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強(qiáng)激光石墨光闌及其制造方法

文檔序號(hào):2753461閱讀:425來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):強(qiáng)激光石墨光闌及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于強(qiáng)激光傳輸光路的光束控制元件及其制造方法。
背景技術(shù)
光闌被廣泛應(yīng)用于激光傳輸光路中,對(duì)入射光束進(jìn)行通斷控制以得到符合要求的光束直徑和光斑形狀。目前常用光闌主要由金屬材料制成,加工為圓片狀,根據(jù)需要圓片中 心開(kāi)有小孔,利用小孔對(duì)入射光束進(jìn)行通過(guò)與阻擋控制。另外,光闌也可由非金屬材料制 成,具體材料可以為塑料、聚四氟乙烯等,此類(lèi)材料主要制作軟邊光闌以減小對(duì)傳輸中光束 質(zhì)量的影響?,F(xiàn)有技術(shù)在對(duì)高功率(千瓦級(jí))和高能激光等強(qiáng)激光束進(jìn)行控制時(shí),光闌無(wú)法耐 受強(qiáng)激光束的輻照而會(huì)被損壞。隨著強(qiáng)激光技術(shù)的快速發(fā)展,強(qiáng)激光源將在科學(xué)研究和工 業(yè)加工等諸多領(lǐng)域得到越來(lái)越多的應(yīng)用,相應(yīng)對(duì)于強(qiáng)激光束傳輸中光束直徑和光斑控制提 出了越來(lái)越高的要求。目前,對(duì)于強(qiáng)激光束的應(yīng)用,通常是將現(xiàn)有金屬光闌的材料變厚,個(gè)體變大,以提高光闌耐受激光輻照破壞的能力,此種方法難以滿(mǎn)足功率/能量不斷提高的激光束應(yīng)用要 求。同時(shí),現(xiàn)有光闌在對(duì)激光束進(jìn)行阻擋時(shí)會(huì)產(chǎn)生反射或散射光束,在強(qiáng)激光應(yīng)用場(chǎng)合,會(huì) 對(duì)操作人員帶來(lái)一定危險(xiǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是提出一種適用于強(qiáng)激光傳輸光路中進(jìn)行光束直徑和光斑形狀控制的石墨光闌及其制造方法,以解決現(xiàn)有光闌無(wú)法耐受強(qiáng)激光輻照,對(duì)傳輸光束質(zhì)量影響較 大的技術(shù)問(wèn)題。為達(dá)到以上目的,本發(fā)明是采取如下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的一種強(qiáng)激光石墨光闌, 其特征在于,包括石墨體和熱沉,所述石墨體中心開(kāi)有圓臺(tái)形通光孔,該通光孔的圓臺(tái)底正 對(duì)入射激光光束方向;該通光孔的圓臺(tái)頂半徑為Rl ;所述熱沉中心開(kāi)有半徑為R2的圓柱通 光孔,R2大于R1,石墨體通過(guò)聯(lián)接段嵌入熱沉前端面,使熱沉包在石墨體聯(lián)接段外周。上述方案中,所述圓臺(tái)形通光孔的圓錐角小于90°。所述熱沉內(nèi)開(kāi)有循環(huán)水道連通側(cè)周的入口和出口,冷卻水從入口流入熱沉,經(jīng)循環(huán)水道從出口流出,實(shí)現(xiàn)對(duì)熱沉的冷卻 散熱。