專利名稱：用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域，尤其是一種用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的
直O(jiān)
背景技術(shù)：
橢偏測(cè)量技術(shù)是表征納米薄膜的重要手段之一，它利用探測(cè)光波經(jīng)表面反射時(shí)偏 振態(tài)的變化來(lái)探測(cè)樣品的信息(如，折射率n、消光系數(shù)k、納米薄膜的厚度、表面粗糙度、材 料電子振動(dòng)信息等)。該技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于(1)測(cè)量時(shí)對(duì)樣品無(wú)擾動(dòng)、無(wú)破壞性，因此可進(jìn)行 實(shí)時(shí)測(cè)量、離體乃至在體測(cè)量；(2)靈敏度可達(dá)到原子層量級(jí)的分析水平，因此可對(duì)納米薄 膜進(jìn)行高靈敏度的探測(cè)；(3)對(duì)樣品材料幾乎無(wú)限制，可適合于絕緣體、導(dǎo)體、半導(dǎo)體；(4) 對(duì)環(huán)境要求低，無(wú)需真空等特殊條件，在普通實(shí)驗(yàn)環(huán)境中就可進(jìn)行?；谄鋬?yōu)點(diǎn)，該技術(shù)已 廣泛應(yīng)用于微電子工業(yè)、表面材料和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。利用橢偏測(cè)量技術(shù)獲得樣品的參數(shù)(如，折射率、消光系數(shù)、薄膜厚度等)的一般 步驟是(1)利用橢偏測(cè)量系統(tǒng)得到樣品的橢偏角(V和△) ;(2)對(duì)樣品進(jìn)行模型化，即建 立橢偏角與樣品參數(shù)的關(guān)系；(3)利用數(shù)據(jù)擬合的方法獲得樣品的參數(shù)。因此，在利用橢偏 測(cè)量技術(shù)對(duì)樣品進(jìn)行分析時(shí)，最基本的任務(wù)是利用橢偏測(cè)量系統(tǒng)獲得樣品的橢偏角(V和 A)。橢偏測(cè)量系統(tǒng)最基本的結(jié)構(gòu)為光源_起偏器_樣品_檢偏器_光電傳感器。在 此基礎(chǔ)上，根據(jù)不同的應(yīng)用需求，發(fā)展了多種不同的結(jié)構(gòu)，如光源-起偏器-補(bǔ)償器-樣 品_檢偏器-光電傳感器、光源_起偏器_樣品-補(bǔ)償器_檢偏器-光電傳感器等。在橢 偏測(cè)量系統(tǒng)中，光束的傳播一般是光源發(fā)出的探測(cè)光波經(jīng)起偏器、補(bǔ)償器等偏振器件后成 為偏振態(tài)已知的偏振光，然后入射到樣品表面上，樣品對(duì)入射光波的幅值和相位進(jìn)行調(diào)制， 從而使得反射光波的偏振態(tài)發(fā)生變化，再經(jīng)過(guò)補(bǔ)償器、檢偏器等偏振器件后探測(cè)光波進(jìn)入 光電傳感器，從而獲得探測(cè)光波的強(qiáng)度。當(dāng)利用橢偏測(cè)量系統(tǒng)對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)量時(shí)，為了獲得準(zhǔn)確的結(jié)果，需要對(duì)樣品的方 位進(jìn)行校準(zhǔn)和調(diào)節(jié)，使得樣品滿足兩個(gè)條件(1)樣品表面經(jīng)過(guò)起偏臂光軸和檢偏臂光軸 的交點(diǎn)；(2)樣品表面垂直于起偏臂光軸和檢偏臂光軸形成的入射面。當(dāng)這兩個(gè)基本條件 無(wú)法滿足時(shí)，測(cè)量結(jié)果就會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重的偏差。具體來(lái)說(shuō)，(1)當(dāng)樣品表面沒(méi)有經(jīng)過(guò)起偏臂光 軸和檢偏臂光軸的交點(diǎn)時(shí)，這時(shí)由起偏臂7發(fā)出的探測(cè)光經(jīng)樣品表面反射時(shí)將不會(huì)與檢偏 臂8的光軸重合，這將導(dǎo)致(a)探測(cè)光波無(wú)法進(jìn)入檢偏臂末端的探測(cè)器，導(dǎo)致測(cè)量失效； (b)如果檢偏臂中有旋轉(zhuǎn)的偏振器件，當(dāng)探測(cè)器每次采樣時(shí)，探測(cè)光波不能通過(guò)該旋轉(zhuǎn)偏振 器件的中心上同一點(diǎn)，導(dǎo)致測(cè)量中由于該偏振器件的表面性質(zhì)不均一而產(chǎn)生系統(tǒng)誤差。