專利名稱：：厚膜抗蝕劑的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及特別可用于使厚膜成像的光敏性光致抗蝕劑組合物。在某些情況下，光致抗蝕劑膜具有大于2μm(微米)的厚度。本發(fā)明進(jìn)一步提供本發(fā)明光敏性組合物的涂覆和成像方法。
背景技術(shù)：
：光致抗蝕劑組合物用于縮微光刻方法，這些方法例如在計(jì)算機(jī)芯片和集成電路的制造中用于制造小型化電子元件。通常，在這些方法中，首先將光致抗蝕劑組合物的膜涂層施加于基材材料上，例如用于制造集成電路的硅晶片上。然后烘烤該已涂覆的基材以使該光致抗蝕劑組合物中的任何溶劑蒸發(fā)并將涂層固定到基材上。讓該基材的被烘烤的涂覆表面接下來經(jīng)歷暴露在輻射下的成像曝光。這種輻射曝光引起涂覆表面的曝光區(qū)域發(fā)生化學(xué)轉(zhuǎn)變。目前，可見光、紫外(UV)光、電子束和X射線輻射能量是縮微光刻方法中常用的輻射類型。在這一成像曝光之后，用顯影劑溶液處理已涂覆的基材以溶解和除去基材的經(jīng)涂覆表面的已輻射曝光或未曝光的區(qū)域。存在兩類光致抗蝕劑組合物，負(fù)作用和正作用型。當(dāng)負(fù)作用光致抗蝕劑組合物在輻射下成像曝光時，該抗蝕劑組合物的暴露在輻射下的區(qū)域變得更不溶于顯影劑溶液(例如發(fā)生交聯(lián)反應(yīng))，而該光致抗蝕劑涂層的未曝光區(qū)域保持相對可溶于此種溶液。因此，用顯影劑對曝光過的負(fù)作用抗蝕劑的處理引起光致抗蝕劑涂層的未曝光區(qū)域被除去并在該涂層中產(chǎn)生負(fù)像。因此，不會覆蓋其上沉積了光致抗蝕劑組合物的底層基材表面的所需部分。另一方面，當(dāng)正作用光致抗蝕劑在輻射下成像曝光時，該光致抗蝕劑組合物受輻射曝光的那些區(qū)域變得更加溶于顯影劑溶液(例如發(fā)生重排反應(yīng))，而沒有曝光的那些區(qū)域保持相對不溶于該顯影劑溶液。因此，用顯影劑對經(jīng)曝光的正作用光致抗蝕劑的處理使得涂層的曝光區(qū)域被除去并在光致抗蝕涂層中產(chǎn)生正像。而且，暴露出底層基材的所需部分。在這種顯影操作后，可以用基材蝕刻劑溶液、等離子氣體處理此時部分未受保護(hù)的基材，或讓金屬或金屬復(fù)合材料沉積在基材的其中在顯影期間除去了光致抗蝕劑涂層的空間中。該基材的其中光致抗蝕劑涂層仍保留的區(qū)域受到保護(hù)。稍后，可以在剝離操作期間除去該光致抗蝕劑涂層的保留區(qū)域，留下圖案化的基材表面。在某些情況下，在顯影步驟后且在蝕刻步驟之前熱處理殘留的光致抗蝕劑層是合乎需要的，以提高其與底層基材的粘附。在圖案化結(jié)構(gòu)，例如晶片級包裝的制造中，隨著互連件的密度增加，已經(jīng)使用電氣互連件的電化學(xué)沉積。例如，參見Solomon，ElectrochemicallyDepositedSolderBumpsforWafer-LevelPackaging,Packaging/Assembly,SolidStateTechnology?！ぞ塣il裝中用于再分布的金塊、銅桿和銅線要求抗蝕劑模具，該抗蝕劑模具稍后被電鍍以在高級互連件技術(shù)中形成最終金屬結(jié)構(gòu)。該抗蝕劑層與用于臨界層的IC制造中的光致抗蝕劑相比非常厚。特征尺寸和抗蝕劑厚度都通常在2μπι-100μπι的范圍內(nèi)，以致高的縱橫比(抗蝕劑厚度與線尺寸)必須在光致抗蝕劑中構(gòu)圖。制造用作微電機(jī)機(jī)器的器件也使用非常厚的光致抗蝕劑膜以界定該機(jī)器的組件。
發(fā)明內(nèi)容提供了包含樹脂粘結(jié)劑的光致抗蝕劑組合物，所述樹脂粘結(jié)劑選自(1)在沒有催化劑的情況下由⑴和(ii)形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(i)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，()選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物；(2)在沒有催化劑的情況下由(i)酚醛清漆聚合物，(ii)含2-7個酚基的多羥基化合物和(iii)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物；(3)在沒有催化劑的情況下由(i)、(ii)和(iii)形成的反應(yīng)產(chǎn)物，⑴酚醛清漆聚合物，(ii)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，(iii)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物；(4)(i)和(ii)的混合物，(i)在沒有催化劑的情況下由(a)酚醛清漆聚合物，(b)含2-7個酚基的多羥基化合物和(c)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(ii)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封；和(5)⑴、(ii)和(iii)的混合物，⑴在沒有催化劑的情況下由(a)酚醛清漆聚合物，(b)含2-7個酚基的多羥基化合物和(c)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(ii)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，(iii)酚醛清漆。該光致抗蝕劑組合物還可以含有光酸產(chǎn)生劑以及堿。還公開了其上具有這里的光致抗蝕劑組合物的涂層的經(jīng)涂覆基材，使用這里的光致抗蝕劑組合物在基材上形成光致抗蝕劑浮雕像的方法，以及這里的光致抗蝕劑組合物用于在基材上形成浮雕像的用途。發(fā)明詳述提供了包含樹脂粘結(jié)劑的光致抗蝕劑組合物，所述樹脂粘結(jié)劑選自(1)在沒有催化劑的情況下由⑴和(ii)形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(i)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，()選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物；(2)在沒有催化劑的情況下由(i)酚醛清漆聚合物，(ii)含2-7個酚基的多羥基化合物和(iii)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物；(3)在沒有催化劑的情況下由(i)、(ii)和(iii)形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(i)酚醛清漆聚合物，(ii)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，(iii)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物；(4)⑴和(ii)的混合物，⑴在沒有催化劑的情況下由(a)酚醛清漆聚合物，(b)含2-7個酚基的多羥基化合物和(c)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(ii)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封；和(5)(i)、(ii)和(iii)的混合物，⑴在沒有催化劑的情況下由(a)酚醛清漆聚合物，(b)含2-7個酚基的多羥基化合物和(c)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(ii)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，(iii)酚醛清漆。該光致抗蝕劑組合物還可以含有光酸產(chǎn)生劑以及堿。還公開了其上具有這里的光致抗蝕劑組合物的涂層的經(jīng)涂覆基材，使用這里的光致抗蝕劑組合物在基材上形成光致抗蝕劑浮雕像的方法，以及這里的光致抗蝕劑組合物用于在基材上形成光致抗蝕劑浮雕像的用途。通過光致抗蝕劑組合物形成的涂膜的厚度可以大于2ym(微米)，且使厚至200i!m(微米)的光致抗蝕劑膜成像。光致抗蝕劑可用于使光致抗蝕劑膜在數(shù)種類型的基材上成像，例如要求大于3的高寬比(高寬比是光致抗蝕劑圖案的高度與寬度之比)的銅基材。聚合物的羥基苯乙烯單體或低聚物組分為抗蝕劑組合物中的聚合物提供堿溶性。羥基苯乙烯合適地是對或間異構(gòu)體并且可以取代有不干擾聚合物的光刻應(yīng)用的各種取代基，例如鹵素、甲氧基或低級烷基(例如甲基或乙基)。a-甲基羥基苯乙烯也可以用于這里的聚合物。聚合物的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯單體或低聚物組分為聚合物提供酸敏感性。丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的酯基是酸不穩(wěn)定基團(tuán)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)防止聚合物溶解在堿性顯影劑或極性溶劑中。通過光酸產(chǎn)生劑和/或曝光后烘烤使該酯基裂解并將它從溶解抑制酯轉(zhuǎn)化成堿可溶有機(jī)酸官能團(tuán)，從而使該組合物能夠成像顯影。丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯可以擁有各種叔丁基酯或技術(shù)人員公知含有緊挨著酯鍵的氧原子的仲或叔碳原子的其它酯基，它們也可以描述為酸不穩(wěn)定基團(tuán)，這種酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求比縮醛基更高的解封活化能?？s醛基是要求低解封活化能的酸不穩(wěn)定基團(tuán)。使用具有高活化能的酸不穩(wěn)定基團(tuán)將防止丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或其混合物在包含羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或其混合物的聚合物與乙烯基醚在沒有催化劑情況下的反應(yīng)期間解封，從而提供用于本文所述組合物的更穩(wěn)定聚合物樹脂。