專利名稱：使用分色濾光鏡的照射角度控制的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體涉及利用分色濾光鏡對物體的照射角度的控制。
背景技術(shù)：
許多應(yīng)用需要以特定照射角度照射目標(biāo)上的點(diǎn)，以達(dá)到檢查表面所期望的對比 度，例如用以分析印刷電路板(PCB)上的電路的表面。典型地，在諸如印刷電路板、互連器 件、集成電路以及平板顯示器等電路的制造過程中，利用自動(dòng)光學(xué)檢驗(yàn)操作識(shí)別電路中或 基板上的缺陷。典型地，通過利用一個(gè)或多個(gè)線光源(line light source)逐線地照射PCB 的表面并掃描該線以進(jìn)行分析，而獲得對該P(yáng)CB的檢查?？赏ㄟ^各種方法生成線光源，例如 通過形成來自點(diǎn)光源(例如鹵素?zé)?halogen light))的一行玻璃纖維，或通過形成一行發(fā) 光二極管(LED)光源?？裳刂€光源與PCB之間的線放置透鏡，以將光聚焦在垂直于該線 的平面中，進(jìn)而在沿著該線的每一點(diǎn)上獲得最佳照射角度。沿著縱軸，從形成線光源的多個(gè)光源照射PCB上該線的每一點(diǎn)。點(diǎn)的總照射角度 取決于構(gòu)成該線光源的點(diǎn)光源的擴(kuò)散角度(dispersion angle)，例如，鹵素?zé)艄庠磧A向于 產(chǎn)生向外擴(kuò)散的光，這些光從光源的焦點(diǎn)沿著縱軸形成約士25°的角。LED光源一般產(chǎn)生 在所有方向上都形成約70°角的向外擴(kuò)散的光。為最佳地分析PCB上的一點(diǎn)，期望對稱地照射該點(diǎn)，以便無需進(jìn)行補(bǔ)償照明的不 對稱性的計(jì)算。然而，在所有方向上控制構(gòu)成線光源的點(diǎn)的照射角度對于透鏡制造者而言 構(gòu)成幾何結(jié)構(gòu)上的挑戰(zhàn)。由于形成線光源的點(diǎn)的尺寸和數(shù)量，這樣的解決方案可能無法實(shí) 現(xiàn)或非常昂貴。因此，用以控制光的發(fā)散角度的其它方法是被期望的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例的一個(gè)方面涉及一種通過在光源與被照射目標(biāo)之間放置分色濾光 鏡而控制來自兩個(gè)或更多個(gè)點(diǎn)的光束朝向所述目標(biāo)上的線或區(qū)域的照射角度的系統(tǒng)及方 法。該分色濾光鏡根據(jù)光源的波長及入射角度選擇性地傳遞光。選擇以特定的入射角傳遞 期望波長的分色濾光鏡，能夠控制所產(chǎn)生的照射在所述目標(biāo)上的照射光束。在本發(fā)明的示例實(shí)施例中，利用一行或多行光源照射目標(biāo)上的線或區(qū)域。可擇地， 利用透鏡在垂直于該行光源的方向上將光聚焦，由此控制該方向上的照射角度。在本發(fā)明 的某些實(shí)施例中，每行照明整個(gè)角度覆蓋范圍的一段。在平行于該行光源的方向上，分色濾 光鏡以在該濾光鏡上的特定入射角范圍傳遞特定波長的光，因而亦可限制平行方向上的照 射角度。在本發(fā)明的某些實(shí)施例中，目標(biāo)上的照射角度在所有方向上相同。替代地，可利用 透鏡將垂直方向的光聚焦至比利用分色濾光鏡的平行方向更窄的照射角度?？蛇x地，如果 該透鏡將光聚焦成具有比分色濾光鏡所提供的角度更寬的角度的光束，則該濾光鏡亦在垂 直方向上限制照射角度。在本發(fā)明的某些實(shí)施例中，平行于該行光源放置分色濾光鏡，從而對稱地處理所 有光源。替代地，相對于該行光源以一角度放置分色濾光鏡，從而這些光源中的某些將比其余光源傳遞更多的光，例如以使來自某些光束的照射相對于該行光源成鈍角。在本發(fā)明的某些實(shí)施例中，從光源向目標(biāo)照射的光束穿過多于一個(gè)分色濾光鏡， 以增強(qiáng)對照射角度的控制?？蛇x地，分色濾光鏡可以是多帶通濾光鏡(multi-band pass filter)，其在光以該濾光鏡所支持的指定角度范圍到達(dá)該濾光鏡的情況下，支持多于一個(gè) 波長范圍被所述濾光鏡透射。