專(zhuān)利名稱(chēng)：基板載臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種平板顯示器的生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備，特別是一種基板載臺(tái)。
背景技術(shù)：
液晶顯示器(Liquid Crystal Display,簡(jiǎn)稱(chēng)LCD)是目前主流的平板顯示裝置，由 于LCD體積小、結(jié)構(gòu)緊湊，因此其生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備要求具有較高的可靠性和控制精度。 目前，現(xiàn)有LCD生產(chǎn)和檢測(cè)中使用的基板載臺(tái)通常包括臺(tái)板和水平調(diào)節(jié)裝置，水 平調(diào)節(jié)裝置用于臺(tái)板的水平調(diào)節(jié)?，F(xiàn)有的水平調(diào)節(jié)裝置主要包括減震器和氣壓調(diào)節(jié)閥，其 中減震器固定在臺(tái)板上，而氣壓調(diào)節(jié)閥則采用機(jī)械原理起到控制調(diào)節(jié)作用。例如，如果臺(tái)板 的某一側(cè)下沉，下沉的一側(cè)會(huì)壓在其下方設(shè)置的氣壓調(diào)節(jié)閥的開(kāi)關(guān)上，并將氣壓調(diào)節(jié)閥打 開(kāi)，大量的高壓氣體沖入減震器，使減震器上升；當(dāng)臺(tái)板的某一側(cè)過(guò)高時(shí)，則引起氣壓調(diào)節(jié) 閥放氣，直到氣壓達(dá)到平衡狀態(tài)時(shí)氣壓調(diào)節(jié)閥關(guān)閉，這時(shí)減震器會(huì)停留在該高度，從而實(shí)現(xiàn) 對(duì)臺(tái)板水平姿態(tài)的調(diào)節(jié)。 實(shí)際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有這種結(jié)構(gòu)形式的水平調(diào)節(jié)裝置存在以下技術(shù)缺陷 (1)由于氣壓調(diào)節(jié)閥采用機(jī)械原理控制氣體的充放，因此反應(yīng)速度慢，調(diào)節(jié)不靈
敏，控制精度低； (2)長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行導(dǎo)致氣壓調(diào)節(jié)閥的機(jī)械結(jié)構(gòu)磨損，氣壓調(diào)節(jié)閥很容易失去調(diào)節(jié)氣 壓平衡的能力，或者導(dǎo)致其失去充氣的功能，或者導(dǎo)致減震器一直進(jìn)氣不放氣，最終導(dǎo)致臺(tái) 板過(guò)高或過(guò)低，甚至使臺(tái)板失去水平，出現(xiàn)設(shè)備故障，使生產(chǎn)停滯； (3)氣壓調(diào)節(jié)閥工作壽命短，需要頻繁更換，維護(hù)成本高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種基板載臺(tái)，不僅具有較高的反應(yīng)速度和控制精度， 而且具有無(wú)損耗的優(yōu)點(diǎn)。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種基板載臺(tái)，包括臺(tái)板、用于監(jiān)測(cè)臺(tái)板姿 態(tài)變化的姿態(tài)傳感裝置和調(diào)整臺(tái)板姿態(tài)的姿態(tài)控制裝置，所述姿態(tài)傳感裝置包括液體水平 器和液位傳感器，所述液體水平器內(nèi)裝設(shè)有導(dǎo)電液體，根據(jù)所述導(dǎo)電液體的液面變化發(fā)送 控制信號(hào)的液位傳感器設(shè)置在所述液體水平器上。 所述液體水平器設(shè)置在所述臺(tái)板的下方，并位于所述臺(tái)板的中心線(xiàn)上。 所述液體水平器為下端通過(guò)圓環(huán)相互連通的兩個(gè)U形管，兩個(gè)U形管的四個(gè)上端
部分別位于臺(tái)板的四個(gè)角部。所述液位傳感器設(shè)置在所述U形管的上端部，并位于液面的
