專利名稱：光開關(guān)以及mems顯示器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微機(jī)械機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域，特別涉及一種基于MEMS技術(shù)的光開關(guān)以及使用所述光開關(guān)實(shí)現(xiàn)圖像顯示的MEMS顯示器。
背景技術(shù)：
液晶電視以及其他平板顯示器，已經(jīng)成為社會(huì)生活中常見的電子消費(fèi)產(chǎn)品。如何進(jìn)一步的減小平板顯示器的尺寸，減薄其面板厚度，是平板顯示器的發(fā)展方向之一。由于液晶顯示裝置的光源必須設(shè)置于面板的背面或嵌入于面板中，才能獲得較好的亮度以及灰度的均勻性，因此上述光源的設(shè)置對(duì)減薄面板的厚度帶來了較大的困難。采用機(jī)械結(jié)構(gòu)的光路切換開關(guān)制作平板顯示器是液晶顯示器的可供選擇的替代方案。機(jī)械的光路切換開關(guān)能夠快速地路由光源的光束，使其在所需的像素區(qū)域顯示，從而獲得良好的視角和大范圍的色彩、灰度顯示圖像內(nèi)容。所述光源可以獨(dú)立于像素陣列區(qū)，而設(shè)置于面板的任意位置，因而有利于縮小顯示器的面板厚度。更多關(guān)于利用機(jī)械結(jié)構(gòu)的光路切換開關(guān)，制作MEMS顯示器的內(nèi)容可以參見專利號(hào)為US2006006448的美國專利。雖然采用MEMS技術(shù)的光開關(guān)在投影顯示應(yīng)用中已獲得成功，然而在平板顯示裝置中缺乏實(shí)質(zhì)性的突破。制作靈敏可靠的光開關(guān)，并將其應(yīng)用至MEMS顯示器中，成為MEMS 顯示器的主要研究方向。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是提供一種光開關(guān)以及應(yīng)用所述光開關(guān)的MEMS顯示器，具有控制機(jī)構(gòu)簡單，易于生產(chǎn)制造的特點(diǎn)。本發(fā)明提供的光開關(guān)，包括基底；彈性懸臂，所述彈性懸臂具有固定于基底的固定端以及懸浮的自由端；活動(dòng)反射鏡，所述活動(dòng)反射鏡位于所述彈性懸臂的自由端上；所述彈性懸臂在驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)的作用下彎曲，使得活動(dòng)反射鏡移位，將入射光束反射至出射方向?？蛇x的，還包括固定于基底的固定反射鏡，所述固定反射鏡的反射面與彈性懸臂彎曲時(shí)活動(dòng)反射鏡的反射面相對(duì)；所述入射光束從所述基底的背面入射，并投射于固定反射鏡的反射面上?？蛇x的，所述基底為透明基底。所述固定反射鏡的反射面與活動(dòng)反射鏡的反射面平行。可選的，所述彈性懸臂為片狀金屬?？蛇x的，所述光開關(guān)還包括設(shè)置于基底位于彈性懸臂自由端下方的誘導(dǎo)電極，所述誘導(dǎo)電極用于形成所述驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)。所述誘導(dǎo)電極設(shè)置于所述基底內(nèi)，且與基底表面具有間距?？蛇x的，所述光開關(guān)還包括設(shè)置于基底的支撐結(jié)構(gòu)，所述彈性懸臂通過所述支撐結(jié)構(gòu)固定于基底，還通過所述支撐結(jié)構(gòu)與基底電連接。可選的，所述活動(dòng)反射鏡的反射面具有偏振分光鏡。
