專利名稱：一種金屬鹵素曝光燈的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電子網(wǎng)板制造中曝光機(jī)用金屬鹵素曝光燈。
背景技術(shù)：
對(duì)于制造電子網(wǎng)板曝光機(jī)用金屬鹵素曝光燈，目前國(guó)內(nèi)處于空白狀態(tài)，國(guó)際上也只有荷蘭Calmat公司能設(shè)計(jì)生產(chǎn)，型號(hào)為SBL_8T。國(guó)內(nèi)制造電子網(wǎng)板曝光機(jī)用曝光燈，目前主要從荷蘭Calmat公司進(jìn)口 。但荷蘭Calmat公司生產(chǎn)的SBL-8T曝光燈，存在反光膜對(duì)所需波長(zhǎng)的紫外線反射率低、反射功率小、反光膜耐高溫性能差、性能不穩(wěn)定、工作中燈芯易熄弧等技術(shù)問(wèn)題，影響電子網(wǎng)板的制造質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容為克服現(xiàn)有進(jìn)口金屬鹵素曝光燈存在的技術(shù)不足，本實(shí)用新型提供一種金屬鹵素曝光燈，該金屬鹵素曝光燈，不僅解決了進(jìn)口金屬鹵素曝光燈在技術(shù)上存在的不足問(wèn)題，而且在技術(shù)性能上比進(jìn)口金屬鹵素曝光燈有了大幅度提高。 本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是珍珠屏燈罩和燈錐結(jié)合處，經(jīng)熔焊后組成金屬鹵素曝光燈外殼，內(nèi)部充入氮?dú)?；在燈錐內(nèi)壁上涂有一層特殊的紫外線反光膜；在燈錐尾部，兩電源接片、金屬帽、支架分別依次連接，將外部電源引入金屬鹵素曝光燈外殼內(nèi)；與支架相連的兩鉬桿，與鉬片、釷鎢電極依次連接組成燈芯兩放電極；燈芯內(nèi)充入金屬鹵化物。當(dāng)兩電源接片接入電源，燈芯兩放電極，因受電壓作用擊穿金屬鹵化物而放電，燈芯將發(fā)出波長(zhǎng)從300 1000nm的各種波長(zhǎng)的紫外線光。又因受燈錐紫外線反光膜對(duì)不同波長(zhǎng)紫外線光反射的特殊選擇作用波長(zhǎng)320 350nm、420 450nm的紫外線光將有90%以上被反射回去；波長(zhǎng)350 420nm的紫外線光將幾乎100%的被反射回去；而波長(zhǎng)450 1000nm的紫外線光則只有不到30%被反射回去。而波長(zhǎng)320 450nm的紫外線光，正是電子網(wǎng)板制造過(guò)程中所需要的紫外線光。 其中所述在燈錐內(nèi)壁上涂有一層特殊的紫外線反光膜，其對(duì)波長(zhǎng)350 420nm的紫外線光透過(guò)率接近零；對(duì)波長(zhǎng)320 350nm、420 450nm的紫外線光透過(guò)率小于10% ;而對(duì)波長(zhǎng)450 1000nm的紫外線光透過(guò)率高于70%。 所述燈芯內(nèi)充入金屬鹵化物，其成分含K85氣體、碘化鐵、碘化鎵、碘化銦和水銀。[0007] 本發(fā)明的有益效果是反光膜對(duì)所需波長(zhǎng)的紫外線光反射率高、輸出功率大；反射膜附著率強(qiáng)、耐高溫性能好而且穩(wěn)定、工作可靠；工作中燈芯不熄弧。

下面結(jié)合圖1和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。[0009] 圖1為本實(shí)用新型縱剖面結(jié)構(gòu)圖。 圖中1.珍珠屏燈罩，2.支架，3.鉬片，4.釷鎢電極，5.金屬鹵化物，6.鉬桿，7.燈錐，8.電源接片，9.金屬帽，IO.反光膜，ll.氮?dú)狻?br> 具體實(shí)施方式
下面參閱圖l所示實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作進(jìn)一步說(shuō)明。珍珠屏燈罩(1) 和燈錐(7)結(jié)合處經(jīng)熔焊組成金屬鹵素曝光燈外殼，內(nèi)部充入氮?dú)?11);在燈錐(7)內(nèi)壁 上涂有一層特殊紫外線反光膜(10)，其對(duì)波長(zhǎng)350 420nm的紫外線光透過(guò)率接近零；對(duì) 波長(zhǎng)320 350nm、420 450nm的紫外線光透過(guò)率小于10% ;而對(duì)波長(zhǎng)450 lOOOnm的 紫外線光透過(guò)率高于70%;在燈錐尾部，兩電源接片(8)、金屬帽(9)、支架(2)分別依次連 接，作為電源引線，將外部電源引入金屬鹵素曝光燈外殼內(nèi)；與支架(2)相連的兩鉬桿(6)， 與鉬片(3)、釷鎢電極(4)依次連接組成燈芯兩放電極；燈芯內(nèi)充入金屬鹵化物，其由K85 氣體、碘化鐵、碘化鎵、碘化銦和水銀組成。
權(quán)利要求一種金屬鹵素曝光燈，其特征是珍珠屏燈罩和燈錐結(jié)合處，經(jīng)熔焊后組成金屬鹵素曝光燈外殼，內(nèi)部充入氮?dú)?；在燈錐內(nèi)壁上涂有一層紫外線反光膜；在燈錐尾部，兩電源接片、金屬帽、支架分別依次連接；與支架相連的兩鉬桿，與鉬片、釷鎢電極依次連接組成燈芯兩放電極，燈芯內(nèi)充入金屬鹵化物。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬鹵素曝光燈，其特征是所述在燈錐內(nèi)壁上涂有一 層紫外線反光膜，其對(duì)波長(zhǎng)350 420nm的紫外線光透過(guò)率接近零；對(duì)波長(zhǎng)320 350nm、 420 450nm的紫外線透過(guò)率小于10% ;而對(duì)波長(zhǎng)450 1000nm的紫外線光透過(guò)率高于 70%。
專利摘要一種用于電子網(wǎng)板制造過(guò)程中曝光機(jī)用的金屬鹵素曝光燈，由珍珠屏燈罩和燈錐組成曝光燈外殼，內(nèi)部充入氮?dú)?；在燈錐內(nèi)壁上涂有一層對(duì)不同波長(zhǎng)紫外線光反射有不同選擇作用的特殊紫外線反光膜；在燈錐尾部，兩電源接片、金屬帽、支架分別依次連接，將外部電源引入曝光燈外殼內(nèi)；與支架相連的兩鉬桿，與鉬片、釷鎢電極依次連接組成燈芯兩放電極；燈芯內(nèi)充入金屬鹵素物。該金屬鹵素曝光燈對(duì)波長(zhǎng)為320～450nm的紫外線光反射率高、輸出功率大；反光膜附著率強(qiáng)、耐高溫性能好，性能穩(wěn)定、工作可靠；工作中燈芯不熄弧。
文檔編號(hào)G03F7/20GK201449984SQ200920035538
公開(kāi)日2010年5月5日 申請(qǐng)日期2009年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月13日
發(fā)明者曹福清 申請(qǐng)人:通州市亞太顏料有限公司