專利名稱::感射線性樹脂組合物和液晶顯示元件用分隔物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
:本發(fā)明涉及感射線性樹脂組合物、液晶顯示元件中的分隔物及其形成方法以及液晶顯示元件。
背景技術(shù):
:在液晶顯示元件中,為了使兩塊基板間保持一定的間隔即盒間隙,一直以來都使用具有規(guī)定粒徑的玻璃珠、塑料珠等分隔物。由于這些分隔物無規(guī)則地散布在玻璃基板等透明基板上,因而一旦像素形成區(qū)域存在分隔物,就會出現(xiàn)分隔物發(fā)生映像現(xiàn)象,以及入射光發(fā)生散射,作為液晶顯示元件的對比度降低的問題。因此,為了解決這些問題,便采用通過光刻法形成分隔物的方法。該方法將感射線性樹脂組合物涂布在基板上,通過預(yù)定的掩模進行例如紫外線曝光,然后顯影,從而形成點狀或條紋狀的分隔物,由于可以只在像素形成區(qū)域以外的預(yù)定部位形成分隔物,因此基本上解決了上述問題。近年來,從液晶顯示元件的大面積化以及生產(chǎn)力的提高等角度出發(fā),基板正在向大型化發(fā)展(例如1500x1800mm,還有1870x2200mm)。在這種情況下,基板內(nèi)形成的分隔物的高度變得不均一,于是被視為是液晶顯示元件中發(fā)生了顯示不均的問題。通常,分隔物在曝光、顯影后要經(jīng)過被稱作為后烘焙的加熱工序而形成,其問題是,隨著基板的大型化,進行后烘焙的加熱爐也要大型化,因而導致該加熱爐內(nèi)部容易出現(xiàn)溫度分布的問題。可是,隨著基板的大型化,對于感光性樹脂組合物的高敏感度化等要求,在例如專利文獻1和專利文獻2中提出了使感光性樹脂組合物中含有使具有羥基的共聚物與(曱基)丙烯酰氧基烷基異氰酸酯化合物反應(yīng)所得的聚合物的方案。然而,對于上述基板內(nèi)分隔物的高度不均一的問題的解決對策,沒有公開任何內(nèi)容。專利文獻1曰本#爭開2006—77231號/>寺艮專利文獻2曰本凈爭開2007—84809號7^凈艮
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種感射線性樹脂組合物,即使是在大型基板上,其也能夠形成高度均一且耐打磨性、耐熱性、與基板的粘附性等也優(yōu)良的液晶顯示元件用分隔物,并且具有高敏感度。本發(fā)明的另一目的是提供由上述感射線性樹脂組合物形成的液晶顯示元件用分隔物以及具有它的液晶顯示元件。本發(fā)明的又一目的是提供上述液晶顯示元件用分隔物的制造方法。本發(fā)明的其他目的和優(yōu)點可以由以下的說明看出。根據(jù)本發(fā)明,上述目的和優(yōu)點,第一,由一種感射線性樹脂組合物達成,其特征在于包括(A)含有從不飽和羧酸和不飽和羧酸酐構(gòu)成的群組中選出的至少一種的不飽和化合物的聚合物;(B)聚合性不飽和單體(但是,下述(D)成分除外);(C)感射線性聚合引發(fā)劑;以及(D)分子內(nèi)具有亞脲基和聚合性不飽和鍵的化合物。根據(jù)本發(fā)明,上述目的和優(yōu)點,第二,由上述感射線性樹脂組合物形成的液晶顯示元件用分隔物達成。根據(jù)本發(fā)明,上述目的和優(yōu)點,第三,由液晶顯示元件用分隔物的制造方法達成,其特征在于至少按照下述順序包括以下工序,(1)在基板上形成上述感射線性樹脂組合物的覆膜的工序,(2)對該覆膜的至少一部分進行曝光的工序,(3)將曝光后的覆膜進行顯影的工序,和(4)將顯影后的覆膜進行加熱的工序。根據(jù)本發(fā)明,上述目的和優(yōu)點,第四,由具有上述液晶顯示元件用分隔物的'液晶顯示元件達成。根據(jù)本發(fā)明的感射線性樹脂組合物,即使在大型基板上,也可以以1500J/m2以下的曝光量形成高度均一、且耐打磨性、耐熱性、與基板的粘附性等也優(yōu)良的液晶顯示元件用分隔物。并且,本發(fā)明的液晶顯示元件具有高度均一性、表面平滑性、耐打磨性、與基板的粘附性、耐熱性等優(yōu)良的分隔物,因而可以實現(xiàn)長期的可靠性。另外,本發(fā)明的感射線性樹脂組合物也可以作為感射線性保護膜使用,還可以通過添加著色劑而作為濾色器的著色層形成用感射線性樹脂組合物使用。圖1為表示液晶顯示元件結(jié)構(gòu)的一例的示意圖;圖2為表示液晶顯示元件結(jié)構(gòu)的另一例的示意圖。具體實施方式<感射線性樹脂組合物>以下,對本發(fā)明進行詳細說明-(A)聚合物-本發(fā)明感射線性樹脂組合物中所含的(A)聚合物,只要是含有從不飽和羧酸和不飽和羧酸酐構(gòu)成的群組中選出的至少一種(以下稱為"化合物(al)")的不飽和化合物的聚合物,則對其沒有特別的限制。作為本發(fā)明中的(A)聚合物包括[Al]使化合物(al)與一分子中具有至少一個羥基的不飽和化合物(以下稱為"化合物(a2-l)")的共聚物(以下稱為"共聚物(a)")與不飽和異氰酸酯化合物反應(yīng)所得的聚合物(以下稱為"聚合物(A1)"),優(yōu)選為聚合物(A1)與[A2]化合物(al)與具有環(huán)氧乙基或氧雜環(huán)丁烷基的不飽和化合物(以下稱為"化合物(a2-2)")的共聚物(以下稱為"聚合物(P)")的混合物。作為化合物(al),可以列舉例如丙烯酸、曱基丙烯酸、巴豆酸、2-丙烯酰氧基乙基琥珀酸、2-曱基丙烯酰氧基乙基琥珀酸、2-丙烯酰氧基乙基六氫鄰苯二甲酸、2-曱基丙烯酰氧基乙基六氫鄰苯二甲酸等單羧酸;馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸等二羧酸;上述二羧酸的酸酐等。這些化合物(al)中,從共聚反應(yīng)性、所得聚合物及共聚物對于堿顯影液的溶解性以及容易獲得的方面考慮,優(yōu)選丙烯酸、曱基丙烯酸、馬來酸酐等。在共聚物(a)和共聚物(P)中,化合物(al)可以單獨或兩種以上混合使用。在共聚物(a)和共聚物(p)中,來源于化合物(al)的重復單元的含量比率,優(yōu)選為5~50重量%,更優(yōu)選為10-40重量%,特別優(yōu)選為10~30重量%。當來源于化合物(al)的重復單元的含量比率不足5重量%時,會出現(xiàn)所得聚合物對于堿顯影液的溶解性降低的傾向,另一方面,若超過50重量%,則會出現(xiàn)該聚合物對于堿顯影液的溶解性過大的可能。另外,作為化合物(a2-1),可以列舉例如丙烯酸2-羥基乙基酯、丙烯酸3-羥基丙基酯、丙烯酸4-羥基丁基酯、丙烯酸5-羥基戊基酯、丙烯酸6-羥基己基酯、丙烯酸7-羥基庚基酯、丙烯酸8-羥基辛基酯、丙烯酸9-羥基壬基酯、丙烯酸10-羥基癸基酯、丙烯酸11-羥基十一烷基酯、丙烯酸12-羥基十二烷基酯之類的丙烯酸鞋基烷基酯;甲基丙烯酸2-羥基乙基酯、曱基丙烯酸3-羥基丙基酯、曱基丙烯酸4-幾基丁基酯、曱基丙烯酸5-羥基戊基酯、甲基丙烯酸6-羥基己基酯、曱基丙烯酸7-羥基庚基酯、曱基丙烯酸8-羥基辛基酯、曱基丙烯酸9-羥基壬基酯、曱基丙烯酸10-羥基癸基酯、曱基丙烯酸11-鞋基十一烷基酯、曱基丙烯酸12-羥基十二烷基酯之類的曱基丙烯酸羥基烷基酯;丙烯酸2-(6-羥基己酰氧基)乙基酯、丙烯酸3-(6-羥基己酰氧基)丙基酯、丙烯酸4-(6-羥基己酰氧基)丁基酯、丙烯酸5-(6-羥基己酰氧基)戊基酯、丙烯酸6-(6-羥基己酰氧基)己基酯之類的丙烯酸(6-羥基己酰氧基)烷基酯;曱基丙烯酸2-(6-羥基己酰氧基)乙基酯、甲基丙烯酸3-(6-羥基己酰氧基)丙基酯、曱基丙烯酸4-(6-羥基己酰氧基)丁基酯、曱基丙烯酸5-(6-羥基己酰氧基)戊基酯、曱基丙烯酸6-(6-羥基己酰氧基)己基酯之類的甲基丙烯酸(6-羥基己酰氧基)烷基酯等;作為曱基丙烯酸(6-羥基己酰氧基)烷基酯與曱基丙烯酸2-羥基乙基酯的混合物的市售品,商品名可以列舉PLACCELFM1D、FM2D(夕、',ir/l^化學工業(yè)(抹)生產(chǎn))等。另外,可以列舉丙烯酸2-(3-羥基-2,2-二曱基-丙氧羰氧基)乙基酯、丙烯酸3-(3-羥基-2,2-二甲基-丙氧羰氧基)丙基酯、丙烯酸4-(3-羥基-2,2-二甲基-丙氧羰氧基)丁基酯、丙烯酸5-(3-羥基-2,2-二甲基-丙氧羰氧基)戊基酯、丙烯酸6-(3-羥基-2,2-二曱基-丙氧羰氧基)己基酯之類的丙烯酸(3-羥基-2,2-二曱基-丙氧羰氧基)烷基酯;曱基丙烯酸2-(3-羥基-2,2-二曱基-丙氧羰氧基)乙基酯、曱基丙烯酸3-(3-羥基-2,2-二甲基-丙氧羰氧基)丙基酯、甲基丙烯酸4-(3-羥基-2,2-二甲基-丙氧羰氧基)丁基酯、曱基丙烯酸5-(3-羥基-2,2-二曱基-丙氧羰氧基)戊基酯、曱基丙烯酸6-(3-幾基-2,2-二甲基-丙氧羰氧基)己基酯之類的曱基丙烯酸(3-羥基-2,2-二曱基-丙氧羰氧基)烷基酯等;作為(曱基)丙烯酸(3-羥基-2,2-二甲基-丙氧羰氧基)烷基酯與曱基丙烯酸2-羥基乙基酯的混合物的市售品,商品名可以列舉HEMAC1(夕、、一ir》化學工業(yè)(抹)生產(chǎn))等。另外,還可以列舉丙烯酸4-羥基-環(huán)己基酯、丙烯酸4-羥甲基-環(huán)己基甲基酯、丙烯酸4-羥乙基-環(huán)己基乙基酯、丙烯酸3-羥基-二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2-基酯、丙烯酸3-羥甲基-二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2-基甲基酯、丙烯酸3-羥乙基-二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2-基乙基酯、丙烯酸8-羥基-二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2-基酯、丙烯酸2-羥基-八氫-4,7-曱撐-茚-5-基酯、丙烯酸2-羥曱基-八氫-4,7-曱撐-茚-5-基曱基酯、丙烯酸2-羥乙基-八氫-4,7-曱撐-茚-5-基乙基酯、丙烯酸3-羥基-金剛烷-卜基酯、丙烯酸3-羥曱基-金剛烷-l-基甲基酯、丙烯酸3-羥乙基-金剛烷-l-基乙基酯之類的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的丙烯酸羥基烷基酯;甲基丙烯酸4-羥基-環(huán)己基酯、甲基丙烯酸4-羥曱基-環(huán)己基曱基酯、曱基丙烯酸4-幾乙基-環(huán)己基乙基酯、曱基丙烯酸3-羥基-二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2-基酯、甲基丙烯酸3-羥甲基-二環(huán)[2.2.I]庚-5-烯-2-基甲基酯、甲基丙烯酸3-羥乙基-二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2-基乙基酯、甲基丙烯酸8-羥基-二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2-基酯、曱基丙烯酸2-羥基-八氫-4,7-曱撐-茚-5-基酯、曱基丙烯酸2-羥甲基-八氫-4,7-曱撐-茚-5-基曱基酯、甲基丙烯酸2-羥乙基-八氫-4,7-曱撐-茚-5-基乙基酯、曱基丙烯酸3-羥基-金剛烷-l-基酯、曱基丙烯酸3-羥曱基-金剛烷-l-基曱基酯、曱基丙烯酸3-羥乙基-金剛烷-l-基乙基酯之類的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的曱基丙烯酸羥基烷基酯;丙歸酸1,2-二羥基乙基酯、丙烯酸2,3-二羥基丙基酯、丙烯酸1,3-二羥基丙基酯、丙烯酸3,4-二羥基丁基酯、丙烯酸3-[3-(2,3-二羥基丙氧基)-2-羥基丙氧基]-2-羥基丙基酯等丙烯酸二羥基烷基酯;甲基丙烯酸1,2-二羥基乙基酯、曱基丙烯酸2,3-二羥基丙基酯、甲基丙烯酸1,3-二羥基丙基酯、曱基丙烯酸3,4-二羥基丁基酯、甲基丙烯酸3-[3-(2,3-二輕基丙氧基)-2-羥基丙氧基]-2-羥基丙基酯等甲基丙烯酸二羥基烷基酯等。