基于上述關(guān)開關(guān)，本發(fā)明還提供了 MEMS顯示器，包括透明基板，設(shè)置于透明基板表面的光開關(guān)陣列，以及位于所述透明基板背面的背光源；所述背光源產(chǎn)生的光束經(jīng)由所述透明基板以及光開關(guān)陣列透射成像?？蛇x的，所述背光源為RGB三原色或CMY三原色光源?？蛇x的，所述背光源為3D偏振光源。所述光開關(guān)分為P偏振光開關(guān)以及S偏振光開關(guān)；所述P偏振光開關(guān)的活動(dòng)反射鏡的反射面具有P偏振分光鏡，所述S偏振光開關(guān)的活動(dòng)反射鏡的反射面具有S偏振分光鏡；所述P偏振光開關(guān)以及S偏振光開關(guān)在光開關(guān)陣列中間隔交替排列。本發(fā)明所述光開關(guān)結(jié)構(gòu)簡單，控制方便，易于生產(chǎn)制造；所述MEMS顯示器采用光開關(guān)作為像素單元構(gòu)成光開關(guān)陣列，背光源產(chǎn)生的光束經(jīng)由透明基板以及光開關(guān)陣列透射成像，具有響應(yīng)靈敏，成像快速的特點(diǎn)。


通過附圖中所示的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的更具體說明，本發(fā)明的上述及其他目的、特征和優(yōu)勢(shì)將更加清晰。附圖中與現(xiàn)有技術(shù)相同的部件使用了相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按比例繪制，重點(diǎn)在于示出本發(fā)明的主旨。在附圖中為清楚起見，放大了層和區(qū)域的尺寸。圖1是本發(fā)明所述光開關(guān)第一實(shí)施例的剖面示意圖；圖2至圖4是本發(fā)明所述光開關(guān)的工作狀態(tài)示意圖；圖5是本發(fā)明所述MEMS顯示器第一實(shí)施例的剖面示意圖；圖6是本發(fā)明所述MEMS顯示器第二實(shí)施例的剖面示意圖；圖7是本發(fā)明所述MEMS顯示器第三實(shí)施例的剖面示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明提供的一種光開關(guān)，包括基底；彈性懸臂，所述彈性懸臂具有固定于基底的固定端以及懸浮的自由端；活動(dòng)反射鏡，所述活動(dòng)反射鏡位于所述彈性懸臂的自由端上； 所述彈性懸臂在驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)的作用下彎曲，使得活動(dòng)反射鏡移位，將入射光束反射至出射方向。進(jìn)一步的，所述基底為透明基底，所述入射光束從所述基底的背面入射，透過基底照射于光開關(guān)的彈性懸臂上。通常為了使得所述光束具有良好的入射角度，還可以在基底上設(shè)置固定的反射鏡，將所述入射光束先進(jìn)行一次反射。并且使得，所述彈性懸臂彎曲時(shí)，上述經(jīng)過一次反射的入射光束能夠直接照射于活動(dòng)反射鏡的反射面上。從而再經(jīng)由活動(dòng)反射鏡反射至出射方向。經(jīng)過上述兩次反射后，所述光束的出射方向可以與入射方向一致。以下結(jié)合具體的實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明所述光開關(guān)進(jìn)一步介紹。圖1是本發(fā)明光開關(guān)具體實(shí)施例的剖面示意圖，如圖1所示，所述光開關(guān)的基本結(jié)構(gòu)包括透明基底10 ；設(shè)置于所述透明基底10上的彈性懸臂20，所述彈性懸臂20具有固定于透明基底10上的固定端21以及懸浮的自由端22 ；活動(dòng)反射鏡30，設(shè)置于彈性懸臂20 的自由端22上；固定反射鏡40，設(shè)置于所述透明基底20。
其中，透明基底10可以為玻璃基底，當(dāng)入射光束從透明基底10的背面入射時(shí)，可以直接透過所述透明基底10，而照射于光開關(guān)上。為了使得彈性懸臂20的自由端22為懸浮狀態(tài)，也即使得所述自由端22與透明基底10之間具有高度差，還可以在透明基底10上形成支撐結(jié)構(gòu)11。上述支撐結(jié)構(gòu)11突出于透明基底10表面，用于與彈性懸臂20的固定端21連接。此外還可以在所述支撐結(jié)構(gòu)11 內(nèi)制作接觸孔，使得彈性懸臂20通過支撐結(jié)構(gòu)11與透明基底10電連接；具體的，與透明基底10內(nèi)用于控制光開關(guān)的控制電路電連接。