專利名稱：勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)臺(tái)，特別涉及一種用于對(duì)晶圓片的自動(dòng)旋涂的均膠機(jī)中 的電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)。
技術(shù)背景 勻膠機(jī)是通過晶圓片的旋轉(zhuǎn)使其上感光膠在晶圓片上均勻分布。在勻膠機(jī)電機(jī)旋 轉(zhuǎn)臺(tái)高速旋轉(zhuǎn)過程中，部分感光膠擴(kuò)散成飛絮狀物質(zhì)，這些飛絮狀物質(zhì)通過旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的排 風(fēng)口很容易黏附在旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸上并進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部，對(duì)電機(jī)內(nèi)部及旋轉(zhuǎn)軸造成破壞，使勻膠 機(jī)維護(hù)困難，使用壽命縮短。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供了一種勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)解決了現(xiàn)有勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)維護(hù)困 難，使用壽命縮短的問題。本實(shí)用新型是通過以下方案解決以上問題的勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，包括中央設(shè)置有圓形孔的方形臺(tái)板、中央設(shè)置有通孔的旋涂 臺(tái)下板、中央底部設(shè)置有通孔的盛膠盤嵌套、中間底部設(shè)置有通孔的盛膠盤和旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸 出軸，在所述的方形臺(tái)板與旋涂臺(tái)下板之間設(shè)置有盛膠盤嵌套，在盛膠盤嵌套中鑲嵌設(shè)置 有盛膠盤，方形臺(tái)板與旋涂臺(tái)下板是通過四個(gè)固定螺栓連接在一起，在盛膠盤下方的盛膠 盤嵌套和旋涂臺(tái)下板上設(shè)置有排風(fēng)孔，旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸從旋涂臺(tái)下板的中央通孔和盛膠盤 嵌套的中央通孔通過伸到盛膠盤中，在旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸的端部設(shè)置有真空螺釘，在真空螺 釘上吸附有晶圓片，在伸入旋涂臺(tái)下板的中央通孔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸的端部套接有凸臺(tái) 保護(hù)套。方形臺(tái)板是通過螺栓固定在勻膠機(jī)的架體上的。本實(shí)用新型保證了電機(jī)旋轉(zhuǎn)軸表面的清潔，提高了電機(jī)的使用壽命，保證了電機(jī) 旋轉(zhuǎn)過程中動(dòng)平衡性能。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖具體實(shí)施方式
勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，包括中央設(shè)置有圓形孔的方形臺(tái)板1、中央設(shè)置有通孔的旋涂 臺(tái)下板3)中央底部設(shè)置有通孔的盛膠盤嵌套4、中間底部設(shè)置有通孔的盛膠盤5和旋轉(zhuǎn)電 機(jī)輸出軸7，在所述的方形臺(tái)板1與旋涂臺(tái)下板3之間設(shè)置有盛膠盤嵌套4，在盛膠盤嵌套 4中鑲嵌設(shè)置有盛膠盤5，方形臺(tái)板1與旋涂臺(tái)下板3是通過四個(gè)固定螺栓2連接在一起， 在盛膠盤5下方的盛膠盤嵌套4和旋涂臺(tái)下板3上設(shè)置有排風(fēng)孔6，旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸7從旋 涂臺(tái)下板3的中央通孔和盛膠盤嵌套4的中央通孔通過伸到盛膠盤5中，在旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出 軸7的端部設(shè)置有真空螺釘9，在真空螺釘9上吸附有晶圓片10，在伸入旋涂臺(tái)下板3的中央通孔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸7的端部套接有凸臺(tái)保護(hù)套8。方形臺(tái)板1是通過螺栓固定在勻膠機(jī)的架體上的。在電機(jī)工作時(shí)高速旋轉(zhuǎn)，在相對(duì)獨(dú)立空間內(nèi)產(chǎn)生斡旋氣流，在此過程中，部分感光 膠擴(kuò)散成飛絮狀物質(zhì)，其中一部分飛絮狀物質(zhì)在排風(fēng)機(jī)構(gòu)作用下進(jìn)入排風(fēng)系統(tǒng)，但仍有一 部分隨斡旋氣流吸附在電機(jī)旋轉(zhuǎn)軸上，甚至進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部，對(duì)電機(jī)內(nèi)部及電機(jī)旋轉(zhuǎn)軸造成 腐蝕和破壞；同時(shí)也會(huì)降低電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)的旋轉(zhuǎn)部件動(dòng)平衡性能，旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸端設(shè)置的 凸臺(tái)保護(hù)套8使飛絮狀物質(zhì)不能夠黏附在電機(jī)軸上，保證了電機(jī)旋轉(zhuǎn)軸表面的清潔，提高 了電機(jī)的使用壽命，保證了電機(jī)旋轉(zhuǎn)過程中動(dòng)平衡性能。提高了產(chǎn)品的涂敷質(zhì)量和良品率。
權(quán)利要求一種勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，包括中央設(shè)置有圓形孔的方形臺(tái)板(1)、中央設(shè)置有通孔的旋涂臺(tái)下板(3)、中央底部設(shè)置有通孔的盛膠盤嵌套(4)、中間底部設(shè)置有通孔的盛膠盤(5)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)，其特征在于，在所述的方形臺(tái)板(1)與旋涂臺(tái)下板(3)之間設(shè)置有盛膠盤嵌套(4)，在盛膠盤嵌套(4)中鑲嵌設(shè)置有盛膠盤(5)，方形臺(tái)板(1)與旋涂臺(tái)下板(3)是通過四個(gè)固定螺栓(2)連接在一起，在盛膠盤(5)下方的盛膠盤嵌套(4)和旋涂臺(tái)下板(3)上設(shè)置有排風(fēng)孔(6)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)從旋涂臺(tái)下板(3)的中央通孔和盛膠盤嵌套(4)的中央通孔通過伸到盛膠盤(5)中，在旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)的端部設(shè)置有真空螺釘(9)，在真空螺釘(9)上吸附有晶圓片(10)，在伸入旋涂臺(tái)下板(3)的中央通孔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)的端部套接有凸臺(tái)保護(hù)套(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，方形臺(tái)板(1)是通過螺栓固 定在勻膠機(jī)的架體上的。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，解決了現(xiàn)有勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)維護(hù)困難，使用壽命縮短的問題。包括方形臺(tái)板(1)、旋涂臺(tái)下板(3)、盛膠盤嵌套(4)、盛膠盤(5)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)，方形臺(tái)板(1)與旋涂臺(tái)下板(3)之間設(shè)置有盛膠盤嵌套(4)，在盛膠盤嵌套(4)中鑲嵌設(shè)置有盛膠盤(5)，在盛膠盤(5)下方的盛膠盤嵌套(4)和旋涂臺(tái)下板(3)上設(shè)置有排風(fēng)孔(6)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)從旋涂臺(tái)下板(3)的中央通孔和盛膠盤嵌套(4)的中央通孔通過伸到盛膠盤(5)中，在旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出軸(7)的端部套接有凸臺(tái)保護(hù)套(8)。提高了均膠機(jī)的電機(jī)的使用壽命，保證了電機(jī)旋轉(zhuǎn)過程中動(dòng)平衡性能。
文檔編號(hào)G03F7/16GK201628841SQ20102013796
公開日2010年11月10日 申請(qǐng)日期2010年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月23日
發(fā)明者崔曉改, 張建軍, 張飛特, 杜民棟, 王偉民, 王衛(wèi)華, 趙付超 申請(qǐng)人:中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所