一種強(qiáng)激光石墨光闌的制造方法,其特征在于,包括下述步驟1]采用數(shù)控車(chē)床將高純石墨加工成圓片,圓片厚度為圓片直徑的五分之一 ;2]在圓片中心加工圓臺(tái)形通光 孔,該通光孔的圓臺(tái)底正對(duì)入射激光光束方向;該通光孔的圓臺(tái)頂半徑為Rl ;直徑2R1是圓 片直徑的十分之一 ;3]在圓片圓周上加工螺紋形成聯(lián)接段,用于與熱沉進(jìn)行緊密聯(lián)接,至 此,石墨體加工完畢;4]采用數(shù)控車(chē)床將純銅棒料加工成圓柱銅體;5]在銅體中心加工半 徑為R2的圓柱通光孔,R2大于Rl ;6]在銅體前端面加工凹進(jìn),該凹進(jìn)內(nèi)周加工螺紋,至此, 熱沉加工完畢;7]將石墨體聯(lián)接段螺紋旋入熱沉前端面,使熱沉包在石墨體聯(lián)接段外周。
上述方法中,所述圓柱銅體包括熱沉內(nèi)體和外罩體,在內(nèi)體外周和外罩體內(nèi)周分 別加工位置相對(duì)的循環(huán)水槽,之后將內(nèi)體和外罩體采用焊接形式封裝,使循環(huán)水槽形成循 環(huán)水道。所述圓臺(tái)形通光孔的圓錐角小于90°。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是1、可以解決強(qiáng)激光束傳輸中光束直徑及光斑 形狀控制的難題,保證了光闌在對(duì)強(qiáng)激光束進(jìn)行通光控制時(shí)不被輻照破壞;此光闌由高純 石墨材料構(gòu)成,利用高純石墨耐高溫?zé)g(升華點(diǎn)高達(dá)3700°c ),易加工等優(yōu)點(diǎn),提高了光 闌抗激光輻照損傷能力。2、石墨體上通光孔大小和形狀均可根據(jù)需要設(shè)計(jì),石墨體加工簡(jiǎn)單,易于滿(mǎn)足不 同直徑和不同光斑形狀需求的激光束應(yīng)用要求。3、石墨體對(duì)入射激光吸收率高(吸收率高于90%),避免了被阻擋激光束的散射, 消除了光路傳輸中的雜散光,凈化了光路,降低了對(duì)操作人員的危害;4、熱沉可有效對(duì)石墨 體進(jìn)行散熱,提高石墨體耐受強(qiáng)激光輻照能力,同時(shí)可進(jìn)一步利用循環(huán)水對(duì)熱沉散熱,滿(mǎn)足 今后更高功率/能量強(qiáng)激光束應(yīng)用;5、石墨與熱沉共同構(gòu)成強(qiáng)激光石墨光闌,其中石墨體 部分易加工、造價(jià)低,長(zhǎng)時(shí)間使用后方便單獨(dú)進(jìn)行更換,而熱沉體仍可使用,可以降低工業(yè) 應(yīng)用的成本。綜上,采用本發(fā)明設(shè)計(jì)的石墨光闌,具有耐受激光輻照破壞力強(qiáng),對(duì)傳輸光束影響 小的優(yōu)點(diǎn),可以廣泛應(yīng)用于利用激光進(jìn)行科學(xué)研究、工業(yè)加工等的場(chǎng)合,實(shí)現(xiàn)對(duì)激光束直徑 和光斑形狀的控制,尤其能夠滿(mǎn)足強(qiáng)激光傳輸控制的應(yīng)用,具有較廣泛的應(yīng)用前景和較高 的經(jīng)濟(jì)價(jià)值。


圖1是本發(fā)明強(qiáng)激光石墨光闌的正視圖。圖2是圖1的A-A剖面圖;圖3是圖1強(qiáng)激光石墨光闌的工作原理圖;圖1至圖 3中1-石墨體,2-石墨體通光孔,3-聯(lián)接段,4-熱沉,5-熱沉通光孔,6-熱沉循環(huán)水入口, 7-循環(huán)水道,8-熱沉循環(huán)水出口,9-入射光束,10-出射光束。
