專利名稱:驅(qū)動裝置、鏡頭鏡筒以及相機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及驅(qū)動裝置、鏡頭鏡筒以及相機。本申請基于2009年6月10日在日本申請的特愿2009-139564號、以及2009年11 月9日在日本申請的特愿2009-256371號主張優(yōu)先權(quán),在此援引其內(nèi)容。
背景技術(shù):
以往,已知有使用壓電元件的驅(qū)動裝置。作為這種驅(qū)動裝置,例如以下的專利文獻 1公開了 驅(qū)動多個壓電元件而使得與被驅(qū)動體接觸的芯片部件進行橢圓運動,由此驅(qū)動被驅(qū)動體。在以下的專利文獻1中,在設(shè)定了 X^直角坐標系的情況下,通過芯片部件的與 )(Z平面平行的橢圓運動來向X軸方向驅(qū)動被驅(qū)動體?,F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1 日本特開2007-236138號公報
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題但是,在上述的現(xiàn)有驅(qū)動裝置中,無法將不同的兩個方向的振動作為分別獨立的振動而取出的問題。在上述專利文獻1中,由于無法將芯片部件的X軸方向和Z軸方向的振動作為分別獨立的振動取出,因此存在多個壓電元件妨礙相互運動的可能性。如果多個壓電元件被驅(qū)動為妨礙相互運動,則驅(qū)動被驅(qū)動體的驅(qū)動裝置的輸出下降。另外,在上述以往的驅(qū)動裝置中,支撐壓電元件的基底部件通過具有導(dǎo)電性的 WC(tungsten carbide 碳化鎢)等來設(shè)置。在基底部件具有導(dǎo)電性的情況下,基底部件成為共同電極,與基底部件接觸的多個壓電元件的電極的電位相等。因此,存在難以對多個壓電元件施加不同電壓的問題。本發(fā)明的方式的目的在于提供驅(qū)動裝置和使用該驅(qū)動裝置的鏡頭鏡筒以及相機, 其中,該驅(qū)動裝置能夠?qū)⒉煌膬蓚€方向的振動作為分別獨立的振動取出。另外,本發(fā)明的方式的目的在于提供驅(qū)動裝置和使用該驅(qū)動裝置的鏡頭鏡筒以及相機,其中,該驅(qū)動裝置即使在支撐壓電元件的部件具有導(dǎo)電性的情況下,也容易對壓電元件施加不同的電壓。用于解決問題的手段本發(fā)明的方式涉及的驅(qū)動裝置是相對驅(qū)動第一部件和第二部件的驅(qū)動裝置,具備壓電元件,驅(qū)動上述第一部件;基底部,經(jīng)由上述壓電元件能夠驅(qū)動地支撐上述第一部件;以及電極部,被施加上述壓電元件的驅(qū)動電壓,上述電極部具有從上述基底部露出的露出部。本發(fā)明的另一方式涉及的驅(qū)動裝置具有壓電元件;第一部件,被上述壓電元件驅(qū)動;第二部件,與上述第一部件抵接而設(shè)置,通過上述第一部件被驅(qū)動而相對于上述第一部件移動;基底部件,具有導(dǎo)電性,經(jīng)由上述壓電元件能夠驅(qū)動地支撐上述第一部件;以及多組具有上述第一部件以及上述壓電元件的組,至少在一個上述組的上述壓電元件和上述基底部件之間設(shè)置有絕緣膜。本發(fā)明的其他方式涉及的鏡頭鏡筒具備上述驅(qū)動裝置。本發(fā)明的其他方式涉及的相機具備上述驅(qū)動裝置。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的方式涉及的驅(qū)動裝置,能夠?qū)⒉煌膬煞较虻恼駝幼鳛榉謩e獨立的振動取出。根據(jù)本發(fā)明的方式涉及的驅(qū)動裝置,至少一組壓電元件和基底部件通過絕緣膜而電絕緣,能夠容易地對此組壓電元件和其他組的壓電元件施加不同的電壓。
