專利名稱：光模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及搭載光學(xué)元件并把該光學(xué)元件與光纖結(jié)合的光模塊，尤其涉及搭載了 多個光學(xué)元件的光模塊。
背景技術(shù)：
一直以來，已知這樣的一種光模塊，其中，搭載接收用的光電二極管和發(fā)送用的激 光二極管等的多個光學(xué)元件，并具有透鏡、反射鏡等的光學(xué)系統(tǒng)，通過光學(xué)系統(tǒng)把各光學(xué)元 件與一根光纖結(jié)合起來。這樣的光模塊具有例如以下的結(jié)構(gòu)。即，具有在內(nèi)部收存波長選擇性反射鏡和多 個光學(xué)元件且與從外部延伸的光纖連接的殼體，多個光學(xué)元件以反射鏡為中心配置在其周 圍，把位置調(diào)整成例如從光纖入射的光分支成透過反射鏡或被反射鏡反射、以使各光入射 到各光學(xué)元件，或者調(diào)整成從各光學(xué)元件出射的光透過反射鏡或被反射鏡反射而入射到光 纖。即，把位置調(diào)整成各光學(xué)元件分別通過反射鏡與光纖光學(xué)結(jié)合。在上述構(gòu)成的光模塊中，有時為了得到所希望的光信號，在朝向特定的光學(xué)元件 的光路中設(shè)置濾光器。即，入射的光信號中，特定的波長的光信號被反射鏡反射而入射到濾 光器，但由于例如反射鏡的安裝傾角、光纖相對于殼體的安裝傾角等的原因，向?yàn)V光器入射 的光線的入射角度傾斜時得不到充分的性能。一般地，由于濾光器通過層疊幾十層到幾百 層介電體薄膜而構(gòu)成，且利用層間的干涉來工作，所以濾光器的透射特性很大地依賴于入 射角。尤其對于具有陡峭的波長選擇特性的濾光器，入射角必須是垂直方向，對于從垂直方 向以外的意料之外的方向入射的光，透射特性變化。圖12示出濾光器的透射損失的曲線 圖。與向?yàn)V光器垂直入射時的透射特性相比，傾斜入射時的透射特性的透射波段變化。因 此，為了適當(dāng)?shù)孬@得所希望的特性，光必須向?yàn)V光器垂直入射。即，必須調(diào)整向?yàn)V光器入射 的光的入射角。另外，一直以來，在具有在內(nèi)部收存一個光學(xué)元件和一組光學(xué)系統(tǒng)且與從外部延 伸的光纖連接的殼體的光模塊中，提出了在光學(xué)系統(tǒng)和光纖之間設(shè)置角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，并利 用它修正角度偏差的技術(shù)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。<專利文獻(xiàn)1>日本特開平7-218775號公報但是，根據(jù)上述專利文獻(xiàn)1中提出的技術(shù)，由于可以變更光纖對殼體的安裝角度， 所以對于在搭載多個光學(xué)元件的光模塊中，調(diào)整在朝向特定的光學(xué)元件的光路中設(shè)置的濾 光器的角度的場合，難以適用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種在搭載多個光學(xué)元 件的光模塊，在該光模塊中，能夠不對其它光學(xué)元件的光學(xué)調(diào)整產(chǎn)生任何影響而容易地調(diào) 整在朝向特定的光學(xué)元件的光路中設(shè)置的濾光器的角度。為了解決上述問題，實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的光模塊，包括連接光纖的殼體；安