具體實(shí)施例方式如圖1和圖2所示,本發(fā)明強(qiáng)激光石墨光闌主體為一個(gè)半徑為R,厚度為H的石墨 體1,石墨體中心開(kāi)有通光孔2,其半徑為Rl,石墨體通過(guò)聯(lián)接段3嵌入熱沉4前端面,使熱 沉包在石墨體聯(lián)接段外周。熱沉中心開(kāi)有熱沉通光孔5,其半徑為R2,R2稍大于R1,熱沉內(nèi) 可開(kāi)有循環(huán)水道7連通側(cè)周的循環(huán)水入口 6和出口 8,冷卻水從入口 6流入熱沉,經(jīng)水道7 循環(huán)后從出口 8流出,實(shí)現(xiàn)對(duì)熱沉的冷卻散熱。石墨體1材料選用高純石墨,其升華點(diǎn)高達(dá)3700°C,耐受強(qiáng)激光束高溫?zé)g的能 力很好。石墨體直徑、厚度及通光孔大小和形狀可根據(jù)需要靈活設(shè)計(jì),從而達(dá)到控制激光束 傳輸直徑和光斑形狀的目的。石墨體加工簡(jiǎn)單,易于滿(mǎn)足不同激光束應(yīng)用需要,通常設(shè)計(jì) 中,石墨體厚度H取為其直徑2R的五分之一,通光孔直徑2R1取石墨體直徑2R的十分之 一。通光孔設(shè)計(jì)為圓臺(tái)形孔,錐角A小于90度,此種設(shè)計(jì)可以保證入射光束9不被直接反 射回來(lái)。石墨體兩個(gè)端面要求光滑,利用數(shù)控車(chē)床將其表面加工至6級(jí)粗糙度,這樣可保證 與熱沉聯(lián)接的端面接觸緊密,散熱良好,保證正對(duì)激光入射的端面對(duì)光束均勻散射,石墨對(duì)激光的吸收率很高,且吸收光譜平坦,因此對(duì)于被阻擋的強(qiáng)激光束,其能量基本都被石墨體吸收,不會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的反射和散射光,凈化了傳輸光路,同時(shí)降低了對(duì)操作人員的危害。在 石墨體圓周上加工有螺紋形成聯(lián)接段3,用于與熱沉進(jìn)行緊密聯(lián)接。熱沉4采用純銅材料,純銅材料導(dǎo)熱性能好,且價(jià)格比金、銀等貴金屬低。采用數(shù) 控車(chē)床對(duì)純銅棒料進(jìn)行加工,分別加工出熱沉內(nèi)體和外罩體(圖中未標(biāo)記),內(nèi)體中心加工 半徑為R2的圓柱通光孔,在內(nèi)體前端面加工凹進(jìn),該凹進(jìn)內(nèi)周加工螺紋,用于將石墨體聯(lián) 接段3螺紋旋入熱沉前端面,使熱沉包在石墨體聯(lián)接段3外周。在內(nèi)體外周和外罩體內(nèi)周 分別加工位置相對(duì)的循環(huán)水槽,之后將內(nèi)體和外罩體焊接在一起使循環(huán)水槽形成循環(huán)水道 7,并被封閉在熱沉內(nèi)。熱沉加工中注意循環(huán)水槽的加工與封裝,保證使用中不漏水。熱沉 主要起到對(duì)石墨體散熱冷卻的作用,對(duì)于機(jī)械加工精度和工藝無(wú)特殊要求。如圖3所示,強(qiáng)激光束直接入射至石墨光闌上,直徑為Rl的光束透過(guò)石墨孔并繼 續(xù)傳輸,其余光束被石墨體阻擋。由于石墨體對(duì)激光能量的吸收率很高(> 90% ),因此被 阻擋光束的能量基本被石墨體吸收而不會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)的反射和雜散光。石墨體吸收激光能量將 產(chǎn)生溫升,熱沉可以對(duì)石墨體進(jìn)行冷卻散熱,從而保證光闌長(zhǎng)時(shí)間使用??梢栽O(shè)計(jì)不同直徑 Rl和不同通光孔形狀的光闌,以滿(mǎn)足不同應(yīng)用的需要。
權(quán)利要求
