專利名稱：顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種諸如電子紙顯示裝置等的具有存儲性能的顯示器及其制造方法。
背景技術(shù)：
近年來，作為具有存儲性能的顯示裝置的電子紙顯示裝置已經(jīng)被開發(fā)為使得能夠毫無困難地實(shí)現(xiàn)"閱讀"諸如電子書、電子報紙等的顯示裝置。這里，"具有存儲性能的顯示裝置"意指具有兩個或更多不同穩(wěn)定狀態(tài)的顯示裝置，并且該顯示裝置的兩個或更多不同穩(wěn)定狀態(tài)可以被電切換，并且那些狀態(tài)具有不同的光特性。這樣的顯示裝置也被稱為"雙穩(wěn)態(tài)顯示裝置"。在雙穩(wěn)態(tài)顯示裝置中的圖像顯示狀態(tài)包括其中寫入更新圖像的圖像更新狀態(tài)和沒有寫入更新圖像的圖像非更新狀態(tài)。這里，因?yàn)樵诋?dāng)雙穩(wěn)態(tài)顯示裝置處于圖像非更新狀態(tài)時，雙穩(wěn)態(tài)顯示裝置可以在不供應(yīng)電功率的情況下保持顯示在圖像顯示裝置上的圖像，所以可以減少其功率消耗。
特別地，上述電子紙顯示裝置具有存儲性能，該存儲性能是上述雙穩(wěn)態(tài)顯示裝置的特征，并且另外，要求它是薄的、重量輕的、耐開裂以及像印刷紙一樣易于閱讀。另外并且可優(yōu)選地，期望電子紙顯示裝置的顯示面板是柔性的(可彎曲的)并且可以執(zhí)行彩色顯示。作為具有存儲性能的顯示裝置的示例，已知由美國公司(EInk-公司)開發(fā)的微膠囊型電泳顯示裝置。
6針對這樣的電泳顯示裝置，在例如美國專利申請?zhí)枮?br>
2005/0078099 (下文中，被稱為專利文獻(xiàn)l)的專利文獻(xiàn)中公開了一種由切換元件來驅(qū)動微膠囊型電泳顯示元件的結(jié)構(gòu)。在專利文獻(xiàn)l中公開的電泳顯示裝置包括柔性基礎(chǔ)基板、非線性切換元件、連接到切換元件的像素電極、微膠囊型電泳顯示元件和公共電極。
這里，柔性基礎(chǔ)基板由諸如不銹鋼或金屬箔、聚酰亞胺等的材料制成，并且可以彎曲。非線性切換元件設(shè)置在上述基礎(chǔ)基板的一個表面?zhèn)壬稀Ｏ袼仉姌O經(jīng)由平坦化膜被連接到切換元件。微膠囊型電泳顯示元件被布置在基礎(chǔ)基板的一個表面?zhèn)壬?。公共電極被設(shè)置成經(jīng)由微膠囊型電泳顯示元件而面對像素電極。
在例如日本專利申請?zhí)亻_No.2004-219551 (下文中，被稱為專利文獻(xiàn)2)和日本專利申請?zhí)亻_No.2005-292420 (下文中，被稱為專利文獻(xiàn)3)中公開了一種用于以這樣的面板結(jié)構(gòu)在柔性基板上形成非線性元件的方法。在專利文獻(xiàn)2中公開了一種方法，使用該方法在玻璃層的一個表面?zhèn)壬闲纬煞蔷€性元件，該玻璃層的另一表面?zhèn)?背面)被減薄地蝕刻，使得該玻璃層的厚度變得小于或等于20(Him并且柔性膜粘貼在
所蝕刻玻璃層的所述另一表面?zhèn)壬稀?br>
在專利文獻(xiàn)3中公開了一種方法，使用該方法將光元件和薄膜晶體管器件轉(zhuǎn)移并堆疊在通過巻到巻工藝由有機(jī)樹脂制成的長薄膜上。
諸如不同于上述不銹鋼和金屬箔的聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)等的塑料基板可以用于在專利文獻(xiàn)1至3中公開的柔性基板。這里，塑料基板與諸如不銹鋼、金屬箔等的導(dǎo)電基板相比具有通過靜電等很容易發(fā)生表面的充電(帶電)的特征。
因此，已知的是，在諸如電子紙顯示裝置的具有存儲性能的顯示裝置中，當(dāng)在處于上述圖像非更新狀態(tài)下的塑料基板的表面上產(chǎn)生靜 電時，由該靜電引起的電場造成圖像的干擾或圖像質(zhì)量的降低。這是 因?yàn)殡娪玖Ｗ油ㄟ^由靜電引起的電場在微膠囊中移動，并且圖像根據(jù) 處于剛剛完成了顯示操作的狀態(tài)下的圖像(在圖像非更新狀態(tài)的開始) 而改變。
在例如日本專利申請?zhí)亻_No.2005-208348 (在下文中，被稱為專 利文獻(xiàn)4)中公開了一種用于防止對塑料基板的表面進(jìn)行充電的方法。 在專利文獻(xiàn)4中公開了以下一種結(jié)構(gòu)在電子紙顯示裝置中，經(jīng)由微膠 囊將在第一基板上形成的透明電極膜(第一導(dǎo)電膜)電連接到與第一 基板相對的第二基板上的電極膜(第二導(dǎo)電膜)。這里，將第一基板 設(shè)置在由顯示元件顯示信息的一側(cè)(也就是，觀看側(cè))。通過使用這 樣的結(jié)構(gòu)，可以防止對用于第一和第二基板的塑料基板的表面進(jìn)行充 電，并且可以解決在圖像非更新狀態(tài)時圖像的干擾或圖像質(zhì)量的降低 的問題。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述情況，本發(fā)明的示例性目的是解決在背景技術(shù)中描述的 問題。S卩，本發(fā)明的示例性目的是提供一種具有存儲性能和極好可靠 性的有源矩陣型顯示裝置及其制造方法，其中，即使當(dāng)通過使用具有 柔性的絕緣基板來構(gòu)造顯示面板時，在圖像非更新狀態(tài)時也不會發(fā)生 圖像的干擾或圖像質(zhì)量的降低。
本發(fā)明的示例性方面的顯示裝置包括第一基板，該第一基板具有 經(jīng)由第一導(dǎo)電層堆疊在絕緣基板上的器件層，并且在第一基板上將連 接到像素開關(guān)的像素電極和布線布置成與多個顯示像素相對應(yīng)；第二 基板，其中第二導(dǎo)電層被設(shè)置成面對在第一基板上布置的像素電極； 以及顯示元件層，所述顯示元件層設(shè)置在第一基板和第二基板之間， 其中在圖像非更新時將特定電位施加到所述第一導(dǎo)電層和所述第二導(dǎo) 電層。一種用于制造本發(fā)明的第一顯示裝置的方法包括在玻璃基板的 一個表面?zhèn)壬闲纬傻钠骷由显O(shè)置膜；蝕刻玻璃基板的另一表面?zhèn)龋?通過使用導(dǎo)電粘合材料，在蝕刻的玻璃基板的另一表面?zhèn)壬显O(shè)置絕緣 基板；以及從器件層剝離所述膜。
一種用于制造本發(fā)明的示例性方面的第二顯示裝置的方法包括 經(jīng)由蝕刻停止層和導(dǎo)電層，在玻璃基板的一個表面?zhèn)壬闲纬傻钠骷?上設(shè)置膜；通過蝕刻完全去除玻璃基板，以使蝕刻停止層暴露；通過 蝕刻完全去除蝕刻停止層，以使導(dǎo)電層暴露；通過使用導(dǎo)電粘合材料， 在暴露的導(dǎo)電層的表面上設(shè)置絕緣基板；以及從器件層剝離所述膜。
一種用于制造本發(fā)明的示例性方面的第三顯示裝置的方法包括 形成器件層，所述器件層經(jīng)由蝕刻停止層形成在玻璃基板的一個表面 側(cè)中；在所述器件層上形成導(dǎo)電層；通過使用導(dǎo)電粘合材料，在所述 導(dǎo)電層的表面上形成絕緣基板；以及通過蝕刻完全去除所述玻璃基板， 以使蝕刻停止層暴露。
一種用于制造本發(fā)明的示例性方面的第四顯示裝置的方法包括 在玻璃基板的一個表面?zhèn)壬纤纬傻钠骷由显O(shè)置膜；蝕刻玻璃基板 的另一表面?zhèn)?；通過使用導(dǎo)電粘合材料，在蝕刻的玻璃基板的另一表 面?zhèn)壬显O(shè)置濾色器和絕緣基板；以及從所述器件層剝離所述膜。
從下面結(jié)合附圖進(jìn)行的詳細(xì)描述，本發(fā)明的示例性特征和優(yōu)點(diǎn)將 變得顯而易見。在附圖中
圖l是根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的第一示例性實(shí)施例的示意橫截面圖。
圖2是示出根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的第一結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。圖3是示出根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的第二結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。
圖4A是圖示用于制造根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的方法的 第一步驟示例的橫截面圖。
圖4B是圖示用于制造根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的方法的 第二步驟示例的橫截面圖。
圖4C是圖示用于制造根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的方法的 第三步驟示例的橫截面圖。
圖4D是圖示用于制造根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的方法的 第四步驟示例的橫截面圖。
圖4E是圖示用于制造根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的方法的 第五步驟示例的橫截面圖。
圖5是示出根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的第三結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。
圖6是示出可以應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的顯示面板的第三 示例性實(shí)施例的示意橫截面圖。
圖7是示出根據(jù)第四示例性實(shí)施例的顯示面板的第一結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。
圖8A是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第一結(jié)構(gòu)示例的第四示例性 實(shí)施例的顯示面板的方法的第一步驟示例的橫截面圖。
圖8B是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第一結(jié)構(gòu)示例的第四示例性 實(shí)施例的顯示面板的方法的第二步驟示例的橫截面圖。
圖8C是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第一結(jié)構(gòu)示例的第四示例性 實(shí)施例的顯示面板的方法的第三步驟示例的橫截面圖。
圖8D是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第一結(jié)構(gòu)示例的第四示例性 實(shí)施例的顯示面板的方法的第四步驟示例的橫截面圖。
圖8E是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第一結(jié)構(gòu)示例的第四示例性 實(shí)施例的顯示面板的方法的第五步驟示例的橫截面圖。
圖8F是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第一結(jié)構(gòu)示例的第四示例性 實(shí)施例的顯示面板的方法的第六步驟示例的橫截面圖。圖9是示出根據(jù)第四示例性實(shí)施例的顯示面板的第二結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。
圖10A是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第二結(jié)構(gòu)示例的第四示例 性實(shí)施例的顯示面板的方法的第一步驟示例的橫截面圖。
圖10B是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第二結(jié)構(gòu)示例的第四示例 性實(shí)施例的顯示面板的方法的第二步驟示例的橫截面圖。