(2) 當(dāng)樣品表面不垂直于起偏臂光軸和檢偏臂光軸形成的入射面時(shí)，這將不僅導(dǎo)致(1)中(a) 和(b)中的情形，而且還可能會(huì)導(dǎo)致實(shí)際的入射角與名義的入射角的偏差，因?yàn)闇y(cè)量得到 的橢偏角和△)與入射角直接相關(guān)，因此，入射角度的偏差會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果的偏差，尤 其當(dāng)在橢偏角隨角度變化非常劇烈的情況下(比如，當(dāng)入射角在樣品基底Brewster角鄰域時(shí))，入射角的微小偏差會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差的極大偏差。因此，在橢偏測(cè)量中，對(duì)樣品方位的校 準(zhǔn)和調(diào)節(jié)是一個(gè)最基本的問(wèn)題。因?yàn)閷?duì)樣品方位的校準(zhǔn)是調(diào)節(jié)的基礎(chǔ)，所以校準(zhǔn)顯得尤為重要。分開(kāi)來(lái)說(shuō)，就包含 了 (1)對(duì)待測(cè)樣品表面進(jìn)行俯仰方位的校準(zhǔn)，(2)對(duì)待測(cè)樣品表面進(jìn)行高低方位的校準(zhǔn)， 即檢驗(yàn)樣品表面是否通過(guò)起偏臂光軸和檢偏臂光軸的交點(diǎn)，樣品表面是否垂直于起偏臂光 軸和檢偏臂光軸形成的入射面。解決上述問(wèn)題的現(xiàn)有方法有(1)在整套橢偏測(cè)量系統(tǒng)中既安裝一套自準(zhǔn)直望遠(yuǎn) 系統(tǒng)，又安裝一套顯微系統(tǒng)，但這種系統(tǒng)增加了測(cè)量裝置中器件的數(shù)目且不便于觀察。(2) 在整套橢偏測(cè)量系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)的共用，如圖1所示，該結(jié)構(gòu)一 般都采用通過(guò)設(shè)置旋轉(zhuǎn)盤6來(lái)旋轉(zhuǎn)物鏡以達(dá)到功能切換的目的，這種方法在橢偏測(cè)量系統(tǒng) 中應(yīng)用較為普遍，但其不足在于切換機(jī)構(gòu)中占用了大量空間，尤其在空間有限的場(chǎng)合(比 如，單晶硅太陽(yáng)電池傾斜放置進(jìn)行測(cè)量時(shí))，這種設(shè)計(jì)嚴(yán)重影響了使用。(3)采用四象限器 通過(guò)判斷探測(cè)光束在象限中的位置來(lái)判斷樣品方位，這種方法一般需要通過(guò)自動(dòng)控制的方 式來(lái)對(duì)樣品的入射角進(jìn)行調(diào)節(jié)，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，自動(dòng)化程度要求高，尤其不適合于手動(dòng)改變?nèi)?射角度的橢偏系統(tǒng)。由此可見(jiàn)，在橢偏測(cè)量系統(tǒng)中，現(xiàn)有的對(duì)樣品方位的校準(zhǔn)方法難以同時(shí) 滿足俯仰和高低校準(zhǔn)結(jié)構(gòu)共用、功能切換簡(jiǎn)捷、易觀察、空間占用小。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種外形小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、 觀察快速、操作簡(jiǎn)捷、通過(guò)滑動(dòng)的方式完成自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)轉(zhuǎn)換的用于橢偏測(cè) 量系統(tǒng)中樣品方位校準(zhǔn)的裝置，從而大大減小了空間占用，給大的、特殊的待測(cè)樣品留出了 足夠的空間。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，包括光 學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微物鏡組，其中，光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)包括光學(xué)器件套筒，在該光學(xué) 器件套筒的底部固定設(shè)置有滑動(dòng)裝置，滑動(dòng)裝置上設(shè)置有能夠水平移動(dòng)的顯微物鏡組，顯 微物鏡組在滑動(dòng)裝置上滑動(dòng)以實(shí)現(xiàn)其與光學(xué)器件套筒的光軸重合或遠(yuǎn)離。進(jìn)一步，所述光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)還包括帶分劃板的可調(diào)視度目鏡、照明裝置、指 示物、分光鏡、準(zhǔn)直透鏡，其中，照明裝置、指示物、分光鏡、準(zhǔn)直透鏡從上至下依次設(shè)置在所 述光學(xué)器件套筒內(nèi)。進(jìn)一步，所述指示物位于所述準(zhǔn)直透鏡的焦點(diǎn)上，所述分劃板處于準(zhǔn)直透鏡的焦
