專利名稱：對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝置及裝調(diào)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光刻裝置，尤其涉及一種對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝 置及裝調(diào)方法。
背景技術(shù)：
光刻裝置主要用于集成電路IC或其他微型器件的制造。通過(guò)光刻裝置，具有不同 掩模圖案的多層掩模在精確對(duì)準(zhǔn)下依次成像在涂覆有光刻膠的硅片上。在半導(dǎo)體制作過(guò)程 中，為使掩模圖案正確轉(zhuǎn)移到硅片上，關(guān)鍵的步驟是將掩模與硅片對(duì)準(zhǔn)，以滿足套刻精度的 要求。硅片對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)是光刻機(jī)的關(guān)鍵子系統(tǒng)，主要用于硅片對(duì)準(zhǔn)和工件臺(tái)對(duì)準(zhǔn)。對(duì)于硅 片對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，現(xiàn)有技術(shù)有兩種對(duì)準(zhǔn)方案，一種是透過(guò)鏡頭的同軸(Though the LenS，TTL)對(duì) 準(zhǔn)技術(shù)，另一種是離軸(ο -axis，OA)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。在每一次進(jìn)行光刻膠曝光前，需要使用對(duì) 準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行掩模_硅片對(duì)準(zhǔn)。在離軸對(duì)準(zhǔn)技術(shù)中，將位于硅片非曝光區(qū)域的全場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記 或劃線槽(scribe line)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記成像到作為位置參考基準(zhǔn)的參考板上，通過(guò)確定對(duì)準(zhǔn)標(biāo) 記空間像相對(duì)于參考板上參考標(biāo)記的偏差以獲得硅片對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記位置。參考板上包含有參考 標(biāo)記，探測(cè)光纖位于參考板后，用于傳輸經(jīng)參考標(biāo)記調(diào)制后的光強(qiáng)信號(hào)，該探測(cè)光纖至少包 含2根多模光纖，具體多模光纖的數(shù)量和參考標(biāo)記的數(shù)量相對(duì)應(yīng)。光強(qiáng)信號(hào)經(jīng)探測(cè)光纖傳 輸?shù)焦怆娞綔y(cè)器，光電轉(zhuǎn)換后并通過(guò)硬件電路的信號(hào)處理，可以得到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的坐標(biāo)位置。 上述硅片對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的具體原理可參見(jiàn)中國(guó)發(fā)明專利(1)公開(kāi)號(hào)CN10111435A，發(fā)明名稱 一種用于光刻設(shè)備的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)；中國(guó)發(fā)明專利⑵公開(kāi)號(hào)CN101158814A，發(fā)明名稱一種 用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)的標(biāo)記以及使用該標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)方法。為達(dá)到較高的硅片對(duì)準(zhǔn)精度，這就要求硅片對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記經(jīng)過(guò)光學(xué)系統(tǒng)所成的標(biāo)記空 間像和參考標(biāo)記，以及參考標(biāo)記和探測(cè)光纖之間達(dá)到微米級(jí)的裝配精度，因而需要精密調(diào) 節(jié)參考板的X、Y、ζ和Rz四個(gè)自由度，探測(cè)光纖的X、Y和Rz三個(gè)自由度，以達(dá)到上述裝配 精度要求，并滿足長(zhǎng)期穩(wěn)定性要求。由于光學(xué)系統(tǒng)機(jī)械結(jié)構(gòu)的誤差累積，使得僅憑借機(jī)械加 工精度和普通裝配方法無(wú)法保證該精度要求，因此需要設(shè)計(jì)特殊的裝調(diào)裝置及裝調(diào)方法以 實(shí)現(xiàn)高裝配精度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝置及裝調(diào) 方法，實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板在X、Y、Z和Rz四個(gè)方向上的高精度定位以及探測(cè)光纖在Χ、Υ和 Rz三個(gè)方向上的高精度定位，以滿足對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖微米級(jí)的調(diào)整定位要求。為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明提供一種對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置， 包括參考板支架、參考板調(diào)節(jié)板、探測(cè)光纖連接板和光纖定位架；所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板安裝 在所述參考板調(diào)節(jié)板的一側(cè)；所述參考板調(diào)節(jié)板安裝在所述參考板支架的側(cè)面，所述對(duì)準(zhǔn) 系統(tǒng)參考板嵌入所述參考板支架內(nèi)；所述光纖定位架嵌在所述探測(cè)光纖連接板內(nèi)，所述探測(cè)光纖連接板安裝在所述參考板調(diào)節(jié)板的另一側(cè)；所述探測(cè)光纖的一端依次穿過(guò)所述光纖 定位架、探測(cè)光纖連接板和參考板調(diào)節(jié)板，連接在所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板的后端。上述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置，其中，還包括彈性連接板，所述彈性 連接板設(shè)置在所述參考板調(diào)節(jié)板與探測(cè)光纖連接板之間。上述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置，其中，所述彈性連接板上設(shè)有多個(gè) 彈性銷，實(shí)現(xiàn)所述探測(cè)光纖連接板與所述彈性連接板彈性連接。上述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置，其中，還包括參考板壓板，所述參考 板支架的底面通過(guò)該參考板壓板固定安裝在所述在成像模塊的機(jī)械殼體上。上述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置，其中，還包括探測(cè)光纖壓板，所述探 測(cè)光纖壓板安裝在所述探測(cè)光纖連接上，該探測(cè)光纖壓板緊壓所述探測(cè)光纖，穩(wěn)固所述探 測(cè)光纖。本發(fā)明提供的另一技術(shù)方案是，一種用于調(diào)整上述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的 安裝裝置的調(diào)整裝置，包括參考板Z向調(diào)整工裝、參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝和探測(cè)光纖X/ Y/Rz向調(diào)整工裝；所述參考板Z向調(diào)整工裝用于調(diào)整所述參考板支架在Z向上的位置；所 述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝用于調(diào)整所述參考板調(diào)節(jié)板在X、Y、Rz三個(gè)方向上的位置；所 述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝用于調(diào)整所述探測(cè)光纖連接板在X、Y、Rz三個(gè)方向上的位 置。