圖10C是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第二結(jié)構(gòu)示例的第四示例 性實(shí)施例的顯示面板的方法的第三步驟示例的橫截面圖。
圖10D是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第二結(jié)構(gòu)示例的第四示例 性實(shí)施例的顯示面板的方法的第四步驟示例的橫截面圖。
圖ll是示出從根據(jù)第二示例性實(shí)施例用于單色顯示的顯示面板修 改的用于彩色顯示的顯示面板的結(jié)構(gòu)示例的示意橫截面圖。
圖12是示出根據(jù)第五示例性實(shí)施例的顯示面板的第一結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。
圖13是示出根據(jù)第五示例性實(shí)施例的顯示面板的第二結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。
圖14A是圖示用于制造根據(jù)第五示例性實(shí)施例的顯示面板的方法 的第一步驟示例的橫截面圖。
圖14B是圖示用于制造根據(jù)第五示例性實(shí)施例的顯示面板的方法 的第二步驟示例的橫截面圖。
圖14C是圖示用于制造根據(jù)第五示例性實(shí)施例的顯示面板的方法 的第三步驟示例的橫截面圖。
圖14D是圖示用于制造根據(jù)第五示例性實(shí)施例的顯示面板的方法 的第四步驟示例的橫截面圖。
圖15是示出應(yīng)用了根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的實(shí)踐應(yīng)用的示例的示 意橫截面圖。
具體實(shí)施例方式
<在圖像非更新時具有存儲性能的有源矩陣型顯示裝置的圖像劣 化現(xiàn)象的分析>新狀態(tài)時發(fā) 生的電子紙顯示裝置(具有存儲性能的有源矩陣型顯示裝置)的所顯 示圖像劣化現(xiàn)象，并且下面將描述分析和驗(yàn)證的結(jié)果。
用于分析的電子紙顯示裝置具有電泳型顯示面板，其包括TFT基 板，在所述TFT基板上設(shè)置了薄膜晶體管(在下文中，被稱為"TFT"); 對基板，面對TFT基板；以及電泳顯示元件，其插入在TFT基板和對基 板之間。
這里，TFT是用于驅(qū)動像素的開關(guān)(像素開關(guān))。TFT基板通過利 用非導(dǎo)電漿(粘合材料)將由聚對苯二甲酸乙二酯(PET)制成的塑料 基板和在其一個表面?zhèn)壬闲纬闪薚FT的玻璃基板粘帖在一起來形成。 TFT基板由塑料基板和玻璃基板這兩層組成。這是因?yàn)橹T如軟塑料基 板、塑料基板等的緩沖層需要用于對玻璃基板有影響的震動吸收，因 為在其上形成TFT的玻璃基板的厚度小，該厚度是0.1mm至0.7mm，并 且玻璃基板易碎。在該分析中，為了抑制在塑料基板的表面上的靜電， 使用在塑料基板的表面上噴灑防靜電劑的顯示面板。
在這樣的電子紙顯示裝置中，首先，執(zhí)行電泳型顯示面板的顯示 驅(qū)動，并且將顯示面板設(shè)定成已經(jīng)顯示或?qū)懭肓似谕麍D像的圖像更新 狀態(tài)。之后，將電泳型顯示面板控制成非顯示驅(qū)動狀態(tài)，并且設(shè)定成 保持或無法寫入在顯示面板中顯示的圖像的圖像非更新狀態(tài)。該圖像 分析的結(jié)果表明當(dāng)使用該驅(qū)動方法時，幾乎不發(fā)生上述圖像的干擾 或圖像質(zhì)量的下降。
然而，當(dāng)通過使用諸如在電子紙的屏幕上直接繪制圖像的筆輸入 方法、用于輸入操作的通過人體等直接觸摸屏幕的觸摸面板輸入方法 的輸入方法來長時間段地持續(xù)執(zhí)行用于圖像更新的顯示裝置的顯示 時，在圖像非更新狀態(tài)時已經(jīng)發(fā)生了圖像的劣化。具體地，已經(jīng)觀察 到在屏幕中顯示的顏色從白色逐漸變化到灰色的現(xiàn)象。本申請的發(fā)明人認(rèn)為這樣的現(xiàn)象由以下原因造成。
TFT需要作為控制信號(或選擇信號)的柵極信號用于驅(qū)動TFT。 在應(yīng)用到上述電泳型顯示面板的TFT中，例如，將大約+25伏的正電壓 施加到柵極端子作為在"接通(ON)"操作(選擇狀態(tài))時的柵極信 號。另一方面，例如，將大約-25伏的負(fù)電壓施加到柵極端子作為在"斷 開(OFF)"操作(非選擇狀態(tài))時的柵極信號。這里，本申請的發(fā)明 人已經(jīng)驗(yàn)證了將上述電泳型顯示面板應(yīng)用于具有SVGA(超級視頻圖形 陣列)分辨率(800X600像素)的顯示裝置的情況。
通常，在顯示驅(qū)動控制中，上述"接通"時間(選擇時段)大約 是0.027ms，并且"斷開"時間(非選擇時段)被設(shè)定成大約16.6ms。 因此，TFT的顯示驅(qū)動循環(huán)的主要部分是"斷開"時間，并且將在"斷 開"操作時是負(fù)電壓的-25伏的電壓連續(xù)施加到基本布置在TFT基板上 的柵極布線。結(jié)果，將-25伏的直流(DC)電壓連續(xù)施加到在其上形成 TFT的玻璃基板和TFT基板的塑料基板。因此，在由在玻璃基板和塑料 基板之間的邊界面上存在的非導(dǎo)電漿形成的粘合層中發(fā)生了充電，并 且在塑料基板內(nèi)部也發(fā)生了充電。本申請的發(fā)明人認(rèn)為由充電引起的 電場對電泳顯示元件的操作狀態(tài)有影響。
如上所述，電子紙顯示裝置需要即使在圖像非更新狀態(tài)時也保持 圖像。然而，通過由本申請的發(fā)明人執(zhí)行的分析已驗(yàn)證的是，在具有 塑料基板的電子紙顯示裝置或具有塑料層的TFT基板中發(fā)生了圖像的
干擾或圖像質(zhì)量的下降的問題。本申請的發(fā)明人認(rèn)為，該問題是由于 對塑料基板或粘合層充電而引起的，該充電是通過不僅由于塑料基板 的表面上的靜電而且由于為了將TFT保持在"斷開"狀態(tài)中而施加到柵 極布線的柵極信號(負(fù)電壓)等產(chǎn)生的直流電場所造成的。
為了解決這樣的問題，本申請的發(fā)明人已經(jīng)進(jìn)行了各種的研究， 并且己經(jīng)獲得了以下結(jié)論。即，該結(jié)論是上述圖像的干擾或圖像質(zhì)量的下降可以通過在TFT基板上布置的布線和塑料基板或粘合層之間 設(shè)置電場屏蔽層來防止。
下面將詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置和用于制造該顯示裝置的 方法的示例性實(shí)施例。
<第一示例性實(shí)施例>
圖l是根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的第一示例性實(shí)施例的示意橫截面 圖。這里，為了便于圖示而省略了要在橫截面中圖示的一部分陰影線。
如圖1所示，可以應(yīng)用于根據(jù)第一示例性實(shí)施例的顯示裝置的顯示 面板包括第一基板100、第二基板200和顯示元件層300。
第一基板100具有經(jīng)由第一導(dǎo)電層120將器件層130堆疊在絕緣基 板110上的結(jié)構(gòu)。器件層130包括至少連接到像素開關(guān)131的像素電極 132和布線133。像素開關(guān)131、像素電極132和布線133被布置成與在顯 示面板上布置的多個顯示像素中的每個相對應(yīng)。
第二基板200包括第二導(dǎo)電層210,所述第二導(dǎo)電層210被設(shè)置成面 對在上述第一基板100上布置的像素電極132。第二導(dǎo)電層210形成在絕 緣基板上。
顯示元件層300介于上述第一基板100和第二基板200之間。g卩，本 發(fā)明具有以下結(jié)構(gòu)第一基板100側(cè)的像素電極132經(jīng)由顯示元件層300 面對第二基板200側(cè)的第二導(dǎo)電層210。
在示例性實(shí)施例的顯示裝置中，至少在顯示像素的圖像非更新時 將特定電位施加到具有上述結(jié)構(gòu)的顯示面板的第一導(dǎo)電層120和第二 導(dǎo)電層210。這里，第一導(dǎo)電層120的電位和第二導(dǎo)電層210的電位被設(shè) 定成相同的值(特定電位)，并且該特定電位可以是地電位。艮P，在應(yīng)用于該示例性實(shí)施例的顯示面板中，至少在圖像非更新
狀態(tài)時將第一導(dǎo)電層120的電位和第二導(dǎo)電層210的電位設(shè)定成特定電 位(相同的電位或地電位)，使得在兩個層之間不產(chǎn)生任何電位差。 結(jié)果，在該示例性實(shí)施例中，可以屏蔽由在絕緣基板110的表面上產(chǎn)生 的靜電和來自布線133等的直流電場引起的電場。因此，因?yàn)榭梢砸种?絕緣基板110的充電，所以根據(jù)示例性實(shí)施例的液晶顯示裝置具有在圖 像非更新狀態(tài)時可以防止圖像的干擾或圖像質(zhì)量的下降的優(yōu)點(diǎn)。
<第二示例性實(shí)施例> (第一結(jié)構(gòu)示例)
圖2是示出根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的第一結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。這里，為了便于圖示而省略了要在橫截面中圖示的一 部分陰影線。
如圖2所示，可以應(yīng)用于根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示裝置(電子 紙顯示裝置)的顯示面板的第一結(jié)構(gòu)示例具有包括電泳型顯示面板的 結(jié)構(gòu)，其中順序堆疊對基板3、電泳顯示元件4和TFT基板6。其中堆疊 了對基板3和電泳顯示元件4的材料形成了電泳顯示元件膜18。此外， 該顯示面板具有觀察者經(jīng)由對基板3觀看電泳顯示元件4的顯示的結(jié) 構(gòu)，其中附圖的上部是觀看側(cè)。這里，在該結(jié)構(gòu)中，對基板3與本發(fā)明 的第二基板相對應(yīng)，電泳顯示元件4與本發(fā)明的顯示元件層相對應(yīng)，并 且TFT基板6與本發(fā)明的第一基板相對應(yīng)。
在該結(jié)構(gòu)示例中，對基板3具有在塑料基板1的一個表面?zhèn)?附圖 的下側(cè))上設(shè)置形成為例如單個平面電極的對電極2的結(jié)構(gòu)。對電極2 被設(shè)置在至少與在下述TFT基板6上布置了多個像素電極4的形成區(qū)域 (它是顯示區(qū)域)相對應(yīng)的區(qū)域中。在該結(jié)構(gòu)示例中，例如，可以將 聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚酯、聚醚砜(PES)、聚酰亞胺膜、 聚碳酸酯(PC)等應(yīng)用到用于對基板3的塑料基板1。這里，在該結(jié)構(gòu)中，對電極2與本發(fā)明的第二導(dǎo)電層相對應(yīng)。
電泳顯示元件4是例如微膠囊型電泳顯示元件，并且介于對基板3 和TFT基板6之間。具體地，電泳顯示元件4具有以下結(jié)構(gòu)例如，其直 徑是大約4(Him的多個球形微膠囊9在由高分子材料(聚合物)制成的粘 結(jié)劑(它是接合劑)中兩維擴(kuò)展，并且具有片狀。
例如，諸如異丙醇(IPA)等的溶劑被封裝在微膠囊9中。微膠囊9
具有以下結(jié)構(gòu)作為納米尺寸的顆粒的、使用例如帶負(fù)電的氧化鈦白 色顏料的無限數(shù)目的白色粒子10以及使用例如帶正電的碳黑色顏料的 黑色粒子在上述溶劑中分離地懸浮。
TFT基板6具有以下結(jié)構(gòu)經(jīng)由導(dǎo)電粘合層15在塑料基板8上堆疊 在其上設(shè)置TFT層26的玻璃基板7。在其上設(shè)置TFT層26的玻璃基板7形 成了圖2所示的TFT玻璃基板27。這里，導(dǎo)電粘合層15與本發(fā)明的第一 導(dǎo)電層相對應(yīng)，TFT層26與本發(fā)明的器件層相對應(yīng)，并且塑料基板8與 本發(fā)明的絕緣基板相對應(yīng)。
