí)施加檢測信號，進(jìn)行短路性不良檢測，得到行檢測結(jié)果，其中，陣列基板上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到行信號線上；根據(jù)所述列檢測結(jié)果與所述行檢測結(jié)果，確定所述陣列基板上出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列基板檢測方法，其特征在于，所述對陣列基板上各顯示面板列同時(shí)施加檢測信號，進(jìn)行短路性不良檢測，得到列檢測結(jié)果包括通過列檢測引腳對陣列基板上各顯示面板列同時(shí)施加檢測信號，同時(shí)通過列控制信號線控制列開關(guān)節(jié)點(diǎn)關(guān)斷，從而控制行信號線的關(guān)斷，通過行控制信號線控制行開關(guān)節(jié)點(diǎn)導(dǎo)通，從而控制列信號線的導(dǎo)通，得到列檢測結(jié)果。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列基板檢測方法，其特征在于，所述對陣列基板上各顯示面板行同時(shí)施加檢測信號，進(jìn)行短路性不良檢測，得到行檢測結(jié)果包括通過行檢測引腳對陣列基板上各顯示面板行同時(shí)施加檢測信號，同時(shí)通過行控制信號線控制行開關(guān)節(jié)點(diǎn)關(guān)斷，從而控制列信號線的關(guān)斷，通過列控制信號線控制列開關(guān)節(jié)點(diǎn)導(dǎo)通，從而控制行信號線的導(dǎo)通，得到行檢測結(jié)果。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列基板檢測方法，其特征在于，所述根據(jù)所述列檢測結(jié)果與所述行檢測結(jié)果，確定所述陣列基板上出現(xiàn)短路性不良的顯示面板具體為根據(jù)所述列檢測結(jié)果所確定的出現(xiàn)短路性不良的顯示面板列，與所述行檢測結(jié)果所確定的出現(xiàn)短路性不良的顯示面板行進(jìn)行十字交叉定位，確定所述陣列基板上出現(xiàn)短路性不良的顯示面板。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種陣列基板檢測電路及檢測方法，涉及陣列基板的電路檢測技術(shù)領(lǐng)域。為了解決現(xiàn)有技術(shù)中陣列基板上多個(gè)顯示面板同時(shí)進(jìn)行檢測，無法準(zhǔn)確定位出現(xiàn)短路性不良的顯示面板問題而發(fā)明。本發(fā)明提供的陣列基板檢測電路，包括陣列基板上各顯示面板列中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到列信號線上，并引出有列檢測引腳；陣列基板上各顯示面板行中類型相同的信號電路引出線分別并聯(lián)電連接到行信號線上，并引出有行檢測引腳；陣列基板上相鄰的顯示面板列之間設(shè)有列控制信號線，列控制信號線與行信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了列開關(guān)節(jié)點(diǎn)；陣列基板上相鄰的顯示面板行之間設(shè)有行控制信號線，行控制信號線與列信號線的交點(diǎn)處設(shè)置了行開關(guān)節(jié)點(diǎn)。
文檔編號G02F1/13GK101750554SQ20081023983
公開日2010年6月23日 申請日期2008年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月12日
發(fā)明者權(quán)基瑛, 高浩然, 齊錚 申請人:北京京東方光電科技有限公司