在所述透明基底10上，位于彈性懸臂20的下方還設(shè)置有誘導(dǎo)電極12，所述誘導(dǎo)電極12用于產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)。通常為了避免彈性懸臂20彎曲后與誘導(dǎo)電極12發(fā)生直接接觸， 所述誘導(dǎo)電極12可以設(shè)置于透明基底10內(nèi)，并與透明基底10的表面具有一定間距。所述彈性懸臂20可以為片狀金屬，可以采用銅、鋁、金等材質(zhì)。所述彈性懸臂20 在未彎曲時(shí)可以與透明基底10表面平行。當(dāng)向所述彈性懸臂20以及誘導(dǎo)電極12通電時(shí)， 在所述彈性懸臂20與誘導(dǎo)電極12之間形成驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)，即可以使得彈性懸臂20受到驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)的作用而彎曲。具體的，在本實(shí)施例中，向所述誘導(dǎo)電極12以及彈性懸臂20與不同電位的電極連接，所述誘導(dǎo)電極12與彈性懸臂20具有電勢(shì)差，兩者之間便形成所述驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)， 所述彈性懸臂20受到電場(chǎng)力作用而彎曲，其自由端22朝向透明基底10偏移，使得位于其上的活動(dòng)反射鏡30產(chǎn)生移位。且所述電勢(shì)差越大，彈性懸臂20所受的電場(chǎng)力作用也越強(qiáng)， 彎曲程度也越大。當(dāng)活動(dòng)反射鏡30移位后，所述固定反射鏡40應(yīng)當(dāng)能夠?qū)⑼该骰?0背面入射的光束反射至移位后的活動(dòng)反射鏡30，從而使得入射光束產(chǎn)生二次反射，從光開關(guān)出射。為了使得出射方向與入射方向一致，此時(shí)固定反射鏡40的反射面應(yīng)當(dāng)與活動(dòng)反射鏡30的反射面平行。為進(jìn)一步說明上述光開關(guān)的工作原理，圖2以及圖3還提供了本實(shí)施例光開關(guān)的工作示意圖。如圖2所示，當(dāng)光開關(guān)中彈性懸臂20未發(fā)生彎曲時(shí)，所述彈性懸臂20與透明基底 10表面平行。此時(shí)從透明基底10背面入射的光束在透射透明基底10后，或直接照射于所述彈性懸臂20，或經(jīng)過固定反射鏡40 —次反射而照射于光開關(guān)的其他位置例如支撐結(jié)構(gòu) 11上，均無法從光開關(guān)中出射。此時(shí)片狀金屬的彈性懸臂20在透光方向上起到遮光的作用。光開關(guān)可以視為關(guān)閉狀態(tài)。如圖3所示，將所述誘導(dǎo)電極12與負(fù)電極連接，而將彈性懸臂20與正電極連接， 從而在兩者之間形成電勢(shì)差；所述電勢(shì)差使得誘導(dǎo)電極12上注入負(fù)電荷，而彈性懸臂20注入正電荷，上述異種電荷之間產(chǎn)生電場(chǎng)力，作用于彈性懸臂20上，導(dǎo)致彈性懸臂20發(fā)生彎曲，并且其自由端22向透明基底10偏移。假設(shè)所述電場(chǎng)力足夠強(qiáng)，彈性懸臂20的自由端 22部分將緊貼于透明基底10的表面。由于誘導(dǎo)電極12與所述透明基底10的表面具有間距，因此所述誘導(dǎo)電極12并不會(huì)與彈性懸臂20發(fā)生直接的接觸，兩者之間的電場(chǎng)力將保持，彈性懸臂20也維持在彎曲狀態(tài)。在上述彎曲狀態(tài)下，位于彈性懸臂20的自由端22上的活動(dòng)反射器30相對(duì)于初始狀態(tài)已發(fā)生了位移。假設(shè)此時(shí)存在從透明基底10的背面入射的光束，除了直接照射于彈性懸臂20而被遮擋的部分外，還有一部分光束經(jīng)由固定反射鏡30反射而照射于活動(dòng)反射鏡30上。該部分照射于活動(dòng)反射鏡30上的光束將再次反射，并從出射方向出射。且由于此時(shí)固定反射鏡40與活動(dòng)反射鏡30的反射面平行，因此經(jīng)過兩次反射后，光束的出射方向依然與入射方向保持一致。