TFT層26設(shè)置在玻璃基板7的一個表面?zhèn)?它是附圖的上側(cè))上， 并且包括作為用于驅(qū)動像素的開關(guān)(在下文中，被稱為"像素開關(guān)") 的TFT5、各種布線5z、鈍化膜13和像素電極14。
這里，如圖2所示，可以應(yīng)用于像素開關(guān)的TFT 5具有薄膜晶體管 結(jié)構(gòu)，其中設(shè)置有柵電極5a、柵極絕緣膜13a、半導(dǎo)體層5b、漏電極5c 和源電極5d。此外，諸如非晶硅(a-Si)、多晶硅(p-Si)等的無機(jī)半 導(dǎo)體材料可以用于TFT 5的半導(dǎo)體層5b。諸如聚噻吩等的有機(jī)半導(dǎo)體材 料可以用于半導(dǎo)體層5b。此外，諸如透明氧化鋅(ZnO)等的半導(dǎo)體材 料可以用于半導(dǎo)體層5b。
各種布線5z是用于驅(qū)動TFT 5的布線。具體地，那些是連接到TFT 5的各種布線，諸如柵極布線、數(shù)據(jù)布線等。
鈍化膜B是覆蓋和保護(hù)TFT 5和各種布線5z的單個層或多個層的 絕緣膜。具體地，在該結(jié)構(gòu)示例中，例如，諸如氮化硅(SiNx)膜等的
無機(jī)絕緣膜、諸如丙烯酸樹脂等的有機(jī)膜或那些材料的層壓膜可以應(yīng) 用于鈍化膜13。
像素電極14被形成為在鈍化膜13上擴(kuò)展，并且如圖2所示經(jīng)由在鈍 化膜13上設(shè)置的接觸孔21連接到TFT5的源電極5d。即，像素電極14被 形成為經(jīng)由上述的電泳顯示元件4面對對基板3側(cè)的對電極2。 TFT 5和 像素電極14兩維地布置在玻璃基板7上，以便與在顯示面板上布置的多 個顯示像素中的每個相對應(yīng)。
用于TFT基板6的玻璃基板7是薄玻璃板，它的厚度被形成例如大 于0 (零)并且不大于300nm (不大于0.3mm)，并且具有柔性。在該 結(jié)構(gòu)示例中，可以將聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚酯、聚醚砜(PES)、 聚酰亞胺膜、聚碳酸酯(PC)等應(yīng)用于與上述對基板3的塑料基板1類 似的塑料基板8。
如圖2所示，導(dǎo)電粘合層15是用于緊密接合玻璃基板7和塑料基板8 的粘合層。導(dǎo)電粘合層15通過應(yīng)用其中混合了例如導(dǎo)電性粒子(未示 出)的漿或粘合材料而形成。此外，在該結(jié)構(gòu)示例中，例如，石墨、 金、鎳電鍍粒子等可以用于導(dǎo)電性粒子。在該結(jié)構(gòu)示例中，例如，硅、 丙烯酸樹脂等可以用于漿或粘合材料。
期望導(dǎo)電粘合層15的表面電阻基于由靜電引起的電場對電泳顯示 元件4沒有影響的時間段來設(shè)定。具體地，期望將表面電阻設(shè)定成以下 值利用該值，例如在TFT基板6上產(chǎn)生的靜電(電荷)可以在I至IO 秒內(nèi)放電。根據(jù)本申請的發(fā)明人執(zhí)行的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，期望表面電阻不大 于3Xl()9Q/口。在該示例性實(shí)施例中，如圖2示意性地示出，當(dāng)至少顯示裝置(它 是在顯示面板上布置的每個顯示像素)處于圖像非更新狀態(tài)時，執(zhí)行 控制，利用該控制，導(dǎo)電粘合層15電連接到對基板3的對電極2或地線。 結(jié)果，在導(dǎo)電粘合層15及其鄰近基板上產(chǎn)生的靜電(電荷)通過對電 位或地電位(0V)來放電。艮P，導(dǎo)電粘合層15防止由施加到TFT層26 的各種布線5z(具體地，柵極布線)的電壓引起的電場泄漏到塑料基板 8側(cè)。此外，導(dǎo)電粘合層15防止在塑料基板8的表面上由靜電造成的充 電。因此，導(dǎo)電粘合層15用作電場屏蔽層。
(第二結(jié)構(gòu)示例)
圖3是示出根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的第二結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。這里，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記用于與上述第一結(jié) 構(gòu)示例中所示的面板結(jié)構(gòu)(參考圖2)相同的結(jié)構(gòu)，并且將簡化或省略 對其的描述。
在上述第一結(jié)構(gòu)示例中，將其中混合了導(dǎo)電性粒子的、由漿或粘 合材料形成的導(dǎo)電粘合層15(在下文中，出于方便將其稱為"導(dǎo)電漿") 的面板結(jié)構(gòu)用作電場屏蔽層。本發(fā)明不限于此。
艮口，根據(jù)示例性實(shí)施例的顯示面板的另一結(jié)構(gòu)示例(第二結(jié)構(gòu)示 例)具有代替導(dǎo)電粘合層15而設(shè)置屏蔽電極的面板結(jié)構(gòu)。具體地，如 圖3所示，顯示面板的第二結(jié)構(gòu)示例具有以下結(jié)構(gòu)由透明導(dǎo)電膜材料 形成的屏蔽電極16介于組成TFT基板6的玻璃基板7和塑料基板8之間。 在該結(jié)構(gòu)示例中，銦錫氧化物(在下文中，被稱為"ITO")等可以用 于透明導(dǎo)電膜材料。這里，屏蔽電極16可以通過使用絕緣(非導(dǎo)電) 漿或粘合材料而粘貼到玻璃基板7和塑料基板8。組成屏蔽電極16的ITO 膜可以形成在玻璃基板7側(cè)上或在塑料基板8側(cè)上。這里，在該結(jié)構(gòu)示 例中的屏蔽電極16與本發(fā)明的第一導(dǎo)電層或?qū)щ姳∧る姌O相對應(yīng)。
18在該示例性實(shí)施例中，如圖3示意所示，當(dāng)至少顯示裝置(它是每 個顯示像素)處于圖像非更新狀態(tài)時，執(zhí)行了控制，利用該控制，將 屏蔽電極16電連接到對基板3的對電極2或地線，使得它們具有相同的 電位。即，屏蔽電極16用作電場屏蔽層，該電場屏蔽層將在屏蔽電極 16及其鄰近基板上產(chǎn)生的靜電通過對電位或地電位放電。
因此，在根據(jù)該示例性實(shí)施例的每個面板結(jié)構(gòu)中，當(dāng)至少顯示裝 置處于圖像非更新狀態(tài)時，屏蔽由在塑料基板8的表面上生成的靜電引 起的電場和來自TFT層26的柵極布線等的直流電場。這里，電場屏蔽層 是上述導(dǎo)電粘合層15或屏蔽電極16。因此，根據(jù)該示例性實(shí)施例的顯 示裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)可以防止在非顯示驅(qū)動(圖像非更新狀態(tài))時 所顯示圖像的劣化(圖像的干擾或圖像質(zhì)量的下降)，并且可以實(shí)現(xiàn) 具有極好可靠性的電子紙顯示裝置。
(制造方法)
接著，將參考附圖描述用于制造具有在上述第一結(jié)構(gòu)示例中所示 的面板結(jié)構(gòu)的顯示面板的方法。
圖4A至4E是圖示用于制造根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的 方法的步驟的示例的橫截面圖。這里，將參考正確示出第一結(jié)構(gòu)示例 的圖2來描述該制造方法。
在用于制造具有上述第一結(jié)構(gòu)示例的顯示面板的方法中，首先， 如圖4A所示，TFT層26形成在玻璃基板7的一個表面?zhèn)?它是附圖的上 側(cè)；器件形成表面?zhèn)?上。具體地，如圖2所示，在柵電極5a和包括連 接到柵電極5a的柵極布線的各種布線5z形成在玻璃基板7的一個表面?zhèn)?中之后，形成用于覆蓋柵電極5a和各種布線5z的柵極絕緣膜13a。在圖 4A中，沒有示出柵電極5a和柵極絕緣膜13a。接著，半導(dǎo)體層5b、漏電 極5c、源電極5d和包括連接到漏電極5c的數(shù)據(jù)布線的各種布線(在圖4A 中省略了附圖標(biāo)記)形成在與柵電極5a相對應(yīng)的柵極絕緣膜13a上。接著，在柵極絕緣膜13a上形成覆蓋半導(dǎo)體層5b、漏電極5c、源電極5d以 及包括數(shù)據(jù)布線的各種布線的鈍化膜13之后，在鈍化膜13上形成接觸 孔21。另外，形成像素電極14，所述像素電極14電連接到在接觸孔21 中暴露的源電極5d并且在鈍化膜13上延伸。結(jié)果，完成了TFT玻璃基板 27，所述TFT玻璃基板包括在其上TFT 5和像素電極14被布置在玻璃基 板7的一個表面?zhèn)壬系腡FT層26，以便與顯示面板的每個顯示像素相對 應(yīng)。
接著，如圖4B所示，保護(hù)膜17被粘貼成與在TFT玻璃基板27的一 個表面?zhèn)?它是附圖的上側(cè))上形成的每個像素電極14相接觸。
接著，如圖4C所示，通過將TFT玻璃基板27放置在蝕刻溶液中， 從在其上沒有形成TFT層26的玻璃基板7的另一個表面?zhèn)?它是圖的下 側(cè)；玻璃表面?zhèn)?蝕刻玻璃基板7。在該蝕刻步驟中，基于事先測量的 玻璃基板7的蝕刻速率來執(zhí)行蝕刻工藝，直到獲得期望的膜厚度，并且 當(dāng)獲得期望的膜厚度時，從蝕刻溶液中取出TFT玻璃基板27，并且結(jié)束 (停止)蝕刻工藝。這里，執(zhí)行蝕刻工藝，使得玻璃基板7的厚度變成 例如大于0 (零)并且不大于300jim。此外，本申請的發(fā)明人已經(jīng)確認(rèn) 當(dāng)玻璃基板7的厚度大于30(Him時，顯示面板沒有足夠的柔性。
接著，將導(dǎo)電漿涂布到在其上執(zhí)行上述蝕刻工藝的玻璃基板7的另 一表面?zhèn)?它是該附圖的下側(cè)；蝕刻表面)，并且粘貼塑料基板8。之 后，如圖4D所示，通過剝離在TFT玻璃基板27的一個表面?zhèn)?它是該 附圖的上側(cè))上粘貼的保護(hù)膜，將在其上形成諸如TFT5等的器件的TFT 層26轉(zhuǎn)移到塑料基板8側(cè)。結(jié)果，在玻璃基板7的一個表面?zhèn)戎芯哂蠺FT 5、各種布線5z等的TFT層26被形成，并且形成TFT基板6，所述TFT基 板6的塑料基板8經(jīng)由導(dǎo)電粘合層15粘貼在玻璃基板7的另一側(cè)上。
接著，如圖4E所示，將電泳顯示元件膜18粘貼到TFT基板6的TFT 層26。在該步驟中，粘貼電泳顯示元件膜18，使得電泳顯示元件4與在TFT層26上形成的每個像素電極14相接觸，并且上述像素電極14經(jīng)由電 泳顯示裝置4面對對基板3的對電極2。此外，在該步驟之后或與該步驟 并行，形成用于將在TFT基板6側(cè)上形成的導(dǎo)電粘合層15電連接到電泳 顯示元件膜18 (對基板3)側(cè)的對電極2的裝置。具體地，當(dāng)至少顯示 裝置(顯示像素)處于圖像非更新狀態(tài)時，適當(dāng)?shù)匦纬捎糜陔娺B接上 述導(dǎo)電粘合層15和對電極2的布線和切換裝置的布線。因此，形成具有 圖2所示的面板結(jié)構(gòu)的顯示面板。
此外，在上述制造方法中，如圖4D所示，描述了通過將導(dǎo)電漿涂 布到玻璃基板7的另一表面?zhèn)?它是該附圖的下側(cè)；蝕刻表面)上來粘 貼塑料基板8的步驟。取代該步驟，可以使用以下步驟在蝕刻表面上 形成由諸如ITO等的透明導(dǎo)電膜材料形成的屏蔽電極16，通過涂布非導(dǎo) 電漿來粘貼塑料基板8，并且執(zhí)行與上述相同的步驟。通過使用這樣的 制造方法，形成具有圖3所示的面板結(jié)構(gòu)的顯示面板。
(第三結(jié)構(gòu)示例)
圖5是示出根據(jù)第二示例性實(shí)施例的顯示面板的第三結(jié)構(gòu)示例的
示意橫截面圖。這里，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記用于與上述第一和 第二結(jié)構(gòu)示例中所示的面板結(jié)構(gòu)(參考圖2和圖3)相同的結(jié)構(gòu)，并且
將簡化或省略對其的描述。