這些一分子中具有一個以上羥基的不飽和化合物中,從共聚反應(yīng)性和與異氰酸酯化合物的反應(yīng)性方面考慮,優(yōu)選丙烯酸2-羥基乙基酯、丙烯酸3-羥基丙基酯、丙烯酸4-羥基丁基酯、曱基丙烯酸2-幾基乙基酯、甲基丙烯酸3-羥基丙基酯、曱基丙烯酸4-羥基丁基酯、丙烯酸2-(6-羥基己酰氧基)乙基酯、曱基丙烯酸2-(6-羥基己酰氧基)乙基酯、丙烯酸2-(3-羥基-2,2-二甲基-丙氧羰氧基)乙基酯、曱基丙烯酸2-(3-羥基-2,2-二曱基-丙氧羰氧基)乙基酯、丙烯酸4-羥曱基-環(huán)己基曱基酯、曱基丙烯酸4-幾曱基-環(huán)己基曱基酯、丙烯酸3-羥曱基-金剛烷-l-基甲基酯、甲基丙烯酸3-羥曱基-金剛烷-l-基曱基酯、丙烯酸2,3-二羥基丙基酯、曱基丙烯酸2,3-二羥基丙基酯等。在共聚物(a)中,化合物(a2-l)可以單獨或兩種以上混合使用。在共聚物(a)中,來源于化合物(a2-l)的重復單元的含量比率,優(yōu)選為1~50重量%,更優(yōu)選為3~40重量%,特別優(yōu)選為5~30重量%。當來源于化合物(a2-l)的重復單元的含量比率不足1重量%時,會出現(xiàn)不飽和異氰酸酯化合物向聚合物中的導入率降低,從而敏感度降低的傾向,另一方面,若超過50重量%,則會出現(xiàn)與不飽和異氰酸酯化合物反應(yīng)所得的聚合物的保存穩(wěn)定性降低的傾向。另外,作為共聚物((3)中的化合物(a2-2),可以列舉例如(曱基)丙烯酸縮水甘油基酯、(曱基)丙烯酸2-曱基縮水甘油基酯、(曱基)丙烯酸4-羥基丁基酯縮水甘油基醚、(甲基)丙烯酸3,4-環(huán)氧基丁基酯、(曱基)丙烯酸6,7-環(huán)氧基庚基酯、(曱基)丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基酯、(曱基)丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯等(甲基)丙烯酸環(huán)氧基(環(huán))烷基酯;a-乙基丙烯酸縮水甘油基酯、a-正丙基丙烯酸縮水甘油基酯、a-正丁基丙烯酸縮水甘油基酯、oc-乙基丙烯酸6,7-環(huán)氧基庚基酯、a-乙基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基酯等其他a-烷基丙烯酸環(huán)氧基(環(huán))烷基酯;鄰乙烯基千基縮水甘油基醚、間乙烯基千基縮水甘油基醚、對乙烯基節(jié)基縮水甘油基醚等縮水甘油基醚;3-(曱基丙烯酰氧基曱基)氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基曱基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基甲基)-2-曱基氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基曱基)-2-三氟甲基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基曱基)-2-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基曱基)-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基甲基)-2,2-二氟氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基曱基)-2,2,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基甲基)-2,2,4,4-四氟氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基乙基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、2-乙基-3-(曱基丙烯酰氧基乙基)氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)-2-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)-2-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、2,2-二氟-3-(甲基丙烯酰氧基乙基)氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)-2,2,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、3-(曱基丙烯酰氧基乙基)-2,2,4,4-四氟氧雜環(huán)丁烷等曱基丙烯酸酯;3-(丙烯酰氧基曱基)氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基曱基)-2-甲基氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基曱基)-2-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基曱基)-2-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基曱基)-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基)-2,2-二氟氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基曱基)-2,2,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基)-2,2,4,4-四氟氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基乙基)氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基乙基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、2-乙基-3-(丙烯酰氧基乙基)氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基乙基)-2-三氟曱基氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基乙基)-2-五氟乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基乙基)-2-苯基氧雜環(huán)丁烷、2,2-二氟-3-(丙烯酰氧基乙基)氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基乙基)-2,2,4-三氟氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基乙基)-2,2,4,4-四氟氧雜環(huán)丁烷等丙烯酸酯。其中,從聚合性方面考慮,特別優(yōu)選曱基丙烯酸縮水甘油基酯、甲基丙烯酸2-甲基縮水甘油基酯、曱基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基酯、曱基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-曱基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷等。在共聚物(P)中,化合物(a2-2)可以單獨或兩種以上混合使用。在共聚物((3)中,來源于化合物(a2-2)的重復單元的含量比率,優(yōu)選為0.5~70重量%,更優(yōu)選為1~60重量%,特別優(yōu)選為3~50重量%。當來源于化合物(a2-2)的重復單元的含量比率不足0.5重量%時,會出現(xiàn)所得共聚物的耐熱性降低的傾向,另一方面,若超過70重量%,則會出現(xiàn)共聚物的保存穩(wěn)定性降低的傾向。另外,共聚物(a)和共聚物((3)中,還可以將化合物(a2-l)和化合物(a2-2)以外的不飽和化合物(以下稱為"化合物(a2-3)")作為共聚物成分使用。作為其具體例子,可以列舉例如丙烯酸甲酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸仲丁酯、丙烯酸叔丁酯等丙烯酸烷基酯;曱基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丙酯、曱基丙烯酸異丙酯、曱基丙烯酸正丁酯、曱基丙烯酸仲丁酯、曱基丙烯酸叔丁酯等曱基丙烯酸烷基酯;丙烯酸環(huán)己基酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己基酯、丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯、丙烯酸2-(三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基氧基)乙基酯、丙烯酸異冰片基酯等丙烯酸脂環(huán)式酯;曱基丙烯酸環(huán)己基酯、甲基丙烯酸2-曱基環(huán)己基酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯、甲基丙烯酸2-(三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烷-8-基氧基)乙基酯、甲基丙烯酸異冰片基酯等甲基丙烯酸脂環(huán)式酯;丙烯酸苯基酯、丙烯酸卡基酯等丙烯酸芳基酯或芳烷基酯;曱基丙烯酸苯基酯、曱基丙烯酸卡基酯等甲基丙烯酸芳基酯或芳烷基酯;馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等不飽和二羧酸二烷基酯;丙烯酸四氬吹喃-2-基酯、丙烯酸四氫吡喃-2-基酯、丙烯酸2-甲基四氫吡喃-2-基酯等具有含氧5元雜環(huán)或含氧6元雜環(huán)的丙烯酸酉旨;甲基丙烯酸四氫呋喃-2-基酯、甲基丙烯酸四氫吡喃-2-基酯、甲基丙烯酸2-曱基四氫吡喃-2-基酯等具有含氧5元雜環(huán)或含氧6元雜環(huán)的丙烯酸酯;苯乙烯、ct-甲基苯乙烯、間曱基苯乙烯、對甲基苯乙烯、對曱氧基苯乙烯等乙烯基芳香族化合物;1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-l,3-丁二烯等共軛二烯類化合物,除此以外,還可以列舉丙烯腈、曱基丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、氯代乙烯、偏二氯乙烯、醋酸乙烯酯等。