圖1是本發(fā)明的第一實施方式涉及的驅(qū)動裝置的主視圖。圖2是本發(fā)明的第一實施方式涉及的驅(qū)動裝置的截面圖。圖3是圖1所示的驅(qū)動裝置的支撐驅(qū)動部的立體圖。圖4是圖1所示的驅(qū)動裝置的支撐驅(qū)動部的俯視圖。圖5A是圖1所示的驅(qū)動裝置的保持部以及驅(qū)動擋塊的主視圖。圖5B是圖1所示的驅(qū)動裝置的保持部以及驅(qū)動擋塊的主視圖。圖6是圖1所示的驅(qū)動裝置的保持部以及驅(qū)動擋塊的立體圖。圖7A是圖1所示的驅(qū)動裝置的電路圖。圖7B是上述驅(qū)動裝置的電路圖。圖8是圖1所示的驅(qū)動裝置的電源部所供給的電壓的時序圖。圖9是表示圖1所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊的動作的主視圖。圖10是表示圖1所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊的動作的主視圖。圖11是表示圖1所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊的動作的主視圖。圖12是表示圖1所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊的前端部的位移的時間變化的圖表。圖13是具備圖1所示的驅(qū)動裝置的相機的概略構(gòu)成圖。圖14A是表示圖1所示的驅(qū)動裝置的變形例的保持部以及驅(qū)動擋塊的主視圖。圖14B是表示圖1所示的驅(qū)動裝置的變形例的保持部以及驅(qū)動擋塊的主視圖。圖15是表示圖1所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊的前端部的位移的時間變化的圖表。圖16是表示圖1所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊的前端部的位移的時間變化的圖表。
圖17是本發(fā)明的第二實施方式涉及的驅(qū)動裝置的主視圖。圖18是本發(fā)明的第二實施方式涉及的驅(qū)動裝置的截面圖。圖19是表示圖17所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊以及基底部的放大截面圖。圖20A是表示圖17所示的驅(qū)動裝置的支撐驅(qū)動部的立體圖。圖20B是表示圖17所示的驅(qū)動裝置的支撐驅(qū)動部的俯視圖。圖2IA是圖17所示的驅(qū)動裝置的電路圖。圖2IB是圖17所示的驅(qū)動裝置的電路圖。圖22是圖17所示的驅(qū)動裝置的電源部所供給的電壓的時序圖。
圖23是表示圖17所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊的動作的主視圖。圖M是表示圖17所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊的動作的主視圖。圖25是表示圖17所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊的動作的主視圖。圖沈是表示圖17所示的驅(qū)動裝置的驅(qū)動擋塊的前端部的位移的時間變化的圖表。圖27是具備圖17所示的驅(qū)動裝置的鏡頭鏡筒以及相機的概略構(gòu)成圖。附圖標記說明1 驅(qū)動裝置;2 基底部(基底部件);2h:倒角部(露出形成部);3 驅(qū)動擋塊(第一部件);3a 前端部;3b 基部;4:轉(zhuǎn)動體(第二部件);5:支撐軸(旋轉(zhuǎn)軸);6 第一壓電元件(壓電元件);6a 電極部;乩露出部;7 第二壓電元件(第二壓電元件);101 相機;103 鏡頭鏡筒;201 驅(qū)動裝置;202 基底部(基底部件);202a 絕緣膜;203 驅(qū)動擋塊(第一部件);203:前端部;203b 基部;204:轉(zhuǎn)動體(第二部件);206 第一壓電元件(壓電元件);206a 電極;207 第二壓電元件(壓電元件、第二壓電元件);210:電源部;301 相機;303 鏡頭鏡筒。
具體實施例方式(1)第一實施方式參照
