專利名稱：光取向用偏振光照射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及向液晶面板的取向膜或視野角補(bǔ)償薄膜的取向?qū)拥日丈湟?guī) 定波長(zhǎng)的偏振光而進(jìn)行取向的光取向用偏振光照射裝置，尤其涉及將作為 線狀光源的棒狀燈與線柵型偏振元件組合而得到的光取向用偏振光照射裝 置。
背景技術(shù)：
近年來，關(guān)于液晶面板的取向膜或視野角補(bǔ)償薄膜的取向?qū)拥娜∠蛱?理，開始采用將規(guī)定波長(zhǎng)的偏振光照射在取向膜上來進(jìn)行取向的被稱為光 取向的技術(shù)。
以下，將設(shè)置有通過上述光進(jìn)行取向的取向膜或取向?qū)拥谋∧た偡Q為
光取向膜。光取向膜隨著液晶面板的大型化而進(jìn)行大面積化(例如一邊為2m 以上的四邊形)，與此同時(shí)，將偏振光照射于光取向膜的偏振光照射裝置也 變得大型化。
近年來，為了對(duì)此種大面積的光取向膜進(jìn)行光取向，提出了一種將棒 狀燈與具有線柵狀的柵極的偏振元件(以下，稱為線柵型偏振元件)組合而得 到的光照射裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1或?qū)＠墨I(xiàn)2)。
在光取向膜用的偏振光照射裝置中，棒狀燈能制作發(fā)光長(zhǎng)度較長(zhǎng)的光。 因此，如果使用具備與取向膜的寬度對(duì)應(yīng)的發(fā)光長(zhǎng)度的棒狀燈， 一邊照射 來自該燈的光， 一邊將取向膜朝正交于燈的長(zhǎng)度方向的方向移動(dòng)，則能以 較短時(shí)間對(duì)大面積的取向膜進(jìn)行光取向處理。
圖8表示將線狀光源的棒狀燈與線柵型偏振元件組合而得到的偏振光 照射裝置的構(gòu)成例。
在同圖中，作為光取向膜的工件40是例如視野角補(bǔ)償薄膜那樣的帶狀 的縱長(zhǎng)工件，由送出輥R1送出，朝圖中箭頭方向搬運(yùn)，如下述地通過偏振 光照射進(jìn)行光取向處理，并通過巻取輥R2被巻取。
3偏振光照射裝置的光照射部20具備棒狀燈21和聚光鏡22，所述棒狀 燈21放射在光取向處理中所需的波長(zhǎng)的光(紫外線)，例如高壓水銀燈或在 水銀中加入了其它金屬的金屬鹵化物燈，所述聚光鏡22將來自棒狀燈21 的紫外線朝工件40反射來進(jìn)行聚光。如上所述，棒狀燈21使用發(fā)光部具 備同與工件40的搬運(yùn)方向正交的方向的寬度相對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度的棒狀燈。光照 射部20以燈21的長(zhǎng)度方向?yàn)楣ぜ?0的寬度方向(相對(duì)于搬運(yùn)方向?yàn)檎?方向)的方式來配置。
在光照射部20的光出射側(cè)設(shè)有作為偏振元件的線柵型偏振元件10。來 自光照射部20的光通過線柵型偏振元件10進(jìn)行偏振，并照射于被搬運(yùn)到 光照射部20下的工件40，進(jìn)行光取向處理。
對(duì)于線柵型偏振元件，例如在專利文獻(xiàn)3或?qū)＠墨I(xiàn)4中詳細(xì)地進(jìn)行 了表示。
圖9表示線柵型偏振元件的概略的構(gòu)造。
線柵型偏振元件10在透射欲偏振的光的波長(zhǎng)(光取向的情況下為進(jìn)行 光取向所必需的紫外線的波長(zhǎng))的基板(例如石英)10b的表面，以間距P的
等間隔平行地配置長(zhǎng)度遠(yuǎn)比寬度長(zhǎng)的多個(gè)直線狀的電導(dǎo)體(例如鉻或鋁等 的金屬線，以下稱為柵極10a)。
另外，基本上，若將柵極10a的間距P變狹窄，則偏振的光的波長(zhǎng)變短。
若將該偏振元件插入到光路中，則平行于柵極的長(zhǎng)度方向的偏振成分 大部分被反射，而正交的偏振成分通過。因此，通過了線柵型偏振元件的 光成為具有正交于偏振元件的柵極的長(zhǎng)度方向的方向上的偏振軸的偏振光。