上方，或位于液面的下方，或分別位于液面的上方和下方。進(jìn)一步地，所述U形管為有機(jī)玻
璃制品。所述U形管的端部還設(shè)置有刻度。所述U形管的直徑為8mm 12mm。所述導(dǎo)電液
體為鹽水。 在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述姿態(tài)控制裝置連接在所述臺(tái)板的角部，包括減震器 和控制器，所述減震器設(shè)置有與所述控制器連接的進(jìn)氣閥門(mén)和出氣閥門(mén)，所述控制器與液位傳感器連接。所述臺(tái)板下還設(shè)置有限位開(kāi)關(guān)。 本實(shí)用新型提供了一種基板載臺(tái)，通過(guò)設(shè)置監(jiān)測(cè)臺(tái)板姿態(tài)變化的姿態(tài)傳感裝置， 且姿態(tài)傳感裝置利用了連通器原理和液體導(dǎo)電原理， 一方面具有反應(yīng)速度快，調(diào)節(jié)靈敏，控 制精度高等優(yōu)點(diǎn)，另一方面避免了工作中的磨損，不僅減少了設(shè)備故障，而且提高了工作壽 命，降低了生產(chǎn)成本。此外，本實(shí)用新型姿態(tài)傳感裝置相對(duì)獨(dú)立，可以便利地實(shí)現(xiàn)與臺(tái)板的 組合和分解。

圖1為本實(shí)用新型基板載臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實(shí)用新型姿態(tài)傳感裝置一種實(shí)施結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明 l-臺(tái)板； 2-姿態(tài)控制裝置； 3-支柱； 4-姿態(tài)傳感裝置；5-限位開(kāi)關(guān)； 21-減震器； 22-控制器； 41-液體水平器； 42-液位傳感器。
具體實(shí)施方式下面通過(guò)附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。 圖1為本實(shí)用新型基板載臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本實(shí)用新型基板載臺(tái)的 主體結(jié)構(gòu)包括臺(tái)板1、姿態(tài)控制裝置2、支柱3和姿態(tài)傳感裝置4，其中姿態(tài)傳感裝置4設(shè)置 在臺(tái)板1的中部，用于監(jiān)測(cè)臺(tái)板1的姿態(tài)變化，并在臺(tái)板1姿態(tài)變化時(shí)輸出控制信號(hào)；4個(gè) 姿態(tài)控制裝置2分別固定連接在臺(tái)板1的角部，用于根據(jù)姿態(tài)傳感裝置4發(fā)送的控制信號(hào) 通過(guò)上升或下降調(diào)整臺(tái)板1的姿態(tài)，最終將臺(tái)板1調(diào)整成水平狀態(tài)；4個(gè)支柱3的下端固定 在地面上，上端與姿態(tài)控制裝置2連接，用于通過(guò)姿態(tài)控制裝置2支撐臺(tái)板1。本實(shí)用新型 姿態(tài)傳感裝置4是一種利用連通器原理和液體導(dǎo)電原理實(shí)現(xiàn)臺(tái)板姿態(tài)變化監(jiān)測(cè)的裝置，當(dāng) 臺(tái)板1偏離水平狀態(tài)或從偏離狀態(tài)回到水平狀態(tài)時(shí)輸出控制信號(hào)。具體地，本實(shí)用新型姿 態(tài)傳感裝置4包括液體水平器41和液位傳感器42，作為姿態(tài)傳感元件的液體水平器41設(shè) 置在臺(tái)板l的下方，其內(nèi)裝設(shè)有導(dǎo)電液體，作為姿態(tài)控制元件的液位傳感器42設(shè)置在液體 水平器41上，由于導(dǎo)電液體的液面與液位傳感器42之間的距離隨臺(tái)板1姿態(tài)的變化而變 化，因此液位傳感器42可以根據(jù)導(dǎo)電液體的液面變化發(fā)送控制信號(hào)，實(shí)現(xiàn)臺(tái)板1姿態(tài)變化 的監(jiān)測(cè)。 