專利名稱：一種掩膜版倒邊磨邊機及其加工過程的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種為掩膜版進行倒邊和磨邊的設備以及該設備的加工過程。
背景技術：
掩膜版是廣泛應用在電子行業(yè)的重要加工工具之一，掩膜版的倒邊和磨邊 是掩膜版加工制造過程中的重要加工環(huán)節(jié)，其加工質量好壞，直接影響到掩膜 版的質量。目前，掩膜版的倒邊和磨邊工序都是靠人工手動完成，這種加工方 式不僅勞動強度大、生產(chǎn)效率低，更重要的是倒邊和磨邊的質量難以保證，并 且加工精度都比較低，很難將經(jīng)手動倒邊和磨邊的掩膜版應用到高端產(chǎn)品中， 特別是大尺寸掩膜版的倒邊和磨邊，其加工質量就更難保證。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是針對現(xiàn)有的對掩膜版進行倒邊和磨邊加工的現(xiàn)狀，提 供一種可以自動完成倒邊和磨邊的掩膜版倒邊磨邊機。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術方案 一種掩膜版倒邊磨邊機，包括
掩膜版支撐平臺裝置，包括掩膜版支撐板，和對放置在所述掩膜版支撐板上
的掩膜版進 行調整定位的定位調整組件；
倒邊裝置，包括在其移動過程中同時磨削掩膜版的某一邊上的上下兩個棱邊的倒邊磨頭，所述倒邊磨頭在倒邊磨頭旋轉電機的帶動下旋轉；
磨邊裝置，包括在其移動過程中磨削掩膜版的某一邊的邊平面的倒邊磨頭，
所述磨邊磨頭在磨邊磨頭旋轉電機的帶動下旋轉；
倒邊磨邊傳動裝置，包括倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座，二者均與一導軌
滑動配合連接，所述倒邊裝置和磨邊裝置分別安裝在倒邊裝置滑座和磨邊裝置
滑座上；倒邊動力傳動系統(tǒng)和
磨邊動力傳動系統(tǒng)，分別帶動所述倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座沿著所述 導軌左右移動，使所述倒邊裝置和磨邊裝置在移動過程中分別對放置在所述掩
膜版支撐平臺裝置上的掩膜版進行倒邊加工和磨邊加工；以及，
電控系統(tǒng)，控制所述倒邊和磨邊動力傳動系統(tǒng)、倒邊磨頭旋轉電機，以及 磨邊磨頭旋轉電機協(xié)調動作。
優(yōu)選地，所述掩膜版支撐板的正面開有若干組非穿透性的溝槽，每組溝槽 以所述掩膜版支撐板的一個端點為基準，將其劃分為占據(jù)不同面積的方形支撐 區(qū)域，以適應不同規(guī)格的掩膜版；所述掩膜版支撐板的背面開有若干組與所述 若干組溝槽一一對應的沉槽，每組沉槽中的每個沉槽的中心線均與位于其上方 的一組溝槽相對應，每個沉槽內(nèi)設置有與位于其上方的一組溝槽相通的真空通 氣孔，每個沉槽中均安裝有一真空氣路塊；每個真空氣路塊均通過一真空氣接 頭與一真空室連通；所述掩膜版支撐平臺裝置還包括一蓋在所述掩膜版支撐板
上的防靜電膠皮墊，其通過真空氣路塊的作用吸附在所述掩膜版支撐板上。
優(yōu)選地，所述定位調整組件包括定位調整擋邊，其兩端分別固定安裝有滾 輪安裝架，兩端的滾輪安裝架上均安裝有使定位調整組件在掩膜版支撐板上前后滑動的支撐滾，所述滾輪安裝架上還安裝有在掩膜版支撐板上滾動的側滾； 所述定位調整擋邊的兩側設置有用于定位的鎖緊螺釘；在定位調整擋邊的左端
安裝有左定位塊，定位調整擋邊上設置有可在其上滑動的右定位塊，所述右定 位塊通過一鎖緊手柄進行鎖緊定位。
優(yōu)選地，所述倒邊磨邊傳動裝置的導軌包括前導軌和后導軌；所述倒邊動 力傳動系統(tǒng)包括倒邊傳動電機，其安裝在所述后導軌的右側端部，由所述倒邊 傳動電機帶動的倒邊同步主動輪和倒邊同步從動輪安裝在所述前導軌和后導軌 之間，并與一倒邊傳動同步帶配合安裝；所述磨邊動力傳動系統(tǒng)包括磨邊傳動 電機，其安裝在所述前導軌的左側端部，由所述磨邊傳動電機帶動的磨邊同步 主動輪和磨邊同步從動輪安裝在所述前導軌和后導軌之間，并與一磨邊傳動同 步帶配合安裝；所述倒邊裝置滑座的后側部分與所述倒邊傳動同步帶固連，倒 邊裝置滑座的前側部分通過在其下方開一凹槽而與所述磨邊傳動同步帶保持距 離，所述磨邊裝置滑座的前側部分與所述磨邊傳動同步帶固連，磨邊裝置滑座 的后側部分通過在其下方開一凹槽而與所述倒邊傳動同步帶保持距離；所述倒 邊傳動電機和磨邊傳動電機由所述電控系統(tǒng)控制。
優(yōu)選地，所述倒邊磨邊傳動裝置還包括倒邊裝置的左移限位單元和右移限 位單元，以及磨邊裝置的左移限位單元和右移限位單元；