另外，對(duì)于形成柵極的制造方法或材質(zhì)，進(jìn)行了改良或提出了新的方 案，這樣的改良或方案例如有專利文獻(xiàn)5。
以往，作為光取向膜用的偏振光照射裝置，將作為線狀光源的棒狀燈 與線柵型偏振元件組合的方法基于如下理由。
來自棒狀燈的光是發(fā)散光，即使在燈的射出側(cè)配置偏振元件而欲得到 偏振光，也有各種角度的光會(huì)入射到偏振元件中。
作為偏振元件，已知有利用了蒸鍍膜或布儒斯特角(Brewsterangle)的偏但是，這些偏振元件只能對(duì)以由偏振元件所決定的角度入射的光進(jìn)行 偏振，而以除此以外的角度入射的光，幾乎不偏振地通過。因此，如果在 光源為發(fā)散光的情況下使用利用了蒸鍍膜或布儒斯特角的偏振元件，則與 使入射到偏振元件中的光為平行光來使入射角度一致的情況相比較，所得 到的偏振光的消光比變差。
此外，也有利用了有機(jī)膜的偏振元件，其由于在長(zhǎng)時(shí)間照射用于光取 向的紫外區(qū)域的光時(shí)，特性會(huì)劣化，因而難以在工業(yè)上使用。
相對(duì)于此，線柵型偏振元件的射出的偏振光的消光比相對(duì)于入射到偏 振元件的光的角度的依賴性較小。因此，即使是如從棒狀燈發(fā)出的光那樣
的發(fā)散光，若入射角度為±45°的范圍，則遍及光所照射的區(qū)域全體，可得 到較優(yōu)異的消光比的偏振光。
因此，只要對(duì)應(yīng)于光取向膜的寬度來設(shè)置棒狀燈的長(zhǎng)度，并將光取向 膜相對(duì)于偏振光照射裝置朝一方向相對(duì)地移動(dòng)，則原理上能夠通過1個(gè)燈 進(jìn)行大面積的光取向膜的取向處理。
若將棒狀燈與線柵型偏振元件組合，則不需要用于使來自光源的光成 為平行光的光學(xué)元件，能低成本地制作裝置全體。
專利文獻(xiàn)l:日本特開2004-163881號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:日本特開2004-144884號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3:日本特開2002-328234號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)4:日本特表2003-508813號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)5:日本特開2007-178763號(hào)公報(bào)
非專利文獻(xiàn)1: H. Shitomi. et al. "Optically Controlled Alignment of Liquid Crystal on Polyimide Films Exposed to Undulator Radiation" Proc. Int. Conf. S固S-2 Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 38 (1999). pp. 176-179
以往，以波長(zhǎng)為300nm 500nm的偏振光進(jìn)行取向的光取向膜較多。 但是，最近，也開始制作以波長(zhǎng)為300nm以下(200nm 300nm)的偏振光進(jìn) 行取向的光取向膜(參照非專利文獻(xiàn)1)。
因此，作為偏振光照射裝置，要求射出波長(zhǎng)為300nm以下(200nm 300nm)的偏振光的裝置，尤其是在260nm± 10nm(較佳是260nm士20nm)的
5波長(zhǎng)區(qū)域可得到消光比為15: 1以上的偏振光的裝置。
但是，通過將棒狀燈與線柵型偏振元件組合來制作此種裝置，則有如 下問題。
