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光調(diào)制器的制作方法

文檔序號:2751741閱讀:198來源:國知局
專利名稱:光調(diào)制器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及光調(diào)制器,具體涉及馬赫-曾德爾型光調(diào)制器。
背景技術(shù)
隨著光通信技術(shù)的發(fā)展,需要高速、高穩(wěn)定性的光調(diào)制器。已知的高速光調(diào)制器包括馬赫-曾德爾型光調(diào)制器。馬赫-曾德爾型光調(diào)制器對輸入光進行分路,并對分路后的光賦予相位差后進行合波,從而獲得強度被調(diào)制后的輸出光。圖1示出了現(xiàn)有的馬赫-曾德爾型光調(diào)制器。馬赫-曾德爾型光調(diào)制器100包括具有電光效應(yīng)的光學基板110(由鈮酸鋰晶體(LN = LiNbO3)等制成),其上形成有用于輸入輸入光的輸入波導112、用于對來自輸入波導的光進行分路的Y型分支部114、分別用于對分路后的光進行導波的兩根分支波導116a和116b、用于對來自這兩根波導的光進行合波的Y型合波部118、以及用于將合波后的光輸出的輸出波導120。上述各波導可通過選擇性地將Ti等金屬擴散至光學基板中而形成。之后,在基板的整個表面上設(shè)置SiO2等材料的緩沖層,并在分支波導上分別形成Au等材料的金屬電極12h、122b。電極122a、122b連接于對光調(diào)制器的工作點進行設(shè)定的偏壓電路IM和對光調(diào)制器進行調(diào)制的高頻信號源128,并且在兩個電極之間連接有終端電阻129。另外,偏壓電路 124連接于提供DC電壓的電源126。入射至輸入波導112的輸入光由Y型分支部114分為兩部分。當分支后的光在分支波導116a、116b中傳播時,由于受到施加于電極12h、122b的調(diào)制信號所產(chǎn)生的電光效應(yīng)的影響而發(fā)生相位變化。即,向電極施加的信號可改變分支波導間的相位差。當在Y型合波部118處對來自分支波導116a、116b的光進行合波后,從輸出波導120出射的光為根據(jù)上述兩個分支光的相位差進行強度調(diào)制后的光。圖2示出了光的相位差與輸出光的光強度間的關(guān)系。當向電極施加的電壓為0時, 分支波導中不發(fā)生由電光效應(yīng)引起的相位變化。因此,如果分支波導的長度相等,則相位差為0。此時,對來自分支波導的兩束光進行合波后的輸出光的強度達到最大。向電極施加的電壓增加時,相位差就增大。當相位差為η時,來自分支波導的兩束光相互抵消而使輸出光的強度達到最小。實際上,為了使得輸出光的消光比達到最大,將光調(diào)制器的工作點設(shè)定為在使輸出光強度達到最大的電壓和使輸出光強度達到最小的電壓之間的中間電壓,并將調(diào)制信號施加于該工作點(專利文獻1)。工作點可通過在調(diào)制信號(圖1的高頻信號源128)之外再在電極間施加DC偏壓(圖1的偏壓電路124)來設(shè)置?;蛘?,如圖3所示,除了相位調(diào)制電極32h、322b以外,還可以在分支波導上設(shè)置加熱器;34加、342b。當利用電流源;34乜、344b 通過加熱器34h、342b對波導進行加熱時,由于熱光效應(yīng)而在分支波導間產(chǎn)生相位差,這種方式也可以設(shè)定工作點(專利文獻幻。在這種情況下,可將來自高頻信號源328的調(diào)制信號直接施加于相位調(diào)制電極32 和322b之間,而無需施加DC偏壓。然而,在對馬赫-曾德爾型光調(diào)制器的工作點進行設(shè)定的現(xiàn)有方法中存在下述問題。首先,在采用通過DC偏壓來設(shè)定工作點的方法中,如果長時間施加DC偏壓,會使工作點隨著時間推移而發(fā)生變化(DC漂移現(xiàn)象),從而產(chǎn)生調(diào)制性劣化的問題。因此,需要對光調(diào)制器的輸出光進行監(jiān)控并提供反饋以調(diào)整DC偏壓的電壓。另外,考慮到20年的使用時間,對于DC偏壓的調(diào)整范圍,需要可變范圍為大約士 15V或以上的電壓源。