專利名稱：一種偏心二維調(diào)節(jié)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種裝調(diào)結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種用于相位調(diào)制器的偏心二維調(diào)節(jié)裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工藝流程中，激光模塊為離軸對準成像模塊提供高性能的照明激光，在 激光模塊中，激光從激光器中發(fā)出的光要經(jīng)過復(fù)雜的調(diào)制過程才能達到所需的性能指標， 其中相位調(diào)制器用于調(diào)制激光的相位，人為的破壞激光的時間相干性，可從根本上抑制鬼 影干擾。在光路設(shè)計上，激光光束中心需穿過相位調(diào)制器上的光電晶體中心。由于相位調(diào) 制器的光電晶體尺寸較小，只有l(wèi)mm*lmm，而從激光器發(fā)出的光束直徑約0. 7mm，而且激光 光束有一定的發(fā)散角，加上機械零件加工精度，激光器的安裝精度等因素，把相位調(diào)制器的 安裝設(shè)計成可以調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)比較合理，這樣可以更精準地使激光光束中心穿過相位調(diào)制器 的光電晶體中心，實現(xiàn)有效的激光相位調(diào)制器。現(xiàn)有的安裝結(jié)構(gòu)采用一種標準的二維調(diào)節(jié)平臺，調(diào)節(jié)精度較高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。主要的 缺點是重量、尺寸較大、零件數(shù)目多且成本高；沒有很好的利用已有的安裝結(jié)構(gòu)，在長度方 向增加光學(xué)導(dǎo)軌的長度，從而直接加大激光模塊的總體長度尺寸；同時，調(diào)節(jié)范圍比較大， 可能超出范圍，調(diào)節(jié)精度較高，而實際的相位調(diào)制器的調(diào)節(jié)精度要求并不高，為IOum級別。

實用新型內(nèi)容本實用新型解決的技術(shù)問題是，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、調(diào)節(jié)方便、滿足精度要求、能 夠?qū)崿F(xiàn)兩自由度獨立調(diào)節(jié)的用于相位調(diào)制器的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種偏心二維調(diào)節(jié)裝置，包括一種偏心二 維調(diào)節(jié)裝置，包括第一組和第二組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，第一組和第二組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的調(diào) 節(jié)方向互相垂直，每組所述偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括調(diào)節(jié)基板、被調(diào)節(jié)件以及偏心銷；所述調(diào) 節(jié)基板上設(shè)置有一對完全相同的導(dǎo)向銷和一個偏心銷大圓孔；所述被調(diào)節(jié)件上設(shè)置有一對 完全相同導(dǎo)向腰形孔和一個偏心銷腰形孔，所述導(dǎo)向腰形孔與所述導(dǎo)向銷的位置、尺寸相 配合，以限定被調(diào)節(jié)件的單方向移動；所述偏心銷的大圓柱部分與所述偏心銷大圓孔緊密 配合，所述偏心銷的小圓柱部分與所述偏心銷腰形孔相配合；所述導(dǎo)向腰形孔的軸線方向 與所述偏心銷腰形孔的軸線方向相垂直。進一步的，所述第一組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括相位調(diào)制器支架，中間板和第一偏心 銷；所述相位調(diào)制器支架上設(shè)有第一對導(dǎo)向銷和第一偏心銷大圓孔；所述中間板與所述相 位調(diào)制器支架直接相靠，所述中間板上設(shè)有第一對導(dǎo)向腰形孔和第一偏心銷腰形孔，所述 第一偏心銷腰形孔與所述第一偏心銷大圓孔位置相適配，所述第一對導(dǎo)向腰形孔與所述第 一對銷孔位置相配合；所述第一偏心銷的大圓柱部分與所述第一偏心銷大圓孔緊密配合， 所述第一偏心銷的小圓柱部分與所述第一偏心銷腰形孔間隙配合；所述第一對導(dǎo)向腰形孔 的軸線方向與第一偏心銷腰形孔的軸線方向互相垂直。[0007]進一步的，所述中間板相對于所述相位調(diào)制器支架限定于水平方向移動。