所述倒邊裝置的左移限位單元包括固裝在所述倒邊裝置滑座后側的倒邊光 控板和設置在位于后導軌左端外側的與所述倒邊光控板配合的左端倒邊光電缺 口，所述左端倒邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；倒邊左移限位器，設置 在所述后導軌的左端，用以防止倒邊裝置向左移動過頭；所述倒邊裝置的右移限位單元包括所述的倒邊光控板和設置在位于后導軌 右端外側的與所述倒邊光控板配合的右端倒邊光電缺口 ，所述右端倒邊光電缺 口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；倒邊右移限位器，設置在后導軌與倒邊傳動同步 帶之間，用以防止倒邊裝置向右移動過頭；
所述磨邊裝置的右移限位單元包括固裝在所述磨邊裝置滑座后側的磨邊光 控板和設置在位于后導軌右端外側的與所述磨邊光控板配合的右端磨邊光電缺
口，所述右端磨邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；磨邊右移限位器，設置 在所述前導軌的右端，用以防止磨邊裝置向右移動過頭；
所述磨邊裝置的左移限位單元包括所述的磨邊光控板和設置在位于后導軌 左端外側的與所述磨邊光控板配合的左端磨邊光電缺口，所述左端磨邊光電缺 口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；磨邊左移限位器，設置在前導軌與磨邊傳動同步 帶之間，用以防止倒邊裝置向左移動過頭。
優(yōu)選地，所述倒邊磨邊傳動裝置還可以包括防止倒邊裝置和磨邊裝置移動 過頭而彼此相撞的防撞頭，所述防撞頭包括分別設置在倒邊裝置滑座和磨邊裝 置滑座的同一側上的倒邊裝置防撞頭和磨邊裝置防撞頭。
優(yōu)選地，所述倒邊磨頭在其中部設置一環(huán)形的開口槽，開口槽的上下兩個 面之間的垂直距離從內(nèi)到外依次增大，所述開口槽關于一基準平面對稱；所述 倒邊裝置還包括分別帶動所述倒邊磨頭上下移動和前后移動的上下移動機構和 前后移動機構；倒邊裝置的攝像頭與一左側顯示屏電連接；倒邊裝置的噴水軟 管和噴水管接口安裝在噴水管支撐板上；倒邊裝置的前端，在所述掩膜版支撐 平臺裝置與倒邊磨邊傳動裝置之間設置有接水槽；在所述倒邊磨頭的前方安裝一風簾，所述風簾的底部、面向掩膜版表面的側面上開有若干個小孔；所述風 簾與一高壓氣體供給裝置連通。
優(yōu)選地，所述磨邊裝置還包括分別帶動所述磨邊磨頭上下移動和前后移動
的上下移動機構和前后移動機構；磨邊裝置的攝像頭與一右側顯示屏電連接。
優(yōu)選地，所述倒邊裝置上設置有防撞光控板，所述磨邊裝置的相應位置上
設置有與所述防控光控板配合的防撞光電缺口 ；所述防撞光電缺口與所述電控 系統(tǒng)通訊連接。
本發(fā)明的另一個目的是針對上述的掩膜版倒邊磨邊機，說明其自動完成倒 邊和磨邊加工的加工過程。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術方案 一種掩膜版倒邊磨邊機的加
工過程，包括如下步驟，
啟動掩膜版倒邊磨邊機，由人工將待加工掩膜版放在掩膜版支撐平臺裝置
的膠皮墊上，通過定位調整組件對掩膜版進行調整定位；
啟動倒邊磨邊程序，倒邊裝置和磨邊裝置首先回到各自的初始停留位置， 即倒邊裝置位于倒邊磨邊傳動裝置的最左側，而磨邊裝置位于倒邊磨邊傳動裝 置的最右側；當兩個裝置均回到初始位置后，按照預設程序，倒邊動力傳動系 統(tǒng)帶動與倒邊裝置滑座相固連的倒邊裝置向右移動，當?shù)惯吥ヮ^與掩膜版的待 加工邊接觸時，即開始了對該邊的上下棱邊進行倒棱磨削加工；當?shù)惯呇b置向 右移動到位時，倒邊裝置停止移動；之后，倒邊動力傳動系統(tǒng)帶動倒邊裝置向 左移動，當?shù)惯呇b置向左移動到位時，倒邊裝置向左移動到位而停止；
電控系統(tǒng)得到倒邊裝置到位停止信息后，啟動磨邊動力傳動系統(tǒng)，帶與磨邊裝置滑座相固連的磨邊裝置向左移動，當其上的磨邊磨頭的外端面與掩膜版 的邊平面接觸時，即開始了對該邊的邊平面進行磨削加工；當磨邊裝置向左移
動到位時磨邊裝置停止移動；之后，磨邊動力傳動系統(tǒng)帶動磨邊裝置向右移動， 當向右移動到為時，磨邊裝置向右移動到位而停止；
倒邊磨邊完成后，由人工松開掩膜版，再換一邊進行倒邊和磨邊加工。如 此反復進行，就能完成一塊塊掩膜版的倒邊和磨邊加工工作；
本發(fā)明的有益之處是掩膜版的放置位置可以通過定位調整組件在調整準 確后進行可靠定位，使其在加工過程中不會出現(xiàn)位置便宜，影像加工質量；可 以通過電控系統(tǒng)有序帶動和準確?？康惯呇b置和磨邊裝置；
通過設置磨邊磨頭上下移動機構和前后移動機構，倒邊磨頭上下移動機構 和前后移動機構，可以對不同規(guī)格的掩膜版進行倒邊和磨邊加工；
通過設置風簾，可以使掩膜版邊緣處的殘水被風簾吹入接水槽，以保持掩 膜版的潔凈。
