專利名稱：一種具有標(biāo)尺結(jié)構(gòu)的彩色濾光基板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示面板領(lǐng)域，尤其涉及液晶顯示面板中彩色濾光基板的結(jié)構(gòu)及其制造方法，具體地說，涉及到在生產(chǎn)過程中遮光圖案層(BM層)與彩色濾光層(RGB層) 圖案尺寸的監(jiān)測。
背景技術(shù)：
近年來，液晶顯示不僅在信息通訊裝置，甚至一般的電器中也迅速得到了普及。液晶顯示的主要部件是液晶顯示面板，其中的彩色濾光基板是對顯示質(zhì)量非常重要的關(guān)鍵部件之一，其結(jié)構(gòu)一般包括透明玻璃基板、遮光圖案層、彩色濾光層、公用電極層以及間隔柱等。其結(jié)構(gòu)請參見圖1所示，圖1示出了一個(gè)像素結(jié)構(gòu)。如圖所示，遮光圖案層101具有一開口區(qū)域102，彩色濾光層103 (該彩色濾光層為紅色濾光層、藍(lán)色濾光層或綠色濾光層之一)覆蓋在該開口區(qū)域102上，并且其四周與遮光圖案層101有一定的重疊量。在透明玻璃基板上形成遮光圖案層與彩色濾光層的方法通常采用光阻涂布的顏料分散法，即首先將液態(tài)光阻涂布在玻璃基板表面，然后通過帶有指定圖案的曝光掩膜板， 使用近接式曝光機(jī)進(jìn)行曝光，再經(jīng)過顯影及烘烤過程形成預(yù)設(shè)的圖案。圖2示意性地示出了該曝光過程。隨著液晶顯示器行業(yè)的不斷發(fā)展，彩色濾光基板的尺寸不斷增加，因此，相應(yīng)地在曝光過程中使用的曝光掩膜板尺寸也會隨之增大。當(dāng)彩色濾光基板的尺寸增大至G5(即 1100*1300cm)及以上時(shí)，曝光時(shí)掩膜板會由于重力而不可避免地產(chǎn)生彎曲(bending)，造成曝光后圖形線幅面內(nèi)分布不均勻，引起曝光后圖案的高度及寬度在整個(gè)彩色濾光基板面內(nèi)分布不均勻，造成光學(xué)特性分布不均勻，以及遮光圖案層與彩色濾光層重疊區(qū)域的偏移， 偏移嚴(yán)重時(shí)還會產(chǎn)生漏光。為了避免以上問題的產(chǎn)生，提高彩色濾光基板產(chǎn)品的品質(zhì)，在彩色濾光基板實(shí)際生產(chǎn)過程中需要監(jiān)測遮光圖案層與彩色濾光層的圖案高度和寬度，并根據(jù)其偏移情況及時(shí)作出調(diào)整。已有技術(shù)中通常使用顯微側(cè)長儀來測量上述高度和寬度。這種傳統(tǒng)的方式需要花費(fèi)較長時(shí)間，而且需要購買專用的大型在線顯微測長儀，不利于在線控制同時(shí)也增加了成本。

發(fā)明內(nèi)容
基于背景技術(shù)中存在的上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種彩色濾光基板，在基板上形成有確認(rèn)遮光圖案和/或彩色濾光圖案的寬度的標(biāo)尺結(jié)構(gòu)，通過這種標(biāo)尺結(jié)構(gòu)可以使制造者通過目視直接和簡便地確認(rèn)遮光圖案或彩色濾光圖案的高度和寬度變化，從而快速、方便且經(jīng)濟(jì)地控制和調(diào)整遮光圖案層與彩色濾光層的圖案的高度和寬度，提高彩濾光基板的品質(zhì)。本發(fā)明還同時(shí)提供一種制造上述具有標(biāo)尺結(jié)構(gòu)的彩色濾光基板的制造方法。根據(jù)上述目的，本發(fā)明提供彩色濾光基板，包括
透明玻璃基板；遮光圖案層，位于所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上，所述遮光圖案層具有開口區(qū)域；彩色濾光層，位于所述遮光圖案層的開口區(qū)域上，并與所述遮光圖案層重疊；基準(zhǔn)高度遮光圖案組，包含多個(gè)高度相同的基準(zhǔn)高度遮光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)高度遮光圖案之間的間距相等；參照高度遮光圖案組，包含多個(gè)高度不同的參照高度遮光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照高度遮光圖案組與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照高度遮光圖案的垂直方向中心線分別與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組間距的垂直方向中心線在一水平線上；基準(zhǔn)寬度遮光圖案組，包含多個(gè)寬度相同的基準(zhǔn)寬度遮光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案之間的間距相等；參照寬度遮光圖案組，包含多個(gè)寬度不同的參照寬度遮光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照寬度遮光圖案組與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照寬度遮光圖案的水平方向中心線分別與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組間距的水平方向中心線在一垂直線上。在所述的彩色濾光基板中，所述參照高度遮光圖案組中至少一個(gè)參照高度遮光圖案的高度與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組中相鄰基準(zhǔn)高度遮光圖案之間的間距相等；所述參照寬度遮光圖案組中至少一個(gè)參照寬度遮光圖案組的寬度與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組中相鄰基準(zhǔn)寬度遮光圖案之間的間距相等。在所述的彩色濾光基板中，所述參照高度遮光圖案組中各參照高度遮光圖案在垂直方向上以高度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照高度遮光圖案的高度值H(m) 符合下形式H(m) = H0+(m-l)A ；其中，HO為最小高度；m為所述參照高度遮光圖案的編號；A為高度增加量。在所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述參照寬度遮光圖案組中各參照寬度遮光圖案在水平方向上以寬度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照寬度遮光圖案的寬度值W(n)符合以下形式W (n) = W0+(n-l)B ；其中，WO為最小寬度；η為所述參照寬度遮光圖案的編號；B為寬度增加量。在所述的彩色濾光基板中，所述參照高度遮光圖案組中參照高度遮光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間；所述參照寬度遮光圖案組中參照寬度遮光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間。在所述的彩色濾光基板中，A的值為0. 3-2 μπι, B的值為0. 3-2 μ m。在所述的彩色濾光基板中，A的值為1 μ m，B的值為1 μ m。本發(fā)明還提供一種彩色濾光基板，包括透明玻璃基板；遮光圖案層，位于所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上，所述遮光圖案層具有開口區(qū)域；