進一步的，所述第二組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括所述中間板，相位調(diào)制器安裝板和第 二偏心銷；所述中間板上還設(shè)有第二偏心銷大圓孔和第二對導(dǎo)向銷；所述相位調(diào)制器安裝 板與所述中間板的另一面直接相靠，所述相位調(diào)制器安裝板上設(shè)有第二偏心銷腰形孔和第 二對導(dǎo)向腰形孔，所述第二偏心銷腰形孔與所述第二偏心銷大圓孔位置相適配，所述第二 對導(dǎo)向腰形孔與所述第二對銷孔位置相配合；所述第二偏心銷的大圓柱部分與所述第二偏 心銷大圓孔緊密配合，所述第二偏心銷的小圓柱部分與所述第二偏心銷腰形孔間隙配合； 所述第二對導(dǎo)向腰形孔的軸線方向與第二偏心銷腰形孔的軸線方向互相垂直。進一步的，所述相位調(diào)制器安裝板與所述中間板限定于豎直方向的相對移動。優(yōu)選的，所述相位調(diào)制器安裝板下方通過螺絲固定相位調(diào)制器。優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)基板與所述被調(diào)節(jié)件之間還設(shè)有固定螺絲，所述調(diào)節(jié)基板上設(shè) 置有長孔，所述被調(diào)節(jié)件上設(shè)置有螺絲孔，所述螺絲長孔和所述螺絲孔相配合，所述固定螺 絲穿過所述螺絲長孔旋進所述螺絲孔，固定所述調(diào)節(jié)基板和所述被調(diào)節(jié)件。進一步的，所述第一組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)還包括第一對固定螺絲，所述相位調(diào)制支 架上還設(shè)有第一對腰形孔，所述中間板上還設(shè)有第一對螺絲孔，所述第一對螺絲孔與所述 第一對腰形孔位置對應(yīng)，第一對固定螺絲分別穿過所述第一對腰形孔，與所述第一對螺絲 孔緊密配合，連接所述相位調(diào)制器支架和所述中間板。進一步的，所述第二組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)還包括第二對固定螺絲，所述中間板上還 設(shè)有第二對腰形孔，所述相位調(diào)制器安裝板上還設(shè)有第二對螺絲孔，所述第二對螺絲孔與 所述第二對腰形孔位置對應(yīng)，第二對固定螺絲分別穿過所述第二對腰形孔，與所述第二對 螺絲孔緊密配合，連接所述中間板和所述相位調(diào)制器安裝板。較佳的，所述偏心二維調(diào)節(jié)裝置還包括多個彈簧墊圈，所述彈簧墊圈位于所述固 定螺絲帽與所述調(diào)節(jié)基板之間。優(yōu)選的，所述第一偏心銷與第二偏心銷大小相同，偏心距均為1. 5mm。綜上所述，所述偏心二維調(diào)節(jié)裝置，可以實現(xiàn)二維自由度獨立調(diào)節(jié)，且結(jié)構(gòu)簡單， 成本低廉，調(diào)節(jié)方便，精度也能夠滿足要求。

圖1為本實用新型中偏心二維調(diào)節(jié)裝置的示意圖。圖2為本實用新型中偏心二維調(diào)節(jié)裝置第一組偏心調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3為本實用新型中偏心二維調(diào)節(jié)裝置第二組偏心調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的示意圖。圖4為本實用新型中偏心二維調(diào)節(jié)裝置中偏心銷的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本實用新型中相位調(diào)制支架平視圖。圖6為本實用新型中中間板的水平平視圖。圖7為本實用新型中相位調(diào)制安裝板平視圖。
具體實施方式
本實用新型的核心思想采用一種導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用偏心結(jié)構(gòu)零件(偏心銷)，在調(diào) 節(jié)基板上安裝兩個導(dǎo)向銷，被調(diào)節(jié)件對應(yīng)位置有兩個腰形孔與所述導(dǎo)向銷配合形成導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，以限定被調(diào)節(jié)件的單方向移動，偏心銷的大圓柱部分與調(diào)節(jié)基板上的偏心銷大圓孔配 合，偏心銷的小圓柱部分與被調(diào)節(jié)件上的腰形孔配合，使偏心銷小圓柱的運動只控制被調(diào) 節(jié)件在單一方向移動，并且采用兩層偏心結(jié)構(gòu)實現(xiàn)二維上獨立調(diào)節(jié)。為了更了解本實用新型的技術(shù)內(nèi)容，特舉具體實施例并配合所附圖式說明如下。 