本發(fā)明的第一實施方式涉及的驅(qū)動裝置如下。本實施方式的驅(qū)動裝置1例如通過進行使驅(qū)動擋塊等第一部件和轉(zhuǎn)動體等第二部件相對位移的相對驅(qū)動,來驅(qū)動相機的鏡頭鏡筒等光學(xué)儀器、電子儀器。圖1是本實施方式的驅(qū)動裝置1的主視圖,圖2是其截面圖。如圖1以及圖2所示,驅(qū)動裝置1具備設(shè)置有多個保持部加的基底部(基底部件)2、被保持部加所保持的驅(qū)動擋塊(第一部件)3、與驅(qū)動擋塊3相鄰配置的轉(zhuǎn)動體(第二部件)4、和插通于基底部2的支撐軸5。基底部2例如通過不銹鋼等金屬材料形成為中空圓筒狀,通過插通支撐軸5而設(shè)置成圍繞支撐軸5。基底部2的表面例如形成有絕緣膜等而被實施了絕緣處理。轉(zhuǎn)動體4經(jīng)由軸承恥而被支撐軸5軸支撐,并被設(shè)置成以支撐軸5為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)自如。在轉(zhuǎn)動體4的外周面上例如形成有用于驅(qū)動相機的鏡頭鏡筒等的齒輪4a。轉(zhuǎn)動體 4的基底部2側(cè)的面被多個驅(qū)動擋塊3所支撐?;撞?的一端部例如由未圖示的螺栓等固定在安裝部IOla上。在基底部2的與安裝部IOla相向的面的中央部形成有凹部2b。在凹部2b中插入(嵌入)有形成在支撐軸5的基端上的擴徑部fe。通過在此狀態(tài)下將基底部2固定到安裝部101a,而將支撐軸5 固定到基底部2以及安裝部101a。在基底部2的另一端部,在基底部2的圓周方向即轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R上設(shè)置有多個凹狀的保持部加。保持部加從垂直于支撐軸5且沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的方向(第一方向)的兩側(cè)支撐驅(qū)動擋塊3,并且以能夠在與支撐軸5平行的方向(第二方向) 上驅(qū)動的方式保持驅(qū)動擋塊3。另外,如圖1所示,在基底部2的轉(zhuǎn)動體4側(cè)的端部的角部設(shè)置有倒角部(露出形成部)2h。倒角部池在基底部2的整個圓周設(shè)置在基底部2的轉(zhuǎn)動體4側(cè)的端部的外周側(cè)的角部以及內(nèi)周側(cè)的角部雙方。如圖2所示,基底部2的側(cè)面2c設(shè)置成與支撐軸5大致平行。在側(cè)面2c的保持部加和安裝部IOla側(cè)的端部之間形成有槽部2d,該槽部作為抑制從安裝部IOla到保持部 2a的振動傳遞的振動抑制部。即,槽部2d設(shè)置在與大致垂直于支撐軸5且沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向的方向(第一方向)交叉的基底部2的側(cè)面2c上。槽部2d連續(xù)地設(shè)置在基底部 2的圓周方向上,并設(shè)置在比保持部加和安裝部IOla側(cè)的端部的中間靠近安裝部IOla側(cè)的端部的位置。槽部2d的深度dl為例如基底部2的半徑rl的40%以上且80%以下的范圍。上述數(shù)值為一例,并不限定于此。槽部2d的深度dl例如可以為基底部2的半徑rl的10%、 20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%或90%。另外,與支撐軸5平行的方向(第二方向) 的槽部2d的寬度wl形成為大于基底部2的振動的振幅且大于后述的支撐驅(qū)動部(構(gòu)造部)Ia的共振振動的振幅,其中,該支撐驅(qū)動部Ia由第一壓電元件6、第二壓電元件7、驅(qū)動擋塊3以及基底部2構(gòu)成。在一例中,能夠使槽部2d的寬度wl短于基底部2的半徑。如圖2所示,在基底部2和支撐軸5之間設(shè)置有用于抑制從安裝部IOla到保持部加的振動的間隙(振動抑制部)2e。間隙加設(shè)置在與支撐軸5平行的方向上的、從基底部 2的保持部加側(cè)端部到與槽部2d的安裝部IOla側(cè)的邊緣相同的位置。另外,間隙2e的寬度w2與槽部2d的寬度wl相同地形成為大于基底部2的振動的振幅且大于后述的支撐驅(qū)動部Ia的共振振動的振幅。圖3是圖1所示的驅(qū)動裝置1的支撐驅(qū)動部Ia的立體圖,圖4是其俯視圖。如圖3以及圖4所示,驅(qū)動擋塊3具有前端部3a和基部北,其中,該前端部3a具有截面為山形的六角柱形狀,該基部北具有大致長方體形狀。前端部3a例如由不銹鋼等形成?;勘崩缬奢p金屬合金等形成。該前端部3a以及基部北都具有導(dǎo)電性?;?3b由保持部2b支撐為可在與支撐軸5平行的方向上驅(qū)動。前端部3a從保持部加突出而支撐轉(zhuǎn)動體4。前端部3a被設(shè)置成與轉(zhuǎn)動體4接觸的上面面積小于基部北側(cè)的底面面積的前端狹窄狀的形狀。