在分支波導上設(shè)置的加熱器來設(shè)定工作點的方法中,當對由例如LN的鐵電體制成的光學基板進行加熱時,在基板內(nèi)將會依賴于溫度通過極化產(chǎn)生電場。該電場將導致波導內(nèi)產(chǎn)生不必要的相位變化(熱漂移),從而使得工作點發(fā)生變動。另外,如果對鐵電體基板進行加熱,會使基板內(nèi)由于熱而發(fā)生變形,并且壓電效應(yīng)會引起工作點不穩(wěn)定。嚴重的情況下,還會因為基板表面帶有的靜電而使基板損壞。另外,基板還可能由于熱膨脹而損壞。 尤其是,為了提高高頻特性,需要將基板減薄(厚度為0. 25mm左右),從而更容易導致上述損壞。即使基板沒有損壞,也可能導致基板發(fā)生翹曲,從而使基板的輸入輸出部處的光纖產(chǎn)生位置偏移,導致插入損耗增加并造成回波損耗的增大。另外,需要說明的是,為了保持期望的相位差,需要在波導間持續(xù)賦予一定的溫度梯度。但是,由于LN基板為晶體因而熱導率比較高(約5W/(m· ),因此熱量向整個基板擴散,使得基板的溫度容易達到均衡。因此,還存在難以實現(xiàn)工作點的穩(wěn)定化并導致功耗增大的問題。本發(fā)明是鑒于上述問題完成的,其目的在于提供高穩(wěn)定性的光調(diào)制器。專利文獻專利文獻1 日本國專利申請公開公報“特開2001-1M164號”專利文獻2 日本國專利申請公開公報“特開平419113號”

發(fā)明內(nèi)容
為了達到上述目的,本發(fā)明提供一種光波導式馬赫-曾德爾型光調(diào)制器,包括加熱器,設(shè)置于由非電光材料制成的至少一個分支波導上;以及電極,設(shè)置在與所述分支波導光耦合的、由具有電光效應(yīng)的電光材料制成的分支波導上,其中,所述加熱器通過對所述至少一個分支波導的相位進行調(diào)整來設(shè)定所述光調(diào)制器的工作點,所述電極向所述光調(diào)制器施加調(diào)制信號。另外,本發(fā)明的光調(diào)制器的其特征在于,所述非電光材料的基板為石英基板。另外,本發(fā)明的光調(diào)制器的特征在于,包括形成有所述光調(diào)制器的分支部的非電光材料的第一基板和形成有所述光調(diào)制器的合波部的非電光材料的第二基板,所述加熱器形成于所述第一基板和第二基板中的至少一者上。另外,本發(fā)明的光調(diào)制器的特征在于,具有至少兩個馬赫-曾德爾干涉儀。另外,本發(fā)明的光調(diào)制器的特征在于,所述非電光材料的基板和所述電光材料的基板通過熱導率較之于所述電光材料的基板的熱導率小的粘合劑接合在一起。另外,本發(fā)明的光調(diào)制器的特征在于,所述非電光材料的基板和所述電光材料的基板通過熱導率較之于所述電光材料的基板的熱導率小的加固板接合在一起。另外,本發(fā)明的光調(diào)制器的特征在于,僅所述電光材料的基板固定于基座上。另外,本發(fā)明的光調(diào)制器的特征在于,在形成有所述加熱器的非電光材料的基板上設(shè)有散熱部件。


圖1為表示馬赫-曾德爾型光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)實施例的圖。圖2為表示馬赫-曾德爾型光調(diào)制器的光束相位差與輸出光的光強度間關(guān)系的圖。圖3為表示具有對調(diào)制器的工作點進行設(shè)定的加熱器的馬赫-曾德爾型光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)實施例的圖。圖4為表示本發(fā)明的第一實施方式的馬赫-曾德爾型光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)實施例的圖。圖5為表示構(gòu)成馬赫-曾德爾型光調(diào)制器的基板與石英基板通過隔熱性高的加固板進行接合的結(jié)構(gòu)實施例的圖。圖6為表示構(gòu)成馬赫-曾德爾型光調(diào)制器的基板與石英基板間通過隔熱性高的加固板進行接合的結(jié)構(gòu)實施例的圖,其中,在石英基板上設(shè)置有散熱部件,并且通過熱導率高的粘合劑粘結(jié)在支撐LN基板的基座上。圖7為表示本發(fā)明的第二實施方式的馬赫-曾德爾型光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)實施例的圖。圖8為表示本發(fā)明的第三實施方式的馬赫-曾德爾型光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)實施例的圖。圖9為表示本發(fā)明的第四實施方式的馬赫-曾德爾型光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)實施例的圖。