因此，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，提供了一種控制照射到目標(biāo)上的照射角度的 方法，包括將來自預(yù)選波長的至少兩個(gè)光源的光照射于該目標(biāo)上；其中，來自所述光源的光 相對于主照射軸以各自最大的照射角度照射該目標(biāo)上的每一點(diǎn)，該主照射軸從所述至少兩 個(gè)光源的大致中心延伸至所述目標(biāo)；選擇分色濾光鏡，該分色濾光鏡根據(jù)入射到所述濾光鏡上的入射角度，透射來自 所述至少兩個(gè)光源的光；將該分色濾光鏡位于該至少兩個(gè)光源與該目標(biāo)之間，以將光的傳遞限制于預(yù)選定 波長的光；其中，該分色濾光鏡被選擇來限制照射該目標(biāo)上的每一點(diǎn)的最大照射角度?？蛇x 地，與該主照射軸垂直地定位該分色濾光鏡?；蛘撸摲稚珵V光鏡相對于該主照射軸不形成直角。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，該分色濾光鏡的角度是用戶可控的?？蛇x地，沿著該 主照射軸順序地定位多個(gè)分色濾光鏡。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，所述多個(gè)分色濾光鏡 被互成角度地定位?？蛇x地，該分色濾光鏡是多通濾光鏡。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，該 方法還包含在該至少兩個(gè)光源與該目標(biāo)之間放置透鏡，以沿著第一方向?qū)碜栽撝辽賰蓚€(gè) 光源的光聚焦到該目標(biāo)上；并且其中由于該分色濾光鏡的定位，沿著垂直于該第一方向的 第二方向照射該目標(biāo)的光具有與該第一方向基本相同的照射角度。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，以相互平行的多行光源的形式提供該至少兩個(gè)光 源，并且其中，通過透鏡將來自每行光源的光束沿著第一方向聚焦到該目標(biāo)上，從而由于該 分色濾光鏡的定位，沿著該第一方向照射該目標(biāo)的組合光束具有與沿著垂直于該第一方向 的第二方向相同的照射角度?？蛇x地，該至少兩個(gè)光源中的每個(gè)選擇性地提供多個(gè)波長的 光，并且對于每個(gè)波長，所控制的照射角度不同。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，還提供一種用于控制照射到目標(biāo)上的照射角度的系 統(tǒng)，包括至少兩個(gè)光源，用以照射該目標(biāo)；分色濾光鏡，根據(jù)入射到該濾光鏡上的入射角度，透射來自該至少兩個(gè)光源的光； 其中該分色濾光鏡位于該至少兩個(gè)光源與該目標(biāo)之間；其中該至少兩個(gè)光源的光具有預(yù)選的波長；其中來自所述光源的光相對于主照射軸以各自的最大照射角度照射該目標(biāo)上的 每一點(diǎn)，該主照射軸從該至少兩個(gè)光源的大致中心延伸至該目標(biāo)；其中該濾光鏡系被選擇來限制照射該目標(biāo)上的每一點(diǎn)的最大照射角度。
在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，該系統(tǒng)還包括位于該至少兩個(gè)光源與該目標(biāo)之間的 透鏡，以沿著第一方向?qū)碜栽撝辽賰蓚€(gè)光源的光聚焦到該目標(biāo)上；并且其中，由于在該目 標(biāo)與該至少兩個(gè)光源之間定位該分色濾光鏡，沿著垂直于該第一方向的第二方向照射該目標(biāo)的光具有與該第一方向基本相同的照射角度。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，還提供一種用于照射目標(biāo)的照明裝置，包括一行或多行光源，其中每個(gè)光源提供一個(gè)或多個(gè)波長的光；透鏡，其平行于每行光源，以聚焦來自所述行的光源的光，以使照射該目標(biāo)的組合 光束相對于主照射軸具有特定角度，該主照射軸從該至少兩個(gè)光源的中心延伸至該目標(biāo)；分色濾光鏡，其位于該目標(biāo)與該透鏡之間，用以透射以特定范圍的角度入射在該 濾光鏡上的特定光波長，從而對于至少一個(gè)波長，沿著垂直于該行光源的方向在該目標(biāo)上 產(chǎn)生的照射角度與沿著平行于該行光源的方向的照射角度對稱?？蛇x地，該系統(tǒng)包含多個(gè)分色濾光鏡。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，對于單個(gè)波 長，沿著垂直于該行光源的方向在該目標(biāo)上產(chǎn)生的照射角度與沿著平行于該行光源的方向 的照射角度對稱。可選地，對于一個(gè)以上波長，沿著垂直于該行光源的方向在該目標(biāo)上產(chǎn)生 的照射角度與沿平行于該行光源的方向的照射角度對稱。