圖1為本實用新型中偏心二維調(diào)節(jié)裝置的示意圖，如圖1所示，為解決上述技術(shù)問題，本實 用新型提供一種偏心二維調(diào)節(jié)裝置，包括兩組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，第一組和第二組偏心銷調(diào) 節(jié)結(jié)構(gòu)的調(diào)節(jié)方向互相垂直，每組所述偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括調(diào)節(jié)基板、被調(diào)節(jié)件以及偏心 銷；所述調(diào)節(jié)基板上設(shè)置有一對形狀、大小完全相同的導(dǎo)向銷和一個偏心銷大圓孔；所述 被調(diào)節(jié)件上設(shè)置有一對形狀、大小、方向完全相同導(dǎo)向腰形孔和一個偏心銷腰形孔，所述導(dǎo) 向腰形孔與所述導(dǎo)向銷的位置、尺寸相配合，以限定被調(diào)節(jié)件的單方向移動；所述偏心銷的 大圓柱部分與調(diào)節(jié)基板上的偏心銷大圓孔緊密配合，所述偏心銷的小圓柱部分與所述偏心 銷腰形孔相配合；所述導(dǎo)向腰形孔的軸線方向與所述偏心銷腰形孔的軸線方向相垂直。進一步的，圖2為本實用新型中偏心二維調(diào)節(jié)裝置第一組偏心調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的示意 圖，圖5為本實用新型中相位調(diào)制支架平視圖，圖6為本實用新型中中間板的水平平視圖。 請參考圖2、圖5和圖6，所述第一組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括作為所述調(diào)節(jié)基板的相位調(diào)制 器支架101，作為所述被調(diào)節(jié)件的中間板105和第一偏心銷107a ；所述相位調(diào)制器支架101 上設(shè)有第一對導(dǎo)向銷104a和第一偏心銷大圓孔117a ；所述中間板105與所述相位調(diào)制器 支架101直接相靠，所述中間板105上設(shè)有第一對導(dǎo)向腰形孔114a和第一偏心銷腰形孔 118a，所述第一偏心銷腰形孔118a與所述第一偏心銷大圓孔117a位置相適配，所述第一對 導(dǎo)向腰形孔114a與所述第一對銷孔104a位置相配合；所述中間板105與所述相位調(diào)制器 支架101限定于水平方向的相對移動；所述第一偏心銷107a的大圓柱部分與所述第一偏 心銷大圓孔117a緊密配合，所述第一偏心銷107a的小圓柱部分與所述第一偏心銷腰形孔 118a間隙配合；所述第一對導(dǎo)向腰形孔114a的軸線方向與第一偏心銷腰形孔118a的軸線 方向互相垂直。進一步的，圖3為本實用新型中偏心二維調(diào)節(jié)裝置第二組偏心調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的示意 圖。圖6為本實用新型中中間板的水平平視圖。圖7為本實用新型中相位調(diào)制安裝板平 視圖。請參考圖3、圖6和圖7，所述第二組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括作為所述調(diào)節(jié)基板的所 述中間板105，作為所述被調(diào)節(jié)件的相位調(diào)制器安裝板106和第二偏心銷107b ；所述中間 板105上還設(shè)有第二偏心銷大圓孔117b和第二對導(dǎo)向銷104b ；所述相位調(diào)制器安裝板106 與所述中間板105的另一面直接相靠，所述相位調(diào)制器安裝板106上設(shè)有第二偏心銷腰形 孔118b和第二對導(dǎo)向腰形孔104b，所述第二偏心銷腰形孔118b與所述第一偏心銷大圓 孔117b位置相適配，所述第一對導(dǎo)向腰形孔114b與所述第一對銷孔104b位置相配合；所 述相位調(diào)制器安裝板106與所述中間板105限定于豎直方向的相對移動；所述第二偏心銷 107b的大圓柱部分與所述第二偏心銷大圓孔117b緊密配合，所述第二偏心銷107b的小圓 柱部分與所述第二偏心銷腰形孔118b間隙配合；所述第二對導(dǎo)向腰形孔114b的軸線方向 與第二偏心銷腰形孔118b的軸線方向互相垂直。進一步的，所述相位調(diào)制器安裝板106下方通過螺絲固定相位調(diào)制器108。優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)基板與所述被調(diào)節(jié)件之間還設(shè)有固定螺絲，所述調(diào)節(jié)基板上設(shè) 置有長孔，所述被調(diào)節(jié)件上設(shè)置有螺絲孔，所述螺絲長孔和所述螺絲孔相配合，所述固定螺