具體實施例方式本發(fā)明的光調(diào)制器中,在由LN等電光材料制成的光學基板上利用電光效應(yīng)進行相位調(diào)制,并在由石英和硅等材料制成的平面光波電路(PLC)基板上利用熱光效應(yīng)進行工作點的設(shè)定。采用這種結(jié)構(gòu),無需對由電光材料制成的光學基板直接進行加熱,因此能夠抑制熱漂移等的影響。而且,由熱量所引起的基板的損壞和翹曲也得到抑制。另外,PLC中所采用的石英的熱導率低,為LN基板的五分之一左右(約IW/(m· K)),所以能夠以低功耗保持期望的相位差,使工作點易于穩(wěn)定化。另外,石英即使發(fā)生了熱膨脹,其熱電效應(yīng)和壓電效應(yīng)也較少。下面,參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行詳細說明。(第一實施方式)圖4示出了本發(fā)明的第一實施方式的光調(diào)制器。該馬赫-曾德爾型光調(diào)制器400 包括電光材料的LN基板410和非電光材料的石英基板430。在LN基板410上形成有用于輸入輸入光的輸入波導412 ;用于對來自輸入波導的光進行分支的Y型分支部414 ;以及用于對分支后的光進行導波的兩個分支波導416a、416b。在分支波導上設(shè)有調(diào)制電極42加、 422b,調(diào)制電極連接于高頻信號源424。在石英基板430上形成有分別與LN基板上的兩個分支波導416a、416b光耦合的兩個分支波導436a、436b ;對來自這兩個分支波導的光進行合波的Y型合波部438 ;以及將合波后的光輸出的輸出波導440,其中,分支波導上436a、 436b分別設(shè)有用于加熱的加熱器44h、442b。加熱器中采用氮化鉭(T N)薄膜,其電阻設(shè)為500Ω。加熱器中也可以采用鎳洛合金(NiCr)和鎢(W)等。另外,加熱器也可以設(shè)置在其中任意一個分支波導上,而不是在兩個分支波導中都設(shè)置加熱器。
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Y型分支部414將入射到LN基板410上的輸入波導412中的輸入光分成兩部分。 當在LN基板上的分支波導416a、416b中傳播時,由于電極422a、422b被施加了調(diào)制信號, 因此分支后的光受到電光效應(yīng)的影響,并且相位得到調(diào)制。來自LN基板上的分支波導的光隨后耦合至石英基板430上的分支波導436a、436b,在分支波導436a、436b處,受到因加熱器44h、442b進行加熱而產(chǎn)生的熱光效應(yīng)的影響,并在分支波導間產(chǎn)生預(yù)定的相位差。因此,經(jīng)過相位調(diào)制并產(chǎn)生了預(yù)定相位差的光在Y型合波部438處進行合波,并作為調(diào)制光從石英基板上的輸出波導440輸出。本發(fā)明的光調(diào)制器400中,可以直接對LN基板410上的電極42h、422b上施加調(diào)制信號,無需采用DC偏壓。因此,能夠杜絕DC漂移的發(fā)生或者將DC漂移抑制在極小值。此外,工作點可以獨立地利用電流源4Ma、444b并通過石英基板430上的加熱器44h、442b 進行設(shè)定。這種情況下,根據(jù)期待的相位差,通過電流源4Ma、444b對加熱器進行控制以使石英基板上的分支波導間產(chǎn)生預(yù)定的溫度梯度。還可以根據(jù)需要通過對來自輸出波導440 的輸出光進行監(jiān)視來對加熱器的電流值進行反饋控制。由于石英基板熱導率低,向相鄰LN基板的熱量擴散少,不易產(chǎn)生由于對LN基板加熱導致的熱漂移等問題。