專利名稱：光調(diào)制器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光調(diào)制器，尤其是涉及DQPSK調(diào)制器或FSK調(diào)制器等生成多級的相位調(diào)制信號的光調(diào)制器。
背景技術(shù)：
伴隨通信流量的增大，在需求高速、大容量化的第二代長距離大容量光通信系統(tǒng)中，討論了多值調(diào)制解調(diào)編碼技術(shù)的導(dǎo)入。其代表性的方式之一是差動四相相移鍵控 (DQPSK, Differential Quadrature Phase Shift keying)方式。在該方式中，與以往的 2 值強(qiáng)度調(diào)制(OOK)方式相比，信號頻帶窄，除了能夠?qū)崿F(xiàn)頻率利用效率的提高及傳送距離的擴(kuò)大之外，還能夠期待高靈敏度。如專利文獻(xiàn)1記載所示，DQPSK調(diào)制器包括在馬赫-曾德爾(MZ)型干涉計的兩個分支波導(dǎo)的光路上分別集成的I αη-phase 同步)信號生成用及Q (Quadrature 正交)信號生成用的MZ調(diào)制器和用于使兩個光信號的相位正交的π /2相位移相器。專利文獻(xiàn)1 美國專利7116460號說明書專利文獻(xiàn)2 日本特開2006-242975號公報非專利文獻(xiàn) 1 :Masataka Nakazawa, Jumpei Hongo, Keisuke Kasai, Masato Yoshida ；Res. Inst, of Electrical Communication, Tohoku Univ., Japan. " Polarization-Multiplexed 1 Gsymbo1/s,64QAM(12Gbit/s)Coherent Optical Transmission over 150km with an Optical Bandwidth of2GHz" , OFCO7 PDP26另外，在利用頻率調(diào)制的移頻鍵控(FSK)調(diào)制方式中，如專利文獻(xiàn)2所示，在構(gòu)成主馬赫-曾德爾(主MZ)型波導(dǎo)的兩個分支波導(dǎo)上設(shè)置各副馬赫-曾德爾(副MZ)型波導(dǎo)， 在各副MZ型波導(dǎo)上施加有直流偏壓和RF信號，在主MZ型波導(dǎo)上施加有與調(diào)制數(shù)據(jù)相對應(yīng)的信號。此外，利用在主MZ型波導(dǎo)的分支波導(dǎo)上組合有副MZ型波導(dǎo)的光調(diào)制器而提供有 SSB(Single Side-Band 單邊帶)調(diào)制器等。而且，如非專利文獻(xiàn)1公開所示，還提出有 QAM(Quadrature Amplitude Modulation 正交調(diào)幅)調(diào)制器等。然而，在DQPSK調(diào)制器的情況下，由于入射到MZ型干涉計的兩個分支波導(dǎo)的光波的波長變動及成為MZ型干涉計的光波導(dǎo)的圖案錯誤或調(diào)制信號的放大器的個體差等次要因素等，在I信號成分與Q信號成分之間產(chǎn)生強(qiáng)度差，無法進(jìn)行高性能的DQPSK調(diào)制。另外，在FSK調(diào)制中，主MZ型波導(dǎo)的分支波導(dǎo)間的形狀不平衡時，射出的光譜中殘留有不需要的頻率成分，會產(chǎn)生信號品質(zhì)劣化的問題。鑒于這種問題，在專利文獻(xiàn)2中，公開有通過調(diào)整施加給光調(diào)制器的電極的偏壓而提高消光比的調(diào)制方法，該光調(diào)制器具有設(shè)置在主MZ型波導(dǎo)或副MZ型波導(dǎo)的各臂(分支波導(dǎo))上的光強(qiáng)度修正機(jī)構(gòu)。尤其是通過利用副MZ型波導(dǎo)來修正主MZ型波導(dǎo)的臂間的不平衡，能夠得到最佳的偏壓。然而在DQPSK調(diào)制器及FSK調(diào)制器中，通過專利文獻(xiàn)2那樣的方法無法調(diào)整偏壓。即，在DQPSK調(diào)制器的情況下，副MZ型波導(dǎo)的干涉計是用于施加數(shù)據(jù)信號的部件，因此并不是使用于平衡調(diào)整。