專利名稱：星型點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備，特別是用以在半導(dǎo)體晶片上獲得均布光刻膠及 光刻膠圖形的涂膠顯影工藝處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體制造廠黃光區(qū)內(nèi)的涂膠顯影設(shè)備的結(jié)構(gòu)向模塊化， 高集成度，垂直高度方向發(fā)展。為適合中國大陸中小型生產(chǎn)線巿場(chǎng)對(duì)該產(chǎn)品的工 藝生產(chǎn)質(zhì)量、產(chǎn)能、技術(shù)拓展性和可維護(hù)性的需求，迫切需要一種既能保證各功 能模塊和單元體完成各自的工藝生產(chǎn)的實(shí)現(xiàn)，又能快速將晶片在各模塊與單元體
之間傳遞，保證各個(gè)工藝過程的有效銜接，滿足高產(chǎn)能的要求，并且該設(shè)備占地 面積小，能節(jié)省半導(dǎo)體生產(chǎn)的基本投入的涂膠顯影設(shè)備。
實(shí)用新型內(nèi)容
為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的涂膠顯影設(shè)備在結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了調(diào)整，主 要是將各模塊、單元體、傳送機(jī)器人按特定方式排列放置，滿足涂膠顯影生產(chǎn)中 對(duì)工藝生產(chǎn)質(zhì)量、產(chǎn)能、技術(shù)拓展性和可維護(hù)性的需要。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是 一種涂膠顯影設(shè)備的結(jié)構(gòu)，由盒站模塊、第一涂 膠或顯影模塊、第二涂膠或顯影模塊、第一熱處理模塊、第二熱處理模塊、傳送 機(jī)器人模塊6個(gè)功能模塊組成，所述的盒站模塊是由2個(gè)盒站單元和1個(gè)對(duì)中調(diào) 整單元組成；所述的第一熱處理模塊或第二熱處理模塊是由熱處理塔架和多個(gè)插 裝在塔架中的熱處理單元體組成；所述的2個(gè)盒站單元、2個(gè)熱處理模塊、2個(gè)涂 膠或顯影模塊分別占據(jù)六it^的六個(gè)頂點(diǎn)，1錯(cuò)送機(jī)器人在中心，這樣的六邊 形模塊布局組成了星型點(diǎn)陣排布的涂膠顯影設(shè)備結(jié)構(gòu)。
所述的涂膠或顯影模塊在盒站單元對(duì)面，并排左右各一，對(duì)稱設(shè)計(jì)，可以全 部是涂膠模塊，也可以全部是顯影模塊。
所述的熱處理模塊是由熱處理塔架和多個(gè)插裝在塔架中的熱處理單元體 組成，設(shè)置在傳送機(jī)器人兩側(cè)。
所述的熱處理中單元體都可以拉出機(jī)器外。
所述第一盒站單元和第二盒站單元以110 ~ 130度夾角擺放在一個(gè)平板上，對(duì)中調(diào)整單元安裝在該平板下面，三者組成一個(gè)盒站模塊。 本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是
1、 本實(shí)用新型的工藝模塊和熱處理單元體是標(biāo)準(zhǔn)化的模塊設(shè)計(jì)產(chǎn)品，便于裝 載及拆卸，這樣不同功能的工藝模塊和熱處理單元體搭配組合，就可以完成不同 的生產(chǎn)工藝，機(jī)臺(tái)的技術(shù)拓展性表現(xiàn)優(yōu)秀。
2、 熱處理單元體都可以容易拉出機(jī)器外，便于維修，維修后也可以迅速回位, 大大減少了機(jī)器的維修時(shí)間，使得設(shè)備具有良好的可維護(hù)性。
3、 應(yīng)用本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)設(shè)備，各工藝模塊堆疊放置，使得機(jī)器占地面積大 大減小，僅為1.7平方米，有效地減少了設(shè)備的投資成本。


圖l為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)立體圖。
其中，TP為對(duì)中調(diào)整單元、CS1為第一盒站單元、CS2為第二盒站單元、R 為傳送機(jī)器人、C0T為涂膠模塊、AD為增粘熱處理單元體、HP為熱板單元體、CP 為冷板單元體。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)描述。
如圖1所示,第一盒站單元CS1和第二盒站單元CS2以110 ~ 130度的夾角擺 放在一個(gè)平板上，對(duì)中調(diào)整單元TP安裝在該平板下面，三者組成一個(gè)盒站模塊; 涂膠模塊C0T1和涂膠模塊C0T2是獨(dú)立的功能單元體；增粘熱處理單元體AD1、 熱板單元體HP1、冷板單元體CP1插裝在一個(gè)熱處理塔架組成第一熱處理模塊； 增粘熱處理單元體AD2、熱板單元體HP2、冷板單元體CP2插裝在另一個(gè)熱處理塔 架組成第二熱處理模塊；傳送機(jī)器人R是可以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)、升降及伸縮手臂的傳送 晶片的傳送機(jī)器人模塊。