在上述第一和第二結(jié)構(gòu)示例中，描述了將TFT層26和電泳顯示元 件膜18堆疊在玻璃基板7的器件形成表面?zhèn)壬喜⑶医?jīng)由導(dǎo)電粘合層15 和屏蔽電極16將塑料基板8堆疊在玻璃基板7的蝕刻表面?zhèn)壬系拿姘褰Y(jié) 構(gòu)。本發(fā)明不限于該面板結(jié)構(gòu)。
艮fl，根據(jù)示例性實(shí)施例的顯示面板的另一結(jié)構(gòu)示例(第三結(jié)構(gòu)示 例)具有以下結(jié)構(gòu)經(jīng)由屏蔽電極16和導(dǎo)電粘合層15將塑料基板8堆疊 在玻璃基板7的器件形成表面?zhèn)壬系腡FT層26的表面上。該結(jié)構(gòu)示例具 有將電泳顯示元件膜18堆疊在玻璃基板7的蝕刻表面?zhèn)壬系慕Y(jié)構(gòu)。的表面 (它是該附圖的下側(cè))上。這里，TFT5包括與上述結(jié)構(gòu)示例類似的柵 電極5a、柵極絕緣膜13a、半導(dǎo)體層5b、漏電極5c和源電極5d。每個TFT 5的源電極5d經(jīng)由在柵極絕緣膜13a和層間膜20中形成的接觸孔21連接 到每個像素電極14。包括TFT 5的層間膜20和柵極絕緣膜13a由鈍化膜13覆蓋。屏蔽電 極16布置在鈍化膜13的表面(它是該附圖的下側(cè))上。這里，將屏蔽 電極16設(shè)置在與顯示面板的顯示區(qū)域相對應(yīng)的區(qū)域，并且不設(shè)置在該 顯示區(qū)域周圍的端子區(qū)域(未示出)中。這是因?yàn)楸仨氃诙俗訁^(qū)域中 形成端子電極以便使其暴露，該端子電極經(jīng)由各種布線5z連接到TFT 5 并且連接到用于顯示驅(qū)動的IC芯片(驅(qū)動芯片)。除此之外，因?yàn)樵?端子區(qū)域中不顯示圖像，所以在電泳顯示元件膜18中靜電電荷不影響 顯示狀況。經(jīng)由具有電場屏蔽層的功能的導(dǎo)電粘合層15，塑料基板8堆疊在鈍 化膜13的包含屏蔽電極16的表面(即，該附圖的下側(cè))上。另一方面， 將包括對基板3和電泳顯示元件4的電泳顯示元件膜18堆疊在薄蝕刻玻 璃基板7的一個表面?zhèn)?該附圖的上側(cè))上。在該示例性實(shí)施例中，如圖5示意性地示出，當(dāng)至少顯示裝置處于 圖像非更新狀態(tài)時，執(zhí)行控制，利用該控制，將由導(dǎo)電粘合層15和屏 蔽電極16組成的電場屏蔽層電連接到對電極2或地線，使得它們具有相 同的電位。此外，在這樣的面板結(jié)構(gòu)中，經(jīng)由被減薄蝕刻的玻璃基板7將電壓 從每個像素電極14施加到電泳顯示元件膜18的電泳顯示元件4。因此，為了很好地驅(qū)動和控制在微膠囊9中的帶色粒子(白色粒子和黑色粒 子)，期望玻璃基板7的膜厚度不大于4(Him， 4(Him是電泳顯示元件膜 18的尺寸(具體地，是微膠囊9的直徑)。因此，在根據(jù)該示例性實(shí)施例的面板結(jié)構(gòu)中，電場屏蔽層和對電 極2被電連接，使得不產(chǎn)生在由導(dǎo)電層15和屏蔽電極16組成的電場屏蔽 層與對基板3的對電極2之間的電位差。結(jié)果，在根據(jù)該示例性實(shí)施例 的顯示面板中，可以通過屏蔽在由塑料基板8的表面上產(chǎn)生的靜電引起 的電場和來自柵極布線等的直流電場來抑制塑料基板8和導(dǎo)電粘合層 15的充電。因此，根據(jù)該示例性實(shí)施例的顯示裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)可以防止在非顯示驅(qū)動(圖像非更新狀態(tài))時所顯示圖像的劣化，并且 可以實(shí)現(xiàn)具有極好可靠性的電子紙顯示裝置。<第三示例性實(shí)施例>接著，將參考附圖描述可以應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的顯示 面板的第三示例性實(shí)施例。圖6是示出可以應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的顯示面板的第三 示例性實(shí)施例的示意橫截面圖。這里，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記用 于與上述第二示例性實(shí)施例中所示的每個面板結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，并且 將簡化或省略對其的描述。在第三示例性實(shí)施例中，將描述在TFT基板6側(cè)上設(shè)置的電場屏蔽 層用作用于保持在像素電極14中寫入的像素電位的存儲電極的情況。 這里，因?yàn)槌薚FT基板6之外的結(jié)構(gòu)(也就是，具有對基板3和電泳顯 示元件4的電泳顯示元件膜18)與上述第二示例性實(shí)施例的結(jié)構(gòu)相同， 所以省略了對其的描述。如圖6所示，可以應(yīng)用于根據(jù)第三示例性實(shí)施例的顯示裝置的顯示 面板具有以下結(jié)構(gòu)通過按順序堆疊TFT層26、層間膜20、存儲電容電極19、玻璃基板7、層間粘合層15a和塑料基板8來形成TFT基板6。艮P, TFT層26經(jīng)由存儲電容電極19和層間膜(絕緣層)20設(shè)置在玻璃基板7 的一個表面?zhèn)?它是該附圖的上側(cè))中，并且塑料基板8經(jīng)由層間粘合 層15a設(shè)置在玻璃基板7的另一表面?zhèn)?該附圖的下側(cè))中。這里，TFT層26包括與上述第二示例性實(shí)施例類似的TFT5、各種 布線5z、鈍化膜13和像素電極14。在該示例性實(shí)施例中，例如，諸如四乙氧基硅垸(TEOS)等的絕 緣無機(jī)平坦化膜可以用于層間膜20。在該示例性實(shí)施例中，例如，由 諸如IT0等的導(dǎo)電膜材料形成的導(dǎo)電層可以用于存儲電容電極19。存儲 電容電極19被形成為例如單個平面電極。層間粘合層15a是用于將玻璃基板7和塑料基板8緊密接合的粘合 層。例如，通過涂布非導(dǎo)電漿或粘合材料來形成層間粘合層15a。此外， 層間粘合層15a可以由與上述第二示例性實(shí)施例所示的導(dǎo)電粘合層15類 似的導(dǎo)電漿形成。因?yàn)椴ＡЩ?和塑料基板8與上述第二示例性實(shí)施例的玻璃基板 和塑料基板相同，所以省略對其的描述。在這樣的面板結(jié)構(gòu)中，存儲電容(電容分量)形成在每個像素電 極14與存儲電容電極19之間，所述每個像素電極14設(shè)置在在TFT基板6 中，以便與顯示區(qū)域中的每個顯示像素相對應(yīng)，如上述單個平面電極 那樣設(shè)置所述存儲電容電極19。這里，存儲電容電極19具有保持存儲 電容的功能，并且另外具有在電泳顯示元件4的非顯示驅(qū)動(圖像非更 新狀態(tài))時用作電場屏蔽層的功能。因此，期望將存儲電容電極19設(shè) 置在與布置在顯示區(qū)域中的幾乎所有像素電極14相對應(yīng)的區(qū)域中。在該示例性實(shí)施例中，如圖6示意所示，當(dāng)至少顯示裝置(顯示面板)處于圖像非更新狀態(tài)時，執(zhí)行了控制，利用該控制，存儲電容電極19電連接到對基板3的對電極2或地線，使得它們具有相同的電位。因此，在根據(jù)該示例性實(shí)施例的面板結(jié)構(gòu)中，與上述第二示例性 實(shí)施例類似，抑制在圖像非更新狀態(tài)中的TFT基板6的塑料基板8的充 電。因此，根據(jù)該示例性實(shí)施例的顯示裝置具有可以防止所顯示圖像 劣化(圖像的干擾或圖像質(zhì)量的劣化)的優(yōu)點(diǎn)。另外，在根據(jù)該示例 性實(shí)施例的面板結(jié)構(gòu)中，在每個顯示像素中很容易形成大的存儲電容。 因此，根據(jù)該示例性實(shí)施例的顯示裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)可以改善電泳 顯示元件的驅(qū)動能力(它是保持圖像顯示狀態(tài)的能力)，并且可以實(shí) 現(xiàn)高孔徑比。 第四示例性實(shí)施例>接著，將參考附圖描述可以應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的顯示 面板的第四示例性實(shí)施例。(第一結(jié)構(gòu)示例)圖7是示出根據(jù)第四示例性實(shí)施例的顯示面板的第一結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。這里，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記用于與上述第二示 例性實(shí)施例中所示的面板結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，并且將簡化或省略對其的 描述。在上述第二和第三示例性實(shí)施例中，TFT基板6包括TFT層26和塑 料基板8。 TFT層26設(shè)置在玻璃基板7的一個表面?zhèn)壬?，并且塑料基? 經(jīng)由電場屏蔽層而設(shè)置在玻璃基板7的另一表面?zhèn)壬稀＜?，在第二和?三示例性實(shí)施例中，該面板結(jié)構(gòu)具有玻璃的殘留膜，該膜的厚度是大 于0 (零)并且不大于300pm (0.3mm)，這是通過蝕刻玻璃基板7的另 一側(cè)而獲得的。本發(fā)明不限于此。艮P，根據(jù)該示例性實(shí)施例的顯示面板的第一結(jié)構(gòu)示例具有以下面板結(jié)構(gòu)將絕緣層間膜取代玻璃殘留膜(在上述第二示例性實(shí)施例的第二結(jié)構(gòu)示例中所示的玻璃基板7)設(shè)置在TFT基板6上。具體地，如圖 7所示，該結(jié)構(gòu)示例具有以下結(jié)構(gòu)經(jīng)由導(dǎo)電粘合層15和屏蔽電極16將 層間膜20設(shè)置在塑料基板8上，并且將TFT層26設(shè)置在層間膜20上。在 該結(jié)構(gòu)示例中，將具有電泳顯示元件4和對基板3的電泳顯示元件膜18 直接堆疊在TFT層26的表面上。(制造方法)圖8A至8F是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第一結(jié)構(gòu)示例的第四 示例性實(shí)施例的顯示面板的方法的步驟的示例的橫截面圖。這里，在 附圖中，將簡化對與在上述第二示例性實(shí)施例中所示的制造方法的工 藝相同的工藝的說明。在具有上述面板結(jié)構(gòu)(圖7)的顯示面板的制造方法中，首先，如 圖8A所示，在玻璃基板7的一個表面?zhèn)?它是該附圖的上側(cè)；器件形成 表面?zhèn)?上形成蝕刻停止層22。這里，在該示例性實(shí)施例中，難以由 玻璃蝕刻液體溶解的諸如富硅氮氧化硅(SiONx)等的材料可以用于蝕 刻停止層22。接著，在通過使用諸如ITO等的導(dǎo)電膜材料在蝕刻停止層 22的整個表面上形成也用作電場屏蔽層的屏蔽電極16之后，在包括屏 蔽電極16的蝕刻停止層22上形成層間膜20。這里，在該示例性實(shí)施例 中，例如，諸如四乙氧基硅垸(TEOS)等的無機(jī)絕緣膜可以用于與上 述第三示例性實(shí)施例類似的層間膜20。接著，包括TFT5、各種布線5z、 鈍化膜13和像素電極14的TFT層26形成在層間膜20上，并且包括蝕刻停 止層22和屏蔽電極16的玻璃基板27被形成。接著，如圖8B所示，將保護(hù)膜17粘貼在TFT玻璃基板27的TFT層26 的表面上，以便與每個像素電極14相接觸。此外，在該步驟中，可以 通過使用具有剝離特性的漿或粘合材料來粘貼保護(hù)膜17，其中，通過 紫外(UV)線的照射來降低粘合力?？梢允褂镁哂邢嗤Ч牧硪徊?料，例如，具有通過加熱來降低粘合力的剝離特性的漿或粘合材料。接下來，如圖8C所示，通過將該TFT玻璃基板27放置在蝕刻溶液 中，從玻璃基板7的另一表面?zhèn)?它是該附圖的下側(cè)；玻璃表面?zhèn)?蝕 刻玻璃基板7。