；卜.O進(jìn)一步，所述滑動(dòng)裝置中采用燕尾槽滑動(dòng)副、V型槽滑動(dòng)副或圓柱滑動(dòng)副來(lái)實(shí)現(xiàn)所 述顯微物鏡組的安裝和滑動(dòng)，并且所述滑動(dòng)裝置中還設(shè)置有用于使所述顯微物鏡組的光軸 與所述自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)的光軸共軸并定位的定位機(jī)構(gòu)。進(jìn)一步，所述顯微物鏡組為單透鏡或透鏡組，其物方焦點(diǎn)位于待測(cè)樣品上。進(jìn)一步，所述照明裝置的亮度可調(diào)，其為白熾燈、LED燈、鹵素?zé)艋虬l(fā)光板。進(jìn)一步，所述指示物為分劃板或小孔光闌。進(jìn)一步，所述分光鏡為平面分光鏡片、分光棱鏡。進(jìn)一步，所述光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)通過(guò)支撐座來(lái)支撐和定位，以使得所述光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)的光軸通過(guò)起偏臂光軸和檢偏臂光軸的交點(diǎn)，所述光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)處于 起偏臂光軸和檢偏臂光軸所形成的入射面內(nèi)，且平分二者所夾的角度。本實(shí)用新型用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置采用了自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和 顯微系統(tǒng)結(jié)合的方式，通過(guò)滑動(dòng)裝置帶動(dòng)顯微物鏡離開(kāi)或進(jìn)入光學(xué)器件套筒的光軸，來(lái)實(shí) 現(xiàn)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)的功能簡(jiǎn)單切換。自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)采用的是雙分劃板型，具 有自準(zhǔn)直像的亮度大，襯度好，測(cè)量距離廣，視場(chǎng)利用充分等優(yōu)點(diǎn)。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中采用旋轉(zhuǎn)盤方式實(shí)現(xiàn)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)功能轉(zhuǎn)換 的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例1中表征顯微物鏡組移開(kāi)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例1中表征顯微物鏡組滑動(dòng)到光學(xué)準(zhǔn)直系統(tǒng)中的結(jié)構(gòu)示意 圖。
具體實(shí)施方式
如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，包括光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)，包括光學(xué)器件套筒1、帶分劃板的可調(diào)視度目鏡2、照明裝 置11、指示物12、分光鏡13、準(zhǔn)直透鏡14。光學(xué)器件套筒1，其內(nèi)從上至下依次設(shè)置有照明裝置11、指示物12、分光鏡13、準(zhǔn) 直透鏡14。亮度可調(diào)的照明裝置11，其作用是照亮指示物12，指示物12為分劃板或小孔光 闌，以使它的自準(zhǔn)直像成像到目鏡分劃板上，同時(shí)燈源亮度可根據(jù)不同待測(cè)樣品對(duì)光的反 射能力的不同而進(jìn)行光亮度的調(diào)節(jié)，從而達(dá)到清晰的觀察效果。帶分劃板的可調(diào)視度目鏡2，用于觀察系統(tǒng)的自準(zhǔn)直像。待測(cè)樣品3，待測(cè)樣品3為平的鏡面反射式的塊狀或薄膜層構(gòu)材料，把光學(xué)器件套 筒1里面指示物12的像反射回去，并成像于帶分劃板的可調(diào)視度目鏡2的分劃板上?；瑒?dòng)裝置41，操作者可以根據(jù)對(duì)待測(cè)樣品俯仰和高低校準(zhǔn)的不同的需求，通過(guò)滑 動(dòng)顯微物鏡42離開(kāi)或進(jìn)入光學(xué)器件套筒1的光軸，來(lái)實(shí)現(xiàn)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)的切換。