上述調(diào)整裝置，其中，所述參考板Z向調(diào)整工裝包括推力工具、連接塊和調(diào)節(jié)螺 絲；所述調(diào)節(jié)螺絲與連接塊連接，使用所述參考板Z向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)所述參考板支架在Z向 上的位置時(shí)，所述推力工具對(duì)所述參考板支架施加推力，使所述參考板支架與所述像模塊 的機(jī)械殼體緊密接觸，所述連接塊安裝在所述參考板支架上，旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)螺絲能推動(dòng)所 述連接塊在Z向上平移，從而推動(dòng)所述參考板支架在Z向上平移。上述調(diào)整裝置，其中，所述參考板Z向調(diào)整工裝還包括調(diào)節(jié)螺絲架和調(diào)節(jié)支架；所 述調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述調(diào)節(jié)螺絲架上，通過(guò)所述調(diào)節(jié)螺絲實(shí)現(xiàn)所述調(diào)節(jié)螺絲架與所述連接 塊的連接；所述調(diào)節(jié)支架安裝在所述調(diào)節(jié)螺絲架上，該調(diào)節(jié)支架支撐所述調(diào)節(jié)螺絲架及所 述連接塊。上述調(diào)整裝置，其中，所述調(diào)節(jié)螺絲包括前推調(diào)節(jié)螺絲和后拉調(diào)節(jié)螺絲，所述前推 調(diào)節(jié)螺絲與后拉調(diào)節(jié)螺絲相互平行。上述調(diào)整裝置，其中，所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括調(diào)節(jié)支架、Y向彈簧支 架、多個(gè)Y向支撐彈簧、X向彈簧支架、多個(gè)X向支撐彈簧、多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲和多個(gè)χ向調(diào) 節(jié)螺絲；所述Y向彈簧支架與所述X向彈簧支架連接，且相互垂直；所述Y向支撐彈簧設(shè)置 在所述Y向彈簧支架上；所述X向支撐彈簧設(shè)置在所述X向彈簧支架上；所述調(diào)節(jié)支架為直 角折形支架，該直角折形支架與所述Y向彈簧支架及所述χ向彈簧支架形成一矩形框；所述 Y向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支架上，所述Y向調(diào)節(jié)螺絲與所述Y向彈簧支架相對(duì)；所述X 向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支架上，所述X向調(diào)節(jié)螺絲與所述X向彈簧支架相對(duì)。上述調(diào)整裝置，其中，所述調(diào)節(jié)支架包括一橫支架和一豎支架，所述橫支架與所述 豎支架連接，且相互垂直；所述橫支架的一端固定在所述Y向彈簧支架上，所述豎支架的一 端固定在所述X向彈簧支架上；所述Y向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述橫支架上，所述X向調(diào)節(jié)螺絲 設(shè)置在所述豎支架上。
上述調(diào)整裝置，其中，所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括兩個(gè)Y向支撐彈簧、三個(gè) Y向調(diào)節(jié)螺絲、兩個(gè)χ向支撐彈簧和三個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲；所述三個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲中，兩側(cè)的Y 向調(diào)節(jié)螺絲分別與所述兩個(gè)Y向支撐彈簧一一相對(duì)，中間的Y向調(diào)節(jié)螺絲位于兩側(cè)Y向調(diào) 節(jié)螺絲連線的中點(diǎn)；所述三個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲中，兩側(cè)的X向調(diào)節(jié)螺絲分別與所述兩個(gè)X向支 撐彈簧一一相對(duì)，中間的中間的位于兩側(cè)χ向調(diào)節(jié)螺絲連線的中點(diǎn)。上述調(diào)整裝置，其中，所述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括探測(cè)光纖調(diào)整架、多 個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲和多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲；所述探測(cè)光纖調(diào)整架為一矩形框，所述多個(gè)X向調(diào)節(jié) 螺絲設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架的兩個(gè)側(cè)框上，設(shè)置在兩個(gè)側(cè)框上的χ向調(diào)節(jié)螺絲相等且 一一相對(duì)，所述多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架的上框和所述探測(cè)光纖調(diào)整 架的下框上，設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架的上框和所述探測(cè)光纖調(diào)整架的下框上的Y向調(diào) 節(jié)螺絲相等且一一相對(duì)。上述調(diào)整裝置，其中，所述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括兩個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲及 六個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲。本發(fā)明還提供一技術(shù)方案，一種對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，包括以 下步驟步驟Si，將所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板粘接到所述參考板調(diào)節(jié)板的一側(cè)，將所述參考板 調(diào)節(jié)板固定到所述參考板支架的側(cè)面上；步驟S2，使用所述參考板Z向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)并固 定所述參考板支架的位置；步驟S3，使用所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)并固定所述參 考板調(diào)節(jié)板的位置；步驟S4，鎖定所述探測(cè)光纖與所述光纖定位架之間的位置；步驟S5，鎖 定所述光纖定位架與所述探測(cè)光纖連接板之間的位置；步驟S6，使用所述探測(cè)光纖X/Y/Rz 向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)并固定所述探測(cè)光纖連接板的位置。上述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其中，所述步驟S2中參考板Z向調(diào) 整工裝包括推力工具、連接塊和調(diào)節(jié)螺絲；所述調(diào)節(jié)螺絲與連接塊連接。17、如權(quán)利要求16 所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其特征在于，所述步驟S2具體為使用所 述推力工具對(duì)所述參考板支架施加推力，使所述參考板支架的底表面和側(cè)表面與所述成像 模塊的機(jī)械殼體緊密接觸；所述連接塊固定在所述參考板支架上，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺絲推動(dòng)或拉 動(dòng)所述參考板支架在Z軸方向上平移；當(dāng)所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板位于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記空間像的最佳 焦平面時(shí)，將所述參考板支架鎖緊在所述成像模塊的機(jī)械殼體上，即確定了所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) 參考板的Z向位置；卸下所述參考板Z向調(diào)整工裝。