如圖4所示,在驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向(第一方向)上設(shè)置有兩對從寬度w3 方向的兩側(cè)夾住驅(qū)動擋塊3的基部北的一對第一壓電元件6、6。驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向是垂直于支撐軸5且沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的方向,為與基底部2的俯視中的中心線CL大致垂直的方向。第一壓電元件6形成為沿著保持部加的深度d2方向延伸的細長的長方形的形狀,夾持于基部北和保持部加之間。由此,第一壓電元件6配置在設(shè)置于基底部2的槽部2d(參照圖1、圖2)和轉(zhuǎn)動體4之間。第一壓電元件6例如通過導(dǎo)電性粘接劑粘接在驅(qū)動擋塊3的基部北和保持部加上。另外,配置在與通過基底部2的中心的中心線CL大致平行的驅(qū)動擋塊3的進深pi方向上的兩個第一壓電元件6、6相互大致平行。各第一壓電元件6的形狀以及尺寸均大致相寸。如圖3所示,一對第二壓電元件7、7相互大致平行地設(shè)置在驅(qū)動擋塊3的基部北和前端部3a之間。第二壓電元件7形成為與驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向大致平行地延伸的細長的長方形狀。第二壓電元件7夾持于前端部3a的底面和基部北的上面之間,例如通過導(dǎo)電性粘接劑而粘接在前端部3a的底面和基部北的上面。各第二壓電元件7的形狀以及尺寸均大致相等。第一壓電元件6以及第二壓電元件7例如由鋯鈦酸鉛(PZT)形成,其振動模式為厚度切變振動(thickness shear vibration)。即,第一壓電元件6將驅(qū)動擋塊3相對于基底部2向與支撐軸5大致平行的保持部加的深度d2方向相對驅(qū)動。第二壓電元件7將驅(qū)動擋塊3的前端部3a相對于基部北以及基底部2向驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向(第三方向)相對驅(qū)動。即,在本實施方式中,第一壓電元件6夾住驅(qū)動擋塊3的方向(第一方向) 與第二壓電元件7驅(qū)動驅(qū)動擋塊3的前端部3a的方向(第三方向)大致相同。通過這些多個第一壓電元件6、第二壓電元件7、驅(qū)動擋塊3以及基底部2構(gòu)成支撐驅(qū)動部la,該支撐驅(qū)動部Ia支撐轉(zhuǎn)動體4且相對于驅(qū)動擋塊3以及基底部2驅(qū)動轉(zhuǎn)動體 4。如圖3所示,保持部2設(shè)置在基底部2的端部,在基底部2形成有王冠狀的凹凸。 如圖4所示,保持部加大致每隔60°均等地形成在基底部2的圓周方向上。保持部加具備在俯視中與通過基底部2的中心的中心線CL大致平行地設(shè)置的一對支撐面2f、2f。支撐面2f以從與基底部2的中心線CL大致垂直的保持部加的寬度w4方向(第一方向)的兩側(cè)經(jīng)由一對第一壓電元件6、6夾住驅(qū)動擋塊3的基部北的方式保持該驅(qū)動擋塊3的基部 3b ο圖5A是放大保持部加以及驅(qū)動擋塊3的組裝主視圖,圖5B是放大保持部加以及驅(qū)動擋塊3的主視圖。如圖5A以及圖5B所示,設(shè)置在基底部2的凹狀的保持部加的支撐面2f相對于與圖2所示的支撐軸5大致平行的保持部加的深度d2方向(第二方向)傾斜地設(shè)置。
支撐面2f傾斜成自被圖1所示的驅(qū)動擋塊3的前端部3a所支撐的轉(zhuǎn)動體4的距離越遠,相向的支撐面2f、2f彼此的間隔越逐漸變窄。換言之,越靠近底面2g,保持部加的寬度w4就越窄。根據(jù)各部件的尺寸、公差等關(guān)系,支撐面2f相對于保持部加的深度d2 方向的傾斜角度α優(yōu)選為2°以上6°以下。在本實施方式中的支撐面的傾斜角度α為