為了進一步減少石英基板向LN基板的熱擴散,可以將隔熱性高的 (熱導率小)粘合劑用于LN基板與石英基板的接合。這種粘合劑的實施例可以包括丙烯酸類、硅酮類、環(huán)氧樹脂類的物質(zhì)。另外,如圖5所示,可以將隔熱性高的加固板552用于LN基板510和石英基板530 間的接合,使支撐LN基板的基座550不與石英基板間相接觸。由此,能夠進一步減少由石英基板530向LN基板510的熱擴散。當向LN基板的熱擴散減少時,由對LN基板加熱而產(chǎn)生的影響(熱漂移等)就會減少。另外,即使因為用加熱器加熱使得石英基板發(fā)生熱膨脹,LN基板的芯片也不會發(fā)生變形,因此,不會有由于變形而產(chǎn)生的壓電效應(yīng)的影響,并且也能夠防止LN基板的損壞和翹曲等。另外,石英基板的厚度為Imm左右,比LN基板的厚度 (0. 25mm左右)厚,不易發(fā)生由于熱膨脹而引起的基板損壞或翹曲。另外,也可以如圖6所示,將隔熱性高的加固板652用于LN基板610與石英基板 630間的接合,并在石英基板上設(shè)置散熱部件654,將熱量散至LN基板以外的地方。這種情況下,如圖所示,散熱部件肪4可以設(shè)置在基板背面,以采用熱導率高的粘合劑656將該散熱部件與支撐LN基板的基座650粘合起來。例如,作為熱導率高的粘合劑,可以采用在環(huán)氧樹脂等聚合物中含有金屬OVg等)所得到的導電性粘合劑。另外,也可以采用珀爾帖 (Peltier)元件吸熱的結(jié)構(gòu)來代替散熱部件。在這種結(jié)構(gòu)下,由于石英基板630不蓄熱,因此易于確保石英基板上的波導間的溫度梯度,使得工作點穩(wěn)定。而且,由于向LN基板的熱擴散減少,使得熱漂移減少。(第二實施方式)圖7示出了本發(fā)明的第二實施方式的光調(diào)制器。該馬赫-曾德爾型光調(diào)制器700 包括電光材料的LN基板710和兩個石英基板730、760。前級的石英基板760上形成有用于輸入光入射的輸入波導762 ;對來自輸入波導的光進行分支的Y型分支部764 ;以及對分支后的光進行導波的分支波導766a、766b。在LN基板710上形成有分別與前級的石英基板上的兩個分支波導766a、766b光耦合的兩個分支波導716a、716b。LN基板的分支波導上設(shè)有調(diào)制電極72h、722b。后級的石英基板730上形成有分別與LN基板上的兩個分支波導716a、716b光耦合的兩個分支波導736a、736b ;對來自上述兩個分支波導的光進行合波的Y 型合波部738 ;以及將合波后的光輸出的輸出波導740。用于加熱的加熱器75加、752以77加、77沘可以設(shè)置在前級石英基板和后級石英基板中的任意一者上,也可以設(shè)置在兩者上。另外,加熱器也可以設(shè)在任意一個分支波導上,而不是設(shè)在兩個分支波導上。從而,提高了設(shè)計的靈活度。例如,可以將設(shè)定工作點所需要的相位差分散地分配在前級石英基板和后級石英基板上。這樣,能夠?qū)崿F(xiàn)熱量的最佳設(shè)計,進而實現(xiàn)功耗的進一步減少和工作點的穩(wěn)定化。另外,采用這樣的結(jié)構(gòu)可以利用相同的材料和相同的工序來加工前級石英基板和后級石英基板,從而能夠抑制加工質(zhì)量偏差,并穩(wěn)定分支部及合波部的合分波特性。尤其, 如圖8所示,在采用了多個馬赫-曾德爾型干涉儀的光調(diào)制器中,不僅可以期待合分波特性的穩(wěn)定,還可以期待生產(chǎn)率和集成度的提高。(第三實施方式)圖8示出了本發(fā)明的第三實施方式的光調(diào)制器。該馬赫-曾德爾型光調(diào)制器800 包括電光材料的LN基板810和兩個石英基板830、860,并包括三個馬赫-曾德爾型干涉儀。 在前級的石英基板860上形成有輸入光入射的輸入波導862 ;對來自輸入波導的光進行分支的Y型分支部864 ;以及將分支后的光進一步進行分支的Y型分支部864-1、864-2。在LN 基板810上形成有四個分支波導816-la、816-lb、816-^i、816-2b,分別與對來自前級的石英基板上的Y型分支部864-1、864-2的光進行導波的四個分支波導光耦合。上述分支波導中設(shè)有調(diào)制電極822-la、822-lb、822-^i、822-2b。