線柵型偏振元件的柵極通過蝕刻形成。因此，作為柵極的材料，以往 多使用容易加工的鋁。但是，用鋁形成柵極時(shí)，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)會(huì)發(fā)生以下 的3個(gè)問題。
(1) :在波長(zhǎng)為300nm以下的區(qū)域，偏振光的消光比降低，而在大約 250nm以下的波長(zhǎng)區(qū)域，消光比成為1: l(變得不偏振)。
(2) :在波長(zhǎng)為340nm以下的區(qū)域，根據(jù)入射到線柵型偏振元件的光的 角度，透射率會(huì)變化。如上所述，來自棒狀燈的光是發(fā)散光。因此，入射 到偏振元件的光的角度根據(jù)場(chǎng)所而不相同(在燈的正下方即偏振元件的中 央部，入射角度小的光的成分較多，而在周邊部，入射角度大的光的成分 較多)。因此，在根據(jù)入射到偏振元件的光的角度而使透射率發(fā)生變化時(shí)， 則在射出的偏振光中產(chǎn)生照度不均勻(偏振光照射區(qū)域的照度分布變大)。
(3) :如果入射到線柵型偏振元件的光的角度變大，則從偏振元件射出 的偏振光的方向會(huì)變化。即，隨著朝向偏振元件的入射角度變大，射出的 偏振光的偏振軸的旋轉(zhuǎn)角度變大。
如上所述，關(guān)于入射到偏振元件的光的角度，在偏振元件的中央部， 則入射角度小的光的成分較多，而在周邊部，則入射角度大的光的成分較 多。所以在偏振光所照射的照射區(qū)域的中央部，即使偏振光的偏振軸的方 向朝向所期望的方向，在周邊部，偏振光的偏振軸的方向從所期望的方向 旋轉(zhuǎn)偏離。即，在偏振光的照射區(qū)域中，偏振軸的方向產(chǎn)生偏差。
在偏振光的照射區(qū)域中，若在偏振光的照度不均勻或在偏振軸的方向 有偏差的狀態(tài)進(jìn)行處理，則有時(shí)取向膜中產(chǎn)生無法得到所期望的取向特性 的部分。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是根據(jù)上述情況而作出的，其目的在于提供一種光取向用偏振 光照射裝置，在將線狀光源與線柵型偏振元件組合而對(duì)光取向膜照射偏振 光的偏振光照射裝置中，即使在300nm以 的波長(zhǎng)區(qū)域中也能得到良好的消光比的偏振光，此外，在波長(zhǎng)為300nm以下的區(qū)域中，即使入射到偏振 元件的光的角度不相同，透射率也不會(huì)變化，而且，即使入射到線柵型偏 振元件的光的角度不相同，射出的偏振光的方向也不會(huì)變化(偏振軸旋轉(zhuǎn))。
本發(fā)明人進(jìn)行了深入研究，其結(jié)果發(fā)現(xiàn)利用氧化鈦(TiOx)形成線柵型偏 振元件的柵極，能解決上述的問題。
艮口，若使用具有由氧化鈦(TiOx)形成的柵極的偏振元件，則在300nm 以下的波長(zhǎng)區(qū)域也能得到良好的消光比的偏振光，即使光取向膜的感度為 200 300nm的范圍的工件，也能有效地進(jìn)行光取向處理。
基于以上內(nèi)容，在本發(fā)明中，光取向用偏振光照射裝置具備將來自線 狀光源的光利用線柵型偏振元件進(jìn)行偏振而射出的光照射部，將來自該光 照射部的偏振光照射至取向膜，其中，上述線柵型偏振元件的柵極利用氧 化鈦(TiOx)形成。
在本發(fā)明中，能得到以下的效果。
(1) 利用氧化鈦(TiOx)形成線柵型偏振元件的柵極，由此即使在300nm 以下的波長(zhǎng)區(qū)域，也可以得到良好的消光比的偏振光。
具體地說，在260nm士20nm的范圍中，能得到15: 1以上的消光比。 因此，通過使用上述線柵型偏振元件與線狀光源來構(gòu)成光取向用偏振
光照射裝置的光照射部，從而可有效地進(jìn)行光取向膜的感度為200~300nm
的范圍的工件的光取向。
(2) 通過使用上述線柵型偏振元件，在波長(zhǎng)為300nm以下的區(qū)域中，即 使入射到偏振元件的光的角度不相同，透射率也幾乎沒有變化。