6絲穿過所述螺絲長孔旋進所述螺絲孔，固定所述調(diào)節(jié)基板和所述被調(diào)節(jié)件。進一步的，圖2為本實用新型中偏心二維調(diào)節(jié)裝置第一組偏心調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的示意 圖，圖5為本實用新型中相位調(diào)制支架平視圖，圖6為本實用新型中中間板的水平平視圖。 請參考圖2、圖5和圖6，所述第一組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，還包括第一對固定螺絲102a，所述 相位調(diào)制支架101上還設(shè)有第一對腰形孔112a，所述第一對腰形孔112a位于第一偏心銷 大圓孔117a兩側(cè)；所述中間板105上還設(shè)有第一對螺絲孔113a，所述第一對螺絲孔113a 與所述第一對腰形孔112a位置對應(yīng)；所述第一對固定螺絲102a分別穿過所述第一對腰形 孔112a，與所述第一對螺絲孔113a緊密配合，連接所述相位調(diào)制器支架101和所述中間板 105。進一步的，圖3為本實用新型中偏心二維調(diào)節(jié)裝置第二組偏心調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的示意 圖。圖6為本實用新型中中間板的水平平視圖。圖7為本實用新型中相位調(diào)制安裝板平視 圖。請參考圖3、圖6和圖7，所述第二組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，還包括第二對固定螺絲102b， 所述中間板105上還設(shè)有第二對腰形孔112b，所述第二對腰形孔112b位于所述第二偏心銷 大圓孔117b兩側(cè)所述相位調(diào)制器安裝板106上還設(shè)有第二對螺絲孔113b，所述第二對螺絲 孔113b與所述第二對腰形孔112b位置對應(yīng)；所述第二對固定螺絲102b分別穿過所述第二 對腰形孔112b，與所述第二對螺絲孔113b緊密配合，連接所述中間板105和所述相位調(diào)制 器安裝板106。較佳的，所述偏心二維調(diào)節(jié)裝置還包括所述偏心二維調(diào)節(jié)裝置還包括多個彈簧墊 圈，所述彈簧墊圈位于所述固定螺絲帽與所述調(diào)節(jié)基板之間。在進行調(diào)節(jié)時，所述彈簧墊圈 增加所述調(diào)節(jié)基板和所述被調(diào)節(jié)件之間的摩擦力，便于更準確地調(diào)節(jié)。優(yōu)選的，圖4為本實用新型中偏心二維調(diào)節(jié)裝置中偏心銷的結(jié)構(gòu)示意圖。請參考 圖4，所述第一偏心銷107a與所述第二偏心銷107b大小相同，偏心距均為1. 5mm。所述偏心 銷的偏心距為偏心銷大圓柱中心線到小圓柱中心線的距離，所述偏心銷的偏心距取決于所 述二維調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)范圍。在本實施例中，所述二維調(diào)節(jié)裝置水平方向和豎直方向的調(diào) 節(jié)范圍均為士 1. 5mm。故所述第一偏心銷107a和所述第二偏心銷107b的偏心距為1. 5mm。在本實用新型中，所述偏心二維調(diào)節(jié)裝置分為兩個自由度獨立調(diào)節(jié)，其中水平方 向調(diào)節(jié)過程為所述第一對導(dǎo)向銷104a的一端緊密配合在所述相位調(diào)制器支架101上，另 一端與所述中間板105對應(yīng)位置的第一對導(dǎo)向腰形孔114a相配合，限制所述中間板105相 對于所述相位調(diào)制器支架101為水平方向的單自由度調(diào)節(jié)，所述第一對導(dǎo)向腰形孔114a的 長軸長度要滿足調(diào)節(jié)范圍；旋轉(zhuǎn)所述第一偏心銷107a，使所述第一偏心銷107a的小圓柱部 分在所述第一偏心銷腰形孔118a內(nèi)相對移動，順時針旋轉(zhuǎn)與逆時針旋轉(zhuǎn)即可達到所述中 間板相對于所述相位調(diào)制器支架101的向左或向右水平移動。所述第一偏心銷107a的偏 心距為1. 5mm，則水平方向的調(diào)節(jié)范圍為士 1. 5mm。同理，對于豎直方向調(diào)節(jié)過程所述第二對導(dǎo)向銷104b的一端緊密配合在所述中 間板105上，另一端與所述相位調(diào)制安裝板105對應(yīng)位置的第二對導(dǎo)向腰形孔114b相配 合，限制所述相位調(diào)制安裝板106相對于所述中間板105為豎直方向的單自由度調(diào)節(jié)，所述 第二對導(dǎo)向腰形孔114b的長軸長度要滿足調(diào)節(jié)范圍，旋轉(zhuǎn)所述第二偏心銷107b，使所述第 二偏心銷107b的小圓柱部分在所述第二偏心銷腰形孔117b內(nèi)相對移動，順時針旋轉(zhuǎn)與逆 時針旋轉(zhuǎn)即可達到所述相位調(diào)制器安裝板106相對于所述中間板105的向上或向下水平移動。所述第二偏心銷107b的偏心距為1. 5mm，則豎直方向的調(diào)節(jié)范圍為士 1. 5mm。