催化劑的使用將使丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或其混合物在反應(yīng)期間變得解封，這導(dǎo)致不需要的產(chǎn)物。本文所使用的共聚物可以通過產(chǎn)生無規(guī)共聚物的標(biāo)準(zhǔn)自由基共聚合制備。例如，甲基丙烯酸叔丁酯可以與(i)對叔丁氧基羰氧基苯乙烯(羥基苯乙烯前體單體)共聚合，隨后使叔丁氧基羰基熱分裂或溫和酸解而形成對羥基苯乙烯/甲基丙烯酸叔丁酯共聚物或與(ii)對叔丁基(二甲基)甲硅烷氧基苯乙烯共聚合，隨后用氟化物脫甲硅烷基?；蛘?，使乙酰氧基苯乙烯與丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯共聚合。一般而言，在大約50-100°C的高溫下在氮?dú)庀聦⒁阴Ｑ趸揭蚁┡c酯單體在適合的溶劑例如甲苯或THF中連同少量自由基催化劑例如過氧化苯甲?；旌?。然后用弱堿(例如二甲基氨基吡啶、氫氧化銨、碳酸鹽或碳酸氫鹽)在非水溶劑例如醇溶劑(甲醇或丙醇)中將產(chǎn)物聚合物聚(乙酰氧基苯乙烯-共聚-丙烯酸酯)去?；纬闪u基苯乙烯/丙烯酸酯共聚物?；蛘?，羥基苯乙烯/丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯共聚物可以是嵌段共聚物。該共聚物可以含有50-90摩爾％羥基苯乙烯單元，這取決于所需溶解速率/敏感性。該共聚物通常具有7，000-50,000的數(shù)均分子量(相對于聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)樣品)。該共聚物具有大約140°C-大約170°C的高玻璃化轉(zhuǎn)變溫度。該共聚物還具有高的酸敏感性。該共聚物的酸不穩(wěn)定酯基在酚羥基存在下異常熱穩(wěn)定至大約180°C的溫度。這使該組合物的膜能夠高預(yù)曝光加熱，這樣實(shí)現(xiàn)顯著改進(jìn)的光刻性能。這里有用的酚醛清漆樹脂通過讓酚或取代的酚經(jīng)歷酚或取代的酚(或其組合)和醛或酮(或其組合)在酸或二價金屬鹽催化劑存在下在適合的反應(yīng)溶劑中的加成縮合反應(yīng)來制備，如光致抗蝕劑領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的那樣。適合的酚包括，但不限于，苯酚、氯苯酚、氟苯酚、間甲酚、鄰甲酚、對甲酚、間-乙基苯酚、鄰乙基苯酚、對-乙基苯酚、間-丁基苯酚、鄰丁基苯酚、對-丁基苯酚、三甲基甲硅烷基苯酚、氯代甲基苯酚、2，3_二甲苯酚、2，4-二甲苯酚、2，5-二甲苯酚、2，6-二甲苯酚、3，4-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚、3，6-二甲苯酚、鄰苯基苯酚、間-苯基苯酚、對-苯基苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、2，3，5-三乙基苯酚、3，4，5-三甲基苯酚、4-叔丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、2-叔丁基苯酚、2-叔丁基-4-甲基苯酚、2_叔丁基-5-甲基苯酚及其它烷基-取代的苯酚；對-甲氧基苯酚、間-甲氧基苯酚、鄰甲氧基苯酚、對-乙氧基苯酚、間-乙氧基苯酚、鄰乙氧基苯酚、鄰丙氧基苯酚、對-丙氧基苯酚、丙氧基苯酚及其它烷氧基_取代的苯酚；鄰異丙烯基苯酚、對_異丙烯基苯酚、2-甲基-4-異丙烯基苯酚、2-乙基-4-異丙烯基苯酚及其它異丙烯基_取代的苯酚苯基苯酚及其它芳基-取代的苯酚；4，4'-二羥基聯(lián)苯、雙酚A、氫醌、間苯二酚、2-甲基間苯二酚、5-甲基間苯二酚、連苯三酚、兒茶酚，及其它多羥基酚，如光致抗蝕劑
技術(shù)領(lǐng)域：
的技術(shù)人員公知的那些。這些酚可以單獨(dú)使用或以兩種或更多種的摻合物使用，這取決于所需的溶解速率。至于醛的實(shí)例，可以單獨(dú)或組合地使用例如以下的那些甲醛、多聚甲醛、乙醛、苯甲醛、糠醛、三噁烷、丙醛、丁醛、三甲基乙醛、丙烯醛、巴豆醛、環(huán)己醛、呋喃基丙烯醛、對苯二甲醛(ter印hthalaldehyde)、苯基乙醛、a-苯基丙醛、0-苯基丙醛、鄰羥基苯甲醛、間-羥基苯甲醛、對-羥基苯甲醛、鄰甲基苯甲醛、間-甲基苯甲醛、對-甲基苯甲醛、鄰氯苯甲醛、間_氯苯甲醛、對_氯苯甲醛和肉桂醛等。酮的實(shí)例包括丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮和二苯酮。這些酮中的每一種可以單獨(dú)或組合地使用。此外，可以采用任何醛和任何酮的任選的組合。作為酸催化劑，可以使用無機(jī)酸例如鹽酸、硝酸、硫酸等，有機(jī)酸例如甲酸、草酸、馬來酸等，和銅、鈷、鎂、錳、鎳、鋅等的二價無機(jī)金屬鹽。反應(yīng)溶劑通常是親水性溶劑，例如甲醇或二噁烷。堿可溶性成膜酚醛清漆樹脂的實(shí)例包括苯酚-甲醛酚醛清漆、甲酚甲醛酚醛清漆和苯酚改性二甲苯酚-甲醛酚醛清漆。酚醛清漆樹脂已常用于光致抗蝕劑制造領(lǐng)域，如“ChemistryandApplicationofPhenolicResins",KnopA.andScheib,ff.；SpringerVerlag,N.Y.，1979，第4章中舉例說明。含2-7個酚基的多羥基化合物可以包括多羥基二苯甲酮，多羥基苯基烷基酮，雙(多羥基苯基)烷烴，多羥基苯甲酸酯，雙(多羥基苯甲?；?烷烴，雙(多羥基苯甲?；?芳基，亞烷基二(多羥基苯甲酸酯)，多羥基聯(lián)苯，雙(多羥基)硫醚，雙(多羥基苯基)醚，雙(多羥基苯基)亞砜，雙(多羥基苯基)砜，多羥基三苯甲烷，多羥基-螺二-茚滿，多羥基苯酞(polyhydroxyphthalide)，端二甲苯酚線性四核化合物，線性五核化合物，線性四核化合物，非線性四核化合物，例如，(a)多羥基二苯甲酮例如2，4_二羥基二苯甲酮、2，3，4_三羥基二苯甲酮、2，4，4'-三羥基二苯甲酮、2，4，6_三羥基二苯甲酮、2，3，4_三羥基-2'-甲基二苯甲酮、2，3,4,4'-四羥基二苯甲酮、2，2'4,4'-四羥基二苯甲酮、2，4，6，3‘,4'-五羥基二苯甲酮、2，3，4，2'，4'-五羥基-二苯甲酮、2，3，4，2'，5'-五羥基二苯甲酮、2，2‘,3,4,6'-五羥基二苯甲酮、2，3',4,4'，6-五羥基二苯甲酮、2，2',3,4,4'-五羥基二苯甲酮、2，2',3,4,5'-五羥基二苯甲酮、2，3',4,5,5'-五羥基二苯甲酮、2，3，3‘,4,4'，5'-六羥基二苯甲酮、2，4，6，3',4',5'-六羥基二苯甲酮和2，3，4，3‘,4',5'-六羥基二苯甲酮；(b)多羥基苯基烷基酮例如2，3，4-三羥基苯乙酮、2，3，4-三羥基苯基戊基酮和2，3,4-三羥基苯基己基酮；(c)雙(多羥基苯基)烷烴例如雙(2，3，4-三羥基苯基)甲烷、雙(2，4-二羥苯基)甲烷和雙(2，3，4-三羥基苯基)丙烷；(d)多羥基苯甲酸酯例如3，4，5-三羥基-苯甲酸丙酯、2，3，4-三羥基苯甲酸苯酯和3，4，5-三羥基苯甲酸苯酯；(e)雙(多羥基苯甲?；?烷烴或雙(多羥基苯甲?；?芳基化物例如雙(2，3，4-三羥基苯甲?；?甲烷、雙(3-乙酰基-4，5，6-三羥基苯基)甲烷、雙(2，3，4_三羥基苯甲?；?苯和雙(2，4，6-三羥基苯甲?；?苯；(f)亞烷基二(多羥基苯甲酸酯)例如乙二醇二(3，5_二羥基苯甲酸酯)和乙二醇二(3，4，5-三羥基苯甲酸酯)；(g)多羥基聯(lián)苯例如2，3，4_聯(lián)苯三酚、3，4，5_聯(lián)苯三酚、3，5，3'5'-聯(lián)苯四酚、2,4,2',4'-聯(lián)苯四酚、2，4，6，3',5'-聯(lián)苯五酚、2，4，6，2‘,4',6'-聯(lián)苯六酚和2，3,4,2'，3'，4'-聯(lián)苯六酚;(h)雙(多羥基)硫醚例如4，4‘-硫代雙(1，3-二羥基)苯；(i)雙(多羥基苯基)醚例如2,2’4,4'-四羥基二苯醚；(j)雙(多羥基苯基)亞砜例如2,2’4,4'-四羥基二苯亞砜；(k)雙(多羥基苯基)砜例如2,2’,4,4'-四羥基二苯砜；(1)多羥基三苯基甲烷例如三(4-羥苯基)甲烷)、4，4'，4〃-三羥基_3，5，3'，5'-四甲基三苯基甲烷、4，4'，3〃，4〃-四羥基-3，5，3',5'-四甲基三苯基甲烷、4，4'，2〃，3〃，4〃-五羥基_3，5，3'，5'-四甲基三苯基甲烷、2，3，4，2‘，3'，4'-六羥基-5，5'-二乙?；郊淄椤?，3，4，2',3',4'，3〃，4〃-八羥基_5，5-二乙?；郊淄楹?，4，6，2',4',6'-六羥基_5，5'-二丙酰基三苯甲烷；(m)多羥基-螺二-茚滿例如3，3，3'，3'-四甲基_1，1'-螺二-茚滿_5，6，5',6'-四醇、3，3，3'3'-四甲基-1，1'-螺二-茚滿_5，6，7，6'6',7'-六醇和3,3,3'3'-四甲基-1，1'-螺二-茚滿_4，5，6，4',5',6'-六醇；(n)多羥基苯酞例如3，3-雙(3，4_二羥苯基)苯酞、3，3_雙(2，3，4_三羥基苯基)苯酞和3'，4'，5'，6'-四羥基螺(苯酞_3，9'-氧雜蒽)；(o)JPNo.4-253058中描述的多羥基化合物例如a，a‘，a〃-三(4-羥苯基)-1，3，5-三異丙基苯、a，a‘，a〃-三(3，5_二甲基_4_羥苯基)_1，3，5_三異丙基苯、a，a‘，a〃-三(3，5_二乙基_4_羥苯基)_1，3，5_三異丙基苯、a，a‘，a〃-三(3，5-二-正丙基-4-羥苯基)-1，3，5_三-異丙苯、a，a‘，a〃-三(3，5_二異丙基-4-羥苯基)-1，3，5_三異丙基苯、a，a'，a〃-三(3，5_二-正丁基_4_羥苯基)-1，3，5_三異丙基苯、a，a‘,a”-三(3_甲基_4_羥苯基)_1，3，5_三異丙基-苯、a,a‘，a〃-三(3_甲氧基_4_羥苯基)_1，3，5_三異丙基苯、a，a‘，a〃-三(2，4-二羥苯基)-1，3，5_三異丙基苯、2，4，6_三(3，5_二甲基-4-羥基苯基硫代甲基)均三甲苯、l-[a-甲基-0-(4”-羥苯基)乙基]4-[a，a‘-雙(4〃-羥苯基)乙基]苯、l-[a-甲基-a-(4'-羥苯基)乙基]-3-[a，a‘-雙(4〃-羥基-苯基)乙基]苯、l-[a-甲基-a-(3',5'-二甲基_4'-羥苯基)乙基]苯、1_[a-甲基-a-(3‘-甲氧基-4'-羥苯基)乙基]-4-[a‘，a‘-雙(3'-甲氧基_4'-羥苯基)乙基]苯和l-[a-甲基-a-(2'，4'-二羥苯基)乙基]_4_[a，a‘-雙(4'-羥苯基)乙基]苯。