(3) 此外，通過使用上述線柵型偏振元件，即使入射到線柵型偏振元件 的光的角度不相同，也幾乎不存在射出的偏振光的方向變化(偏振軸旋轉(zhuǎn)) 的情況。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施例的偏振光照射裝置的構(gòu)成例的圖。 圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施例的線柵型偏振元件的構(gòu)成例的圖。 圖3是表示將多個(gè)偏振元件排列配置而得到的線柵型偏振元件的構(gòu)成 例的圖。圖4是表示入射到線柵型偏振元件的非偏振光的波長(zhǎng)與射出的偏振光 的消光比的關(guān)系的圖。
圖5是表示入射到線柵型偏振元件的非偏振光的角度與在該角度入射 的光的分光透射率的圖。
圖6是表示入射到線柵型偏振元件的非偏振光的角度與射出的偏振光 的偏振軸的旋轉(zhuǎn)量的關(guān)系的圖。
圖7是表示本發(fā)明的偏振光照射裝置的其它構(gòu)成例的圖。
圖8是表示將棒狀燈與線柵型偏振元件組合而得到的偏振光照射裝置 的構(gòu)成例的圖。
圖9是表示線柵型偏振元件的概略構(gòu)造的圖。
符號(hào)說明
l線柵型偏振元件，la柵極，lb基板，lc框，2棒狀燈，3反射鏡，4 工件，4a光取向膜，5工件平臺(tái)，6光照射部
具體實(shí)施例方式
圖1表示本發(fā)明的實(shí)施例的偏振光照射裝置的構(gòu)成例。
在光照射部6中，與圖8同樣，內(nèi)設(shè)有作為線狀的光源的高壓水銀燈 或在水銀中添加有金屬的金屬鹵化物燈等棒狀燈2和反射來自燈2的光的 槽狀反射鏡3。此外，在光射出側(cè)設(shè)有線柵型偏振元件l。在此，棒狀高壓 水銀燈或金屬鹵化物燈是公知的作為放射波長(zhǎng)為300nm以下的光的光源。
另外，在圖1中，與圖8不相同的是，形成有光取向膜的工件4并不 是帶狀工件，而是在光透射性的基板上形成有光取向膜4a的面板基板，被 載于工件平臺(tái)5上。該光取向膜4a的感度例如在200 300nm的范圍內(nèi)。
在面板基板的情況下，也與帶狀工件的情況相同，使用具備與面板基 板的寬度對(duì)應(yīng)的發(fā)光長(zhǎng)度的燈，相對(duì)于偏振光可照射的區(qū)域，使工件4在 相對(duì)于燈2的長(zhǎng)度方向?yàn)檎坏姆较蛏舷鄬?duì)地移動(dòng)而進(jìn)行光取向處理。
艮P，工件4朝圖中箭頭方向被搬運(yùn)，而來自光照射部6的光通過線柵 型偏振元件1被偏振，并照射于被搬運(yùn)到光照射部6下的工件4而進(jìn)行光 取向處理。
以下，作為線狀光源以棒狀燈作為例子加以說明，但是，近年來，放射紫外光的LED或LD也逐漸被實(shí)用化，也可以直線狀地排列配置此種
LED或LD來作為線狀光源。另外，此時(shí)，排列LED或LD的方向相當(dāng)于
燈的長(zhǎng)度方向。
圖2表示本發(fā)明的實(shí)施例的線柵型偏振元件的構(gòu)成。
如圖2所示，通過氧化鈦(TiOx)形成線柵型偏振元件的柵極。
氧化鈦的柵極la形成于透射200nm 300nm的波長(zhǎng)的光的基板(例如石
英或氟化鎂等)lb的表面。柵極的間距為150nm。此外，柵極la的高度為
100nm以上。
另外，由于線柵型偏振元件無法制作大型的元件，因而實(shí)際上在配置 于光照射部6的光射出側(cè)時(shí)，如圖3所示，將多個(gè)相同種類的線柵型偏振 元件1排列于框lc中而構(gòu)成。偏振元件的個(gè)數(shù)根據(jù)照射偏振光的區(qū)域的大 小而適當(dāng)?shù)剡x擇。
圖4表示入射到線柵型偏振元件的非偏振光的波長(zhǎng)與射出的偏振光的 消光比的關(guān)系。在同圖中，橫軸表示光的波長(zhǎng)(nm)，而縱軸以對(duì)數(shù)表示消 光比。