所述相位調(diào)節(jié)器支架101固定在所述激光模塊的光導(dǎo)軌上，所述相位調(diào)節(jié)器108 通過螺絲固定在所述相位調(diào)節(jié)安裝板106下方；由于所述相位調(diào)節(jié)安裝板106相對中間板 105僅能豎直移動，故當進行水平調(diào)節(jié)時，所述中間板105相對所述相位調(diào)節(jié)器支架101水 平移動，所述相位調(diào)節(jié)安裝板106隨中間板105水平移動，進而所述相位調(diào)節(jié)安裝板106下 的所述相位調(diào)節(jié)器108做單自由度的水平移動；由于中間板105相對于所述相位調(diào)節(jié)器支 架101僅能水平移動，故當進行豎直調(diào)節(jié)時，所述中間板105相對于相位調(diào)節(jié)器支架101沒 有移動，所述相位調(diào)節(jié)安裝板106下的相位調(diào)節(jié)器108做單自由度豎直移動。當調(diào)節(jié)結(jié)束 后，擰緊所述第一對固定螺絲102a和所述第二對固定螺絲102b，即可固定偏心二維調(diào)節(jié)裝 置，完成調(diào)節(jié)。綜上所述，所述偏心二維調(diào)節(jié)裝置，可以實現(xiàn)二維自由度獨立調(diào)節(jié)，且結(jié)構(gòu)簡單， 成本低廉，調(diào)節(jié)方便，精度也能夠滿足要求。本實用新型并不限于本文中的實施例，凡由偏心銷驅(qū)動的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，由導(dǎo)向銷限 制其移動的方向，被調(diào)節(jié)件上有腰形孔與偏心銷配合的，也不論其結(jié)構(gòu)能實現(xiàn)一維、二維或 三維的獨立調(diào)節(jié)，都屬于本專利的保護范圍，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型，任何 所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當可作些許的更 動與潤飾，因此本實用新型的保護范圍當視權(quán)利要求書所界定者為準。
權(quán)利要求一種偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括第一組和第二組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，所述第一組和第二組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的調(diào)節(jié)方向互相垂直，每組所述偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括調(diào)節(jié)基板、被調(diào)節(jié)件以及偏心銷；所述調(diào)節(jié)基板上設(shè)置有一對完全相同的導(dǎo)向銷和一個偏心銷大圓孔；所述被調(diào)節(jié)件上設(shè)置有一對完全相同的導(dǎo)向腰形孔和一個偏心銷腰形孔，所述導(dǎo)向腰形孔與所述導(dǎo)向銷的位置、尺寸相配合，以限定被調(diào)節(jié)件的單方向移動；所述偏心銷的大圓柱部分與偏心銷大圓孔緊密配合，所述偏心銷的小圓柱部分與偏心銷腰形孔相配合；所述導(dǎo)向腰形孔的軸線方向與所述偏心銷腰形孔的軸線方向相垂直。
2.如權(quán)利要求1所述的偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) 包括相位調(diào)制器支架，中間板，和第一偏心銷；所述相位調(diào)制器支架上設(shè)有第一對導(dǎo)向銷 和第一偏心銷大圓孔；所述中間板與所述相位調(diào)制器支架直接相靠，所述中間板上設(shè)有第 一對導(dǎo)向腰形孔和第一偏心銷腰形孔，所述第一偏心銷腰形孔與所述第一偏心銷大圓孔相 適配，所述第一對導(dǎo)向腰形孔與所述第一對銷孔相配合；所述第一偏心銷的大圓柱部分與 所述第一偏心銷大圓孔緊密配合，所述第一偏心銷的小圓柱部分與所述第一偏心銷腰形孔 間隙配合；所述第一對導(dǎo)向腰形孔的軸線方向與第一偏心銷腰形孔的軸線方向互相垂直。
3.如權(quán)利要求2所述的偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述中間板相對于所述相位 調(diào)制器支架限定于水平方向移動。
4.如權(quán)利要求2中所述的偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第二組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié) 構(gòu)包括所述中間板，相位調(diào)制器安裝板和第二偏心銷；所述中間板上還設(shè)有第二偏心銷 大圓孔和第二對導(dǎo)向銷；所述相位調(diào)制器安裝板與所述中間板的另一面直接相靠，所述相 位調(diào)制器安裝板上設(shè)有第二偏心銷腰形孔和第二對導(dǎo)向腰形孔，所述第二偏心銷腰形孔與 所述第二偏心銷大圓孔位置相適配，所述第二對導(dǎo)向腰形孔與所述第二對銷孔位置相配 合；；所述第二偏心銷的大圓柱部分與所述第二偏心銷大圓孔緊密配合，所述第二偏心銷的 小圓柱部分與所述第二偏心銷腰形孔間隙配合；所述第二對導(dǎo)向腰形孔的軸線方向與第二 偏心銷腰形孔的軸線方向互相垂直。