根據(jù)以下結(jié)合附圖的詳細(xì)說明，將更全面地理解和了解本發(fā)明。一般，在所有附圖 中利用相同或相似的標(biāo)號標(biāo)記出現(xiàn)在多個(gè)附圖中的相同結(jié)構(gòu)、元件或部件，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的、用于光學(xué)地分析電路的裝置的剖面圖的示 意圖；圖2A和2B是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，分別在使用和不使用分色濾光鏡的情 況下沿縱軸照射目標(biāo)上的點(diǎn)的側(cè)視圖的示意圖；圖3A-3C是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的、作為入射角的函數(shù)的分色濾光鏡的透 射譜的示意圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的、穿過分色濾光鏡的透射率與入射角度的示 意性關(guān)系曲線圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，使用兩個(gè)傾斜的分色濾光鏡與一個(gè)反射鏡傳 遞來自光源的特定光線并阻擋其它光線以控制照射目標(biāo)的角度的示意圖；圖6A是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的線光源的示意圖，其中該線上的每點(diǎn)由來 自具有不同波長的兩個(gè)光點(diǎn)構(gòu)成；以及圖6B是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，利用具有不同波長的兩個(gè)光點(diǎn)時(shí)，透射率與 入射角度的示意性關(guān)系曲線圖。
具體實(shí)施例方式圖1是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的、用于光學(xué)地分析電路(例如，被制造在印刷 電路板(PCB)或其它表面上)的裝置100的剖面圖的示意圖。可選地，裝置100包括基座 120，以安裝用于控制照射到目標(biāo)180上并對來自目標(biāo)180的反射進(jìn)行采樣的光學(xué)元件。在 本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，三個(gè)線光源130被安裝在基座120上以照射目標(biāo)180?？蛇x地， 目標(biāo)180是由作為朗伯表面(Lambertian surface)的材料制成，并根據(jù)電路設(shè)計(jì)而選擇性 地鍍有金屬導(dǎo)體。通常，該朗伯表面與該金屬導(dǎo)體具有不同的反射水平，從而可通過采樣從 目標(biāo)180反射的光來驗(yàn)證電路的制造，例如通過檢測制造誤差。
在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，通過光源130從目標(biāo)180的反射而形成光信號125。 光信號125被反射向半透明鏡150，半透明鏡150將光信號125經(jīng)由鏡160及/或經(jīng)由任何 其它光路朝向傳感器170傳遞。例如，傳感器170可以是電荷耦合器件(CCD)、互補(bǔ)金屬氧 化物半導(dǎo)體(CM0Q、光電倍增器或任何其它適當(dāng)?shù)膫鞲衅?。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，傳 感器170采樣光信號125并將樣本作為數(shù)字化的信息提供給計(jì)算機(jī)，以通過將其與電路設(shè) 計(jì)相比較來分析目標(biāo)180。替代地或額外地，可采用本領(lǐng)域公知的其它方法執(zhí)行電路的自動(dòng) 光學(xué)檢驗(yàn)(AOI)。在本發(fā)明的某些實(shí)施例中，使用三個(gè)光源130照射目標(biāo)的線185，例如，第一光源 130可被定位為從線185的一側(cè)照射，第二光源130可被定位為從線185的相對側(cè)照射，第 三光源130則可被定位為從線185的正上方照射。在本發(fā)明的某些實(shí)施例中，可使用更多 數(shù)量的光源(例如4個(gè)、5個(gè)或更多個(gè))或者更少數(shù)量的光源(例如1個(gè)或2個(gè))?？蛇x 地，透鏡135位于朝向線185的光路中，以聚焦來自光源130的光，從而入射到線185上的組 合光在平行于X坐標(biāo)的平面上以預(yù)定角度190(例如30°、55°或100° )照射該線，如圖 1所示。