3裝在殼體上、分別搭載光學(xué)元件的多個封裝；以及在殼體內(nèi)收存的光學(xué)系統(tǒng)，光學(xué)元件分別 通過光學(xué)系統(tǒng)與光纖光學(xué)結(jié)合，其特征在于在至少一個光學(xué)元件與光學(xué)系統(tǒng)之間設(shè)置濾 光器；濾光器由封裝支撐；在殼體和封裝之間配置在殼體上設(shè)置的固定夾具、和在封裝上 設(shè)置且與固定夾具組合的可動夾具，固定夾具和可動夾具的相對且對頂?shù)亩嗣娴男螤钍乔?面的一部分，通過使可動夾具沿端面移動，能夠改變角度地由殼體支撐封裝。根據(jù)本發(fā)明，由于是具有分別搭載光學(xué)元件的多個封裝的光模塊，由封裝支撐，在 殼體和封裝之間配置在殼體上設(shè)置的固定夾具、和在封裝上設(shè)置且與固定夾具組合的可動 夾具，固定夾具和可動夾具的相對且對頂?shù)亩嗣娴男螤钍乔蛎娴囊徊糠?，通過使可動夾具 沿端面移動，能夠改變角度地由殼體支撐封裝，所以具有能夠不對其它光學(xué)元件的光學(xué)調(diào) 整產(chǎn)生任何影響而容易地調(diào)整在朝向特定的光學(xué)元件的光路中設(shè)置的濾光器的角度的效^ O


圖1是根據(jù)本發(fā)明的光模塊的實(shí)施方式1的一部分的分解立體圖。圖2是根據(jù)本發(fā)明的光模塊的實(shí)施方式1的縱剖面圖。圖3是封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具的正面圖。圖4是封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具的側(cè)面圖。圖5是沿圖3的D-D'線的剖面圖。圖6是殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具的正面圖。圖7是殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具的側(cè)面圖。圖8是沿圖6的E-E'線的剖面圖。圖9是用來說明改變第一光電二極管封裝相對于殼體的安裝角度的樣子的圖，是 角度變更前的狀態(tài)的局部剖面圖。圖10是用來說明改變第一光電二極管封裝相對于殼體的安裝角度的樣子的圖， 是角度變更后的狀態(tài)的局部剖面圖。圖11是根據(jù)本發(fā)明的光模塊的實(shí)施方式2的縱剖面圖。圖12是示出濾光器的透射損失的曲線圖的圖。(附圖標(biāo)記說明)1 殼體；la、lb、lc、ld 安裝穴；2 光纖；3 第一光電二極管封裝；4 第二光電二 極管封裝；5 激光二極管封裝；6 反射鏡夾具；7、8 反射鏡；9 濾光器；10 光纖套圈；11 封裝側(cè)滑動夾具12 殼體側(cè)滑動夾具；13 粘接劑；16 過濾器蓋；17 封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具 (可動夾具)；18 殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具(固定夾具)；19 過濾器透鏡蓋；31、41、51 主干；32、 42 光電二極管(光學(xué)元件)；33,43,53 引線管腳；34 ；44 ；54 透鏡蓋；35 ；45 ；55 透鏡； 52 激光二極管(光學(xué)元件)；101、102 光模塊
具體實(shí)施例方式下面，基于附圖詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明的光模塊的實(shí)施方式。另外，本發(fā)明不受該實(shí) 施方式的限制。(實(shí)施方式1)
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圖1是根據(jù)本發(fā)明的光模塊的實(shí)施方式1的一部分的分解立體圖。圖2是根據(jù)本 發(fā)明的光模塊的實(shí)施方式1的縱剖面圖。圖1和圖2中，本實(shí)施方式的光模塊101具有連 接了光纖2的殼體1 ；以及安裝在該殼體1上并搭載各光學(xué)元件的三個TO型金屬CAN封裝 即TO-CAN封裝。另外，TO-CAN封裝是把元件收存在稱為金屬CAN的罐狀金屬內(nèi)的器件。具體地說，三個TO-CAN封裝是搭載作為光學(xué)元件的接收用的光電二極管(以下 稱為PD) 32的第一光電二極管封裝(以下稱為第一 PD封裝)3、搭載作為光學(xué)元件的同樣地 接收用的光電二極管(以下稱為PD) 42的第二光電二極管封裝(以下稱為第二 PD封裝)4、 以及搭載作為光學(xué)元件的發(fā)送用的激光二極管(以下稱為LD) 52的激光二極管封裝(以下 稱為LD封裝)5。