專利名稱：反射鏡的調整機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及調整機構，尤其涉及反射鏡法線方向的調整機構。
背景技術：
反射鏡在光學系統(tǒng)中用于不同角度的光路方向轉換。為了使入射到反射鏡上的光 線沿系統(tǒng)要求的方向出射，就需要對反射鏡法線方向進行調整。對于反射鏡位置的固定，不 同的需求及空間位置有不同的安裝及調節(jié)方式。對于用反射鏡把光束改變90度方向的應 用，目前光學系統(tǒng)中法線方向的調整機構包括調節(jié)座、鏡座、調節(jié)螺釘以及球面墊圈等，在 法線方向上調節(jié)座的中心插入一個平調螺釘作為反射鏡旋轉角度的中心支點來調整反射 鏡的二維傾角。此結構需要有一定的空間，不能通用于任何光路中。此外，現(xiàn)有技術還采用 在平面上間隔120度均布三個粗調螺釘、三個微調螺釘調整反射鏡的角度，此結構雖然結 構簡單，隨空間位置結構尺寸可調，但沒有固定支點，反射鏡位置不容易調整與鎖緊。解決 此問題需要在結構上加球面墊圈，不僅增加零件，而且對于空間受限制的結構，小型的球面 墊圈不易加工。再加上反射鏡傾角不易調整，光斑路徑不易控制，調整效率低。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于現(xiàn)有技術的上述缺陷，本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡 單，調整精度高的反射鏡調整機構。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種反射鏡的調整機構，包括固定座，其容納 所述反射鏡；設在所述固定座上的法向可調固定部，其將所述固定座固定至基部，所述法向 可調固定部在所述固定座上形成經(jīng)過所述固定座中心的對稱軸，并且使得所述對稱軸可沿 所述反射鏡的法向移動；沿所述對稱軸設置的粗調部，其調整所述固定座的相對于所述對 稱軸的傾角；沿所述對稱軸設置的精調部，其調整所述固定座的相對于所述對稱軸的傾角； 其中，所述粗調部的傾角調整范圍大于所述精調部的傾角調整范圍。較佳地，所述法向可調固定部包括螺孔、壓縮彈簧和十字槽細牙沉頭螺釘。較佳地，所述粗調部包括螺孔、壓縮彈簧和內(nèi)六角圓柱頭螺釘。較佳地，所述精調部包括頂絲孔、內(nèi)六角球端細牙緊定螺釘。較佳地，所述調整機構還包括鎖緊機構，以使得所述固定座相對于所述基部鎖緊。較佳地，所述鎖緊機構為鎖緊螺母。本實用新型的反射鏡調整機構采用相對于對稱軸均布的多點調整，通過調整兩側 的粗調螺釘與微調螺釘以及支點在反射鏡法向方向的位置即可調整反射鏡在光路中的位 置，其結構簡單，調整效率高，光路光斑容易控制，機械結構可隨反射鏡的大小變化，不受空 間的限制。

參考下文較佳實施例的描述以及附圖，可最佳地理解本實用新型及其目的與優(yōu)點，其中圖1為根據(jù)本實用新型的反射鏡調整機構的側視圖；圖2為圖1所述的反射鏡調整機構的示意俯視圖；圖3為圖1所示反射鏡的局部軸測圖。
具體實施方式