在該玻璃基板7的蝕刻步驟中，繼續(xù)蝕刻直到完全去除 玻璃基板7并且完全暴露蝕刻停止層22。接著，如圖8D所示，通過使用干法蝕刻方法來去除上述所暴露的 蝕刻停止層22。在用于蝕刻該蝕刻停止層22的步驟中，繼續(xù)蝕刻直到 完全去除蝕刻停止層22并且完全暴露在蝕刻停止層22的上層中設(shè)置的 屏蔽電極16。 g卩，由ITO膜形成的屏蔽電極16用作用于通過蝕刻去除由 氮氧化硅膜形成的蝕刻停止層22的蝕刻停止層。結(jié)果，諸如TFT5等的 器件從玻璃基板7側(cè)被轉(zhuǎn)移到保護(hù)膜17側(cè)。接著，如圖8E所示，將導(dǎo)電漿涂布到通過去除蝕刻停止層22而暴 露的屏蔽電極16的表面上，并且粘貼塑料基板8。接著，剝離粘貼到TFT 層26的保護(hù)膜17。結(jié)果，諸如TFT5等的器件和屏蔽電極16從保護(hù)膜17 側(cè)被轉(zhuǎn)移到塑料基板8側(cè)。g卩，形成TFT基板6，在TFT基板6中，具有 TFT 5、各種布線5z等的TFT層26通過由導(dǎo)電漿形成的導(dǎo)電粘合層15、 屏蔽電極16和層間膜20形成在塑料基板8的一個表面?zhèn)?它是該附圖的 上側(cè))中。這里，如上所述，當(dāng)通過使用具有剝離特性的漿或粘合材 料將保護(hù)膜17粘貼在TFT層26的表面上時，可以在不損壞TFT層26的器 件的情況下很好地剝離保護(hù)膜n，其中通過UV線的照射或加熱來降低 粘合力。接著，如圖8F所示，經(jīng)由電泳顯示元件4將電泳顯示元件膜18粘貼 在TFT基板6的一個表面?zhèn)?它是該附圖的上側(cè)；器件形成表面?zhèn)?上， 使得像素電極14面對對電極2。此外，在該步驟之后或與該步驟并行， 形成用于電連接電場屏蔽層和在電泳顯示元件膜18 (對基板3)側(cè)上的 對電極2的裝置，所述電場屏蔽層由在TFT基板6側(cè)中形成的導(dǎo)電粘合層 15和屏蔽電極16組成。具體地，當(dāng)至少顯示裝置(顯示面板)處于圖像非更新狀態(tài)時，適當(dāng)?shù)匦纬捎糜陔娺B接上述屏蔽電極16和對電極2的 布線和切換裝置。因此，形成具有圖7所示的面板結(jié)構(gòu)的顯示面板。
該結(jié)構(gòu)示例具有以下面板結(jié)構(gòu)完全去除影響顯示面板的柔性的 TFT基板6的玻璃基板7，并且設(shè)置無機(jī)絕緣膜(層間膜20)來取代玻璃 基板7。因此，根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例的顯示裝置具有與上述第二和第三示例 性實(shí)施例的顯示裝置相同的優(yōu)點(diǎn)，并且此外，具有可以改善顯示面板 的柔性的優(yōu)點(diǎn)。此外，在該結(jié)構(gòu)示例中，已經(jīng)對使用由諸如四乙氧基 硅垸(TEOS)等的無機(jī)絕緣膜形成的層間膜20的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明。本 發(fā)明不限于此，并且可以使用由另一絕緣膜形成的層間膜20。
(第二結(jié)構(gòu)示例)
圖9是示出根據(jù)第四示例性實(shí)施例的顯示面板的第二結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。這里，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記用于與在上述第二 示例性實(shí)施例中所示的面板結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，并且將簡化對其的描述。
根據(jù)該示例性實(shí)施例的顯示面板的第二結(jié)構(gòu)示例具有以下面板結(jié) 構(gòu)設(shè)置蝕刻停止層來取代在上述第二示例性實(shí)施例的第三結(jié)構(gòu)示例 中所示的玻璃基板7 (它是玻璃的殘留膜)。具體地，如圖9所示，該 結(jié)構(gòu)示例具有以下面板結(jié)構(gòu)TFT層26經(jīng)由導(dǎo)電粘合層15和屏蔽電極16 設(shè)置在塑料基板8上，并且蝕刻停止層22被設(shè)置在TFT層26上。該結(jié)構(gòu) 示例具有以下結(jié)構(gòu)將包括電泳顯示元件4和對基板3的電泳顯示元件 膜18直接堆疊在蝕刻停止層22的表面上。
(制造方法)
圖10A至10D是圖示用于制造根據(jù)可以應(yīng)用于第二結(jié)構(gòu)示例的第 四示例性實(shí)施例的顯示面板的方法的步驟的示例的橫截面圖。
在用于制造具有上述面板結(jié)構(gòu)(圖9)的顯示面板的方法中，首先， 如圖10A所示，在玻璃基板7的一個表面?zhèn)?它是該附圖的上側(cè)；器件形成表面?zhèn)?上形成蝕刻停止層22。這里，很難由玻璃蝕刻液體溶解 的諸如富硅氮氧化硅(SiONx)等的材料可以用于與上述示例性實(shí)施例 的第一結(jié)構(gòu)示例類似的蝕刻停止層22。將蝕刻停止層22的膜厚度設(shè)定 成例如大約0.5至3.(Him。接著，在蝕刻停止層22上形成多個像素電極14 之后，在包括像素電極14的蝕刻停止層22上形成層間膜20，以便覆蓋 蝕刻停止層22。這里，無機(jī)絕緣膜可以用于與上述第三示例性實(shí)施例 類似的層間膜20。接著，在層間膜20上形成包括TFT5、各種布線5z和 鈍化膜13的TFT層26。此時，經(jīng)由在柵極絕緣膜13a和層間膜20中形成 的接觸孔21將每個像素電極14連接到TFT 5。接著，在TFT層26的整個 表面上形成抗靜電屏蔽電極16,并且形成包括蝕刻停止層22和屏蔽電 極16的TFT玻璃基板27。
接著，如圖10B所示，將導(dǎo)電漿涂布在TFT玻璃基板27的屏蔽電極 16的表面上，并且粘貼塑料基板8。
接著，如圖10C所示，通過將該TFT玻璃基板27放置在蝕刻溶液中， 從玻璃基板7的另一表面?zhèn)?它是該附圖的下側(cè)；玻璃表面?zhèn)?蝕刻玻 璃基板7。在該玻璃基板7的蝕刻步驟中，繼續(xù)蝕刻工藝直到完全去除 玻璃基板7并且完全暴露蝕刻停止層22。結(jié)果，諸如TFT 5等的器件和 屏蔽電極16從玻璃基板7側(cè)被轉(zhuǎn)移到塑料基板8側(cè)。即，形成TFT基板6， 在TFT基板6中，通過由導(dǎo)電漿形成的導(dǎo)電粘合層15和屏蔽電極16將包 括層間膜20的TFT層26和蝕刻停止層22形成在塑料基板8的一個表面 上。
接著，如圖10D所示，將TFT基板6倒置，并且經(jīng)由蝕刻停止層22 和電泳顯示元件4將電泳顯示元件膜18粘貼在TFT基板6的一個表面?zhèn)?(它是該附圖的上側(cè)；器件形成表面?zhèn)?上。這里，電泳顯示元件膜 18被粘貼成使得像素電極14面對對電極2。此外，在該步驟之后或與該 步驟并行，形成用于電連接電場屏蔽層和在電泳顯示元件膜18 (對基 板3)側(cè)上的對電極2的裝置，所述電場屏蔽層由在TFT基板6側(cè)上形成的導(dǎo)電粘合層15和屏蔽電極16組成。具體地，當(dāng)至少顯示裝置(顯示 面板)處于圖像非更新狀態(tài)時，適當(dāng)?shù)匦纬捎糜陔娺B接上述屏蔽電極 16和對電極2的布線或切換裝置。因此，形成具有圖9所示的面板結(jié)構(gòu) 的顯示面板。
因此，該結(jié)構(gòu)示例具有以下面板結(jié)構(gòu)完全去除影響顯示面板的 柔性的TFT基板6的玻璃基板7，并且設(shè)置薄絕緣膜(蝕刻停止層22)來 取代玻璃基板7。因此，根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例的顯示裝置具有與上述第二和 第三示例性實(shí)施例的顯示裝置相同的優(yōu)點(diǎn)，并且另外，具有可以改善 顯示面板的柔性的優(yōu)點(diǎn)。
在可以應(yīng)用于該結(jié)構(gòu)示例的制造方法中，當(dāng)在玻璃基板7上形成的 TFT層26轉(zhuǎn)移到塑料基板8時，與上述該示例性實(shí)施例的第一結(jié)構(gòu)示例 不同，不必將保護(hù)膜17粘貼到TFT層26并且剝離該保護(hù)膜。因此，可以 應(yīng)用于該結(jié)構(gòu)示例的制造方法具有以下優(yōu)點(diǎn)抑制在包括像素電極14 的TFT層26上發(fā)生破裂或剝離，并且可以很好地執(zhí)行轉(zhuǎn)移到塑料基板8。
在該結(jié)構(gòu)示例中，可以將在通過蝕刻去除玻璃基板7時使用的蝕刻 停止層22的膜厚度設(shè)定成大約0.5至3.(Him。 g卩，在可以應(yīng)用于該結(jié)構(gòu)示 例的制造方法中，使蝕刻停止層22的膜厚度可忽略地小于電泳顯示元 件4的尺寸(微膠囊9的直徑；例如4(Him)。結(jié)果，即使當(dāng)使用其中將 蝕刻停止層22介于TFT基板6和電泳顯示元件膜18之間的面板結(jié)構(gòu)時， 也很好地驅(qū)動和控制電泳顯示元件4。因此，根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例的顯示裝 置具有以下優(yōu)點(diǎn)可以省略用于去除蝕刻停止層22的步驟，并且可以 簡化制造方法。
另外，在這樣的面板結(jié)構(gòu)中，即使留下其厚度可忽略地小于電泳 顯示元件4的尺寸的蝕刻停止層22而沒有去除它，用于驅(qū)動和控制電泳 顯示元件4的電壓也不會改變很大。因此，根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例的顯示裝置 具有以下優(yōu)點(diǎn)可以將電路的耐受電壓設(shè)定成低電壓，因?yàn)轵?qū)動顯示裝置不必是高電壓。此外，在該結(jié)構(gòu)示例和該制造方法中，已經(jīng)對留
下蝕刻停止層22而沒有去除它的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明。本發(fā)明不限于此，
并且可以包括減少蝕刻停止層22的厚度或完全去除蝕刻停止層22的步驟。
<顯示裝置的操作>
接著，將描述具有根據(jù)上述第二至第四示例性實(shí)施例的顯示面板 的顯示裝置(電子紙顯示裝置)的示意操作。
如在上述背景技術(shù)中所描述的，可以將在具有上述面板結(jié)構(gòu)的顯 示面板中的操作狀態(tài)大致分成兩類，即圖像更新狀態(tài)和圖像非更新狀 態(tài)。
(圖像更新狀態(tài))
在圖像更新狀態(tài)中，通過控制在施加到TFT基板6側(cè)上的像素電極 14的電壓(像素電位)與施加到對基板3側(cè)上的對電位之間的差(電位 差)，驅(qū)動作為顯示媒體的電泳顯示元件4以顯示期望的圖像。
艮P，在上述每個示例性實(shí)施例中，根據(jù)要顯示的圖像來設(shè)定施加 到柵極布線和數(shù)據(jù)布線的電壓，并且通過導(dǎo)通/關(guān)斷TFT5將預(yù)定像素電 位施加到像素電極14。這里，要施加的像素電位是比要施加到對電極2 的對電位(基準(zhǔn)電位)更高或更低的電壓。根據(jù)該電壓，在電泳顯示 元件4的每個微膠囊9中的白色粒子10和黑色粒子11移動到對電極2側(cè) 或像素電極14側(cè)。因此，將與每個顯示像素相對應(yīng)的微膠囊9設(shè)定成白 色顯示狀態(tài)或黑色顯示狀態(tài)，并且顯示所期望的圖像。
這里，將具體地描述在圖像更新狀態(tài)時由顯示像素顯示黑顏色的 情況。首先，在上述每個示例性實(shí)施例中，例如，在將+15伏的電壓(數(shù) 據(jù)電壓)施加到數(shù)據(jù)布線作為黑色顯示電壓的狀態(tài)中，經(jīng)由柵極布線 將+25伏的脈沖電壓(柵極信號)施加到TFT 5的柵電極作為選擇電平的柵極電壓。結(jié)果，TFT5被導(dǎo)通(接通操作)并且將上述數(shù)據(jù)布線的 電壓(數(shù)據(jù)電壓=+15￥)施加到像素電極14作為像素電壓。之后，當(dāng)將 柵極電壓設(shè)定成作為非選擇電平的-25伏的電壓時，TFT5被關(guān)斷(斷開 操作)。此外，當(dāng)由顯示像素顯示白顏色時，在通過將-15伏的電壓施 加到數(shù)據(jù)布線作為白色顯示電壓來取代上述黑色顯示電壓(+15V)的 狀態(tài)下，導(dǎo)通TFT5。因此，將該數(shù)據(jù)電壓施加到像素電極14作為像素 電壓。
