專利名稱：：正型感光性樹(shù)脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及感光性樹(shù)脂組合物，特別涉及正型的感光性樹(shù)脂組合物。進(jìn)而詳細(xì)地，涉及可通過(guò)使用光刻技術(shù)形成圖案膜的感光性樹(shù)脂組合物，進(jìn)而涉及具有使用該感光性樹(shù)脂組合物形成的層間絕緣膜或平坦化膜的平板顯示器(FPD)或半導(dǎo)體裝置。
背景技術(shù)：
：在以LSI等半導(dǎo)體集成電路的制造、FPD顯示面的制造、熱位差(寸一>^K)等電路基板的制造等為代表的廣泛領(lǐng)域中，為了進(jìn)行微細(xì)元件的形成或微細(xì)加工，一直以來(lái)使用光刻技術(shù)。在該光刻技術(shù)中，為了形成抗蝕圖形(>”；卜〃々一而使用了感光性樹(shù)脂組合物。近年來(lái)，作為這些感光性樹(shù)脂組合物的新用途，半導(dǎo)體集成電路或FPD等的層間絕緣膜或平坦化膜的形成技術(shù)受到人們的矚目。特別地，對(duì)于FPD顯示面的高精細(xì)化或以TFT等為代表的半導(dǎo)體元件的制造工序的短縮化，市場(chǎng)的期望強(qiáng)烈。為了實(shí)現(xiàn)該FPD顯示面的高精細(xì)化，在電路內(nèi)抑制傳送損失是重要的，其中低介質(zhì)特性優(yōu)異的具有微細(xì)圖案的層間絕緣膜或平坦化膜是必須材料。另外，對(duì)于半導(dǎo)體元件制造工序的短縮化，為了保護(hù)源極或門電極，人們期望將利用真空蒸鍍法形成的SiNx等的無(wú)機(jī)層間絕緣膜替換成可通過(guò)濕式加工容易形成的有機(jī)層間絕緣膜。因此，對(duì)于有機(jī)層間絕緣膜，與SiNx同等的絕緣性是必須的，需要介電常數(shù)在3.0以下的低介質(zhì)特性的層間絕緣膜。為了得到上述具有低介質(zhì)特性的層間絕緣膜或平坦化膜，感光性樹(shù)脂組合物中的堿可溶性樹(shù)脂的作用很大，關(guān)于用于這種用途的感光性樹(shù)脂組合物，正在進(jìn)行大量的研究。例如專利文獻(xiàn)1公開(kāi)了作為在層間絕緣膜或平坦化膜用的感光性樹(shù)脂組合物中配合的堿可溶性樹(shù)脂，使用了不飽和羧酸和具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物，由此感光性樹(shù)脂組合物具有良好的顯影性且可形成高分辨率的圖案膜。但是，一般已知由于上述堿可溶性樹(shù)脂中所含的構(gòu)成單元由(甲基)丙烯?；鶚?gòu)成，因而不能得到具有充分低介質(zhì)特性的感光性樹(shù)脂組合物。專利文獻(xiàn)2公開(kāi)了作為在層間絕緣膜或平坦化膜用的感光性樹(shù)脂組合物中配合的堿可溶性樹(shù)脂，使用含有苯乙烯類、(甲基)丙烯酸和羥基烷基酯作為構(gòu)成單元的共聚物，由此感光性樹(shù)脂組合物的低介質(zhì)特性變得良好。但是，本申請(qǐng)發(fā)明人注意到當(dāng)在樹(shù)脂中多量導(dǎo)入苯乙烯類時(shí)，樹(shù)脂的疏水性增高，因此雖然可以較高地維持顯影時(shí)的殘膜率，但有顯影殘?jiān)兌啵荒艿玫骄哂谐浞诛@影性的感光性樹(shù)脂組合物的問(wèn)題。另外，專利文獻(xiàn)3公開(kāi)了為了形成濾色器用的保護(hù)膜、RGB用像素、黑矩陣或間隔物，通過(guò)使用含有具有富馬酸二酯的堿可溶性樹(shù)脂、光聚合性多官能(甲基)丙烯酸酯化合物和光聚合引發(fā)劑的負(fù)型感光性樹(shù)脂組合物，可以得到良好的顯影性。但是，本申請(qǐng)發(fā)明人注意到由于該負(fù)型感光性樹(shù)脂組合物中所含的光聚合性多官能(甲基)丙烯酸酯的介電常數(shù)高，因此有不能得到具有充分低介質(zhì)特性的感光性樹(shù)脂組合物的問(wèn)題。鑒于這種實(shí)情，對(duì)于在FPD或半導(dǎo)體裝置等的層間絕緣膜或平坦化膜中使用的感光性樹(shù)脂組合物，人們要求其可維持高的殘膜率，同時(shí)沒(méi)有顯影殘?jiān)@影性良好，并可形成低介質(zhì)特性優(yōu)異的高分辨率的圖案膜?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)平7-248629號(hào)公報(bào)(第2頁(yè)、第3頁(yè)和第4頁(yè))專利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2004-4233號(hào)公報(bào)(第2頁(yè)、第4頁(yè)和第34頁(yè))專利文獻(xiàn)3日本特開(kāi)2007-137947號(hào)公報(bào)(第2頁(yè)、第3頁(yè)和第5頁(yè))
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的第一目的在于提供感光性樹(shù)脂組合物，其在形成圖案膜的顯影工序中，可維持高的殘膜率，同時(shí)沒(méi)有顯影殘?jiān)?，即使在高溫烘烤后也不損害平坦性、光透射率、耐溶劑性等的涂膜物性，可形成低介質(zhì)特性優(yōu)異的高分辨率的圖案膜。本發(fā)明的第二目的在于提供具有利用上述優(yōu)異的感光性樹(shù)脂組合物形成的平坦化膜或?qū)娱g絕緣膜的FPD或半導(dǎo)體裝置。本發(fā)明的第三目的在于提供FPD或半導(dǎo)體裝置，其具有利用上述優(yōu)異的感光性樹(shù)脂組合物，可用濕式加工(々工7卜/口·fe7)容易形成的有機(jī)層間絕緣膜，而不是形成SiNx等的無(wú)機(jī)層間絕緣膜。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物含有下述所示的成分(A)、(B)和(C)，成分(B)和(C)的構(gòu)成比例相對(duì)于成分(A)100質(zhì)量份分別為(B)550質(zhì)量份和(C)140質(zhì)量份。成分(A)是包含用下式(1)表示的由富馬酸二酯單體衍生的構(gòu)成單元(al)、用下式(2)表示的由芳族乙烯基單體衍生的構(gòu)成單元(a2)、用下式(3)表示的由α，β_不飽和羧酸單體衍生的構(gòu)成單元(a3)和用下式(4)表示的由(甲基)丙烯酸酯單體衍生的構(gòu)成單元(a4)的共聚物，其中，構(gòu)成單元(al)和構(gòu)成單元(a2)的合計(jì)量在該成分(A)中為4085質(zhì)量％，構(gòu)成單元(a3)和構(gòu)成單元(a4)的質(zhì)量比(a4)/(a3)為0.27.0。