圖1為本發(fā)明所述掩膜版倒邊磨邊機的立體結構示意圖2為圖1所示掩膜版支撐平臺裝置的透視圖3為圖2所示掩膜版支撐平臺裝置的爆炸圖4為圖2所示掩膜版支撐板的正面結構示意圖5為圖2所示掩膜版支撐板的背面結構示意圖6為圖2所示定位調整組件的結構示意圖；圖7為圖1所示倒邊磨邊傳動裝置的立體結構示意圖8為主要顯示圖7所示倒邊磨邊傳動裝置后部的立體結構示意圖9為圖7所示倒邊磨邊傳動裝置與磨邊裝置和倒邊裝置連接關系示意圖10為圖1所示倒邊裝置的立體結構示意圖(安裝攝像頭)；
圖11為圖1所示倒邊裝置的立體結構示意圖(未安裝攝像頭)；
圖12為圖11所示倒邊裝置的后部的結構示意圖13為圖11所示倒邊裝置的前部結構示意圖14為圖1所示磨邊裝置的立體結構示意圖。
具體實施例方式
一種掩膜版倒邊磨邊機，如圖1所示包括機架10a,所述機架10a具有一水 平支撐面。掩膜版支撐平臺裝置1安裝在機架10a的水平支撐面上，是支撐、 找正、定位、倒邊和磨邊過程中的重要裝置。沿著掩膜版支撐平臺裝置1的一 邊設置有倒邊磨邊傳動裝置5，倒邊裝置3和磨邊裝置7分別在倒邊磨邊傳動裝 置5的帶動下運動，以實現(xiàn)對放置在掩膜版支撐平臺裝置1上的掩膜版進行倒 邊與磨邊加工。倒邊裝置3和磨邊裝置7的前部的，即進行倒邊加工和磨邊加 工的部分，下方可以設置有接水槽10b?？刂蒲谀ぐ娴惯吥ミ厵C各組成單元協(xié)調 動作的電控系統(tǒng)8可以設置在掩膜版支撐平臺裝置1的下方，另外，為了操作 方便，可以為電控系統(tǒng)8配置控制面板2和觸摸屏9。
如圖2至6所示，所述掩膜版支撐平臺裝置1包括大理石支撐架11，其上 固定安裝有大理石12。所述掩膜版支撐板16，優(yōu)選為鋁合金材質，其正面開有若千組非穿透性的溝槽161，每組溝槽161以掩膜版支撐板16的一個端點為基 準，將其劃分為占據(jù)不同面積的方形支撐區(qū)域，以適應不同規(guī)格的掩膜版，本
實施例中設置有四組溝槽161。所述掩膜版支撐板16的背面開有若干組與所述 若干組溝槽161 —一對應的沉槽，每組沉槽可以包括兩個彼此垂直設置的沉槽 18，其中，每個沉槽18的中心線與位于其上方的一組溝槽161相對應，每個沉 槽18內(nèi)設置有與位于其上方的一組溝槽161相通的真空通氣孔(圖中未示出)， 其中，真空通氣孔優(yōu)選為沿著沉槽18的中心線設置。所述沉槽18，在其兩側邊 上設置有連接螺孔19，每個沉槽18中均安裝有一個真空氣路塊14，所述真空 氣路塊14優(yōu)選在其四周墊上密封片后通過螺栓與所述連接螺孔19的配合將各 個真空氣路塊14固定在與各自相對應的沉槽18中。與真空室連通的每個真空 氣接頭17可以從掩膜版支撐板16的側邊旋入與各自相對應的真空氣路塊14， 使其與真空氣路塊14連通。只有當各個沉槽18均安裝好真空氣路塊14后，掩 膜版支撐板16才能固定安裝在大理石12上。所述掩膜版支撐板16上可以蓋有 一張防靜電膠皮墊13，以防止對掩膜版調整找正時損傷掩膜版。所述大理石12 的厚度優(yōu)選為大于等于10cm，約占整個掩膜版支撐平臺裝置1的厚度的2/3， 以保證置于其上方的掩膜版不會有任何變形。所述掩膜版支撐平臺裝置1工作 時，電控系統(tǒng)8控制真空氣路接通，由于各個真空氣路塊14通過真空通氣孔與 各組溝槽161連通，因此可以將膠皮墊13緊緊地吸附在掩膜版支撐板16上。 待加工的掩膜版由人工放置在所述膠皮墊13上，通過定位調整組件15調整掩 膜版在掩膜版支撐板16上的位置，并在調整好后進行定位，所述定位調整組件 15包括定位調整擋邊155，其兩端分別固定安裝有滾輪安裝架，兩端的滾輪安裝架上均安裝有使定位調整組件15在掩膜版支撐板16上前后滑動的支撐滾
156，支撐滾156在大理石12的支撐滾支撐面121上滾動，所述滾輪安裝架上 還安裝有在掩膜版支撐板16的側滾支撐面162上滾動的側滾153，所述掩膜版 支撐板16，在兩側設置有容置支撐滾156的直角槽，直角槽的外邊緣即為所述 的側滾支撐面162;所述定位調整擋邊155的兩側設置有用于定位的鎖緊螺釘 154;在定位調整擋邊155的左端安裝有左定位塊151，定位調整擋邊155上設 置有可在其上滑動的右定位塊152，右定位塊152可以通過在機械領域內(nèi)慣常使 用的鎖緊手柄158 (該種可以鎖定和解鎖的機構在機械領域中非常常見，如由一 手柄控制的夾鉗機構，由于該鎖緊手柄158不是本發(fā)明的設計要點，在此不作 詳細說明)進行鎖緊定位。因此，可以通過定位調整組件15的定位調整擋邊155、 左定位塊151和右定位塊152，推動掩膜版找正定位，并借助于鎖緊螺釘154和 鎖緊手柄158對掩膜版進行定位，以在下一步對其進行倒邊和磨邊加工。