在圖4中，A(菱形標(biāo)記)是以氧化鈦形成柵極的情形，而B(三角標(biāo)記) 是以鋁形成柵極的情形。此外，柵極的間距兩者都是150nm。
如同圖所示，以鋁形成柵極時(shí)，在波長(zhǎng)為300nm以上的區(qū)域，可得到 50: 1以上的良好的消光比。但是，在波長(zhǎng)為300nm以下的區(qū)域，消光比 降低，而在波長(zhǎng)為約270nm處，消光比成為大約10: 1，在波長(zhǎng)為約250nm 處，消光比成為約l: 1，無法得到偏振光。
與此相對(duì)，以氧化鈦形成柵極時(shí)，在波長(zhǎng)為300nm以下的區(qū)域中的消 光比與鋁的情況相比較好，而在波長(zhǎng)為240nm 300nm的范圍下，能得到消 光比為15: l以上的偏振光。另外，240nm以下的虛線是推測(cè)值。
如上所述，目前正在尋求在260nm士10nm(優(yōu)選為260nm土20nm)的波 長(zhǎng)區(qū)域下可得到消光比為15: 1以上的偏振光的裝置，但是只要使用以氧 化鈦形成柵極的線柵型偏振元件就能響應(yīng)該要求。
另外，理論上，即使以鋁形成柵極，若將間距變狹窄，也應(yīng)當(dāng)能將短 波長(zhǎng)的光偏振。但是，實(shí)際上如果將間距變狹窄，則柵極欠缺或彎曲，從 而使射出的偏振光的品質(zhì)降低，其結(jié)果是，無法得到消光比為15: 1以上的偏振光。在現(xiàn)狀中，作為比150nm還要狹窄的間距的線柵型偏振元件， 很難制作出工業(yè)上能使用的元件。
圖5表示入射到線柵型偏振元件的非偏振光的角度與以該角度入射的 光的分光透射率。圖5(a)是表示以氧化鈦形成柵極時(shí)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，而圖5(b) 是以鋁形成柵極時(shí)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
兩個(gè)圖中，橫軸均表示入射到線柵型偏振元件的光的波長(zhǎng)(nm)，而縱 軸表示光的透射率(％)。分別對(duì)入射到線柵型偏振元件的光的角度(入射角) 為0° (垂直入射)的情況、30°的情況、45°的情況進(jìn)行測(cè)定。
以氧化鈦形成柵極時(shí)，或是以鋁形成柵極時(shí)，在波長(zhǎng)為340nm以上的 區(qū)域，即使入射到偏振元件的光的角度發(fā)生變化，透射率都不變。
但是，如圖5(b)所示，以鋁形成柵極時(shí)，則在波長(zhǎng)為340nm以下的區(qū) 域中，當(dāng)入射角變大，則在特定的波長(zhǎng)區(qū)域中，透射率降低。
例如，入射到偏振元件的角度為30°的光的透射率在波長(zhǎng)為 270nm 300nm的區(qū)域中，與入射角度為0°的光相比較，透射率降低大約 10%。此外，在入射到偏振元件的角度為45°的光的透射率在波長(zhǎng)為 280nm 340nm的區(qū)域中，與入射角度為0°的光相比較，透射率降低約15 %。
如上所述，使用棒狀燈作為光源時(shí)，來自棒狀燈的光是發(fā)散光，而在 燈的正下方亦即在偏振元件的中央部，入射角度小的光的成分較多，而在 周邊部，則入射角度大的光的成分較多。
因此，如上所述，當(dāng)光的入射角度變大而降低光的透射率時(shí)，則在偏 振光所照射的區(qū)域的周邊部，偏振光的照度變小。因此，在偏振光照射區(qū) 域的周邊部，無法充分地進(jìn)行光取向膜的光取向處理。
與此相對(duì)，如圖5(a)所示，以氧化鈦形成柵極時(shí)，在入射角為0° 、 30。 、 45°的任一情況下，在200nm 300nm的波長(zhǎng)區(qū)域中，透射率也幾乎 沒有差別。因此，在偏振光所照射的照射區(qū)域，能進(jìn)行沒有偏振光的照度 不均勻(照度均勻度高)的照射。因此，在偏振光所照射的整個(gè)區(qū)域，能充分 地進(jìn)行光取向膜的光取向處理。
