專利名稱：一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種移動(dòng)臺(tái)，特別是關(guān)于一種用于顯微觀察的移動(dòng)臺(tái)。
背景技術(shù)：
目前用于顯微鏡觀察的移動(dòng)臺(tái)分為手動(dòng)和自動(dòng)兩種；手動(dòng)的移動(dòng)快速、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn) 便、成本低廉，但精度不高，操作不便；自動(dòng)的采用計(jì)算機(jī)程序控制，雖然精度高 些，但其結(jié)構(gòu)復(fù)雜、加工精度要求高、成本很貴，而且移動(dòng)速度較慢。 發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述問題，本實(shí)用新型的目的是提出一種移動(dòng)速度快、精度高的顯微觀察 移動(dòng)臺(tái)。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取以下技術(shù)方案 一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，它包 括一機(jī)架和連接在所述機(jī)架上的光學(xué)平臺(tái)，在所述光學(xué)平臺(tái)上設(shè)置有粗精度導(dǎo)軌 組，所述粗精度導(dǎo)軌組頂部設(shè)置有高精度導(dǎo)軌組和由高精度導(dǎo)軌組帶動(dòng)的載物臺(tái)； 所述粗精度導(dǎo)軌組包括平行滑設(shè)在第一、第二導(dǎo)向裝置上的第一、第二滑塊， 一連 接在所述第一、第二滑塊上且與所述第一、第二導(dǎo)向裝置水平垂直的第三導(dǎo)向裝置， 所述第三導(dǎo)向裝置上滑設(shè)一第三滑塊，在所述機(jī)架上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)所述第一、第二滑 塊的第一驅(qū)動(dòng)組，在所述第一、第二滑塊上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)所述第三滑塊的第二驅(qū)動(dòng)組； 所述第三滑塊上垂向穿設(shè)一定位柱，與所述第三導(dǎo)向裝置平行設(shè)置一穿過所述第三 滑塊和定位柱的壓桿，所述壓桿兩端的頂部分別設(shè)置一連接在所述第一、第二滑塊 上的壓緊所述壓桿用的壓緊部件；所述高精度導(dǎo)軌組包括設(shè)置在具有支撐導(dǎo)向作用 的所述定位柱頂部的第四滑塊，所述第四滑塊由設(shè)置在所述定位柱上的第三驅(qū)動(dòng)組 驅(qū)動(dòng)，與所述第四滑塊的運(yùn)動(dòng)方向呈水平垂直，在具有支撐導(dǎo)向作用的所述第四滑 塊的頂部設(shè)置一第五滑塊，所述第五滑塊由設(shè)置在所述第四滑塊上的第四驅(qū)動(dòng)組驅(qū) 動(dòng)，所述第五滑塊頂部連接所述載物臺(tái)。
所述第一、第二、第三導(dǎo)向裝置分別包括一對(duì)平行設(shè)置的光杠，所述第一、第 二、第三滑塊分別穿設(shè)在對(duì)應(yīng)的一對(duì)所述光杠上。
所述第一、第二驅(qū)動(dòng)組分別包括一電機(jī)，各所述電機(jī)的輸出端分別連接一齒輪， 各所述齒輪分別通過一傳送帶連接另一齒輪，各所述傳送帶一側(cè)的帶體上分別連接 對(duì)應(yīng)的所述滑塊。
所述第三、第四驅(qū)動(dòng)組分別包括一電機(jī)，各所述電機(jī)的輸出端分別連接一齒輪，
4各所述齒輪分別通過一傳送帶連接另一齒輪，各所述另一齒輪的輸出軸上分別連接 一絲杠，各所述絲杠上分別連接所述第四滑塊和第五滑塊。
所述第三滑塊為一 T型滑塊，所述第三導(dǎo)向裝置的兩光杠分別穿過所述T型滑 塊的兩翼耳；所述T型滑塊的主體部位垂向穿設(shè)所述定位柱，且所述T型滑塊和定 位柱分別設(shè)置一橫向孔，所述壓桿穿設(shè)過所述兩橫向孔。
所述壓緊部件為鎖緊氣缸、電磁闊、凸輪之一。
所述定位柱的底部具有壓盤，所述定位柱頂部與所述第四滑塊之間還可以設(shè)置 一光滑平板。
