專利名稱：超聲波轉(zhuǎn)換器以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有駐極體的靜電容量型超聲波轉(zhuǎn)換器以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
以往，作為超聲波轉(zhuǎn)換器，主要使用壓電陶瓷材料PZT(鋯鈦酸鉛)等壓電元件，但近年來如日本特表2005-510264號(hào)7>報(bào)所公開的那樣的靜電容量型超聲波轉(zhuǎn)換器受到關(guān)注。
靜電容量型超聲波轉(zhuǎn)換器具有由隔著空隙部而相面對(duì)的上部電極以及下部電極構(gòu)成的一對(duì)電才及，利用包括上部電才及的膜狀部(也稱為膜片或隔膜)的振動(dòng)來進(jìn)行超聲波的發(fā)送、接收。
靜電容量型超聲波轉(zhuǎn)換器在接收超聲波時(shí)根據(jù)上部電極與下部電極之間的靜電容量的變化而將超聲波信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，因此特別是在接收超聲波時(shí)需要對(duì)上部電極與下部電極之間施加DC偏置電壓。
為了實(shí)現(xiàn)超聲波轉(zhuǎn)換器的低耗電化以及小型化，優(yōu)選降低DC偏置電壓的電壓值或使其為零。在此，公知有如下技術(shù)在靜電容量型超聲波轉(zhuǎn)換器的上部電極與下部電極之間配設(shè)用于保持電荷的駐極體膜，從而使上部電極與下部電極之間產(chǎn)生電位差，降低DC偏置電壓。
在靜電容量型超聲波轉(zhuǎn)換器中，在將具有用于降低DC偏置電壓而能夠穩(wěn)定地保持足夠量的電荷的厚度的駐極體膜配設(shè)在上部電才及與下部電才及之間的情況下，由于上部電才及與下部電^L之間的距離較遠(yuǎn)，因此靜電容量下降，靜電容量型超聲波轉(zhuǎn)換
4器的輸出和靈敏度降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題點(diǎn)而做成的，目的在于提供一種具
有駐極體膜而能在降低DC偏置電壓的同時(shí)具有充分的輸出以及靈敏度的超聲波轉(zhuǎn)換器以及電子設(shè)備。
本發(fā)明的超聲波轉(zhuǎn)換器的特征在于，包括基板、超聲波振子單元、第1導(dǎo)電層、駐極體膜、絕緣層和第2導(dǎo)電層；上述超聲波振子單元配置在上述基板的一側(cè)表面上，包括下部電極、配置在上述下部電極上的第l空隙部、以及配置在上述第l空隙部上的上部電極；上述第l導(dǎo)電層配置在上述基板的另 一側(cè)表
上述駐極體膜配置在上述第l導(dǎo)電層上；上述絕緣層配置在上述駐極體膜上；上述第2導(dǎo)電層配置在上述絕緣層上，與上述下部電極以及上述上部電極中的、未與上述第l導(dǎo)電層電連接的電極電連接。


圖l是從超聲波發(fā)送方向觀察超聲波轉(zhuǎn)換器的俯視圖。圖2是表示超聲波轉(zhuǎn)換器的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。圖3是圖1的III-II1剖視圖。圖4是表示超聲波轉(zhuǎn)換器的變形例的剖視圖。圖5是說明超聲波內(nèi)窺鏡的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖6是說明超聲波內(nèi)窺鏡的前端部分的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖7是表示超聲波發(fā)送.接收部的立體圖。