此外，含2-7個酚基的多羥基化合物還可以包括具有通式(I)的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>具有通式(II)的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>其中Rn、R12、R13、R14、R15、R16和R17各自獨(dú)立地表示H、CrC4烷基、CrC4烷氧基、環(huán)己基或由以下通式表示的基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>其中R18表示H、C「C4烷基、C「C4烷氧基或環(huán)己基；mm和nn中的每一個是0、1或2；aa、bb、cc、dd、ee、ff、gg和hh中的每一個是0或1-5的整數(shù)，滿足aa+bb^5、cc+dd^5、ee+ff^5和gg+hh<5;i是0、1或2，和其中酚基的數(shù)目是2-7；或它們的混合物。含2-7個酚基的多羥基化合物的實(shí)例還可以包括2，4_二羥基二苯甲酮、2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，4，4'-三羥基二苯甲酮、2，4，6_三羥基二苯甲酮、2，3，4_三羥基-2'-甲基二苯甲酮、2，3，4，4'-四羥基二苯甲酮、2，2'4,4'-四羥基二苯甲酮、2，4，6,3'，4'-五羥基二苯甲酮、2，3，4，2'，4'-五羥基-二苯甲酮、2，3，4，2‘，5'-五羥基二苯甲酮、2，2',3,4,6'-五羥基二苯甲酮、2，3',4,4'，6-五羥基二苯甲酮、2，2‘，3,4,4'-五羥基二苯甲酮、2，2',3,4,5'-五羥基二苯甲酮、2，3‘,4,5,5'-五羥基二苯甲酮、2，3，3',4,4',5'-六羥基二苯甲酮、2，4，6，3',4',5'-六羥基二苯甲酮、2，3,4,3'，4'，5'-六羥基二苯甲酮、2，3，4_三羥基苯乙酮、2，3，4_三羥基苯基戊基酮、2，CN101809502Ai^.^^7/19頁其中對于通式(I)或(II)，X是直接鍵、低級亞烷基或CH2_Y；Y是0或S；RrR9中的每一個獨(dú)立地是烷基、烷氧基、H或鹵素；R1(l是H或烷基；a、b和c中的每一個是2-4的整數(shù)；l、m和n中的每一個是1-3的整數(shù)；具有通式(III)的化合物3，4_三羥基苯基己基酮、雙(2，3，4_三羥基苯基)甲烷、雙(2，4_二羥基苯基)甲烷、雙(2，3，4_三羥基苯基)丙烷、3，4，5-三羥基-苯甲酸丙酯、2，3，4-三羥基苯甲酸苯酯、3，4，5-三羥基苯甲酸苯酯、雙(2，3，4-三羥基苯甲?；?甲烷、雙(3-乙?；?4，5，6-三羥基苯基)甲烷、雙(2，3，4_三羥基苯甲?；?苯、雙(2，4，6-三羥基苯甲?；?苯、乙二醇-二(3，5_二羥基苯甲酸酯)、乙二醇二(3，4，5_三羥基苯甲酸酯)、2，3，4_聯(lián)苯三酚、3，4，5_聯(lián)苯三酚、3，5，3'5'-聯(lián)苯四酚、2，4，2',4'-聯(lián)苯四酚、2，4，6，3‘,5'-聯(lián)苯五酚、2，4,6,2',4',6'-聯(lián)苯六酚、2，3，4，2',3',4'-聯(lián)苯六酚、4，4'-硫代雙(1，3_二羥基)苯、2，2'4,4'-四羥基二苯醚、2，2'4,4'-四羥基二苯亞砜、2，2‘,4,4'-四羥基二苯砜、三(4-羥基苯基)甲烷)、4，4'，4〃-三羥基-3，5，3'，5'-四甲基三苯基甲烷、4，4'，3〃，4〃-四羥基-3，5，3'，5'-四甲基三苯基甲烷、4，4'，2〃，3〃，4〃-五羥基_3，5，3',5'-四甲基三苯基甲烷、2，3，4，2',3',4'-六羥基_5，5'-二乙酰基三苯甲烷、2，3，4，2'，3'，4'，3〃，4〃-八羥基_5，5-二乙?；郊淄?、2，4，6，2‘，4'，6'-六羥基-5，5'-二丙?；郊淄?、3，3，3',3'-四甲基_1，1'-螺雙-茚滿-5，6,5',6'-四醇、3，3，3'3'-四甲基_1，1'-螺二-茚滿-5，6，7，6‘6',7'-六醇、3,3,3'3'-四甲基-1，1'-螺二-茚滿_4，5，6，4',5',6'-六醇、3，3-雙(3，4-二羥基苯基)苯酞、3，3_雙(2，3，4_三羥基苯基)苯酞、3',4',5',6'-四羥基螺(苯酞_3，9'-咕噸)、a，a‘，a〃-三(4_羥基苯基)_1，3，5_三異丙基苯、a，a‘，a〃-三(3，5_二甲基-4-羥基苯基)-1，3，5_三異丙基苯、a，a‘,a”-三(3，5_二乙基_4_羥基苯基)-1，3，5_三異丙基苯、a，a‘，a〃-三(3，5_二-正丙基_4_羥基苯基)_1，3，5_三-異丙基苯、a，a‘，a〃-三(3，5_二異丙基_4_羥基苯基)_1，3，5_三異丙基苯、a，a‘，a〃-三(3，5_二-正丁基_4_羥基苯基)_1，3，5_三異丙基苯、a，a‘，a〃-三(3-甲基-4-羥基苯基)-1，3，5_三異丙基-苯、a，a'，a〃-三(3_甲氧基_4_羥基苯基)-1，3，5-三異丙基苯、a，a'，a〃-三(2，4_二羥基苯基)_1，3，5_三異丙基苯、2，4，6_三(3，5-二甲基-4-羥基苯基硫代甲基)均三甲苯、l-[a-甲基-a-(4〃-羥基苯基)乙基]-4-[a，a‘-雙(4〃_羥基苯基)乙基]苯、l-[a-甲基-a-(4'-羥基苯基)乙基]-3-[a，a‘-雙(4〃-羥基-苯基)乙基]苯、1_[a-甲基-a-(3‘，5'-二甲基-4'-羥基苯基)乙基]苯、l-[a-甲基-a-(3'-甲氧基_4'-羥基苯基)乙基]-4-[a',a‘-雙(3'-甲氧基_4'-羥基苯基)乙基]苯、1_[a-甲基-a-(2‘，4'-二羥基苯基)乙基]-4-[a‘，a‘-雙(4‘-羥基苯基)乙基]苯、1_[1‘-甲基-1'-(4'-羥基苯基)乙基]4_[1'，1'-雙(4-羥基苯基)乙基]苯、雙[3-(3，5-二甲基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-甲基苯基]甲烷、雙[3-(3，5-二甲基-4-羥基芐基)_4_羥基-5-乙基苯基]甲烷、雙[3-(3，5_二乙基-4-羥基芐基)-4_羥基-5-甲基苯基]甲烷、雙[3-(3，5-二乙基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-乙基苯基]甲烷、2，4-雙[2-羥基-3-(4-羥基芐基)-5_甲基芐基]-6-環(huán)己基苯酚、2，4_雙[4-羥基-3-(4-羥基芐基)-5-甲基芐基]-6-環(huán)己基苯酚、雙[2-羥基-3-(3，5-二甲基-4-羥基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[2-羥基-3-(2-羥基-5-甲基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[4-羥基-3-(2-羥基-5-甲基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[2，5-二甲基-3-(4-羥基-5-甲基芐基)-4-羥基苯基]甲烷、雙[2，5-二甲基-3-(4-羥基芐基)-4-羥基苯基]甲烷、雙[2，5-二甲基-3-(2-羥基芐基)-4-羥基苯基]甲烷、1，1_雙(4-羥基苯基-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1_雙15(3，5_二甲基-4-羥基苯基-l-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1_雙(3，5_二甲基-2-羥基苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1_雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1_[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1_雙(2，6_甲基-4-羥基苯基)-1-[4-(4_羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，4_二羥基苯基)-1-[4-(4_羥基芐基)苯基]乙烷、1，1_雙(3，4，5_三羥基苯基)-1-[4-(4_羥基芐基)苯基]乙烷、1，1_雙(4-羥基苯基)-1-[4-{1-(4_羥基苯基)-1_甲基乙基]苯基]乙烷、1，1_雙(3，5_二甲基-4-羥基苯基)-1-[4-[1-(4_羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1_雙(3，5_二甲基-2-羥基苯基)-1-[4-[1-(4_羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1_雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4[1-(4_羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(2，6-二甲基-4-羥基苯基)-1-[4-[1-(4-羥基苯基-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，4-二羥基苯基)-1-[4-[1(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1_雙(3，4，5_三羥基苯基)-1-[4-(1-(4_羥基苯基)-1_甲基乙基]苯基]乙烷、雙(4-羥基_2，3，5_三甲基苯基)-2_羥基苯基甲烷、1，4_雙[1-(3，5_二甲基-4-羥基苯基)異丙基]苯、2，4_雙(3，5_二甲基-4-羥基苯基甲基)-6_甲基苯酚、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2，5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-3，4_二羥基苯基甲烷、1-[1-(4_羥基苯基)異丙基]-4-[l，l-雙(4-羥基苯基)乙基]苯、1-[1-(3_甲基-4-羥基苯基)異丙基]-[4-[1，1-雙(3-甲基