COOR1<image>imageseeoriginaldocumentpage5</image>(式中，R1和R2分別是碳原子數(shù)為38的支鏈烷基、碳原子數(shù)為412的環(huán)烷基或取代支鏈環(huán)烷基)<image>imageseeoriginaldocumentpage5</image>(式中，R3是氫原子或甲基，R4是碳原子數(shù)為612的芳族烴基)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>(式中的R5是氫原子、甲基或羧甲基)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>(式中的R6是氫原子或甲基，R7是碳原子數(shù)為612的芳族烴基、碳原子數(shù)為112的烷基、碳原子數(shù)為112的支鏈烷基、碳原子數(shù)為212的羥基烷基或構(gòu)成主環(huán)的碳原子數(shù)為512的脂環(huán)式烴基)成分(B)是使具有羥基的酚性化合物與重氮醌化合物進(jìn)行酯化反應(yīng)而得到的、具有重氮醌基的感光劑。成分(C)是具有2個(gè)以上環(huán)氧基的固化劑。第2發(fā)明的平板顯示器具有將第1發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物固化而成的層。第3發(fā)明的半導(dǎo)體裝置具有將第1發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物固化而成的層。本發(fā)明可以發(fā)揮下述效果。根據(jù)第1發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，在使用光刻技術(shù)的形成圖案膜的顯影工序中，可以維持高的殘膜率，同時(shí)沒(méi)有顯影殘?jiān)词乖诤蠛娴鹊母邷睾婵竞笠膊粨p害平坦性、光透射率、耐溶劑性等的涂膜物性，可以形成低介質(zhì)特性優(yōu)異的高分辨率的圖案膜。通過(guò)使用該感光性樹(shù)脂組合物，可以提供具有優(yōu)異特性的FPD和半導(dǎo)體裝置。具體實(shí)施例方式以下，對(duì)于本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。本實(shí)施方式的感光性樹(shù)脂組合物含有成分(A)、⑶和(C)，成分⑶和(C)的構(gòu)成比例相對(duì)于成分㈧100質(zhì)量份，分別設(shè)定在⑶為550質(zhì)量份和(C)為140質(zhì)量份。成分(A)以下所說(shuō)明的特定的共聚物。成分(B)具有重氮醌基的感光劑。成分(C)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的固化劑。以下對(duì)于各成分依次進(jìn)行說(shuō)明。<成分㈧共聚物>成分(A)的共聚物是包含用下式(1)表示的由富馬酸二酯單體衍生的構(gòu)成單元(al)、用下式(2)表示的由芳族乙烯基單體衍生的構(gòu)成單元(a2)、用下式(3)表示的由α，β-不飽和羧酸單體衍生的構(gòu)成單元(a3)和用下式(4)表示的由(甲基)丙烯酸酯單體衍生的構(gòu)成單元(a4)的共聚物，其中，構(gòu)成單元(al)和構(gòu)成單元(a2)的合計(jì)量在該成分(A)中為4085質(zhì)量%，構(gòu)成單元(a3)和構(gòu)成單元(a4)的質(zhì)量比(a4)/(a3)為0.27.0。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(式中，R1和R2分別是碳原子數(shù)為38的支鏈烷基、碳原子數(shù)為412的環(huán)烷基或取代支鏈環(huán)烷基)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(式中，R3是氫原子或甲基，R4是碳原子數(shù)為612的芳族烴基)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(式中的R5是氫原子、甲基或羧甲基)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(式中的R6是氫原子或甲基，R7是碳原子數(shù)為612的芳族烴基、碳原子數(shù)為112的烷基、碳原子數(shù)為112的支鏈烷基、碳原子數(shù)為212的羥基烷基或構(gòu)成主環(huán)的碳原子數(shù)為512的脂環(huán)式烴基)上式(1)(4)表示的構(gòu)成單元分別由下式(5)⑶表示的單體(各構(gòu)成單元用單體)衍生。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>(式中，R1和R2分別與式⑴中相同。將式(5)的單體稱作為富馬酸二酯單體。)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>(式中，R3和R4與式⑵中相同。將式(6)的單體稱作為芳族乙烯基單體。)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>(式中的R5與式(3)中相同。將式(7)的單體稱作為α，β_不飽和羧酸單體。)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>(式中的R6、R7與式⑷中相同。將式⑶的單體稱作為(甲基)丙烯酸酯單體。)[由富馬酸二酯單體衍生的構(gòu)成單元(al)]對(duì)于由富馬酸二酯單體衍生的構(gòu)成單元(al)，在成為主鏈結(jié)構(gòu)的部分不具有亞甲基，主鏈的碳上鍵合取代基(式(1)中的COOR^COOR2)，由此由富馬酸二酯構(gòu)成的聚合物具有剛性的主鏈結(jié)構(gòu)。由于是剛性的主鏈結(jié)構(gòu)，因此可以抑制主鏈的分子鏈熱運(yùn)動(dòng)性，在特定的頻數(shù)區(qū)域能夠抑制熱能量的損耗，可得到良好的低介質(zhì)特性。上式(1)中的R1和R2分別是碳原子數(shù)為38的支鏈烷基、碳原子數(shù)為412的環(huán)烷基或取代支鏈環(huán)烷基。