圖8是說明超聲波探傷裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖9是說明超聲波顯微鏡的概略結(jié)構(gòu)的圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的超聲波轉(zhuǎn)換器的優(yōu)選實(shí)施方式。另外，在下述說明所用的各附圖中，將各構(gòu)成元件形成為能在附圖上識(shí)別程度的大小，因此每個(gè)構(gòu)成元件的比例尺均不同，本發(fā)明并不只限定于上述附圖所記載的構(gòu)成元件的數(shù)量、構(gòu)成元件的形狀、構(gòu)成元件的大小的比率、以及各構(gòu)成元件的相對(duì)位置關(guān)系。
圖l是從超聲波發(fā)送方向觀察超聲波轉(zhuǎn)換器的俯視圖。圖2是表示超聲波轉(zhuǎn)換器的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。圖3是圖l的III-III剖視圖。圖4是表示超聲波轉(zhuǎn)換器的變形例的剖視圖。
超聲波轉(zhuǎn)換器l在基板2的一側(cè)表面2a上配設(shè)有超聲波振子單元IO，在基板2的另 一側(cè)表面2b上配設(shè)有駐極體膜20。
以下，對(duì)于配設(shè)在基板2的一側(cè)表面2a或另 一側(cè)表面2b上的構(gòu)成元件的上下關(guān)系，以沿法線方向自各自的表面遠(yuǎn)離為上方。例如，在圖3的剖視圖中，在基板2的一側(cè)表面2a上，稱上部電極12配設(shè)在下部電極ll的上方，另外在基板2的另 一側(cè)表面2b上、稱第2導(dǎo)電層22配設(shè)在第1導(dǎo)電層21的上方。
構(gòu)成基板2的材料沒有特別限定，可以用具有導(dǎo)電性的材料構(gòu)成，也可以用具有電絕緣性的材料構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，基板2由氧化硅、氮化硅、石英、藍(lán)寶石、水晶、氧化鋁、氧化鋯、玻璃、或樹脂等公知的絕緣性材料構(gòu)成。
超聲波振子單元10包括配設(shè)在基板2的一側(cè)表面2a上的平^反狀的下部電才及11 、和與該下部電才及11隔著第1空隙部13地相面對(duì)地配i殳在該下部電極ll上的平板狀的上部電極12。
上部電極12由絕緣層14以大致平行于下部電極11的方式支承，該絕緣層14配設(shè)在下部電極11上并由具有絕緣性的材料構(gòu)成。超聲波振子單元10在進(jìn)行超聲波的發(fā)送、接收時(shí)，包含
位于第1空隙部13的上方的絕緣層14以及上部電極12的膜狀部15進(jìn)行振動(dòng)。
從聲音特性上考慮更優(yōu)選膜狀部15的形狀在俯視觀察基板2的情況下是如圖所示的圓形，但也可以是長(zhǎng)圓形、橢圓形或多邊形。另外，在l個(gè)超聲波轉(zhuǎn)換器l中配設(shè)有多個(gè)超聲波振子單元10的情況下，多個(gè)超聲波振子單元10也可以包括具有多種不同形狀的膜狀部15。
另外，優(yōu)選以覆蓋下部電極ll的第l空隙部13側(cè)的面和上部電極12的第1空隙部13側(cè)的面中的至少 一個(gè)面的方式配設(shè)絕
相接觸而發(fā)生短路的功能。
在本實(shí)施方式中，如圖3所示，下部電極11與形成在基板2的一側(cè)表面2a上的信號(hào)電極墊片31電連接。上部電極12利用未圖示的配線與形成在基板2的一側(cè)表面2a上的接地電極墊片32電連接。
在俯視觀察基板2的一側(cè)表面2a時(shí)，信號(hào)電極墊片31和接地電極墊片32是在未與超聲波振子單元10重合的位置上露出地配設(shè)而成的電極，用于驅(qū)動(dòng)超聲波振子l的驅(qū)動(dòng)電路借助該信號(hào)電極墊片31和接地電極墊片32電連接起來。
另外，例如如圖3所示，也可以防止氧化、防止損壞、或提高耐濕性等為目的在超聲波振子單元10上配設(shè)樹脂制的保護(hù)膜16。