本實(shí)用新型由于采取以上技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)1、本實(shí)用新 型在一光學(xué)平臺(tái)上設(shè)置了上、下兩層導(dǎo)軌組，基本都包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、傳動(dòng)組件、導(dǎo) 軌、滑塊，下層導(dǎo)軌組為粗精度導(dǎo)軌組，實(shí)現(xiàn)載物臺(tái)在橫縱兩方向的快速粗移動(dòng)， 節(jié)省了運(yùn)行時(shí)間；上層導(dǎo)軌組為高精度滑軌組，只需占據(jù)很小的空間、行走很短的 行程，就可在下層導(dǎo)軌組粗定位的基礎(chǔ)上，完成橫縱兩方向的精確微動(dòng)，節(jié)省了成 本。2、本實(shí)用新型在粗、精導(dǎo)軌組之間設(shè)置定位柱連接，下層粗精度導(dǎo)軌組移動(dòng) 的同時(shí)，帶動(dòng)高精度導(dǎo)軌組一起移動(dòng)，當(dāng)粗略位置找到后，粗精度導(dǎo)軌組停止運(yùn)動(dòng)， 由穿設(shè)在定位柱中的壓桿將定位柱牢牢地壓緊在基座(光學(xué)平臺(tái))上，實(shí)現(xiàn)高精度 滑軌組的粗略定位。3、由于在定位柱頂部通過平板支撐設(shè)置高精度導(dǎo)軌組，定位 柱定位后，高精度導(dǎo)軌組在微動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，在橫縱兩方向上微略移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)精 確定位。4、本實(shí)用新型由于采用定位柱定位和壓桿鎖緊的方式，使得定位柱壓緊 牢固，解決了被測(cè)物抖動(dòng)的現(xiàn)象。5、本實(shí)用新型中的壓桿鎖緊方式可以采用氣動(dòng) 鎖緊，也可以采用電磁吸附、凸輪壓緊等方式，方法多，形式不唯一。6、本實(shí)用 新型中粗精度導(dǎo)軌組采用兩個(gè)垂直驅(qū)動(dòng)組，高精度導(dǎo)軌組采用兩個(gè)垂直驅(qū)動(dòng)組，驅(qū) 動(dòng)連接的方式也不唯一，可變性高。因此，此本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，是一種用于 顯微觀察的自動(dòng)移動(dòng)臺(tái)的革新。

圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)總示意圖
圖2是本實(shí)用新型粗精度導(dǎo)軌組的示意圖
圖3是本實(shí)用新型高精度導(dǎo)軌組的示意圖
圖4是圖3的俯視示意圖具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述。
如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型包括一機(jī)架1， 一設(shè)置在機(jī)架1上的光學(xué)平臺(tái)2，光學(xué)平臺(tái)2的表面光滑平整，與觀察物鏡的視場(chǎng)平面平行。在光學(xué)平臺(tái)2上，設(shè)置 有上、下兩層導(dǎo)軌組，下層是粗精度導(dǎo)軌組，上層是高精度導(dǎo)軌組，兩層導(dǎo)軌組都 可以帶動(dòng)載物臺(tái)3實(shí)現(xiàn)橫縱兩方向的移動(dòng)。
下層粗精度導(dǎo)軌組以實(shí)現(xiàn)載物臺(tái)3的粗定位為目的，它包括在機(jī)架1上固定設(shè) 置的作為導(dǎo)向裝置的兩組平行的光杠組4，每一光杠組4中都包括上下平行設(shè)置的 兩根光杠。兩光杠組4上分別穿設(shè)第一滑塊5和第二滑塊5'。在第一滑塊5 (或第 二滑塊5')外側(cè)的機(jī)架1上設(shè)置有包括第一電機(jī)6和第一電機(jī)6帶動(dòng)的一組傳動(dòng)裝 置7在內(nèi)的第一驅(qū)動(dòng)組，此第一驅(qū)動(dòng)組帶動(dòng)該側(cè)的第一滑塊5在光杠組4上滑動(dòng)。 