在后級的石英基板830上形成有與LN 基板上的兩個分支波導816-la、816-lb光耦合的合波部838-1 ;與LN基板上的兩個分支波導816-2a、816-2b光耦合的合波部838-2 ;將來自兩個合波部的光進一步合波的Y型合波部838 ;以及將合波后的光輸出的輸出波導840。用于加熱的加熱器852b、852-la、852-lb、872a、872-^i、872-2b可以設(shè)置在前級石英基板和后級石英基板中的任意一者上,還可以設(shè)置在兩者上。另外,加熱器可以設(shè)在任意一個分支波導上,而不是設(shè)在兩個分支波導上。從而,提高了設(shè)計的靈活度。例如,可以將設(shè)定工作點所需要的相位差分散地分配在前級石英基板和后級石英基板上。這樣,能夠?qū)崿F(xiàn)熱量的最佳設(shè)計,進而實現(xiàn)功耗的減少和工作點的穩(wěn)定化。(第四實施方式)圖9示出了本發(fā)明第四實施方式的光調(diào)制器。該馬赫-曾德爾型光調(diào)制器900包括電光材料的LN基板910和兩個石英基板930、960,并包括折疊形式的兩個馬赫-曾德爾型干涉儀。通過這種結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)LN調(diào)制器的級聯(lián)。在其中一個石英基板960上形成有輸入光入射的輸入波導962 ;對來自輸入波導的光進行分支的分支部964-1 ;以及將來自Y型合波部964-2的光輸出的輸出波導940。在 LN基板910上形成有與對來自石英基板960上的Y型分支部964-1的光進行導波的兩個分支波導光耦合的兩個分支波導916-la、916-lb ;以及與將光向石英基板960上的Y型合波部964-2導波的兩個波導光耦合的兩個分支波導916-2a、916-2b。上述分支波導上分別設(shè)有調(diào)制用的電極922-la、922-lb、922-^i、922-2b。在另一個石英基板930上形成有與 LN基板上的兩個分支波導916-la、916-lb光耦合的Y型合波部938-1 ;以及對來自Y型合波部938-1的光進行分支并且與LN基板上的兩個分支波導916-2a、916-2b光耦合的Y型合波部938-2。用于加熱的加熱器952-la、952-lb、952-^i、952-2b可以設(shè)置在兩個石英基板中的任意一者上,或者,設(shè)置在兩者上。另外,加熱器也可以設(shè)在任意一個分支波導上,而不是設(shè)在二者上。從而,提高了設(shè)計的靈活度。例如,可以將設(shè)定工作點所需要的相位差分散地分配在兩個石英基板上。這樣,能夠?qū)崿F(xiàn)熱量的最佳設(shè)計,進而實現(xiàn)功耗的減少和工作點的穩(wěn)定化。另外,如圖9所示,如果僅在其中一個石英基板上設(shè)置加熱器,則可將另一個石英基板上的光路設(shè)置在LN基板上。以上針對本發(fā)明的幾個實施方式進行了說明,鑒于更多適用本發(fā)明原理的能夠?qū)嵤┑姆绞?,這里記載的實施方式僅為本發(fā)明的示例,并不構(gòu)成對本發(fā)明的范圍的限定。例如,上述實施方式中,作為電光材料的基板,以LN基板為例進行了說明,但根據(jù)本發(fā)明的原理可以采用鉭酸鋰(LiTaO3)、KTN (KTa1^xNbxO3)、KTP (KTiOPO4)、PZT (PbZrxTi^xO3,鋯鈦酸鉛) 等。另外,上述實施方式中,還可以采用定向耦合器、耦合器、多模干涉(MMI=Multi-Mode Interference)耦合器等電路代替Y型分支。對于這里示出的實施方式,在不脫離本發(fā)明的宗旨的情況下可以更改結(jié)構(gòu)和細節(jié)。另外,在不脫離本發(fā)明的宗旨的情況下,可以對用于進行說明的組成要素及其順序進行更改、補充,以及變換順序。附圖標號列表100、300、400、700、800、900為馬赫-曾德爾型光調(diào)制器。110、310、410、510、610、710、810、910 為光學基板。112、412、762、862、962 為輸入波導。114、414、764、864、864-1、864-2、964-1938-2 為 Y 型分支部。