R1和R2優(yōu)選是碳原子數(shù)為36的支鏈烷基、碳原子數(shù)為610的環(huán)烷基或取代支鏈環(huán)烷基。更優(yōu)選是碳原子數(shù)為35的支鏈烷基或碳原子數(shù)為68的環(huán)烷基。當(dāng)支鏈烷基的碳原子數(shù)超過(guò)8時(shí)，有時(shí)聚合性下降，產(chǎn)生不良情況。另外，當(dāng)環(huán)烷基或取代支鏈環(huán)烷基的碳原子數(shù)超過(guò)12時(shí)，有顯影性變得不夠充分的問(wèn)題。上式(1)中的R1和R2可以為相同的取代基，也可以為不同的取代基。從易于獲得的角度考慮，優(yōu)選R1和R2相同。[由芳族乙烯基單體衍生的構(gòu)成單元(a2)]衍生構(gòu)成單元(a2)的芳族乙烯基單體可以增加聚合時(shí)與衍生構(gòu)成單元(al)的富馬酸二酯單體的共聚反應(yīng)性。富馬酸二酯單體是電子接受性(電子受容性)強(qiáng)的單體，因此與(甲基)丙烯酸酯或丙烯腈這種具有極性的單體的共聚反應(yīng)性低，但與電子供給性的單體的共聚性較高。衍生構(gòu)成單元(a2)的芳族乙烯基單體，與富馬酸二酯單體、α，不飽和羧酸單體和(甲基)丙烯酸酯單體這3者的任一種單體的共聚性都好，因此在聚合反應(yīng)時(shí)可將由共聚性不同的單體衍生的各構(gòu)成單元順利地引入到聚合物中，能夠得到在共聚合組成方面沒(méi)有分布的不均、具有均勻性質(zhì)的共聚物。上式⑵中的R3是氫原子或甲基，R4是碳原子數(shù)為612的芳族烴基。R3優(yōu)選為氫原子，R4是碳原子數(shù)為610的芳族烴基。當(dāng)R4的碳原子數(shù)超過(guò)12時(shí)，感光性樹(shù)脂組合物的顯影性變得不充分。[(al)+(a2)的合計(jì)量]上述由富馬酸二酯單體衍生的構(gòu)成單元(al)和由芳族乙烯基單體衍生的構(gòu)成單元(a2)的合計(jì)量在成分㈧中為4085質(zhì)量％，優(yōu)選為4580質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選5075質(zhì)量％。當(dāng)(al)和(a2)的合計(jì)量低于40質(zhì)量％時(shí)，缺乏與由α，β-不飽和羧酸單體衍生的構(gòu)成單元(a3)與由(甲基)丙烯酸酯單體衍生的構(gòu)成單元(a4)的共聚性，且由于共聚物中剛性的鏈段變少，導(dǎo)致不能得到具有充分低介質(zhì)特性的感光性樹(shù)脂組合物。另一方面，當(dāng)高于85質(zhì)量％時(shí)，由于共聚物的疏水性變高，導(dǎo)致感光性樹(shù)脂組合物的顯影性變得不充分，在圖案上產(chǎn)生顯影殘?jiān)?。成分㈧?al)+(a2)合計(jì)量中(al)和(a2)的優(yōu)選組成比例以摩爾分?jǐn)?shù)(*^分率)計(jì)優(yōu)選為(al)(a2)=80201090，進(jìn)而優(yōu)選為70301585。當(dāng)(al)高于80摩爾％、(a2)低于20摩爾％時(shí)，在聚合反應(yīng)中(al)的聚合性下降，在共聚性方面存在問(wèn)題。另一方面，當(dāng)(a2)高于90摩爾％、(al)低于10摩爾％時(shí)，成分(A)中的由芳族乙烯基單體衍生的構(gòu)成單元變多，因此共聚物的疏水性增高，有感光性樹(shù)脂組合物的顯影性變得不充分的可能。[由α，β-不飽和羧酸單體衍生的構(gòu)成單元(a3)]由α，β_不飽和羧酸單體衍生的構(gòu)成單元(a3)是在顯影工序中有助于在顯影液中的溶解性的成分。上式(3)中的R5是氫原子、甲基或羧甲基。優(yōu)選是氫原子或甲基，當(dāng)使用上述以外的構(gòu)成單元時(shí)，有不能得到與其它構(gòu)成單元的共聚性的問(wèn)題。通過(guò)由該α，β_不飽和羧酸單體衍生的構(gòu)成單元(a3)的含量，可以調(diào)節(jié)成分(A)的共聚物的酸值。調(diào)節(jié)構(gòu)成單元(a3)的比例，以使酸值的范圍優(yōu)選為50200mgK0H/g，更優(yōu)選為70150mgK0H/g。當(dāng)該酸值過(guò)于低時(shí)，有在顯影液中的溶解性變得不充分的可能，另一方面當(dāng)酸值過(guò)于高時(shí)，有顯影時(shí)的殘膜率下降的可能。[由(甲基)丙烯酸酯單體衍生的構(gòu)成單元(a4)]由(甲基)丙烯酸酯單體衍生的構(gòu)成單元(a4)是有助于顯影性的調(diào)節(jié)、特別是顯影時(shí)的殘膜率或分辨率的成分。上式(4)中的R6是氫原子或甲基，R7是碳原子數(shù)為612的芳族烴基、碳原子數(shù)為112的烷基、碳原子數(shù)為112的支鏈烷基、碳原子數(shù)為212的羥基烷基或構(gòu)成主環(huán)的碳原子數(shù)為512的脂環(huán)式烴基。上述構(gòu)成主環(huán)的碳原子數(shù)為512的脂環(huán)式烴基也可以含有附加的結(jié)構(gòu)、例如環(huán)內(nèi)雙鍵、烴基的側(cè)鏈、螺環(huán)的側(cè)鏈、環(huán)內(nèi)橋連烴基等。R6優(yōu)選為甲基，RM尤選是碳原子數(shù)為16的烷基或支鏈烷基、碳原子數(shù)為610的芳族烴基、碳原子數(shù)為24的羥基烷基或環(huán)己基、二環(huán)戊基(々π《>夕二&基)。當(dāng)R7的碳原子數(shù)超過(guò)12時(shí)，聚合性下降，有不良情況。為了調(diào)節(jié)顯影性，衍生構(gòu)成單元(a4)的這些(甲基)丙烯酸酯單體可以僅使用1種，或者將2種以上組合使用。[質(zhì)量比(a4)/(a3)]由α，β-不飽和羧酸單體衍生的構(gòu)成單元(a3)與由(甲基)丙烯酸酯單體衍生的構(gòu)成單元(a4)的質(zhì)量比(a4)/(a3)為0.27.0，優(yōu)選為0.36.0，更優(yōu)選為0.64.0。當(dāng)質(zhì)量比(a4)/(a3)的值比0.2低時(shí)，共聚物中由α，β-不飽和羧酸單體衍生的構(gòu)成單元變多，顯影時(shí)的殘膜率降低。另一方面，當(dāng)質(zhì)量比(a4)/(a3)的值比7.0高時(shí)，由(甲基)丙烯酸酯單體衍生的構(gòu)成單元變多，顯影性變得不充分，導(dǎo)致顯影殘?jiān)漠a(chǎn)生、或分辨率的下降。用于得到成分㈧的共聚物的聚合用溶劑可以使用一般已知的溶劑。