本實(shí)施例中的傳動(dòng)裝置7包括兩帶輪71、 72，其中帶輪71固定在第一電機(jī)6的輸 出端，另一帶輪72固定在支撐光杠組4用的固定架上，兩帶輪71、 72之間連接一 傳送帶73，在傳送帶73上連接一連接板74，連接板74另一側(cè)連接第一滑塊5，這 樣，第一電機(jī)6就可以通過傳動(dòng)裝置7帶動(dòng)第一滑塊5在光杠組4上滑動(dòng)，進(jìn)行水 平方向的前后移動(dòng)。當(dāng)然，傳動(dòng)裝置7還可以為一由第一電機(jī)6帶動(dòng)的絲杠，絲杠 再穿接第一滑塊5，也可以使第一滑塊5在光杠組4上滑動(dòng)。因此，這里所述的第 一驅(qū)動(dòng)組的傳動(dòng)方式并不唯一，能夠?qū)崿F(xiàn)所連接的滑塊在光杠組4上滑動(dòng)即可。
如圖2、圖3所示，在兩光杠組4之間設(shè)置一與兩光杠組4呈水平垂直的作為 第三導(dǎo)向裝置的第三光杠組，第三光杠組包括水平平行設(shè)置的兩光杠8，兩光杠8 分別穿過作為第三個(gè)滑塊的T型滑塊9的兩翼耳后，兩端分別固定連接到兩側(cè)光杠 組4的第一滑塊5和第二滑塊5'上。這樣當(dāng)?shù)谝浑姍C(jī)6帶動(dòng)一側(cè)的第一滑塊5前 后移動(dòng)時(shí)，就可以通過第三光杠組帶動(dòng)另一側(cè)的第二滑塊5'同步前后運(yùn)動(dòng)，同時(shí) 也帶動(dòng)T型滑塊9同步運(yùn)動(dòng)。在T型滑塊9的主體部位設(shè)置一水平橫向孔10和一 連通水平橫向孔10的垂向通孔， 一帶有水平通孔的定位柱ll自上而下插入垂向通 孔內(nèi)，定位柱11的底部具有一壓盤12。 一壓桿13橫向穿過T型滑塊9的水平橫向 孔10和定位柱11的水平通孔，將二者穿設(shè)成一體。壓桿13兩端的上方分別設(shè)置 一連接在第一滑塊5和第二滑塊5'上的氣缸14，兩氣缸14的活塞可以頂在壓桿 13上。在T型滑塊9的外側(cè)設(shè)置有一與第一驅(qū)動(dòng)組結(jié)構(gòu)相同或類似的第二驅(qū)動(dòng)組， 這樣當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)組的第二電機(jī)15啟動(dòng)時(shí)，就可以通過傳送帶16和連接板17帶動(dòng)T 型滑塊9沿第三光杠組的方向滑動(dòng)，進(jìn)行水平方向的左右移動(dòng)。
一旦下層粗精度導(dǎo)軌組完成粗定位后，便可以啟動(dòng)兩氣缸14，兩氣缸14的活 塞桿伸出向下壓緊壓桿13的兩端，通過壓桿13向下壓定位柱11，使定位柱ll底 部的壓盤12緊緊地壓在光學(xué)平臺(tái)2上，不會(huì)再發(fā)生任何移動(dòng)。
如圖3、圖4所示，上層高精度導(dǎo)軌組以實(shí)現(xiàn)載物臺(tái)3的精確定位為目的，包括在定位柱11頂部固定設(shè)置一平板15，如果定位柱11頂面足夠大，也可以不設(shè)置 平板15。以不設(shè)置平板15為例，在定位柱ll上，固定連接一第三電機(jī)16，第三 電機(jī)16通過兩齒輪17、 17'和一傳送帶18驅(qū)動(dòng)一第一絲杠19，第一絲杠19穿過 固定在定位柱11上的支撐板20后，連接一第四滑塊21，第四滑塊21座設(shè)在具有 支撐導(dǎo)向作用的定位柱11上，當(dāng)?shù)谌姍C(jī)16啟動(dòng)時(shí)，就可以驅(qū)使第四滑塊21在 定位柱11上滑動(dòng)。第三電機(jī)16，兩齒輪17、 17'，傳送帶18和第一絲杠19構(gòu)成 第三驅(qū)動(dòng)組，根據(jù)傳動(dòng)原理，第三驅(qū)動(dòng)組也可以設(shè)置為與第一或第二驅(qū)動(dòng)組類似的 結(jié)構(gòu)，只要能滿足第四滑塊的滑動(dòng)即可。