116a、116b、416a、416b、436a、436b、716a、716b、736a、736b、766a、766b、816-la、 816-lb、816-2a、816-2b、916-la、916-lb、916-2a、916-2b 為分支波導。118、438、738、838、838-1、838-2、938-1、964-2 為 Y 型合波部。120、440、740、840、940 為輸出波導。122a、122b、322a、322b、422a、422b、722a、722b、822-la、822-lb、822-2a、822-2b、 916-la、916-lb、916-2a、916-2b 為電極。IM為偏壓電路。1 為電源。1沘、3沘、424、724為高頻信號源。1 為終端電阻。342a、342b、442a、442b、772a、772b、752a、752b、852a、852-la、852-lb、872a、 872-2a、872-2b、952-la、952-lb、952-2a、952-2b 為加熱器。344a、344b、444a、444b、754a、754b、774a、774b 為電流源。430、530、630、730、760、830、860、930、960 為石英基板。550、650 為基座。552、652 為加固板。654為散熱部件。
權(quán)利要求
1.光波導式的馬赫-曾德爾型光調(diào)制器,包括加熱器,設(shè)置于由非電光材料制成的至少一個分支波導上;以及電極,設(shè)置在與所述分支波導光耦合的、由具有電光效應(yīng)的電光材料制成的分支波導上,其中,所述加熱器通過對所述至少一個分支波導的相位進行調(diào)整來設(shè)定所述光調(diào)制器的工作點,所述電極向所述光調(diào)制器施加調(diào)制信號。
2.如權(quán)利要求1所述的光調(diào)制器,其中,所述非電光材料的基板為石英基板。
3.如權(quán)利要求1或2所述的光調(diào)制器,包括非電光材料的第一基板,形成有所述光調(diào)制器的分支部;以及非電光材料的第二基板,形成有所述光調(diào)制器的合波部,其中,所述加熱器形成于所述第一基板和第二基板中的至少一者上。
4.如權(quán)利要求1-3中的任意一項所述的光調(diào)制器,包括至少兩個馬赫-曾德爾干涉儀。
5.如權(quán)利要求1-4中的任意一項所述的光調(diào)制器,其中,所述非電光材料的基板和所述電光材料的基板通過粘合劑接合在一起,所述粘合劑的熱導率小于所述電光材料的基板的熱導率。
6.如權(quán)利要求1-5中的任意一項所述的光調(diào)制器,其中,所述非電光材料的基板和所述電光材料的基板通過加固板接合在一起,所述加固板的熱導率小于所述電光材料的基板的熱導率。
7.如權(quán)利要求1-6中的任意一項所述的光調(diào)制器,其中,僅所述電光材料的基板固定于基座上。
8.如權(quán)利要求1-7中的任意一項所述的光調(diào)制器,其中,在形成有所述加熱器的非電光材料的基板上設(shè)有散熱部件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具有高穩(wěn)定性的光調(diào)制器。在本發(fā)明的光調(diào)制器中,在LN等電光材料的光學基板上利用電光效應(yīng)進行相位調(diào)制,并在石英、硅等的平面光波電路(PLC)基板上利用熱光效應(yīng)進行工作點的設(shè)定。由于無需直接加熱電光材料制成的光學基板,因此,這樣的結(jié)構(gòu)能夠抑制熱漂移等所產(chǎn)生的影響。另外,還可以減輕由加熱所引起的基板的損壞和翹曲。而且,PLC中所使用的石英具有低的熱導率,大約為LN基板的五分之一(約為1W/(m·K)),因此能夠以低功耗來維持所希望的相位差,易于穩(wěn)定工作點。
文檔編號G02F1/035GK102224444SQ20098014649
公開日2011年10月19日 申請日期2009年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月2日
發(fā)明者土居芳行, 坂卷陽平, 山田貴, 金子明正 申請人:日本電信電話株式會社
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