-4-羥基苯基)乙基]苯、2，6-雙[1-(2，4-二羥基苯基)異丙基]-4-甲基苯酚、4，6-雙[1-(4-羥基苯基)異丙基]間苯二酚、4，6-雙(3，5-二甲氧基-4-羥基苯基甲基)連苯三酚、4，6-雙(3，5-二甲基-4-羥基苯基甲基)連苯三酚、2，6-雙(3-甲基-4，6-二羥基苯基甲基)-4_甲基苯酚、2，6_雙(2，3，4_三羥基苯基甲基)-4_甲基苯酚、1，1-雙(4-羥基苯基)環(huán)己烷、4，4'，4〃-乙叉基三苯酚、4-[雙(4-羥基苯基)甲基]-2-乙氧基苯酚、4，4'-[(2-羥基苯基)亞甲基]雙[2，3_二甲基苯酚]、4，4'-[(3-羥基苯基)亞甲基]雙[2，6_二甲基苯酚]、4，4'-[(4-羥基苯基)亞甲基]雙[2，6_二甲基苯酚]、2，2'-[(2-羥基苯基)亞甲基]雙[3，5_二甲基苯酚]、2，2'-[(4-羥基苯基)亞甲基]雙[3，5_二甲基苯酚]、4，4'-[(3，4_二羥基苯基)亞甲基]雙[2，3，6_三甲基苯酚]、4-[雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)甲基]-1，2-苯二酚、4，6_雙[(3，5-二甲基-4-羥基苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇、4，4'-[(2-羥基苯基)亞甲基]雙[3-甲基苯酚]、4，4'，4，，-(3-甲基-1-口1~0口&1^1-3111(11116)三苯酚、4，4'A"A"‘_(1，4_亞苯基二甲叉基(methylidine))四苯酚、2，4，6_三[(3，5_二甲基_4_羥基苯基)甲基]-1，3-苯二酚、2，4，6-三[(3，5-二甲基-2-羥基苯基)甲基]-1，3-苯二酚、4，4'-[1-[4-[1-[4_羥基-3，5_雙[(羥基-3-甲基苯基)甲基]苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]雙[2，6-雙(羥基-3-甲基苯基)甲基]苯酚和它們的混合物。本文所使用的乙烯基醚具有以下通式^50八其中R5(l是未取代或取代的烷基或未取代或取代的環(huán)烷基。乙烯基醚的實(shí)例包括乙基乙烯基醚、丁基乙烯醚、己基乙烯基醚、辛基乙烯基醚、癸基乙烯基醚、乙基己基乙烯基醚、甲氧基乙基乙烯基醚、乙氧基乙基乙烯基醚、氯代乙基乙烯基醚、1-甲基-2，2-二甲基16丙基乙烯基醚、2-乙基丁基乙烯基醚、羥乙基乙烯基醚、二乙二醇乙烯基醚、二甲氨基乙基乙烯基醚、二甲氨基乙基乙烯基醚、二乙氨基乙基乙烯基醚、丁氨基乙基乙烯基醚、四氫糠基乙烯基醚和類似物等。還可以與例如，羥基苯乙烯/丙烯酸酯或酚醛清漆聚合物/含2-7個酚基的多羥基化合物反應(yīng)的化合物是未取代或取代的不飽和雜脂環(huán)族化合物例如3，4_二氫-2H-吡喃。樹脂粘結(jié)劑(1)_(5)是通過將待反應(yīng)的組分混合制得的，無需催化劑。方法在下面實(shí)施例中進(jìn)行舉例說明，但是通常該反應(yīng)可以在大約80°C-大約140°C之間進(jìn)行數(shù)小時，例如6-24小時。雖然任何光活性化合物可以用于光致抗蝕劑，但是通常本新型組合物的在輻射時能夠產(chǎn)生強(qiáng)酸的化合物，即光酸產(chǎn)生劑(PAG)選自在所需曝光波長下，例如，在370nm以下(包括365nm)吸收的那些。光生的酸使光致抗蝕劑的不溶于堿的聚合物去保護(hù)而獲得此時在曝光區(qū)域中可溶于堿性顯影劑的聚合物。可以使用產(chǎn)生強(qiáng)酸，尤其是磺酸的任何PAG。產(chǎn)生酸的光敏性化合物的適合實(shí)例包括，但不限于離子型光酸產(chǎn)生劑(PAG)，例如重氮鹽、碘鐺鹽、锍鹽，或非離子型PAG，例如重氮磺酰基化合物、磺酰氧基酰亞胺、硝基芐基磺酸酯和酰亞氨基磺酸酯，但是可以使用在輻射下產(chǎn)生酸的任何光敏性化合物。該鐺鹽通常以可溶于有機(jī)溶劑的形式使用，通常作為碘鐺或锍鹽，它們的實(shí)例是三氟甲烷磺酸二苯基碘鐺、九氟丁烷磺酸磺酸二苯基碘鐺、三氟甲烷磺酸三苯基锍、九氟丁烷磺酸三苯基锍等。其它有用的鐺鹽例如美國專利6，991，888，US-A2004/0265733，美國專利7，358，408和US-A2005/0271974中公開的那些，引入本文供參考?？梢允褂玫脑谳椛湎滦纬伤岬钠渌幕衔锸侨?、噁唑、噁二唑、噻唑、取代的2-吡喃酮。PAG例如US2002/0061464中描述的那些也是有用的。酚類磺酸酯、三氯甲基三嗪、雙_磺?；淄?、雙_磺?；淄榛螂p_磺酰基重氮甲烷、三苯基锍三(三氟甲基磺酰基)甲基化物、三苯基锍雙(三氟甲基磺酰基)酰亞胺、二苯基碘鐺三(三氟甲基磺?；?甲基化物、二苯基碘鐺雙(三氟甲基磺酰基)酰亞胺、N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸酯和它們的同系物也是可能的候選物。光活性化合物的其它實(shí)例包括<formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula>其中R21-R2Ji立地是(C1-C8)烷基或(C1-C8)烷氧基取代基，X—是磺酸根平衡離子，η=1-20，R2tl獨(dú)立地選自(C1-C8)烷基、(C1-C8)烷氧基、苯基、苯乙烯基苯基、(C1-C8)烷氧基-苯乙烯基苯基、呋喃基乙叉基、(C1-C8)烷基取代的呋喃基乙叉基、萘基、(C1-C8)烷基或(C1-C8)烷氧基取代的萘基。也可以使用光活性化合物的混合物；例如，三嗪和酰亞胺的混合物。光活化合物(例如，光酸產(chǎn)生劑)可以按固體計(jì)以0.l-10wt%，進(jìn)一步0.3-5wt%，更進(jìn)一步0.5-2.5wt%的量引入。堿可以按大約0.01wt%-大約5wt%固體，進(jìn)一步至多l(xiāng)wt%固體，更進(jìn)一步至0.07wt%固體的水平添加。含氮堿的實(shí)例包括胺，例如三乙胺、三乙醇胺、苯胺、亞乙基二胺、吡啶、氫氧化四烷基銨或其鹽(例如，氫氧化四甲銨、乙酸四甲基銨、氫氧化四丁基銨、乙酸四丁基銨)。光敏性堿的實(shí)例是氫氧化二苯碘鐺、氫氧化二烷基碘鐺、氫氧化三烷基锍等。相對于光酸產(chǎn)生劑，可以以至多100摩爾％的水平添加該堿。雖然采用術(shù)語“堿添加劑”，但是除去酸的其它機(jī)理也是可能的，例如通過使用揮發(fā)性酸(例如CF3CO2-)或親核酸(例如Br—)的四烷基銨鹽，它們分別通過在曝光后烘烤期間自膜揮發(fā)出來或通過親核結(jié)構(gòu)部分與酸前體碳陽離子的反應(yīng)(例如叔丁基碳陽離子與溴化物反應(yīng)形成叔丁基溴)除去酸。使用不揮發(fā)性胺添加劑也是可能的。胺的實(shí)例將是這些胺，其具有空間受阻結(jié)構(gòu)以阻礙親核反應(yīng)性而維持堿性、低的揮發(fā)性和在抗蝕劑配方中的溶解性，例如質(zhì)子海綿、1，5-二氮雜雙環(huán)[4.3.0]-5_壬烯、1，8_二氮雜雙環(huán)[5，4，0]-7-i碳烯、環(huán)狀烷基胺或帶有胺的聚醚如美國專利號6，274，286中描述的那樣。本發(fā)明的光致抗蝕劑可以包含其它組分例如添加劑、表面活性劑、染料、增塑劑及其它輔助聚合物。表面活性劑通常是包含可以幫助形成良好均勻光致抗蝕劑涂層的氟或硅化合物的化合物/聚合物。某些類型的染料可用來提供吸收不希望的光。增塑劑可以尤其用于厚膜，以有助于膜例如含硫或氧的那些的流動性。增塑劑的實(shí)例是己二酸酯、癸二酸酯和鄰苯二甲酸酯。表面活性劑和/或增塑劑可以按大約0.1-大約10wt%的濃度添加，按光致抗蝕劑組合物中固體的總重量計(jì)。在制備光致抗蝕劑組合物中，將光致抗蝕劑的固體組分與溶解光致抗蝕劑的這種固體組分的溶劑或溶劑混合物混合。光致抗蝕劑的適合的溶劑可以包括，例如，二醇醚衍生物例如乙基溶纖劑、甲基溶纖劑、丙二醇一甲醚、二乙二醇一甲醚、二乙二醇一乙醚、二丙二醇二甲基醚、丙二醇正丙基醚或二乙二醇二甲醚；二醇醚酯衍生物例如乙基溶纖劑乙酸酯、甲基溶纖劑乙酸酯或丙二醇一甲醚乙酸酯；羧酸酯例如乙酸乙酯、乙酸正丁酯和乙酸戊酯；二元酸的羧酸酯例如二乙氧基化物和丙二酸二乙酯；二醇的二羧酸酯例如乙二醇二乙酸酯和丙二醇二乙酸酯；和羥基羧酸酯例如乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙醇酸乙酯和乙基-3-羥基丙酸酯；酮酯例如丙酮酸甲酯或丙酮酸乙酯；烷氧基羧酸酯例如3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯或乙氧基丙酸甲酯；酮衍生物例如甲基乙基酮、乙?；?、環(huán)戊酮、環(huán)己酮或2-庚酮；酮醚衍生物例如二丙酮醇甲基醚；酮醇衍生物例如丙酮醇或二丙酮醇；內(nèi)酯例如丁內(nèi)酯；酰胺衍生物例如二甲基乙酰胺或二甲基甲酰胺，茴香醚和它們的混合物?？梢酝ㄟ^光致抗蝕劑領(lǐng)域中使用的任何常規(guī)方法(包括浸涂、噴涂、旋渦和旋涂)將制備好的光致抗蝕劑組合物溶液施加于基材上。當(dāng)旋涂時，例如，在給定所使用的旋涂設(shè)備的類型和該旋涂工藝所允許的時間量下，為了提供具有所需厚度的涂層，可能針對固體含量的百分率來調(diào)節(jié)抗蝕劑溶液。適合的基材包括但不限于，硅、銅、鋁、聚合物樹脂、二氧化硅、金屬、摻雜的二氧化硅、氮化硅、鉭、多晶硅、陶瓷、鋁/銅混合物、砷化鎵和其它的那些III/V族化合物。通過所描述的程序而制備的光致抗蝕劑涂層特別適于施加到銅包覆的硅晶片上，例如用于生產(chǎn)微處理器和其它微型化集成電路元件。也可以使用硅/二氧化硅晶片?；倪€可以包含各種聚合物樹脂，尤其是抗反射涂層?；目梢跃哂羞m合的組合物的粘附促進(jìn)的層，例如包含六烷基二硅氮烷的層。然后將光致抗蝕劑組合物溶液涂覆到基材上，并在大約70°C-大約150°C的溫度下，在熱板上處理該基材大約30秒-大約6分鐘或在對流烘箱中處理大約15-大約90分鐘。為了降低該光致抗蝕劑中的殘留溶劑的濃度，同時不引起該光吸收性化合物的顯著熱降解，選擇這一溫度處理。一般而言，人們希望最大程度地降低溶劑的濃度并且實(shí)施該第一溫度處理直到基本上所有的溶劑已蒸發(fā)和光致抗蝕劑組合物的涂層(厚度的數(shù)量級為2-200微米)保留在基材上。可以制備多重涂層以獲得厚膜。溫度為大約95V-大約135°C。溫度和時間選擇取決于用戶需要的光致抗蝕劑性能，以及所使用的設(shè)備和商業(yè)上所需的涂覆次數(shù)。