上述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其中，所述步驟S3中所述參考板X/ Y/Rz向調(diào)整工裝包括調(diào)節(jié)支架、Y向彈簧支架、多個(gè)Y向支撐彈簧、X向彈簧支架、多個(gè)X向 支撐彈簧、多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲和多個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲；所述Y向彈簧支架與所述X向彈簧支架 連接，且相互垂直；所述Y向支撐彈簧設(shè)置在所述Y向彈簧支架上；所述X向支撐彈簧設(shè)置 在所述X向彈簧支架上；所述調(diào)節(jié)支架為直角折形支架，該直角折形支架與所述Y向彈簧支 架及所述X向彈簧支架形成一矩形框；所述Y向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支架上，所述Y向 調(diào)節(jié)螺絲與所述Y向彈簧支架相對(duì)；所述X向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支架上，所述X向調(diào) 節(jié)螺絲與所述X向彈簧支架相對(duì)。上述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其中，所述步驟S3具體為松開(kāi)所 述參考板調(diào)節(jié)板，使所述參考板調(diào)節(jié)板能相對(duì)所述參考板支架運(yùn)動(dòng)；將所述調(diào)節(jié)支架固定 安裝在實(shí)驗(yàn)平臺(tái)上，所述參考板調(diào)節(jié)板嵌在所述調(diào)節(jié)支架與所述Y向彈簧支架及所述X向彈簧支架形成的矩形框內(nèi)，所述Y向支撐彈簧、X向支撐彈簧、Y向調(diào)節(jié)螺絲和X向調(diào)節(jié)螺絲 頂在所述參考板調(diào)節(jié)板的周邊；旋轉(zhuǎn)所述Y向調(diào)節(jié)螺絲和χ向調(diào)節(jié)螺絲使所述參考板調(diào)節(jié) 板在X、Y、Rz三個(gè)方向上運(yùn)動(dòng)，直至對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記所成的空間像與所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板對(duì)齊，固 定所述參考板調(diào)節(jié)板的位置，即確定了所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板在X、Y、Rz三個(gè)方向上的位置； 卸下所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝。上述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其中，所述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整 工裝包括探測(cè)光纖調(diào)整架、多個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲和多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲；所述探測(cè)光纖調(diào)整架為 一矩形框，所述多個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架的兩個(gè)側(cè)框上，設(shè)置在兩個(gè) 側(cè)框上的X向調(diào)節(jié)螺絲相等且一一相對(duì)，所述多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整 架的上框和所述探測(cè)光纖調(diào)整架的下框上，設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架的上框和所述探測(cè) 光纖調(diào)整架的下框上的Y向調(diào)節(jié)螺絲相等且一一相對(duì)。上述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其中，所述步驟S6具體為將所述 探測(cè)光纖連接板安裝到所述參考板調(diào)節(jié)板上，使所述探測(cè)光纖連接板與所述參考板調(diào)節(jié)板 接觸且能相對(duì)所述參考板調(diào)節(jié)板在X、Y、Rz三個(gè)方向上運(yùn)動(dòng)；將所述探測(cè)光纖調(diào)整架擱置 在實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)上，所述探測(cè)光纖連接板嵌在所述探測(cè)光纖調(diào)整架內(nèi)，所述X向調(diào)節(jié)螺絲和Y 向調(diào)節(jié)螺絲頂在所述探測(cè)光纖連接板的周邊；旋轉(zhuǎn)所述X向調(diào)節(jié)螺絲和Y向調(diào)節(jié)螺絲使所 述探測(cè)光纖連接板在X、Y、Rz三個(gè)方向上運(yùn)動(dòng)，直至所述探測(cè)光纖連接板調(diào)到理想位置，固 定所述探測(cè)光纖連接板的位置，即確定了所述探測(cè)光線的位置；卸下所述探測(cè)光纖X/Y/Rz 向調(diào)整工裝。本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝置及裝調(diào)方法采用“四彈簧+ 六調(diào)節(jié)螺絲”的方法實(shí)現(xiàn)參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板在X、Y、Rz三個(gè)方向上的獨(dú)立調(diào)節(jié)，使用參 考板Z向調(diào)整工裝實(shí)現(xiàn)參考板支架Z向的獨(dú)立調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)過(guò)程互不影響，保證了調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確 性，且調(diào)節(jié)范圍大；本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝置及裝調(diào)方法采用“二彈性 銷+八調(diào)節(jié)螺絲”的方法實(shí)現(xiàn)探測(cè)光纖連接板在三個(gè)方向上X、Y、Rz的獨(dú)立調(diào)節(jié)，保證了調(diào) 節(jié)的準(zhǔn)確性，且調(diào)節(jié)范圍大；本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝置及裝調(diào)方法在參考板X/Y/ Rz調(diào)節(jié)板和探測(cè)光纖連接板之間設(shè)置彈性連接板，通過(guò)彈性力確保調(diào)節(jié)過(guò)程的連續(xù)和穩(wěn) 定；本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝置及裝調(diào)方法中參考板Z向 調(diào)整工裝對(duì)參考板支架的調(diào)節(jié)、參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝對(duì)參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板的調(diào)節(jié) 以及探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝對(duì)探測(cè)光纖連接板的調(diào)節(jié)均采用細(xì)牙調(diào)節(jié)螺絲，調(diào)節(jié)精度尚。


本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝置及裝調(diào)方法由以下的實(shí)施 例及附圖給出。圖1是本發(fā)明中安裝裝置的立體圖；圖2是本發(fā)明中安裝裝置的剖視圖3是本發(fā)明中使用參考板Z向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)參考板支架的示意圖；圖4是本發(fā)明中使用參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板的示意 圖；圖5是本發(fā)明中安裝裝置的立體分解圖；圖6是本發(fā)明中使用探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)探測(cè)光纖連接板的示意 圖；圖7是本發(fā)明中使用探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)探測(cè)光纖連接板的原理圖。