殼體1的內(nèi)部形成空洞，收存構(gòu)成光學(xué)系統(tǒng)的平板狀的兩片反射鏡7、8。反射鏡7 和反射鏡8，以主面相互成90度的方式，被配設(shè)在殼體1的大致中央的反射鏡夾具6支撐。 在殼體1上，以反射鏡7、8為中心，每隔大致90度開設(shè)四個安裝穴Ia Id。然后，把光纖 2和三個封裝3、4、5分別安裝在該安裝穴Ia Id中。光纖2與殼體1連接，使得其在纜線 端上設(shè)置的凸緣部與殼體1外表面抵接，且在前端設(shè)置的光纖套圈10插入安裝穴Ia中。第一 PD封裝3具有搭載PD 32的主干31 ；與PD 32電氣連接并貫通主干31延 伸到外部的引線管腳33;在從反射鏡7到PD 32的光路上緊靠著PD 32配置來會聚光的透 鏡35 ；以及形成為大致有底圓筒罐狀、覆蓋PD 32而在內(nèi)部形成密閉空間并且支撐透鏡35 的透鏡蓋34。另外，從外部通過引線管腳33向PD 32施加偏壓。本實(shí)施方式的第一 PD封裝3還具有在從反射鏡7到透鏡35的光路上配置的濾 光器9 ；以及形成比透鏡蓋34大的有底圓筒狀、與透鏡蓋34同軸地重疊配置、且支撐濾光 器9的過濾器蓋16。用例如粘接劑把濾光器9對準(zhǔn)固定到在過濾器蓋16的底部開設(shè)的穴 中。利用凸焊焊接或YAG焊接固定過濾器蓋16，使得在其開口緣部形成的凸緣部與透鏡蓋 34重疊。濾光器9配置成與從反射鏡7到透鏡35的光路垂直，被反射鏡7反射的光以直角 入射到濾光器9(圖2中角度B)。另外，在第一 PD封裝3與殼體1之間，設(shè)置可以改變第一 PD封裝3相對于殼體1 的安裝角度的安裝角可變單元。該安裝角可變單元由以下部件構(gòu)成利用YAG焊接固定在 殼體1的安裝穴周圍的環(huán)狀的殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具(固定夾具)18;以及利用YAG焊接固定在 過濾器蓋16的外周面上的圓筒狀的封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具(可動夾具)17。圖3是封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具17的正面圖。圖4是封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具17的側(cè)面圖。圖5 是沿圖3的D-D'線的剖面圖。圖6是殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具18的正面圖。圖7是殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾 具18的側(cè)面圖。圖8是沿圖6的E-E'線的剖面圖。圖9和圖10是用來說明改變第一 PD 封裝3相對于殼體1的安裝角度的樣子的圖，圖9是角度變更前的狀態(tài)的局部剖面圖，圖10 是角度變更后的狀態(tài)的局部剖面圖。在圖3 圖10中，殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具18和封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具17的相對且對頂?shù)亩嗣?的形狀是球面的一部分，封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具17通過沿端面擺動，能夠改變角度地由殼體1支 撐第一 PD封裝3。即，在圓筒狀的封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具17的一側(cè)的開口緣部外側(cè)形成與殼體側(cè) 旋轉(zhuǎn)夾具18對頂?shù)亩嗣?