在本發(fā)明的某些實(shí)施例中，每一光源130都照射整個(gè)角度190的范圍。替代地，每 一光源130照射角度190的一部分。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，將分色濾光鏡145放置 于光路中，例如在透鏡135之后，以控制在Y方向上照射線185的每一點(diǎn)的角度，如下文所 述。在本發(fā)明的某些實(shí)施例中，光學(xué)元件的位置可以不同，例如，分色濾光鏡145可以位于 透鏡135之前。可選地，某些光路可更為復(fù)雜，某些則可更為簡單，例如，圖1中的中央光源 不與其它兩個(gè)光源沿同一圓弧放置，而是位于遠(yuǎn)處并通過鏡140、曲面鏡115、半透明鏡150 傳遞，以使反射光經(jīng)半透明鏡150沿相同方向返回。應(yīng)注意，用于實(shí)施本發(fā)明的光源并不限于本說明書中一般使用的點(diǎn)光源或線光 源?？蛇x地，也可使用其它類型的光源(例如，多線式光源(multilinesource)、面光源 (area source)或其它形式)，并且這里所述的細(xì)節(jié)同等地適用于這些情形。另外，應(yīng)注意，本發(fā)明并不限于特定類型的電子電路或以特定類型的表面作為在 其上制作電子電路的目標(biāo)，例如，電子電路可被實(shí)施為印刷電路板、互連器件、集成電路、平 板顯示器及任何其它形式的電子電路或表面。同樣，本發(fā)明并不限于電子電路，而是同等地 適用于其它類型的目標(biāo)。圖2A是在不使用分色濾光鏡的情況下沿縱軸(Y)照射目標(biāo)上的點(diǎn)225的側(cè)視圖 200的示意圖，圖2B是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，在使用分色濾光鏡145的情況下沿縱軸 (Y)照射目標(biāo)上的點(diǎn)225的側(cè)視圖250的示意圖。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，在X方向上， 所有光都被透鏡135收集到一起朝向平行于Y軸185的線，并被引導(dǎo)來形成窄的高強(qiáng)度照 射線，該照射線由期望的照射角度限定?？蛇x地，在Y方向上，若光點(diǎn)205的擴(kuò)散覆蓋點(diǎn)225， 則每一光點(diǎn)205都照射點(diǎn)225。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，光源130由光點(diǎn)20\_2051(例 如LED、光纖)的線構(gòu)成?？蛇x地，每一點(diǎn)皆產(chǎn)生一光束，該光束相對于光源130的法線向外 擴(kuò)展一角度215(例如70° )，該角度取決于光源的特性。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，光朝 向點(diǎn)225穿過透鏡135。可選地，基座120的側(cè)面被鍍膜以形成高反射鏡210(例如反射率 為96% )，從而該光源線可被點(diǎn)225視為幾乎是無限的，并且每一點(diǎn)225皆由線光源130的 許多光點(diǎn)205照射。在圖2A中，光點(diǎn)205a-205t照射特定點(diǎn)225，所述光點(diǎn)中的每個(gè)以不同 的角度235(例如235'及235")直接地或經(jīng)由鏡210間接地照射點(diǎn)225，所述角度235最高至達(dá)到等于角度215的最大角度M5。圖2A具體顯示來自光點(diǎn)205a-205t中的某些的照 射線，然而應(yīng)理解，所有光點(diǎn)皆起作用，此處僅顯示某些光點(diǎn)是為了清楚起見。在圖2B中， 分色濾光鏡145位于透鏡135之后，以限制沿縱(Y)軸的有效照射角度，從而點(diǎn)225上所產(chǎn) 生的照射角度對于期望的應(yīng)用而言為最佳，例如，將對點(diǎn)225的照射限制到最大為角度255 而非無濾光鏡145時(shí)的角度245 (角度255《角度對幻。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，強(qiáng)度 在角度255以內(nèi)的降幅不均勻，并且可具有緩慢的斜率，使得在角度235處比在角度255處 以更高的強(qiáng)度照射點(diǎn)225。 發(fā)自光點(diǎn)205的光線以相對于濾光鏡的法線的角度235入射到分色濾光鏡145 上。