倒邊磨邊傳動裝置5按照加工要求拖動倒邊裝置3和磨邊裝置7有序移動， 以在移動過程中對掩膜版進行倒邊和磨邊加工。如圖7、 8和9所示，所述倒邊 磨邊傳動裝置5的導軌包括前導軌511和后導軌55， 二者彼此平行地固裝在工 作臺518上，倒邊裝置滑座53和磨邊裝置滑座56均與所述前導軌511和后導 軌55滑動配合連接，所述倒邊裝置滑座53可以設置在磨邊裝置滑座56的左側。 倒邊磨邊傳動裝置5的倒邊動力傳動系統(tǒng)和磨邊動力傳動系統(tǒng)同樣安裝在工作 臺518上；其中，所述倒邊動力傳動系統(tǒng)的倒邊傳動電機57安裝在后導軌55 的右側端部，倒邊同步主動輪58和倒邊同步從動輪514安裝在前導軌511和后 導軌55之間，倒邊傳動電機57帶動倒邊同步主動輪58，使倒邊傳動同步帶54拉動與之固定連接的倒邊裝置滑座53往復移動，進而使安裝在倒邊裝置滑座53 上的倒邊裝置3往復移動；所述磨邊動力傳動系統(tǒng)的磨邊傳動電機51安裝在前 導軌511的左側端部，磨邊同步主動輪513和磨邊同步從動輪59安裝在前導軌 511和后導軌55之間，磨邊傳動電機51帶動磨邊同步主動輪513，使磨邊傳動 同步帶510拉動與之固定連接的磨邊裝置滑座56往復移動，進而使安裝在磨邊 裝置滑座56上的磨邊裝置7往復移動；其中，倒邊裝置滑座53的后側部分與 倒邊傳動同步帶54固連，倒邊裝置滑座53的前側部分可以通過在其下方開凹 槽的方式與磨邊傳動同步帶510保持一定距離，與此相反，磨邊裝置滑座56的 前側部分與磨邊傳動同步帶510固連，磨邊裝置滑座56的后側部分可以通過在 其下方開凹槽的方式與倒邊傳動同歩帶54保持一定距離。
倒邊磨邊傳動裝置5還包括倒邊裝置3的左移限位單元和右移限位單元， 以及磨邊裝置7的左移限位單元和右移限位單元。
所述倒邊裝置3的左移限位單元包括光電限位和機械限位，光電限位包括 固裝在倒邊裝置滑座53后側的倒邊光控板520和固裝在工作臺518上、位于后 導軌55左端外側的左端倒邊光電缺口 521，在倒邊裝置滑座53在倒邊傳動同步 帶54的帶動下向左移動的過程中，當其上的倒邊光控板520插入左端倒邊光電 缺口521時，該光控信號將輸入至電控系統(tǒng)8，電控系統(tǒng)8將根據(jù)該信號使倒邊 傳動電機57停止轉動，即使倒邊裝置3停止在前后導軌的最左端；所述機械限 位包括倒邊左移限位器519，設置在后導軌55的左端，用以防止倒邊裝置3向 左移動過頭。倒邊裝置3的右移限位單元也包括光電限位和機械限位，其中， 光電限位包括所述的倒邊光控板520和固裝在工作臺518上、位于后導軌55右端外側的右端倒邊光電缺口 523，在倒邊裝置滑座53在倒邊傳動同步帶54的帶 動下向右移動的過程中，當其上的倒邊光控板520插入右端倒邊光電缺口 523 時，該光控信號將輸入至電控系統(tǒng)8，電控系統(tǒng)8將根據(jù)該信號使倒邊傳動電機 57停止轉動，即使倒邊裝置3停止在前后導軌的最右端；所述機械限位包括倒 邊右移限位器515，其可以設置在后導軌55與倒邊傳動同步帶54之間，用以防 止倒邊裝置3向右移動過頭，而磨邊裝置7可以通過其下方的所述凹槽越過倒 邊右移限位器515而向左側移動。
所述磨邊裝置7的右移限位單元包括光電限位和機械限位，光電限位包括 固裝在磨邊裝置滑座56后側的磨邊光控板255和固裝在工作臺518上、位于后 導軌55右端外側的右端磨邊光電缺口 524，在磨邊裝置滑座56在磨邊傳動同步 帶510的帶動下向右移動的過程中，當其上的磨邊光控板525插入右端磨邊光 電缺口 524時，該光控信號將輸入至電控系統(tǒng)8，電控系統(tǒng)8將根據(jù)該信號使磨 邊傳動電機51停止轉動，即使磨邊裝置7停止在前后導軌的最右端；所述機械 限位包括磨邊右移限位器517，設置在前導軌511的右端，用以防止磨邊裝置7 向右移動過頭。磨邊裝置的左移限位單元也包括光電限位和機械限位，其中， 光電限位包括所述的磨邊光控板255和固裝在工作臺518上、位于后導軌55左 端外側的左端磨邊光電缺口 522，在磨邊裝置滑座56在磨邊傳動同步帶510的 帶動下向左移動的過程中，當其上的磨邊光控板525插入左端磨邊光電缺口 522 時，該光控信號將輸入至電控系統(tǒng)8，電控系統(tǒng)8將根據(jù)該信號使磨邊傳動電機 51停止轉動，即使磨邊裝置7停止在前后導軌的最左端；所述機械限位包括磨 邊左移限位器512，其可以設置在前導軌511與磨邊傳動同步帶510之間，用以防止倒邊裝置7向左移動過頭，而倒邊裝置3可以通過其下方的所述凹槽越過
磨邊左移限位器512而向右側移動。
如圖8所示，為了避免倒邊光控板520在倒邊裝置3向右側移動過程中插 入右端磨邊光電缺口 524和左端磨邊光電缺口 522，使電控系統(tǒng)8產(chǎn)生誤操作， 可以使倒邊光控板520和磨邊光控板525偏離后導軌55的距離不一致，如倒邊 光控板520的偏離距離小一些，則可使倒邊光控板520在移動過程中不會插入 右端磨邊光電缺口 524和左端磨邊光電缺口 522，同時也可以保證磨邊光控板 525在移動過程中不會插入左端倒邊光電缺口 521和右端倒邊光電缺口 523。
所述倒邊磨邊傳動裝置5還可以包括防止倒邊裝置3和磨邊裝置7移動過 頭而彼此相撞的防撞頭，所述防撞頭包括分別設置在倒邊裝置滑座53和磨邊裝 置滑座56的同一側上的倒邊裝置防撞頭52和磨邊裝置防撞頭516。