4° ο另外,如圖5Α以及圖5Β所示,與支撐面2f相向的驅(qū)動擋塊3的基部北的側(cè)面3c 與支撐面2f相同地設(shè)置成相對于與支撐軸5大致平行的驅(qū)動擋塊3的高度hi方向(第二方向)傾斜。由此,驅(qū)動擋塊3的基部北的側(cè)面3c與支撐面2f大致平行地設(shè)置。具備電極部6a的第一壓電元件6事先通過導(dǎo)電性的粘接劑粘接在側(cè)面3c。此外,在圖1 圖4 中,省略了電極部6a的圖示。在此,在基部北的保持部加的底面2g側(cè)的端部中的基部北以及一對第一壓電元件6、6的寬度w5,小于保持部加的開口部中的寬度w4且大于保持部加的深度d2方向途中的寬度w4’。因此,使保持部加保持驅(qū)動擋塊3的基部北以及一對第一壓電元件6、6時,如圖 5B所示,在驅(qū)動擋塊3的底面3d和保持部加的底面2g分離的狀態(tài)下,基部北從保持部加的寬度《4方向的兩側(cè)經(jīng)由一對第一壓電元件6、6而被支撐面2f支撐。即,支撐面2f相對于深度d2方向傾斜設(shè)置,以便從保持部加的寬度w4方向(第一方向)的兩側(cè)支撐驅(qū)動擋塊3,并且在與支撐軸5大致平行的保持部加的深度d2方向(第二方向)上進行定位。圖6是局部放大圖3所示的驅(qū)動擋塊3以及的保持部加而表示的立體圖。如圖6所示,第一壓電元件6配置在驅(qū)動擋塊3的基部3b和基底部2的保持部加的支撐面2f之間。電極部6a設(shè)置在第一壓電元件6的與支撐面2f相向的面上,其局部通過設(shè)置在基底部2的端部角部的倒角部池而從基底部2露出。在本實施方式中,通過倒角部池從基底部2露出的電極部6a的局部成為后述的與電源部連接的露出部6b。在表面被實施了絕緣處理的基底部2的外周側(cè)的側(cè)面2c上例如通過銅箔等導(dǎo)電性材料形成有電極面2i。電極面2i沿著保持部加的邊緣而設(shè)置,并具有規(guī)定的寬度w6而連續(xù)地設(shè)置在保持部加的周圍。電極面2i與外周側(cè)的側(cè)面2c相同地設(shè)置在基底部2的內(nèi)周側(cè)的側(cè)面(省略圖示)。另外,電極面2i沿著保持部加的邊緣連續(xù)地設(shè)置在外周側(cè)的倒角部池、轉(zhuǎn)動體4側(cè)的端面以及內(nèi)周側(cè)的倒角部池上。即,設(shè)置在基底部2的各面上的電極面2i均連續(xù)地被設(shè)置。通過倒角部池從基底部2露出的電極部6a的露出部6b,通過導(dǎo)電性粘接劑21與設(shè)置在倒角部池的電極面2i電連接。由此,設(shè)置在驅(qū)動擋塊3的基部: 和保持部加的支撐面2f之間的四個第一壓電元件6的電極部6a均電連接。在沿著保持部加的底面2g側(cè)的邊緣設(shè)置的電極面2i的中央部,通過導(dǎo)電性粘接劑21連接有第一配線11 (第二配線1 。由此,四個第一壓電元件6的電極部6a分別經(jīng)由與露出部6b連接的導(dǎo)電性粘接劑21以及電極面2i而與第一配線11 (第二配線12)電連接。即,電極部6a經(jīng)由第一配線11 (第二配線12)被施加規(guī)定的驅(qū)動電壓。另外,雖然省略圖示,但在驅(qū)動擋塊3的前端部3a例如通過導(dǎo)電性粘接劑連接有后述的第三配線(第四配線)而被施加規(guī)定的驅(qū)動電壓。另外,在基部北上例如通過導(dǎo)電性粘接劑連接有接地配線。由此,基部北被接地。
本實施方式的驅(qū)動擋塊3在前端部3a和基部北之間具備一對第二壓電元件7、7, 在基部北的側(cè)面具備兩對第一壓電元件6、6。另外,如圖3以及圖4所示,驅(qū)動裝置1具備第一組以及第二組兩組驅(qū)動擋塊3的組,該驅(qū)動擋塊3的組中該驅(qū)動擋塊3以及兩對第一壓電元件6分別具備三份。第一組驅(qū)動擋塊31和第二組驅(qū)動擋塊32配置在同一個圓周上。另外,各組的驅(qū)動擋塊31、32分別均等地配置在轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R上,并且不同組的驅(qū)動擋塊31、32交替(依次)地配置在旋轉(zhuǎn)方向R上。圖7A是第一壓電元件6的示意性的配線圖,圖7B是第二壓電元件7的示意性的配線圖。此外,如圖6所示,電極部6a各自通過導(dǎo)電性粘接劑21以及電極面2i與第一配線11 (第二配線12)電連接,但在圖7A中省略這些的圖示。如圖7A以及圖7B所示,本實施方式的驅(qū)動裝置1具備對第一壓電元件6以及第二壓電元件7分別供給電壓的電源部10。