具體實(shí)施例方式以下將結(jié)合圖1 圖7對(duì)本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝置 及裝調(diào)方法作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。參見(jiàn)圖1和圖2，本發(fā)明對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置包括參考板壓板 1、參考板支架2、參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3、彈性連接板4、探測(cè)光纖連接板5、探測(cè)光纖壓板 6和光纖定位架9 ；對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10安裝在所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3的一側(cè)，所述彈性連接板 4安裝在所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3的另一側(cè)；所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3安裝在所述參考板支架2的側(cè)面，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考 板10嵌入所述參考板支架2內(nèi)；所述參考板壓板1使所述參考板支架2的底面緊壓在成像模塊OM的機(jī)械殼體(圖 中未示)上；所述光纖定位架9嵌在所述探測(cè)光纖連接板5內(nèi)，所述探測(cè)光纖連接板5安裝在 所述彈性連接板4上；探測(cè)光纖7的一端依次穿過(guò)所述光纖定位架9、探測(cè)光纖連接板5、彈性連接板4、 參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3，與所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10連接；所述探測(cè)光纖壓板6安裝在所述探測(cè)光纖連接板5上，該探測(cè)光纖壓板6緊壓所 述探測(cè)光纖7 ；本發(fā)明調(diào)整裝置包括參考板Z向調(diào)整工裝、參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝和探測(cè)光纖 X/Y/Rz向調(diào)整工裝；所述參考板Z向調(diào)整工裝用于調(diào)整所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10在Z向上的位置；所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝用于調(diào)整所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10在X、Y、Rz三個(gè) 方向上的位置；所述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝用于調(diào)整所述探測(cè)光纖7在X、Y、Rz三個(gè)方向上 的位置。現(xiàn)舉例說(shuō)明如何安裝上述安裝裝置以及如何使用上述調(diào)整裝置調(diào)整對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參 考板和探測(cè)光纖的位置。如圖1所示，選擇所述參考板支架2、參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3、彈性連接板4、探測(cè) 光纖連接板5和探測(cè)光纖壓板6依次排布的方向?yàn)閆軸正方向，垂直于Z軸的平面為XY平 面，建立三維坐標(biāo)系；將右手拇指指向Z軸正方向，其余四指握拳，其余四指握拳的方向定 義為Rz方向，同理定義Rx、Ry方向。
本發(fā)明對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法包括以下步驟步驟1，裝調(diào)所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10 ；步驟1. 1，將所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10粘接到所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3的一側(cè)， 用緊固螺絲309將所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3固定到所述參考板支架2的側(cè)面上(即所 述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3相對(duì)所述參考板支架2的側(cè)面是靜止的)；步驟1. 2，使用所述參考板Z向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)并固定所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10的Z 向位置，如圖3所示；所述參考板Z向調(diào)整工裝包括推力工具301、連接塊307、調(diào)節(jié)支架305和調(diào)節(jié)螺 絲架302，所述調(diào)節(jié)螺絲架302上設(shè)有前推調(diào)節(jié)螺絲304和后拉調(diào)節(jié)螺絲306 ；所述調(diào)節(jié)螺絲架302通過(guò)所述前推調(diào)節(jié)螺絲304和后拉調(diào)節(jié)螺絲306與所述連接 塊307連接，旋轉(zhuǎn)所述前推調(diào)節(jié)螺絲304或后拉調(diào)節(jié)螺絲306可推動(dòng)所述連接塊307平移；所述調(diào)節(jié)支架305用螺絲310固定在所述調(diào)節(jié)螺絲架302上，該調(diào)節(jié)支架305用 于支撐所述調(diào)節(jié)螺絲架302及所述連接塊307 ；所述參考板支架2為連接固定機(jī)構(gòu)與成像模塊OM機(jī)械殼體308的接口，所述參考 板支架2安裝到所述機(jī)械殼體308上時(shí)應(yīng)確保所述參考板支架2與所述機(jī)械殼體308緊密 接觸，即所述參考板支架2的底表面和側(cè)表面與所述機(jī)械殼體308接觸，以保證所述參考板 支架2在Rx、Ry方向上精度定位(機(jī)械定位)；所述參考板壓板1上設(shè)有多個(gè)定位銷8 (如圖1)，利用該定位銷8將所述參考板支 架2安裝到所述機(jī)械殼體308上，此時(shí)，所述參考板支架2相對(duì)所述機(jī)械殼體308并未固定 死，該參考板支架2可在所述機(jī)械殼體308上活動(dòng)；使用所述推力工具301對(duì)所述參考板支架2施加推力，使所述參考板支架2的底 表面和側(cè)表面與所述機(jī)械殼體308緊密接觸，即鎖定所述參考板支架2在Rx、Ry方向上的 位置；所述連接塊307固定在所述參考板支架2上，所述調(diào)節(jié)支架305擱置在實(shí)驗(yàn)室平 臺(tái)上，該調(diào)節(jié)支架305用于支撐所述調(diào)節(jié)螺絲架302及所述連接塊307，旋轉(zhuǎn)所述前推調(diào)節(jié) 螺絲304或后拉調(diào)節(jié)螺絲306，推動(dòng)所述連接塊307在Z軸方向上平移，從而推動(dòng)所述參考 板支架2在Z軸方向上平移，進(jìn)而推動(dòng)所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10在Z軸方向上平移，以此調(diào) 節(jié)所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10相對(duì)于所述機(jī)械殼體308在Z向的位置；調(diào)節(jié)所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板IOZ向位置時(shí)需要借助高倍顯微鏡觀察調(diào)節(jié)效果，所述 前推調(diào)節(jié)螺絲304和后拉調(diào)節(jié)螺絲306采用細(xì)牙螺紋，調(diào)節(jié)精度達(dá)士5 μ m ；在所述推力工具301的推力作用下，所述參考板支架2的底表面和側(cè)表面與所述 機(jī)械殼體308接觸，接觸面之間存在摩擦力，因此，在調(diào)節(jié)所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板IOZ向位置 過(guò)程中，所述參考板支架2在X、Y、Rx、Ry、Rz五個(gè)方向上不會(huì)發(fā)生運(yùn)動(dòng)，保證了 Z向調(diào)節(jié)的 獨(dú)立性；在調(diào)節(jié)所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板IOZ向位置過(guò)程中，所述定位銷8保持所述參考板壓 板1不動(dòng)，使調(diào)節(jié)過(guò)程更穩(wěn)定；當(dāng)用顯微鏡觀察到所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10位于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記空間像的最佳焦平面 時(shí)，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10在Z向調(diào)節(jié)到最佳位置，用緊固螺絲101通過(guò)所述參考板壓板 1將所述參考板支架2鎖緊在所述機(jī)械殼體308上，即確定了所述參考板支架2的位置，也就是說(shuō)確定了所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10的Z向位置；調(diào)節(jié)好所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10的Z向位置后卸下所述參考板Z向調(diào)整工裝；步驟1. 