而且，在FSK調(diào)制器的情況下，為了發(fā)生兩個頻移鍵控而對副MZ型波導(dǎo)的干涉計施加正弦波，因此與DQPSK同樣地，難以利用于消除不平衡自身。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于，解決上述的問題，在DQPSK調(diào)制器或FSK調(diào)制器等生成多級的相位調(diào)制信號的光調(diào)制器中，能夠提供一種信號品質(zhì)高的光調(diào)制器。尤其是提供一種能夠抑制由于光調(diào)制器的制造偏差等引起的信號成分的強(qiáng)度差造成的調(diào)制特性劣化，且不需要復(fù)雜的制造工序就能夠提高特性的高性能的光調(diào)制器。為了解決上述課題，本發(fā)明的技術(shù)方案1的光調(diào)制器，包括基板，具有電光效應(yīng)； 光波導(dǎo)，形成在該基板上；以及控制電極，用于控制在該光波導(dǎo)中傳播的光波，所述光調(diào)制器的特征在于，該光波導(dǎo)由具有兩個分支波導(dǎo)的主馬赫-曾德爾型波導(dǎo)和設(shè)置在該分支波導(dǎo)上的副馬赫-曾德爾型波導(dǎo)構(gòu)成，在各分支波導(dǎo)上，以與該副馬赫-曾德爾型波導(dǎo)串聯(lián)的狀態(tài)設(shè)置有光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)，具備電壓控制回路，監(jiān)控在該分支波導(dǎo)中傳播的光波的一部分，調(diào)整施加給該光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的電壓。本發(fā)明的技術(shù)方案2的特征在于，在技術(shù)方案1記載的光調(diào)制器中，該光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)由具有馬赫-曾德爾型波導(dǎo)的強(qiáng)度調(diào)制器構(gòu)成。本發(fā)明的技術(shù)方案3的特征在于，在技術(shù)方案1或2記載的光調(diào)制器中，該光調(diào)制器被用作SSB調(diào)制器、DQPSK調(diào)制器、FSK調(diào)制器或QAM調(diào)制器中的任一種。發(fā)明效果根據(jù)技術(shù)方案1的發(fā)明，包括基板，具有電光效應(yīng)；光波導(dǎo)，形成在該基板上； 以及控制電極，用于控制在該光波導(dǎo)中傳播的光波，該光波導(dǎo)由具有兩個分支波導(dǎo)的主馬赫-曾德爾(MZ)型波導(dǎo)和設(shè)置在該分支波導(dǎo)上的副馬赫-曾德爾(MZ)型波導(dǎo)構(gòu)成，在各分支波導(dǎo)上，以與該副馬赫-曾德爾型波導(dǎo)串聯(lián)的狀態(tài)設(shè)置有光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)，具備電壓控制回路，監(jiān)控在該分支波導(dǎo)中傳播的光波的一部分，調(diào)整施加給該光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的電壓， 因此，能夠?qū)⒃谥鱉Z型波導(dǎo)的各分支波導(dǎo)中傳播的光波的強(qiáng)度調(diào)整成最佳，抑制信號成分的強(qiáng)度差引起的調(diào)制特性劣化，從而能夠提供一種高性能的光調(diào)制器。而且，光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)分別設(shè)置在構(gòu)成主MZ型波導(dǎo)的兩個分支波導(dǎo)上，因此對于任一分支波導(dǎo)中傳播的光波都能夠調(diào)整光強(qiáng)度，從而能夠提供具有更優(yōu)良的調(diào)制特性的光調(diào)制器。此外，由于具備監(jiān)控在分支波導(dǎo)中傳播的光波的一部分而調(diào)整施加給光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的電壓的電壓控制回路，因此能夠根據(jù)光調(diào)制器的動作狀況而始終實(shí)現(xiàn)適當(dāng)?shù)墓鈴?qiáng)度調(diào)整，從而能夠提供高性能的光調(diào)制器。