傳送機(jī)器人R放置于各模塊中心，各模塊圍繞其排布。第一盒站單元CS1和 第二盒站單元CS2以110 ~ 130度夾角擺放在一個(gè)平板上，第一熱處理模塊和第二 熱處理模塊放置在傳送機(jī)器人R兩側(cè)，第一涂膠模塊C0T1和第二涂膠模塊C0T2 模塊并列放置在第一盒站單元CS1和第二盒站單元CS2對(duì)面，這樣的六邊形模塊布 局組成了星型點(diǎn)陣排布的涂膠顯影設(shè)備結(jié)構(gòu)。
為滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)廠的不同生產(chǎn)制程工藝需求，涂膠顯影設(shè)備中的模塊及單元配置也要適應(yīng)不同的變化，本實(shí)用新型的涂膠顯影設(shè)備可以是雙涂膠模塊COT,
也可以是雙顯影DEV，這種變化會(huì)是使得熱處理模塊內(nèi)的AD、 HP、 CP等熱處理單 元體的配置發(fā)生變化，但總體結(jié)構(gòu)不會(huì)變化，各模塊都是按照星型點(diǎn)陣方式排布。
為便于維修及維修后可以迅速回位，熱處理模塊中的熱處理單元體都可以拉 出機(jī)器外，大大減少了機(jī)器的維修時(shí)間，使得設(shè)備具有良好的可維護(hù)性。
本實(shí)用新型的工作原理是傳送機(jī)器人將晶片從片盒站中取出，按照編制好 的程序?qū)⒕腿氲礁魍磕z/顯影模塊及熱處理單元體中，完成涂膠顯影的生產(chǎn)制 程后，將晶片送回到盒站中。
權(quán)利要求1、一種星型點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備，其特征是由盒站模塊、第一涂膠或顯影模塊、第二涂膠或顯影模塊、第一熱處理模塊、第二熱處理模塊、傳送機(jī)器人模塊6個(gè)功能模塊組成，所述的盒站模塊是由第一盒站單元、第二盒站單元和1個(gè)對(duì)中調(diào)整單元組成；所述的第一熱處理模塊或第二熱處理模塊是由熱處理塔架和多個(gè)插裝在塔架中的熱處理單元體組成；所述的2個(gè)盒站單元、2個(gè)熱處理模塊、2個(gè)涂膠或顯影模塊分別占據(jù)六邊形的六個(gè)頂點(diǎn)，1個(gè)傳送機(jī)器人在中心，這樣的六邊形模塊布局組成了星型點(diǎn)陣排布的涂膠顯影設(shè)備結(jié)構(gòu)。
2、 按權(quán)利要求1所述的一種星型點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備，其特征是:所 述的2個(gè)涂膠或顯影模塊在盒站單元對(duì)面，并排左右各一，對(duì)稱設(shè)計(jì)，可以全 部是涂膠模塊，也可以全部是顯影模塊。
3、 按權(quán)利要求1所述的一種星型點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備，其特征是:所 述的第 一或第二熱處理模塊是由熱處理塔架和多個(gè)插裝在塔架中的熱處理單元 體組成，設(shè)置在傳送機(jī)器人兩側(cè)。
4. 按權(quán)利要求1所述的一種星型點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備，其特征是所 述的第一或第二熱處理中單元體都可以拉出機(jī)器外。
5. 按權(quán)利要求1所述的一種星型點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的涂膠顯影設(shè)備，其特征是-.所 述第一盒站單元和第二盒站單元以110-130度夾角擺放在一個(gè)平板上，對(duì)中 調(diào)整單元安裝在該平板下面，三者組成一個(gè)盒站模塊。
專利摘要本實(shí)用新型涉及用以在半導(dǎo)體晶片上獲得均布光刻膠及光刻膠圖形的涂膠顯影工藝處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)。設(shè)備由盒站模塊、第一涂膠或顯影模塊、第二涂膠或顯影模塊、第一熱處理模塊、第二熱處理模塊、傳送機(jī)器人模塊6個(gè)功能模塊組成，所述的盒站模塊是由2個(gè)盒站單元和1個(gè)對(duì)中調(diào)整單元組成；所述的第一熱處理模塊或第二熱處理模塊是由熱處理塔架和多個(gè)插裝在塔架中的熱處理單元體組成；所述的6個(gè)功能模塊組成六邊形的星形點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)，2個(gè)盒站單元、2個(gè)熱處理模塊、2個(gè)涂膠或顯影模塊分別占據(jù)六邊形的六個(gè)頂點(diǎn)，1個(gè)傳送機(jī)器人在中心。這樣的結(jié)構(gòu)可滿足中國大陸中小型生產(chǎn)線市場(chǎng)對(duì)該產(chǎn)品的工藝生產(chǎn)質(zhì)量、產(chǎn)能、技術(shù)拓展性和可維護(hù)性的需求。
文檔編號(hào)G03F7/26GK201226082SQ20082001370
公開日2009年4月22日 申請(qǐng)日期2008年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月27日
發(fā)明者陽 王, 胡延兵 申請(qǐng)人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司