3，使用參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)并固定所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10在 X、Y、Rz三個(gè)方向上的位置，如圖4所示；在步驟1. 2中固定了所述參考板支架2的位置，以下調(diào)節(jié)將以所述參考板支架2 為定位基準(zhǔn)；所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括一調(diào)節(jié)支架401、一 Y向彈簧支架402、兩個(gè)Y 向支撐彈簧403a和403b、一 X向彈簧支架404、兩個(gè)X向支撐彈簧405a和405b、三個(gè)Y向 調(diào)節(jié)螺絲406a、406b和406c以及三個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲407a、407b和407c ；所述Y向彈簧支架402與所述X向彈簧支架404連接，且相互垂直，所述Y向彈簧 支架402與X軸平行，所述X向彈簧支架404與Y軸平行；所述調(diào)節(jié)支架401為直角折形支架，該調(diào)節(jié)支架401包括一橫支架4012和一豎支 架4011，所述橫支架4012與所述豎支架4011連接，且相互垂直；所述橫支架4012的一端固定在所述Y向彈簧支架402上，所述豎支架4011的一 端固定在所述X向彈簧支架404上，即所述調(diào)節(jié)支架401與所述Y向彈簧支架402及所述 X向彈簧支架404形成一矩形框；所述兩個(gè)Y向支撐彈簧403a和403b設(shè)置在所述Y向彈簧支架402上；所述兩個(gè)X向支撐彈簧405a和405b設(shè)置在所述X向彈簧支架404上；所述三個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲406a、406b和406c分別穿過(guò)所述橫支架4012，設(shè)置在所述 橫支架4012上；所述三個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲407a、407b和407c穿過(guò)所述豎支架4011，設(shè)置在所述豎支 架4011上；可以使用所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝直接調(diào)節(jié)所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3，以 確定所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10在X、Y、Rz三個(gè)方向上的位置，也可以先將所述彈性連接板4 固定到所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3上，使用所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)所述彈性 連接板4，即間接調(diào)節(jié)所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3，以確定所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10在X、Y、 Rz三個(gè)方向上的位置，本實(shí)施例中使用所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝間接調(diào)節(jié)所述參考 板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3，以避開(kāi)結(jié)構(gòu)方面的限制，增大Z向空間；用緊固螺絲408將所述彈性連接板4固定到所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3上(即 所述彈性連接板4相對(duì)所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3是靜止的)，松動(dòng)所述參考板X/Y/Rz調(diào) 節(jié)板3固定到所述參考板支架2上的緊固螺絲309，使所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3可相對(duì) 所述參考板支架2運(yùn)動(dòng)；將所述調(diào)節(jié)支架401固定安裝在實(shí)驗(yàn)平臺(tái)上，所述彈性連接板4嵌在所述調(diào)節(jié)支 架401與所述Y向彈簧支架402及所述X向彈簧支架404形成的矩形框內(nèi)，所述Y向支撐 彈簧、X向支撐彈簧、Y向調(diào)節(jié)螺絲和X向調(diào)節(jié)螺絲頂在所述彈性連接板4的周邊；所述Y向支撐彈簧在Y軸方向上支撐所述彈性連接板4，該Y向支撐彈簧可使所 述彈性連接板4在Y軸方向上移動(dòng)；所述X向支撐彈簧在X軸方向上支撐所述彈性連接板 4，該X向支撐彈簧可使所述彈性連接板4在X軸方向上移動(dòng)；所述Y向支撐彈簧使所述彈 性連接板4與所述Y向調(diào)節(jié)螺絲緊密接觸，所述X向支撐彈簧使所述彈性連接板4與所述X向調(diào)節(jié)螺絲緊密接觸；三個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲406a、406b和406c中，兩側(cè)的兩個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲406a和406c 分別與兩個(gè)Y向支撐彈簧403a和403b——相對(duì)，使兩個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲406a和406c的調(diào) 節(jié)作用點(diǎn)分別位于兩個(gè)Y向支撐彈簧403a和403b上，中間的Y向調(diào)節(jié)螺絲406b位于兩側(cè) Y向調(diào)節(jié)螺絲406a和406c作用力的中線上；三個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲407a、407b和407c中，兩側(cè) 的兩個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲407a和407c分別與兩個(gè)X向支撐彈簧405a和405b——相對(duì)，使兩 個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲407a和407c的調(diào)節(jié)作用點(diǎn)分別位于兩個(gè)X向支撐彈簧405a和405b上， 中間的X向調(diào)節(jié)螺絲407b位于兩側(cè)X向調(diào)節(jié)螺絲407a和407c作用力的中線上；旋轉(zhuǎn)中間的Y向調(diào)節(jié)螺絲406b可使所述彈性連接板4在Y軸方向上移動(dòng)，旋轉(zhuǎn)中 間的X向調(diào)節(jié)螺絲407b可使所述彈性連接板4在X軸方向上移動(dòng)，旋轉(zhuǎn)兩側(cè)Y向調(diào)節(jié)螺絲 406a和406c以及兩側(cè)X向調(diào)節(jié)螺絲407a和407c可使所述彈性連接板4在Rz方向上運(yùn) 動(dòng)；調(diào)節(jié)所述彈性連接板4 (即所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3)在X、Y、Rz三個(gè)方向上的 位置時(shí)，使所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3與所述參考板支架2緊密接觸，以保證所述彈性連 接板4在Z方向上不移動(dòng)，即調(diào)節(jié)過(guò)程中以所述參考板支架2為定位基準(zhǔn)；調(diào)節(jié)所述彈性連接板4 (即所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3)在X、Y、Rz三個(gè)方向上的 位置時(shí)，需借助高倍顯微鏡觀察調(diào)節(jié)效果；當(dāng)用顯微鏡觀察到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記所成的空間像與所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10對(duì)齊時(shí)，所 述彈性連接板4在X、Y、Rz三個(gè)方向上位于理想位置，用緊固螺絲309將所述參考板X/Y/ Rz調(diào)節(jié)板3固定到所述參考板支架2上，即確定了所述參考板X/Y/Rz調(diào)節(jié)板3和所述彈性 連接板4的位置，也就是說(shuō)確定了所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10在X、Y、Rz三個(gè)方向上的位置；所述Y向調(diào)節(jié)螺絲和X向調(diào)節(jié)螺絲均采用細(xì)牙螺紋，調(diào)節(jié)精度達(dá)士 5μπι;調(diào)節(jié)好所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板10在X、Y、Rz三個(gè)方向上的位置后卸下所述參考板 X/Y/Rz向調(diào)整工裝；步驟2，裝調(diào)探測(cè)光纖7;參見(jiàn)圖5，步驟2. 