這里，例如，將地電位(0V)施加到對電極2作為對電位(基準(zhǔn)電 位)，該對電極2被設(shè)置成面對每個顯示像素的像素電極14。根據(jù)在像 素電極14的像素電位與對電極2的對電位之間的電位差，在電泳顯示元 件4的微膠囊9中的帶負(fù)電的白色粒子10移動到對其施加了正電壓 (+ 15V)的像素電極14側(cè)。結(jié)果，可以經(jīng)由對基板3的塑料基板1從觀 看側(cè)(例如，圖l的上側(cè))觀看黑色粒子ll，并且設(shè)定黑色顯示狀態(tài)。 此外，當(dāng)將負(fù)電壓(-15V)施加到像素電極14時，在電泳顯示元件4的 微膠囊9中的帶正電的黑色粒子11移動到像素電極14側(cè)。結(jié)果，可以經(jīng) 由對基板3的塑料基板1從觀看側(cè)觀看白色粒子10,并且設(shè)定白色顯示 狀態(tài)。
針對每個顯示像素而設(shè)定黑色顯示狀態(tài)或白色顯示狀態(tài)，以在顯 示面板中顯示所期望的圖像。
(圖像非更新狀態(tài))
因?yàn)榭梢詰?yīng)用于電子紙顯示裝置的電泳顯示元件4具有存儲性能， 所以當(dāng)保持通過上述顯示更新操作而顯示的圖像時，或當(dāng)沒有更新圖 像時，不必將電壓施加到顯示面板的每個像素電極14。特別地，在上 述每個示例性實(shí)施例中示出的顯示面板具有以下面板結(jié)構(gòu)將對電極2 電連接到當(dāng)至少顯示裝置處于圖像非更新狀態(tài)時構(gòu)造電場屏蔽層的導(dǎo) 電粘合層15或屏蔽電極16。因此，在上述每個示例性實(shí)施例的顯示面 板中，抑制在塑料基板8的表面上生成的靜電、在塑料基板8中的充電以及對存在于玻璃基板7和塑料基板8之間或存在于TFT層26和塑料基 板8之間的邊界處的導(dǎo)電粘合層15進(jìn)行充電。
這里，在沒有將對電極2電連接到電場屏蔽層(導(dǎo)電粘合層15或屏 蔽電極16)的結(jié)構(gòu)的情況下，對電極2的電位與電場屏蔽層的電位不同。 在該情況下，如在上述"要解決的問題"和"圖像劣化現(xiàn)象的分析" 中所描述的，因?yàn)樵趫D像非更新時將不必要的電場施加到電泳顯示元 件4，所以發(fā)生圖像劣化的問題并且白或黑顏色的顯示狀態(tài)改變。
與其相比，在上述每個示例性實(shí)施例中描述的顯示面板中，當(dāng)至 少顯示裝置處于圖像非更新狀態(tài)時，因?yàn)閷﹄姌O2電連接到電場屏蔽 層，使得它們具有相同的電位，所以可以防止產(chǎn)生不必要的電場的現(xiàn) 象。
如上所述，根據(jù)上述每個示例性實(shí)施例的顯示裝置具有以下結(jié)構(gòu) 電場屏蔽層介于組成TFT基板的TFT層和塑料基板之間，并且當(dāng)至少顯 示裝置處于圖像非更新狀態(tài)時，電場屏蔽層和對電極具有相同的電位。 因此，防止在塑料基板的表面上生靜電，并且抑制對來自在TFT層中布 置的各種布線的直流電場造成的塑料基板和粘合層的充電。因此，根 據(jù)上述每個示例性實(shí)施例的顯示裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)可以防止在非顯 示驅(qū)動時所顯示圖像的劣化，可以很好地保持圖像顯示狀態(tài)，并且可 以實(shí)現(xiàn)具有極好可靠性的顯示裝置。在根據(jù)上述每個示例性實(shí)施例的
顯示裝置中，可以通過使用電場屏蔽層來形成大存儲電容作為用于保 持在每個顯示像素中的存儲電容的存儲電容電極。因此，根據(jù)上述每 個示例性實(shí)施例的顯示裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)可以改善電泳顯示元件的 驅(qū)動能力，并且可以實(shí)現(xiàn)高孔徑比。
此外，在上述每個示例性實(shí)施例中，已經(jīng)對當(dāng)至少顯示裝置處于 圖像非更新狀態(tài)時將對電極2電連接到作為電場屏蔽層的導(dǎo)電粘合層 15或屏蔽電極16，或者電連接到存儲電容電極19，使得它們具有相同的電位的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明。本發(fā)明不限于此。即，在上述每個示例性
實(shí)施例中，期望不僅將對電極2的電位和電場屏蔽層的電位而且將施加 到數(shù)據(jù)布線的數(shù)據(jù)電壓以及施加到柵極布線的柵極電壓設(shè)定成相同的 值。此外，期望將它們的電位設(shè)定成地電位(0V)。
在根據(jù)上述每個示例性實(shí)施例的顯示裝置中，已經(jīng)對將根據(jù)本發(fā) 明的技術(shù)思想應(yīng)用于使用電泳顯示元件的顯示面板的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說 明。然而，本發(fā)明不限于此。即，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)思想也可以應(yīng)用 于具有存儲性能的另一顯示元件，例如，使用電子粉流體、膽甾液晶 等的顯示面板。
在上述每個示例性實(shí)施例中，已經(jīng)對具有用于顯示黑和白這兩種 顏色的圖像的單色顯示的面板結(jié)構(gòu)的顯示裝置進(jìn)行了說明。然而，本 發(fā)明不限于此。即，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)思想也可以應(yīng)用于具有用于彩 色顯示的面板結(jié)構(gòu)的顯示裝置。
雖然圖2是示出用于單色顯示的顯示結(jié)構(gòu)的示意橫截面圖，但是圖 ll是示出用于彩色顯示的顯示結(jié)構(gòu)的示意橫截面圖。
艮P，根據(jù)圖ll所示的本發(fā)明的顯示裝置具有以下結(jié)構(gòu)在圖2所示 的第二示例性實(shí)施例的面板結(jié)構(gòu)中，將濾色器基板23附著到對基板3的 另一表面?zhèn)?它是該附圖的上側(cè)；觀看側(cè))。這里，濾色器基板23具 有將濾色器24堆疊到塑料基板28的結(jié)構(gòu)。將作為濾色器24的紅色(R)、 綠色(G)和藍(lán)色(B)的每個顏色的過濾器部分布置成與在TFT基板6 中布置的顯示像素的每個顯示顏色相對應(yīng)。透明粘合層29介于對基板3 的塑料基板1與濾色器基板23的濾色器24之間以將它們接合。
<第五示例性實(shí)施例>
接著，將參考附圖描述可以應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的顯示 面板的第五示例性實(shí)施例。在"要解決的問題"和"在圖像非更新時具有存儲性能的有源矩 陣型顯示裝置的圖像劣化現(xiàn)象的分析"中描述的圖像更新時，與當(dāng)使 用彩色電子紙顯示裝置時相類似地發(fā)生由在塑料基板的表面上的靜電 電荷造成的圖像劣化的問題。因此，例如，如圖11所示，本發(fā)明的技
術(shù)想法可以應(yīng)用于具有用于使用濾色器24的彩色顯示的面板結(jié)構(gòu)的顯 示裝置。結(jié)果，與上述每個示例性實(shí)施例一樣，可以很好地防止所顯 示圖像劣化的問題(圖像的干擾或圖像質(zhì)量的下降)。
順便提一下，本申請的發(fā)明人執(zhí)行的驗(yàn)證結(jié)果表明當(dāng)使用彩色 顯示裝置時，發(fā)生了在上述每個示例性實(shí)施例所示的單色顯示面板的 情況下沒有發(fā)生的新問題。具體地，該新問題是濾色器和TFT基板的對 準(zhǔn)問題。
<彩色顯示裝置的問題的分析>
下面將詳細(xì)描述該新問題的驗(yàn)證結(jié)果。目前可以在市場出售并且 在市場上可以購買的電泳顯示元件(與上述電泳顯示元件膜18相對應(yīng)) 提供有其厚度是100至20(Him的膜狀材料或片狀材料。例如，如圖ll所 示，當(dāng)通過使用這樣的電泳顯示元件來生產(chǎn)用于彩色顯示的顯示面板 時，使用了按順序堆疊TFT基板6、電泳顯示元件膜18和濾色器基板23 的面板結(jié)構(gòu)。
這里，在這樣的顯示面板中，為了設(shè)定每個顯示像素的顯示顏色，
需要以更高的對準(zhǔn)精度(位置調(diào)整)經(jīng)由電泳顯示元件膜18將濾色器
23和TFT基板6粘貼在一起的制造步驟。特別地，當(dāng)作為顯示媒體的電
泳顯示元件膜18和濾色器基板23由膜狀材料形成時，需要以高得多的
對準(zhǔn)精度將兩個膜狀材料粘貼在一起的制造步驟。然而，通常很難通 過使用簡單的方法以更高的對準(zhǔn)精度將兩個膜狀材料粘貼在一起。還
沒有開發(fā)出適當(dāng)?shù)暮土己玫闹圃旆椒?。組成電泳顯示元件膜18的塑料基板1通常由諸如具有極低耐熱性 的聚對苯二甲酸乙二酯(PET)等的膜材料形成。與其形成對比的是， 熱處理工藝對于形成TFT5和濾色器24是必要的。因此，將包含具有小 的熱膨脹和收縮的玻璃填充劑的高耐熱塑料基板用于組成TFT基板6 和濾色器基板23的塑料基板8和28。
具體地，用于電泳顯示元件膜18的塑料基板1的聚對苯二甲酸乙二 酯的熱膨脹率大約是20X10^/K至50X1(^/K (20至50ppm/'C)。與其 相比，用于TFT基板6和濾色器基板23的塑料基板8和28的高耐熱塑料 的熱膨脹率大約是0.1X10'6/K至3或4X1(T6/K (0.1至若干卯m/'C)。因 此，即使以更高的對準(zhǔn)精度將TFT基板6和濾色器基板23粘貼在一起， 同時將電泳顯示元件膜18夾在TFT基板6和濾色器基板23之間，上述熱 膨脹率的差異會發(fā)生對準(zhǔn)偏移的問題。通過由于在上述粘貼工作之后 執(zhí)行的熱處理工藝產(chǎn)生的熱、在實(shí)際產(chǎn)品的操作期間產(chǎn)生的熱等造成 的TFT基板6、濾色器基板23或電泳顯示元件膜18的偏斜、在它們之間 剝離等，會發(fā)生上述問題。
為了解決對準(zhǔn)偏移的問題，例如，可以使用用以在濾色器基板23 的一個表面?zhèn)壬现苯有纬呻娪撅@示元件4的方法。在該方法中，可以基 本上省略在電泳顯示元件膜18與濾色器基板23之間的上述對準(zhǔn)工藝， 并且可以以更高的對準(zhǔn)精度將具有電泳顯示元件的濾色器基板與TFT 基板6粘貼在一起。然而，即使當(dāng)采用該方法時，也無法解決在該工藝 之后或在實(shí)際操作期間的制造工藝中發(fā)生對準(zhǔn)偏移的問題。
例如，認(rèn)為在日本專利申請?zhí)亻_No.2006-171735中公開的一種方 法是可以解決當(dāng)將上述膜狀材料粘貼在一起時出現(xiàn)的對準(zhǔn)精度的問題 的現(xiàn)有技術(shù)。在日本專利申請?zhí)亻_No.2006-171735中公開了一種用于形 成顯示裝置的方法，使用該方法將濾色器一體化地形成在具有柔性的 電子背面板上，在該電子背面板上形成TFT等，并且經(jīng)由電泳器件(顯 示媒體)將對電極粘貼在電子背面板上。此外，在該顯示裝置中，從電子背面板側(cè)的外面觀看所顯示的圖像。然而，在日本專利申請?zhí)亻_
No.2006-171735中沒有描述當(dāng)電子紙顯示裝置處于圖像非更新狀態(tài)時 由基板的靜電電荷造成的圖像劣化的問題。
在上述背景技術(shù)中所示的專利文獻(xiàn)3中公開了通過轉(zhuǎn)移將TFT基
板粘貼到膜狀濾色器基板來形成柔性液晶顯示裝置的技術(shù)的示例。然 而，在專利文獻(xiàn)3中公開的普通液晶顯示裝置中，顯示元件不具有存儲 性能。因此，當(dāng)電子紙顯示裝置處于圖像非更新狀態(tài)時，不會發(fā)生由 基板上的靜電電荷造成的圖像劣化的問題。因此，通過使用在這些官 方公告中公開的技術(shù)，無法同時解決上述當(dāng)電子紙顯示裝置處于圖像 非更新狀態(tài)時圖像劣化的問題以及在濾色器基板和TFT基板之間對準(zhǔn) 偏移的問題。