這種溶劑的具體例子可以列舉乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚等的乙二醇單烷基醚類；乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯等的乙二醇單烷基醚乙酸酯類；二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇甲基乙基醚等的二甘醇二烷基醚類；丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚等的丙二醇單烷基醚類；丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯等的丙二醇單烷基醚乙酸酯類；乳酸甲酯、乳酸乙酯等的乳酸酯類；甲苯、二甲苯等的芳族烴類；甲基乙基酮、2-庚酮、環(huán)己酮等的酮類；N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等的酰胺類；Y-丁內(nèi)酯等的內(nèi)酯類等。這些聚合溶劑可以單獨(dú)使用，或者將2種以上混合使用。為得到成分(A)的共聚物而使用的聚合引發(fā)劑可以使用一般已知作為自由基聚合引發(fā)劑的物質(zhì)。作為其具體例子，可以使用偶氮系聚合引發(fā)劑、不具有氰基的偶氮系聚合引發(fā)劑或有機(jī)過(guò)氧化物和過(guò)氧化氫等。當(dāng)使用過(guò)氧化物作為自由基聚合引發(fā)劑時(shí)，也可以將該過(guò)氧化物與還原劑組合而作為氧化還原型聚合引發(fā)劑來(lái)使用。為了調(diào)節(jié)在得到成分(A)的共聚物時(shí)的重均分子量，可以使用分子量調(diào)節(jié)劑。分子量調(diào)節(jié)劑可以列舉例如正己基硫醇、正辛基硫醇、正十二烷基硫醇、叔十二烷基硫醇、巰基乙酸、巰基丙酸等的硫醇類；二硫化二甲基黃原酸酯(夕>f>#寸>卜y>夕^>7^K)、二硫化二異丙基黃原酸酯(乂口O矢寸>卜y>夕7>74F)等的黃原酸酯(#寸>卜7>)類；萜品油烯、α-甲基苯乙烯二聚物等。成分㈧的共聚物的重均分子量?jī)?yōu)選為5，00060，000，更優(yōu)選為5，00030，000,進(jìn)而優(yōu)選8，00025，000。當(dāng)重均分子量小于5，000時(shí)，有后烘時(shí)發(fā)生圖案流動(dòng)(〃夕一>7口一)、圖案膜的分辨率變得不充分的可能，當(dāng)超過(guò)60，000時(shí)，有缺乏對(duì)于顯影液的溶解性，不能得到滿意的顯影性的可能。<成分⑶具有重氮醌基的感光劑>對(duì)于成分(B)的具有重氮醌基的感光劑，在利用光刻法的曝光工序中通過(guò)光掩模進(jìn)行曝光時(shí)，在曝光部分發(fā)生具有重氮醌基的感光劑的光異構(gòu)化反應(yīng)，由此生成羧基，在之后的顯影工序中可使其對(duì)于顯影液發(fā)生溶解。另一方面，未曝光部分具有對(duì)于顯影液的禁止溶解能力，因而可以形成膜。即，具有重氮醌基的感光劑通過(guò)光掩模進(jìn)行曝光，由此在之后的顯影工序中可使其對(duì)于顯影液的溶解性不同，因此可得到圖案膜。成分(B)的具有重氮醌基的感光劑可以通過(guò)使具有羥基的酚性化合物與重氮醌化合物進(jìn)行酯化反應(yīng)而得到。重氮醌化合物可以使用以1，2_重氮萘醌-5-磺酰氯、1，2_重氮萘醌-4-磺酰氯等為代表的重氮萘醌磺酰氯或重氮苯醌磺酰氯這樣的重氮醌磺酰鹵。酯化反應(yīng)如下述那樣進(jìn)行，S卩，在堿性催化劑、例如氫氧化鈉、碳酸鈉、碳酸氫鈉、三乙胺等的存在下，使具有羥基的酚性化合物與重氮醌磺酰鹵在通常為-2060°C左右的溫度下進(jìn)行反應(yīng)。酯化率可以通過(guò)調(diào)節(jié)具有羥基的酚性化合物的量和重氮醌化合物的量而形成適當(dāng)?shù)闹?。在該酯化反?yīng)中，可以得到酯化數(shù)和酯化位置各自不同的混合物。因此，酯化率可以以這些混合物的平均值來(lái)表示。另外，這些反應(yīng)產(chǎn)物可以單獨(dú)使用1種，也可以將2種以上并用。具有重氮醌基的感光劑的酯化率優(yōu)選為2095摩爾％，更優(yōu)選為3590摩爾％。當(dāng)酯化率在20摩爾％以下時(shí)，有招致靈敏度下降的可能，當(dāng)在95摩爾％以上時(shí)，感光劑對(duì)于共聚物的相容性變差，有圖案膜發(fā)生相分離并發(fā)生白濁的可能。可用于具有重氮醌基的感光劑中的具有羥基的酚性化合物優(yōu)選用下式(9)或(10)表示的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>(式中，R8、R9、R10和R11分別表示氫原子或碳原子數(shù)為12的烷基，R12和R13分別表示碳原子數(shù)為12的烷基。)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>(10)(式中，R14、R15、R16、R17、R18、R19和R20分別表示氫原子、碳原子數(shù)為14的烷基或下式(11)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>…(ID式中R21表示氫原子或碳原子數(shù)為14的烷基，m和η分別是02的整數(shù)，a、b、c、d、e、f、g和h是滿足a+b≤5、c+d≤5、e+f≤5、g+h≤5的、05的整數(shù)，i是02的整數(shù)。)作為上式(9)所示的酚性化合物可以列舉例如下述化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>另外，上式(10)所示的酚性化合物可以列舉鄰甲酚、間甲酚、對(duì)甲酚、2，4_二甲苯酚、2，5-二甲苯酚、2，6-二甲苯酚、雙酚六、8、(3、？