1，鎖定所述探測(cè)光纖7與光纖定位架9之間的位置；所述光纖定位架9的中央設(shè)有一孔，所述探測(cè)光纖7的一端穿過(guò)該孔，鎖緊螺釘固 定所述探測(cè)光纖7相對(duì)光纖定位架9的位置；步驟2. 2，鎖定所述光纖定位架9與探測(cè)光纖連接板5之間的位置；將所述所述光纖定位架9嵌入所述探測(cè)光纖連接板5的中央，鎖緊螺釘固定所述 光纖定位架9相對(duì)所述探測(cè)光纖連接板5的位置；步驟2. 3，使用探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)并固定所述探測(cè)光纖7在X、Y、Rz 三個(gè)方向上的位置，如圖6所示；如圖5，所述彈性連接板4上設(shè)有多個(gè)彈性銷501，利用所述彈性銷501將所述探 測(cè)光纖連接板5安裝到所述彈性連接板4上，使所述探測(cè)光纖連接板5與所述彈性連接板 4彈性接觸；所述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括一探測(cè)光纖調(diào)整架601、兩個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲 602a 和 602b 以及六個(gè) Y 向調(diào)節(jié)螺絲 603a、603b、603c、603d、603e 和 603f ；所述探測(cè)光纖調(diào)整架601包括一矩形框，所述兩個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲602a和602b分
13別設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架601的兩個(gè)側(cè)框6011上，且所述兩個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲602a和 602b相對(duì)；所述六個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲603a、603b、603c、603d、603e和603f中，三個(gè)Y向調(diào)節(jié) 螺絲603a、603b和603c設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架601的上框6012上，其余三個(gè)Y向調(diào) 節(jié)螺絲603d、603e和603f設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架601的下框6013上，設(shè)置在所述上 框6012上的三個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲603a、603b和603c分別與設(shè)置在所述下框6013上的三個(gè) Y向調(diào)節(jié)螺絲603d、603e和603f——相對(duì)；參見(jiàn)圖7，將所述探測(cè)光纖調(diào)整架601擱置在實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)上，所述探測(cè)光纖連接板 5嵌在所述探測(cè)光纖調(diào)整架601內(nèi)，所述兩個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲602a和602b以及六個(gè)Y向調(diào)節(jié) 螺絲603a、603b、603c、603d、603e和603f頂在所述探測(cè)光纖連接板5的周邊；位于同一側(cè)的兩個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲(603a和603d、603c和603f)與一彈性銷501處 在同一直線上(如圖7中虛線所示)；旋轉(zhuǎn)所述X向調(diào)節(jié)螺絲可使所述探測(cè)光纖連接板5在X軸方向上移動(dòng)，旋轉(zhuǎn)中間 的Y向調(diào)節(jié)螺絲(603、603e)可使所述探測(cè)光纖連接板5在Y軸方向上移動(dòng)，旋轉(zhuǎn)兩側(cè)的Y 向調(diào)節(jié)螺絲(603a、603c、603d、603f)可使所述探測(cè)光纖連接板5在Rz方向上運(yùn)動(dòng)；在調(diào)節(jié)所述探測(cè)光纖連接板5X、Y、Rz三個(gè)方向位置的過(guò)程中，所述探測(cè)光纖連接 板5X、Y、Rz與所述所述彈性連接板4彈性接觸，既保證所述探測(cè)光纖連接板5在Z軸方向 上不移動(dòng)，又提供調(diào)節(jié)過(guò)程中的彈力，使調(diào)節(jié)過(guò)程連續(xù)、穩(wěn)定；用光能測(cè)量?jī)x測(cè)量所述探測(cè)光纖7輸出的光能，當(dāng)所述探測(cè)光纖7輸出的光能最 大時(shí)所述探測(cè)光纖連接板5位于理想位置，用緊固螺絲將所述探測(cè)光纖連接板5固定到所 述彈性連接板4上，即確定了所述探測(cè)光纖連接板5的位置，也就是說(shuō)確定了所述探測(cè)光纖 7的位置；所述Y向調(diào)節(jié)螺絲和X向調(diào)節(jié)螺絲均采用細(xì)牙螺紋，調(diào)節(jié)精度達(dá)士 5μπι;調(diào)節(jié)好所述探測(cè)光纖7的位置后，卸下探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝；步驟2. 4，用緊固螺絲將所述探測(cè)光纖壓板6固定到所述探測(cè)光纖連接板5上，所 述探測(cè)光纖壓板6壓住所述探測(cè)光纖7，穩(wěn)固所述探測(cè)光纖7。本發(fā)明對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單。本發(fā)明對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法調(diào)節(jié)范圍大(平移士2. 5毫米、旋 轉(zhuǎn)士60微弧度)、調(diào)節(jié)精度高(士5微米)本發(fā)明對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝置及裝調(diào)方法滿足對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參 考板和探測(cè)光纖在安裝空間和中長(zhǎng)期穩(wěn)定性等方面的要求。
權(quán)利要求
一種對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置，其特征在于，包括參考板支架、參考板調(diào)節(jié)板、探測(cè)光纖連接板和光纖定位架；所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板安裝在所述參考板調(diào)節(jié)板的一側(cè)；所述參考板調(diào)節(jié)板安裝在所述參考板支架的側(cè)面，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板嵌入所述參考板支架內(nèi)；所述光纖定位架嵌在所述探測(cè)光纖連接板內(nèi)，所述探測(cè)光纖連接板安裝在所述參考板調(diào)節(jié)板的另一側(cè)；所述探測(cè)光纖的一端依次穿過(guò)所述光纖定位架、探測(cè)光纖連接板和參考板調(diào)節(jié)板，連接在所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板的后端。
2.如權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置，其特征在于，還包括 彈性連接板，所述彈性連接板設(shè)置在所述參考板調(diào)節(jié)板與探測(cè)光纖連接板之間。
3.如權(quán)利要求2所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置，其特征在于，所述彈 性連接板上設(shè)有多個(gè)彈性銷，實(shí)現(xiàn)所述探測(cè)光纖連接板與所述彈性連接板彈性連接。