因此，本發(fā)明的第五示例性實(shí)施例公開了一種用于彩色電子紙顯 示裝置的面板結(jié)構(gòu)，其中通過使用簡單制造工藝可以以更高的對準(zhǔn)精 度將濾色器基板和TFT基板粘貼在一起。
(第一結(jié)構(gòu)示例)
圖12是示出根據(jù)第五示例性實(shí)施例的顯示面板的第一結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。這里，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記用于與上述第二至 第四示例性實(shí)施例中所示的面板結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，并且將簡化或省略 對其的描述。
如圖12所示，根據(jù)該示例性實(shí)施例的顯示面板的第一結(jié)構(gòu)示例具 有以下面板結(jié)構(gòu)將上述第二示例性實(shí)施例的第二結(jié)構(gòu)示例的結(jié)構(gòu)倒 置，并且設(shè)置具有TFT25的濾色器基板來取代TFT基板6。
艮P，根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例的顯示面板具有其中堆疊對基板3、微膠囊型 電泳顯示元件4和具有TFT25的濾色器基板的面板結(jié)構(gòu)。其中堆疊對基 板3和電泳顯示元件4的材料形成與上述第二示例性實(shí)施例類似的電泳顯示元件膜18。
具有TFT 25的濾色器基板具有以下結(jié)構(gòu)按順序堆疊將TFT層26 設(shè)置在玻璃基板7上的TFT玻璃基板27、屏蔽電極16、濾色器24和塑料 基板8。這里，其中堆疊濾色器24和塑料基板8的材料形成濾色器基板 23。
玻璃基板7被減薄蝕刻成具有與上述第二示例性實(shí)施例類似的柔 性。該結(jié)構(gòu)示例具有以下結(jié)構(gòu)將具有用作像素開關(guān)的TFT5、各種布 線5z、像素電極14等的TFT層26設(shè)置在玻璃基板7的一個表面?zhèn)?它是 該附圖的下側(cè))上。這里，TFT5的柵電極、源電極和漏電極、柵極布 線和數(shù)據(jù)布線由例如金屬材料形成。另一方面，像素電極14由諸如ITO 等的透明導(dǎo)電膜材料形成。
該結(jié)構(gòu)示例具有以下結(jié)構(gòu)將屏蔽電極16設(shè)置到玻璃基板7的另一 表面?zhèn)?它是該附圖的上側(cè))并且在與顯示面板的顯示區(qū)域相對應(yīng)的 區(qū)域中。這里，屏蔽電極16是由諸如ITO等透明導(dǎo)電膜材料形成的單個 平面電極，并且在與兩維布置的所有像素電極相對應(yīng)的區(qū)域中對它不 執(zhí)行圖案化。如圖12示意所示，當(dāng)至少顯示裝置(顯示面板)處于圖 像非更新狀態(tài)時，將屏蔽電極16電連接到對電極2或地線，使得它們具 有相同的電位。這里，在該結(jié)構(gòu)示例中，例如，可以將導(dǎo)電漿、布線 等用于將屏蔽電極16與對電極2或地線相連接的導(dǎo)電路徑。
濾色器24具有以下結(jié)構(gòu)將用于紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B) 三個顏色的過濾器部分布置在包含具有小熱膨脹系數(shù)的玻璃填充劑的 塑料基板8的一個表面?zhèn)?它是該附圖的下側(cè))上，以便與每個顯示像 素的顯示顏色相對應(yīng)。將黑色矩陣(未示出)布置在濾色器24的那些 顏色之中的邊界區(qū)域中。經(jīng)由上述屏蔽電極16將這樣的濾色器24設(shè)置 在玻璃基板7的另一表面?zhèn)?它是該附圖的上側(cè))上。在這樣的面板結(jié)構(gòu)中，如圖12所示，具有TFT 25的濾色器的塑料 基板8的外部(它是該附圖的上側(cè))是觀看側(cè)。即，觀察者30從具有TFT 25的濾色器基板的塑料基板8的外部經(jīng)由具有TFT25的濾色器(濾色器 基板23和TFT玻璃基板27)來觀看電泳顯示元件4的顯示。這里，組成 TFT玻璃基板27的TFT層26的TFT 5、各種布線5z等由例如使用金屬材 料的不透明電極層和布線層形成。因此，在該結(jié)構(gòu)示例中，期望將TFT 5和各種布線5z與布置在布置了黑色矩陣的區(qū)域相對應(yīng)的位置(當(dāng)從觀 看側(cè)觀看時，TFT5等和黑色矩陣在平面圖中重疊的區(qū)域)。結(jié)果，在 根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例的平面結(jié)構(gòu)中，可以很大程度地避免從觀看側(cè)輸入的、 由電泳顯示元件4反射并且再次照射到觀看側(cè)的光被阻截。因此，根據(jù) 該結(jié)構(gòu)示例的顯示裝置具有可以實(shí)現(xiàn)高孔徑比的優(yōu)點(diǎn)。
因此，該結(jié)構(gòu)示例具有以下面板結(jié)構(gòu)經(jīng)由由諸如ITO等的導(dǎo)電膜 材料形成的屏蔽電極16將熱膨脹系數(shù)幾乎彼此相等的、包括玻璃基板7 的TFT玻璃基板27和包括塑料基板8的濾色器基板23粘貼在一起。結(jié)果， 在該結(jié)構(gòu)示例中，可以抑制在用于將TFT玻璃基板27和濾色器基板23 粘貼在一起的工作之后的制造工藝的熱處理步驟中產(chǎn)生的熱、或者在 實(shí)際產(chǎn)品的操作期間產(chǎn)生的熱等引起的偏轉(zhuǎn)、剝離等的發(fā)生。因此， 根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例的顯示裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)可以防止由于上述熱膨脹 率的不同而引起的對準(zhǔn)偏移的發(fā)生。
該結(jié)構(gòu)示例具有以下面板結(jié)構(gòu)將用作電場屏蔽層的屏蔽電極16 設(shè)置在TFT玻璃基板27和濾色器基板23之間。此外，在該結(jié)構(gòu)示例中， 當(dāng)至少顯示裝置(顯示面板)處于圖像非更新狀態(tài)時，將對基板3的對 電極2電連接到屏蔽電極16，使得它們具有相同的電位。結(jié)果，在該結(jié) 構(gòu)示例中，因?yàn)闉V色器24與屏蔽電極16直接接觸，所以將在濾色器24 上產(chǎn)生的靜電通過對電位放電，并且防止充電。在該結(jié)構(gòu)示例中，與 上述每個示例性實(shí)施例類似地屏蔽來自柵極布線等的直流電場。因此， 根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例的顯示裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)可以解決圖像劣化的問題， 并且可以改善電子紙顯示裝置的可靠性。在該結(jié)構(gòu)示例中，因?yàn)槠帘坞姌O16可以用作存儲電容電極，所以 可以在每個像素電極14和屏蔽電極16之間保持固定的存儲電容。因此， 根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例的顯示裝置具有可以實(shí)現(xiàn)高孔徑比的優(yōu)點(diǎn)。
(第二結(jié)構(gòu)示例)
圖13是示出根據(jù)第五示例性實(shí)施例的顯示面板的第二結(jié)構(gòu)示例的 示意橫截面圖。這里，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記用于與上述每個示 例性實(shí)施例中所示的面板結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，并且將簡化或省略對其的 描述。
在上述第一結(jié)構(gòu)示例中，已經(jīng)對將屏蔽電極16布置在玻璃基板7 和濾色器24之間的面板結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明。然而，本發(fā)明不限于此。
艮P，例如，如圖13所示，根據(jù)該示例性實(shí)施例的顯示面板的第二 結(jié)構(gòu)示例具有以下面板結(jié)構(gòu)通過將TFT玻璃基板27和濾色器基板23 直接粘貼在一起而形成具有TFT 25的濾色器基板。濾色器基板23具有 以下結(jié)構(gòu)按順序堆疊濾色器24、屏蔽電極16和塑料基板8。即，該結(jié) 構(gòu)示例具有電極16布置在塑料基板8和濾色器24之間的面板結(jié)構(gòu)。
這里，該結(jié)構(gòu)示例具有以下面板結(jié)構(gòu)將熱膨脹系數(shù)幾乎彼此相 等的包括玻璃基板7的TFT玻璃基板27和包括塑料基板8的濾色器基板 23直接粘貼在一起。結(jié)果，在該結(jié)構(gòu)示例中，可以抑制由于在用于將 TFT玻璃基板27和濾色器基板23粘貼在一起的工作之后的熱處理步驟 中產(chǎn)生的熱、或者在實(shí)際產(chǎn)品的操作期間產(chǎn)生的熱等引起的偏轉(zhuǎn)、剝 離等的發(fā)生。因此，根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例的顯示裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)可以 防止由于上述熱膨脹率的不同而引起的對準(zhǔn)偏移的發(fā)生。
在該結(jié)構(gòu)示例中，塑料基板8和濾色器24與屏蔽電極16直接接觸。 結(jié)果，在該結(jié)構(gòu)示例中，經(jīng)由屏蔽電極16將在塑料基板8和濾色器24上產(chǎn)生的靜電通過對電位放電，并且防止充電。因此，根據(jù)該結(jié)構(gòu)示例 的顯示裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)可以抑制圖像劣化，并且可以改善電子紙 顯示裝置的可靠性。
此外，在根據(jù)該示例性實(shí)施例的每個結(jié)構(gòu)示例中，已經(jīng)對將由諸
如ITO等的透明導(dǎo)電膜材料形成的屏蔽電極16設(shè)置為電場屏蔽層的結(jié) 構(gòu)進(jìn)行了說明。本發(fā)明不限于此，并且可以使用其中設(shè)置由透明導(dǎo)電 漿形成的導(dǎo)電粘合層的結(jié)構(gòu)。
(制造方法)
接著，將參考附圖來描述用于制造具有上述面板結(jié)構(gòu)的顯示面板 的方法。
圖14A至14D是圖示用于制造根據(jù)第五示例性實(shí)施例的顯示面板 的方法的步驟的示例的橫截面圖。這里，在附圖中，將簡化對與在上 述第二示例性實(shí)施例中所示的制造方法(參考圖4)的工藝相同的工藝 的說明。
在用于制造具有上述第一結(jié)構(gòu)示例的顯示面板的方法中，首先， 如圖14A所示，與在上述第二示例性實(shí)施例中所示類似，TFT層26被形 成在玻璃基板7的一個表面?zhèn)?它是該附圖的上側(cè))上。之后，將保護(hù) 膜17粘貼成與TFT層26的每個像素電極14相接觸。
接著，如圖14B所示，通過將該TFT玻璃基板27放置在蝕刻溶液中， 玻璃基板7的另一表面?zhèn)?它是該附圖的下側(cè))被蝕刻。這里，基于事 先測量的玻璃基板7的蝕刻速率來蝕刻玻璃基板7，以便獲得期望的厚 度，該厚度例如是大于0 (零)并且不大于30(Him。