彩色濾光層，位于所述遮光圖案層的開口區(qū)域上，并與所述遮光圖案層重疊；基準(zhǔn)高度濾光圖案組，包含多個(gè)高度相同的基準(zhǔn)高度濾光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)高度濾光圖案之間的間距相等；參照高度濾光圖案組，包含多個(gè)高度不同的參照高度濾光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照高度濾光圖案組與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照高度濾光圖案的垂直方向中心線分別與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組間距的垂直方向中心線在一水平線上；基準(zhǔn)寬度濾光圖案組，包含多個(gè)寬度相同的基準(zhǔn)寬度濾光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案之間的間距相等；參照寬度濾光圖案組，包含多個(gè)寬度不同的參照寬度濾光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照寬度濾光圖案組與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照寬度濾光圖案的水平方向中心線分別與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組間距的水平方向中心線在一垂直線上。在所述的彩色濾光基板中，所述參照高度濾光圖案組中至少一個(gè)參照高度濾光圖案的高度與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組中相鄰基準(zhǔn)高度濾光圖案之間的間距相等；所述參照寬度濾光圖案組中至少一個(gè)參照寬度濾光圖案組的寬度與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組中相鄰基準(zhǔn)寬度濾光圖案之間的間距相等。在所述的彩色濾光基板中，在所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組、所述參照高度濾光圖案組、所述基準(zhǔn)寬濾光圖案組和所述參照寬度濾光圖案組與所述透明玻璃基板之間還設(shè)置有遮光圖案底層。在所述的彩色濾光基板中，所述參照高度濾光圖案組中各參照高度濾光圖案在垂直方向上以高度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照高度濾光圖案的高度值 H' (m)符合以下形式H' (m' ) = H' 0+(m' _1)A'；其中，H' 0為最小高度；m'為所述參照高度濾光圖案的編號；A'為高度增加量。在所述的彩色濾光基板中，所述參照寬度濾光圖案組中各參照寬度濾光圖案在水平方向上以寬度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照寬度濾光圖案的寬度值 W' (η)符合以下形式W' (n' ) = W' 0+(n' _1)B'；其中，W' 0為最小寬度；η'為所述參照寬度濾光圖案的編號；B'為寬度增加量。在所述的彩色濾光基板中，所述參照高度濾光圖案組中參照高度濾光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間；所述參照寬度濾光圖案組中參照寬度濾光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間。在所述的彩色濾光基板中，A'的值為0.3-2 μ m，B'的值為0. 3_2 μ m。在所述的彩色濾光基板中，A'的值為1 μ m，B'的值為1 μ m。根據(jù)上述目的，本發(fā)明還提供一種彩色濾光基板的制造方法，包括提供一透明玻璃基板；在所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上形成遮光圖案層；同時(shí)地在所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上形成基準(zhǔn)高度遮光圖案組和基準(zhǔn)寬度遮光圖案組；所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組包含多個(gè)高度相同的基準(zhǔn)高度遮光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)高度遮光圖案之間的間距相等；所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組包含多個(gè)寬度相同的基準(zhǔn)寬度遮光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案之間的間距相等；在所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上形成參照高度遮光圖案組和參照寬度遮光圖案組；所述參照高度遮光圖案組包含多個(gè)高度不同的參照高度遮光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照高度遮光圖案組與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照高度遮光圖案的垂直方向中心線分別與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組間距的垂直方向中心線在一水平線上；所述參照寬度遮光圖案組包含多個(gè)寬度不同的參照寬度遮光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照寬度遮光圖案組與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照寬度遮光圖案的水平方向中心線分別與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組間距的水平方向中心線在一垂直線上；以及在所述遮光圖案層的開口區(qū)域形成彩色濾光層。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述參照高度遮光圖案組中至少一個(gè)參照高度遮光圖案的高度與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組中相鄰基準(zhǔn)高度遮光圖案之間的間距相等；所述參照寬度遮光圖案組中至少一個(gè)參照寬度遮光圖案組的寬度與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組中相鄰基準(zhǔn)寬度遮光圖案之間的間距相等。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，其特征在于，所述參照高度遮光圖案組中各參照高度遮光圖案在垂直方向上以高度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照高度遮光圖案的高度值H(m)符合以下形式H(m) = H0+(m-l)A ；其中，HO為最小高度；m為所述參照高度遮光圖案的編號；A為高度增加量。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述參照寬度遮光圖案組中各參照寬度遮光圖案在水平方向上以寬度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照寬度遮光圖案的寬度值W(n)符合以下形式W (n) = W0+(n-l)B ；其中，WO為最小寬度；η為所述參照寬度遮光圖案的編號；B為寬度增加量。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述參照高度遮光圖案組中參照高度遮光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間；所述參照寬度遮光圖案組中參照寬度遮光圖案的個(gè)數(shù)在20 至40個(gè)之間。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，A的值為0. 3-2 μ m，B的值為0. 3-2 μ m。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，A的值為1 μ m，B的值為1 μ m。