和6、4，4，，4”-次甲基三苯酚、2，6-雙[(2-羥基-5-甲基苯基)甲基]-4-甲基苯酚、4，4，-[1-[4-[1-(4_羥基苯基)-1_甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚、4，4，-[1-[4-[2-(4_羥基苯基)-2_丙基]苯基]亞乙基]雙酚、4，4，，4”_次乙基三苯酚、4-[雙(4-羥基苯基)甲基]-2-乙氧基苯酚、4，4，-[(2-羥基苯基)亞甲基]雙[2，3_二甲基苯酚]、4，4，-[(3-羥基苯基)亞甲基]雙[2，6_二甲基苯酚]、4，4’-[(4-羥基苯基)亞甲基]雙[2，6_二甲基苯酚]、2，2’-[(2-羥基苯基)亞甲基]雙[3，5_二甲基苯酚]、2，2，-[(4-羥基苯基)亞甲基]雙[3，5_二甲基苯酚]、4，4，-[(3，4_二羥基苯基)亞甲基]雙[2，3，6_三甲基苯酚]、4-[雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)甲基]-1，2-苯二酚、4，6_雙[(3，5_二甲基-4-羥基苯基)甲基]_1，2，3-苯三酚、4，4，-[(2-羥基苯基)亞甲基]雙[3-甲基苯酚]、4，4，，4”-(3_甲基-1-丙基-3-次基)三苯酚、4，4，，4”，4”，-(1，4_苯二次甲基)四苯酚、2，4，6_三[(3，5_二甲基-4-羥基苯基)甲基]-1，3-苯二酚、2，4，6_三[(3，5_二甲基-2-羥基苯基)甲基]_1，3-苯二酚、4，4’-[1-[4-[1-[4_羥基-3，5-雙[(羥基-3-甲基苯基)甲基]苯基]甲基乙基]苯基]亞乙基]雙[2，6-雙(羥基-3-甲基苯基)甲基]苯酚等。在這些化合物中，優(yōu)選4，4，，4”-次甲基三苯酚、2，6-雙[(2-羥基-5-甲基苯基)甲基]-4-甲基苯酚、4，4’-[1-[4-[1-(4_羥基苯基)-1_甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚、4，4，-[1-[4-[2-(4_羥基苯基)-2-丙基]苯基]亞乙基]雙酚、4，4，，4”-次乙基三苯酚等。在用通式(10)表示的這些酚性化合物中，特別優(yōu)選用下式(15)或下式(16)表示的化合物。OHCH3HO~^^~~C-CH3...(15)一OHOHοσ^Ο…⑶CH,CH,CH3CH3感光性樹(shù)脂組合物中的、成分⑶的具有重氮醌基的感光劑的構(gòu)成比例相對(duì)于成分(A)的共聚物100質(zhì)量份，為550質(zhì)量份，優(yōu)選為745質(zhì)量份，進(jìn)而優(yōu)選1040質(zhì)量份。當(dāng)該構(gòu)成比例低于5質(zhì)量份時(shí)，有引起敏感度下降或顯影殘?jiān)a(chǎn)生的可能，當(dāng)高于50質(zhì)量份時(shí)，感光劑對(duì)于共聚物的相容性變差，有圖案膜發(fā)生相分離的可能。<成分(C)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的固化劑>本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中使用的固化劑具有2個(gè)以上的環(huán)氧基。該固化劑可在高溫烘烤時(shí)與共聚物側(cè)鏈的羧基發(fā)生熱固化反應(yīng)，形成交聯(lián)膜。該固化劑的具體例子可以使用雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂、甲酚或苯酚酚醛環(huán)氧樹(shù)脂、萘型環(huán)氧樹(shù)脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、縮水甘油醚型環(huán)氧樹(shù)脂、縮水甘油酯型環(huán)氧樹(shù)脂、縮水甘油基胺型環(huán)氧樹(shù)脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、硅氧烷型環(huán)氧樹(shù)脂、芴型環(huán)氧樹(shù)脂、四羥苯基乙烷型環(huán)氧樹(shù)脂、DPP(鄰苯二甲酸二正戊酯)型環(huán)氧樹(shù)脂、三羥苯基甲烷型環(huán)氧樹(shù)脂、二環(huán)戊二烯酚型環(huán)氧樹(shù)脂(7〉々π>々7工>7工7—>型工f〉樹(shù)脂)等的芳族聚縮水甘油醚，另外還可以使用上述環(huán)氧樹(shù)脂的芳香核氫化物。固化劑不限于這些高分子系環(huán)氧樹(shù)脂，也可以是低分子系的環(huán)氧化合物。優(yōu)選列舉甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂等。特別優(yōu)選使用具有2個(gè)以上環(huán)氧基的雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂，由此可以實(shí)現(xiàn)良好的固化性、高的光線透射率和耐溶劑性。這些環(huán)氧樹(shù)脂可以僅使用1種，或?qū)?種以上組合使用。感光性樹(shù)脂組合物中成分(C)的固化劑的構(gòu)成比例相對(duì)于成分㈧的共聚物100質(zhì)量份，為140質(zhì)量份，優(yōu)選為535質(zhì)量份，進(jìn)而優(yōu)選1030質(zhì)量份。當(dāng)該構(gòu)成比例在1質(zhì)量份以下時(shí)，圖案膜(固化膜)的溶劑耐性不充分，當(dāng)在40質(zhì)量份以上時(shí)，有固化劑對(duì)于共聚物的相容性變差，產(chǎn)生圖案膜的相分離并發(fā)生白濁的可能。<其它添加成分>在感光性樹(shù)脂組合物中，可以添加溶劑、固化促進(jìn)劑、襯度(二>卜，7卜)提高齊U、相容劑、密合性提高助劑、表面活性劑等的添加成分來(lái)使用。(溶劑)溶劑的具體例子可以列舉乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚等的乙二醇單烷基醚類；乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯等的乙二醇單烷基醚乙酸酯類；二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇甲基乙基醚等的二甘醇二烷基醚類；丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚等的丙二醇單烷基醚類；丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯等的丙二醇單烷基醚乙酸酯類；乳酸甲酯、乳酸乙酯等的乳酸酯類；甲苯、二甲苯等的芳族烴類；甲基乙基酮、2-庚酮、環(huán)己酮等的酮類；N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等的酰胺類；Y-丁內(nèi)酯等的內(nèi)酯類等。這些聚合溶劑可以單獨(dú)使用，或者將2種以上混合使用。(固化促進(jìn)劑)固化促進(jìn)劑可以促進(jìn)上述成分(C)的固化劑與成分㈧的共聚物側(cè)鏈的羧基的交聯(lián)反應(yīng)。