一種強(qiáng)激光石墨光闌,其特征在于,包括石墨體和熱沉,所述石墨體中心開(kāi)有圓臺(tái)形通光孔,該通光孔的圓臺(tái)底正對(duì)入射激光光束方向;該通光孔的圓臺(tái)頂半徑為R1;所述熱沉中心開(kāi)有半徑為R2的圓柱通光孔,R2大于R1,石墨體通過(guò)聯(lián)接段嵌入熱沉前端面,使熱沉包在石墨體聯(lián)接段外周。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強(qiáng)激光石墨光闌,其特征在于,所述圓臺(tái)形通光孔的圓錐角 小于90°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的強(qiáng)激光石墨光闌,其特征在于,所述熱沉內(nèi)開(kāi)有循環(huán)水道 連通側(cè)周的入口和出口,冷卻水從入口流入熱沉,經(jīng)循環(huán)水道從出口流出,實(shí)現(xiàn)對(duì)熱沉的冷 卻散熱。
4.一種權(quán)利要求1所述強(qiáng)激光石墨光闌的制造方法,其特征在于,包括下述步驟1]采用數(shù)控車(chē)床將高純石墨加工成圓片,圓片厚度為圓片直徑的五分之一;2]在圓片中心加工圓臺(tái)形通光孔,該通光孔的圓臺(tái)底正對(duì)入射激光光束方向;該通光 孔的圓臺(tái)頂半徑為Rl ;直徑2R1是圓片直徑的十分之一;3]在圓片圓周上加工螺紋形成聯(lián)接段,用于與熱沉進(jìn)行緊密聯(lián)接,至此,石墨體加工完畢;4]采用數(shù)控車(chē)床將純銅棒料加工成圓柱銅體;5]在銅體中心加工半徑為R2的圓柱通光孔,R2大于Rl;6]在銅體前端面加工凹進(jìn),該凹進(jìn)內(nèi)周加工螺紋,至此,熱沉加工完畢;7]將石墨體聯(lián) 接段螺紋旋入熱沉前端面,使熱沉包在石墨體聯(lián)接段外周。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的強(qiáng)激光石墨光闌的制造方法,其特征在于所述圓柱銅體包 括熱沉內(nèi)體和外罩體,在內(nèi)體外周和外罩體內(nèi)周分別加工位置相對(duì)的循環(huán)水槽,之后將內(nèi) 體和外罩體采用焊接形式封裝,使循環(huán)水槽形成循環(huán)水道。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的強(qiáng)激光石墨光闌的制造方法,其特征在于,所述圓臺(tái)形通光 孔的圓錐角小于90°。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種強(qiáng)激光石墨光闌及其制造方法,其特征在于,該強(qiáng)激光石墨光闌包括石墨體和熱沉,所述石墨體中心開(kāi)有圓臺(tái)形通光孔,該通光孔的圓臺(tái)底正對(duì)入射激光光束方向;該通光孔的圓臺(tái)頂半徑為R1;所述熱沉中心開(kāi)有半徑為R2的圓柱通光孔,R2大于R1,石墨體通過(guò)聯(lián)接段嵌入熱沉前端面,使熱沉包在石墨體聯(lián)接段外周。本發(fā)明石墨光闌,具有耐受激光輻照破壞力強(qiáng),對(duì)傳輸光束影響小的優(yōu)點(diǎn),可以廣泛應(yīng)用于利用激光進(jìn)行科學(xué)研究、工業(yè)加工等的場(chǎng)合,實(shí)現(xiàn)對(duì)激光束直徑和光斑形狀的控制,尤其能夠滿(mǎn)足強(qiáng)激光傳輸控制的應(yīng)用,具有較廣泛的應(yīng)用前景和較高的經(jīng)濟(jì)價(jià)值。
文檔編號(hào)G02B5/00GK101799567SQ201010139708
公開(kāi)日2010年8月11日 申請(qǐng)日期2010年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月6日
發(fā)明者謝永杰 申請(qǐng)人:西安交通大學(xué)
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