然后可在光化輻射下將涂布基材曝光，例如在波長為大約300nm(納米)-大約450nm的紫外輻射、X射線、電子束、離子束或激光輻射下，以通過使用適合的掩模、底片、模版、模板等產(chǎn)生的任何所需的圖案形式曝光。通常，使用寬帶輻射，使用設(shè)備例如Ultratech，KarlSuss或PerkinElmer寬帶曝光工具將厚光致抗蝕劑膜曝光，但是也可以使用436nm和365nm步進(jìn)器。然后，光致抗蝕劑任選地在顯影之前或之后經(jīng)受曝光后的第二烘烤或熱處理。加熱溫度可以為大約90°C-大約150°C，進(jìn)一步為大約90°C-大約130°C。該加熱可以在熱板上進(jìn)行大約30秒-大約3分鐘，進(jìn)一步大約60秒-大約2分鐘或者通過對流烘箱進(jìn)行大約30-大約45分鐘。將曝光的光致抗蝕劑涂覆的基材通過浸漬在顯影溶液中而顯影以去除成像曝光的區(qū)域或通過噴霧顯影工藝而顯影。例如，該溶液可以通過氮脈沖攪動來攪拌。允許該基材保持在該顯影劑中直到全部，或基本上全部光致抗蝕劑涂層已從該曝光區(qū)域溶解。顯影劑包括銨或堿金屬氫氧化物的水溶液。氫氧化物的一個實(shí)例是氫氧化四甲基銨。其它包括的堿是氫氧化鈉或氫氧化鉀?？梢詫⑻砑觿├绫砻婊钚詣┨砑拥斤@影劑中。在從該顯影液中取出涂覆的晶片之后，可以進(jìn)行任選的顯影后熱處理或烘烤以增加該涂層的粘附性和光致抗蝕劑的密度。然后可以用金屬或金屬的層涂覆成像的基材以形成突出部，如本領(lǐng)域中熟知的那樣，或根據(jù)需要進(jìn)一步加工。以下實(shí)施例將詳細(xì)說明本發(fā)明組合物的制備和使用方法。然而，這些實(shí)施例不意于以任何方式限制或約束本發(fā)明的范圍并且不應(yīng)該看作是在提供為了實(shí)踐本發(fā)明所必須唯一使用的條件、參量或數(shù)值。實(shí)施例1-聚合物1將聚羥基苯乙烯/丙烯酸叔丁酯共聚物(60%/40%；10,OOOMw；可以從DuPont獲得)在PGMEA(丙二醇單甲醚乙酸酯)中的163.8gm50%溶液(81.9gm固體聚合物)、5.0克附加的PGMEA和10.45gm乙基乙烯基醚(0.1451摩爾)放入配備有冷凝器、溫度計(jì)和磁力攪拌器(Teflon包覆的磁鐵)的圓底3頸250ml燒瓶中。在未用的開口和冷凝器頂部用橡皮塞密封該系統(tǒng)。逐漸地將該溶液加熱至120°C并在充分?jǐn)嚢柘卤３衷谠摐囟认?2小時，然后接著冷卻至室溫。在該溶液中沒有檢測到殘留乙基乙烯基醚。這一溶液的理論固體含量是51.52%，并將這一溶液原樣用于其它實(shí)施例。聚羥基苯乙烯/丙烯酸叔丁酯共聚物的涂層在反應(yīng)之前的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量)是2.Ixm/秒(Ukl勢)。實(shí)施例1的涂層的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量)是0.25nm/秒(2.5A/秒)。實(shí)施例2-聚合物2將聚羥基苯乙烯/丙烯酸叔丁酯共聚物(60%/40%)在PGMEA中的87gm50%的溶液(43.5gm固體聚合物)添加到72.Igm具有73.Onm/秒(730)的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量)的間甲酚/甲醛酚醛清漆在PGMEA中的47.溶液(33.96gm固體)中，5.15gm附加的PGMEA和10.41gm乙基乙烯基醚(0.14458摩爾)放入配備有冷凝器、溫度計(jì)和磁力攪拌器(Teflon包覆的磁鐵)的圓底3頸250ml燒瓶中。用橡皮塞密封該系統(tǒng)。逐漸地將該溶液加熱至120°C并在充分?jǐn)嚢柘卤３衷谠摐囟认?小時，然后接著冷卻至室溫。在該溶液中沒有檢測到殘留乙基乙烯基醚。這一溶液的理論固體含量是50.3%，并將這一溶液原樣用于其它實(shí)施例。聚羥基苯乙烯/丙烯酸叔丁酯共聚物的涂層在反應(yīng)之前的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量)是7.Onm/秒.(70A/秒)。實(shí)施例2的涂層的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量)是O.412nm/秒(4.12入/秒)。實(shí)施例3-聚合物3將在PGMEA中的238.4gm46.8%的間甲酚/甲醛酚醛清漆(具有0.IOOOnm/秒(1，οοολ/少)的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量))溶液an.57gm固體)、附加的35.12gmPGMEA禾口74.62gmTRISP-PA(1-[a-甲基-a-(4_羥苯基)乙基]_4_[a，a-雙(4-羥苯基)乙基]苯)(1.0364摩爾)放入配備有冷凝器、溫度計(jì)、加料漏斗和磁力攪拌器(Teflon包覆的磁鐵)的圓底3頸500ml燒瓶中。在冷凝器的頂部用橡皮塞密封該系統(tǒng)。將該溶液逐漸地加熱至110°C并在充分?jǐn)嚢柘卤３衷谠摐囟认轮钡饺縏RISP-PA完全溶解。然后將該溶液的溫度提升到120°C。然后在2小時期間內(nèi)緩慢地將43.5gm(0.604摩爾)乙基乙烯基醚添加至該反應(yīng)混合物中以避免壓力增大。允許該反應(yīng)在該溫度下再繼續(xù)20小時，然后接著冷卻至室溫。在該溶液中沒有檢測到殘留乙基乙烯基醚。這一溶液的理論固體含量是58.6%，并將這一溶液原樣用于其它實(shí)施例。實(shí)施例3的涂層的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量)是0.044nm/秒(0.44入/秒)。實(shí)施例4將在PGMEA中的237.67gm46.8%的間甲酚/甲醛酚醛清漆(具有0.IOOOnm/秒(1，000λ/評少)的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量))溶液(111.23gm固體)、附加的35gmPGMEA和74.97gmTRISP-PA(0.1768摩爾)放入配備有冷凝器、溫度計(jì)、加料漏斗和磁力攪拌器(Teflon包覆的磁鐵)的圓底3頸500ml燒瓶中。在冷凝器的頂部用橡皮塞密封該系統(tǒng)。將該溶液逐漸地加熱至110°C并在充分?jǐn)嚢柘卤３衷谠摐囟认轮钡饺縏RISP-PA完全溶解。然后將該溶液的溫度提升到120°C。然后在1.5小時期間內(nèi)緩慢地將43.8gm(0.6083摩爾)乙基乙烯基醚添加至該反應(yīng)混合物中以避免壓力增大。允許該反應(yīng)在該溫度下再繼續(xù)20小時，然后接著冷卻至室溫。通過汽提該溶液在最終溶液中沒有觀察到殘留乙基乙烯基醚。這一溶液的理論固體含量是58.7%，并將這一溶液原樣用于其它實(shí)施例。實(shí)施例4的涂層的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量)是0.00651nm/秒(0.0651A/秒)。實(shí)施例5將在PGMEA中的211.53gm46.5%的間甲酚/甲醛酚醛清漆(具有0.1700nm/秒(1.700λ/矛少)的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量))溶液(98.36gm固體)、附加的31.98gmPGMEA和65.49gmTRISP-PA(0.1544摩爾)放入配備有冷凝器、溫度計(jì)、加料漏斗和磁力攪拌器(Teflon包覆的磁鐵)的圓底3頸500ml燒瓶中。在冷凝器的頂部用橡皮塞密封該系統(tǒng)。將該溶液逐漸地加熱至110°C并在充分?jǐn)嚢柘卤３衷谠摐囟认轮钡饺縏RISP-PA完全溶解。然后將該溶液的溫度提升到120°C。然后在1/2小時期間內(nèi)緩慢地將38.Sgm(0.539摩爾)乙基乙烯基醚添加至該反應(yīng)混合物中以避免壓力增大。允許該反應(yīng)在該溫度下再繼續(xù)24小時，然后接著冷卻至室溫。通過汽提該溶液在最終溶液中沒有觀察到殘留乙基乙烯基醚。這一溶液的理論固體含量是58.26%，并將這一溶液原樣用于其它實(shí)施例。實(shí)施例5的涂層的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量)是0.0327nm/秒(0.327A/秒)。實(shí)施例6將在PGMEA中的146.3gm47.1%的間甲酚/甲醛酚醛清漆(具有72.8nm/秒(72δΑ/#)的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量))溶液(68.91gm固體)、附加的30gmPGMEA和45gmTRISP-PA(0.1061摩爾)放入配備有冷凝器、溫度計(jì)、加料漏斗和磁力攪拌器(Teflon包覆的磁鐵)的圓底3頸500ml燒瓶中。在冷凝器的頂部用橡皮塞密封該系統(tǒng)。將該溶液逐漸地加熱至110°C并在充分?jǐn)嚢柘卤３衷谠摐囟认轮钡饺縏RISP-PA完全溶解。然后將該溶液的溫度提升到120°C。然后在1/2小時期間內(nèi)緩慢地將27.7gm(0.3847摩爾)乙基乙烯基醚添加至該反應(yīng)混合物中以避免壓力增大。允許該反應(yīng)在該溫度下再繼續(xù)19小時，然后接著冷卻至室溫。這一溶液的理論固體含量是56.87%，并將這一溶液原樣用于其它實(shí)施例。在用AZ-300MIF顯影劑(基于氫氧化四甲銨，可以從AZElectronicMaterialsCorp.，NJ，USA獲得)顯影2.5小時期間，使用實(shí)施例6的溶液的涂層的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量)不可檢測。實(shí)施例7將在PGMEA中的132.5gm47.1%的間甲酚/甲醛酚醛清漆(具有72.8nm/秒(728λ/薄少)的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量))溶液(62.4gm固體)和22.4gmTRISP-PA(0.05283摩爾)放入配備有冷凝器、溫度計(jì)、加料漏斗和磁力攪拌器(Teflon包覆的磁鐵)的圓底3頸500ml燒瓶中。在冷凝器的頂部用橡皮塞密封該系統(tǒng)。