4.如權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置，其特征在于，還包括 參考板壓板，所述參考板支架的底面通過(guò)該參考板壓板固定安裝在所述在成像模塊的機(jī)械 殼體上。
5.如權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置，其特征在于，還包括 探測(cè)光纖壓板，所述探測(cè)光纖壓板安裝在所述探測(cè)光纖連接上，該探測(cè)光纖壓板緊壓所述 探測(cè)光纖，穩(wěn)固所述探測(cè)光纖。
6.一種用于調(diào)整如權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝裝置的調(diào)整 裝置，其特征在于，包括參考板Z向調(diào)整工裝、參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝和探測(cè)光纖X/Y/Rz 向調(diào)整工裝；所述參考板Z向調(diào)整工裝用于調(diào)整所述參考板支架在Z向上的位置；所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝用于調(diào)整所述參考板調(diào)節(jié)板在X、Y、Rz三個(gè)方向上的位置；所述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝用于調(diào)整所述探測(cè)光纖連接板在X、Y、Rz三個(gè)方向上 的位置。
7.如權(quán)利要求6所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述參考板Z向調(diào)整工裝包括推力工 具、連接塊和調(diào)節(jié)螺絲；所述調(diào)節(jié)螺絲與連接塊連接，使用所述參考板Z向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)所述參考板支架在Z向上的位置時(shí)，所述推力工具 對(duì)所述參考板支架施加推力，使所述參考板支架與所述像模塊的機(jī)械殼體緊密接觸，所述 連接塊安裝在所述參考板支架上，旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)螺絲能推動(dòng)所述連接塊在Z向上平移，從 而推動(dòng)所述參考板支架在Z向上平移。
8.如權(quán)利要求6所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述參考板Z向調(diào)整工裝還包括調(diào)節(jié)螺 絲架和調(diào)節(jié)支架；所述調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述調(diào)節(jié)螺絲架上，通過(guò)所述調(diào)節(jié)螺絲實(shí)現(xiàn)所述調(diào)節(jié)螺絲架與所 述連接塊的連接；所述調(diào)節(jié)支架安裝在所述調(diào)節(jié)螺絲架上，該調(diào)節(jié)支架支撐所述調(diào)節(jié)螺絲架及所述連接塊。
9.如權(quán)利要求7或8所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)螺絲包括前推調(diào)節(jié)螺絲和 后拉調(diào)節(jié)螺絲，所述前推調(diào)節(jié)螺絲與后拉調(diào)節(jié)螺絲相互平行。
10.如權(quán)利要求6所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括調(diào) 節(jié)支架、Y向彈簧支架、多個(gè)Y向支撐彈簧、X向彈簧支架、多個(gè)X向支撐彈簧、多個(gè)Y向調(diào)節(jié) 螺絲和多個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲；所述Y向彈簧支架與所述X向彈簧支架連接，且相互垂直； 所述Y向支撐彈簧設(shè)置在所述Y向彈簧支架上； 所述X向支撐彈簧設(shè)置在所述X向彈簧支架上；所述調(diào)節(jié)支架為直角折形支架，該直角折形支架與所述Y向彈簧支架及所述X向彈簧 支架形成一矩形框；所述Y向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支架上，所述Y向調(diào)節(jié)螺絲與所述Y向彈簧支架相對(duì)；所述X向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支架上，所述X向調(diào)節(jié)螺絲與所述X向彈簧支架相對(duì)。
11.如權(quán)利要求10所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)支架包括一橫支架和一豎 支架，所述橫支架與所述豎支架連接，且相互垂直；所述橫支架的一端固定在所述Y向彈簧 支架上，所述豎支架的一端固定在所述X向彈簧支架上；所述Y向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述橫支 架上，所述X向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述豎支架上。
12.如權(quán)利要求11所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括 兩個(gè)Y向支撐彈簧、三個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲、兩個(gè)χ向支撐彈簧和三個(gè)χ向調(diào)節(jié)螺絲；所述三個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲中，兩側(cè)的Y向調(diào)節(jié)螺絲分別與所述兩個(gè)Y向支撐彈簧一一相 對(duì)，中間的Y向調(diào)節(jié)螺絲位于兩側(cè)Y向調(diào)節(jié)螺絲連線的中點(diǎn)；所述三個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲中，兩側(cè)的X向調(diào)節(jié)螺絲分別與所述兩個(gè)X向支撐彈簧一一相 對(duì)，中間的中間的位于兩側(cè)χ向調(diào)節(jié)螺絲連線的中點(diǎn)。
13.如權(quán)利要求6所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括 探測(cè)光纖調(diào)整架、多個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲和多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲；所述探測(cè)光纖調(diào)整架為一矩形框，所述多個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架 的兩個(gè)側(cè)框上，設(shè)置在兩個(gè)側(cè)框上的X向調(diào)節(jié)螺絲相等且一一相對(duì)，所述多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲 設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架的上框和所述探測(cè)光纖調(diào)整架的下框上，設(shè)置在所述探測(cè)光纖 調(diào)整架的上框和所述探測(cè)光纖調(diào)整架的下框上的Y向調(diào)節(jié)螺絲相等且一一相對(duì)。
14.如權(quán)利要求13所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝包 括兩個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲及六個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲。
15.一種對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其特征在于，包括以下步驟步驟Si，將所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板粘接到所述參考板調(diào)節(jié)板的一側(cè)，將所述參考板調(diào)節(jié) 板固定到所述參考板支架的側(cè)面上；步驟S2，使用所述參考板Z向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)并固定所述參考板支架的位置； 步驟S3，使用所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)并固定所述參考板調(diào)節(jié)板的位置； 步驟S4，鎖定所述探測(cè)光纖與所述光纖定位架之間的位置；步驟S5，鎖定所述光纖定位架與所述探測(cè)光纖連接板之間的位置；步驟S6，使用所述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝調(diào)節(jié)并固定所述探測(cè)光纖連接板的位置。