支撐5，用于整套系統(tǒng)的連接及定位，保證光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)的光軸通過(guò)起偏臂 光軸和檢偏臂光軸的交點(diǎn)，并處于二者所形成的入射面內(nèi)，且平分二者所夾的角度。本實(shí)用新型用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置的工作原理如下由亮度可調(diào)的照明裝置11照亮光學(xué)器件套筒1里面的指示物12，指示物12的像 依次經(jīng)過(guò)分光鏡13、準(zhǔn)直透鏡14，照射到待測(cè)樣品3上作為系統(tǒng)成像的物，同時(shí)，待測(cè)樣品 3再將該物反射回光學(xué)器件套筒1中，依次經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直透鏡14、分光鏡13后成像到可調(diào)視度 目鏡2的分劃板上，此時(shí)操作者觀察指示物在目鏡分劃板上的成像位置，如果其中心與目 鏡分劃板的十字中心不重合，則要對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行俯仰方位的調(diào)節(jié)，直至其中心與目鏡分 劃板的十字中心重合為止。接下來(lái)，通過(guò)滑動(dòng)裝置41把顯微物鏡42滑到與光學(xué)套筒1的 光軸重合的位置，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的顯微功能，如果不能同時(shí)看到指示物和目鏡分劃板的像，則要對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行高低方位的調(diào)節(jié)，直至兩個(gè)像同時(shí)清晰的成像在可調(diào)視度目鏡2中。實(shí)施例1如圖2所示，為表征顯微物鏡組42移開(kāi)，光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)處于光學(xué)自準(zhǔn)直系 統(tǒng)狀態(tài)，其用于調(diào)節(jié)樣品的俯仰狀態(tài)。圖3表征顯微物鏡組42滑動(dòng)到光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng) 中，此時(shí)整個(gè)系統(tǒng)處于光學(xué)顯微鏡狀態(tài)，用于調(diào)節(jié)樣品的高低。該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)為在起偏臂光軸和檢偏臂光軸形成的入射面內(nèi)安裝由光學(xué)器件套 筒1、帶分劃板的可調(diào)視度目鏡2、待測(cè)樣品3、滑動(dòng)裝置41、顯微物鏡組42、支撐座5組成的 自準(zhǔn)直校準(zhǔn)系統(tǒng)。在上述裝置中，帶分劃板的可調(diào)視度目鏡2為帶分劃板的IOX可調(diào)視度目鏡，該分 劃板的安裝位置應(yīng)設(shè)置在準(zhǔn)直透鏡14的焦點(diǎn)上。待測(cè)樣品3為平的鏡面反射式的塊狀或薄膜層構(gòu)材料，把光學(xué)器件套筒1內(nèi)指示 物12的像反射回去，并成像于帶分劃板的可調(diào)視度目鏡2的分劃板上，待測(cè)樣品3位于顯 微物鏡組42的焦點(diǎn)上?；瑒?dòng)裝置41是一對(duì)具有限位功能的燕尾槽滑動(dòng)副，其上帶動(dòng)一工作距離可調(diào)的 顯微物鏡組42，通過(guò)滑動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)的轉(zhuǎn)換，顯微物鏡組42安裝在 燕尾槽滑動(dòng)副上，并能夠在燕尾槽滑動(dòng)副上水平移動(dòng)，顯微物鏡組42在燕尾槽滑動(dòng)副上滑 動(dòng)，當(dāng)顯微物鏡組42的光軸與光學(xué)器件套筒1的光軸重合時(shí)，顯微物鏡組42與光學(xué)自準(zhǔn)直 望遠(yuǎn)系統(tǒng)整體組成顯微系統(tǒng)，當(dāng)顯微物鏡組42的光軸與光學(xué)器件套筒1的光軸遠(yuǎn)離時(shí)，光 學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)其自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)功能，顯微物鏡組42在燕尾槽滑動(dòng)副上滑動(dòng)可簡(jiǎn) 單的實(shí)現(xiàn)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)的轉(zhuǎn)換，方便了操作。