倒邊裝置3是指對方形掩膜版的某一邊的上下棱角同時進行倒棱磨削的裝 置，因此，倒邊裝置是以倒邊磨頭的磨削運動和位置調整為依據(jù)進行設計的。 如圖10至13所示，為了使倒邊磨頭32能夠同時磨削掩膜版的某一邊上的上下 兩個棱邊，倒邊磨頭32需要在其中部設置一環(huán)形的開口槽，開口槽的上下兩個 面之間的垂直距離從內(nèi)到外依次增大，優(yōu)選為線性增大，并且開口槽關于一基 準水平面對稱，所述開口槽的優(yōu)選為90度的開口槽，倒邊磨頭32通過開口槽 的某一位置(根據(jù)掩膜版的厚度確定)卡住掩膜版一邊上的上下兩條棱進行磨 削。為了使倒邊磨頭32的基準水平面與被倒邊的掩膜版的中性層面重合，倒邊 裝置3需要為倒邊磨頭32設置上下移動機構，為了適應不同厚度規(guī)格的掩膜版 的倒邊加工，還需要設置倒邊磨頭32的前后移動機構。帶動倒邊磨頭32旋轉的倒邊磨頭旋轉電機318安裝在倒邊磨頭電機安裝板
33上，倒邊磨頭旋轉電機318的輸出軸從所述倒邊磨頭電機安裝板33上的孔向 下伸出，倒邊磨頭32的軸從與倒邊磨頭電機安裝板33固連的磨頭軸支撐板323 上的孔向上伸出，再通過聯(lián)軸節(jié)將倒邊磨頭旋轉電機318的輸出軸與倒邊磨頭 32的軸相連。
所述倒邊裝置3的上下移動機構包括升降滑板315，所述的倒邊磨頭電機安 裝板33固裝在升降滑板315上。升降電機35安裝在與安裝連接板37固連的升 降電機安裝板36上，升降電機35的輸出軸穿過升降電機安裝板36上的孔向上 伸出，并與支撐在升降絲杠螺母支承板324上的滾珠絲杠相連，升降絲杠螺母 支承板324又與所述的升降滑板315固連，因此，當升降電機35得電啟動時， 滾珠絲杠將使升降滑板315沿著與其滑動配合的升降導板314上下移動，所述 升降導板314與所述安裝連接板37固連。
安裝連接板37與中間連接板321之間可以設置一緩沖單元，緩沖單元包括 帶心軸的緩沖彈簧38和導向桿322。所述緩沖單元的作用一是為倒邊磨頭32提 供預壓緊力，二是當?shù)惯吥ハ髁Τ禃r，緩沖彈簧38被壓縮起緩沖避讓作用。
所述中間連接板321與水平連接板313固連，水平連接板313再與倒邊裝 置3的后部，即前后移動機構相連。
所述倒邊裝置3的前后移動機構包括前后移動電機312、前后移動滑板39， 以及前后移動滑軌320。前后移動滑板39和前后移動滑軌320可以為一組滾珠 絲杠系統(tǒng)，其絲杠提供聯(lián)軸器與前后移動電機312相連；所述前后移動滑板39 與所述的水平連接板313固連。在前后移動電機312得電啟動后，即可帶動前后移動滑板39在前后移動滑軌320上前后移動，進而帶動倒邊裝置3的前部(即 中間連接板321前面的部分)前后移動。
倒邊裝置3的攝像頭325安裝在攝像頭支架326上，攝像頭325與如圖1 所示的左側顯示屏4電連接。所述攝像頭支架326可以固定連接在安裝前后移 動滑軌320的安裝板上。所述攝像頭325可隨倒邊裝置3在倒邊磨邊傳動裝置5 的帶動下左右移動，以協(xié)助找正定位掩膜版。
倒邊裝置3的噴水軟管34和噴水管接口 316安裝在噴水管支撐板317上； 擋水罩319可以固定連接在倒邊磨頭電機安裝板33的兩側，可以防止磨削時由 噴水軟管34噴出的水向外側飛濺。
在倒邊磨頭電機安裝板33的端部可以安裝一風簾31，風簾31優(yōu)選為具有 中空的矩形截面的U型管，在U型管的底部、面向掩膜版表面的側面上開有若 干個小孔，高壓氣從風簾31的小孔中噴出，形成風簾，將掩膜版上的磨削殘水 吹向接水槽10b，以保持掩膜版的清潔質量。
倒邊裝置3通過倒邊裝置安裝基板310與倒邊磨邊傳動裝置5的倒邊裝置 滑座53固連。所述倒邊裝置安裝基板310可以與安裝前后移動滑軌320的安裝 板固定連接。
所述磨邊裝置7是指用來對方形掩膜版的某一邊的平面進行磨平磨削的裝 置。如圖14所示，磨邊裝置7的磨邊磨頭72在磨邊磨頭旋轉電機71的帶動下 轉動，用磨邊磨頭72的外端面在移動過程中對掩膜版的一個邊的平面進行磨削。 磨邊裝置7包括上下移動機構和前后移動機構。所述磨邊裝置7的上下移動機 構包括升降電機77，其安裝在升降電機安裝板716上，上下移動電機77的輸出軸穿過升降電機安裝板716上的孔向下伸出，并通過聯(lián)軸節(jié)與滾珠絲杠傳動機 構的絲杠連接，滾珠絲杠傳動機構將帶動升降滑板(圖14中未示出，可以與倒
邊裝置3的升降滑板315類似)沿著安裝連接板74上下移動。升降電機安裝板 716與安裝連接板74固連，當升降電機77啟動時，就會通過滾珠絲杠傳動機構 帶動升降滑板上下移動，固裝在該升降滑板上的磨邊磨頭旋轉電機71將攜帶磨 邊磨頭72也隨之上下移動，使磨邊磨頭72的中心點正對掩膜版的中性層。