根據(jù)技術(shù)方案2的發(fā)明，光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)由具有馬赫-曾德爾型波導(dǎo)的強(qiáng)度調(diào)制器構(gòu)成，因此例如在構(gòu)成光調(diào)制器的光波導(dǎo)或控制電極的制造工序中，能夠同時形成光強(qiáng)度調(diào)制機(jī)構(gòu)并預(yù)先組裝到光調(diào)制器中。根據(jù)技術(shù)方案3的發(fā)明，光調(diào)制器被用作SSB調(diào)制器、DQPSK調(diào)制器、FSK調(diào)制器或 QAM調(diào)制器中的任一種，因此尤其是對于在構(gòu)成主MZ型波導(dǎo)的兩個分支波導(dǎo)中傳播的光波的強(qiáng)度差影響光調(diào)制器的調(diào)制特性的品質(zhì)的光調(diào)制器即SSB調(diào)制器、DQPSK調(diào)制器、FSK調(diào)制器或QAM調(diào)制器，能夠?qū)崿F(xiàn)高性能的光調(diào)制器。
圖1是示出本發(fā)明的光調(diào)制器，尤其是DQPSK調(diào)制器的例子的概略圖。圖2是示出由Z切型基板構(gòu)成圖1的光調(diào)制器時的情況的概略圖。圖3是示出由X切型基板構(gòu)成圖1的光調(diào)制器時的情況的概略圖。圖4是示出本發(fā)明的光調(diào)制器，尤其是SSB調(diào)制器的例子的概略圖。圖5是示出本發(fā)明的光調(diào)制器，尤其是FSK調(diào)制器的例子的概略圖。圖6是示出本發(fā)明的光調(diào)制器，尤其是設(shè)有光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的電壓控制回路的例子的概略圖。圖7是說明監(jiān)控機(jī)構(gòu)的例子的圖。標(biāo)號說明1 光調(diào)制器2、3 光纖4 基板5光波導(dǎo)10、11 DC 偏壓50主馬赫-曾德爾型波導(dǎo)51,52副馬赫-曾德爾型波導(dǎo)53,54 馬赫-曾德爾型波導(dǎo)61 65 控制電極70、71 監(jiān)控機(jī)構(gòu)72輔助波導(dǎo)73、75 受光元件74 反射機(jī)構(gòu)80 83檢測信號
具體實(shí)施例方式以下，使用優(yōu)選例詳細(xì)說明圖1至5所示的本發(fā)明。本發(fā)明的一種光調(diào)制器1，包括基板4，具有電光效應(yīng)；光波導(dǎo)5，形成在該基板上；以及控制電極61 65，用于控制在該光波導(dǎo)中傳播的光波，所述光調(diào)制器1的特征在于，該光波導(dǎo)5由具有兩個分支波導(dǎo)的主馬赫-曾德爾(MZ)型波導(dǎo)50和設(shè)置在該分支波導(dǎo)上的副馬赫-曾德爾(MZ)型波導(dǎo)51、52構(gòu)成，在各分支波導(dǎo)上，以與該副MZ型波導(dǎo)51、 52串聯(lián)的狀態(tài)設(shè)置有光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)(例如由光波導(dǎo)5354及控制電極63、64構(gòu)成)。作為具有電光效應(yīng)的基板4，例如能夠利用鈮酸鋰、鉭酸鋰、PLZT (鋯鈦酸鉛鑭)及石英類的材料等。光波導(dǎo)5可通過利用熱擴(kuò)散法或質(zhì)子更換法等使Ti等向基板表面擴(kuò)散而形成。此外，控制電極、調(diào)制電極61 65及接地電極(未圖示)等能夠通過Ti · Au的電極圖案的形成及鍍金方法等形成。此外，也可以根據(jù)需要在光波導(dǎo)形成后的基板表面設(shè)置電介質(zhì)S^2等緩沖層，能夠抑制如圖2所示形成在光波導(dǎo)的上側(cè)的電極所引起的光波吸收或散射。圖1是示出DQPSK調(diào)制器的例子的圖，光波導(dǎo)5在構(gòu)成主MZ型波導(dǎo)50的兩個分支波導(dǎo)上形成副MZ型波導(dǎo)51、52。在由副MZ型波導(dǎo)51構(gòu)成的干涉計上由控制電極(未圖示接地電極)61施加有Q(Quadrature)信號生成用的調(diào)制信號，在由副MZ型波導(dǎo)52構(gòu)成的干涉計上由控制電極62施加有 αη-phase)信號生成用的調(diào)制信號。