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光學(xué)鏡頭的制作方法

文檔序號:2741858閱讀:214來源:國知局

專利名稱::光學(xué)鏡頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及光學(xué)鏡頭,尤其涉及進行激光內(nèi)雕工藝處理的F-theta光學(xué)鏡頭。
背景技術(shù)
:目前,F(xiàn)-theta光學(xué)鏡頭已經(jīng)廣泛應(yīng)用于激光內(nèi)雕工藝中,在中國專利200520061518.2所公開的一種水晶激光內(nèi)雕機中,起聚焦作用的F-theta光學(xué)鏡頭是設(shè)置在掃描Y軸振鏡與待加工物體之間,以將波長為532nm的激光的能量聚焦到水晶或玻璃等材質(zhì)的待加工物體內(nèi)部,通過激光在極短時間內(nèi)產(chǎn)生的巨脈沖,起能量能夠在瞬間使材質(zhì)受熱破裂,從而產(chǎn)生極小的白點,而在待加工物體內(nèi)部雕出設(shè)定的圖案,而待加工物體的表面卻能夠完好無損地保持原樣?,F(xiàn)有的F-theta光學(xué)鏡頭,如中國專利200520062061.7所公開的一種激光內(nèi)雕鏡頭,焦距為80mm,采用四個透鏡構(gòu)成,其中面向入射光的第一面透鏡為凹透鏡,其它三面透鏡均為凸透鏡。由于內(nèi)雕是將激光聚焦在透明的介質(zhì)內(nèi),這就要求在進行光學(xué)設(shè)計時,綜合考慮以下因素首先,光在雕體內(nèi)的光程是有像差的,像差大小與被雕體的深度有關(guān);其次,為了使雕出的圖像細(xì)膩且層次分明,要求所有聚焦點是一個細(xì)圓點,而不是短線;同時還要求滿足雕出來的立體的深度。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,而提出一種能夠具有大相對孔徑,大視場以及無畸變的F-theta光學(xué)鏡頭。本發(fā)明解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是,設(shè)計制造一種光學(xué)鏡頭,包括根據(jù)光線的入射方向依次排列的第一至第四透鏡,該第一透鏡為凹平型透鏡;該第二透鏡為彎月型透鏡,曲面向著光線的入射方向彎曲;該第三透鏡為彎月型透鏡,曲面向著光線的入射方向彎曲;該第四透鏡為凸平型透鏡;該光學(xué)鏡頭的焦距為120mm、相對孔徑為l:6;入射激光經(jīng)過該光學(xué)鏡頭后可在待加工材質(zhì)內(nèi)最大為70*70*100mm3的空間范圍實現(xiàn)內(nèi)雕。該光學(xué)鏡頭的視場角為50°,入射激光到達(dá)該第一透鏡的行程為20-60mm,出射激光到達(dá)待加工材質(zhì)表面的行程為53-119mm距離,并且待加工材質(zhì)的厚度為150-50mm。同現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的光學(xué)鏡頭,具有大相對孔徑,大視場以及無畸變。圖1為本發(fā)明的光學(xué)鏡頭實施例的光學(xué)系統(tǒng)示意圖。圖2為本發(fā)明的光學(xué)鏡頭實施例的光線追跡示意圖。圖3為本發(fā)明的光學(xué)鏡頭實施例的成像點的彌散斑示意圖。圖4為本發(fā)明的光學(xué)鏡頭實施例的像散、場曲及畸變圖。圖5為本發(fā)明的光學(xué)鏡頭實施例的MTF(光學(xué)傳遞函數(shù))示意圖。具體實施例方式以下結(jié)合各附圖所示之最佳實施例作進一步詳述。本發(fā)明實施例的光學(xué)鏡頭,如圖1所示,由四個透鏡L1、L2、L3和L4構(gòu)成,波長為532nm的激光是通過X軸振鏡1和Y軸振鏡2而入射透鏡Ll。其中,第一透鏡Ll距Y振鏡2距離d0為20-60mm,第一透鏡Ll為凹平型透鏡;第二透鏡L2為彎月型透鏡,曲面向著Y軸振鏡2的方向彎曲;第三透鏡L3為彎月型透鏡,曲面向著Y軸振鏡2的方向彎曲;第四透鏡L4為凸平型透鏡。四個透鏡的具體結(jié)構(gòu)及參數(shù)為第一透鏡L1分別由曲率半徑為R1、R2的兩個曲面S1、S2構(gòu)成,其光軸上的中心厚度dl,材料為Ndl:Vdl;第二透鏡L2分別由曲率半徑為R3、R4的兩個曲面S3、S4構(gòu)成,其光軸上的中心厚度d3,材料為Nd3:Vd3;第三透鏡L3分別由曲率半徑為R5,R6的兩個曲面S5、S6構(gòu)成,其光軸上的中心厚度d5,材料為Nd5:Vd5;第四透鏡L4分別由曲率半徑為R7、R8的兩個曲面S7、S8構(gòu)成,其光軸上的中心厚度d7,材料為Nd7:Vd7;并且,第一透鏡Ll與第二透鏡L2在光軸上的間距為d2,第二透鏡L2與第三透鏡L3在光軸上的間距為d4,第三透鏡L3與第四透鏡L4在光軸上的間距為d6,第四透鏡L4與被雕刻材質(zhì)的第一面在光軸上的間距為d8,被雕刻材質(zhì)的厚度為d9。結(jié)合以上的參數(shù),本發(fā)明給出了一個F-theta光學(xué)鏡頭的具體設(shè)計,針對波長為532nm的激光,其具體數(shù)據(jù)有f(焦距)=120mm;D/f(相對孔徑)=1:6;2"(視場角)=50°;d9=150-50mm;內(nèi)雕范圍為70*70*100mm3。