安裝連接板74與中間連接板76之間可以設置一與倒邊裝置3的緩沖單元 功能與結構均相同的緩沖單元，該緩沖單元同樣包括帶心軸的緩沖彈簧75和導 向桿。
所述中間連接板76與水平連接板78固連，水平連接板787再與磨邊裝置7 的后部，即前后移動機構相連。
所述磨邊裝置7的前后移動機構與倒邊裝置3的前后移動機構的結構可以 相同，也包括前后移動電機710，前后移動電機710得電啟動后，即可帶動前后 移動滑板在前后移動滑軌上前后移動，進而帶動磨邊裝置7的前部(即中間連 接板76前面的部分)前后移動。
磨邊裝置7的攝像頭713通過攝像頭支架712安裝在磨邊裝置7上，攝像 頭712與如圖1所示的右側顯示屏6電連接。所述攝像頭支架712可以固定連 接在安裝前后移動滑軌的安裝板上。所述攝像頭713可隨磨邊裝置7在倒邊磨 邊傳動裝置5的帶動下左右移動，以協(xié)助找正定位掩膜版。
磨邊裝置7的噴水軟管73和噴水管接口 714安裝在噴水管支撐板715上。
磨邊裝置7通過磨邊裝置安裝基板79與倒邊磨邊傳動裝置5的磨邊裝置滑座56固連。所述磨邊裝置安裝基板79可以與安裝前后移動滑軌的安裝板固定 連接。
為防止倒邊裝置3和磨邊裝置7相撞，如圖10和11所示，可在倒邊裝置3 的倒邊裝置安裝基板310上設置防撞光控板311，而在磨邊裝置7的磨邊裝置安 裝基板79的相相應位置上設置有防撞光電缺口 711。當?shù)惯呇b置3與磨邊裝置 7靠近到極限位置時，磨邊光控板311正好插入防撞光電缺口 711中，此動作 信號將發(fā)送至電控系統(tǒng)8，電控系統(tǒng)8將根據(jù)該動作信號使倒邊傳動電機57與 磨邊傳動電機51同時停止轉動，使倒邊裝置3和磨邊裝置7同時停止運動。
本發(fā)明所述掩膜版倒邊磨邊機的加工過程如下
通過控制面板2或者觸摸屏9啟動掩膜版倒邊磨邊機，則電控系統(tǒng)8開啟 真空系統(tǒng)，并根據(jù)掩膜版的尺寸規(guī)格，按照預設的程序自動對一組或者多組溝 槽161提供真空，使其上的膠皮墊13被牢牢吸住(本實施例中，掩膜版支撐板 16上設置有四組溝槽161，最小尺寸規(guī)格的掩膜版只使用范圍最小的一組溝槽 161，尺寸最大的掩膜版要開啟四組溝槽161)。與此同時，倒邊裝置3和磨邊裝 置7上的攝像頭也根據(jù)預設程序的要求，隨各自的裝置移動到掩膜版需要找正 觀測的位置。之后，由人工將待加工掩膜版放在掩膜版支撐平臺裝置1的膠皮 墊13上，通過定位調整組件15，使定位調整擋邊155、左定位塊151和右定位 塊152分別向掩膜版的三個邊靠攏，并推動定位調整擋邊155使掩膜版向前調 整移動，當看到左側顯示屏4與右側顯示屏6上顯示出掩膜版的待磨邊位置正 確時，由人工鎖緊鎖緊螺釘154和鎖緊手柄158，對掩膜版進行定位。
啟動倒邊磨邊程序，倒邊裝置3和磨邊裝置7首先回到各自的初始停留位置，即倒邊裝置3位于倒邊磨邊傳動裝置5的最左側，而磨邊裝置7位于倒邊 磨邊傳動裝置5的最右側；當兩個裝置均回到初始位置后，按照預設程序，倒
邊傳動電機57啟動，通過倒邊傳動同步帶54帶動與倒邊裝置滑座53相固連的 倒邊裝置3向右移動，與此同時，倒邊磨頭旋轉電機318轉動，噴水軟管34開 始噴水，風簾31開始吹風，當?shù)惯吥ヮ^32的開口槽與掩膜版的待加工邊接觸 時，即開始了對該邊的上下棱邊進行倒棱磨削加工；當?shù)惯呇b置3向右移動到 位，并且其上的倒邊光控板520插入右端倒邊光電缺口 523時，倒邊裝置3停 止移動。之后，倒邊傳動電機57反向轉動，帶動倒邊裝置3向左移動，當移動 到左端，并且其上的倒邊光控板520插入左端倒邊光電缺口 521時，倒邊裝置3 向左移動到位而停止；當?shù)惯呇b置3在向左移動過程中，也可根據(jù)需要由預設 程序控制前后移動電機312自動進一個進刀量，使倒邊磨頭32在回程過程中仍 然可進行倒邊磨削加工。
電控系統(tǒng)8得到倒邊裝置3到位停止信息后，啟動磨邊傳動電機51，通過 磨邊傳動同步帶510帶動與磨邊裝置滑座56相固連的磨邊裝置7向左移動，當 其上的磨邊磨頭72的外端面與掩膜版的邊平面接觸時，即開始了對該邊的邊平 面進行磨削加工；當磨邊裝置7向左移動到位，并且其上的磨邊光控板525插 入左端磨邊光電缺口 522時，磨邊裝置7停止移動。之后，磨邊傳動電機51反 向轉動，帶動磨邊裝置7向右移動，當移動到右端，并且其上的磨邊光控板525 插入右端磨邊光電缺口 524時，磨邊裝置7向右移動到位而停止；當磨邊裝置7 在向右移動過程中，也可根據(jù)需要由預設程序控制前后移動電機710自動進一 個進刀量，使磨邊磨頭72在回程過程中仍然可進行磨邊磨削加工。倒邊磨邊完成后，由人工松開掩膜版，再換一邊進行倒邊和磨邊加工。如 此反復進行，就能完成一塊塊掩膜版的倒邊和磨邊加工工作。
根據(jù)掩膜版尺寸規(guī)格，倒邊裝置3和磨邊裝置7的行程長短是不同的，主
要靠調整倒邊光控板520和磨邊光控板525，以及倒邊右移限位器515和磨邊左 移限位器512的位置來實現(xiàn)。