本發(fā)明還提供一種彩色濾光基板的制造方法中，包括提供一透明玻璃基板；在所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上形成遮光圖案層；同時(shí)地在所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上形成基準(zhǔn)高度濾光圖案組和參照高度濾光圖案組，所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組包含多個(gè)高度相同的基準(zhǔn)高度濾光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)高度濾光圖案之間的間距相等；所述參照高度濾光圖案組包含多個(gè)高度不同的參照高度濾光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照高度濾光圖案組與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照高度濾光圖案的垂直方向中心線分別與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組間距的垂直方向中心線在一水平線上；在所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上形成基準(zhǔn)寬度濾光圖案組和參照寬度濾光圖案組，所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組包含多個(gè)寬度相同的基準(zhǔn)寬度濾光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案之間的間距相等；所述參照寬度濾光圖案組包含多個(gè)寬度不同的參照寬度濾光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照寬度濾光圖案組與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照寬度濾光圖案的水平方向中心線分別與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組間距的水平方向中心線在一垂直線上；以及在所述遮光圖案層的開口區(qū)域形成彩色濾光層。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述參照高度濾光圖案組中至少一個(gè)參照高度濾光圖案的高度與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組中相鄰基準(zhǔn)高度濾光圖案之間的間距相等；所述參照寬度濾光圖案組中至少一個(gè)參照寬度濾光圖案組的寬度與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組中相鄰基準(zhǔn)寬度濾光圖案之間的間距相等。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，在所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組、所述參照高度濾光圖案組、所述基準(zhǔn)寬濾光圖案組和所述參照寬度濾光圖案組與所述透明玻璃基板之間還設(shè)置有遮光圖案底層。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述參照高度濾光圖案組中各參照高度濾光圖案在垂直方向上以高度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照高度濾光圖案的高度值H' (m)符合以下形式H' (m' ) = H' 0 十(m' _1)A'；其中，H' 0為最小高度；m'為所述參照高度濾光圖案的編號；A'為高度增加量。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述參照寬度濾光圖案組中各參照寬度濾光圖案在水平方向上以寬度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照寬度濾光圖案的寬度值W' (η)符合以下形式W' (n' ) = W' 0+(n' _1)B'；其中，W' 0為最小寬度；η'為所述參照寬度濾光圖案的編號；B'為寬度增加量。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，所述參照高度濾光圖案組中參照高度濾光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間；所述參照寬度濾光圖案組中參照寬度濾光圖案的個(gè)數(shù)在20 至40個(gè)之間。在所述的彩色濾光基板的制造方法中，A'的值為0.3_2μπι，Β'的值為 0. 3-2 μ m0在所述的彩色濾光基板的制造方法中，A'的值為1 μ m，B'的值為1 μ m。


圖1示意性的示出了傳統(tǒng)的彩色濾光基板中遮光圖案層與彩色濾光層的結(jié)構(gòu)；圖2是采用光阻涂布顏料分散法形成遮光圖案層與彩色濾光層的示意圖3是本發(fā)明的彩色濾光基板的示意圖；圖4A是本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的一種尺結(jié)構(gòu)的示意圖；圖4B是本發(fā)明的在形成遮光圖案層的過程中發(fā)生圖案高度變化的效果圖；圖5A是本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的另一種尺結(jié)構(gòu)的示意圖；圖5B是本發(fā)明的在形成遮光圖案層的過程中發(fā)生圖案寬度變化的效果圖；圖6A是本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的又一種尺結(jié)構(gòu)的示意圖；圖6B是本發(fā)明的在形成濾光圖案層的過程中發(fā)生圖案高度變化的效果圖；圖7A是本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的又一種尺結(jié)構(gòu)的示意圖；圖7B是本發(fā)明的在形成濾光圖案層的過程中發(fā)生圖案寬度變化的效果圖。
具體實(shí)施例方式以下將結(jié)合附圖，詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。但是，應(yīng)當(dāng)理解，以下所示的實(shí)施例是為使本發(fā)明的技術(shù)思路具體化而進(jìn)行的舉例說明，并非特指本發(fā)明。沒有脫離本發(fā)明專利申請的范圍所示的技術(shù)思路，均可同等地應(yīng)用在各種變形例子上。圖3從整體上示意性的示出了彩色濾光基板的示意圖。如圖3所示，根據(jù)最終切割成的顯示面板的大小，整塊彩色濾光基板包含有多個(gè)顯示區(qū)域301，在顯示區(qū)域301之外， 都為非顯示區(qū)域。在本發(fā)明中，在顯示區(qū)域301內(nèi)形成遮光圖案層和彩色濾光層的結(jié)構(gòu)仍與傳統(tǒng)技術(shù)相同，但在非顯示區(qū)域302中，本發(fā)明作了改進(jìn)，即在彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302內(nèi)形成本發(fā)明的標(biāo)尺結(jié)構(gòu)。下面將結(jié)合附圖描述本發(fā)明在非顯示區(qū)域302內(nèi)形成的標(biāo)尺結(jié)構(gòu)以及形成方法。請參見圖4A，圖4A局部地示出了本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的一種標(biāo)尺結(jié)構(gòu)。如圖4A所示，在圖3所示的彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302上，沿垂直方向先形成基準(zhǔn)高度遮光圖案組401，基準(zhǔn)高度遮光圖案組401包含了多個(gè)高度相同的基準(zhǔn)高度遮光圖案401A、40IB、40IC和40ID。在本實(shí)施例中，僅示出了四個(gè)基準(zhǔn)高度遮光圖案，但應(yīng)當(dāng)理解，這僅是一個(gè)用于說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，并非對本發(fā)明基準(zhǔn)高度遮光圖案個(gè)數(shù)的限制，該個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要而定。