固化促進(jìn)劑可以列舉例如SI-60L、SI-80L、SI-100L、SI-IIOL[以上由三新化學(xué)工業(yè)(株)制]等的芳族锍鹽；U-CATSA102、U-CATSA106,U-CATSA506、U_CATSA603、U_CAT5002[以上由寸yy-fη(株)制]等的二氮雜雙環(huán)i^一碳烯鹽；U-CAT5003,U-CAT18X、CPI-210S[以上由寸>7/口(株)制]。進(jìn)而咪唑系的固化促進(jìn)劑可以列舉*^7y'—^1B2PZ[四國(guó)化成工業(yè)(株)制]。另外，也可以使用通過(guò)照射光而產(chǎn)生堿的光堿發(fā)生劑等。該光堿發(fā)生劑通過(guò)調(diào)節(jié)漂白工序時(shí)的條件，可在光照射時(shí)產(chǎn)生胺等的堿，在之后的后烘工序中可作為交聯(lián)促進(jìn)劑使用。通過(guò)在感光性樹(shù)脂組合物中含有這些固化促進(jìn)劑，環(huán)氧基與羧基的反應(yīng)速度變快，因此在后烘等的高溫烘烤中，可以抑制圖案膜的熱松垂，得到高分辨率的圖案膜。固化促進(jìn)劑的構(gòu)成比例相對(duì)于成分(C)的固化劑100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.115質(zhì)量份，更優(yōu)選1-10質(zhì)量份。(襯度提高劑)為了提高襯度，可在感光性樹(shù)脂組合物中配合上式(9)或(10)所示的具有羥基的酚性化合物。具有羥基的酚性化合物為低分子，因此在感光性樹(shù)脂組合物中適合作為普通溶解促進(jìn)劑用于調(diào)節(jié)溶解速度，或用于感光性樹(shù)脂組合物的敏感度的提高或敏感度的調(diào)節(jié)。這些溶解速度或敏感度的調(diào)節(jié)可通過(guò)調(diào)節(jié)酚性化合物的添加量來(lái)進(jìn)行，當(dāng)增加溶解速度和敏感度時(shí)，只要增多添加量即可，另外相反的情況時(shí)只要減少添加量即可。通過(guò)使用這些酚性化合物，與不使用的情況相比，在與感光劑產(chǎn)生偶氮偶合反應(yīng)的溶解得到抑制的樹(shù)脂成分中含有低分子化合物，由此可以增加曝光部分與未曝光部分的溶解速度的差異(增大襯度)，能夠提高分辨率。具有羥基的酚性化合物優(yōu)選是上式(12)、(13)、(14)、(15)或(16)，通常相對(duì)于共聚物100質(zhì)量份，以120質(zhì)量份的量使用。(相容劑)為了提高成分(A)、(B)、(C)的相容性，可以在感光性樹(shù)脂組合物中進(jìn)一步配合下式(17)所示的、2個(gè)以上羧基的一部分被高級(jí)醇酯化了的多羧酸酯化合物。(R23OCO)p-R22-(COOH)q—(17)這里，R22是可以被羥基、鹵素、氨基或磺酸基取代的烴基，R23是烴基，P和q分別為1以上的整數(shù)。R22優(yōu)選是飽和烴、不飽和烴或芳族烴，特別優(yōu)選不飽和烴。R23的碳原子數(shù)沒(méi)有特別地限定，優(yōu)選為316，更優(yōu)選512。進(jìn)而R23可以是直鏈的烷基或支鏈的烷基。另夕卜，P優(yōu)選為12，q優(yōu)選為13，當(dāng)ρ為2以上時(shí)，各自的R23可以相同，也可以不同。多羧酸酯化合物的含量相對(duì)于成分(A)的共聚物100質(zhì)量份，為0.0110質(zhì)量份，優(yōu)選為0.55質(zhì)量份。當(dāng)多羧酸酯化合物的含量比10質(zhì)量份多時(shí)，有形成的被膜的耐熱性惡化的可能。(密合性提高助劑和表面活性劑)在感光性樹(shù)脂組合物中，可以根據(jù)需要進(jìn)一步配合密合性增加助劑和表面活性劑等。密合性增加助劑的例子可以列舉烷基咪唑啉、丁酸、烷基酸、聚羥基苯乙烯、聚乙烯基甲基醚、叔丁基酚醛清漆(t_寸f>7#，7々)、環(huán)氧硅烷、環(huán)氧聚合物、硅烷偶聯(lián)劑等。表面活性劑的例子可以列舉非離子性表面活性劑、例如聚乙二醇類和其衍生物、即聚丙二醇或聚氧乙烯十二烷基醚，含有氟的表面活性劑、例如7^9-F[商品名、住友3M(株)制]、乂辦777夕[商品名、大日本4>矢化學(xué)工業(yè)(株)制]、7口>[商品名、旭辦，7(株)制]或有機(jī)硅氧烷表面活性劑、例如KP341[商品名、信越化學(xué)工業(yè)(株)制]。<感光性樹(shù)脂組合物的調(diào)制法>在調(diào)制感光性樹(shù)脂組合物或其稀釋物時(shí)，可以將以上述成分(A)、⑶和(C)為代表的各成分一起配合，也可以將各成分溶解在溶劑中后逐次配合。另外，配合時(shí)的加入順序或作業(yè)條件沒(méi)有特別地限制。例如可以將全部成分同時(shí)溶解在溶劑中來(lái)調(diào)制樹(shù)脂組合物，也可以根據(jù)需要將各成分預(yù)先適當(dāng)?shù)刂瞥?種以上的溶液，在使用時(shí)(涂布時(shí))將這些溶液混合來(lái)調(diào)制感光性樹(shù)脂組合物。<平板顯示器和半導(dǎo)體裝置>平板顯示器和半導(dǎo)體裝置具有將上述感光性樹(shù)脂組合物固化而成的層、即平坦化膜或?qū)娱g絕緣膜。在形成平坦化膜和層間絕緣膜時(shí)，通常將感光性樹(shù)脂組合物的溶液涂布在基板上，進(jìn)行前烘，形成感光性樹(shù)脂組合物的涂膜(光致抗蝕劑膜)。此時(shí)，涂布感光性樹(shù)脂組合物的基板可以是玻璃、硅氧烷等目前用于FPD或用于半導(dǎo)體裝置形成的基板等公知的任一種基板?；蹇梢允锹慊?，也可以形成氧化膜、氮化膜、金屬膜等，進(jìn)而也可以是形成了電路圖案或半導(dǎo)體裝置等的基板。另外，前烘的溫度通常為40140°C，時(shí)間為015分鐘左右。其次，在光致抗蝕劑膜上通過(guò)規(guī)定的掩模進(jìn)行圖案曝光后，使用堿顯影液進(jìn)行顯影處理，根據(jù)需要進(jìn)行淋洗處理，形成感光性樹(shù)脂組合物的膜。這樣形成的膜在被全面曝光后，進(jìn)行后烘來(lái)形成圖案膜。全面曝光時(shí)的曝光量通常為600mJ/cm2以上即可。另外，后烘溫度通常為150250°C，優(yōu)選180230°C，后烘時(shí)間通常為3090分鐘。使用感光性樹(shù)脂組合物形成的圖案膜可以作為半導(dǎo)體裝置或液晶顯示裝置、等離子體顯示器等的FPD的平坦化膜或?qū)娱g絕緣膜等來(lái)利用。