將該溶液逐漸地加熱至110°C并在充分?jǐn)嚢柘卤３衷谠摐囟认轮钡饺縏RISP-PA完全溶解。然后將該溶液的溫度提升到120°C。然后在1/2小時期間內(nèi)緩慢地將19gm(0.2639摩爾)乙基乙烯基醚添加至該反應(yīng)混合物中以避免壓力增大。允許該反應(yīng)在該溫度下再繼續(xù)4.5小時，然后將它冷卻至室溫。這一溶液的理論固體含量是62.4%，并將這一溶液原樣用于其它實(shí)施例。在用AZ-300MIF顯影劑的2.5小時顯影期間，使用實(shí)施例7的溶液的涂層的溶解速率(使用下面的試驗(yàn)方法測量)不可檢測?？刮g劑制劑的實(shí)施例抗蝕劑實(shí)施例1如下制備這種制劑將17.4gm實(shí)施例1中制備的溶液、21.271gm抗蝕劑實(shí)施例Ia(下面)、LutonalM-40(聚乙烯甲醚，可以從BASF獲得)在PGMEA中的1.3gm20%溶液、MonazolineC(咪唑啉鐵化合物，可以從Uniquem/ICI獲得)在PGMEA中的0.123gm5%溶液和0.005gmAPS-137表面活性劑(可以從D.H.LitterCo.，Elmsford，N.Y.獲得)混合。如下制備抗蝕劑實(shí)施例Ia將在14.279gm環(huán)己酮中的0.55gmN-三氟甲基磺酰氧基-1，8-萘二甲酰亞胺(下文中NIT)、LutonalM-40在PGMEA中的4.556gm30%溶液、80.05gm實(shí)施例1中制備的溶液和三乙醇胺在二丙酮醇中的0.439gml7.7%溶液溶解?？刮g劑實(shí)施例2如下制備這種制劑將在14.284gm環(huán)己酮中的0.55284gmNIT、79.985gm實(shí)施例2中制備的溶液、Lutonal在PGMEA中的4.581gm30%溶液、三乙醇胺在二丙酮醇中的0.438gml7.7%溶液和添加的APS-137表面活性劑在PGMEA中的0.04gm30%溶液溶解?？刮g劑實(shí)施例3如下制備這種抗蝕劑制劑將在9.14gmPGMEA中的0.296gmNIT、67.443gm實(shí)施例3制備的溶液、LutonalM-40在PGMEA中的2.068gm20%溶液、0.049gm三乙醇胺和0.OlgmAPS-137表面活性劑溶解?？刮g劑實(shí)施例4a如下制備這種抗蝕劑制劑將在6.024gmPGMEA中的0.265gmNIT、41.213gm實(shí)施例4中制備的溶液、在PGMEA中的14.651gm55%PHS/t-BA(聚羥基苯乙烯/丙烯酸叔丁酯)(6040)聚合物溶液、在PGMEA中的10.118gm47.甲酚/甲醛溶液、LutonalM-40在PGMEA中的3.719gm20%溶液、0.047gm三乙醇胺和0.OlgmAPS-137表面活性劑溶解。抗蝕劑實(shí)施例4b如下制備這種抗蝕劑制劑將在6.034gm環(huán)己酮中的0.263gmNIT、41.33gm實(shí)施例4中制備的溶液、在PGMEA中的14.542gm55%PHS/t-BA(6040)聚合物溶液、在PGMEA中的10.14gm47.甲酚/甲醛溶液、LutonalM-40在PGMEA中的3.745gm20%溶液、0.059gm三乙醇胺和0.OlgmAPS-137表面活性劑溶解。抗蝕劑實(shí)施例5通過將61.552gm抗蝕劑實(shí)施例5a(下面)和61.26gm抗蝕劑實(shí)施例5b(下面)共混制備這種制劑。如下制備抗蝕劑實(shí)施例5a將在3.9gmPGMEA中的0.399gmNIT,60.519gm實(shí)施例5中制備的溶液、在PGMEA中的22.3gm55%PHS/t-BA(6040)聚合物溶液、在PGMEA中的15.095gm46.5%甲酚/甲醛溶液、LutonalM-40在PGMEA中的5.74gm20%溶液、0.15gm2,6-二異丙基苯胺堿和0.005gmAPS-137表面活性劑溶解。如下制備抗蝕劑實(shí)施例5b將在3.897gmPGMEA中的0.40IgmNIT,60.369gm實(shí)施例5中制備的溶液、在PGMEA中的22.42gm55%PHS/t-BA(6040)聚合物溶液、在PGMEA中的15.104gm46.5%甲酚/甲醛溶液、LutonalM-40在PGMEA中的5.819gm20%溶液和0.005gmAPS-137表面活性劑溶解。抗蝕劑實(shí)施例6這種制劑是35.077gm抗蝕劑實(shí)施例6a、9.81Igm抗蝕劑實(shí)施例6b和2.98Igm47.甲酚/甲醛酚醛清漆溶液在PGMEA中的共混物。如下制備抗蝕劑實(shí)施例6a:將在9.8gm環(huán)己酮中的0.4gmNIT、99.91gm實(shí)施例6中制備的溶液、LutonalM-40在PGMEA中的5.75gm30%溶液、三乙醇胺在二丙酮醇中的0.44gm17.7%溶液溶解并添加0.OlgmAPS-137表面活性劑?？刮g劑實(shí)施例6b是PHS/t-BA(6040)在PGMEA中的45.9gm50%溶液和50.Igm抗蝕劑實(shí)施例6c的共混物。如下制備抗蝕劑實(shí)施例6c將在2.118gm環(huán)己酮中的0.336gmNIT、LutonalM-40在PGMEA中的6.514gm30%溶液、PHS/t-BA(6040)在PGMEA中的43.324gm50%溶液和三乙醇胺在二丙酮醇中的0.193gml7.7%溶液溶解。抗蝕劑實(shí)施例7這種制劑是27.456gm抗蝕劑實(shí)施例7a、11.847gm抗蝕劑實(shí)施例6b和5.92gm47.甲酚/甲醛酚醛清漆溶液在PGMEA中的共混物。如下制備抗蝕劑實(shí)施例7a將在9.754gm環(huán)己酮中的0.42gmNIT、LutonalM_40在PGMEA中的5.74Igm30%溶液、9.787gm實(shí)施例6中制備的溶液、89.54gm實(shí)施例7中制備的溶液、三乙醇胺在二丙酮醇中的0.465gm17.7%溶液和0.OlgmAPS-137表面活性劑溶解?？刮g劑實(shí)施例8通過將15.08Igm抗蝕劑實(shí)施例8a和2.944gm抗蝕劑實(shí)施例8b共混制備這種制劑。如下制備抗蝕劑實(shí)施例8a將在7.93gm環(huán)己酮中的0.24IgmNIT、LutonalM-40在PGMEA中的3.4gm20%溶液、39.38gm實(shí)施例7中制備的溶液、三乙醇胺在二丙酮醇中的0.2gm17.7%溶液和0.004gmAPS-137表面活性劑溶解。如下制備抗蝕劑實(shí)施例8b:將在6.513gm環(huán)己酮中的0.41gmNIT、2.21gmLutonalM_40、PHS/t_BA(60/40聚合物，在PGMEA中)的100.927gm50%溶液、三乙醇胺在二丙酮醇中的0.195gm17.7%溶液和0.OlgmAPS-137表面活性劑溶解。抗蝕劑實(shí)施例9如下制備這種抗蝕劑制劑將在間甲酚/甲醛酚醛清漆的8.799gm47.溶液中的0.665gmNIT、17.71gm抗蝕劑實(shí)施例6a和8.699gm抗蝕劑實(shí)施例6b溶解。對比實(shí)施例抗蝕劑實(shí)施例10僅使用抗蝕劑實(shí)施例Sb?？刮g劑實(shí)施例11如下制備這種抗蝕劑制劑將在6.73gm環(huán)己酮中的0.306gmNIT、在PGMEA中的61.9gm50%PHS/t-BA(6040)聚合物溶液、在PGMEA中的31.556gm47.甲酚/甲醛溶液、LutonalM-40在PGMEA中的9.7gm20%溶液、MonazolineC在PGMEA中的0.814gm5%溶液和0.OlgmAPS-137表面活性劑溶解。試驗(yàn)程序溶解速率測量使用這一試驗(yàn)表征不同聚合物和聚合物共混物在堿性含水顯影劑中的溶解速率。該方法使用光學(xué)干涉測量技術(shù)比較在類似涂覆條件下制備的這些聚合物的涂層的溶解速率以測量顯影期間涂層厚度的變化。1-將聚合物在PGMEA中的35%固體溶液旋涂在HMDS(六甲基二硅氮烷)打底的4”Si晶片上40秒2-在110°C熱板上烘烤該經(jīng)涂覆晶片3分鐘3-在室溫下將該經(jīng)涂覆晶片放入含300MIF顯影劑的PerkinElmer溶解速率監(jiān)測儀(DRM)顯影劑槽中。使用DRM在兩小時的時間內(nèi)靜態(tài)地(沒有攪拌)測量聚合物的溶解速率。4-將數(shù)據(jù)繪圖并提取聚合物涂層的溶解速率?？癸倓┲苽淙缦轮苽淇刮g劑樣品通過使塑料圓形瓶子在機(jī)械滾柱上滾動數(shù)小時將固體和聚合物溶液以及所有抗蝕劑組分一起溶解在該塑料圓形瓶子中直到全部固體溶解?？癸倓┰囼?yàn)使用旋涂并在110°C下在熱板上烘烤經(jīng)涂覆晶片10分鐘在Cu晶片上制備抗蝕劑涂層。根據(jù)每一樣品的粘度將所使用的旋轉(zhuǎn)速度調(diào)節(jié)到產(chǎn)生每一樣品的40μm厚的經(jīng)涂覆抗蝕劑膜。用365-436nm寬帶波長的強(qiáng)輻射使該經(jīng)涂覆抗蝕劑曝光圖案化成像，然后在90°C下曝光后烘烤(PEB)I分鐘。用于此種試驗(yàn)的曝光工具是Suss校準(zhǔn)器，型號MA-200。以攪煉模式用AZ-300MIF顯影劑將該晶片顯影至少4分鐘并用DI水沖洗。使用電子顯微鏡檢查抗蝕劑圖案。圖案的質(zhì)量由圖案側(cè)壁的陡度、晶片基材處抗蝕劑底腳的程度和抗蝕劑以高完整性分辨10μm線和空間的分辨能力表征。結(jié)果所有抗蝕劑制劑的相對聚合物比率和它們的評價結(jié)果在下表中給出?？刮g劑實(shí)施例1-9的所有本發(fā)明制劑產(chǎn)生具有陡側(cè)壁輪廓并在Cu基材上沒有抗蝕劑底腳的抗蝕劑圖案，分辨在40μπι厚膜中的具有完全高度的ΙΟμπι結(jié)構(gòu)。對比抗蝕劑實(shí)施例10和11(使用僅上述實(shí)施例所使用的或與酚醛清漆樹脂共混的未改性(沒有縮醛封閉)PHS/t-BA共聚物)產(chǎn)生差的粘附，而引起一些ΙΟμπι抗蝕劑圖案損失，或產(chǎn)生凹輪廓和未分辨的ΙΟμπι線。每一抗蝕劑制劑的相對聚合物組成和試驗(yàn)結(jié)果在下表中給出。從這些對比中排除縮醛封閉的酚醛清漆，因?yàn)榇朔N封閉酚醛清漆樹脂一般將要求非常長的顯影時間來使40μm抗蝕劑厚度清晰，通常大于7分鐘，這認(rèn)為它們的典型溶解速率是大約100-70nm/秒或更小。因此，這可以用作對比實(shí)施例來顯示酚醛清漆和TRISP-PA的縮醛封閉共混物(如實(shí)施例抗蝕劑3-抗蝕劑9中那樣)產(chǎn)生快速顯影抗蝕劑，該快速顯影抗蝕劑能夠在4-5分鐘顯影時間內(nèi)使40μm抗蝕劑厚度清晰。