5.如權(quán)利要求4所述的偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述相位調(diào)制器安裝板與所 述中間板限定于豎直方向的相對移動。
6.如權(quán)利要求5所述的偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述相位調(diào)制器安裝板下方 通過螺絲固定相位調(diào)制器。
7.如權(quán)利要求1所述的偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)基板與所述被調(diào)節(jié) 件之間還設(shè)有固定螺絲，所述調(diào)節(jié)基板上設(shè)置有腰形孔，所述被調(diào)節(jié)件上設(shè)置有螺絲孔，所 述腰形孔和所述螺絲孔相配合，所述固定螺絲穿過所述腰形孔旋進所述螺絲孔，固定所述 調(diào)節(jié)基板和所述被調(diào)節(jié)件。
8.如權(quán)利要求2或7中任意一項所述的偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一組偏 心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)還包括第一對固定螺絲，所述相位調(diào)制支架上還設(shè)有第一對腰形孔，所述中 間板上還設(shè)有第一對螺絲孔，所述第一對螺絲孔與所述第一對腰形孔位置對應(yīng)，第一對固 定螺絲分別穿過所述第一對腰形孔，與所述第一對螺絲孔緊密配合，連接所述相位調(diào)制器 支架和所述中間板。
9.如權(quán)利要求4或7中任意一項所述的偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第二組偏 心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)還包括第二對固定螺絲，所述中間板上還設(shè)有第二對腰形孔，所述相位調(diào)制器安裝板上還設(shè)有第二對螺絲孔，所述第二對螺絲孔與所述第二對腰形孔位置對應(yīng)，第二 對固定螺絲分別穿過所述第二對腰形孔，與所述第二對螺絲孔緊密配合，連接所述中間板 和所述相位調(diào)制器安裝板。
10.如權(quán)利要求9中所述的偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述偏心二維調(diào)節(jié)裝置還 包括多個彈簧墊圈，所述彈簧墊圈位于所述固定螺絲帽與所述調(diào)節(jié)基板之間。
11.如權(quán)利要求2或3中所述的偏心二維調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一偏心銷與第 二偏心銷大小相同，偏心距均為1. 5mm。
專利摘要本實用新型提供一種偏心二維調(diào)節(jié)裝置，包括兩組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，所述兩組偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的調(diào)節(jié)方向互相垂直，每組所述偏心銷調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括調(diào)節(jié)基板、被調(diào)節(jié)件以及偏心銷；所述調(diào)節(jié)基板上設(shè)置有一對導(dǎo)向銷和一個偏心銷大圓孔；所述被調(diào)節(jié)件上設(shè)置有一對導(dǎo)向腰形孔和一個偏心銷腰形孔，所述導(dǎo)向腰形孔與所述導(dǎo)向銷相配合；所述偏心銷的大圓柱部分與調(diào)節(jié)基板上的偏心銷大圓孔緊密配合，所述偏心銷的小圓柱部分與所述偏心銷腰形孔相配合；所述導(dǎo)向腰形孔的軸線方向與所述偏心銷腰形孔的軸線方向相垂直。綜上所述，所述偏心二維調(diào)節(jié)裝置，可以實現(xiàn)二維自由度獨立調(diào)節(jié)，且結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，調(diào)節(jié)方便，精度也能夠滿足要求。
文檔編號G02F1/03GK201681230SQ201020155269
公開日2010年12月22日 申請日期2010年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月9日
發(fā)明者袁永剛 申請人:上海微電子裝備有限公司