圖3A-3C是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，在不同入射角度235下分色濾光鏡145的透 射光譜的示意圖。如圖3A-3C所示，對于特定波長(λ，以納米(nm)為單位)，在某些角度 下，該分色濾光鏡透射該光的大部分(例如，多于60%或70%)，并且在某些角度下，光被反 射，僅有小部分被透射(例如，少于20%或30%)。特定波長在角度θ處的透射率等于不 同波長在法向入射時(shí)的透射率。這些波長(在空氣中)之間的比率表示為在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，光點(diǎn)205產(chǎn)生具有特定波長或特定波長范圍的光。 可選地，分色濾光鏡145被選擇來匹配由光點(diǎn)205所照射的光波，從而所產(chǎn)生的照射點(diǎn)225 的角度相對于形成由光點(diǎn)205所產(chǎn)生的光束的原始角度被減小。如圖3A-3C所示，當(dāng)光點(diǎn) 205產(chǎn)生波長約為630納米的紅色光束時(shí)，以0°的角度入射在分色濾光鏡145上的光線 (例如圖3Α)將幾乎完全(例如96% )透射過濾光鏡。對于以30°的角度入射在分色濾 光鏡145上的光線，將僅有約80% (例如圖3Β)被透射。以60°的角度入射在分色濾光鏡 145上的光線(例如圖3C)將基本被反射而不被透射。因此，通過選擇或生產(chǎn)分色濾光鏡來 匹配光點(diǎn)205所產(chǎn)生的光的波長，可控制點(diǎn)225上的入射角，以從點(diǎn)225的所有側(cè)獲得對稱 的照射。在本發(fā)明的某些實(shí)施例中，使用雙帶或多帶分色濾光鏡(例如SEMR0CK FF01-468/624-25)，以便光點(diǎn)205可提供多于一個(gè)波長，并利用分色濾光鏡145控制其照射 角度?？蛇x地，每一光點(diǎn)205可包括照射不同波長的光的多個(gè)LED，或者每一光點(diǎn)205可提 供不同波長的光(例如，利用朗伯LED或光纖)。在本發(fā)明的某些實(shí)施例中，可使用一個(gè)波 長或多個(gè)波長的光照射目標(biāo)180?？蛇x地，可選擇分色濾光鏡145使每一波長以不同的最大 角度照射線185上的點(diǎn)225。圖4是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的、穿過分色濾光鏡的透射率與入射角度的示 意性關(guān)系曲線圖400。線410顯示由例如朗伯LED產(chǎn)生的透射光束?？蛇x地，該光束被引導(dǎo) 向雙帶帶通濾光鏡(例如SEMR0CKFF01-468/624-25)。該濾光鏡的歸一化透射率由線420及 430顯示。作為該濾光鏡所透射的波長，線420表示中心波長為460納米(藍(lán)光)的光束，線
權(quán)利要求
1.一種控制照射到目標(biāo)上的照射角度的方法，包括將來自具有預(yù)選波長的至少兩個(gè)光源的光照射到所述目標(biāo)上；其中來自所述光源的光 相對于主照射軸以各自的最大照射角度照射所述目標(biāo)上的每一點(diǎn)，所述主照射軸從所述至 少兩個(gè)光源的大致中心延伸到所述目標(biāo)；選擇分色濾光鏡，所述分色濾光鏡根據(jù)該濾光鏡上的入射角度，透射來自所述至少兩 個(gè)光源的光；將所述分色濾光鏡定位在所述至少兩個(gè)光源與所述目標(biāo)之間，以將光的傳遞限制于所 述預(yù)選波長的光；其中所述分色濾光鏡被選擇來限制照射所述目標(biāo)上的每一點(diǎn)的最大照射 角度。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述分色濾光鏡與所述主照射軸垂直定位。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述分色濾光鏡相對于所述主照射軸不形成直角。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中所述分色濾光鏡的角度為用戶可控。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中沿著所述主照射軸順序地定位多個(gè)分色濾光鏡。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中彼此成一角地定位所述分色濾光鏡。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述分色濾光鏡是多通濾光鏡。