<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>權(quán)利要求包含樹脂粘結(jié)劑的光致抗蝕劑組合物，所述樹脂粘結(jié)劑選自(1)在沒有催化劑的情況下由(i)和(ii)形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(i)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，(ii)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物；(2)在沒有催化劑的情況下由(i)酚醛清漆聚合物，(ii)含2-7個酚基的多羥基化合物和(iii)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物；(3)在沒有催化劑的情況下由(i)、(ii)和(iii)形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(i)酚醛清漆聚合物，(ii)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，(iii)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物；(4)(i)和(ii)的混合物，(i)在沒有催化劑的情況下由(a)酚醛清漆聚合物，(b)含2-7個酚基的多羥基化合物和(c)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(ii)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被用于解封的高活化能保護(hù)；和(5)(i)、(ii)和(iii)的混合物，(i)在沒有催化劑的情況下由(a)酚醛清漆聚合物，(b)含2-7個酚基的多羥基化合物和(c)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(ii)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，(iii)酚醛清漆。2.權(quán)利要求1的光致抗蝕劑組合物，其中所述樹脂粘結(jié)劑是在沒有催化劑的情況下由(i)和(ii)形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(i)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，(ii)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物。3.權(quán)利要求1的光致抗蝕劑組合物，其中所述樹脂粘結(jié)劑是在沒有催化劑的情況下由(i)酚醛清漆聚合物，(ii)含2-7個酚基的多羥基化合物和(iii)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物。4.權(quán)利要求1的光致抗蝕劑組合物，其中所述樹脂粘結(jié)劑是在沒有催化劑的情況下由(i)、()和(iii)形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(i)酚醛清漆聚合物，()包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，(iii)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物。5.權(quán)利要求1的光致抗蝕劑組合物，其中所述樹脂粘結(jié)劑是(i)和(ii)的混合物，(i)在沒有催化劑的情況下由(a)酚醛清漆聚合物，(b)含2-7個酚基的多羥基化合物和(c)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物，()包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封。6.權(quán)利要求1的光致抗蝕劑組合物，其中所述樹脂粘結(jié)劑是(i)、(ii)和(iii)的混合物，(i)在沒有催化劑的情況下由(a)酚醛清漆聚合物，(b)含2-7個酚基的多羥基化合物和(c)選自乙烯基醚和未取代或取代的雜脂環(huán)族的化合物形成的反應(yīng)產(chǎn)物，(ii)包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物，該丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯被酸不穩(wěn)定基團(tuán)保護(hù)，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)要求高活化能來解封，(iii)酚醛清漆。7.權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)的光致抗蝕劑組合物，其中所述含2-7個酚基的多羥基化合物選自多羥基二苯甲酮，多羥基苯基烷基酮，雙(多羥基苯基)烷烴，多羥基苯甲酸酯，雙(多羥基苯甲?；?烷烴，雙(多羥基苯甲酰基)芳基，亞烷基二(多羥基苯甲酸酯)，多羥基聯(lián)苯，雙(多羥基)硫醚，雙(多羥基苯基)醚，雙(多羥基苯基)亞砜，雙(多羥基苯基)砜，多羥基三苯甲烷，多羥基_螺雙_茚滿，多羥基苯酞，端二甲苯酚線性四核化合物，線性五核化合物，線性四核化合物，非線性四核化合物，具有通式(I)的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>具有通式(II)的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>其中對于通式(I)或(II)，X是直接鍵、低級亞烷基或CH2-Y；Y是O或S；R1-R9中的每一個獨(dú)立地是烷基、烷氧基、H或鹵素；Rltl是H或烷基；a、b和c中的每一個是2-4的整數(shù)；[1、m和η中的每一個是1-3的整數(shù)；具有通式(III)的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中Rn、R12、R13、R14、R15、R16和R17各自獨(dú)立地表示H、C1-C4烷基、C1-C4烷氧基、環(huán)己基或由以下通式表示的基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中R18表示H、C1-C4烷基、C1-C4烷氧基或環(huán)己基；mm和nn中的每一個是O、1或2;aa、bb、cc、dd、ee、ff、gg和hh中的每一個是O或1-5的整數(shù)，滿足aa+bb彡5、cc+dd彡5、ee+ff^5和gg+hh<5;i是0、1或2，和其中酚基的數(shù)目是2-7；或它們的混合物。8.權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)的光致抗蝕劑組合物，其中所述含2-7個酚基的多羥基化合物選自2，4_二羥基二苯甲酮、2，3，4_三羥基二苯甲酮、2，4，4'-三羥基二苯甲酮、2，4，6_三羥基二苯甲酮、2，3，4_三羥基-2'-甲基二苯甲酮、2，3，4，4'-四羥基二苯甲酮、2,2'4,4'-四羥基二苯甲酮、2，4，6，3'，4'-五羥基二苯甲酮、2，3，4，2‘，4'-五羥基-二苯甲酮、2，3，4，2',5'-五羥基二苯甲酮、2，2',3,4,6'-五羥基二苯甲酮、2，3',4,4'，6-五羥基二苯甲酮、2，2',3,4,4'-五羥基二苯甲酮、2，2‘,3,4,5'-五羥基二苯甲酮、2，3',4,5,5'-五羥基二苯甲酮、2，3，3',4,4',5'-六羥基二苯甲酮、2，4,6,3'，4'，5'-六羥基二苯甲酮、2，3，4，3'，4'，5'-六羥基二苯甲酮、2，3，4-三羥基苯乙酮、2，3，4-三羥基苯基戊基酮、2，3,4-三羥基苯基己基酮、雙(2，3，4-三羥基苯基)甲烷、雙(2，4-二羥基苯基)甲烷、雙(2，3，4-三羥基苯基)丙烷、3，4，5-三羥基-苯甲酸丙酯、2，3，4_三羥基苯甲酸苯酯、3，4，5_三羥基苯甲酸苯酯、雙(2，3，4-三羥基苯甲?；?甲烷、雙(3-乙?；?4，5,6-三羥基苯基)甲烷、雙(2，3，4-三羥基苯甲?；?苯、雙(2，4，6-三羥基苯甲?；?苯、乙二醇-二(3，5-二羥基苯甲酸酯)、乙二醇二(3，4，5-三羥基苯甲酸酯)、2，3，4_聯(lián)苯三酚、3，4，5_聯(lián)苯三酚、3，5，3'5'-聯(lián)苯四酚、2，4，2'，4'-聯(lián)苯四酚、2，4，6，3',5'-聯(lián)苯五酚、2，4，6，2',4',6'-聯(lián)苯六酚、2，3，4，2‘,3',4'-聯(lián)苯六酚、4，4'-硫代雙(1，3-二羥基)苯、2，2'4,4'-四羥基二苯醚、2，2'4,4'-四羥基二苯亞砜、2，2',4,4'-四羥基二苯砜、三(4-羥基苯基)甲烷)、4，4'，4〃-三羥基_3，5，3',5'-四甲基三苯基甲烷、4，4'，3〃，4〃-四羥基_3，5，3',5'-四甲基三苯基甲烷、4，4'，2"，3"，4"-五羥基_3，5，3'，5'-四甲基三苯基甲烷、2，3，4，2‘，3'，4'-六羥基_5，5'-二乙?；郊淄?、2，3，4，2'，3'，4'，3〃，4〃-八羥基_5，5-二乙?；郊淄椤?，4，6，2',4',6'-六羥基_5，5'-二丙?；郊淄椤?