接著，在玻璃基板7的整個蝕刻表面(它是該附圖的下側(cè))上形成 屏蔽電極16，所述屏蔽電極16由諸如ITO等的透明導(dǎo)電膜材料形成并且用作電場屏蔽層。接著，將作為濾色器23的紅色(R)、綠色(G)和 藍(lán)色(B)的每個顏色的過濾器部分精確地布置成與每個顯示像素的每 個顯示顏色相對應(yīng)。即，以更高的對準(zhǔn)精度將濾色器基板23的濾色器 24粘貼在TFT玻璃基板27的表面上。這里，每個像素的每個顯示顏色的 布置與上述示例性實(shí)施例類似地形成在TFT玻璃基板27上的每個像素 電極14的布置相同。接著，剝離粘貼在TFT玻璃基板27的一個表面?zhèn)壬?的保護(hù)膜17。結(jié)果，如圖14C所示，將諸如TFT 5等的器件從保護(hù)膜17 側(cè)轉(zhuǎn)移到濾色器基板23側(cè)，并且形成具有TFT25的濾色器基板。
接著，如圖14D所示，將具有TFT25的濾色器基板倒置，并且將電 泳顯示元件膜18粘貼在具有TFT 25的濾色器基板的一個表面?zhèn)?它是 該附圖的下側(cè))上。這里，電泳顯示元件膜18被粘貼，使得電泳顯示 元件4以合適的(任意的)對準(zhǔn)精度與具有TFT25的濾色器基板的一個 表面?zhèn)认嘟佑|。結(jié)果，將像素電極14布置成經(jīng)由電泳顯示元件4面對對 電極2。此外，在該步驟之后或與該步驟并行，形成用于電連接在具有 TFT 25的濾色器基板側(cè)上形成的屏蔽電極16和在電泳顯示元件膜18 (對基板3)側(cè)上的對電極2的裝置。具體地，當(dāng)至少顯示裝置(顯示 面板)處于圖像非更新狀態(tài)時，適當(dāng)?shù)匦纬捎糜陔娺B接上述屏蔽電極 16和對電極2的布線和切換裝置。因此，形成具有圖12所示的面板結(jié)構(gòu) 的顯示面板。
如上所述，在根據(jù)該示例性實(shí)施例的制造方法中，在事先生產(chǎn)的 被減薄蝕刻的玻璃基板7上形成的TFT層26的玻璃基板27和濾色器基板 23以更高的對準(zhǔn)精度直接粘貼在一起。另一方面，當(dāng)將電泳顯示元件 膜18粘貼到TFT層26時，可以在沒有更高對準(zhǔn)精度的情況下執(zhí)行該工 作。因此，在以相對低的對準(zhǔn)精度執(zhí)行該工作之后，將TFT層26和電泳 顯示元件膜18粘貼在一起。
在這樣的顯示裝置及其制造方法中，通過簡單的制造方法能夠?qū)?現(xiàn)其中可以精確地執(zhí)行在每個顯示像素的顯示顏色和濾色器24的每個顏色的過濾器部分之間的位置調(diào)整和將其熱膨脹系數(shù)幾乎彼此相等的 基板粘貼在一起的顯示面板。結(jié)果，可以解決在如圖ll所示的面板結(jié) 構(gòu)中發(fā)生的問題。g卩，根據(jù)該示例性實(shí)施例的顯示裝置具有以下優(yōu)點(diǎn) 可以解決當(dāng)生產(chǎn)顯示面板時出現(xiàn)的對準(zhǔn)精度的問題以及由于基板的熱 膨脹系數(shù)的不同引起的對準(zhǔn)偏移的問題。
此外，在該示例性實(shí)施例中，與上述第二和第三示例性實(shí)施例相 類似，對具有包括薄玻璃基板7的面板結(jié)構(gòu)的彩色顯示裝置的制造方法 進(jìn)行了說明。然而，本發(fā)明不限于此。該示例性實(shí)施例可以適當(dāng)?shù)貞?yīng) 用于通過使用如在第四示例性實(shí)施例中所描述的完全去除了玻璃基板 7的面板結(jié)構(gòu)來生產(chǎn)彩色顯示裝置的情況。
(應(yīng)用)
圖15是示出應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置的應(yīng)用的示例的示意橫截
面圖。這里，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記用于與上述第二至第五示例 性實(shí)施例中所示的面板結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，并且將省略對其的描述。
根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置不限于在上述第二至第五示例性實(shí)施例中 所示的電子紙顯示裝置的實(shí)施例，并且它可以應(yīng)用于各種實(shí)施例。例
如，根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置可以應(yīng)用于以下結(jié)構(gòu)在上述第二示例性
實(shí)施例中所示的面板結(jié)構(gòu)(參考圖2)中，將輸入裝置設(shè)置在如圖15所
示組成對基板3的塑料基板1的另一表面?zhèn)?它是該附圖的上側(cè)；觀看 側(cè))上。這里，在本發(fā)明中，例如，可以將筆輸入單元、觸摸面板31 等用作輸入裝置，該輸入裝置可以設(shè)置在對基板3的觀看側(cè)的表面上，
用于通過直接觸摸該輸入裝置來輸入期望圖像信息的數(shù)據(jù)。
在本發(fā)明中，在這樣的面板結(jié)構(gòu)中，即使當(dāng)顯示裝置的顯示連續(xù)
執(zhí)行長時間段用于圖像更新時，由導(dǎo)電粘合層15形成的電場屏蔽層電 連接到對電極2，使得它們具有相同的電位或?qū)⑺鼈冞B接到地電位。因 此，通過將本發(fā)明的技術(shù)思想應(yīng)用于具有這樣的面板結(jié)構(gòu)的顯示裝置，可以有效地解決由基板的靜電電荷所造成的圖像劣化的問題。
盡管已經(jīng)參考本發(fā)明的示例性實(shí)施例具體示出和描述了本發(fā)明， 但是本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將理解，在不 背離如權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以在本發(fā) 明中進(jìn)行各種形式上和細(xì)節(jié)上的改變。
權(quán)利要求
1.一種顯示裝置，包括第一基板，其具有堆疊在第一導(dǎo)電層上方的絕緣基板上的器件層，并且在所述第一基板上將與像素開關(guān)相連接的像素電極和布線布置成與多個顯示像素相對應(yīng)；第二基板，在所述第二基板上，設(shè)置第二導(dǎo)電層以使得面對被布置在所述第一基板上的所述像素電極；以及顯示元件層，其設(shè)置在所述第一基板和所述第二基板之間，其中，在圖像非更新時將特定電位施加到所述第一導(dǎo)電層和所述第二導(dǎo)電層。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其中，在圖像非更新時，所述第一導(dǎo)電層的電位和所述第二導(dǎo)電層的電 位被設(shè)定成相同的值。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示裝置，其中，在圖像非更新時，所述第一導(dǎo)電層和所述第二導(dǎo)電層連接到地電位。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其中， 所述第一導(dǎo)電層由導(dǎo)電粘合材料形成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其中， 所述第一導(dǎo)電層由導(dǎo)電薄膜電極形成。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其中，所述第一導(dǎo)電層是存儲電容電極，用于保持在所述第一導(dǎo)電層與 所述器件層的所述像素電極之間的電容分量。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其中，所述絕緣基板具有柔性。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其中，具有存儲性能的多個顯示元件被布置在所述顯示元件層中。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯示裝置，其中，所述顯示元件層包括電泳顯示元件。
10. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其中，所述第一基板或所述第二基板包括濾色器。
11.根據(jù)權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其中，所述顯示裝置包括輸入裝置，所述輸入裝置用于在所述顯示元件層的觀看側(cè)上布置的所述第一基板或所述第二基板的表面上輸入期望的圖像數(shù)據(jù)。
12. —種用于制造顯示裝置的方法，包括在玻璃基板的一個表面?zhèn)戎行纬傻钠骷由显O(shè)置膜；蝕刻所述玻璃基板的另一表面?zhèn)?；通過使用導(dǎo)電粘合材料，在被蝕刻的所述玻璃基板的另一表面?zhèn)壬显O(shè)置絕緣基板；以及從所述器件層剝離所述膜。
13. —種用于制造顯示裝置的方法，包括經(jīng)由蝕刻停止層和導(dǎo)電層，在玻璃基板的一個表面?zhèn)壬闲纬傻钠骷由显O(shè)置膜；通過蝕刻來完全地去除所述玻璃基板，以使所述蝕刻停止層暴露；通過蝕刻來完全地形成所述蝕刻停止層，以使所述導(dǎo)電層暴露；通過使用導(dǎo)電粘合材料，在所述暴露的導(dǎo)電層的表面上設(shè)置絕緣基板；以及從所述器件層剝離所述膜。
14. 一種用于制造顯示裝置的方法，包括以下步驟形成器件層，所述器件層形成在蝕刻停止層上方的玻璃基板的一個表面?zhèn)壬?；在所述器件層上形成?dǎo)電層；通過使用導(dǎo)電粘合材料，在所述導(dǎo)電層的表面上設(shè)置絕緣基板；以及通過蝕刻來完全地去除所述玻璃基板，以使所述蝕刻停止層暴露。
15. —種用于制造顯示裝置的方法，包括在形成在玻璃基板的一個表面?zhèn)壬系钠骷由显O(shè)置膜；蝕刻所述玻璃基板的另一表面?zhèn)?；通過使用導(dǎo)電粘合材料，在被蝕刻的所述玻璃基板的另一表面?zhèn)壬显O(shè)置濾色器和絕緣基板；以及從所述器件層剝離所述膜。
16. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的用于制造顯示裝置的方法，其中，在所述器件層中，至少布置像素開關(guān)以及與所述像素開關(guān)相連接的像素電極和布線，以使得與多個顯示像素相對應(yīng)。
17. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于制造顯示裝置的方法，其中，在所述器件層中，至少布置像素開關(guān)以及與所述像素開關(guān)相連接的像素電極和布線，以使得與多個顯示像素相對應(yīng)。
18. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于制造顯示裝置的方法，其中，在所述器件層中，至少布置像素開關(guān)以及與所述像素開關(guān)相連接的像素電極和布線，以使得與多個顯示像素相對應(yīng)。
19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的用于制造顯示裝置的方法，其中，在所述器件層中，至少布置像素開關(guān)以及與所述像素開關(guān)相連接的像素電極和布線，以使得與多個顯示像素相對應(yīng)。
全文摘要
本發(fā)明涉及顯示裝置及其制造方法?？梢詰?yīng)用于顯示裝置的顯示面板包括第一基板、第二基板和顯示元件層。第一基板具有經(jīng)由第一導(dǎo)電層堆疊在絕緣基板上的器件層。器件層至少具有連接到像素開關(guān)的像素電極和布線。第二基板包括第二導(dǎo)電層，所述第二導(dǎo)電層被設(shè)置成面對在上述第一基板上布置的像素電極。顯示元件層介于上述第一基板和上述第二基板之間。
文檔編號G02F1/167GK101655646SQ20091016374
公開日2010年2月24日 申請日期2009年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月18日
發(fā)明者坂本道昭 申請人:Nec液晶技術(shù)株式會社