參見本實用新型實施例的附圖，下文將更詳細地描述本實用新型。然而，本實用新 型可以以許多不同的形式實現(xiàn)，并且不應解釋為受在此提出之實施例的限制。相反，提出這 些實施例是為了達成充分及完整公開，并且使本技術領域的技術人員完全了解本實用新型 的范圍?，F(xiàn)根據(jù)圖1-3描述根據(jù)本實用新型的反射鏡調整機構。圖1為根據(jù)本實用新型的 反射鏡調整機構的側視圖。圖2為圖1所述的反射鏡調整機構的示意俯視圖。圖3為圖1 所示反射鏡的局部軸測圖。如圖1-3所示，調整機構包括為大致圓形的反射鏡固定座1。固定座1中間設有 容納反射鏡2的腔室。當反射鏡2置于所述腔室之后，將透明的壓蓋3壓入所述腔室從而 將反射鏡2固定在所述腔室中。固定座1的上表面上設有沿其徑向成一條直線的兩個穿通 固定座1的螺孔8。本實施例中，兩個螺孔8在圖2中的水平方向上，沿經(jīng)過固定座1中心 的軸線設置。應理解，螺孔8還可有其他的設置方式，只要它們相對于固定座的中心對稱， 即能形成經(jīng)過固定座1中心的對稱軸。將調整彈簧6裝入反射鏡固定座1上的螺孔8中， 然后插入十字槽細牙沉頭螺釘81。擰入沉頭螺釘81從而將反射鏡固定座1安裝在基座7 上。由于固定座1在水平方向上安有兩個螺孔8，并且螺孔8沿相對于固定座1的中 心對稱，就相當于水平方向由兩個支點確定一條經(jīng)過固定座1的中心的對稱軸。壓縮彈簧 6和沉頭螺釘81相配合，通過擰緊和擰松沉頭螺釘81，從而限制固定座1在垂直于反射鏡 法向的方向上的位移，即該對稱軸在反射鏡的法向可移動。螺孔8、壓縮彈簧6和十字槽細 牙沉頭螺釘81為法向可調固定部的例子。在固定座1的上表面上，沿在外圓周均布有六個穿通固定座的螺孔5。應理解，螺 孔5不限于六個，可沿所述對稱軸設置若干個對稱的螺孔5。將壓縮彈簧6裝入螺孔5中， 然后插入內(nèi)六角圓柱頭螺釘51。擰入內(nèi)六角螺釘51從而將固定座1進一步固定在基座7 上。壓縮彈簧6和內(nèi)六角螺釘51相配合，通過擰緊或擰松內(nèi)六角螺釘5，從而調節(jié)固定座1 相對于由法向可調固定部控制的所述對稱軸的傾角。由于內(nèi)六角螺釘51直接固定至基座 7，并且選用的螺釘?shù)某叽巛^大，因此可對固定座1的傾角做較大范圍的調節(jié)。螺孔5、壓縮 彈簧6、以及內(nèi)六角螺釘51為粗調部的例子。在固定座1的上表面上，沿所述腔室的開口的周圍，設有十個頂絲孔4。應理解，頂 絲孔4不限于十個，可沿所述對稱軸設置若干個對稱的頂絲孔4。與螺孔8和螺孔5不同， 頂絲孔4并非穿孔。將內(nèi)六角球端細牙緊定螺釘41插入頂絲孔4。擰緊緊定螺釘41從而 調節(jié)固定座1相對于由法向可調固定部控制的所述對稱軸的傾角。由于緊定螺釘41僅擰 入固定座1而不連接至基座7，且緊定螺釘41為細牙緊定螺釘，由此可對固定座1的傾角做 精確的細微調節(jié)。頂絲孔4、壓縮彈簧6、以及緊定螺釘41為精調部的例子。[0021]由此，通過裝有彈簧的粗調部和精調部，分別對固定座1作相對于由所述法向可 調固定部控制的對稱軸的傾角，可以實現(xiàn)角度大幅度的調整，也可以實現(xiàn)局部調整，以使來 自反射鏡前方的光束在指定的位置達到90度的方向變化。另一實施例中，緊定螺釘41上還設有鎖緊螺母9。鎖緊螺母9在粗調部和精調部 完全調整好之后，將其余懸空的內(nèi)六角球端細牙緊定螺釘41擰到基座面，并利用鎖緊螺母 鎖9將固定座1相對于基座7鎖緊。緊螺母鎖9為鎖緊機構的例子?，F(xiàn)描述根據(jù)本實用新型的反射鏡調整機構的調整過程。首先，在光路中反射鏡位置的調整一般通過光路中光斑在CXD成像的清晰度來判 斷反射鏡的法向位置與反射鏡傾角調整合適的程度?；贑XD成像的情況首先調整十字槽 細牙沉頭螺釘81來調整反射鏡在法向位移，以使反射鏡2移到光路圖像比較清晰的位置。然后以十字槽細牙沉頭螺釘81位置的支點組成的軸為對稱軸，調整內(nèi)六角圓柱 頭螺釘51進行粗調。接著，以十字槽細牙沉頭螺釘位置的支點組成的軸為對稱軸，調整相對于對稱軸 的內(nèi)六角球端細牙緊定螺釘41進行精調，同時還要配合粗調進行調整。