綜上所述僅為本發(fā)明較佳的實施例，并非用來限定本發(fā)明的實施范圍。即 凡依本發(fā)明申請專利范圍的內(nèi)容所作的等效變化及修飾，皆應屬于本發(fā)明的技 術范疇。
權利要求
1.一種掩膜版倒邊磨邊機，其特征在于包括掩膜版支撐平臺裝置，包括掩膜版支撐板，和對放置在所述掩膜版支撐板上的掩膜版進行調整定位的定位調整組件；倒邊裝置，包括在其移動過程中同時磨削掩膜版的某一邊上的上下兩個棱邊的倒邊磨頭，所述倒邊磨頭在倒邊磨頭旋轉電機的帶動下旋轉；磨邊裝置，包括在其移動過程中磨削掩膜版的某一邊的邊平面的倒邊磨頭，所述磨邊磨頭在磨邊磨頭旋轉電機的帶動下旋轉；倒邊磨邊傳動裝置，包括倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座，二者均與一導軌滑動配合連接，所述倒邊裝置和磨邊裝置分別安裝在倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座上；倒邊動力傳動系統(tǒng)和磨邊動力傳動系統(tǒng)，分別帶動所述倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座沿著所述導軌左右移動，使所述倒邊裝置和磨邊裝置在移動過程中分別對放置在所述掩膜版支撐平臺裝置上的掩膜版進行倒邊加工和磨邊加工；以及，電控系統(tǒng)，控制所述倒邊和磨邊動力傳動系統(tǒng)、倒邊磨頭旋轉電機，以及磨邊磨頭旋轉電機協(xié)調動作。
2. 根據(jù)權利要求1所述的一種掩膜版倒邊磨邊機，其特征在于所述掩膜版 支撐板的正面開有若干組非穿透性的溝槽，每組溝槽以所述掩膜版支撐板的一 個端點為基準，將其劃分為占據(jù)不同面積的方形支撐區(qū)域，以適應不同規(guī)格的 掩膜版；所述掩膜版支撐板的背面開有若干組與所述若干組溝槽一一對應的沉 槽，每組沉槽中的每個沉槽的中心線均與位于其上方的一組溝槽相對應，每個 沉槽內(nèi)設置有與位于其上方的一組溝槽相通的真空通氣？L，每個沉槽中均安裝有一真空氣路塊；每個真空氣路塊均通過一真空氣接頭與一真空室連通；所述 掩膜版支撐平臺裝置還包括一蓋在所述掩膜版支撐板上的防靜電膠皮墊，其通 過真空氣路塊的作用吸附在所述掩膜版支撐板上。
3. 根據(jù)權利要求1或2所述的一種掩膜版倒邊磨邊機，其特征在于所述定 位調整組件包括定位調整擋邊，其兩端分別固定安裝有滾輪安裝架，兩端的滾 輪安裝架上均安裝有使定位調整組件在掩膜版支撐板上前后滑動的支撐滾，所 述滾輪安裝架上還安裝有在掩膜版支撐板上滾動的側滾；所述定位調整擋邊的 兩側設置有用于定位的鎖緊螺釘；在定位調整擋邊的左端安裝有左定位塊，定 位調整擋邊上設置有可在其上滑動的右定位塊，所述右定位塊通過一鎖緊手柄 進行鎖緊定位。
4. 根據(jù)權利要求1所述的一種掩膜版倒邊磨邊機，其特征在于所述倒邊磨 邊傳動裝置的導軌包括前導軌和后導軌；所述倒邊動力傳動系統(tǒng)包括倒邊傳動 電機，其安裝在所述后導軌的右側端部，由所述倒邊傳動電機帶動的倒邊同歩 主動輪和倒邊同步從動輪安裝在所述前導軌和后導軌之間，并與一倒邊傳動同 步帶配合安裝；所述磨邊動力傳動系統(tǒng)包括磨邊傳動電機，其安裝在所述前導 軌的左側端部，由所述磨邊傳動電機帶動的磨邊同步主動輪和磨邊同步從動輪 安裝在所述前導軌和后導軌之間，并與一磨邊傳動同步帶配合安裝；所述倒邊 裝置滑座的后側部分與所述倒邊傳動同步帶固連，倒邊裝置滑座的前側部分通 過在其下方開一凹槽而與所述磨邊傳動同步帶保持距離，所述磨邊裝置滑座的 前側部分與所述磨邊傳動同步帶固連，磨邊裝置滑座的后側部分通過在其下方 開一凹槽而與所述倒邊傳動同步帶保持距離；所述倒邊傳動電機和磨邊傳動電機由所述電控系統(tǒng)控制。
5. 根據(jù)權利要求4所述的一種掩膜版倒邊磨邊機，其特征在于所述倒邊磨 邊傳動裝置還包括倒邊裝置的左移限位單元和右移限位單元，以及磨邊裝置的 左移限位單元和右移限位單元；所述倒邊裝置的左移限位單元包括固裝在所述倒邊裝置滑座后側的倒邊 光控板和設置在位于后導軌左端外側的與所述倒邊光控板配合的左端倒邊光 電缺口，所述左端倒邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；倒邊左移限位器， 設置在所述后導軌的左端，用以防止倒邊裝置向左移動過頭；所述倒邊裝置的右移限位單元包括所述的倒邊光控板和設置在位于后導 軌右端外側的與所述倒邊光控板配合的右端倒邊光電缺口 ，所述右端倒邊光電 缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；倒邊右移限位器，設置在后導軌與倒邊傳動同 步帶之間，用以防止倒邊裝置向右移動過頭；所述磨邊裝置的右移限位單元包括固裝在所述磨邊裝置滑座后側的磨邊 光控板和設置在位于后導軌右端外側的與所述磨邊光控板配合的右端磨邊光 電缺口，所述右端磨邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；磨邊右移限位器， 設置在所述前導軌的右端，用以防止磨邊裝置向右移動過頭；所述磨邊裝置的左移限位單元包括所述的磨邊光控板和設置在位于后導 軌左端外側的與所述磨邊光控板配合的左端磨邊光電缺口，所述左端磨邊光電 缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；磨邊左移限位器，設置在前導軌與磨邊傳動同 步帶之間，用以防止倒邊裝置向左移動過頭。