在第四滑塊21上，固定連接一第四電機(jī)22和一支撐板23，第四電機(jī)22的輸 出端通過兩齒輪24、 24'和一傳送帶25驅(qū)動(dòng)一第二絲杠26，第二絲杠26穿過固 定在第四滑塊21上的支撐板23后，連接一第五滑塊27，第五滑塊27座設(shè)在第四 滑塊21的頂部，可以在其上滑動(dòng)。第四電機(jī)22，兩齒輪24、 24'，傳送帶25和第 二絲杠26構(gòu)成第四驅(qū)動(dòng)組，根據(jù)傳動(dòng)原理，第四驅(qū)動(dòng)組也可以設(shè)置為與前面驅(qū)動(dòng) 組類似的結(jié)構(gòu)，只要能滿足第五滑塊27的滑動(dòng)即可。在第五滑塊27上連接載物臺(tái) 3。第三驅(qū)動(dòng)組和第四驅(qū)動(dòng)組可以分別啟動(dòng)或同時(shí)啟動(dòng)，均可以帶動(dòng)載物臺(tái)3完成 精確定位。
綜上所述，本實(shí)用新型可以在下層粗精度導(dǎo)軌組的作用下，完成機(jī)構(gòu)的快速粗 定位，在上層高精度導(dǎo)軌組的作用下，完成機(jī)構(gòu)的微動(dòng)精定位.。
上述實(shí)施例中，壓桿13的壓緊方式除采用鎖緊氣缸14壓緊外，還可以采用電 磁吸附、凸輪壓緊等方式。
以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，凡對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn) 行修改或等同替換者，均不應(yīng)排除在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之外。
權(quán)利要求1、一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于它包括一機(jī)架和連接在所述機(jī)架上的光學(xué)平臺(tái)，在所述光學(xué)平臺(tái)上設(shè)置有粗精度導(dǎo)軌組，所述粗精度導(dǎo)軌組頂部設(shè)置有高精度導(dǎo)軌組和由高精度導(dǎo)軌組帶動(dòng)的載物臺(tái)；所述粗精度導(dǎo)軌組包括平行滑設(shè)在第一、第二導(dǎo)向裝置上的第一、第二滑塊，一連接在所述第一、第二滑塊上且與所述第一、第二導(dǎo)向裝置水平垂直的第三導(dǎo)向裝置，所述第三導(dǎo)向裝置上滑設(shè)一第三滑塊，在所述機(jī)架上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)所述第一、第二滑塊的第一驅(qū)動(dòng)組，在所述第一、第二滑塊上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)所述第三滑塊的第二驅(qū)動(dòng)組；所述第三滑塊上垂向穿設(shè)一定位柱，與所述第三導(dǎo)向裝置平行設(shè)置一穿過所述第三滑塊和定位柱的壓桿，所述壓桿兩端的頂部分別設(shè)置一連接在所述第一、第二滑塊上的壓緊所述壓桿用的壓緊部件；所述高精度導(dǎo)軌組包括設(shè)置在具有支撐導(dǎo)向作用的所述定位柱頂部的第四滑塊，所述第四滑塊由設(shè)置在所述定位柱上的第三驅(qū)動(dòng)組驅(qū)動(dòng)，與所述第四滑塊的運(yùn)動(dòng)方向呈水平垂直，在具有支撐導(dǎo)向作用的所述第四滑塊的頂部設(shè)置一第五滑塊，所述第五滑塊由設(shè)置在所述第四滑塊上的第四驅(qū)動(dòng)組驅(qū)動(dòng)，所述第五滑塊頂部連接所述載物臺(tái)。
2、 如權(quán)利要求l所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述第一、第二、 第三導(dǎo)向裝置分別包括一對(duì)平行設(shè)置的光杠，所述第一、第二、第三滑塊分別穿設(shè) 在對(duì)應(yīng)的一對(duì)所述光杠上。
3、 如權(quán)利要求1所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述第一、第二 驅(qū)動(dòng)組分別包括一電機(jī)，各所述電機(jī)的輸出端分別連接一齒輪，各所述齒輪分別通 過一傳送帶連接另一齒輪，各所述傳送帶一側(cè)的帶體上分別連接對(duì)應(yīng)的所述滑塊。
4、 如權(quán)利要求2所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述第一、第二 驅(qū)動(dòng)組分別包括一電機(jī)，各所述電機(jī)的輸出端分別連接一齒輪，各所述齒輪分別通 過一傳送帶連接另一齒輪，各所述傳送帶一側(cè)的帶體上分別連接對(duì)應(yīng)的所述滑塊。