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，該個(gè)數(shù)可以設(shè)置在20 至40之間。基準(zhǔn)高度遮光圖案組401中各個(gè)基準(zhǔn)高度遮光圖案401A、401B...沿垂直方向分布于透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，并且，相鄰基準(zhǔn)高度遮光圖案之間的間距相等。即如圖 4A所示，它們之間的間距均為I。同樣，在圖3所示的彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302上，沿垂直方向形成參照高度遮光圖案組402，對照高度遮光圖案組402也包含了多個(gè)高度不同的參照高度遮光圖案 402A、402B、402C和402D。在本實(shí)施例中，僅示出了四個(gè)參照高度遮光圖案，但應(yīng)當(dāng)理解，這僅是一個(gè)用于說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，并非對本發(fā)明參照高度遮光圖案個(gè)數(shù)的限制，該個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要而定。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，該個(gè)數(shù)可以設(shè)置在20至40之間。參照高度遮光圖案組402中各個(gè)參照高度遮光圖案402A、402B...沿垂直方向分布于透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上。在排列方式上，各參照高度遮光圖案402A、402B...在垂直方向上以高度值從小到大的順序排列(當(dāng)然，也可以在垂直方向上以高度值從大到小的順序排列)。每個(gè)參照高度遮光圖案402A、402B...的高度值符合以下公式H(m) = H0+(m-l)A ；其中，H(m)為第m個(gè)參照高度遮光圖案的高度值；HO為最小高度；m為所述參照高度遮光圖案的編號；A為高度增加量。本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解，在本發(fā)明中， HO和A數(shù)值可以根據(jù)實(shí)際情況而定，通常其數(shù)量級為μ m?；鶞?zhǔn)高度遮光圖案組401與參照高度遮光圖案組402之間并列排列，并且，每個(gè)參照高度遮光圖案401A、401B...的垂直方向中心線分別與基準(zhǔn)高度遮光圖案組間距的垂直方向中心線在一水平線(如圖4A中X-X')上。請參見圖4B，圖4B示出了在形成遮光圖案層的過程中發(fā)生的圖案高度變化的效果圖。如圖4A所示，原設(shè)計(jì)中，可以把參照高度遮光圖案組402中至少一個(gè)參照高度遮光圖案的高度設(shè)計(jì)與與基準(zhǔn)高度遮光圖案組401中相鄰基準(zhǔn)高度遮光圖案之間的間距I相等； 例如圖4A中的參照高度遮光圖案402B的高度與間距I相等。如果由于各種情況使遮光圖案的高度發(fā)生的變化，則參照高度遮光圖案組402中各參照高度遮光圖案402A、402B...的高度也會相應(yīng)地發(fā)生變化。由于各參照高度遮光圖案402A、402B高度不一致，因此，它們的高度發(fā)生變化的量也不一致。如果產(chǎn)生了如圖4B所示的結(jié)果，即實(shí)際得到參照高度遮光圖案組中的參照高度遮光圖案402C的高度變得與間距I相等，則可以推測出遮光圖案在高度方向上發(fā)生的一個(gè)單位的變化。可以以此為基準(zhǔn)及時(shí)調(diào)整曝光掩膜板和曝光機(jī)的位置，消除這一高度變化。如果實(shí)際得到的參照高度遮光圖案組中參照高度遮光圖案402D的高度變得與間距I相等，則可以推測出遮光圖案在高度方向上發(fā)生的二個(gè)單位的變化，以此類推。在圖4A和圖4B的實(shí)施例中，解決了測量遮光圖案在高度方向上的變化的問題，類似地，遮光圖案在寬度方向上也存在同樣的問題。請參見圖5A，圖5A局部地示出了本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的另一種標(biāo)尺結(jié)構(gòu)。如圖5A所示，在圖3所示的彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302上，沿水平方向先形成基準(zhǔn)寬度遮光圖案組501，基準(zhǔn)寬度遮光圖案組501包含了多個(gè)寬度相同的基準(zhǔn)寬度遮光圖案501A、501B、501C和501D。在本實(shí)施例中，僅示出了四個(gè)基準(zhǔn)寬度遮光圖案，但應(yīng)當(dāng)理解，這僅是一個(gè)用于說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，并非對本發(fā)明基準(zhǔn)寬度遮光圖案個(gè)數(shù)的限制，該個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要而定。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，該個(gè)數(shù)可以設(shè)置在 20至40之間?；鶞?zhǔn)寬度遮光圖案組501中各個(gè)基準(zhǔn)寬度遮光圖案501A、501B...沿水平方向分布于透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，并且，相鄰基準(zhǔn)寬度遮光圖案之間的間距相等。即如圖 5A所示，它們之間的間距均為I’。同樣，在圖3所示的彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302上，沿水平方向形成參照寬度遮光圖案組502，對照寬度遮光圖案組502也包含了多個(gè)寬度不同的參照寬度遮光圖案 502A、502B、502C和502D。在本實(shí)施例中，僅示出了四個(gè)參照寬度遮光圖案，但應(yīng)當(dāng)理解，這僅是一個(gè)用于說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，并非對本發(fā)明參照寬度遮光圖案個(gè)數(shù)的限制，該個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要而定。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，該個(gè)數(shù)可以設(shè)置在20至40之間。參照寬度遮光圖案組502中各個(gè)參照寬度遮光圖案502A、502B...沿水平方向分布于透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上。
在排列方式上，各參照寬度遮光圖案502A、502B...在水平方向上以寬度值從小到大的順序排列(當(dāng)然，也可以在水平方向上以寬度值從大到小的順序排列)。每個(gè)參照寬度遮光圖案502A、502B...的寬度值符合以下公式W (n) = W0+(n-l)B ；其中，W(n)為第η個(gè)參照寬度遮光圖案的寬度值;WO為最小寬度；η為所述參照寬度遮光圖案的編號；B為寬度增加量。本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解，在本發(fā)明中， WO和B數(shù)值可以根據(jù)實(shí)際情況而定，通常其數(shù)量級為μ m?；鶞?zhǔn)寬度遮光圖案組501與參照寬度遮光圖案組502之間并列排列，并且，每個(gè)參照寬度遮光圖案501A、501B...的水平方向中心線分別與基準(zhǔn)寬度遮光圖案組間距的水平方向中心線在一垂直線(如圖5A中Y-Y')上。請參見圖5B，圖5B示出了在形成遮光圖案層的過程中發(fā)生的圖案寬度變化的效果圖。如圖5A所示，原設(shè)計(jì)中，可以把參照寬度遮光圖案組502中至少一個(gè)參照寬度遮光圖案的寬度設(shè)計(jì)與與基準(zhǔn)寬度遮光圖案組501中相鄰基準(zhǔn)寬度遮光圖案之間的間距Γ 相等；例如圖5Α中的參照寬度遮光圖案502Β的寬度與間距Γ相等。