其中,從共聚反應(yīng)性方面考慮,優(yōu)選曱基丙烯酸正丁基酯、曱基丙烯酸卡基酯、曱基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、苯乙烯、對甲氧基苯乙烯、甲基丙烯酸四氬呋喃-2-基酯、1,3-丁二烯等。在共聚物(a)和共聚物((3)中,化合物(a2_3)可以單獨或兩種以上混合使用。在共聚物(a)和共聚物(f3)中,來源于化合物(a2-3)的重復單元的含量比率,優(yōu)選為10~70重量%,更優(yōu)選為20~50重量%,特別優(yōu)選為30-50重量%。當來源于化合物(a2-3)的重復單元的含量比率不足10重量%時,會出現(xiàn)共聚物的分子量減小的傾向,另一方面,若超過70重量%,則會降低化合物(al)、化合物(a2-l)和化合物(a2-2)成分所發(fā)揮的效果。共聚物(a)和共聚物(P)可以通過在適當?shù)娜軇┲校谧杂苫酆弦l(fā)劑的存在下進行聚合而制備。作為上述聚合中所用的溶劑,可以列舉例如甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇等醇類;四氫呋喃、二氧六環(huán)等醚類;乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單正丙醚、乙二醇單正丁醚等乙二醇單烷基醚類;乙二醇單曱醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單正丙醚乙酸酯、乙二醇單正丁醚乙酸酯等乙二醇單烷基醚乙酸酯類;乙二醇單曱醚丙酸酯、乙二醇單乙醚丙酸酯、乙二醇單正丙醚丙酸酯、乙二醇單正丁醚丙酸酯等乙二醇單烷基醚丙酸酯類;二甘醇單甲醚、二甘醇單乙醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇曱基乙基醚等二甘醇烷基醚類;丙二醇單曱醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單正丙醚、丙二醇單正丁醚等丙二醇單烷基醚類;二丙二醇單曱醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇曱基乙基醚等二丙二醇烷基醚類;丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單正丙醚乙酸酯、丙二醇單正丁醚乙酸酯等丙二醇單烷基醚乙酸酯類;丙二醇單甲醚丙酸酯、丙二醇單乙醚丙酸酯、丙二醇單正丙醚丙酸酯、丙二醇單正丁醚丙酸酯等丙二醇單烷基醚丙酸酯類;曱苯、二曱苯等芳香族烴類;甲基乙基酮、2-庚酮、3-庚酮、環(huán)己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮等酮類;2-甲氧基丙酸甲酯、2-曱氧基丙酸乙酯、2-曱氧基丙酸正丙酯、2-曱氧基丙酸正丁酯、2-乙氧基丙酸曱酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸正丙酯、2-乙氧基丙酸正丁酯、2-正丙氧基丙酸曱酯、2-正丙氧基丙酸乙酯、2-正丙氧基丙酸正丙酯、2-正丙氧基丙酸正丁酯、2-正丁氧基丙酸甲酯、2-正丁氧基丙酸乙酯、2-正丁氧基丙酸正丙酯、2-正丁氧基丙酸正丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸正丙酯、3-曱氧基丙酸正丁酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸正丙酯、3-乙氧基丙酸正丁酯、3-正丙氧基丙酸曱酯、3-正丙氧基丙酸乙酯、3-正丙氧基丙酸正丙酯、3-正丙氧基丙酸正丁酯、3-正丁氧基丙酸曱酯、3-正丁氧基丙酸乙酯、3-正丁氧基丙酸正丙酯、3-正丁氧基丙酸正丁酯等烷氧基丙酸烷基酯,或者乙酸曱酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸正丁酯、羥基乙酸曱酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸正丙酯、幾基乙酸正丁酯、乙酸4-曱氧基丁酯、乙酸3-曱氧基丁酯、乙酸2-曱氧基丁酯、乙酸3-乙氧基丁酯、乙酸3-丙氧基丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸正丙酯、乳酸正丁酯、2-羥基-2-曱基丙酸曱酯、2-羥基-2-曱基丙酸乙酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸正丙酯、3-羥基丙酸正丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸曱酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸正丙酯、曱氧基乙酸正丁酯、乙氧基乙酸曱酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸正丙酯、乙氧基乙酸正丁酯、正丙氧基乙酸甲酯、正丙氧基乙酸乙酯、正丙氧基乙酸正丙酯、正丙氧基乙酸正丁酯、正丁氧基乙酸曱酯、正丁氧基乙酸乙酯、正丁氧基乙酸正丙酯、正丁氧基乙酸正丁酯等其他的酯類等。這些溶劑中,優(yōu)選二甘醇烷基醚類、丙二醇單烷基醚乙酸酯類、烷氧基丙酸烷基酯類、醋酸酯類等。上述溶劑可以單獨或兩種以上混合使用。另外,作為上述自由基聚合引發(fā)劑,對其沒有特別的限制,可以列舉例如2,2,-偶氮二異丁腈、2,2,-偶氮二-(2,4-二曱基戊腈)、2,2'-偶氮二-(4-曱氧基-2,4-二甲基戊腈)、4,4,-偶氮二(4-氨基戊酸)、2,2,-偶氮二(2-甲基丙酸)二曱酯、2,2,-偶氮二(4-曱氧基-2,4-二曱基戊腈)等偶氮化合物;過氧化苯曱酰、過氧化月桂酰、叔丁基過氧化特戊酸酯、l,l-二(叔丁基過氧化)環(huán)己烷等有機過氧化物;過氧化氫等。另外,當使用過氧化物作為自由基聚合引發(fā)劑時,還可以將其與還原劑聯(lián)用而作為氧化還原型引發(fā)劑。這些自由基聚合引發(fā)劑可以單獨或兩種以上混合使用。共聚物(a)和共聚物(P)由凝膠滲透色譜(GPC)測得的聚苯乙烯換算的重均分子量(以下稱為"Mw,,),優(yōu)選為2000~100000,更優(yōu)選為5000~50000。如果Mw不足2000,則得到的覆膜的堿顯影性、殘膜率等差,并且圖案形狀、耐熱性等可能會受到損害,另一方面,如果超過100000,則具有分辨率低、圖案形狀受到損害的危險。本發(fā)明中的聚合物(Al)可以通過使共聚物(a)與不飽和異氰酸酯化合物反應(yīng)而制得。共聚物(a)可以將其溶液直接供給聚合物(Al)的制備,并且也可以是已從溶液中分離后供給聚合物(A1)的制備。作為不飽和異氰酸酯化合物,可以列舉例如2-丙烯酰氧基乙基異氰酸酯、3-丙烯酰氧基丙基異氰酸酯、4-丙烯酰氧基丁基異氰酸酯、6-丙烯酰氧基己基異氰酸酯、8-丙烯酰氧基辛基異氰酸酯、10-丙烯酰氧基癸基異氰酸酯、丙烯酸2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙酯、丙烯酸2-[2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙氧基]乙基酯、丙烯酸2-{2-[2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙氧基]乙氧基}乙基酯、丙烯酸2-(2-異氰酸酯基丙氧基)乙基酯、丙烯酸2-[2-(2-異氰酸酯基丙氧基)丙氧基]乙基酯、l,l-(二丙烯酰氧基曱基)乙基異氰酸酯、l,l,l-(三丙烯酰氧基甲基)曱基異氰酸酯等丙烯?;鹊谋┧嵫苌?;2-曱基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯、3-甲基丙烯酰氧基丙基異氰酸酯、4-曱基丙烯酰氧基丁基異氰酸酯、6-曱基丙烯酰氧基己基異氰酸酯、8-甲基丙烯酰氧基辛基異氰酸酯、10-甲基丙烯酰氧基癸基異氰酸酯、曱基丙烯酸2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙酯、曱基丙烯酸2-[2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙氧基]乙基酯、曱基丙烯酸2-{2-[2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙氧基]乙氧基}乙基酯、曱基丙烯酸2-(2-異氰酸酯基丙氧基)乙基酯、曱基丙烯酸2-[2-(2-異氰酸酯基丙氧基)丙氧基]乙基酯、l,l-(二曱基丙烯酰氧基甲基)乙基異氰酸酯、l,l,l-(三曱基丙烯酰氧基曱基)甲基異氰酸酯等甲基丙烯酸衍生物;這種不飽和異氰酸酯化合物中,作為2-丙烯酰氧基乙基異氰酸酯的市售品,商品名可以列舉力1/y父AOI(昭和電工(抹)生產(chǎn)),作為2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯的市售品,商品名可以列舉力l^乂文MOI(昭和電工(抹)生產(chǎn)),作為曱基丙烯酸2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙基酯的市售品,商品名可以列舉力k乂XMOI-EG(昭和電工(抹)生產(chǎn)),作為l,l-(二丙烯酰氧基曱基)乙基異氰酸酯的市售品,商品名可以列舉力^乂XBEI(昭和電工(才朱)生產(chǎn))。這些不飽和異氰酸酯化合物中,從與共聚物(a)的反應(yīng)性方面考慮,優(yōu)選2-丙烯酰氧基乙基異氰酸酯、2-曱基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯、4-曱基丙烯酰氧基丁基異氰酸酯、曱基丙烯酸2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙基酯等。聚合物(A1)中,不飽和異氰酸酯化合物可以單獨或兩種以上混合使用。在本發(fā)明中,共聚物(a)與不飽和異氰酸酯化合物的反應(yīng),可以通過例如在室溫或升溫的條件下,在攪拌的同時,向含二月桂酸二丁基錫(IV)等催化劑或?qū)籽趸拥染酆献柚箘┑墓簿畚?a)溶液中加入不飽和異氰酸酯化合物而進行。制備聚合物(Al)時的不飽和異氰酸酯化合物的用量,相對于共聚物(a)中的化合物(a2-l)的1當量羥基,優(yōu)選為0.1~95摩爾%,更優(yōu)選為1.0~80摩爾%,特別優(yōu)選為5.0~75摩爾%。當不飽和異氰酸酯化合物的用量不足0.1摩爾%時,對敏感度、耐熱性的提高以及彈性性能的提高的效果較小,另一方面,若超過95摩爾%,則會殘留未反應(yīng)的不飽和異氰酸酯化合物,會出現(xiàn)所得聚合物溶液和感射線性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性下降的傾向。