此外，在主MZ型波導(dǎo)50上由控制電極65施加有偏移π /2相位的DC偏壓。在光調(diào)制器1上連接有用于導(dǎo)入光波的輸入光纖2和用于導(dǎo)出光波的輸出光纖3。導(dǎo)入到主MZ型波導(dǎo)50中的光波分支到兩個分支波導(dǎo)而進(jìn)行傳播。在該分支時， 由于光波的波長變動或光波導(dǎo)的圖案形狀的不平衡等而在各分支波導(dǎo)中傳播的光波的強(qiáng)度產(chǎn)生偏差。而且，由于副MZ型波導(dǎo)51、52與控制電極61、62的相對位置關(guān)系的偏差或施加給控制電極的調(diào)制信號的強(qiáng)度差等原因，在具有I信號成分的光波與具有Q信號成分的光波之間產(chǎn)生強(qiáng)度差。為了調(diào)整所述強(qiáng)度差，在本發(fā)明的光調(diào)制器中，在構(gòu)成主MZ型波導(dǎo)的分支波導(dǎo)上配置光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)。作為光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)，能夠利用各種光衰減器或光放大器，但由于部件個數(shù)的抑制、制造工序的簡便性以及調(diào)整的容易性等，與主MZ型波導(dǎo)或副MZ型波導(dǎo)等同樣地，優(yōu)選由具有圖1所示的馬赫-曾德爾型波導(dǎo)53、54的強(qiáng)度調(diào)制器構(gòu)成。當(dāng)然，對于光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)中利用的控制電極63、64，也優(yōu)選與DQPSK調(diào)制中利用的控制電極61、62及65同樣地形成。另外，光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)設(shè)置在構(gòu)成主MZ型波導(dǎo)的兩個分支波導(dǎo)雙方的情況下能夠?qū)υ诟鞣种Р▽?dǎo)中傳播的光波進(jìn)行更高精度的強(qiáng)度調(diào)整。光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)以串聯(lián)狀態(tài)配置在副MZ型波導(dǎo)的前或后。構(gòu)成光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的控制電極63、64上施加有DC偏壓。如圖6所示，為了使該 DC偏壓的值成為更適當(dāng)?shù)闹担瑑?yōu)選設(shè)置控制DC偏壓10、11的電壓控制回路9，以監(jiān)控在構(gòu)成主MZ型波導(dǎo)的分支波導(dǎo)中傳播的光波的一部分，使該監(jiān)控的光波的消光比或光強(qiáng)度等成為最佳值。作為在本發(fā)明中監(jiān)控的對象的光波，不僅可以觀測在分支波導(dǎo)自身中傳播的光波，還可以觀測從副MZ型波導(dǎo)或由MZ型干涉計構(gòu)成的光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的合波點(diǎn)放出的放射模式光。圖6的標(biāo)號70、71表示監(jiān)控機(jī)構(gòu)，標(biāo)號80、81表示從各監(jiān)控機(jī)構(gòu)70、71輸出的檢測信號。作為監(jiān)控輸出光的方法，有如下方法如圖7(a)所示，形成接近主MZ型波導(dǎo)50的分支波導(dǎo)的輔助波導(dǎo)72，使信號光a的一部分向波導(dǎo)71引導(dǎo)，以用于檢測，將檢測光b導(dǎo)入到配置在基板4外的受光元件73。而且，還能夠利用如下方法等如圖7(b)所示，在分支波導(dǎo)的局部形成傾斜的切口 74，使信號光a的一部分向基板4的上方反射，通過受光元件75 檢測該反射光c。如本發(fā)明的光調(diào)制器那樣在不僅具有主MZ型波導(dǎo)而且還具有多個MZ型波導(dǎo)的情況下，包含放射模式光的多種多樣的光波在基板4內(nèi)傳播。