如果由于各種情況使遮光圖案的寬度發(fā)生的變化，則參照寬度遮光圖案組502中各參照寬度遮光圖案502Α、 502Β...的寬度也會相應(yīng)地發(fā)生變化。由于各參照寬度遮光圖案502Α、502Β寬度不一致， 因此，它們的寬度發(fā)生變化的量也不一致。如果產(chǎn)生了如圖5Β所示的結(jié)果，即實(shí)際得到參照寬度遮光圖案組中的參照寬度遮光圖案502C的寬度變得與間距I相等，則可以推測出遮光圖案在寬度方向上發(fā)生的一個(gè)單位的變化。可以以此為基準(zhǔn)及時(shí)調(diào)整曝光掩膜板和曝光機(jī)的位置，消除這一寬度變化。如果實(shí)際得到的參照寬度遮光圖案組中參照寬度遮光圖案 502D的寬度變得與間距I相等，則可以推測出遮光圖案在寬度方向上發(fā)生的二個(gè)單位的變化，以此類推。在圖4Α和圖5Α的實(shí)施例中，解決了測量遮光圖案在高度和寬度方向上的變化的問題。同樣，在制造彩色濾光基板的過程中，還包括了彩色濾光圖案的形成，其在形成過程中同樣存在濾光圖案寬度和高度的變化。因此，本發(fā)明還提供了解決測量濾光圖案在高度和寬度方向上的變化的問題的技術(shù)方案。請參見圖6Α，圖6Α局部地示出了本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的又一種標(biāo)尺結(jié)構(gòu)。如圖6Α所示，在圖3所示的彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302上，沿垂直方向先形成基準(zhǔn)高度濾光圖案組601，基準(zhǔn)高度濾光圖案組601包含了多個(gè)高度相同的基準(zhǔn)高度濾光圖案601A、601B、601C和601D。在本實(shí)施例中，僅示出了四個(gè)基準(zhǔn)高度濾光圖案，但應(yīng)當(dāng)理解，這僅是一個(gè)用于說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，并非對本發(fā)明基準(zhǔn)高度濾光圖案個(gè)數(shù)的限制，該個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要而定。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，該個(gè)數(shù)可以設(shè)置在 20至60之間?；鶞?zhǔn)高度濾光圖案組601中各個(gè)基準(zhǔn)高度濾光圖案601A、601B...沿垂直方向分布于透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，并且，相鄰基準(zhǔn)高度濾光圖案之間的間距相等。即如圖 6A所示，它們之間的間距均為J。同樣，在圖3所示的彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302上，沿垂直方向形成參照高度濾光圖案組602，對照高度濾光圖案組602也包含了多個(gè)高度不同的參照高度濾光圖案 602A、602B、602C和602D。在本實(shí)施例中，僅示出了四個(gè)參照高度濾光圖案，但應(yīng)當(dāng)理解，這僅是一個(gè)用于說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，并非對本發(fā)明參照高度濾光圖案個(gè)數(shù)的限制，該個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要而定。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，該個(gè)數(shù)可以設(shè)置在20至60之間。參照高度濾光圖案組602中各個(gè)參照高度濾光圖案602A、602B...沿垂直方向分布于透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上。在排列方式上，各參照高度濾光圖案602A、602B...在垂直方向上以高度值從小到大的順序排列(當(dāng)然，也可以在垂直方向上以高度值從大到小的順序排列)。每個(gè)參照高度濾光圖案602A、602B...的高度值符合以下公式H' (m' ) = H' 0+(m' _1)A'；其中，H' (m')為第m'個(gè)參照高度濾光圖案的高度值；H' 0為最小高度；m'為所述參照高度濾光圖案的編號；A'為高度增加量。本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解， 在本發(fā)明中，H' 0和A'數(shù)值可以根據(jù)實(shí)際情況而定，通常其數(shù)量級為μ m?；鶞?zhǔn)高度濾光圖案組601與參照高度濾光圖案組602之間并列排列，并且，每個(gè)參照高度濾光圖案601A、601B...的垂直方向中心線分別與基準(zhǔn)高度濾光圖案組間距的垂直方向中心線在一水平線(如圖6A中0-0')上。請參見圖6B，圖6B示出了在形成濾光圖案層的過程中發(fā)生的圖案高度變化的效果圖。如圖6A所示，原設(shè)計(jì)中，可以把參照高度濾光圖案組602中至少一個(gè)參照高度濾光圖案的高度設(shè)計(jì)與與基準(zhǔn)高度濾光圖案組601中相鄰基準(zhǔn)高度濾光圖案之間的間距J相等； 例如圖6A中的參照高度濾光圖案602B的高度與間距J相等。如果由于各種情況使濾光圖案的高度發(fā)生的變化，則參照高度濾光圖案組602中各參照高度濾光圖案602A、602B...的高度也會相應(yīng)地發(fā)生變化。由于各參照高度濾光圖案602A、602B高度不一致，因此，它們的高度發(fā)生變化的量也不一致。如果產(chǎn)生了如圖6B所示的結(jié)果，即實(shí)際得到參照高度濾光圖案組中的參照高度濾光圖案602C的高度變得與間距J相等，則可以推測出濾光圖案在高度方向上發(fā)生的一個(gè)單位的變化?？梢砸源藶榛鶞?zhǔn)及時(shí)調(diào)整曝光掩膜板和曝光機(jī)的位置，消除這一高度變化。如果實(shí)際得到的參照高度濾光圖案組中參照高度濾光圖案602D的高度變得與間距J相等，則可以推測出濾光圖案在高度方向上發(fā)生的二個(gè)單位的變化，以此類推。在圖6A和圖6B的實(shí)施例中，解決了測量濾濾光圖案在高度方向上的變化的問題， 類似地，濾光圖案在寬度方向上也存在同樣的問題。請參見圖7A，圖7A局部地示出了本發(fā)明的彩色濾光基板中非顯示區(qū)域上的另一種標(biāo)尺結(jié)構(gòu)。如圖7A所示，在圖3所示的彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302上，沿水平方向先形成基準(zhǔn)寬度濾光圖案組701，基準(zhǔn)寬度濾光圖案組701包含了多個(gè)寬度相同的基準(zhǔn)寬度濾光圖案701A、701B、701C和701D。在本實(shí)施例中，僅示出了四個(gè)基準(zhǔn)寬度濾光圖案，但應(yīng)當(dāng)理解，這僅是一個(gè)用于說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，并非對本發(fā)明基準(zhǔn)寬度濾光圖案個(gè)數(shù)的限制，該個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要而定。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，該個(gè)數(shù)可以設(shè)置在 20至40之間?；鶞?zhǔn)寬度濾光圖案組701中各個(gè)基準(zhǔn)寬度濾光圖案701A、701B...沿水平方向分布于透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，并且，相鄰基準(zhǔn)寬度濾光圖案之間的間距相等。即如圖 7A所示，它們之間的間距均為J’。