6. 根據(jù)權利要求5所述的一種掩膜版倒邊磨邊機，其特征在于所述倒邊磨邊傳動裝置還可以包括防止倒邊裝置和磨邊裝置移動過頭而彼此相撞的防撞頭，所述防撞頭包括分別設置在倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座的同一側上的倒邊裝置防撞頭和磨邊裝置防撞頭。
7. 根據(jù)權利要求1所述的一種掩膜版倒邊磨邊機，其特征在于所述倒邊磨頭 在其中部設置一環(huán)形的開口槽，開口槽的上下兩個面之間的垂直距離從內(nèi)到外依次增大，所述開口槽關于一基準水平面對稱；所述倒邊裝置還包括分別帶動 所述倒邊磨頭上下移動和前后移動的上下移動機構和前后移動機構；倒邊裝置 的攝像頭與一左側顯示屏電連接；倒邊裝置的噴水軟管和噴水管接口安裝在噴 水管支撐板上；倒邊裝置的前端，在所述掩膜版支撐平臺裝置與倒邊磨邊傳動 裝置之間設置有接水槽；在所述倒邊磨頭的前方安裝一風簾，所述風簾的底部、 面向掩膜版表面的側面上開有若干個小孔；所述風簾與一高壓氣體供給裝置連 通。
8. 根據(jù)權利要求1所述的一種掩膜版倒邊磨邊機，其特征在于所述磨邊裝置 還包括分別帶動所述磨邊磨頭上下移動和前后移動的上下移動機構和前后移 動機構；磨邊裝置的攝像頭與一右側顯示屏電連接。
9. 根據(jù)權利要求1所述的一種掩膜版倒邊磨邊機，其特征在于所述倒邊裝置 上設置有防撞光控板，所述磨邊裝置的相應位置上設置有與所述防控光控板配 合的防撞光電缺口 ；所述防撞光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接。
10. —種掩膜版倒邊磨邊機的加工過程，其特征在于包括如下步驟， 啟動掩膜版倒邊磨邊機，由人工將待加工掩膜版放在掩膜版支撐平臺裝置的膠皮墊上，通過定位調整組件對掩膜版進行調整定位；啟動倒邊磨邊程序，倒邊裝置和磨邊裝置首先回到各自的初始停留位置， 即倒邊裝置位于倒邊磨邊傳動裝置的最左側，而磨邊裝置位于倒邊磨邊傳動裝 置的最右側；當兩個裝置均回到初始位置后，按照預設程序，倒邊動力傳動系統(tǒng)帶動與倒邊裝置滑座相固連的倒邊裝置向右移動，當?shù)惯吥ヮ^與掩膜版的待加工邊接觸時，即開始了對該邊的上下棱邊進行倒棱磨削加工；當?shù)惯呇b置向 右移動到位時，倒邊裝置停止移動；之后，倒邊動力傳動系統(tǒng)帶動倒邊裝置向 左移動，當?shù)惯呇b置向左移動到位時，倒邊裝置向左移動到位而停止；電控系統(tǒng)得到倒邊裝置到位停止信息后，啟動磨邊動力傳動系統(tǒng)，帶與磨 邊裝置滑座相固連的磨邊裝置向左移動，當其上的磨邊磨頭的外端面與掩膜版 的邊平面接觸時，即開始了對該邊的邊平面進行磨削加工；當磨邊裝置向左移 動到位時磨邊裝置停止移動；之后，磨邊動力傳動系統(tǒng)帶動磨邊裝置向右移動， 當向右移動到為時，磨邊裝置向右移動到位而停止；倒邊磨邊完成后，由人工松開掩膜版，再換一邊進行倒邊和磨邊加工。如 此反復進行，就能完成一塊塊掩膜版的倒邊和磨邊加工工作。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種掩膜版倒邊磨邊機及其加工過程，屬于對掩膜版進行倒邊和磨邊加工領域，掩膜版倒邊磨邊機包括放置掩膜版并對其進行調整定位的掩膜版支撐平臺裝置；在倒邊磨邊傳動裝置的帶動下分別對掩膜版進行倒邊和磨邊加工的倒邊裝置和磨邊裝置；以及，電控系統(tǒng)，控制倒邊磨邊傳動裝置的倒邊和磨邊動力傳動系統(tǒng)、倒邊裝置的倒邊磨頭旋轉電機，以及磨邊裝置的磨邊磨頭旋轉電機協(xié)調動作。在掩膜版倒邊磨邊機進行加工過程中，電控系統(tǒng)控制倒邊裝置和磨邊裝置對掩膜版的一邊依次進行倒邊加工和磨邊加工。本發(fā)明所述掩膜版倒邊磨邊機可以自動完成對掩膜版的加工處理，提供了加工效率，減小了人為因素對加工質量的影響。
文檔編號G03F1/00GK101596694SQ20091015808
公開日2009年12月9日 申請日期2009年7月20日 優(yōu)先權日2009年7月20日
發(fā)明者周冠彬, 唐召來, 張松嶺, 林宜龍, 林建昌, 亮 田 申請人:格蘭達技術(深圳)有限公司