因此，為了更可靠地檢測所關(guān)注的光波，優(yōu)選利用圖7所示的輔助波導(dǎo)及反射機(jī)構(gòu)或光折射率膜等對所關(guān)注的光波的一部分進(jìn)行直接監(jiān)控。作為電壓控制回路9中的控制光強(qiáng)度調(diào)制機(jī)構(gòu)的方法，有如下方法設(shè)定為施加給副MZ型波導(dǎo)的控制電極的調(diào)制信號例如Q信號或I信號的調(diào)制信號未被共同施加的狀態(tài)、或?qū)Ω鞲盡Z型波導(dǎo)施加相同的調(diào)制信號的狀態(tài)等在各分支波導(dǎo)中傳播的光波的光強(qiáng)度相同的調(diào)制狀態(tài)，以使監(jiān)控的各信號輸出相同的方式設(shè)定調(diào)整各光強(qiáng)度調(diào)制機(jī)構(gòu)的DC 偏壓。當(dāng)然，在預(yù)先判別施加給各副MZ型波導(dǎo)的調(diào)制信號的狀態(tài)下，能夠以使施加該調(diào)制信號時的理想的光波的光強(qiáng)度與實(shí)際監(jiān)控的光強(qiáng)度相同的方式調(diào)整各光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)。此外，在副MZ型波導(dǎo)的前方配置光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)，例如，雖然如光強(qiáng)度調(diào)制機(jī)構(gòu)的輸出光或放射模式光那樣，受到該光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的影響，但也能夠監(jiān)控未受到該副MZ 型波導(dǎo)的調(diào)制的影響的光波。這種情況下，與副MZ型波導(dǎo)的調(diào)制狀態(tài)無關(guān)地，能夠?qū)⒃谥?MZ型波導(dǎo)的分支波導(dǎo)中傳播的光波的光強(qiáng)度設(shè)定成最佳。圖2是使用Z切型基板的光調(diào)制器的例子，在副MZ型波導(dǎo)中傳播的光波由構(gòu)成副 MZ型波導(dǎo)的分支波導(dǎo)的上側(cè)所形成的控制電極(調(diào)制電極)61a及61b調(diào)制。關(guān)于副MZ型波導(dǎo)52也同樣，此外，對在主MZ型波導(dǎo)中傳播的光波進(jìn)行調(diào)制的控制電極(調(diào)制電極)6 及65b也同樣形成在各分支波導(dǎo)的上側(cè)。在圖2中，光強(qiáng)度調(diào)制機(jī)構(gòu)利用馬赫-曾德爾型波導(dǎo)53、54，在各馬赫-曾德爾型波導(dǎo)的各分支波導(dǎo)配置控制電極63a、6 及64a、64b。圖3是使用X切型基板的例子，基本上與圖1所示的例子同樣地，利用控制電極 (調(diào)制電極)61 65。此外，圖4示出利用光調(diào)制器作為SSB調(diào)制器(SSB-SC調(diào)制)的情況，在具有副MZ型波導(dǎo)51的干涉計上施加有調(diào)制信號“Φ8 ι2 π ft+DC” (Φ是調(diào)制信號的振幅電壓，f是調(diào)制頻率，DC是預(yù)定偏壓)，在具有副MZ型波導(dǎo)52的干涉計上施加有調(diào)制信號 “Ocos2 π ft+DC，，。另外，在主MZ型波導(dǎo)上對控制電極65施加有相當(dāng)于V π/^2的DC偏壓。與圖1同樣地，圖4的SSB調(diào)制器也設(shè)有由光波導(dǎo)5354及控制電極63、64構(gòu)成的光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)。圖5是FSK調(diào)制器的例子，除了對主MZ型波導(dǎo)設(shè)置的控制電極65上施加的調(diào)制信號為士V π/2的調(diào)制數(shù)據(jù)信號之外，具有基本上與圖4的SSB調(diào)制器同樣的結(jié)構(gòu)。如上所述，本發(fā)明的光調(diào)制器尤其優(yōu)選適用于在構(gòu)成主MZ型波導(dǎo)的兩個分支波導(dǎo)中傳播的光波的強(qiáng)度差影響光調(diào)制器的調(diào)制特性的品質(zhì)的光調(diào)制器，具體來說，對于SSB 調(diào)制器、DQPSK調(diào)制器、或FSK調(diào)制器、以及QAM調(diào)制器，通過利用本發(fā)明都能夠?qū)崿F(xiàn)高性能的光調(diào)制器。