同樣，在圖3所示的彩色濾光基板的非顯示區(qū)域302上，沿水平方向形成參照寬度濾光圖案組702，對照寬度濾光圖案組702也包含了多個(gè)寬度不同的參照寬度濾光圖案 702A、702B、702C和702D。在本實(shí)施例中，僅示出了四個(gè)參照寬度濾光圖案，但應(yīng)當(dāng)理解，這僅是一個(gè)用于說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，并非對本發(fā)明參照寬度濾光圖案個(gè)數(shù)的限制，該個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要而定。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，該個(gè)數(shù)可以設(shè)置在20至40之間。參照寬度濾光圖案組702中各個(gè)參照寬度濾光圖案702A、702B...沿水平方向分布于透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上。在排列方式上，各參照寬度濾光圖案702A、702B...在水平方向上以寬度值從小到大的順序排列(當(dāng)然，也可以在水平方向上以寬度值從大到小的順序排列)。每個(gè)參照寬度濾光圖案702A、702B...的寬度值符合以下公式W' (n' ) = W' 0+(n' _1)B'；其中，W' (n')為第η'個(gè)參照寬度濾光圖案的寬度值;W' 0為最小寬度；η'為所述參照寬度濾光圖案的編號；B'為寬度增加量。本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解， 在本發(fā)明中，W' 0和B'數(shù)值可以根據(jù)實(shí)際情況而定，通常其數(shù)量級為μ m。基準(zhǔn)寬度濾光圖案組701與參照寬度濾光圖案組702之間并列排列，并且，每個(gè)參照寬度濾光圖案701A、701B...的水平方向中心線分別與基準(zhǔn)寬度濾光圖案組間距的水平方向中心線在一水平線(如圖7A中P-P')上。請參見圖7B，圖7B示出了在形成濾光圖案層的過程中發(fā)生的圖案寬度變化的效果圖。如圖7A所示，原設(shè)計(jì)中，可以把參照寬度濾光圖案組702中至少一個(gè)參照寬度濾光圖案的寬度設(shè)計(jì)與與基準(zhǔn)寬度濾光圖案組701中相鄰基準(zhǔn)寬度濾光圖案之間的間距J相等； 例如圖7A中的參照寬度濾光圖案702B的寬度與間距J相等。如果由于各種情況使濾光圖案的寬度發(fā)生的變化，則參照寬度濾光圖案組702中各參照寬度濾光圖案702A、702B...的寬度也會相應(yīng)地發(fā)生變化。由于各參照寬度濾光圖案702A、702B寬度不一致，因此，它們的寬度發(fā)生變化的量也不一致。如果產(chǎn)生了如圖7B所示的結(jié)果，即實(shí)際得到參照寬度濾光圖案組中的參照寬度濾光圖案702C的寬度變得與間距J'相等，則可以推測出濾光圖案在寬度方向上發(fā)生的一個(gè)單位的變化。可以以此為基準(zhǔn)及時(shí)調(diào)整曝光掩膜板和曝光機(jī)的位置， 消除這一寬度變化。如果實(shí)際得到的參照寬度濾光圖案組中參照寬度濾光圖案702D的寬度變得與間距J'相等，則可以推測出濾光圖案在寬度方向上發(fā)生的二個(gè)單位的變化，以此類推。在圖6A和圖7A的實(shí)施例中，濾光基準(zhǔn)高度濾光圖案組601、參照高度濾光圖案組 602、濾光基準(zhǔn)寬度濾光圖案組701和參照寬度濾光圖案組702直接形成在非顯示區(qū)域的玻璃基板上，在另一個(gè)實(shí)施例中，在基準(zhǔn)高度濾光圖案組601、參照高度濾光圖案組602、基準(zhǔn)寬度濾光圖案組710和參照寬度濾光圖案組702與透明玻璃基板之間還可以設(shè)置一遮光圖案底層(圖中未示出)。該實(shí)施例的效果在于，測試環(huán)境更接近實(shí)際情況，可以更準(zhǔn)確地測試濾光圖案的寬度變化。如上所述，在上述的實(shí)施例中分析描述了測量遮光圖案在高度和寬度方向上的變化的實(shí)施例和測量濾光圖案在高度和寬度方向上的變化的實(shí)施例，可以理解，這些實(shí)施例都可以單獨(dú)地實(shí)施，以解決各自的問題，也可以組合在一個(gè)實(shí)施例中實(shí)施。
權(quán)利要求
1.一種彩色濾光基板，包括 透明玻璃基板；遮光圖案層，位于所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上，所述遮光圖案層具有開口區(qū)域； 彩色濾光層，位于所述遮光圖案層的開口區(qū)域上，并與所述遮光圖案層重疊； 基準(zhǔn)高度遮光圖案組，包含多個(gè)高度相同的基準(zhǔn)高度遮光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)高度遮光圖案之間的間距相等；參照高度遮光圖案組，包含多個(gè)高度不同的參照高度遮光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照高度遮光圖案組與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照高度遮光圖案的垂直方向中心線分別與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組間距的垂直方向中心線在一水平線上；基準(zhǔn)寬度遮光圖案組，包含多個(gè)寬度相同的基準(zhǔn)寬度遮光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案之間的間距相等；參照寬度遮光圖案組，包含多個(gè)寬度不同的參照寬度遮光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照寬度遮光圖案組與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照寬度遮光圖案的水平方向中心線分別與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組間距的水平方向中心線在一垂直線上。
2.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述參照高度遮光圖案組中至少一個(gè)參照高度遮光圖案的高度與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組中相鄰基準(zhǔn)高度遮光圖案之間的間距相等；所述參照寬度遮光圖案組中至少一個(gè)參照寬度遮光圖案組的寬度與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組中相鄰基準(zhǔn)寬度遮光圖案之間的間距相等。
3.如權(quán)利要求2所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述參照高度遮光圖案組中各參照高度遮光圖案在垂直方向上以高度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照高度遮光圖案的高度值H(m)符合下形式H(m) = H0+(m-l)A ；其中，HO為最小高度；m為所述參照高度遮光圖案的編號；A為高度增加量。
4.如權(quán)利要求2所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述參照寬度遮光圖案組中各參照寬度遮光圖案在水平方向上以寬度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照寬度遮光圖案的寬度值W(n)符合以下形式W (n) = W0+(n-l)B ；其中，WO為最小寬度；η為所述參照寬度遮光圖案的編號；B為寬度增加量。
5.如權(quán)利要求2、3或4所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述參照高度遮光圖案組中參照高度遮光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間；所述參照寬度遮光圖案組中參照寬度遮光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間。