另一方面，在基板2的與配設(shè)有上述超聲波振子單元10的表面相反的一側(cè)的表面即另 一側(cè)表面2b上配設(shè)有對(duì)超聲波振子單元10的下部電極ll和上部電極12之間施加電位差的駐極體膜20。
7詳細(xì)說明基板2的另 一側(cè)表面2b上的結(jié)構(gòu)。首先在基板2的另 一側(cè)表面上配設(shè)有由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的平板狀的第l導(dǎo)電層21。該第1導(dǎo)電層21借助貫穿基板2地設(shè)置的通孔內(nèi)的貫穿電極3與下部電極11電連接。
在第1導(dǎo)電層21上隔著具有電絕緣性的絕緣層地配設(shè)有駐極體膜20。公知駐極體膜20具有持久性地保持極性為正電荷或負(fù)電荷的功能，其結(jié)構(gòu)以及形成方法沒有特別限定。
例如，在利用無機(jī)膜構(gòu)成駐極體膜20的情況下，利用離子
荷，從而形成駐極體膜20。另外，駐極體膜20也可以具有由多種材料構(gòu)成的層疊構(gòu)造。例如在利用Si02形成駐極體膜20、并利用由SiN構(gòu)成的絕緣膜包覆該駐極體膜20時(shí)，即使在高溫條件下也能抑制所保持的電荷的消失，因此是好的。
另外例如，在利用有機(jī)膜構(gòu)成駐極體膜20的情況下，利用電暈放電向由氟樹脂、聚酰亞胺、聚丙烯或聚曱基戊稀等構(gòu)成的樹脂膜中注入電荷，從而形成駐極體膜20。
在本實(shí)施方式中，利用第2空隙部23和由具有電絕緣性的材料構(gòu)成的絕緣膜24來構(gòu)成夾裝在第1導(dǎo)電層21與駐極體膜20之間的絕緣層。
夾裝在第1導(dǎo)電層21和駐極體膜20之間的絕緣層并不限定于該方式，例如也可以是只利用第2空隙部23使駐極體膜20和第1導(dǎo)電層21電絕緣的方式，還可以是只利用絕緣膜24使駐極體膜20和第1導(dǎo)電層21電絕緣的方式。
如本實(shí)施方式所述，利用絕緣膜24覆蓋駐極體膜20的表面能夠抑制駐極體膜20所保持的電荷的消失，因此更好。
在駐極體膜20上、即駐極體膜20的與第1導(dǎo)電層21側(cè)相反的 一側(cè)上配設(shè)有由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的平板狀的第2導(dǎo)電層22 ，該第2導(dǎo)電層22大致平行于第1導(dǎo)電層21地與第1導(dǎo)電層21相面對(duì)地配設(shè)。駐極體膜2 0和第2導(dǎo)電層2 2既可以相接觸地配設(shè)，也可以在兩者之間夾裝有用于防止第2導(dǎo)電層22的表面氧化的具有導(dǎo)電性或電絕緣性的膜。
第2導(dǎo)電層22借助貫穿基板2設(shè)置的通孔內(nèi)的貫穿電極4與接地電極墊片32電連接。即、第2導(dǎo)電層22與上部電極12電連接。
另外，本實(shí)施方式并不限定于電連接第1導(dǎo)電層21以及第2導(dǎo)電層22的結(jié)構(gòu)、和電連接下部電極11以及上部電極12的結(jié)構(gòu)，例如，也可以是采用借助環(huán)繞基板2的外周部地設(shè)置的配線電連接第l導(dǎo)電層21以及第2導(dǎo)電層22、和下部電極11以及上部電極12的結(jié)構(gòu)。
上述駐極體膜20和第2導(dǎo)電層22由絕緣膜24支承。換言之，絕緣層2 4以在駐極體膜2 0與第1導(dǎo)電層21之間形成有第2空隙部23、且使第1導(dǎo)電層21和第2導(dǎo)電層22大致平行的方式支承駐極體膜20和第2導(dǎo)電層22。