當本發(fā)明中將聚合物(A1)與共聚物((3)聯(lián)用時,共聚物(P)的用量,相對于100重量份聚合物(A1),優(yōu)選為0.5~50重量份,更優(yōu)選為140重量份,特別優(yōu)選為3~30重量份。當共聚物(P)的用量不足0.5重量份時,則分隔物強度和耐熱性的提高的效果較小,另一方面,若超過50重量份,則會出現(xiàn)感射線性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性下降的傾向。-(B)聚合物不飽和單體-(B)聚合物性不飽和單體包括在感射線性聚合引發(fā)劑的存在下通過射線的曝光而進行聚合的不飽和化合物。但是,下述的(D)成分除外。作為這種(B)聚合性不飽和單體,對其沒有特別的限制,而從聚合性良好、所得分隔物強度的提高的角度考慮,優(yōu)選單官能、雙官能或三官能以上的(甲基)丙烯酸酯。作為上述單官能的(曱基)丙烯酸酯,可以列舉例如丙烯酸2-羥基乙基酯、甲基丙烯酸2-羥基乙基酯、二甘醇單乙醚丙烯酸酯、二甘醇單乙醚甲基丙烯酸酯、丙烯酸異冰片基酯、曱基丙烯酸異冰片基酯、丙烯酸3-曱氧基丁基酯、甲基丙烯酸3-曱氧基丁基酯、(2-丙烯酰氧基乙基)(2-羥基丙基)鄰苯二甲酸酯、(2-甲基丙烯酰氧基乙基)(2-羥基丙基)鄰笨二甲酸酯、。-羧基聚己內(nèi)酯單丙烯酸酯等。作為市售品,商品名可以列舉例如7口二,夕7M-101、7口二y夕7M—111、7口二、;/夕7M—114、7口二、;/夕7M—5300(以上由東亞合成(4朱)生產(chǎn));KAYARADTC-110S、KAYARADTC-120S(以上由日本化藥(抹)生產(chǎn));匕、73—卜158、匕、只3—卜2311(以上由大阪有機化學工業(yè)(抹)生產(chǎn))等。另外,作為上述雙官能的(曱基)丙烯酸酯,可以列舉例如乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、二甘醇二曱基丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二曱基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙烯酸酯、1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、雙(苯氧基乙醇)芴二丙烯酸酯、雙(苯氧基乙醇)貧二曱基丙烯酸酯等。作為市售品,商品名可以列舉例如7口二、乂夕只M-210、了口二、乂夕義M-240、了口二、乂夕7M-6200(以上由東亞合成(4朱)生產(chǎn));KAYARADHDDA、KAYARADHX-220、KAYARADR-604(以上由日本化藥(抹)生產(chǎn));匕、7〕一卜260、tf7〕一卜312、匕、7〕一卜335HP(以上由大阪有機化學工業(yè)(抹)生產(chǎn))、7^f卜7夕U卜1,9-NDA(共榮社(抹)生產(chǎn))等。另外,作為上述三官能以上的(曱基)丙烯酸酯,可以列舉例如三羥曱基丙烷三丙烯酸酯、三羥曱基丙烷三曱基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三曱基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六曱基丙烯酸酯、三(2-丙烯酰氧基乙基)膦酸酯、三(2-甲基丙烯酰氧基乙基)膦酸酯,以及作為9官能以上的(甲基)丙烯酸酯,可以列舉使具有直鏈亞烷基和脂環(huán)式結(jié)構(gòu)且具有兩個以上異氰酸酯基的化合物與分子內(nèi)具有一個以上羥基且具有三個、四個或五個丙烯酰氧基和/或曱基丙烯酰氧基的化合物反應(yīng)所得的多官能尿烷丙烯酸酯類化合物等。作為三官能以上的(曱基)丙烯酸酯的市售品,商品名可以列舉例如7口二、乂夕7M—309、7口二、7夕只M—400、7口二、乂夕7M—405、7口二、乂夕7M—450、7口二、乂夕7M—7100、7口二、乂夕只M—8030、7口二、乂夕7M-8060、7口二y夕7TO—1450(以上由東亞合成(#朱)生產(chǎn));KAYARADTMPTA、KAYARADDPHA、KAYARADDPCA-20、KAYARADDPCA-30、KAYARADDPCA-60、KAYARADDPCA-120(以上由日本化藥(抹)生產(chǎn));匕、、卩n—卜295、O〕一卜300、匕、、義〕一卜360、lf73—卜GPT、t:、、7〕一卜3PA、匕、、7〕一卜400(以上由大阪有機化學工業(yè)(抹)生產(chǎn)),以及作為含有多官能尿烷丙烯酸酯類化合物的市售品,可以列舉二二一7口乂亍吖了R-1150(第一工業(yè)制藥(抹)生產(chǎn))、KAYARADDPHA-40H(日本化藥(抹)生產(chǎn))等。這些單官能、雙官能或三官能以上的(甲基)丙烯酸酯中,更優(yōu)選三官能以上的(曱基)丙烯酸酯,特別優(yōu)選三羥曱基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯以及含有多官能尿烷丙烯酸酯類化合物的市售品等。上述單官能、雙官能或三官能以上的(曱基)丙烯酸酯可以單獨或兩種以上混合〗吏用。本發(fā)明的感射線性樹脂組合物中,(B)聚合性不飽和單體的用量,相對于100重量份(A)聚合物,優(yōu)選為10-300重量份,更優(yōu)選為30~200重量份。當(B)聚合性不飽和單體的用量不足10重量份時,會出現(xiàn)所得分隔物的粘附性下降的傾向,另一方面,若超過300重量份,則在顯影時存在發(fā)生顯影殘留的可能性。-(C)感射線性聚合引發(fā)劑-(C)感射線性聚合引發(fā)劑,是通過可見光、紫外線、遠紫外線、帶電粒子束、X射線等射線的曝光,產(chǎn)生能夠引發(fā)聚合物(A1)、(B)聚合性不飽和單體和下述的(D)成分聚合的活性物質(zhì)的成分。作為這種(C)感射線性聚合引發(fā)劑,可以列舉例如O-酰基肟類化合物、笨乙酮類化合物、二咪唑類化合物、苯偶姻類化合物、二苯酮類化合物、a-二酮類化合物、多核醌類4匕合物、口占噸酮類化合物、膦類化合物、三嗪類化合物等。在本發(fā)明的感射線性樹脂組合物中,作為(C)感射線性聚合引發(fā)劑,優(yōu)選含有O-?;款惢衔?。在本發(fā)明的感射線性樹脂組合物中,(C)感射線性聚合引發(fā)劑的用量,相對于100重量份(B)聚合性不飽和化合物,優(yōu)選為0.01~120重量份,更優(yōu)選為1~100重量份。當感射線性聚合引發(fā)劑的用量不足0.01重量份時,會出現(xiàn)顯影時殘膜率減小的傾向,另一方面,若超過120重量份,則會出現(xiàn)顯影時沒有曝光的部分對于堿顯影液的溶解性降低的傾向。作為上述O-?;鶎⒒衔锏木唧w例子,可以列舉例如1-[9-乙基-6-苯曱?;?9.H.-p卡唑-3-基]-壬烷-l,2-壬烷-2-肟-0-苯甲酸酯、l-[9-乙基-6-苯甲?;?9.H,??ㄟ?3-基]-壬烷-l,2-壬烷-2-肟-0-乙酸酯、l-[9-乙基-6-苯甲?;?9,H,咔唑-3-基]-戊烷-l,2-戊烷-2-肟-0-乙酸酯、l-[9-乙基-6-苯曱?;?9.H,??ㄟ?3-基]-辛烷-l-酮肟-O-乙酸酯、l-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9.H.-??ㄟ?3-基]-乙烷-l-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9.11.-咔唑-3-基]-乙烷-l-酮肟-O-乙酸酯、l-[9-乙基-6-(l,3,5-三曱基苯曱酰基)-9.H,咔唑-3-基]-乙烷-l-酮肟-0-苯甲酸酯、l-[9-丁基-6-(2-乙基苯曱酰基)-9.H,味唑-3-基卜乙烷-l-酮坊-O-苯曱酸酯、乙酮,1-[9-乙基-6-[2-甲基-4-(2,2-二曱基-l,3-二氧戊環(huán)基)曱氧基苯曱酰基]-9.11.-寸唑-3-基]-,l-(O-乙?;?、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-苯曱?;?、1,2-丁二酮-l-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-苯甲?;?、1,2-丁二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-乙?;?、1,2-辛二酮-1-[4-(曱硫基)苯基]-2-(0-苯曱?;绿?、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-(4-曱基苯曱酰基月虧)等。這些O-?;晤惢衔镏?,特別優(yōu)選l-[9-乙基-6-(2-曱基苯曱?;?-9.H.-??ㄟ?3-基卜乙烷-l-酮將-O-乙酸酯、乙酮,l-[9-乙基-6-[2-曱基-4-(2,2-二曱基-l,3-二氧戊環(huán)基)曱氧基苯曱?;鵠-9.H.-口卡唑-3-基]-,1-(0-乙?;?、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-苯曱?;?。上述O-酰基肝型聚合引發(fā)劑可以單獨或兩種以上混合使用。在本發(fā)明中,通過使用O-?;款惢衔?,可以獲得高敏感度的感射線性樹脂組合物,并且能夠制得具有良好粘附性的分隔物。在本發(fā)明的感射線性樹脂組合物中,作為(C)感射線性聚合引發(fā)劑,更優(yōu)選將o-?;啃途酆弦l(fā)劑與一種以上其他感射線性聚合引發(fā)劑一起聯(lián)用。作為上述其他感射線性聚合引發(fā)劑,優(yōu)選苯乙酮類化合物、二咪唑類化合物。作為上述苯乙酮類化合物,可以列舉例如cx-羥基酮類化合物、oc-氨基酮類化合物等。作為上述oc-羥基酮類化合物,可以列舉例如1-苯基-2-羥基-2-曱基丙烷-l-酮、l-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-l-酮、4-(2-鞋基乙氧基)苯基-(2-羥基-2-丙基)酮、l-羥基環(huán)己基苯基酮等;另外,作為上述a-氨基酮類化合物,可以列舉例如2-甲基-1-(4-曱硫基苯基)-2-嗎啉基丙烷-l-酮、2-千基-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-l-S同、2-(4-曱基苯曱?;?-2-(二甲氨基)-l-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-l-酮等。作為它們以外的化合物,可以列舉例如2,2-二甲氧基苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、2,2-二曱氧基-2-苯基苯乙酮等。這些苯乙酮類化合物中,特別優(yōu)選2-曱基-1-(4-曱硫基苯基)-2-嗎啉基丙烷-l-酮、2-(4-甲基苯甲?;?-2-(二甲氨基)-1-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-l-酮。