光開關(guān)可以視為導(dǎo)通狀態(tài)。進(jìn)一步的如圖4所示，假設(shè)彈性懸臂20與誘導(dǎo)電極12之間的電場(chǎng)力作用不夠強(qiáng)， 所述彈性懸臂20的彎曲度有限，其自由端22未能緊貼于透明基底10的表面，所述活動(dòng)反射鏡30的位移不足。此時(shí)從透明基底10背面入射的光束，依然有一部分能夠經(jīng)由固定反射鏡30反射至活動(dòng)反射鏡30上，而從出射方向出射。但與圖3中活動(dòng)反射鏡30具有最大位移量的情況相比，上述能夠出射的光束的光量明顯減弱。綜上所述，僅需通過控制彈性懸臂20以及誘導(dǎo)電極12中導(dǎo)入的電荷量，也即控制彈性懸臂20與誘導(dǎo)電極12之間的電勢(shì)差，便能夠控制所述光開關(guān)的透光度，起到對(duì)出射光強(qiáng)進(jìn)行調(diào)節(jié)的作用。將上述光開關(guān)在透明基底上形成陣列排布后，每個(gè)光開關(guān)可以視為一個(gè)像素點(diǎn)， 通過控制各像素點(diǎn)的透光度，便能形成圖像的顯示。因此基于上述光開關(guān)，本發(fā)明還提供了一種MEMS顯示器，基本結(jié)構(gòu)包括透明基板，設(shè)置于透明基板表面的光開關(guān)陣列，以及位于所述透明基板背面的背光源；所述背光源產(chǎn)生的光束經(jīng)由所述透明基板以及光開關(guān)陣列透射成像。其中所述透明基板通常采用玻璃基板。根據(jù)光源類型的不同，上述MEMS顯示器的工作機(jī)制也不盡相同，下面結(jié)合具體的實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明所述MEMS顯示器作進(jìn)一步介紹。第一實(shí)施例本發(fā)明第一實(shí)施例的MEMS顯示器，所述光開關(guān)陣列采用圖1所示光開關(guān)，所述背光源采用三原色光源，例如RGB三原色(紅、綠、藍(lán)三色)光源或CMY三原色(青、品紅、黃三色)光源。圖5為所述第一實(shí)施例的MEMS顯示器的剖面示意圖，包括玻璃基板100，設(shè)置于玻璃基板100背面的背光源200以及設(shè)置于玻璃基板100表面的光開關(guān)陣列300。所述光開關(guān)陣列僅示意出兩個(gè)光開關(guān)。如圖6所示，本實(shí)施例的MEMS顯示器，光開關(guān)陣列300中每一個(gè)光開關(guān)代表一個(gè)像素單元。各像素單元的透光量可以通過調(diào)節(jié)光開關(guān)中彈性懸臂的彎曲度進(jìn)行精確控制。所述背光源200所產(chǎn)生的三原色光采用分時(shí)輸入，以RGB三原色光為例，具體包括間隔時(shí)間為T，周期性輸入紅光Li、藍(lán)光L2以及綠光L3。上述間隔時(shí)間T應(yīng)當(dāng)小于人眼的視覺暫留時(shí)間。對(duì)各像素單元進(jìn)行分別控制，使得所述像素單元在特定時(shí)間段內(nèi)透過相應(yīng)種類以及光強(qiáng)的原色光。當(dāng)人眼觀察所述MEMS顯示器時(shí)，由于視覺暫留，可以形成多個(gè)像素顯示相疊加的圖像。而不同種類以及光強(qiáng)的原色光相疊加，在視覺上便能形成不同色彩，從而使得本實(shí)施例的MEMS顯示器顯示出彩色的圖形。第二實(shí)施例圖6為本發(fā)明第二實(shí)施例的MEMS顯示器的剖面示意圖。本實(shí)施例中，光開關(guān)陣列 300以及玻璃基板100的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例完全相同，所述背光源200可以采用3D偏振光源，包括P偏振光以及S偏振光。如圖6所示，所述MEMS顯示器的光開關(guān)陣列300中每一個(gè)光開關(guān)也代表一個(gè)像素單元。各像素單元的透光量同樣通過調(diào)節(jié)光開關(guān)中彈性懸臂的彎曲度進(jìn)行精確控制。所述背光源200所產(chǎn)生的3D偏振光同樣采用分時(shí)輸入，具體包括間隔時(shí)間T’， 周期性輸入P偏振光Lp以及S偏振光Ls。