如圖3所示，在第2空隙部23是封閉的空間即氣密地構(gòu)成、且第1導(dǎo)電層21的表面露出在第2空隙部23內(nèi)的情況下，優(yōu)選以防止第1導(dǎo)電層21氧化為目的，使第2空隙部23為真空、或填充有干燥的惰性氣體。另外，在第2空隙部23不是氣密地構(gòu)成的情況下，優(yōu)選第1導(dǎo)電層21的表面被用于防止氧化的保護(hù)膜覆蓋。
另外，如圖4所示，駐極體膜20也可以與第1導(dǎo)電層21相接觸地配設(shè)，在該駐極體膜20上配設(shè)有由第2空隙部23和絕緣膜24構(gòu)成的絕緣層，另外在該絕緣層上也可以配設(shè)有第2導(dǎo)電層22。
下面，說明具有上述結(jié)構(gòu)的超聲波轉(zhuǎn)化器l的效果。在具有上述結(jié)構(gòu)的超聲波轉(zhuǎn)換器l中，用于使超聲波振子
單元10的下部電極ll和上部電極12之間產(chǎn)生電位差的駐極體膜20配設(shè)在基板2的與配設(shè)有超聲波振子單元10的一面( 一側(cè)表面2a)相反一側(cè)的面(另一側(cè)表面2b)上。
因此，在本實(shí)施方式的超聲波轉(zhuǎn)換器l中，能夠分別獨(dú)立地設(shè)定駐極體膜20的厚度、和下部電才及11與上部電才及12之間的距離。
即、相比以往的在上部電極與下部電極之間配設(shè)有駐極體膜的靜電容量型超聲波轉(zhuǎn)換器、采用本實(shí)施方式能夠縮小下部電極11與上部電才及12之間的距離從而增大兩電極間的靜電容量，提高發(fā)送超聲波的聲壓以及接收超聲波的靈敏度，并且能夠增大駐極體膜20的厚度直到能使該駐極體膜20持久穩(wěn)定地保持電荷。
因而，本實(shí)施方式的超聲波轉(zhuǎn)換器1通過具有駐極體膜20
或不需要施加DC偏置電壓，并且相比以往的超聲波轉(zhuǎn)換器具有更高的輸出以及靈敏度。
另外，本實(shí)施方式的超聲波轉(zhuǎn)換器能夠比以往加厚駐極體膜20,因此能夠使駐極體膜20的電荷保持功能穩(wěn)定，更長(zhǎng)時(shí)間地保持功能。
另外，在本實(shí)施方式中，在俯視觀察基板2的情況下，駐極體膜20配設(shè)在與超聲波振子單元10重合的位置上，因此本實(shí)施方式的超聲波轉(zhuǎn)換器l能夠?qū)崿F(xiàn)與以往的在上部電極與下部電極之間配設(shè)有駐極體膜的超聲波轉(zhuǎn)換器相同的大小。
另外，通常為了使超聲波不衰減地進(jìn)行傳播，有時(shí)在發(fā)送、接收超聲波的表面與液體相接觸的狀態(tài)下使用超聲波轉(zhuǎn)換器。另 一方面，有時(shí)因駐極體膜20與水分相接觸而使所保持的電荷消失。在本實(shí)施方式中，駐極體膜20配設(shè)在與用于發(fā)送、接收超聲波的表面相反的一側(cè)上，因此能夠防止水分進(jìn)入駐極體膜
20，從而提高超聲波轉(zhuǎn)換器l的耐久性。
但是，在以往的在上部電極與下部電極之間配設(shè)有駐極體膜的超聲波轉(zhuǎn)換器中，存在由于受到在向駐極體膜中注入電荷之后進(jìn)行的工序中的環(huán)境氣體的成分、濕度、溫度的影響，駐極體膜所保持的電荷消失這樣的問題。因而，在以往的超聲波
轉(zhuǎn)換器中，構(gòu)成駐極體膜的材料、能夠在向駐極體膜中注入了電荷之后實(shí)施的工藝方法是有限的。
相對(duì)與此，在制造上述超聲波轉(zhuǎn)換器l的情況下，能夠在分別單獨(dú)地制造配設(shè)在基板2的一側(cè)表面2a上的超聲波振子單元IO、和配設(shè)在另 一側(cè)表面2b上的駐極體膜20之后組合它們。