然后，當反射鏡調到適當位置時，通過測量CCD圖像的精度可以判斷反射鏡的位 置是否滿足要求。最后，利用其余懸空的內(nèi)六角球端細牙緊定螺釘41擰到基座面，并利用鎖緊螺母 9鎖緊即可。最終以光路在CCD成像的清晰度來判斷反射鏡在法向與傾角的位置。本實用新型的反射鏡調整機構具有如下優(yōu)點。(1)本實用新型的反射鏡調整機構采用相對于對稱軸均布的多點調整，通過調整 兩側的粗調螺釘與微調螺釘以及支點在反射鏡法向方向的位置即可調整反射鏡在光路中 的位置。結構簡單，調整效率高，光路光斑容易控制，機械結構可隨反射鏡的大小變化，不受 空間的限制；(2)本實用新型的反射鏡調整機構采用在反射鏡法向平面上固定兩支點來限制中 心軸垂直法向平面的自由度，該支點在法向方向上可調，由此調整的精度更高；(3)本實用新型的反射鏡調整機構采用粗調和精調的兩級調整，進一步增進了調 整的精度；(4)本實用新型的反射鏡調整機構還帶有鎖緊機構，解決了現(xiàn)有技術中的反射鏡 不易鎖緊的弱點。這里本實用新型的描述和應用是說明性的，并非想將本實用新型的范圍限制在上 述實施例中。這里所披露的實施例的變形和改變是可能的，對于那些本領域的普通技術人 員來說實施例的替換和等效的各種部件是公知的。本領域技術人員應該清楚的是，在不脫 離本實用新型的精神或本質特征的情況下，本實用新型可以以其他形式、結構、布置、比例， 以及用其他元件、材料和部件來實現(xiàn)。在不脫離本實用新型范圍和精神的情況下，可以對這 里所披露的實施例進行其他變形和改變。
權利要求一種反射鏡的調整機構，其特征在于，包括固定座，其容納所述反射鏡；設在所述固定座上的法向可調固定部，其將所述固定座固定至基部，所述法向可調固定部在所述固定座上形成經(jīng)過所述固定座中心的對稱軸，并且使得所述對稱軸可沿所述反射鏡的法向移動；沿所述對稱軸設置的粗調部，其調整所述固定座的相對于所述對稱軸的傾角；沿所述對稱軸設置的精調部，其調整所述固定座的相對于所述對稱軸的傾角；其中，所述粗調部的傾角調整范圍大于所述精調部的傾角調整范圍。
2.如權利要求1所述的調整機構，其特征在于，所述法向可調固定部包括螺孔、壓縮彈 簧和十字槽細牙沉頭螺釘。
3.如權利要求1所述的調整機構，其特征在于，所述粗調部包括螺孔、壓縮彈簧和內(nèi)六 角圓柱頭螺釘。
4.如權利要求1所述的調整機構，其特征在于，所述精調部包括頂絲孔、內(nèi)六角球端細 牙緊定螺釘。
5.如權利要求1所述的調整機構，其特征在于，所述調整機構還包括鎖緊機構，以使得 所述固定座相對于所述基部鎖緊。
6.如權利要求5所述的調整機構，其特征在于，所述鎖緊機構為鎖緊螺母。
專利摘要一種反射鏡的調整機構，包括固定座，其容納反射鏡；設在固定座上的法向可調固定部，其將固定座固定至基部，法向可調固定部在固定座上形成經(jīng)過固定座的中心的對稱軸，并且使得對稱軸可沿反射鏡的法向移動；沿對稱軸設置的粗調部，其調整固定座相對于對稱軸的傾角；沿對稱軸設置的精調部，其調整固定座相對于對稱軸的傾角；其中，粗調部的傾角調整范圍大于精調部的傾角調整范圍。本實用新型的反射鏡調整機構采用相對于對稱軸均布的多點調整，通過調整兩側的粗調螺釘與微調螺釘以及支點在反射鏡法向方向的位置即可調整反射鏡在光路中的位置，其結構簡單，調整效率高，光路光斑容易控制，機械結構可隨反射鏡的大小變化，不受空間的限制。
文檔編號G02B7/198GK201654310SQ20102012028
公開日2010年11月24日 申請日期2010年2月26日 優(yōu)先權日2010年2月26日
發(fā)明者張春蓮, 徐兵, 王端秀, 蔡巍, 陳躍飛 申請人:上海微電子裝備有限公司