8.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括在所述至少兩個(gè)光源與所述目標(biāo)之間放置透鏡， 以沿著第一方向?qū)碜运鲋辽賰蓚€(gè)光源的光聚焦到所述目標(biāo)上；其中，由于所述分色濾 光鏡的定位，沿著垂直于所述第一方向的第二方向照射所述目標(biāo)的光具有與所述第一方向 基本相同的照射角度。
9.如權(quán)利要求1所述的方法，其中以相互平行的多行光源提供所述至少兩個(gè)光源，并 且，其中來自每行光源的光束用透鏡沿著第一方向聚焦到所述目標(biāo)上，從而，由于所述分色 濾光鏡的定位，沿著所述第一方向照射所述目標(biāo)的組合光束具有與沿著垂直于所述第一方 向的第二方向相同的照射角度。
10.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述至少兩個(gè)光源中的每個(gè)選擇性地提供具有多 個(gè)波長的光，并且，對于每個(gè)波長，被控制的照射角度不同。
11.一種用于控制照射到目標(biāo)上的照射角度的系統(tǒng)，包括至少兩個(gè)光源，用于照射所述目標(biāo)；分色濾光鏡，根據(jù)該濾光鏡上的入射角度，透射來自所述至少兩個(gè)光源的光；其中所述 分色濾光鏡位于所述至少兩個(gè)光源與所述目標(biāo)之間；其中，所述至少兩個(gè)光源的光具有預(yù)選的波長；其中，來自所述光源的光相對于主照射軸以各自的最大照射角度照射所述目標(biāo)上的每 一點(diǎn)，所述主照射軸從所述至少兩個(gè)光源的大致中心延伸到所述目標(biāo)；其中，所述濾光鏡被選擇來限制照射所述目標(biāo)上的每一點(diǎn)的最大照射角度。
12.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，還包括透鏡，所述透鏡位于所述至少兩個(gè)光源與所述 目標(biāo)之間，以沿著第一方向?qū)碜运鲋辽賰蓚€(gè)光源的光聚焦到所述目標(biāo)上；其中，由于在 所述目標(biāo)與所述至少兩個(gè)光源之間定位所述分色濾光鏡，沿著垂直于所述第一方向的第二 方向照射所述目標(biāo)的光具有與所述第一方向基本相同的照射角度。
13.一種用于照射目標(biāo)的照明裝置，包括一行或多行光源，其中每個(gè)光源提供一個(gè)或多個(gè)波長的光；透鏡，其平行于每行光源，以聚焦來自所述行光源的光，使得照射所述目標(biāo)的組合光束 相對于主照射軸具有特定角度，所述主照射軸從所述至少兩個(gè)光源的大致中央延伸到所述 目標(biāo)；分色濾光鏡，其位于所述目標(biāo)與所述透鏡之間，用以透射以特定范圍的角度入射到該 濾光鏡上的特定光波長，從而，對于至少一個(gè)波長，沿著垂直于所述行光源的方向在所述目 標(biāo)上產(chǎn)生的照射角度與沿著平行于所述行光源的方向的照射角度對稱。
14.如權(quán)利要求13所述的裝置，還包括多個(gè)分色濾光鏡。
15.如權(quán)利要求13所述的裝置，其中，對于單個(gè)波長，沿著垂直于所述行光源的方向在 所述目標(biāo)上產(chǎn)生的照射角度與沿著平行于所述行光源的方向的照射角度對稱。
16.如權(quán)利要求13所述的裝置，其中，對于一個(gè)以上的波長，沿著垂直于所述行光源的 方向在所述目標(biāo)上產(chǎn)生的照射角度與沿著平行于所述行光源的方向的照射角度對稱。
全文摘要
一種控制照射到目標(biāo)上的照射角度的方法，包括將來自具有預(yù)選波長的至少兩個(gè)光源的光照射到該目標(biāo)上，其中，來自所述光源的光相對于主照射軸以各自的最大照射角度照射該目標(biāo)上的每一點(diǎn)，該主照射軸從該至少兩個(gè)光源的大致中心延伸至該目標(biāo)；選擇分色濾光鏡，該分色濾光鏡根據(jù)該濾光鏡上的入射角度，透射來自該至少兩個(gè)光源的光；將該分色濾光鏡定位于該至少兩個(gè)光源與該目標(biāo)之間，以將光的傳遞限制于所述預(yù)選波長的光；并且其中該分色濾光鏡被選擇為限制照射該目標(biāo)上的每一點(diǎn)的最大照射角度。
文檔編號G02B27/14GK102047168SQ200980119844
公開日2011年5月4日 申請日期2009年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月12日
發(fā)明者阿弗拉哈姆·阿德勒 申請人:奧博泰克有限公司