上述苯乙酮類化合物可以單獨或兩種以上混合使用。在本發(fā)明中,通過聯(lián)用苯乙酮類化合物,可以進一步改善敏感度、分隔物形狀和壓縮強度。另外,作為上述二咪唑類化合物,可以列舉例如2,2,-二(2-氯苯基)-4,4,,5,5,-四(4-乙氧羰基苯基)-l,2,-二咪唑、2,2,-二(2-溴苯基)-4,4,,5,5,-四(4-乙氧羰基苯基)-l,2,-二咪唑、2,2,-二(2-氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-l,2,-二咪唑、2,2,-二(2,4-二氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-l,2,-二咪唑、2,2,-二(2,4,6-三氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-二咪唑、2,2,-二(2-溴苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-l,2,-二咪唑、2,2'-二(2,4-二溴笨基)-4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-二咪哇、2,2,-二(2,4,6-三溴苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-l,2,-二咪唑等。這些二咪唑類化合物中,優(yōu)選2,2,-二(2-氯苯基)-4,4,,5,5,-四笨基-l,2,-二咪唑、2,2,-二(2,4-二氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-二咪唑、2,2,-二(2,4,6-三氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-二咪唑等,特別優(yōu)選2,2,-二(2-氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-二咪唑。上述二咪唑類化合物可以單獨或兩種以上混合使用。在本發(fā)明中,通過聯(lián)用二咪唑類化合物,可以進一步改善敏感度、分辨率和粘附性。在本發(fā)明的感射線性樹脂組合物中,當使用二咪唑類化合物作為(C)感射線性聚合引發(fā)劑時,為了使其增敏,可以添加具有二烷基氨基的脂肪族或芳香族化合物(以下,稱為"氨基類增敏劑")。作為氨基類增敏劑,可以列舉例如N-甲基二乙醇胺、4,4,-二(二曱基氨基)二苯酮、4,4,-二(二乙基氨基)二苯酮、對二曱氨基苯甲酸乙酯、對二曱氨基苯甲酸異戊酯等。這些氨基類增敏劑中,特別優(yōu)選4,4,-二(二乙基氨基)二苯酮。上述氨基類增敏劑可以單獨或兩種以上混合使用。另外,當將二咪唑類化合物與氨基類增敏劑聯(lián)用時,可以添加作為供氫化合物的硫醇類化合物。二咪唑類化合物由上述氨基類增敏劑增敏而斷裂,產(chǎn)生咪唑自由基,但是其原樣狀態(tài)并不表現(xiàn)出高的聚合引發(fā)能,大多情況下所得分隔物為倒錐形的不理想形狀。然而,通過在二咪唑類化合物與氨基類增敏劑的共存體系中添加硫醇類化合物,由硫醇類化合物向咪唑自由基提供氫自由基,結(jié)果,咪唑自由基轉(zhuǎn)化為中性的咪唑,同時,產(chǎn)生具有聚合引發(fā)能高的硫自由基的成分,這樣可以使分隔物的形狀成為更優(yōu)選的正錐形。作為上述碌b醇類化合物,可以列舉例如2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并噁唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基-5-曱氧基苯并噻唑、2-巰基-5-曱氧基苯并咪唑等芳香族系化合物;3-巰基丙酸、3-巰基丙酸甲酯、3-巰基丙酸乙酯、3-巰基丙酸辛酯等脂肪族單硫醇類;3,6-二氧雜-1,8-辛二石危醇、季戊四醇四(巰基乙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)等雙官能以上的脂肪族硫醇類。這些硫醇類化合物中,特別優(yōu)選2-巰基苯并噻唑。上述硫醇類化合物可以單獨或兩種以上混合使用。在本發(fā)明的感射線性樹脂組合物中,當將O-?;款惢衔锱c其他感射線性聚合引發(fā)劑聯(lián)用時,其他感射線性聚合引發(fā)劑的使用比率,在全部感射線性聚合引發(fā)劑中,優(yōu)選為30~95重量%,更優(yōu)選為40~90重量%。通過以這種比率將O-?;款惢衔锱c其他感射線性聚合引發(fā)劑聯(lián)用,可以獲得高敏感度的感射線性樹脂組合物,并且能夠制得各種性能優(yōu)良的分隔物。當將二咪唑類化合物與氨基類增敏劑聯(lián)用時,氨基類增敏劑的添加量,相對于100重量份二咪唑類化合物,優(yōu)選為0.1~50重量份,更優(yōu)選為1-20重量份。當氨基類增敏劑的添加量不足O.l重量份時,會出現(xiàn)敏感性、分辨率和粘附性的改善效果降低的傾向,另一方面,如果超過50重量份,則出現(xiàn)損害所得分隔物形狀的傾向。另外,當將二咪唑類化合物和氨基類增敏劑與硫醇類化合物聯(lián)用時,硫醇類化合物的添加量,相對于100重量份二咪唑類化合物,優(yōu)選為0.1~50重量份,更優(yōu)選1~20重量份。當硫醇類化合物的添加量不足0.1重量份時,會出現(xiàn)分隔物形狀的改善效果降低的傾向,以及出現(xiàn)殘膜率降低的傾向,另一方面,如果超過50重量份,則會出現(xiàn)損害所得分隔物形狀的傾向。-(D)分子內(nèi)具有亞脲基和聚合性不飽和鍵的化合物-(D)成分是分子內(nèi)具有亞脲基和通過在感射線性聚合引發(fā)劑的存在下進行射線曝光能夠聚合的不飽和鍵的化合物(以下也稱為"聚合性脲化合物")。本發(fā)明者們專心研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn),通過使感射線性樹脂組合物中含有具有脲基(-NH-CO-NH-)的聚合性脲化合物,可以獲得即使在大型基板上也能夠形成高度均一的分隔物的感射線性樹脂組合物。具有脲基的聚合性脲化合物,推測是由于與具有氨基曱酸酯結(jié)構(gòu)(-NH-CO-O-)的上述聚合物(A1)或者具有將酯結(jié)構(gòu)(-C-N-O-CO-)或氨基的感射線性聚合引發(fā)劑的親和性高,而使構(gòu)成感射線性樹脂組合物的各成分之間的相容性提高,從而使分隔物高度的均一性提高。另外,還發(fā)現(xiàn)通過使其含有聚合性脲化合物,分隔物的表面平滑性也有所提高,而且還能抑制取向膜形成時的涂敷不良。作為這種聚合性脲化合物,可以列舉例如下述式表示的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage27</formula>(式中,Ri相互可以相同,也可以不同,表示2-4價的有機基團,R2相互可以相同,也可以不同,表示氫原子或曱基,n相互可以相同,也可以不同,表示13的整數(shù))。作為上述式(l)中的R!,可以列舉例如亞甲基、碳原子數(shù)為2~10的亞烷基、亞苯基、-(C2H40)mC2H4-、-(C3H60)mC2H4-(m表示1~5的整數(shù))、下述式表示的基團等,(式中,a、b、c和d相互可以相同,也可以不同,表示0~12的整數(shù))。作為聚合性脲化合物的具體例子,可以列舉例如1,3-二(丙烯酰氧基乙基)脲、1,3-二(甲基丙烯酰氧基乙基)脲、1,3-二(曱基丙烯酰氧基丁基)脲、1,3-二(甲基丙烯酰氧基-2-乙氧基乙基)脲、1,3-二(間曱基丙烯酰氧基-苯基)脲、1,3-二(1,1-二(丙烯酰氧基甲基)乙基)脲等。聚合性脲化合物可以單獨或兩種以上混合使用。聚合性脲化合物可以通過例如使具有(曱基)丙烯酰氧基的不飽和異氰酸酯化合物在適當?shù)娜軇┲信c水一起反應(yīng)而制備。作為具有(曱基)丙烯酰氧基的不飽和異氰酸酯化合物,可以列舉與聚合物(A1)的制備中所使用的不飽和異氰酸酯化合物同樣的化合物。另外,作為聚合性脲化合物的制備中所用的溶劑,可以列舉例如四氫呋喃、N,N-二甲基甲酰胺、醋酸乙酯、二氯甲烷等。另外,制備聚合性脲化合物時水的用量,相對于具有(曱基)丙烯酰氧基的不飽和異氰酸酯化合物,優(yōu)選為50~500摩爾%,更優(yōu)選為50~100摩爾%。如此制得的聚合性脲化合物優(yōu)選采用曱醇、乙醇等進行重結(jié)晶進行精制。本發(fā)明的感射線性樹脂組合物中,(D)聚合性脲化合物的用量,相對于100重量份(A)聚合物,優(yōu)選為0.1~100重量份,更優(yōu)選為l-50重量份,進一步優(yōu)選為3~20重量份。當(D)聚合性脲化合物的用量不足0.1重量份時,存在不能獲得所需效果的可能,另一方面,若超過100重量份,則在所得感射線性樹脂組合物的保存過程中存在產(chǎn)生析出物的可能。.-其他J壬選的添加劑-本發(fā)明感射線性樹脂組合物中,在不損害本發(fā)明預(yù)期效果的范圍內(nèi),根據(jù)需要,還可以配合上述成分以外的,例如表面活性劑、粘合助劑、保存穩(wěn)定劑、著色劑等任選的添加劑。上述表面活性劑是具有改善涂敷性作用的成分,優(yōu)選氟類表面活性劑和聚硅氧烷類表面活性劑。作為上述氟類表面活性劑,優(yōu)選在末端、主鏈和側(cè)鏈的至少任一部位具有氟代烷基或氟代亞烷基的化合物。作為其具體例子,可以列舉1,1,2,2-四氟辛基(l,l,2,2-四氟正丙基)醚、1,1,2,2-四氟正辛基(正己基)醚、八乙二醇二(1,1,2,2_四氟正丁基)醚、六乙二醇二(1,1,2,2,3,3-六氟正戊基)醚、八丙二醇二(l,l,2,2-四氟正丁基)醚、六丙二醇二(l,l,2,2,3,3-六氟正戊基)醚、1,1,2,2,3,3,-六氟正癸烷、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-十氟正十二烷、全氟正十二烷基磺酸鈉、以及氟代烷基苯磺酸鈉、氟代烷基磷酸鈉、氟代烷基羧酸鈉、氟代烷基聚氧乙烯醚、雙甘油四(氟代烷基聚氧乙烯醚)、氟代烷基碘化銨、氟代烷基甜菜堿、全氟代烷基聚氧乙醇、全氟代烷基烷氧化物、氟代梡基酯等。另外,作為氟類表面活性劑的市售品,商品名可以列舉例如BM-1000、BM-1100(以上,由BMCHEMIE社生產(chǎn))、-力、77、乂夕F142D、乂力'77:y夕F172、乂力'77、乂夕F173、、乂夕F183、少力、77、乂夕F178、乂力、77y夕F191、少力、77、乂夕F471、-力、77、7夕F476(以上,由大日本油墨化學工業(yè)(抹)生產(chǎn))、7口,一KFC170C、7口,一KFC-171、7口,一KFC-430、7口,一KFC-431(以上,由住友7U—工厶(林)生產(chǎn))、廿一7口乂S—112、、廿一7口乂S-113、步一7口乂S-131、廿一7口yS—141、廿一7口yS—145、廿一7口乂S—382、寸一7口>SC—101、寸一7口乂SC-102、寸一7口乂SC—103、寸一7口ySC—104、廿一7口乂SC—105、寸一7口乂SC-106(以上,由旭硝子(林)生產(chǎn))、工7卜、乂7°EF301、工7卜、乂7°EF303、工7卜、_y7°EF352(以上,由新秋田化成(抹)生產(chǎn))、7夕一^工/卜FT-100、7夕一^工y卜FT—110、7夕一^工乂卜FT—140A、7夕一、2工/卜FT-150、7夕一、^工/卜FT-250、7夕一^工y卜FT—251、7夕一^工乂卜FTX-251、7夕一^工乂卜FTX—218、7夕一^工/卜FT—300、7夕一^工乂卜FT-310、7夕一^工乂卜FT-400S(以上,由(抹)氺才7生產(chǎn))等。