開口緣部外側(cè))17a，而在形成環(huán)狀的殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具18的內(nèi)周 形成與封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具17對頂?shù)亩嗣?內(nèi)周面)18a,端面17a是向外側(cè)凸出的球面F的一 部分，端面18a是向內(nèi)側(cè)凹入的球面F的一部分，兩端面17a、18a可以在球面F上滑動(圖9、10)。由此，可以改變第一 PD封裝3相對于殼體1的安裝角度?；氐綀D2，第二 PD封裝4形成與第一 PD封裝3大致相同的形狀，具有搭載PD 42 的主干41 ；與PD 42電氣連接并貫通主干41延伸到外部的引線管腳43 ；在從反射鏡8到PD 42的光路上配置的透鏡45 ；以及形成為大致有底圓筒罐狀、覆蓋PD 42而在內(nèi)部形成密閉 空間并且支撐透鏡45的透鏡蓋44。另外，從外部通過引線管腳43向PD 42施加偏壓。對 第二 PD封裝4進(jìn)行位置調(diào)整并用粘接劑13將其固定在殼體1的安裝穴Ic中。另外，LD封裝5具有搭載LD 52的主干51 ；與LD 52電氣連接并貫通主干51而 延伸到外部的引線管腳53 ；在從反射鏡8到LD 52的光路上配置的透鏡55 ；以及形成為大 致有底圓筒罐狀、覆蓋LD 52而在內(nèi)部形成密閉空間并且支撐透鏡55的透鏡蓋54。在LD封裝5與殼體1之間，設(shè)置可以使LD封裝5相對于殼體1在軸方向(光軸 方向)上移動可變的安裝位置可變單元。該安裝位置可變單元由以下部件構(gòu)成通過焊接 固定在殼體1的安裝位置上的圓筒狀的殼體側(cè)滑動夾具12 ；以及圍繞LD封裝5的外周設(shè)置 的圓筒狀的封裝側(cè)滑動夾具11。封裝側(cè)滑動夾具11嵌入殼體側(cè)滑動夾具12內(nèi)，封裝側(cè)滑 動夾具11的外周面可滑動地與殼體側(cè)滑動夾具12的內(nèi)周面相接，通過使封裝側(cè)滑動夾具 11沿殼體側(cè)滑動夾具12的內(nèi)周面滑動，在軸方向上可以移動地由殼體1支撐LD封裝5。另外，本實(shí)施方式的第一 PD封裝3，利用上述封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具17和殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾 具18的作用，可以沿球面改變安裝角度，但也可以例如，像封裝側(cè)滑動夾具11和殼體側(cè)滑 動夾具12之間那樣，在封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具17和過濾器蓋16之間可以滑動，進(jìn)而可以使安裝 位置在軸方向上移動。下面，說明動作。從光纖2入射的光，如圖2中單點(diǎn)劃線C所示，被反射鏡7反射， 向PD元件32入射。另外，透過反射鏡7并被反射鏡8反射的光向PD元件42入射。另一 方面，從LD 52出射的光透過反射鏡8和反射鏡7，向光纖2入射。被反射鏡7反射的光，通過濾光器9而被透鏡35會聚，向PD元件32入射。然后， 在PD元件32中被光電變換，向引線管腳33輸出。此時，濾光器9配置在連結(jié)透鏡35和PD 元件32的光軸的延長線上。因此，向PD元件32入射的光必須通過濾光器9。如圖9和圖 10所示，封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具17和殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具18的相對且對頂?shù)亩嗣娴男螤钍乔蛎鍲的 一部分，第一 PD封裝3可以沿球面F以任意的角度搖動。因此，即使有反射鏡7的安裝傾 角或光纖2的安裝傾角等，也可以容易地調(diào)整以使得光向?yàn)V光器9垂直入射。下面，說明光模塊101的安裝順序。首先，在反射鏡夾具6上用粘接劑(未圖示) 等安裝反射鏡7和反射鏡8。然后，把光纖2安裝到殼體1上。只要在安裝到殼體上后位置 不會隨溫度變化等變化，對于向殼體1安裝的手段就沒有特別限制，但一般地是在殼體1與 光纖2的凸緣部之間進(jìn)行YAG焊接。