上述間隔時(shí)間T’也小于人眼的視覺暫留時(shí)間。對(duì)各像素單元進(jìn)行分別控制，使得所述像素單元在特定時(shí)間段內(nèi)透過相應(yīng)種類以及光強(qiáng)的偏振光。當(dāng)人眼觀察所述MEMS顯示器時(shí)，由于視覺暫留所帶來的疊加效果，上述P 偏振光Lp與S偏振光Ls能夠形成3D圖像，從而使得本實(shí)施例的MEMS顯示器顯示出三維立體圖形。第三實(shí)施例以上實(shí)施例利用了人眼的視覺暫留，背光源均采用分時(shí)輸入機(jī)制。對(duì)于普通的RGB 三原色或CMY三原色光源效果尚可；但對(duì)于3D偏振光源，P偏振光與S偏振光的視覺暫留疊加產(chǎn)生的3D效果并不理想，在光源的時(shí)序控制上較為困難。為解決上述問題，本發(fā)明還提供了第三實(shí)施例的MEMS顯示器。如圖7所示，在本實(shí)施例中，所述光開關(guān)陣列300的光開關(guān)上還設(shè)置有偏振分光鏡。所述偏振分光鏡可以用于對(duì)疊加的3D偏振光進(jìn)行分光，例如P偏振分光鏡僅透射P偏振光，而S偏振分光鏡僅透射S偏振光。具體的，上述偏振分光鏡可以設(shè)置于光開關(guān)的活動(dòng)反射鏡的反射面上。進(jìn)一步的，本實(shí)施例的光開關(guān)陣列300中，光開關(guān)分為P偏振光開關(guān)301以及S偏振光開關(guān)302，上述兩種光開關(guān)在光開關(guān)陣列300中交替設(shè)置，相鄰的P偏振光開關(guān)301以及S偏振光開關(guān)302構(gòu)成一個(gè)像素組。所述背光源200同時(shí)產(chǎn)生P偏振光以及S偏振光。當(dāng)包含上述兩種偏振光的入射光束透過玻璃基板100照射于光開關(guān)陣列300后，各像素組的P偏振光開關(guān)301以及S偏振光開關(guān)302對(duì)上述入射光束分光，并調(diào)節(jié)出射的偏振光的光強(qiáng)。當(dāng)人眼觀察上述MEMS顯示器時(shí)，可以同時(shí)接受兩種偏振光，在視覺上形成疊加效果。各像素組所產(chǎn)生的不同強(qiáng)度的偏振光相組合，便能夠形成3D圖形，從而使得本實(shí)施例的MEMS顯示器顯示出更為逼真的三維立體圖形。以上三實(shí)施例中，背光源僅起到產(chǎn)生入射光束的作用，而決定MEMS顯示器顯示圖像的，是通過對(duì)各像素單元的光開關(guān)進(jìn)行控制，調(diào)節(jié)出射光束的光強(qiáng)。因此，所述玻璃基板內(nèi)還形成有控制電路。具體的，各像素單元還包括相應(yīng)的薄膜晶體管用于控制相應(yīng)的關(guān)開關(guān)?？梢詫⒏鞴忾_關(guān)的誘導(dǎo)電極連接于固定電極，例如接地；而將彈性懸臂通過所述薄膜晶體管與電源連接；通過控制所述薄膜晶體管的導(dǎo)通或關(guān)閉，向所述彈性懸臂注入電荷，從而在彈性懸臂與誘導(dǎo)電極之間形成驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)，進(jìn)而控制所述光開關(guān)的開閉狀態(tài)。在所述像素陣列區(qū)中，陣列排布的各像素單元出射不同光強(qiáng)、顏色的光束，在視覺效果上便能夠疊加形成所需顯示的圖像。本發(fā)明雖然已以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案做出可能的變動(dòng)和修改，因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種光開關(guān)，其特征在于，包括基底；彈性懸臂，所述彈性懸臂具有固定于基底的固定端以及懸浮的自由端；活動(dòng)反射鏡，所述活動(dòng)反射鏡位于所述彈性懸臂的自由端上； 所述彈性懸臂在驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)的作用下彎曲，使得活動(dòng)反射鏡移位，將入射光束反射至出射方向。