6.如權(quán)利要求3或4所述的彩色濾光基板，其特征在于，A的值為0.3-2 μ m，B的值為 0. 3-2 μ Hio
7.如權(quán)利要求3或4所述的彩色濾光基板，其特征在于，A的值為1μ m，B的值為1 μ m。
8.一種彩色濾光基板，包括 透明玻璃基板；遮光圖案層，位于所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上，所述遮光圖案層具有開口區(qū)域；彩色濾光層，位于所述遮光圖案層的開口區(qū)域上，并與所述遮光圖案層重疊；基準(zhǔn)高度濾光圖案組，包含多個(gè)高度相同的基準(zhǔn)高度濾光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)高度濾光圖案之間的間距相等；參照高度濾光圖案組，包含多個(gè)高度不同的參照高度濾光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照高度濾光圖案組與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照高度濾光圖案的垂直方向中心線分別與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組間距的垂直方向中心線在一水平線上；基準(zhǔn)寬度濾光圖案組，包含多個(gè)寬度相同的基準(zhǔn)寬度濾光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案之間的間距相等；參照寬度濾光圖案組，包含多個(gè)寬度不同的參照寬度濾光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照寬度濾光圖案組與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照寬度濾光圖案的水平方向中心線分別與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組間距的水平方向中心線在一垂直線上。
9.如權(quán)利要求8所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述參照高度濾光圖案組中至少一個(gè)參照高度濾光圖案的高度與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組中相鄰基準(zhǔn)高度濾光圖案之間的間距相等；所述參照寬度濾光圖案組中至少一個(gè)參照寬度濾光圖案組的寬度與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組中相鄰基準(zhǔn)寬度濾光圖案之間的間距相等。
10.如權(quán)利要求8所述的彩色濾光基板，其特征在于，在所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組、所述參照高度濾光圖案組、所述基準(zhǔn)寬濾光圖案組和所述參照寬度濾光圖案組與所述透明玻璃基板之間還設(shè)置有遮光圖案底層。
11.如權(quán)利要求9所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述參照高度濾光圖案組中各參照高度濾光圖案在垂直方向上以高度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照高度濾光圖案的高度值H' (m)符合以下形式H' (m' ) = H' 0+(m' -1)A'；其中，H' 0為最小高度；m'為所述參照高度濾光圖案的編號；A'為高度增加量。
12.如權(quán)利要求9所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述參照寬度濾光圖案組中各參照寬度濾光圖案在水平方向上以寬度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照寬度濾光圖案的寬度值W' (η)符合以下形式W' (n' ) = W' 0+(n' -1)B'；其中，W' 0為最小寬度；η'為所述參照寬度濾光圖案的編號；B'為寬度增加量。
13.如權(quán)利要求9所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述參照高度濾光圖案組中參照高度濾光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間；所述參照寬度濾光圖案組中參照寬度濾光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間。
14.如權(quán)利要求11或12所述的彩色濾光基板，其特征在于，A'的值為0.3-2μπι，Β' 的值為0. 3-2 μ m。
15.如權(quán)利要求11或12所述的彩色濾光基板，其特征在于，A'的值為lym，B'的值為 1 μ m。
16.一種彩色濾光基板的制造方法，包括提供一透明玻璃基板；在所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上形成遮光圖案層；同時(shí)地在所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上形成基準(zhǔn)高度遮光圖案組和基準(zhǔn)寬度遮光圖案組；所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組包含多個(gè)高度相同的基準(zhǔn)高度遮光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)高度遮光圖案之間的間距相等；所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組包含多個(gè)寬度相同的基準(zhǔn)寬度遮光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案之間的間距相等；在所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上形成參照高度遮光圖案組和參照寬度遮光圖案組；所述參照高度遮光圖案組包含多個(gè)高度不同的參照高度遮光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照高度遮光圖案組與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照高度遮光圖案的垂直方向中心線分別與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組間距的垂直方向中心線在一水平線上；所述參照寬度遮光圖案組包含多個(gè)寬度不同的參照寬度遮光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照寬度遮光圖案組與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組并列排列，并且，每個(gè)所述參照寬度遮光圖案的水平方向中心線分別與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組間距的水平方向中心線在一垂直線上；以及在所述遮光圖案層的開口區(qū)域形成彩色濾光層。
17.如權(quán)利要求16所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述參照高度遮光圖案組中至少一個(gè)參照高度遮光圖案的高度與所述基準(zhǔn)高度遮光圖案組中相鄰基準(zhǔn)高度遮光圖案之間的間距相等；所述參照寬度遮光圖案組中至少一個(gè)參照寬度遮光圖案組的寬度與所述基準(zhǔn)寬度遮光圖案組中相鄰基準(zhǔn)寬度遮光圖案之間的間距相等。
18.如權(quán)利要求17所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述參照高度遮光圖案組中各參照高度遮光圖案在垂直方向上以高度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照高度遮光圖案的高度值H(m)符合以下形式H(m) = H0+(m-l)A ；其中，HO為最小高度；m為所述參照高度遮光圖案的編號；A為高度增加量。