本實(shí)施例中燕尾槽滑動(dòng)副還設(shè) 置有用于使顯微物鏡組42的光軸與自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)的光軸共軸并定位的定位機(jī)構(gòu)，該定 位機(jī)構(gòu)為一根螺釘或銷釘。在光學(xué)器件套筒1中，包含了一亮度可調(diào)的照明裝置11，其為白熾燈、LED燈、鹵素 燈或發(fā)光板，其作用是照亮指示物12，以使它的自準(zhǔn)直像成像到目鏡分劃板上，同時(shí)燈源亮 度可根據(jù)不同待測(cè)樣品對(duì)光的反射能力的不同而進(jìn)行光亮度的調(diào)節(jié)，從而達(dá)到清晰的觀察 效果。在光學(xué)器件套筒1中，內(nèi)部還包含了指示物12、分光鏡13、準(zhǔn)直鏡14，通過(guò)對(duì)分劃 板的成像情況，來(lái)判斷對(duì)樣品方位的校準(zhǔn)情況，分劃板必須安裝在準(zhǔn)直透鏡14的焦距上。支撐座5用于整套系統(tǒng)的連接及定位，保證準(zhǔn)直系統(tǒng)的光軸通過(guò)起偏臂光軸和檢 偏臂光軸的交點(diǎn)，并處于二者所形成的入射面內(nèi)，且平分二者所夾的角度。當(dāng)需要橢偏測(cè)量裝置中對(duì)樣品方位進(jìn)行光學(xué)校準(zhǔn)時(shí)，采用如下的方法步驟先通 過(guò)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)，觀察目鏡視野中的指示物的像和分劃板的像(其中一個(gè)是目鏡中分劃 板的像，一個(gè)是被照明裝置照亮的指示物經(jīng)樣品反射后所成的像)，如若其中心不重合，則 調(diào)整工作臺(tái)控制俯仰的旋鈕，以達(dá)到指示物的中心與目鏡分劃板中心完全重合。再通過(guò)滑 動(dòng)裝置41把顯微物鏡42滑到與光學(xué)套筒1的光軸重合的位置，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的顯微功能。通過(guò) 顯微系統(tǒng)，同樣觀察目鏡視野中的指示物的像和目鏡分化板的像，如若指示物的像和目鏡 分劃板不能同時(shí)清晰的看見(jiàn)，則要調(diào)整工作臺(tái)控制高低的旋鈕，直至兩個(gè)像同時(shí)清晰為止。實(shí)施例2用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)中的對(duì)樣品方位校準(zhǔn)裝置的基本結(jié)構(gòu)的示意圖依然如圖2和圖3所示。除了把滑動(dòng)裝置41中的滑動(dòng)副改成V型槽滑動(dòng)副外，其它與實(shí)施例1中相同。其 原理及校準(zhǔn)方法的步驟同實(shí)施例1。實(shí)施例3用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)中的對(duì)樣品方位校準(zhǔn)裝置的基本結(jié)構(gòu)的示意圖依然如圖2和 圖3所示。除了把滑動(dòng)裝置41中的滑動(dòng)副改成圓柱滑動(dòng)副外，其它與實(shí)施例1中相同。其原 理及校準(zhǔn)方法的步驟同實(shí)施例1。
權(quán)利要求用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，其特征在于，該裝置包括光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微物鏡組，其中，光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)包括光學(xué)器件套筒，在該光學(xué)器件套筒的底部固定設(shè)置有滑動(dòng)裝置，滑動(dòng)裝置上設(shè)置有能夠水平移動(dòng)的顯微物鏡組，顯微物鏡組在滑動(dòng)裝置上滑動(dòng)以實(shí)現(xiàn)其與光學(xué)器件套筒的光軸重合或遠(yuǎn)離。
2.如權(quán)利要求1所述的用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，其特征在于，所述 光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)還包括帶分劃板的可調(diào)視度目鏡、照明裝置、指示物、分光鏡、準(zhǔn)直透 鏡，其中，照明裝置、指示物、分光鏡、準(zhǔn)直透鏡從上至下依次設(shè)置在所述光學(xué)器件套筒內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，其特征在于，所述 指示物位于所述準(zhǔn)直透鏡的焦點(diǎn)上，所述分劃板處于準(zhǔn)直透鏡的焦點(diǎn)上。