圖2為本實(shí)用新型姿態(tài)傳感裝置一種實(shí)施結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本實(shí) 施結(jié)構(gòu)的液體水平器41由兩個(gè)U形管構(gòu)成，兩個(gè)U形管的下端通過(guò)一個(gè)圓環(huán)使兩個(gè)U型管 相互垂直連通，其內(nèi)裝設(shè)導(dǎo)電液體，形成凹形結(jié)構(gòu)的液體容器。使用中，液體水平器41設(shè) 置在臺(tái)板1的中心線(xiàn)上，兩個(gè)U形管的四個(gè)上端部分別位于臺(tái)板1的四個(gè)角部。液體水平 器41的尺寸和體積可根據(jù)臺(tái)板大小和設(shè)備空間而定，考慮到導(dǎo)電液體的流動(dòng)特性，可以設(shè) 置U形管的直徑為8mm 12mm，優(yōu)選地，U形管的直徑為10mm。四個(gè)液位傳感器42分別設(shè) 置在U型管的端部，位于液面的上方，在液體水平器41水平放置狀態(tài)下，兩個(gè)U形管四個(gè)上 端部的液面處于一個(gè)水平面內(nèi)，四個(gè)液位傳感器42也處于一個(gè)平面內(nèi)，分別位于液面的上 方。實(shí)際使用中，液位傳感器42與導(dǎo)電液體液面的距離可根據(jù)設(shè)備靈敏度要求而定，當(dāng)然，初始設(shè)計(jì)時(shí)液位傳感器42與液面的距離越小，本實(shí)用新型的控制精度越高。由于U形管 內(nèi)裝設(shè)的導(dǎo)電液體的液面永遠(yuǎn)處于一個(gè)水平面內(nèi)，且導(dǎo)電液體流動(dòng)性好，因此每個(gè)管內(nèi)導(dǎo) 電液體的液面可以隨時(shí)反映臺(tái)板姿態(tài)的變化，大大提高了感受臺(tái)板姿態(tài)變化的速度和靈敏度。 需要說(shuō)明的是，圖2所示的實(shí)施結(jié)構(gòu)只是一種典型的實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)可以避免 姿態(tài)傳感裝置中的導(dǎo)電液體在設(shè)備震動(dòng)狀態(tài)下產(chǎn)生劇烈的晃動(dòng)。實(shí)際使用中，本實(shí)用新型 姿態(tài)傳感裝置還可以設(shè)置成多種結(jié)構(gòu)形式或通過(guò)多種技術(shù)手段實(shí)現(xiàn)。例如，U型管可以采 用V型管替代，圓環(huán)可以采用筒狀體替代等等。此外，U型管可以采用有機(jī)玻璃制品或其它 透明材料制作，為方便人為觀(guān)察，U型管的上端部還可以設(shè)置刻度，導(dǎo)電液體可以采用鹽水。 由于三點(diǎn)確定一個(gè)平面的原理，所以本實(shí)用新型的液體水平器最少包括三根管，可以采用 多種方式將液體水平器固定在臺(tái)板的下方。 本實(shí)用新型的臺(tái)板1為矩形體，臺(tái)板1的四個(gè)角部分別與姿態(tài)控制裝置2連接。姿 態(tài)控制裝置2實(shí)際上是一種設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口的減震器21 ，進(jìn)氣口設(shè)置有進(jìn)氣閥門(mén)， 出氣口設(shè)置有出氣閥門(mén)，進(jìn)氣閥門(mén)與出氣閥門(mén)均由控制器22控制，同時(shí)控制器22與每個(gè)液 位傳感器42連接。實(shí)際應(yīng)用中，控制進(jìn)氣閥門(mén)的控制器可以采用電磁控制電路，控制出氣 閥門(mén)的控制器可以采用機(jī)械控制裝置，由于電磁控制電路和機(jī)械控制裝置已廣為本領(lǐng)域技 術(shù)人員所熟知，這里不再贅述。由于本實(shí)用新型姿態(tài)控制裝置的工作由控制信號(hào)驅(qū)動(dòng)，因此 不僅可以實(shí)現(xiàn)快速、靈敏和高精度的臺(tái)板姿態(tài)調(diào)節(jié)，而且無(wú)損耗，延長(zhǎng)了工作壽命。 下面通過(guò)本實(shí)用新型基板載臺(tái)的工作過(guò)程進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。