因而，在將電荷注入駐極體膜20中之后，能夠使駐極體膜20不會(huì)處于所保持的電荷消失的環(huán)境下地將該駐極體膜20配置在超聲波轉(zhuǎn)換器l內(nèi)。即、具有上述結(jié)構(gòu)的超聲波轉(zhuǎn)換器l提高了在構(gòu)成材料的選定、工藝方法的選定等設(shè)計(jì)的自由度，因此相比以往能更便宜地實(shí)現(xiàn)更高的性能。另外，由于提高了構(gòu)成材料的選定自由度，因此超聲波轉(zhuǎn)換器l能夠由使用不含鉛的材料等環(huán)境負(fù)荷更低的材料構(gòu)成。
另外，上述的超聲波轉(zhuǎn)換器l能夠利用半導(dǎo)體制造技術(shù)、微細(xì)機(jī)械加工技術(shù)等各種制造技術(shù)來制造。因此形成超聲波轉(zhuǎn)換器1的方法沒有特別限定，例如能夠利用MEMS(MicroElectro Mechanical Systems微電子機(jī)械系統(tǒng))工藝。利用MEMS工藝做成的超聲波轉(zhuǎn)換器通常被稱作c-MUT(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer,電容式微加工超聲波傳感器)。
接下來，參照?qǐng)D5~圖9說明可以應(yīng)用本發(fā)明的超聲波轉(zhuǎn)換器的電子設(shè)備的例子。
參照?qǐng)D5 ~圖7說明將本發(fā)明的超聲波轉(zhuǎn)換器l應(yīng)用在作為超聲波診斷裝置的一個(gè)例子的超聲波內(nèi)窺鏡中的方式。圖5是表示超聲波內(nèi)窺鏡的概略結(jié)構(gòu)的說明圖。圖6是表示超聲波內(nèi)窺鏡的前端部分的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖7是超聲波發(fā)送'接收部的立體圖。
如圖5所示，本實(shí)施方式的超聲波內(nèi)窺鏡101主要包括導(dǎo)入到祐^企體的體內(nèi)的細(xì)長(zhǎng)的插入部102、位于該插入部102的基端的操作部103和自該操作部103的側(cè)部延伸出的通用線纜104。
在上述通用線纜104的基端部上設(shè)有與未圖示的光源裝置相連接的內(nèi)窺鏡連結(jié)器104a。自該內(nèi)窺鏡連結(jié)器104a延伸出電纜105以及超聲波纜106;上述電纜105借助電連結(jié)器105a裝卸自如地與未圖示的照相機(jī)控制單元相連接；上述超聲波纜106借助超聲波連結(jié)器106a裝卸自如地與未圖示的超聲波觀測(cè)裝置相連接。
上述插入部102自前端側(cè)依次連續(xù)設(shè)置前端硬質(zhì)部120、彎曲自由的彎曲部108和撓性管部109;上述前端石更質(zhì)部120由硬^質(zhì)的構(gòu)件形成；上述彎曲部108位于該前端硬質(zhì)部120的后端；上述撓性管部109位于該彎曲部108的后端，直到上述操作部103的前端部為細(xì)長(zhǎng)形狀，并具有撓性。另外，在上述前端硬質(zhì)部120的前端側(cè)上設(shè)有下述的用于發(fā)送、接收超聲波的超聲波發(fā)送'接收部130。
在上述操作部103上設(shè)有用于沿期望方向彎曲控制上述彎曲部108的角度旋鈕111、用于進(jìn)行送氣以及送水操作的送氣'送水按鈕112、用于進(jìn)行吸引操作的吸引按鈕113、和形成導(dǎo)入到腔內(nèi)的處置用具的入口的處置用具插入口 114等。
如圖6所示，在前端硬質(zhì)部120上設(shè)有構(gòu)成用于將照明光照
12射在觀察部位上的照明光學(xué)部的照明透鏡(未圖示)、構(gòu)成用于捕捉觀察部位的光學(xué)圖^f象的觀察光學(xué)部的物鏡121、作為用于吸引切掉的部位或用于處置用具突出的開口的吸引兼鉗子口
122以及用于進(jìn)行送氣和送水的送氣送水口 (未圖示)。
設(shè)在前端硬質(zhì)部12 0的前端上的超聲波發(fā)送 接收部13 0如圖7所示，在使超聲波振子單元10朝向外周方向的狀態(tài)下呈圓筒狀地排列有多個(gè)超聲波轉(zhuǎn)換器l。