5、 如權(quán)利要求1或2或3或4所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所 述第三、第四驅(qū)動(dòng)組分別包括一電機(jī)，各所述電機(jī)的輸出端分別連接一齒輪，各所 述齒輪分別通過一傳送帶連接另一齒輪，各所述另一齒輪的輸出軸上分別連接一絲 杠，各所述絲杠上分別連接所述第四滑塊和第五滑塊。
6、 如權(quán)利要求2或3或4所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述第三滑塊為一 T型滑塊，所述第三導(dǎo)向裝置的兩光杠分別穿過所述T型滑塊的兩翼耳；所述T型滑塊的主體部位垂向穿設(shè)所述定位柱，且所述T型滑塊和定位柱分別設(shè)置 一橫向孔，所述壓桿穿設(shè)過所述兩橫向孔。
7、 如權(quán)利要求1或2或3或4所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所 述壓緊部件為鎖緊氣缸、電磁閥、凸輪之一。
8、 如權(quán)利要求5所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述壓緊部件為 鎖緊氣缸、電磁閥、凸輪之一。
9、 如權(quán)利要求6所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述壓緊部件為鎖緊氣缸、電磁閥、凸輪之一。
10、 如權(quán)利要求1或2或3或4或8或9所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征 在于所述定位柱的底部具有壓盤，所述定位柱頂部與所述第四滑塊之間設(shè)置一光滑平板。
11、 如權(quán)利要求5所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述定位柱的底部具有壓盤，所述定位柱頂部與所述第四滑塊之間設(shè)置一光滑平板。
12、 如權(quán)利要求6所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述定位柱的底部具有壓盤，所述定位柱頂部與所述第四滑塊之間設(shè)置一光滑平板。
13、 如權(quán)利要求7所述的一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述定位柱的底部具有壓盤，所述定位柱頂部與所述第四滑塊之間設(shè)置一光滑平板。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種顯微觀察移動(dòng)臺(tái)，它包括機(jī)架和光學(xué)平臺(tái)，光學(xué)平臺(tái)上設(shè)置下層粗精度導(dǎo)軌組和上層高精度導(dǎo)軌組，粗精度導(dǎo)軌組包括平行滑設(shè)在第一、第二導(dǎo)向裝置上的第一、第二滑塊，連接在第一、第二滑塊上且與第一、第二導(dǎo)向裝置水平垂直的第三導(dǎo)向裝置，第三導(dǎo)向裝置上滑設(shè)第三滑塊，第三滑塊上垂向穿設(shè)一定位柱，一壓桿與第三導(dǎo)向裝置平行穿過第三滑塊和定位柱，壓桿兩端的頂部分別設(shè)置一壓緊部件；高精度導(dǎo)軌組包括設(shè)置在定位柱頂部的第四滑塊，第四滑塊頂部設(shè)置一運(yùn)動(dòng)方向與其垂直的第五滑塊，第五滑塊頂部連接載物臺(tái)。本實(shí)用新型在粗精度導(dǎo)軌組作用下實(shí)現(xiàn)載物臺(tái)快速粗定位，在高精度滑軌組作用下實(shí)現(xiàn)載物臺(tái)精確定位，定位準(zhǔn)確，節(jié)省成本。
文檔編號(hào)G02B21/32GK201340478SQ20082012323
公開日2009年11月4日 申請(qǐng)日期2008年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月24日
發(fā)明者姚廣軍, 徐偉新, 陳百捷 申請(qǐng)人:陳百捷;北京自動(dòng)化技術(shù)研究院