作為上述聚硅氧烷類表面活性劑,市售品商品名可以列舉例如卜一k、>yn—yDC3PA、卜一P、>y〕一乂DC7PA、卜一k、乂y〕一乂SH11PA、卜一P、>y〕一ySH21PA、卜一l/、乂U〕一ysh28pa、卜一^、;/y〕一ysh29pa、卜一^、乂y〕一乂SH30PA、卜一P^y〕一ySH—190、卜一l/SH—193、卜一k、;>]i3—ySZ-6032、卜一k、:/!;〕一/SF-8428、卜一k、乂y〕一yDC—57、卜一k、乂y〕一yDC—190(以上,由東夕、、夕〕一二y夕、、…乂];〕一乂(林)生產(chǎn))、TSF—4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(以上由ge東芝^y〕一y(抹)生產(chǎn))等。此外,作為上述以外的表面活性劑,可以列舉例如聚氧乙烯十二烷基醚、聚氧乙烯十八烷基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚類;聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚類;聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧乙烯二烷基酯等非離子表面活性劑;以及作為市售品,商品名可以列舉KP341(信越化學工業(yè)(抹)生產(chǎn))、求U7口一No.57、求y7口一No.95(共榮社化學(抹)生產(chǎn))等。上述表面活性劑可以單獨或者兩種以上混合使用。表面活性劑的混合量,相對于100重量份(A)聚合物,優(yōu)選為5重量份以下,更優(yōu)選為2重量份以下。若表面活性劑的混合量超過5重量份,則會出現(xiàn)涂敷時容易產(chǎn)生膜龜裂的傾向。上述粘合助劑是具有進一步改善分隔物與基體的粘附性作用的成分,優(yōu)選官能性硅烷耦合劑。作為上述官能性硅烷耦合劑,可以列舉例如具有羧基、甲基丙烯酰基、乙烯基、異氰酸酯基、環(huán)氧乙基等反應(yīng)性官能團的化合物,更具體地說,可以列舉三曱氧基硅垸基安息香酸、y-甲基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、Y-異氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、Y-環(huán)氧丙氧基丙基三曱氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三曱氧基硅烷等。這些粘合助劑可以單獨或兩種以上混合使用。粘合助劑的混合量,相對于100重量份(A)聚合物,優(yōu)選為20重量份以下,更優(yōu)選為IO重量份以下。若粘合助劑的混合量超過20重量份,則會出現(xiàn)容易發(fā)生顯影殘留的傾向。作為上述保存穩(wěn)定劑,可以列舉例如硫、醌類、氫醌類、聚氧化合物、胺、硝基亞硝基化合物等,更具體地說,可以列舉4-曱氧基苯酚、N-亞硝基-N-苯基羥基胺鋁等。這些保存穩(wěn)定劑可以單獨或兩種以上混合使用。保存穩(wěn)定劑的混合量,相對于100重量份(A)聚合物,優(yōu)選為3重量份以下,更優(yōu)選為0.001-0.5重量份。若保存穩(wěn)定劑的混合量超過3重量份,則會出現(xiàn)敏感度下降,圖案形狀受損的可能性。作為上述著色劑,對其色調(diào)沒有特別的限制,可以根據(jù)目的著色層的用途而適當?shù)剡x定,并且有機著色劑和無機著色劑均可以。作為有機著色劑,可以列舉例如有機顏料、天然色素等。作為無機著色劑,可以列舉無機顏料、體質(zhì)顏料等。作為上述有機顏料,可以列舉例如顏料索引(C.I.;TheSocietyofDyersandColourists公司發(fā)行)中分為色素(Pigment)類的化合物,具體地說,可以列舉帶有下述顏料索引(C.I.)編號的化合物。C丄色素黃12、C丄色素黃13、C丄色素黃14、C丄色素黃17、C丄色素黃20、C.I.色素黃24、C丄色素黃31、C.I.色素黃55、C丄色素黃83、C丄色素黃93、C丄色素黃109、C丄色素黃110、C丄色素黃138、C丄色素黃139、C丄色素黃150、C.I.色素黃153、C丄色素黃154、C丄色素黃166、C丄色素黃168、C.I.色素黃180;C丄色素橙36、C丄色素橙43、C丄色素橙51;C.I.色素紅9、C.I.色素紅97、C丄色素紅122、C丄色素紅123、C.I.色素紅149、C.I.色素紅176、C丄色素紅177、C丄色素紅180、C.I.色素紅215、C丄色素紅242、C丄色素紅254;C丄色素紫19、C丄色素紫23、C丄色素紫29;C丄色素藍15、C丄色素藍15:3、C丄色素藍15:6;C.I.色素綠7、C丄色素綠36、C.I.色素綠58;C丄色素棕23、C丄色素棕25;C丄色素黑1、C.I.色素黑7。作為上述無機顏料,可以列舉硫酸鉛、黃色鉛、鋅黃、鐵丹(紅色氧化鐵(III))、鎘紅、群青、鐵藍、氧化鉻綠、鈷綠、赭土、鈦黑、合成鐵黑、炭黑等;作為上述體質(zhì)顏料,可以列舉例如氧化鈦、硫酸鋇、鋅華、碳酸釣等。作為上述炭黑,可以列舉例如爐黑、熱裂炭黑、乙炔炭黑等,作為其具體例子,爐黑可以列舉SAF、SAF-HS、ISAF、ISAF-LS、ISAF-HS、HAF、HAF-LS、HAF-HS、MAF、FEF、FEF-HS、SRF、SRF-LM、SRF-LS、GPF、ECF、N-339、N-351等;熱裂炭黑可以列舉FT、MT等。作為它們的市售品,例如,SAF可以列舉夕、、<了7、、,、乂夕A(三菱化學(抹)生產(chǎn))、〉一7卜9(東海力一求y(抹)生產(chǎn))等;SAF-HS可以列舉夕、、^f了7',y夕SA(三菱化學(抹)生產(chǎn))、、>一7卜9H(東海力一求y(抹)生產(chǎn))等;ISAF可以列舉夕、、一了7',、乂夕I(三菱化學(林)生產(chǎn))、、乂一7卜6(東海力一求y(抹)生產(chǎn))等;ISAF-LS可以列舉夕、',77,、乂夕LI(三菱化學(抹)生產(chǎn))、、>一7卜600(東海力一求y(抹)生產(chǎn))等;ISAF-HS可以列舉夕、',77',、乂夕N234(三菱化學(林)生產(chǎn))、、>一7卜7HM(東海力一求y(抹)生產(chǎn))等;HAF可以列舉夕、、一7",、乂夕H(三菱化學(抹)生產(chǎn))、、乂一義卜3(東海力一求乂(林)生產(chǎn))等;HAF-LS可以列舉夕、'^了/,、乂夕LH(三菱化學(抹)生產(chǎn))、、>一只卜300(東海力一求y(抹)生產(chǎn))等;HAF-HS可以列舉夕、、一了/,、乂夕SH(三菱化學(株)生產(chǎn))、〉一7卜KH(東海力一求乂(林)生產(chǎn))等;MAF可以列舉夕、、一77、,、_y夕N550M(三菱化學(抹)生產(chǎn))、、>一7卜116(東海力一求V(抹)生產(chǎn))等;FEF可以列舉三菱化學公司生產(chǎn)的夕、'^77',、乂夕E(三菱化學(林)生產(chǎn))、、>一7卜SO、、>一7卜F、V—7卜FM(以上由東海力一求y(抹)生產(chǎn))等;SRF-LM可以列舉夕、、一了7、、,、乂夕N760M(三菱化學(抹)生產(chǎn))、HTC弁SL(新日鐵化學(抹)生產(chǎn))等;GPF可以列舉夕、、一77',、乂夕G(三菱化學(抹)生產(chǎn))、、乂一7卜v(東海力一求y(抹)生產(chǎn))等。這些著色劑,根據(jù)需要,其顆粒表面還可以采用聚合物進行改性。上述著色劑可以單獨或兩種以上混合使用。本發(fā)明的感射線性樹脂組合物優(yōu)選以溶解于適當?shù)娜軇┲械慕M合物溶液供給使用。作為上述溶劑,可以使用能夠均勻地溶解構(gòu)成感射線性樹脂組合物的各成分、不與各成分反應(yīng)、并具有適當?shù)膿]發(fā)性的溶劑,從各成分的溶解能力、與各成分的反應(yīng)性和形成涂膜的容易性角度考慮,優(yōu)選醇類、乙二醇單烷基醚乙酸酯類、二甘醇單烷基醚乙酸酯類、二甘醇烷基醚類、丙二醇單烷基醚乙酸酯類、二丙二醇烷基醚類、烷氧基丙酸烷基酯類、醋酸酯類等,特別優(yōu)選節(jié)醇、2-苯基乙醇、3-苯基-l-丙醇、乙二醇單正丁醚乙酸酯、二甘醇單乙醚乙酸酯、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇乙基甲基醚、丙二醇單曱醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、二丙二醇二甲醚、醋酸3-甲氧基丁基酯、醋酸2-甲氧基乙基酯等。上述溶劑可以單獨或兩種以上混合使用。在本發(fā)明中,還可以進一步將上述溶劑與高沸點溶劑一起聯(lián)用。作為上述高沸點溶劑,可以列舉例如N-甲基甲酰胺、N,N-二曱基曱酰胺、N-曱基曱酰苯胺、N-曱基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲基亞砜、節(jié)基乙基醚、正己醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、l-辛醇、l-壬醇、芐醇、乙酸芐酯、苯曱酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、y-丁內(nèi)酯、碳酸乙二酯、碳酸丙二酯、乙二醇單苯基醚乙酸酯等。這些高沸點溶劑可以單獨或兩種以上混合使用。另外,如上調(diào)制的組合物溶液還可以采用孔徑為0.5nm左右的微孔濾器等過濾后再供給使用。本發(fā)明的感射線性樹脂組合物特別是非常適用于形成液晶顯示元件用的分隔物。分隔物的制造方法接下來,對采用本發(fā)明感射線性樹脂組合物制造本發(fā)明的分隔物的方法進行說明。本發(fā)明分隔物的制造,至少按照下述順序包括以下工序。(l)在基板上形成本發(fā)明感射線性樹脂組合物覆膜的工序,(2)對該覆膜的至少一部分進行曝光的工序,(3)將曝光后的覆膜進行顯影的工序,和(4)將顯影后的覆膜進行加熱的工序。以下,對這些各個工序依次進行說明。-(l)工序-在透明基板的一面上形成透明導電膜,將感射線性樹脂組合物優(yōu)選以組合物溶液形式涂敷在該透明導電膜上后,加熱涂敷面(預(yù)烘焙),形成覆膜。作為分隔物的形成中所用的透明基板,可以列舉例如玻璃基板、樹脂基板等。更具體地說,可以列舉鈉鈣玻璃、無堿玻璃等玻璃基板;聚對苯二曱酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚砜、聚碳酸酯、聚酰亞胺等塑料制樹脂基板。