本發(fā)明的光學(xué)鏡頭實施例的具體設(shè)計參數(shù)的典型值,如下表<table>tableseeoriginaldocumentpage4</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>其中,各結(jié)構(gòu)參數(shù)的動態(tài)設(shè)計范圍有<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>本發(fā)明的光學(xué)鏡頭實施例的具體成像質(zhì)量如下參見圖2所示的光線追跡,本發(fā)明的光學(xué)鏡頭實施例是一個沒有漸暈的遠(yuǎn)心系統(tǒng)。參見圖3所示的成像點的彌散斑,均已接近高斯極限。參見圖4所示的像散、場曲及畸變圖,已達(dá)到平場成像的要求,且保證了較小畸變的狀態(tài)。參見圖5所示的MTF,本發(fā)明的光學(xué)鏡頭實施例的鏡頭綜合成像評價無論是軸上還是軸外均已較理想。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明實施例的光學(xué)鏡頭,可在待加工材質(zhì)內(nèi)最深達(dá)50-150mm、最大達(dá)70*70*100mm3的空間范圍內(nèi)雕刻立體像和平面像,且像點清晰、不變形。以上,僅為本發(fā)明之較佳實施例,意在進一步說明本發(fā)明,而非對其進行限定。凡根據(jù)上述之文字和附圖所公開的內(nèi)容進行的簡單的替換,都在本專利的權(quán)利要求保護范圍之內(nèi)。權(quán)利要求一種光學(xué)鏡頭,包括根據(jù)光線的入射方向依次排列的第一至第四透鏡,其特征在于,該第一透鏡為凹平型透鏡;該第二透鏡為彎月型透鏡,曲面向著光線的入射方向彎曲;該第三透鏡為彎月型透鏡,曲面向著光線的入射方向彎曲;該第四透鏡為凸平型透鏡;該光學(xué)鏡頭的焦距為120mm、相對孔徑為1∶6;入射激光經(jīng)過該光學(xué)鏡頭后可在待加工材質(zhì)內(nèi)最大為70*70*100mm3的空間范圍實現(xiàn)內(nèi)雕。2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)鏡頭,其特征在于,該光學(xué)鏡頭的視場角為50。,入射激光到達(dá)該第一透鏡的行程為20-60mm,出射激光到達(dá)待加工材質(zhì)表面的行程為53-119mm距離,并且待加工材質(zhì)的厚度為150-50mm。3.如權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)鏡頭,其特征在于,該第一透鏡由曲率半徑為R1、R2的兩個曲面S1、S2構(gòu)成,R1的值為-45mm±5%,R2的值為0mm±5%,該第一透鏡的光軸上的中心厚度為3.5mm±5%。4.如權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)鏡頭,其特征在于,該第二透鏡由曲率半徑為R3、R4的兩個曲面S3、S4構(gòu)成,R3的值為-82mm±5%,R4的值為_73mm±5%,該第二透鏡的光軸上的中心厚度為7mm±5%。5.如權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)鏡頭,其特征在于,該第三透鏡由曲率半徑為R5、R6的兩個曲面S5、S6構(gòu)成,R5的值為-680mm±5%,R6的值為_81mm±5%,該第三透鏡的光軸上的中心厚度為15mm±5%。6.如權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)鏡頭,其特征在于,該第四透鏡由曲率半徑為R7、R8的兩個曲面S7、S8構(gòu)成,R7的值為195mm±5%,R8的值為0mm±5%,該第四透鏡的光軸上的中心厚度為10mm±5%。7.如權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)鏡頭,其特征在于,該第二透鏡與第一透鏡之間的光軸上的間距為8.2mm±5%。8.如權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)鏡頭,其特征在于,該第三透鏡與第二透鏡之間的光軸上的間距為0.5mm±5%。9.如權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)鏡頭,其特征在于,該第四透鏡與第三透鏡之間的光軸上的間距為0.5mm±5%。10.如權(quán)利要求l或2所述的光學(xué)鏡頭,其特征在于,該第一透鏡的材質(zhì)為Nd:Vd=1.5:64,±5%的誤差范圍;該第二、三以及第四透鏡的材質(zhì)均為Nd:vd=i.8:25,±5%的誤差范圍。全文摘要一種光學(xué)鏡頭,包括根據(jù)光線的入射方向依次排列的第一至第四透鏡,該第一透鏡為凹平型透鏡;該第二透鏡為彎月型透鏡,曲面向著光線的入射方向彎曲;該第三透鏡為彎月型透鏡,曲面向著光線的入射方向彎曲;該第四透鏡為凸平型透鏡;該光學(xué)鏡頭的焦距為120mm、相對孔徑為1∶6;入射激光經(jīng)過該光學(xué)鏡頭后可在待加工材質(zhì)內(nèi)最大為70*70*100mm3的空間范圍實現(xiàn)內(nèi)雕。具有大相對孔徑,大視場以及無畸變。文檔編號G02B13/18GK101762870SQ200910109869公開日2010年6月30日申請日期2009年11月25日優(yōu)先權(quán)日2009年11月25日發(fā)明者周朝明,李家英,高云峰申請人:深圳市大族激光科技股份有限公司
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