電源部10對第一壓電元件6以及第二壓電元件 7供給電壓,使得圖3以及圖4所示的第一組以及第二組各自的驅(qū)動擋塊31、32的前端部 31a,32a依次重復(fù)與圖1以及圖2所示的轉(zhuǎn)動體4的接觸、向轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的進給、從轉(zhuǎn)動體4的分離、與轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R相反方向的返回。如圖7A所示,第一組驅(qū)動擋塊31各自具備的第一壓電元件61的電極部61a經(jīng)由第一配線11與電源部10的第一端子Tl連接。第二組驅(qū)動擋塊32各自具備的第一壓電元件62的電極部62經(jīng)由第二配線12與電源部10的第二端子T2連接。如圖7B所示,第一組驅(qū)動擋塊31各自具備的第二壓電元件71經(jīng)由與驅(qū)動擋塊31 的前端部31a連接的第三配線13而與電源部10的第三端子T3連接。第二組驅(qū)動擋塊32 各自具備的第二壓電元件72經(jīng)由與驅(qū)動擋塊32的前端部3 連接的第四配線14而與電源部10的第四端子T4連接。另外,在圖7A以及圖7B中雖然省略圖示,但驅(qū)動擋塊31、32的基部31b、32b被接地。通過以上的構(gòu)成,圖6所示的第一壓電元件6的電極部6a的露出部6b經(jīng)由導(dǎo)電性粘接劑21、電極面2i、第一配線(第二配線12)而與圖7A以及圖7B所示的電源部10電連接。因此,用于驅(qū)動第一壓電元件6的規(guī)定的驅(qū)動電壓被施加到第一壓電元件的電極部 6a和驅(qū)動部3的基部: 之間。另外,用于驅(qū)動第二壓電元件7的規(guī)定的驅(qū)動電壓被施加到驅(qū)動擋塊3的前端部3a和基部北之間。圖8是電源部10在各端子T1、T2、T3、T4上產(chǎn)生的電壓的時序圖的一例。如圖8所示,電源部10對第一端子Tl在第一相位 第二相位期間產(chǎn)生-1. OV的電壓,在第三相位 第七相位的五個相位期間產(chǎn)生1. OV的電壓,在第八相位 第十相位的三個相位期間產(chǎn)生-1. OV的電壓。在之后的相位中重復(fù)在五個相位產(chǎn)生1. OV的電壓,在三個相位產(chǎn)生-1. OV的電壓。S卩,電源部10對第一端子產(chǎn)生以八個相位為一個周期的電壓。電源部10對第二端子T2產(chǎn)生如下的電壓,即,與產(chǎn)生于第一端子Tl的電壓具有 180°的相位差且與產(chǎn)生于第一端子Tl的電壓相同的以八個相位為一個周期的電壓。艮口, 產(chǎn)生于第一端子的電壓和產(chǎn)生于第二端子的電壓具有半個周期量的四個相位的相位差。電源部10對第三端子T3,在第一相位中將產(chǎn)生的電壓維持在0V,在第二相位中產(chǎn)生-3. OV的電壓,在從第三相位到第八相位的各相位中使電壓各增加1. OV0在以后的相位中,重復(fù)該第一相位 第八相位的電壓產(chǎn)生圖案。即,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生以八個相位為一個周期的電壓。電源部10對第四端子T4產(chǎn)生如下的電壓,即,與產(chǎn)生于第三端子T3的電壓具有 180°的相位差且與產(chǎn)生于第三端子T3的電壓相同的以八個相位為一個周期的電壓。艮口, 產(chǎn)生于第三端子的電壓和產(chǎn)生于第四端子的電壓具有半個周期量的四個相位的相位差。在本實施方式中,電源部10供給至第一壓電元件6以及第二壓電元件7的電壓的頻率與支撐驅(qū)動部(構(gòu)造部)Ia的共振振動的振動頻率大致相等,其中,該支撐驅(qū)動部Ia 由第一壓電元件6、第二壓電元件7、驅(qū)動擋塊3以及基底部2構(gòu)成。接著,使用圖9至圖12說明本實施方式的驅(qū)動裝置1的作用。圖9 圖11是表示第一組驅(qū)動擋塊31和第二組驅(qū)動擋塊32的動作和轉(zhuǎn)動體4 的動作的放大主視圖。圖12是表示第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a以及第二組驅(qū)動擋塊32的前端部 32a的各軸方向的位移和時間t的關(guān)系的圖表。