基板2是利用聚酰亞胺等具有撓性的材料構(gòu)成的，并巻繞成圓筒狀。在該巻繞成圓筒狀的基板2的外周面上沿著周向排列有由多個(gè)超聲波振子單元10構(gòu)成、且作為最小驅(qū)動(dòng)單位的超聲波振子元件34,在基板2的內(nèi)周面上配設(shè)有與多個(gè)超聲波振子元件34相對(duì)應(yīng)的駐一及體20。
另外，在基板2的外周面上形成有與多個(gè)超聲波振子元件34相對(duì)應(yīng)的信號(hào)電極墊片31和接地電極墊片32，在該信號(hào)電極墊片31和接地電極墊片32上電連接有穿過超聲波纜6而一端與超聲波連結(jié)器6a電連接的、同軸電纜33的另一端。
另外，本發(fā)明的超聲波轉(zhuǎn)換器l并不限定于上述超聲波內(nèi)窺鏡，能夠應(yīng)用在以往公知的超聲波診斷裝置中。例如，也可以應(yīng)用在超聲波探頭型的超聲波內(nèi)窺鏡、膠嚢型的超聲波內(nèi)窺鏡、或自被檢體外向被檢體內(nèi)發(fā)送超聲波或自 一皮檢體外接收來自被檢體內(nèi)的超聲波的形態(tài)的超聲波診斷裝置中。
參照?qǐng)D8說明將本發(fā)明的超聲波轉(zhuǎn)換器l應(yīng)用在作為非破壞檢查裝置的一個(gè)例子的超聲波探傷裝置中的實(shí)施方式。圖8是表示超聲波探傷裝置的概略結(jié)構(gòu)的說明圖。
超聲波探傷裝置200包括用于發(fā)送、接收超聲波的探頭202和用于控制該4笨頭202的裝置主體部203 。
在裝置主體部203的前面中央處設(shè)有顯示用于探傷的圖像的顯示裝置206,在該顯示裝置206的附近設(shè)有承擔(dān)各種作用的開關(guān)207。
另外，探頭202利用復(fù)合同軸纜線208與裝置主體部203相
個(gè)或多個(gè)超聲波轉(zhuǎn)換器l。
超聲波探傷裝置200在使探頭202的抵接面部202a抵接于被檢體的狀態(tài)下發(fā)送超聲波，能夠根據(jù)該超聲波的反射的變化不損壞被檢體地檢測(cè)被檢體內(nèi)的缺陷。
另外，本發(fā)明的超聲波轉(zhuǎn)換器l并不限定于上述的超聲波探傷裝置，能應(yīng)用在以往公知的非破壞檢查裝置中。例如，也可以應(yīng)用在通過發(fā)送、接收超聲波來測(cè)量被才企體的厚度的厚度測(cè)量裝置中。
參照?qǐng)D9說明將本發(fā)明的超聲波轉(zhuǎn)換器l應(yīng)用在超聲波顯微鏡中的例子。圖9是說明本實(shí)施方式的超聲波顯微鏡的結(jié)構(gòu)的圖。
超聲波顯微鏡300借助循環(huán)器302將在高頻振蕩器301中產(chǎn)生的高頻信號(hào)施加給本發(fā)明的超聲波轉(zhuǎn)換器1,轉(zhuǎn)換成超聲波。利用聲透鏡304使該超聲波會(huì)聚，在其會(huì)聚點(diǎn)上配置試樣305。試樣305由樣品保持架306保持，在試樣305與聲透鏡304的透鏡面之間填充有水等耦合材307。來自試樣305的反射波經(jīng)由聲透鏡304被轉(zhuǎn)換器1接收，轉(zhuǎn)換成電反射信號(hào)。對(duì)應(yīng)于自超聲波轉(zhuǎn)換器l輸出的接收超聲波的電信號(hào)經(jīng)由循環(huán)器302向顯示裝置308輸入。利用由掃描電路309控制的掃描裝置310在水平面內(nèi)沿XY兩軸方向驅(qū)動(dòng)樣品保持架306。
如上所述構(gòu)成的超聲波顯微鏡300通過將超聲波照射在試樣305上來評(píng)價(jià)試樣305的聲特性，從而能夠使試樣305的彈性性質(zhì)定量化地評(píng)價(jià)薄膜的構(gòu)造。
權(quán)利要求