當(dāng)臺(tái)板 的某個(gè)角部下降時(shí)，由于U形管內(nèi)裝設(shè)的導(dǎo)電液體的液面永遠(yuǎn)處于一個(gè)水平面內(nèi)，因此在 角部下降位置處，導(dǎo)電液體的液面與液位傳感器之間的距離減小。當(dāng)臺(tái)板偏離水平狀態(tài)一 定程度時(shí)，液位傳感器與導(dǎo)電液體接觸，液位傳感器中的水位開(kāi)關(guān)接通，向姿態(tài)控制裝置中 的控制器發(fā)送開(kāi)始充氣的控制信號(hào)。接收到充氣控制信號(hào)的控制器打開(kāi)減震器的進(jìn)氣閥 門(mén)，氣體進(jìn)入減震器后減震器提升，該角部升高，使角部所在位置的液面具有離開(kāi)液位傳感 器的趨勢(shì)。當(dāng)液面離開(kāi)液位傳感器時(shí)，液位傳感器中的水位開(kāi)關(guān)斷開(kāi)，向姿態(tài)控制裝置中的 控制器發(fā)送停止充氣的控制信號(hào)。接收到停止充氣控制信號(hào)的控制器關(guān)閉減震器的進(jìn)氣閥 門(mén)，減震器停止提升，臺(tái)板恢復(fù)到水平狀態(tài)。當(dāng)臺(tái)板的某個(gè)角部上升時(shí)，必然導(dǎo)致對(duì)角的角 部下降，其調(diào)整過(guò)程同前所述。 通過(guò)上述工作過(guò)程可以看出，本實(shí)用新型姿態(tài)傳感裝置中液位傳感器的結(jié)構(gòu)形式 和安裝形式也存在多種擴(kuò)展方案。例如，液位傳感器的初始位置可以設(shè)置在導(dǎo)電液體內(nèi)，并 位于液面的下方，此時(shí)液位傳感器中的水位開(kāi)關(guān)處于接通狀態(tài)，當(dāng)液面變動(dòng)使液位傳感器 離開(kāi)導(dǎo)電液體時(shí)，液位傳感器的水位開(kāi)關(guān)斷開(kāi)，向姿態(tài)控制裝置中的控制器發(fā)送控制信號(hào)。 再如，本實(shí)用新型姿態(tài)傳感裝置可以采用雙液位傳感器結(jié)構(gòu)，即在液體水平器的每個(gè)端部 設(shè)置二個(gè)液位傳感器，其中一個(gè)液位傳感器位于液面的上方，稱(chēng)之為第一液位傳感器，另一 個(gè)液位傳感器位于液面的下方，稱(chēng)之為第二液位傳感器。由于當(dāng)臺(tái)板的某個(gè)角部下降時(shí)，必 然導(dǎo)致與其相對(duì)的對(duì)角上升，因此，下降角部位置的第一液位傳感器可以通過(guò)感受液面變 化輸出控制信號(hào)，同時(shí)上升角部位置的第二液位傳感器也可以通過(guò)感受液面變化輸出控制 信號(hào)。由此可見(jiàn)，雙液位傳感器結(jié)構(gòu)不僅可以進(jìn)一步提高反應(yīng)速度，而且還可以大大提高靈 敏度。
5[0027] 實(shí)際應(yīng)用中，為了防止本實(shí)用新型基板載臺(tái)整體上升以及對(duì)減震器進(jìn)行保護(hù)，可 以在每個(gè)減震器上安裝機(jī)械泄氣裝置，當(dāng)減震器上升到一定高度時(shí)，與出氣閥門(mén)連鎖的機(jī) 械泄氣裝置打開(kāi)出氣閥門(mén)。此外，為了防止本實(shí)用新型基板載臺(tái)整體下降，可以在臺(tái)板下設(shè) 置限位開(kāi)關(guān)5，當(dāng)臺(tái)板下降到限位開(kāi)關(guān)5位置時(shí)，限位開(kāi)關(guān)5發(fā)送控制信號(hào)，減震器使本實(shí)用 新型基板載臺(tái)整體上升。前述設(shè)置機(jī)械泄氣裝置和限位開(kāi)關(guān)的目的是讓減震器工作在一定 的高度范圍內(nèi)，超過(guò)這個(gè)范圍就放氣，低于這個(gè)范圍就充氣。 最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制，盡管 參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì) 本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的精神和范 圍。