作為透明基板一面上設(shè)置的透明導電膜,可以使用例如氧化錫(Sn02)制的NESA膜(美國PPG公司注冊商標)、氧化銦-氧化錫(ln203-Sn02)制的ITO膜等。作為涂敷組合物溶液,形成本發(fā)明感射線性樹脂組合物覆膜的方法,可以列舉(l)涂敷法、(2)干膜法。作為組合物溶液的涂敷方法,可以采用例如噴涂法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法(旋涂法)、縫模涂敷法、棒涂法、噴墨涂敷法等適當?shù)姆椒?,特別優(yōu)選旋涂法、縫模涂敷法。另外,在形成本發(fā)明感射線性樹脂組合物覆膜時,當采用(2)干膜法時,該干膜是在基膜、優(yōu)選可塑性基膜上層壓由本發(fā)明感射線性樹脂組合物構(gòu)成的感光性層而形成的(以下,稱為"感光性干膜")。上述感光性干膜可以通過將本發(fā)明的感射線性樹脂組合物優(yōu)選以液體組合物的形式涂敷在基膜上后干燥,以層壓感光性層而形成。作為感光性干膜的基膜,可以使用例如聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯等合成樹脂膜。基膜的厚度為15~125pm的范圍較合適。所得感光性層的厚度優(yōu)選為1~30|iim左右。另外,感光性干膜在未使用時,其感光性層上還可以進一步層壓覆膜而進行保存。該覆膜需要具備適度的脫模性,使其在未使用時不會脫落,而在使用時可以容易地被剝離。作為滿足這種條件的覆膜,可以使用例如在PET膜、聚丙烯膜、聚乙烯膜、聚氯乙烯膜等合成樹脂膜的表面上涂敷或燒結(jié)聚硅氧烷類脫模劑的薄膜。覆膜的厚度通常為25pm左右即足夠。此外,預(yù)烘焙的條件根據(jù)各成分的種類和配合比率而不同,優(yōu)選在70~120°C下進行1~15分鐘左右。-(2)工序-接下來,對所形成的覆膜的至少一部分進行曝光。此時,在對覆膜的一部分進行曝光時,通常,可以借助具有預(yù)定圖案的光掩模進行曝光。作為曝光所使用的射線,可以使用例如可見光、紫外線、遠紫外線、電子束、X射線等,優(yōu)選波長為190~450nm范圍的射線,特別優(yōu)選含365nm的紫外線的射線。曝光量是曝光的射線波長為365nm時的強度采用照度計(OAImodel356型,OAIOpticalAssociatesInc.制造)測定的4直,其優(yōu)選為100~10000J/m2,更優(yōu)選為1500~3000J/m2。-O)工序-接下來,通過對曝光后的覆膜進行顯影,除去無用的部分,形成預(yù)定的圖案。作為顯影時所用的顯影液,優(yōu)選堿顯影液,作為其例子,可以列舉氫氧化鈉、氫氧化鉀、石友酸鈉、硅酸鈉、偏石圭酸鈉、氨等無機4^;乙胺、正丙胺等脂肪族伯胺;二乙胺、二正丙胺等脂肪族仲胺;三曱胺、甲基二乙基胺、二曱基乙基胺、三乙胺等脂肪族叔胺;吡咯、哌啶、N-曱基哌啶、N-甲基吡咯烷、1,8-二氮雜二環(huán)[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮雜二環(huán)[4.3.0]-5-壬烯等脂環(huán)族叔胺;吡啶、三曱基吡啶、二曱基吡啶、喹啉等芳香族叔胺;二曱基乙醇胺、曱基二乙醇胺、三乙醇胺等烷醇胺;氫氧化四曱基銨、氫氧化四乙基銨等季銨鹽等堿性化合物的水溶液。另外,上述名咸性化合物的水溶液中可以添加適量的曱醇、乙醇等水溶性有機溶劑或表面活性劑而使用。作為顯影方法,盛液法、浸漬法、沖洗法等任意一者均可,顯影時間優(yōu)選為10~180秒左右。顯影后,通過例如進行30~90秒的流水洗滌后,鼓吹例如壓縮空氣或壓縮氮氣進行風干,可以形成所需的圖案。-(4)工序-接著,采用例如加熱板、烘箱等加熱裝置,在規(guī)定的溫度例如100230。C下,對所得的圖案加熱規(guī)定的時間,例如在加熱板上加熱5~30分鐘,在烘箱中加熱30-180分鐘(后烘焙),可以獲得預(yù)定的分隔物。液晶顯示元件本發(fā)明的液晶顯示元件,具有如上制造的本發(fā)明的分隔物。對本發(fā)明液晶顯示元件的結(jié)構(gòu)沒有特別的限制,例如,如圖1所示,可以是在透明基板上形成濾色層和分隔物,具有通過液晶層而設(shè)置的兩個取向膜、相對向的透明電極、相對向的透明基板等的結(jié)構(gòu)。另外,如圖1所示,根據(jù)需要,還可以形成偏光板或在濾色層上形成保護膜。另外,如圖2所示,還可以在透明基板上形成濾色層和分隔物,通過取向膜和液晶層,使其與薄膜晶體管(TFT)陣列相對向,構(gòu)成TN-TFT型液晶顯示元件。此時,也可以根據(jù)需要,形成偏光板或在濾色層上形成保護膜。實施例以下,列舉實施例對本發(fā)明的實施方式進行更具體的說明。這里,份和°/。以重量為基準。在以下的合成例中,(A)聚合物的重均分子量Mw的測定是采用下述裝置和條件,通過凝膠滲透色譜(GPC)進行的。裝置GPC-IOI(昭和電工(抹)制造)柱GPC-KF-801、GPC-KF-802、GPC-KF-803和GPC-KF-804聯(lián)合。移動相含0.5重量%磷酸的四氫呋喃。(A)聚合物的合成合成例1向裝有冷卻管和攪拌器的燒瓶中,加入6份2,2,-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、250份醋酸3-曱氧基丁基酯。繼續(xù)加入25份苯乙烯、10份曱基丙烯酸、20份曱基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯和45份曱基丙烯酸縮水甘油基酯,用氮氣置換后,開始緩慢攪拌。使溶液的溫度升至70°C,保持該溫度4小時,然后追加1份2,2,-偶氮二(2,4-二曱基戊腈),保持1小時,得到含共聚物(a-l)的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固體含量濃度為28.5%,聚合物的重均分子量Mw為14000。合成例2向裝有冷卻管和攪拌器的燒瓶中,加入7份2,2,-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)和200份丙二醇單曱醚乙酸酯。繼續(xù)加入19份苯乙烯、38份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、13份甲基丙烯酸和30份甲基丙烯酸曱基縮水甘油基酯,用氮氣置換后,開始緩慢攪拌。使溶液的溫度升至70°C,保持該溫度7小時,得到含共聚物(a-2)的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固體含量濃度為32.9%,聚合物的重均分子量Mw為12000。合成例3向裝有冷卻管和攪拌器的燒瓶中,加入5份2,2,-偶氮二異丁腈、125份醋酸3-甲氧基丁基酯和125份丙二醇單甲醚乙酸酯,繼續(xù)加入18份甲基丙烯酸、25份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯、5份苯乙烯、5份丁二烯、25份甲基丙烯酸2-(6-輕基己酰氧基)乙基酯(商品名PLACCELFM1D,夕、、^ir少化學工業(yè)(抹)生產(chǎn))和22份甲基丙烯酸四氫呋喃-2-基酯,用氮氣置換后,邊緩慢攪拌,邊使溶液的溫度升至80°C,保持該溫度5小時,得到含共聚物(a-3)的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固體含量濃度為29.1%,聚合物的重均分子量Mw為18000。然后,向100份所得共聚物(a-3)溶液中,加入14份2-曱基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯(商品名力乂乂'MOI,昭和電工(抹)生產(chǎn))、0.1份4-曱氧基苯酚后,在40。C下攪拌1小時,再在6(TC下攪拌2小時,使其反應(yīng)。來源于2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯的異氰酸酯基與來源于共聚物(a-3)的羥基的反應(yīng)的進行,采用IR(紅外線吸收)光譜進行確認。在40。C下反應(yīng)1小時后的溶液以及在60。C下反應(yīng)2小時后的溶液,其來源于2-曱基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯的異氰酸酯基的2270cm"附近的峰分別經(jīng)IR光譜確認為減少的狀態(tài)。經(jīng)過上述反應(yīng),得到固體含量濃度為34.0。/。的聚合物(A1)溶液。該聚合物(A1)作為聚合物(A-1)。合成例4在合成例3中,向100份共聚物(a-3)溶液中添加14份2-丙烯酰氧基乙基異氰酸酯(商品名力k乂X、AOI,昭和電工(抹)生產(chǎn))代替2-曱基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯(商品名力^yXMOI,昭和電工(林)生產(chǎn)),并添加0.1份4-甲氧基苯酚后,在40。C下攪拌l小時,再在60°C下攪拌2小時,使其反應(yīng)。來源于2-丙烯酰氧基乙基異氰酸酯的異氰酸酯基與來源于共聚物(a-3)的羥基的反應(yīng)的進行,釆用IR(紅外線吸收)光譜進行確認。在40。C下反應(yīng)1小時后的溶液以及在60。C下反應(yīng)2小時后的溶液,其來源于2-丙烯酰氧基乙基異氰酸酯的異氰酸酯基的2270cm"附近的峰分別經(jīng)IR光譜確認為減少的狀態(tài)。經(jīng)過上述反應(yīng),得到固體含量濃度為33.7。/。的聚合物(A1)溶液。該聚合物(A1)作為聚合物(A-2)。合成例5向裝有冷卻管和攪拌器的燒瓶中,加入5份2,2,-偶氮二異丁腈、125份醋酸3-甲氧基丁基酯和125份丙二醇單甲醚乙酸酯,繼續(xù)加入18份曱基丙烯酸、25份曱基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯、5份苯乙烯、30份曱基丙烯酸2-羥基乙基酯和22份曱基丙烯酸千基酯,用氮氣置換后,邊緩慢攪拌,邊使溶液的溫度升至80。C,保持該溫度5小時,得到含共聚物(a-4)的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固體含量濃度為28.8%,聚合物的重均分子量Mw為13000。然后,向100份共聚物(a-4)溶液中,加入15份曱基丙烯酸2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙基酯(商品名力1/y乂MOI-EG,昭和電工(抹)生產(chǎn))和0.1份4-曱氧基苯酚后,在40'C下攪拌1小時,再在60。C下攪拌2小時,使其反應(yīng)。來源于曱基丙烯酸2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙基酯的異氰酸酯基與來源于共聚物(a-4)的羥基的反應(yīng)的進行,采用IR(紅外線吸收)光譜進行確認。在40。