在把光纖2和反射鏡7、8固定到殼體1上的狀態(tài)下， 用封裝側(cè)滑動夾具(以下稱“夾具”)11和殼體側(cè)滑動夾具(以下稱“夾具”)12把LD封裝 5安裝到殼體1上。作為使用了透鏡55的LD 52與光纖套圈10之間的光學(xué)系統(tǒng)，一般是 約4倍左右的倍率。因此，LD封裝5相對于光纖套圈10的位置精度要求嚴(yán)格，用YAG焊接 把夾具11、12相互固定。首先，用凸焊焊接等固定LD封裝5和夾具11。然后，向LD封裝5 施加適當(dāng)?shù)钠秒娏?，使LD 52發(fā)光，在此基礎(chǔ)上，調(diào)整LD封裝5的位置，使其位于從光纖 2出射的光的水平成為最佳的位置。即，是對于光軸垂直方向成為最大、對于與光軸平行的 方向成為合適的光輸出的位置。在該位置上用YAG焊接把夾具11、12之間貫通固定。在此
6基礎(chǔ)上，在光軸垂直方向上進(jìn)一步調(diào)整成使來自光纖2的光輸出成為最大的位置，用YAG焊 接把夾具12與殼體1之間固定。然后，用封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具(以下稱“夾具”)17、殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具(以下稱“夾具”)18 和過濾器蓋16固定第一 PD封裝3。首先，用粘接劑等把濾光器9固定在過濾器蓋16上， 把該過濾器蓋16覆蓋在第一 PD封裝3的透鏡蓋34上，并通過YAG焊接固定。然后用夾具 17、18把第一 PD封裝3固定到殼體1上。此時，利用光纖2入射光，并進(jìn)行位置調(diào)整。此 時，光的波長是濾光器9的透射特性內(nèi)對入射角度依賴性大的波長。在圖12所示的曲線圖 中選擇1561nm附近的波長。在該波長下，透射損失隨濾光器9的入射角度變化大。進(jìn)行如 下調(diào)整把夾具17和夾具18的角度設(shè)定成預(yù)定的角度，在此基礎(chǔ)上調(diào)整第一 PD封裝3的 位置，使其處于PD 32的光接收靈敏度成為最高的位置。然后，把夾具17、18間的角度再次設(shè)定成與上述不同的角度，同樣地調(diào)整第一 PD 封裝3的位置以使得光接收靈敏度成為最高。重復(fù)多次該操作，找出光接收靈敏度最大的 角度和位置，即透射損失成為最小的條件。然后，在確定了最終的旋轉(zhuǎn)夾具17、18間的角度 的情況下，在第一 PD封裝3的光接收靈敏度成為最高的位置再次通過YAG焊接固定。最后 固定第二 PD封裝4。由于第二 PD封裝4上搭載的PD 42的光接收直徑大，所以與LD封裝5和第一 PD 封裝3不同，即使用粘接劑固定也足夠了。第二 PD封裝4，從光纖2輸入光，一邊調(diào)整到光 接收靈敏度成為最高的位置一邊用紫外線硬化粘接劑等固定。像以上那樣，根據(jù)本實(shí)施方式的光模塊101，由于第一 PD封裝3，用過濾器蓋16支 撐濾光器9，利用夾具17和夾具18相對于殼體1沿球面可以搖動地被支撐，所以可以容易 地修正向?yàn)V光器9入射光的入射角度，可以獲得最佳的透射特性。另外，本實(shí)施方式的濾光器9通過過濾器蓋16由第一 PD封裝3支撐，但并不限于 過濾器蓋16，也可以利用別的形狀的例如支柱等由第一 PD封裝3支撐。另外，根據(jù)本實(shí)施方式的光模塊101，利用作為安裝角可變單元的殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具 18和封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具17，相對于殼體1沿球面可以搖動地支撐第一 PD封裝3，但也可以利 用同樣的安裝角可變單元相對于殼體1沿球面可以搖動地支撐第二 PD封裝4和LD封裝5。(實(shí)施方式2)圖11是根據(jù)本發(fā)明的光模塊的實(shí)施方式2的縱剖面圖。本實(shí)施方式的目的在于 對實(shí)施方式1的光模塊減少部件數(shù)目、削減成本。