19.如權(quán)利要求17所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述參照寬度遮光圖案組中各參照寬度遮光圖案在水平方向上以寬度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照寬度遮光圖案的寬度值W(n)符合以下形式W (n) = W0+(n-l)B ；其中，WO為最小寬度；η為所述參照寬度遮光圖案的編號；B為寬度增加量。
20.如權(quán)利要求17、18或19所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述參照高度遮光圖案組中參照高度遮光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間；所述參照寬度遮光圖案組中參照寬度遮光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間。
21.如權(quán)利要求18或19所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，A的值為 0. 3-2 μ m，B 的ft為 0. 3-2 μ m。
22.如權(quán)利要求21所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，A的值為1μ m，B的值為1 μ m。
23.一種彩色濾光基板的制造方法，包括提供一透明玻璃基板；在所述透明玻璃基板的顯示區(qū)域上形成遮光圖案層；同時(shí)地在所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上形成基準(zhǔn)高度濾光圖案組和參照高度濾光圖案組，所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組包含多個(gè)高度相同的基準(zhǔn)高度濾光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)高度濾光圖案之間的間距相等；所述參照高度濾光圖案組包含多個(gè)高度不同的參照高度濾光圖案，沿垂直方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照高度濾光圖案組與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組并列排列， 并且，每個(gè)所述參照高度濾光圖案的垂直方向中心線分別與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組間距的垂直方向中心線在一水平線上；在所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上形成基準(zhǔn)寬度濾光圖案組和參照寬度濾光圖案組，所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組包含多個(gè)寬度相同的基準(zhǔn)寬度濾光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上，相鄰所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案之間的間距相等；所述參照寬度濾光圖案組包含多個(gè)寬度不同的參照寬度濾光圖案，沿水平方向分布于所述透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上；所述參照寬度濾光圖案組與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組并列排列， 并且，每個(gè)所述參照寬度濾光圖案的水平方向中心線分別與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組間距的水平方向中心線在一垂直線上；以及在所述遮光圖案層的開口區(qū)域形成彩色濾光層。
24.如權(quán)利要求23所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述參照高度濾光圖案組中至少一個(gè)參照高度濾光圖案的高度與所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組中相鄰基準(zhǔn)高度濾光圖案之間的間距相等；所述參照寬度濾光圖案組中至少一個(gè)參照寬度濾光圖案組的寬度與所述基準(zhǔn)寬度濾光圖案組中相鄰基準(zhǔn)寬度濾光圖案之間的間距相等。
25.如權(quán)利要求23所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，在所述基準(zhǔn)高度濾光圖案組、所述參照高度濾光圖案組、所述基準(zhǔn)寬濾光圖案組和所述參照寬度濾光圖案組與所述透明玻璃基板之間還設(shè)置有遮光圖案底層。
26.如權(quán)利要求M所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述參照高度濾光圖案組中各參照高度濾光圖案在垂直方向上以高度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照高度濾光圖案的高度值H' (m)符合以下形式H' (m' ) = H' 0+(m' -1)A'；其中，H' 0為最小高度；m'為所述參照高度濾光圖案的編號；A'為高度增加量。
27.如權(quán)利要求M所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述參照寬度濾光圖案組中各參照寬度濾光圖案在水平方向上以寬度值從小到大的順序排列，其中每個(gè)所述參照寬度濾光圖案的寬度值W' (η)符合以下形式W' (n' ) = W' 0+(n' -1)B'；其中，W' 0為最小寬度；η'為所述參照寬度濾光圖案的編號；B'為寬度增加量。
28.如權(quán)利要求M、25J6或27所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，所述參照高度濾光圖案組中參照高度濾光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間；所述參照寬度濾光圖案組中參照寬度濾光圖案的個(gè)數(shù)在20至40個(gè)之間。
29.如權(quán)利要求沈或27所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，A'的值為 0. 3-2 μπι, B'的ft為 0. 3-2 μ m。
30.如權(quán)利要求沈或27所述的彩色濾光基板的制造方法，其特征在于，A'的值為Ιμπι,Β'的值為 Ιμπ ο
全文摘要
本發(fā)明提供一種彩色濾光基板及其制造方法。為避免曝光掩膜板彎曲引起曝光后圖案的高度及寬度在整個(gè)彩色濾光基板面內(nèi)分布不均勻，需要監(jiān)測圖案層的高度和寬度，現(xiàn)有技術(shù)中需要用到專用的大型在線顯微測長儀，不利于在線控制同時(shí)也增加了成本。在本發(fā)明中在透明玻璃基板的非顯示區(qū)域上增加了基準(zhǔn)高度遮光圖案組、參照高度遮光圖案組、基準(zhǔn)寬度遮光圖案組和參照寬度遮光圖案組。在實(shí)際生產(chǎn)過程中，通過這些起標(biāo)尺作用的遮光圖案和彩色濾光圖案，可以使制造者通過目視直接和簡便地確認(rèn)遮光圖案層與彩色濾光層的尺寸變化，從而快速、方便且經(jīng)濟(jì)地控制和調(diào)整遮光圖案層與彩色濾光層的圖案的高度和寬度，提高彩濾光基板的品質(zhì)。
文檔編號G02F1/1335GK102540554SQ201010622149
公開日2012年7月4日 申請日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月31日
發(fā)明者張莉, 金子若彥 申請人:上海廣電富士光電材料有限公司