，3，3‘，3'-四甲基-1，1'-螺雙-茚滿-5，6，5',6'-四醇、3，3，3'3'-四甲基_1，1'-螺雙-茚滿_5，6，7，6'6',7'-六醇、3，3，3'3'-四甲基_1，1'-螺雙-茚滿-4，5，6，4',5',6'-六醇、3，3_雙(3，4_二羥基苯基)苯酞、3，3_雙(2，3，4_三羥基苯基)苯酞、3'，4'，5'，6'-四羥基螺(苯酞_3，9'-咕噸)、α，α'，α"-三(4_羥基苯基)_1，3，5-三異丙基苯、α，α'，α"-三(3，5_二甲基_4_羥基苯基)_1，3，5_三異丙基苯、α，α‘，α〃-三(3，5_二乙基_4_羥基苯基)_1，3，5_三異丙基苯、α，α‘，α〃-三(3，5_二-正丙基-4-羥基苯基)-1，3，5_三-異丙基苯、α，α‘，a“-三(3，5_二異丙基-4-羥基苯基)-1，3，5_三異丙基苯、α，α‘,α“-三(3，5_二-正丁基_4_羥基苯基)-1，3，5_三異丙基苯、α，α‘,α“-三(3-甲基-4-羥基苯基)-丨，3，5-三異丙基-苯、α，α‘，α〃-三(3_甲氧基_4_羥基苯基)_1，3，5_三異丙基苯、α，α‘，α“-三(2，4_二羥基苯基)-1，3，5_三異丙基苯、2，4，6_三(3，5-二甲基-4-羥基苯基硫甲基)均三甲苯、甲基-α-(4〃-羥基苯基)乙基]-4-[α，α‘-雙(4〃-羥基苯基)乙基]苯、1-[α-甲基-α-(4'-羥基苯基)乙基]-3-[α，α‘-雙(4〃-羥基-苯基)乙基]苯、1-[α-甲基-α-(3'，5'-二甲基_4'-羥基苯基)乙基]苯、1-[α-甲基-α-(3'-甲氧基-4'-羥基苯基)乙基]_4_[α‘,α‘-雙(3'-甲氧基-4'-羥基苯基)乙基]苯、1-[α-甲基-α-(2'，4'-二羥基苯基)乙基]_4_[α‘，α‘-雙(4'-羥基苯基)乙基]苯、1-[1'-甲基-1'-(4'-羥基苯基)乙基]4_[1'，1'-雙(4-羥基苯基)乙基]苯、雙[3-(3，5_二甲基-4-羥基芐基)-4_羥基-5-甲基苯基]甲烷、雙[3-(3，5_二甲基-4-羥基芐基)-4_羥基-5-乙基苯基]甲烷、雙[3-(3，5-二乙基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-甲基苯基]甲烷、雙[3-(3，5-二乙基-4-羥基芐基)-4-羥基-5-乙基苯基]甲烷、2，4-雙[2-羥基-3-(4-羥基芐基)_5_甲基芐基]_6_環(huán)己基苯酚、2，4_雙[4-羥基-3-(4-羥基芐基)-5-甲基芐基]-6-環(huán)己基苯酚、雙[2-羥基-3-(3，5-二甲基-4-羥基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[2-羥基-3-(2-羥基-5-甲基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[4-羥基-3-(2-羥基-5-甲基芐基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[2，5-二甲基-3-(4-羥基-5-甲基芐基)-4-羥基苯基]甲烷、雙[2，5-二甲基-3-(4-羥基芐基)-4_羥基苯基]甲烷、雙[2，5_二甲基-3-(2-羥基芐基)-4_羥基苯基]甲烷、1，1-雙(4-羥基苯基-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-4-羥基苯基-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，5_二甲基-2-羥基苯基)-1-[4-(4_羥基芐基)苯基]乙烷、1，1_雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4-(4-羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(2，6_甲基-4-羥基苯基)-1-[4-(4_羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(3，4_二羥基苯基)-1-[4-(4_羥基芐基)苯基]乙烷、1，1_雙(3，4，5_三羥基苯基)-1-[4-(4_羥基芐基)苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥基苯基)-1-[4-[1-(4_羥基苯基)-1_甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，5-二甲基-4-羥基苯基)-1-[4-[1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，5_二甲基-2-羥基苯基)-1-[4-[1-(4_羥基苯基)-1_甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(4-羥基-3-甲基苯基)-1-[4[1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(2，6_二甲基-4-羥基苯基)-1-[4-[1-(4_羥基苯基-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3,4-二羥基苯基)-1-[4-[1(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]乙烷、1，1-雙(3，4，5-三羥基苯基)-1-[4-(1-(4_羥基苯基)-1_甲基乙基]苯基]乙烷、雙(4-羥基-2，3，5-三甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、1，4-雙[1-(3，5-二甲基-4-羥基苯基)異丙基]苯、2，4_雙(3，5-二甲基-4-羥基苯基甲基)-6-甲基苯酚、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-2_羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2，5-二甲基苯基)-2_羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-3，4-二羥基苯基甲烷、1-[1-(4_羥基苯基)異丙基]-4-[l，l-雙(4-羥基苯基)乙基]苯、1-[1-(3_甲基-4-羥基苯基)異丙基]-[4-[1，1_雙(3-甲基-4-羥基苯基)乙基]苯、2，6-雙[1-(2，4-二羥基苯基)異丙基]-4-甲基苯酚、4，6-雙[1-(4-羥基苯基)異丙基]間苯二酚、4，6_雙(3，5_二甲氧基-4-羥基苯基甲基)連苯三酚、4，6_雙(3，5_二甲基-4-羥基苯基甲基)連苯三酚、2，6_雙(3-甲基-4，6-二羥基苯基甲基)-4-甲基苯酚、2，6_雙(2，3，4_三羥基苯基甲基)-4_甲基苯酚、1，1-雙(4-羥基苯基)環(huán)己烷、4，4'，4〃-乙叉基三苯酚、4-[雙(4-羥基苯基)甲基]-2-乙氧基苯酚、4，4'-[(2-羥基苯基)亞甲基]雙[2，3-二甲基苯酚]、4，4'-[(3-羥基苯基)亞甲基]雙[2，6_二甲基苯酚]、4，4'-[(4-羥基苯基)亞甲基]雙[2，6_二甲基苯酚]、2，2'-[(2-羥基苯基)亞甲基]雙[3，5_二甲基苯酚]、2，2'-[(4-羥基苯基)亞甲基]雙[3，5_二甲基苯酚]、4，4'-[(3，4-二羥基苯基)亞甲基]雙[2，3，6_三甲基苯酚]、4-[雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)甲基]_1，2-苯二酚、4，6-雙[(3，5-二甲基-4-羥基苯基)甲基]-1，2，3-苯三酚、4，4'-[(2-羥基苯基)亞甲基]雙[3-甲基苯酚]、4，4'，4”-(3_甲基-l-propanyl-3-ylidine)三苯酚、4,4'，4〃，4〃‘-(1，4_亞苯基二甲叉基)四苯酚、2，4，6_三[(3，5_二甲基-4-羥基苯基)甲基]-1，3-苯二酚、2，4，6_三[(3，5_二甲基-2-羥基苯基)甲基]-1，3-苯二酚、4，4'-[1-[4-[1-[4_羥基-3，5-雙[(羥基-3-甲基苯基)甲基]苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]雙[2，6_雙(羥基-3-甲基苯基)甲基]苯酚和它們的混合物。9.權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)的光致抗蝕劑組合物，其中所述包含取代或未取代的羥基苯乙烯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的混合物的聚合物選自聚(4-羥基苯乙烯-共聚-甲基丙烯酸叔丁酯)和聚(4-羥基苯乙烯-共聚-丙烯酸叔丁酯)。10.權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)的光致抗蝕劑組合物，其中所述乙烯基醚具有以下通式<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>其中R5tl是未取代或取代的烷基或未取代或取代的環(huán)烷基。11.權(quán)利要求1-10中任一項(xiàng)的光致抗蝕劑組合物，其中所述未取代或取代的雜脂環(huán)族是3，4-二氫-2H-吡喃。12.權(quán)利要求5的光致抗蝕劑組合物，其中(i)的量為大約70-大約90wt%，(ii)的量為大約30-大約IOwt%。13.權(quán)利要求5或12的光致抗蝕劑組合物，其中(i)的量為大約75-大約85wt%，(ii)的量為大約25-大約15wt%。14.權(quán)利要求6的光致抗蝕劑組合物，其中(i)的量為大約40-大約90wt%，(ii)的量為大約5-大約35wt%，(iii)的量為大約5-大約30wt%。15.權(quán)利要求6或14的光致抗蝕劑組合物，其中(i)的量為大約60-大約90wt%，(ii)的量為大約5-大約25wt%，(iii)的量為大約5-大約15wt%。16.權(quán)利要求1-15中任一項(xiàng)的光致抗蝕劑組合物，還包含光酸產(chǎn)生劑。17.權(quán)利要求16的光致抗蝕劑組合物，還包含堿。18.經(jīng)涂覆基材，包括其上具有權(quán)利要求1-17中任一項(xiàng)的光致抗蝕劑組合物的涂層的基材。19.在基材上形成光致抗蝕劑浮雕像的方法，包括(a)在基材上施加權(quán)利要求1-17中任一項(xiàng)的光致抗蝕劑組合物的層，和(b)使該光致抗蝕劑層暴露到活化輻射中并將該經(jīng)曝光光致抗蝕劑層顯影。20.權(quán)利要求1-17中任一項(xiàng)的光致抗蝕劑組合物用于在基材上形成光致抗蝕劑浮雕像的用途。全文摘要本發(fā)明涉及尤其適用于使厚膜成像的光敏性光致抗蝕劑組合物，其含有樹脂粘合劑。文檔編號G03F7/039GK101809502SQ200880108713公開日2010年8月18日申請日期2008年9月24日優(yōu)先權(quán)日2007年9月25日發(fā)明者M(jìn)·A·托西,M·鮑內(nèi)斯庫申請人:Az電子材料美國公司