圖6表示入射到線柵型偏振元件的非偏振光的角度與射出的偏振光的 偏振軸的旋轉(zhuǎn)量的關(guān)系。橫軸是入射到線柵型偏振元件的光的角度(。)，而
10縱軸是射出的偏振光的偏振軸的旋轉(zhuǎn)量o )。
偏振軸的旋轉(zhuǎn)量表示以入射角度為o。時(shí)的偏振軸的方向?yàn)榛鶞?zhǔn)、并從 該基準(zhǔn)開始的旋轉(zhuǎn)角度。
另外，入射到線柵型偏振元件的光的波長(zhǎng)在以氧化鈦形成柵極的偏振
元件的情況下為254nm，而在以鋁形成柵極的偏振元件的情況下為365nm。 如同圖所示，在以鋁形成柵極的情況下，隨著光的射角度變大，射出 的偏振光的偏振軸的旋轉(zhuǎn)量變大，在入射角度為45°的情況下，偏振軸旋 轉(zhuǎn)約6。。
如上所述，由于在偏振元件的中央部入射角度小的光的成分較多，而 在周邊部入射角度大的光的成分較多，因而如果通過光的入射角度變大而 使偏振光的偏振軸的旋轉(zhuǎn)量變大，則在偏振光所照射的區(qū)域的周邊部，偏 振光的偏振軸的方向從所期望的方向會(huì)旋轉(zhuǎn)很大(會(huì)偏離)。因此，在偏振光 照射區(qū)域的周邊部，無法將光取向膜朝所期望的方向進(jìn)行光取向處理。
與此相對(duì)，以氧化鈦形成柵極時(shí)，即使光的入射角度變化，射出的偏 振光的偏振軸是幾乎不會(huì)旋轉(zhuǎn)。
因此，遍及偏振光所照射的區(qū)域全體，能進(jìn)行沒有偏振軸的偏差的照 射。因此，在偏振光所照射的整個(gè)區(qū)域中能將光取向膜朝所期望的方向進(jìn) 行光取向處理。
圖7表示本發(fā)明的偏振光照射裝置的其它構(gòu)成例。
同圖是將多個(gè)具備棒狀燈2與聚光鏡3、及以氧化鈦形成柵極的線柵型 偏振元件1的光照射部6排列設(shè)置在工件4被搬運(yùn)的方向上的例子。形成 有光取向膜4a的工件4被載置于工件平臺(tái)5上，朝同圖的箭頭方向被搬運(yùn)。
通過設(shè)置多個(gè)光照射部6，能增加在工件4上的光取向膜4a上所照射 的偏振光的照射量，從而能加快工件4的搬運(yùn)速度。因此，能提高光取向 的生產(chǎn)能力(每單位時(shí)間的處理枚數(shù))。
權(quán)利要求
1、一種光取向用偏振光照射裝置，其具備通過線柵型偏振元件對(duì)來自線狀光源的光進(jìn)行偏振而射出的光照射部，用來自該光照射部的偏振光對(duì)取向膜進(jìn)行照射，其特征在于，所述線柵型偏振元件的柵極由氧化鈦形成。
全文摘要
本發(fā)明提供了光取向用偏振光照射裝置，其即使在300nm以下的波長(zhǎng)區(qū)域也能得到良好的消光比的偏振光，此外，在該波長(zhǎng)區(qū)域中，即使入射到偏振元件的光的角度不相同，透射率也不會(huì)變化，而且偏振軸也不會(huì)旋轉(zhuǎn)。工件(4)朝圖中箭頭方向被搬運(yùn)，來自光照射部(6)的光通過線柵型偏振元件(1)被偏振，照射于被搬運(yùn)到光照射部(6)下的工件(4)上，進(jìn)行光取向處理。線柵型偏振元件(1)的柵極由氧化鈦(TiO_x)形成，在波長(zhǎng)為240nm～300nm的范圍中，能得到消光比為15∶1以上的偏振光，在波長(zhǎng)為300nm以下的區(qū)域中，即使入射到偏光元件的光的角度不相同，透射率也不會(huì)變化，即使入射到線柵型偏振元件的光的角度不相同，偏振軸也不會(huì)旋轉(zhuǎn)。
文檔編號(hào)G02F1/13GK101566762SQ20091013690
公開日2009年10月28日 申請(qǐng)日期2009年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月24日
發(fā)明者三宮曉史, 鹽谷紗由 申請(qǐng)人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社