這里，平坦化膜和層間絕緣膜不是完全獨(dú)立的，由感光性樹(shù)脂組合物形成的圖案膜可以作為平坦化膜利用，也可以作為層間絕緣膜利用。在半導(dǎo)體裝置等中，這種膜既可作為層間絕緣膜、也可作為平坦化膜發(fā)揮功能。在上述圖案膜的形成中，作為感光性樹(shù)脂組合物或其稀釋物的涂布方法，可以使用旋涂法、輥涂法、landcoat(，>K二一卜)法、噴霧法、流延涂布法、浸漬涂布法、狹縫涂布法等任意的方法。另外，作為在曝光中使用的輻射線，可以列舉例如g線、h線、i線等的紫外線、KrF準(zhǔn)分子激光或ArF準(zhǔn)分子激光等的遠(yuǎn)紫外線、X射線、電子束等。顯影法只要是槳式顯影法(〃F>現(xiàn)像法)、浸漬顯影法、搖動(dòng)浸漬顯影法、噴淋式顯影法等目前在顯影光致抗蝕劑時(shí)使用的方法即可。顯影劑可以使用將氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、硅酸鈉等無(wú)機(jī)堿、氨、乙基胺、丙基胺、二乙基胺、二乙基氨基乙醇、三乙基胺等有機(jī)胺、氫氧化四甲銨等季銨等調(diào)節(jié)成規(guī)定濃度的水溶液。實(shí)施例以下，列舉實(shí)施例和比較例更具體地說(shuō)明上述實(shí)施方式。并且“份”和“％”只要沒(méi)有特別地說(shuō)明，均為質(zhì)量基準(zhǔn)。以下表示各實(shí)施例和各比較例中使用的測(cè)定方法和評(píng)價(jià)方法?！此嶂怠邓嶂?mgKOH/g)根據(jù)JISK00701992“化學(xué)制品的酸值、皂化值、酯化值、碘值、羥值和不皂化物的試驗(yàn)方法”，將一定量的樹(shù)脂溶解在四氫呋喃(THF)溶液中，以酚酞作為指示劑，利用氫氧化鉀/乙醇溶液滴定來(lái)進(jìn)行測(cè)定?！粗鼐肿恿俊抵鼐肿恿?Mw)如下述那樣求得，即，使用東〃一(株)制凝膠滲透色譜裝置HLC-8220GPC和昭和電工(株)制柱子SHODEXK801，以THF作為洗脫液，利用RI檢測(cè)器測(cè)定，使用由已知分子量的聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)品得到的標(biāo)準(zhǔn)曲線進(jìn)行換算。[合成例1、共聚物A-I的合成]在具有溫度計(jì)、攪拌機(jī)和冷凝管的IOOOmL的4頸燒瓶中裝入乳酸乙酯(EL)540.Og,進(jìn)行氮置換后，在油浴中升溫，直至液溫為90°C。另外，通過(guò)滴液漏斗用2小時(shí)均速滴加下述那樣的液體(滴加成分)后，在相同溫度下保持8小時(shí)，得到共聚物A-1，所述液體是將富馬酸雙(4-叔丁基環(huán)己基)酯(DcHtBF)71.lg、甲基丙烯酸(MAA)38.4g、苯乙烯(St)18.9g、甲基丙烯酸2-羥基乙酯(HEMA)71.6g、2，2’-偶氮二異丁腈[偶氮系聚合引發(fā)劑、和光純藥工業(yè)(株)制]10.Og和EL60.Og預(yù)先均勻混合而得的液體。[合成例29]除了變化表1記述的加入種類和量、滴加和聚合溫度以外，其它用與合成例1同樣的方法合成共聚物A-2A-9。<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>表l中的省略符號(hào)的意思如下所述。DCHtBF富馬酸雙(4一叔丁基環(huán)己基)酯DCHF富馬酸二環(huán)己酯DiPF富馬酸二異丙酯DSBF富馬酸二仲丁酯DtBF富馬酸二叔丁酯DSAF富馬酸二仲戊酯St苯乙烯αMeStα-甲基苯乙烯MAA:甲基丙烯酸AA:丙烯酸HEMA甲基丙烯酸_2_羥基乙酯HPMA甲基丙烯酸羥基丙酯MMA:甲基丙烯酸甲酯CHMA甲基丙烯酸環(huán)己酯Hex-Ο:叔己基過(guò)氧化-2-乙基己酸酯、日油(株)制的過(guò)氧化物系聚合引發(fā)劑“〃一、今ν；l·；l·ο”Bu-O:叔丁基過(guò)氧化-2-乙基己酸酯、日油(株)制的過(guò)氧化物系聚合引發(fā)劑“〃一·/千卟0"AIBN:2，2’-偶氮二異丁腈[偶氮系聚合引發(fā)劑、和光純藥工業(yè)(株)制]PGMEA丙二醇單甲醚乙酸酯EL:乳酸乙酯〈實(shí)施例1>在丙二醇單甲醚乙酸酯75.2g和乳酸乙酯0.2g中，溶解合成例1得到的共聚物A-I100g、上式(15)表示的化合物與1，2-重氮萘醌-5-磺酰氯的酯化物6.25g、進(jìn)而溶解用式(15)表示的酚性化合物1.25g、r>7^rVG3101L[(株)亍”制]5g、U-CATSA102[^>τα(株)制]0.lg，為了防止在旋轉(zhuǎn)涂布時(shí)抗蝕劑膜上的放射線狀的皺褶、所謂的條痕，進(jìn)一步添加氟系表面活性劑、乂^yrV>7R-08[大日本4化學(xué)工業(yè)(株)制]0.Olg,攪拌后用0.2μm的過(guò)濾器過(guò)濾，制得感光性樹(shù)脂組合物的稀釋物。(薄膜圖案的形成)將該感光性樹(shù)脂組合物的稀釋物在4英寸硅片(*>」=>々-/、一)上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布，用加熱板在100°c烘烤90秒后，得到4.2μπι厚的薄膜。在該薄膜上利用*^7>(株)制g+h+i線掩模對(duì)準(zhǔn)器(PLA-501F)以最佳曝光量對(duì)線條與間隔寬度為11的各種線寬和接觸孔(二々卜*一的試驗(yàn)圖案進(jìn)行曝光，用0.4質(zhì)量％氫氧化四甲基銨水溶液在23°C進(jìn)行60秒的顯影，由此形成線條與間隔寬度為11的線條&間隔圖案和接觸孔圖案。將該薄膜用PLA-501F進(jìn)行全面曝光后，通過(guò)在烘箱中于220°C加熱60分鐘，進(jìn)行后烘處理，得到厚度為3.0μm的帶有圖案的薄膜(圖案膜)。(顯影性的評(píng)價(jià))在上述制作的圖案中，利用SEM觀察ΙΟμπι的孔圖案。當(dāng)在孔部整個(gè)面上觀察到殘?jiān)鼤r(shí)記作X，僅在孔與基板的界面附近觀察到殘?jiān)鼤r(shí)記作Δ，在孔部整個(gè)面上都沒(méi)有觀察到殘?jiān)鼤r(shí)記作〇，對(duì)顯影性進(jìn)行評(píng)價(jià)。其結(jié)果示于表2。(介電常數(shù)的評(píng)價(jià))除了沒(méi)有用PLA-501F對(duì)試驗(yàn)圖案進(jìn)行曝光以外，其它進(jìn)行與上述同樣的操作，由此可以在4英寸硅片上得到?jīng)]有圖案的、厚度為3.0μm的薄膜。