1.一種超聲波轉(zhuǎn)換器，其特征在于，該超聲波轉(zhuǎn)換器包括基板；超聲波振子單元，其配置在上述基板的一側(cè)表面上，包括下部電極、配置在上述下部電極上的第1空隙部、以及配置在上述第1空隙部上的上部電極；第1導(dǎo)電層，其配置在上述基板的另一側(cè)表面上，與上述下部電極和上述上部電極中的任意一個(gè)電連接；駐極體膜，其配置在上述第1導(dǎo)電層上；絕緣層，其配置在上述駐極體膜上；第2導(dǎo)電層，其配置在上述絕緣層上，與上述下部電極和上述上部電極中的、未與上述第1導(dǎo)電層電連接的電極電連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的超聲波轉(zhuǎn)換器，其特征在于，上述絕緣層包括一對(duì)絕緣膜、和被上述一對(duì)絕緣膜夾持的第2空隙部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的超聲波轉(zhuǎn)換器，其特征在于，上述基板具有撓性。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的超聲波轉(zhuǎn)換器，其特征在于，上述基板具有撓性。
5. —種超聲波轉(zhuǎn)換器，其特征在于，該超聲波轉(zhuǎn)換器包括基板；超聲波振子單元，其配置在上述基板的一側(cè)表面上，包括下部電極、配置在上述下部電極上的第l空隙部、以及配置在上述第l空隙部上的上部電極；第1導(dǎo)電層，其配置在上述基板的另 一側(cè)表面上，與上述下部電;f及和上述上部電才及中的任意 一 個(gè)電連接；絕緣層，其配置在上述第l導(dǎo)電層上；駐極體膜，其配置在上述絕緣層上；第2導(dǎo)電層，其配置在上述駐極體膜上，與上述下部電極和上述上部電極中的、未與上述第l導(dǎo)電層電連接的電極電連接。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的超聲波轉(zhuǎn)換器，其特征在于，上述絕緣層包括一對(duì)絕緣膜、和被上述一對(duì)絕緣膜夾持的第2空隙部。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的超聲波轉(zhuǎn)換器，其特征在于，上述基板具有撓性。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的超聲波轉(zhuǎn)換器，其特征在于，上述基板具有撓性。
9. 一種電子設(shè)備，其特征在于，具有權(quán)利要求l ~ 8中任意一項(xiàng)所述的超聲波轉(zhuǎn)換器。
全文摘要
本發(fā)明提供超聲波轉(zhuǎn)換器以及電子設(shè)備。該超聲波轉(zhuǎn)換器包括超聲波振子單元、第1導(dǎo)電層、駐極體膜、絕緣層和第2導(dǎo)電層；上述超聲波振子單元配置在基板的一側(cè)表面上，包括下部電極、配置在上述下部電極上的第1空隙部和配置在上述第1空隙部上的上部電極；上述第1導(dǎo)電層配置在上述基板的另一側(cè)表面上，與上述下部電極和上述上部電極中的任意一個(gè)電連接；上述駐極體膜配置在上述第1導(dǎo)電層上；上述絕緣層配置在上述駐極體膜上；上述第2導(dǎo)電層配置在上述絕緣層上，與上述下部電極和上述上部電極中的、未與上述第1導(dǎo)電層電連接的電極電連接。
文檔編號(hào)G02B23/24GK101559420SQ20091013391
公開日2009年10月21日 申請(qǐng)日期2009年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月16日
發(fā)明者唐木和久, 安達(dá)日出夫, 松本一哉, 神谷宜孝, 若林勝裕, 長(zhǎng)谷川守 申請(qǐng)人:奧林巴斯醫(yī)療株式會(huì)社