權(quán)利要求一種基板載臺(tái)，包括臺(tái)板、用于監(jiān)測(cè)臺(tái)板姿態(tài)變化的姿態(tài)傳感裝置和調(diào)整臺(tái)板姿態(tài)的姿態(tài)控制裝置，其特征在于，所述姿態(tài)傳感裝置包括液體水平器和液位傳感器，所述液體水平器內(nèi)裝設(shè)有導(dǎo)電液體，根據(jù)所述導(dǎo)電液體的液面變化發(fā)送控制信號(hào)的液位傳感器設(shè)置在所述液體水平器上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板載臺(tái)，其特征在于，所述液體水平器設(shè)置在所述臺(tái)板的 下方，并位于所述臺(tái)板的中心線(xiàn)上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板載臺(tái)，其特征在于，所述液體水平器為下端通過(guò)圓環(huán)相 互連通的兩個(gè)U形管，兩個(gè)U形管的四個(gè)上端部分別位于臺(tái)板的四個(gè)角部。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板載臺(tái)，其特征在于，所述液位傳感器設(shè)置在所述U形管的 上端部，位于液面的上方和/或下方。<
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板載臺(tái)，其特征在于，所述U形管為有機(jī)玻璃制品。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板載臺(tái)，其特征在于，所述U形管的端部還設(shè)置有刻度。
7. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板載臺(tái)，其特征在于，所述U形管的直徑為8mm 12mm。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板載臺(tái)，其特征在于，所述導(dǎo)電液體為鹽水。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1 8中任一權(quán)利要求所述的基板載臺(tái)，其特征在于，所述姿態(tài)控制裝 置連接在所述臺(tái)板的角部，包括減震器和控制器，所述減震器設(shè)置有與所述控制器連接的 進(jìn)氣閥門(mén)和出氣閥門(mén)，所述控制器與液位傳感器連接。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1 8中任一權(quán)利要求所述的基板載臺(tái)，其特征在于，所述臺(tái)板下還 設(shè)置有限位開(kāi)關(guān)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種基板載臺(tái)，包括臺(tái)板、用于監(jiān)測(cè)所述臺(tái)板姿態(tài)變化的姿態(tài)傳感裝置和調(diào)整臺(tái)板姿態(tài)的姿態(tài)控制裝置，所述姿態(tài)傳感裝置包括液體水平器和液位傳感器，所述液體水平器內(nèi)裝設(shè)有導(dǎo)電液體，根據(jù)所述導(dǎo)電液體的液面變化發(fā)送控制信號(hào)的液位傳感器設(shè)置在所述液體水平器上。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置監(jiān)測(cè)臺(tái)板姿態(tài)變化的姿態(tài)傳感裝置，且姿態(tài)傳感裝置利用了連通器原理和液體導(dǎo)電原理，一方面具有反應(yīng)速度快，調(diào)節(jié)靈敏，控制精度高度優(yōu)點(diǎn)，另一方面避免了工作中的磨損，不僅減少了設(shè)備故障，而且提高了工作壽命，降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK201464755SQ20092011021
公開(kāi)日2010年5月12日 申請(qǐng)日期2009年7月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月15日
發(fā)明者白國(guó)曉, 齊錚 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司