在該薄膜上形成電極，由在室溫、IOkHz的條件下使用安藤電氣(株)制LCR計(jì)(AG-4311)得到的靜電容量算出介電常數(shù)。其結(jié)果示于表2。(透射率的評(píng)價(jià))除了使用長(zhǎng)70mm、寬70mm尺寸的石英玻璃基板，且不對(duì)試驗(yàn)圖案進(jìn)行曝光以外，其它進(jìn)行與上述同樣的操作，由此在玻璃基板上得到?jīng)]有圖案的薄膜。使用紫外-可見(jiàn)光分光光度計(jì)CARY4E(^」τ>社制)，測(cè)定具有該薄膜的玻璃基板的光波長(zhǎng)為400nm的透射率。其結(jié)果示于表2。(耐溶劑性的評(píng)價(jià))將通過(guò)與透射率的評(píng)價(jià)進(jìn)行同樣操作而得到的玻璃基板在RemOVerl00[AZ二>夕卜口二y夕〒〗j(luò)7χ(株)制]中于80°C浸漬1分鐘后，進(jìn)行純水淋洗，在200°C進(jìn)行15分鐘的再烘烤處理。當(dāng)溶劑浸漬前的透射率與再烘烤處理后的透射率差小于3%時(shí)，評(píng)價(jià)為〇，當(dāng)透射率差為3%以上時(shí)評(píng)價(jià)為X。其結(jié)果示于表2?！磳?shí)施例2>除了使用合成例2中得到的共聚物A-2以外，其它與實(shí)施例1進(jìn)行同樣的操作，由此調(diào)制感光性樹(shù)脂組合物的稀釋物。對(duì)于該感光性樹(shù)脂組合物，評(píng)價(jià)與實(shí)施例1同樣的物性，它們的結(jié)果示于表2?！磳?shí)施例318>對(duì)于表2和表3所示的配合，進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的操作，由此調(diào)制實(shí)施例318的感光性樹(shù)脂組合物的稀釋物。對(duì)于這些感光性樹(shù)脂組合物，評(píng)價(jià)與實(shí)施例1同樣的物性，它們的結(jié)果示于表2和表3?！幢容^例1和2>對(duì)于表3所示的配合，進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的操作，由此調(diào)制比較例1、2的感光性樹(shù)脂組合物的稀釋物。對(duì)于這些感光性樹(shù)脂組合物，評(píng)價(jià)與實(shí)施例1同樣的物性，這些結(jié)果不于表3o<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>根據(jù)表2和表3所示的結(jié)果可以確認(rèn)，對(duì)于實(shí)施例l—18，在形成圖案膜的顯影工序中，沒(méi)有顯影殘?jiān)?，即使在高溫烘烤后也不損害光透射率、耐溶劑性等的涂膜物性，顯影性和低介質(zhì)特性優(yōu)異。并且，對(duì)于實(shí)施例ι18，可以充分維持圖案膜的殘膜率，另外圖案膜的平坦性也良好。另一方面，根據(jù)表3所示的結(jié)果，比較例1中成分(A)的共聚物不含有構(gòu)成單元(al)，因而顯影性惡化。在比較例2中，共聚物中不含有構(gòu)成單元(al)和(a2)，因此介電常數(shù)惡化。權(quán)利要求感光性樹(shù)脂組合物，其含有成分(A)、(B)和(C)，其特征在于，成分(A)是包含用下式(1)表示的由富馬酸二酯單體衍生的構(gòu)成單元(a1)、用下式(2)表示的由芳族乙烯基單體衍生的構(gòu)成單元(a2)、用下式(3)表示的由α，β-不飽和羧酸單體衍生的構(gòu)成單元(a3)和用下式(4)表示的由(甲基)丙烯酸酯單體衍生的構(gòu)成單元(a4)的共聚物，構(gòu)成單元(a1)和構(gòu)成單元(a2)的合計(jì)量在該成分(A)中為40～85質(zhì)量％，構(gòu)成單元(a3)和構(gòu)成單元(a4)的質(zhì)量比(a4)/(a3)為0.2～7.0，(式中，R1和R2分別是碳原子數(shù)為3～8的支鏈烷基、碳原子數(shù)為4～12的環(huán)烷基或取代支鏈環(huán)烷基)(式中，R3是氫原子或甲基，R4是碳原子數(shù)為6～12的芳族烴基)(式中的R5是氫原子、甲基或羧甲基)(式中的R6是氫原子或甲基，R7是碳原子數(shù)為6～12的芳族烴基、碳原子數(shù)為1～12的烷基、碳原子數(shù)為1～12的支鏈烷基、碳原子數(shù)為2～12的羥基烷基或構(gòu)成主環(huán)的碳原子數(shù)為5～12的脂環(huán)式烴基)，成分(B)是使具有羥基的酚性化合物與重氮醌化合物進(jìn)行酯化反應(yīng)而得到的、具有重氮醌基的感光劑，成分(C)是具有2個(gè)以上環(huán)氧基的固化劑，成分(B)和(C)的構(gòu)成比例相對(duì)于成分(A)100質(zhì)量份分別是(B)為5～50質(zhì)量份和(C)為1～40質(zhì)量份。FSA00000019683000011.tif,FSA00000019683000012.tif,FSA00000019683000013.tif,FSA00000019683000021.tif2.平板顯示器，其具有將權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物固化得到的層。3.半導(dǎo)體裝置，其具有將權(quán)利要求1所述的的感光性樹(shù)脂組合物固化得到的層。全文摘要本發(fā)明涉及正型感光性樹(shù)脂組合物。感光性樹(shù)脂組合物，其含有下述成分(A)、(B)和(C)，成分(B)和(C)相對(duì)于成分(A)100質(zhì)量份的構(gòu)成比例分別設(shè)定為(B)5～50質(zhì)量份和(C)1～40質(zhì)量份。成分(A)是含有由富馬酸二酯單體衍生的構(gòu)成單元(a1)、由芳族乙烯基單體衍生的構(gòu)成單元(a2)、由α，β-不飽和羧酸單體衍生的構(gòu)成單元(a3)和由(甲基)丙烯酸酯單體衍生的構(gòu)成單元(a4)的共聚物。成分(B)是具有重氮醌基的感光劑。成分(C)是具有2個(gè)以上環(huán)氧基的固化劑。文檔編號(hào)G02F1/1335GK101799627SQ20101011369公開(kāi)日2010年8月11日申請(qǐng)日期2010年2月8日優(yōu)先權(quán)日2009年2月9日發(fā)明者二戶吉德,岡村聰也,加藤行浩,田口寬之,高橋修一申請(qǐng)人:日油株式會(huì)社