2.如權(quán)利要求1所述的光開關(guān)，其特征在于，還包括固定于基底的固定反射鏡，所述固定反射鏡的反射面與彈性懸臂彎曲時(shí)活動(dòng)反射鏡的反射面相對(duì)；所述入射光束從所述基底的背面入射，并投射于固定反射鏡的反射面上。
3.如權(quán)利要求2所述的光開關(guān)，其特征在于，所述基底為透明基底。
4.如權(quán)利要求2所述的光開關(guān)，其特征在于，所述固定反射鏡的反射面與活動(dòng)反射鏡的反射面平行。
5.如權(quán)利要求1所述的光開關(guān)，其特征在于，所述彈性懸臂為片狀金屬。
6.如權(quán)利要求1所述的光開關(guān)，其特征在于，還包括設(shè)置于基底位于彈性懸臂自由端下方的誘導(dǎo)電極，所述誘導(dǎo)電極用于形成所述驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)。
7.如權(quán)利要求5所述的光開關(guān)，其特征在于，所述誘導(dǎo)電極設(shè)置于所述基底內(nèi)，且與基底表面具有間距。
8.如權(quán)利要求1所述的光開關(guān)，其特征在于，還包括設(shè)置于基底的支撐結(jié)構(gòu)，所述彈性懸臂通過所述支撐結(jié)構(gòu)固定于基底，還通過所述支撐結(jié)構(gòu)與基底電連接。
9.如權(quán)利要求1所述的光開關(guān)，其特征在于，所述活動(dòng)反射鏡的反射面具有偏振分光^Mi O
10.一種應(yīng)用了權(quán)利要求1所述光開關(guān)的MEMS顯示器，包括透明基板，設(shè)置于透明基板表面的光開關(guān)陣列，以及位于所述透明基板背面的背光源；所述背光源產(chǎn)生的光束經(jīng)由所述透明基板以及光開關(guān)陣列透射成像。
11.如權(quán)利要求10所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述背光源為RGB三原色或CMY 三原色光源。
12.如權(quán)利要求10所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述背光源為3D偏振光源。
13.如權(quán)利要求12所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述光開關(guān)分為P偏振光開關(guān)以及S偏振光開關(guān)；所述P偏振光開關(guān)的活動(dòng)反射鏡的反射面具有P偏振分光鏡，所述S偏振光開關(guān)的活動(dòng)反射鏡的反射面具有S偏振分光鏡；所述P偏振光開關(guān)以及S偏振光開關(guān)在光開關(guān)陣列中間隔交替排列。
全文摘要
本發(fā)明提供了光開關(guān)以及MEMS顯示器，所述光開關(guān)包括基底；彈性懸臂，所述彈性懸臂具有固定于基底的固定端以及懸浮的自由端；活動(dòng)反射鏡，所述活動(dòng)反射鏡位于所述彈性懸臂的自由端上；所述彈性懸臂在驅(qū)動(dòng)電場(chǎng)的作用下彎曲，使得活動(dòng)反射鏡移位，將入射光束反射至出射方向。本發(fā)明所述光開關(guān)結(jié)構(gòu)簡單，控制方便，易于生產(chǎn)制造；所述MEMS顯示器采用光開關(guān)作為像素單元構(gòu)成光開關(guān)陣列，背光源產(chǎn)生的光束經(jīng)由透明基板以及光開關(guān)陣列透射成像，具有響應(yīng)靈敏，成像快速的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G02B26/08GK102540454SQ20101060918
公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2010年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月27日
發(fā)明者唐德明, 毛劍宏 申請(qǐng)人:上海麗恒光微電子科技有限公司