4.如權(quán)利要求1所述的用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，其特征在于，所述 滑動(dòng)裝置中采用燕尾槽滑動(dòng)副、V型槽滑動(dòng)副或圓柱滑動(dòng)副來(lái)實(shí)現(xiàn)所述顯微物鏡組的安裝 和滑動(dòng)，并且所述滑動(dòng)裝置中還設(shè)置有用于使所述顯微物鏡組的光軸與所述自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系 統(tǒng)的光軸共軸并定位的定位機(jī)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求1所述的用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，其特征在于，所述 顯微物鏡組為單透鏡或透鏡組，其物方焦點(diǎn)位于待測(cè)樣品上。
6.如權(quán)利要求2所述的用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，其特征在于，所述 照明裝置的亮度可調(diào)，其為白熾燈、LED燈、鹵素?zé)艋虬l(fā)光板。
7.如權(quán)利要求2所述的用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，其特征在于，所述 指示物為分劃板或小孔光闌。
8.如權(quán)利要求2所述的用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，其特征在于，所述 分光鏡為平面分光鏡片、分光棱鏡。
9.如權(quán)利要求1所述的用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，其特征在于，所述 光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)通過(guò)支撐座來(lái)支撐和定位，以使得所述光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)的光軸通 過(guò)起偏臂光軸和檢偏臂光軸的交點(diǎn)，所述光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)處于起偏臂光軸和檢偏臂光 軸所形成的入射面內(nèi)，且平分二者所夾的角度。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，包括光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微物鏡組，光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)包括光學(xué)器件套筒，在該光學(xué)器件套筒的底部固定設(shè)置有滑動(dòng)裝置，滑動(dòng)裝置上設(shè)置有能夠水平移動(dòng)的顯微物鏡組，顯微物鏡組在滑動(dòng)裝置上滑動(dòng)以實(shí)現(xiàn)其與光學(xué)器件套筒的光軸重合或遠(yuǎn)離。本實(shí)用新型采用了自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)結(jié)合的方式，通過(guò)滑動(dòng)裝置帶動(dòng)顯微物鏡離開(kāi)或進(jìn)入光學(xué)器件套筒的光軸，來(lái)實(shí)現(xiàn)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)的功能簡(jiǎn)單切換。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于該系統(tǒng)外形小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、觀察快速、操作簡(jiǎn)捷。
文檔編號(hào)G02B23/10GK201681041SQ20102017266
公開(kāi)日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2010年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月22日
發(fā)明者孟永宏, 趙鑫 申請(qǐng)人:北京量拓科技有限公司