16.如權(quán)利要求15所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其特征在于，所述 步驟S2中參考板Z向調(diào)整工裝包括推力工具、連接塊和調(diào)節(jié)螺絲；所述調(diào)節(jié)螺絲與連接塊 連接。
17.如權(quán)利要求16所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其特征在于，所述 步驟S2具體為使用所述推力工具對(duì)所述參考板支架施加推力，使所述參考板支架的底表 面和側(cè)表面與所述成像模塊的機(jī)械殼體緊密接觸；所述連接塊固定在所述參考板支架上， 旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺絲推動(dòng)或拉動(dòng)所述參考板支架在Z軸方向上平移；當(dāng)所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板位于 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記空間像的最佳焦平面時(shí)，將所述參考板支架鎖緊在所述成像模塊的機(jī)械殼體上， 即確定了所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板的Z向位置；卸下所述參考板Z向調(diào)整工裝。
18.如權(quán)利要求15所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其特征在于，所述 步驟S3中所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括調(diào)節(jié)支架、Y向彈簧支架、多個(gè)Y向支撐彈簧、 X向彈簧支架、多個(gè)X向支撐彈簧、多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲和多個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲；所述Y向彈簧支架與所述X向彈簧支架連接，且相互垂直； 所述Y向支撐彈簧設(shè)置在所述Y向彈簧支架上； 所述X向支撐彈簧設(shè)置在所述X向彈簧支架上；所述調(diào)節(jié)支架為直角折形支架，該直角折形支架與所述Y向彈簧支架及所述X向彈簧 支架形成一矩形框；所述Y向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支架上，所述Y向調(diào)節(jié)螺絲與所述Y向彈簧支架相對(duì)；所述X向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支架上，所述X向調(diào)節(jié)螺絲與所述X向彈簧支架相對(duì)。
19.如權(quán)利要求18所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其特征在于，所述 步驟S3具體為松開(kāi)所述參考板調(diào)節(jié)板，使所述參考板調(diào)節(jié)板能相對(duì)所述參考板支架運(yùn) 動(dòng)；將所述調(diào)節(jié)支架固定安裝在實(shí)驗(yàn)平臺(tái)上，所述參考板調(diào)節(jié)板嵌在所述調(diào)節(jié)支架與所述 Y向彈簧支架及所述X向彈簧支架形成的矩形框內(nèi)，所述Y向支撐彈簧、X向支撐彈簧、Y向 調(diào)節(jié)螺絲和X向調(diào)節(jié)螺絲頂在所述參考板調(diào)節(jié)板的周邊；旋轉(zhuǎn)所述Y向調(diào)節(jié)螺絲和X向調(diào) 節(jié)螺絲使所述參考板調(diào)節(jié)板在X、Y、Rz三個(gè)方向上運(yùn)動(dòng)，直至對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記所成的空間像與所 述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板對(duì)齊，固定所述參考板調(diào)節(jié)板的位置，即確定了所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板在 X、Y、Rz三個(gè)方向上的位置；卸下所述參考板X/Y/Rz向調(diào)整工裝。
20.如權(quán)利要求15所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其特征在于，所述 探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝包括探測(cè)光纖調(diào)整架、多個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲和多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺 絲；所述探測(cè)光纖調(diào)整架為一矩形框，所述多個(gè)X向調(diào)節(jié)螺絲設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架 的兩個(gè)側(cè)框上，設(shè)置在兩個(gè)側(cè)框上的X向調(diào)節(jié)螺絲相等且一一相對(duì)，所述多個(gè)Y向調(diào)節(jié)螺絲 設(shè)置在所述探測(cè)光纖調(diào)整架的上框和所述探測(cè)光纖調(diào)整架的下框上，設(shè)置在所述探測(cè)光纖 調(diào)整架的上框和所述探測(cè)光纖調(diào)整架的下框上的Y向調(diào)節(jié)螺絲相等且一一相對(duì)。
21.如權(quán)利要求20所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的裝調(diào)方法，其特征在于，所述 步驟S6具體為將所述探測(cè)光纖連接板安裝到所述參考板調(diào)節(jié)板上，使所述探測(cè)光纖連 接板與所述參考板調(diào)節(jié)板接觸且能相對(duì)所述參考板調(diào)節(jié)板在X、Y、Rz三個(gè)方向上運(yùn)動(dòng)；將 所述探測(cè)光纖調(diào)整架擱置在實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)上，所述探測(cè)光纖連接板嵌在所述探測(cè)光纖調(diào)整架 內(nèi)，所述X向調(diào)節(jié)螺絲和Y向調(diào)節(jié)螺絲頂在所述探測(cè)光纖連接板的周邊；旋轉(zhuǎn)所述X向調(diào)節(jié) 螺絲和Y向調(diào)節(jié)螺絲使所述探測(cè)光纖連接板在X、Y、Rz三個(gè)方向上運(yùn)動(dòng)，直至所述探測(cè)光纖 連接板調(diào)到理想位置，固定所述探測(cè)光纖連接板的位置，即確定了所述探測(cè)光線的位置；卸 下所述探測(cè)光纖X/Y/Rz向調(diào)整工裝。
全文摘要
本發(fā)明涉及對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板和探測(cè)光纖的安裝、調(diào)整裝置及裝調(diào)方法，該裝置包括參考板支架、參考板調(diào)節(jié)板、探測(cè)光纖連接板和光纖定位架；所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板安裝在所述參考板調(diào)節(jié)板的一側(cè)；所述參考板調(diào)節(jié)板安裝在所述參考板支架的側(cè)面，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板嵌入所述參考板支架內(nèi)；所述光纖定位架嵌在所述探測(cè)光纖連接板內(nèi)，所述探測(cè)光纖連接板安裝在所述參考板調(diào)節(jié)板的另一側(cè)；所述探測(cè)光纖的一端依次穿過(guò)所述光纖定位架、探測(cè)光纖連接板和參考板調(diào)節(jié)板，連接在所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考板的后端。
文檔編號(hào)G03F7/20GK101976021SQ201010504660
公開(kāi)日2011年2月16日 申請(qǐng)日期2010年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月12日
發(fā)明者袁永剛 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司