C下反應(yīng)1小時后的溶液以及在60°C下反應(yīng)2小時后的溶液,其來源于甲基丙烯酸2-(2-異氰酸酯基乙氧基)乙基酯的2270cnT1附近的峰分別經(jīng)IR光譜確認為減少的狀態(tài)。經(jīng)過上述反應(yīng),得到固體含量濃度為31.8。/。的聚合物(A1)溶液。該聚合物(Al)作為聚合物(A-3)。(D)成分的合成合成例61,3-二(曱基丙烯酰氧基乙基)脲的合成向裝有冷卻管和攪拌器的燒瓶中,加入10份2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯和30份四氫呋喃。繼續(xù)加入2份蒸餾水,使溶液溫度升至4(TC,緩慢進行攪拌1小時。減壓蒸餾除去四氫呋喃和蒸餾水后,用50份乙醇進行重結(jié)晶,得到針狀白色晶體。所得化合物采用氘代DMSO作為溶劑,用TMS作為基準物,經(jīng)'H-NMR鑒定為1,3-二(甲基丙烯酰氧基乙基)脲。結(jié)果如下所示?;瘜W位移(質(zhì)子比,分裂);1.82(3H,s),3.26(2H,q),3.99(2H,t),5.61(1H,s),6.00(1H,s),6.08(1H,t)。合成例71,3-二(丙烯酰氧基乙基)脲向裝有冷卻管和攪拌器的燒瓶中,加入10份2-丙烯酰氧基乙基異氰酸酯和30份四氫呋喃。繼續(xù)加入2份蒸餾水,使溶液溫度升至40。C,緩慢進行攪拌1小時。減壓蒸餾除去四氬呋喃和蒸餾水后,用50份乙醇進行重結(jié)晶,得到針狀白色晶體。所得化合物采用氘代DMSO作為溶劑,用TMS作為基準物,經(jīng)H-NMR鑒定為1,3-二(丙烯酰氧基乙基)脲。結(jié)果如下所示?;瘜W位移(質(zhì)子比,分裂);3.25(2H,q),4.02(2H,t),5.62(1H,s),6.06(1H,s),6.14(1H,t)。合成例81,3-二(曱基丙烯酰氧基-2-乙氧基乙基)脲向裝有冷卻管和攪拌器的燒瓶中,加入12份2-曱基丙烯酰氧基-2-乙氧基乙基異氰酸酯、30份四氫呋喃。繼續(xù)加入2份蒸餾水,使其升溫至4(TC,緩慢進行攪拌l小時。減壓蒸餾除去四氫呋喃和蒸餾水,得到無色液體。所得化合物采用氘代DMSO作為溶劑,用TMS作為基準物,經(jīng)'H-NMR鑒定為1,3-二(曱基丙烯酰氧基-2-乙氧基乙基)脲。結(jié)果如下所示?;瘜W位移(質(zhì)子比,分裂);1.87(3H,s),3.36(2H,q),3.62(2H,t),3.75(2H,t),3.99(2H,t),4.30(2H,t)、5.63(1H,s),5.94(1H,t),6.01(1H,s)。實施例1(l)組合物溶液的調(diào)制合成例1中制得的(A)聚合物溶液作為聚合物(A-1),其100份作為(A)成分,二季戊四醇六丙烯酸酯(商品名KAYARADDPHA,曰本化藥(抹)生產(chǎn))IOO份作為(B)成分,l-[9-乙基-6-(2-曱基苯甲?;?-9.H,。f唑-3-基]-乙烷-l-酮將-O-乙酸酯(商品名IRGACUREOX02,7沁、乂亇/P亍<亇$力/PX、社生產(chǎn))5份、2,2,-二(2-氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-l,2,-二咪唑5份、4,4,-二(二乙基氨基)二苯酮5份、2-巰基苯并噻唑2.5份作為(C)成分,合成例6中制得的1,3-二(甲基丙烯酰氧基乙基)脲5份作為(D)成分,y-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷5份作為粘合助劑,F(xiàn)TX-218(商品名,(抹)氺才7生產(chǎn))0.5份作為表面活性劑,4-甲氧基苯酚0.5份作為保存穩(wěn)定劑,它們進行混合,溶于丙二醇單曱醚乙酸酯中,使其固體含量濃度為30%,然后用孔徑為0.5|im的孩i孔濾器過濾,調(diào)制得到組合物溶液(S-1)。對組合物溶液(S-1)按照下述順序進行評價。評價結(jié)果列于表2。(2)敏感度的評價采用旋涂機將組合物溶液(S-l)涂敷于95mmx95mm的無堿玻璃基板上后,在IO(TC的加熱板上預(yù)烘焙3分鐘,形成膜厚度為3.5拜的覆膜。然后,通過形成了直徑為12pm的圓形圖案作為開口部的光掩模,采用365nm的強度為250W/m2的紫外線,以曝光時間作為變量,對所得覆膜進行曝光。然后,采用0.05%的氫氧化鉀水溶液在25°C下顯影60秒鐘后,用純水洗滌l分鐘,再在230'C的烘箱中后烘焙30分鐘,這樣便形成了分隔物。此時,以后烘焙后的殘膜率(后烘焙后的膜厚度x100/曝光后的膜厚度)為90%以上的最小曝光量作為敏感度。(3)分隔物高度的均一性的評價除了采用550mmx650mm的無堿玻璃基板,曝光量為與(2)敏感度的評價中確定的敏感度相當?shù)钠毓饬恳酝?,與(2)敏感度的評價同樣地在基板上形成分隔物。采用高度測定裝置FE300(大塚電子抹式會社制造),測定同一基板內(nèi)的20個分隔物的高度,由下式求出分隔物高度的均一性。若這樣求得的分隔物高度的均一性為1%以下,則均一性評為良好。分隔物高度的均一性==(分隔物高度的最大值-最小值)x100/{(20個高度的平均)x2}(4)耐打磨性的評價除了曝光量為與(2)敏感度的評價中確定的敏感度相當?shù)钠毓饬恳酝?,與(2)敏感度的評價同樣地在基板上形成分隔物。采用液晶取向膜涂敷用印刷機將液晶取向劑AL3046(商品名,JSR(抹)生產(chǎn))涂敷在所得基板上后,在180'C下干燥1小時,形成膜厚為0.05pm的液晶取向劑的涂膜。接著,采用裝有纏繞了聚酰胺制的布的輥的打磨機,以輥的轉(zhuǎn)速為500rpm,操作臺移動速率為lcm/秒的條件,對該涂膜進行打磨處理。此時,調(diào)查有無圖案的削除或脫落。(5)粘附性的評價除了不使用光掩模,曝光量為與(2)敏感度的評價中確定的敏感度相當?shù)钠毓饬恳酝猓c(2)敏感度的評價同樣地形成固化膜。然后,采用JISK-5400(1900)8.5的附著性試驗中的8.5.2的網(wǎng)格帶法進行評價。此時,100個網(wǎng)格中殘留的網(wǎng)格數(shù)目列于表2。(6)耐熱性的評價與(5)粘附性的評價同樣地形成固化膜后,在24(TC的烘箱中追加加熱60分鐘,測定追加加熱前后的膜厚,通過求出殘膜率(追加加熱后的膜厚x100/追加加熱前的膜厚)進行評價。(7)表面龜裂的評價與(4)耐打磨性的評價同樣地形成分隔物時,用光學顯微鏡鑒定后烘焙后的表面狀態(tài)。當表面為平滑時,記為"O",當表面上鑒定到細微的龜裂時記為當表面上鑒定到難看的龜裂時記為"x,,。實施例2~12和比較例1~5除了(A)-(D)成分的種類和量如表1中所示以外,與實施例1同樣地調(diào)制液體組合物(S-2)~(S-12)、(s-1)~(s-5)。然后,除了分別用液體組合物(S-2)~(S-12)、(s-l)~(s-5)替換液體組合物(S-l)以外,與實施例1同樣地進行評價。結(jié)果列于表2。<table>tableseeoriginaldocumentpage45</column></row><table>表l中,(A)成分以外的各成分如下所示。(B)成分B-1:二季戊四醇六丙烯酸酯(商品名KAYARADDPHA,曰本化藥(林)生產(chǎn))B-2:含多官能尿烷丙烯酸酯類化合物的聚合性不飽和單體(商品名KAYARADDPHA-40H,曰本化藥(抹)生產(chǎn))B-3:ro-羧基聚己內(nèi)酯單丙烯酸酯(商品名7口二、乂夕7M-5300,東亞合成(抹)生產(chǎn))B-4:1,9-壬二醇二丙烯酸酯(商品名,,卜了夕U^—卜1,9-NDA,共榮社(抹)生產(chǎn))(C)成分C-1:1-[9-乙基-6-(2-曱基苯曱?;?-9.11.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肝-O-乙酸酯(商品名IRGACUREOX02,千"7^、乂卞亍^一.亇$力/l/乂社生產(chǎn))C-2:2-曱基-l-(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉基丙烷-l-酮(商品名一^力'年工了907,于A7〃V卞小亍Y—亇$力小X社生產(chǎn))C-3:2-(4-曱基笨曱?;?-2-(二曱氨基)-1-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-l-酮(商品名^^力、年工了379,于/:V—.亇$力/l/乂社生產(chǎn))C-4:2,2,-二(2-氯苯基)-4,4,,5,5,-四苯基-1,2,-二咪唑C-5:4,4,-二(二乙基氨基)二苯酮C-6:2-巰基苯并瘞唑(D)成分D-1:1,3-二(甲基丙烯酰氧基乙基)脲D-2:1,3-二(丙烯酰氧基乙基)脲D-3:1,3-二(甲基丙烯酰氧基-2-乙氧基乙基)脲<table>tableseeoriginaldocumentpage47</column></row><table>權(quán)利要求1.一種感射線性樹脂組合物,其特征在于包括(A)含有從不飽和羧酸和不飽和羧酸酐構(gòu)成的群組中選出的至少一種的不飽和化合物的聚合物;(B)聚合性不飽和單體,但是,下述(D)成分除外;(C)感射線性聚合引發(fā)劑;以及(D)分子內(nèi)具有亞脲基和聚合性不飽和鍵的化合物。2.權(quán)利要求1所述的感射線性樹脂組合物,其中(D)成分為下述式(l)表示的化合物,式中,R!相互可以相同,也可以不同,表示2~4價的有機基團,R2相互可以相同,也可以不同,表示氫原子或甲基,n相互可以相同,也可以不同,表示13的整數(shù)。3.權(quán)利要求1或2所述的感射線性樹脂組合物,其中(A)聚合物為使(al)與(a2-l)的共聚物同不飽和異氰酸酯化合物反應(yīng)所得的聚合物,其中該(al)為含有從不飽和羧酸和不飽和羧酸酐構(gòu)成的群組中選出的至少一種,該(a2-l)為一分子中具有至少一個羥基的不飽和化合物。4.權(quán)利要求1~3任一項所述的感射線性樹脂組合物,用于形成液晶顯示元件用分隔物。5.由權(quán)利要求4所述的感射線性樹脂組合物形成的液晶顯示元件用分隔物。6.—種液晶顯示元件用分隔物的制造方法,其特征在于至少按照下述順序包括以下工序,(1)在基板上形成權(quán)利要求4所述的感射線性樹脂組合物的覆膜的工序,(2)對該覆膜的至少一部分進行曝光的工序,(3)將曝光后的覆膜進行顯影的工序,和(4)將顯影后的覆膜進行加熱的工序。7.具有權(quán)利要求5所述的分隔物的液晶顯示元件。全文摘要提供一種感射線性樹脂組合物,即使是在大型基板上,其也能夠形成高度均一且耐打磨性、耐熱性、與基板的粘附性等也優(yōu)良的液晶顯示元件用分隔物,并且具有高敏感度。該感射線性樹脂組合物包括含有從不飽和羧酸和不飽和羧酸酐構(gòu)成的群組中選出的至少一種的不飽和化合物的聚合物、聚合性不飽和單體、感射線性聚合引發(fā)劑、以及分子內(nèi)具有亞脲基和聚合性不飽和鍵的化合物。文檔編號G03F7/027GK101520605SQ20091011831公開日2009年9月2日申請日期2009年2月25日優(yōu)先權(quán)日2008年2月28日發(fā)明者一戶大吾,松本貴博申請人:Jsr株式會社