根據(jù)本實(shí)施方式的光模塊102，在第一 PD 封裝3中，過濾器透鏡蓋19形成底部有一定厚度的有底圓筒狀，透鏡35配設(shè)在貫通一定厚 度的底部的貫通穴的內(nèi)部，濾光器9固定在貫通穴的開口端。即，在本實(shí)施方式中，利用一 個支撐部件即過濾器透鏡蓋19兼用地支撐透鏡35和濾光器9。另外，把封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具 17焊接固定在過濾器透鏡蓋19的外周面上。其它的構(gòu)成與實(shí)施方式1相同。本實(shí)施方式的第一 PD封裝3，與實(shí)施方式1的第一 PD封裝3同樣地，也是TO型金 屬CAN封裝，過濾器透鏡蓋19構(gòu)成該TO型金屬CAN封裝的外殼。根據(jù)本實(shí)施方式的光模塊102，由于利用一個支撐部件兼用地支撐透鏡35和濾光 器9，所以可以減少部件數(shù)目、削減成本。另外，本實(shí)施方式中，透鏡35和濾光器9由過濾器 透鏡蓋19支撐，但并不限于過濾器透鏡蓋19，也可以利用別的形狀的例如支柱等由第一PD 封裝3支撐。
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(產(chǎn)業(yè)上的可利用性)像以上那樣，根據(jù)本發(fā)明的光模塊，對于搭載多個光學(xué)元件并把各光學(xué)元件與光 纖光學(xué)結(jié)合的光模塊是有用的，尤其適合把各光學(xué)元件分別封裝化的光模塊。
權(quán)利要求
一種光模塊，包括連接有光纖的殼體；安裝在上述殼體上、分別搭載光學(xué)元件的多個封裝；以及在上述殼體內(nèi)收存的光學(xué)系統(tǒng)，上述光學(xué)元件分別通過上述光學(xué)系統(tǒng)與上述光纖光學(xué)結(jié)合，其特征在于在至少一個上述光學(xué)元件與上述光學(xué)系統(tǒng)之間設(shè)置濾光器；上述濾光器被上述封裝支撐；在上述殼體和上述封裝之間配置在上述殼體上設(shè)置的固定夾具、和在上述封裝上設(shè)置且與上述固定夾具組合的可動夾具，上述固定夾具和上述可動夾具的相對且對頂?shù)亩嗣娴男螤钍乔蛎娴囊徊糠郑ㄟ^使上述可動夾具沿上述端面移動，能夠改變角度地由上述殼體支撐上述封裝。
2.如權(quán)利要求1所述的光模塊，其特征在于 上述封裝分別緊挨著上述光學(xué)元件具有會聚光的透鏡， 利用一個支撐部件支撐上述濾光器和上述透鏡。
3.如權(quán)利要求2所述的光模塊，其特征在于上述封裝是TO型金屬CAN封裝，上述支撐部件構(gòu)成上述TO型金屬CAN封裝的外殼。
4.如權(quán)利要求1所述的光模塊，其特征在于上述光學(xué)系統(tǒng)包含反射鏡，上述濾光器透過被上述反射鏡反射的光。
5.如權(quán)利要求1所述的光模塊，其特征在于上述光學(xué)元件是通過上述光學(xué)系統(tǒng)入射來自上述光纖的光的光電二極管。
6.如權(quán)利要求1所述的光模塊，其特征在于上述光學(xué)元件是通過上述光學(xué)系統(tǒng)向上述光纖出射光的激光二極管。
全文摘要
提供一種光模塊，可以容易地調(diào)整在朝向特定的光學(xué)元件的光路中設(shè)置的濾光器的角度。在光電二極管(32)與反射鏡(7)之間設(shè)置濾光器(9)，濾光器(9)被第一光電二極管封裝(3)支撐，在殼體(1)和封裝(3)之間配置殼體側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具(18)和封裝側(cè)旋轉(zhuǎn)夾具(17)，夾具(18)和夾具(17)的相對且對頂?shù)亩嗣?17a、18a)的形狀是球面的一部分，通過使夾具(17)沿端面(18a)移動，能夠改變角度地由殼體(1)支撐封裝(3)。
文檔編號G02B6/42GK101937118SQ20091022499
公開日2011年1月5日 申請日期2009年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月29日
發(fā)明者大畠伸夫, 有賀博 申請人:三菱電機(jī)株式會社