工業(yè)實(shí)用性如以上說明所示，根據(jù)本發(fā)明，在DQPSK調(diào)制器或FSK調(diào)制器等生成多級的相位調(diào)制信號的光調(diào)制器中，能夠提供一種信號品質(zhì)高的光調(diào)制器。尤其是能夠提供一種抑制光調(diào)制器的制造偏差等引起的信號成分的強(qiáng)度差造成的調(diào)制特性劣化，且不需要復(fù)雜的制造工序就能夠提高特性的高性能的光調(diào)制器。
權(quán)利要求
1.一種光調(diào)制器，包括基板，具有電光效應(yīng)；光波導(dǎo)，形成在該基板上；以及控制電極，用于控制在該光波導(dǎo)中傳播的光波，所述光調(diào)制器的特征在于，該光波導(dǎo)由具有兩個分支波導(dǎo)的主馬赫-曾德爾型波導(dǎo)和設(shè)置在該分支波導(dǎo)上的副馬赫-曾德爾型波導(dǎo)構(gòu)成，在各分支波導(dǎo)上，以與該副馬赫-曾德爾型波導(dǎo)串聯(lián)的狀態(tài)設(shè)置有光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)， 具備電壓控制回路，監(jiān)控在該分支波導(dǎo)中傳播的光波的一部分，調(diào)整施加給該光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的電壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光調(diào)制器，其特征在于，該光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)由具有馬赫-曾德爾型波導(dǎo)的強(qiáng)度調(diào)制器構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光調(diào)制器，其特征在于，該光調(diào)制器被用作SSB調(diào)制器、DQPSK調(diào)制器、FSK調(diào)制器或QAM調(diào)制器中的任一種。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于在DQPSK調(diào)制器或FSK調(diào)制器等生成多級的相位調(diào)制信號的光調(diào)制器中，能夠提供一種信號品質(zhì)高的光調(diào)制器，尤其是提供一種能夠抑制由于光調(diào)制器的制造偏差等引起的信號成分的強(qiáng)度差造成的調(diào)制特性劣化，且不需要復(fù)雜的制造工序就能夠提高特性的高性能的光調(diào)制器。光調(diào)制器(1)包括基板(4)，具有電光效應(yīng)；光波導(dǎo)(5)，形成在該基板上；以及控制電極(61～65)，用于控制在該光波導(dǎo)中傳播的光波，所述光調(diào)制器(1)的特征在于，該光波導(dǎo)(5)由具有兩個分支波導(dǎo)的主馬赫-曾德爾(MZ)型波導(dǎo)(50)和設(shè)置在該分支波導(dǎo)上的副馬赫-曾德爾(MZ)型波導(dǎo)(51、52)構(gòu)成，在各分支波導(dǎo)上，以與該副馬赫-曾德爾型波導(dǎo)(51、52)串聯(lián)的狀態(tài)設(shè)置有光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)(例如由光波導(dǎo)(53、54)及控制電極(63、64)構(gòu)成)，且具備電壓控制回路，監(jiān)控在該分支波導(dǎo)中傳播的光波的一部分，調(diào)整施加給該光強(qiáng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的電壓。
文檔編號G02F1/035GK102159985SQ20098013676
公開日2011年8月17日 申請日期2009年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月19日
發(fā)明者市川潤一郎, 日隈薰 申請人:住友大阪水泥股份有限公司