在圖12的(a)以及圖12的(b)中,Y軸方向上的與轉(zhuǎn)動體4的接觸位置yl用虛線表示。在圖9的(a) 圖11的(a)中,使用以下的直角坐標系進行說明,即,將沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R(參照圖4)的第一組驅(qū)動擋塊31的寬度w31方向(第一方向)設(shè)為Xl 方向,將與支撐軸5(參照圖2)平行的方向(第二方向)設(shè)為Y方向的直角坐標系。在圖 9的(b) 圖11的(b)中,使用以下的直角坐標系進行說明,即,將沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的第二組驅(qū)動擋塊32的寬度w32方向(第一方向)設(shè)為X2方向,將與支撐軸5平行的方向(第二方向)設(shè)為Y方向的直角坐標系。(第零相位)如圖8所示,在第零相位中,電源部10未對各端子T 1、T2、T3、T4產(chǎn)生電壓(0V), 是對圖7Α以及圖7Β所示的第一壓電元件6以及第二壓電元件7供給OV的電壓(未供給電壓)狀態(tài)。如圖9的(a)以及圖9的(b)所示,在第零相位中,第一組驅(qū)動擋塊31和第二組驅(qū)動擋塊32以各自的前端部31a、32a的上面與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)靜止。轉(zhuǎn)動體4以被驅(qū)動擋塊31、32的前端部3la、3 支撐的狀態(tài)靜止。(第一相位)如圖8所示,在第一相位中,電源部10對第一端子Tl產(chǎn)生-1. OV的電壓,經(jīng)由第一配線11對圖7A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的電極部61a供給電壓。 另外,如圖8所示,在第一相位中,電源部10將第三端子T3的電壓維持在0V,經(jīng)由第三配線 13對圖7B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給OV的電壓。如果這樣,則如圖9的(a)所示,在第一相位中,驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61厚度切變變形,而使驅(qū)動擋塊31的基部31b相對于保持部加的支撐面2f向Y方向的基底部2側(cè)(Y軸負方向側(cè))移動(參照圖12的(a)、第一相位)。另外,如圖9的(a) 所示,在第一相位中,第二壓電元件71不變形,前端部31a不向Xl方向移動(參照圖12的 (C)、第一相位)。由此,驅(qū)動擋塊31的前端部31a向Y軸負方向側(cè)移動而離開轉(zhuǎn)動體4。如圖8所示,在第一相位中,電源部10對第二端子T2產(chǎn)生1. OV的電壓,經(jīng)由第二配線12對圖7A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的電極部6 供給電壓。另夕卜,如圖8所示,在第一相位中,電源部10將第四端子T4的電壓維持在0V,經(jīng)由第四配線對圖7B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給OV的電壓。如果這樣,則如圖9的(b)所示,在第一相位中,驅(qū)動第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62厚度切變變形,而使驅(qū)動擋塊32的基部32b相對于保持部加的支撐面2f向Y 方向的轉(zhuǎn)動體4側(cè)(Y軸正方向側(cè))移動(參照圖12的(b)、第一相位)。另外,如圖9的 (b)所示,在第一相位中,第二壓電元件72不變形,前端部3 不向X2方向移動(參照圖 12的(d)、第一相位)。由此,驅(qū)動擋塊32向Y軸正方向側(cè)移動,前端部3 將轉(zhuǎn)動體4向 Y軸正方向側(cè)頂起。S卩,在第一相位中,如圖9的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a向Y軸負方向側(cè)移動而離開轉(zhuǎn)動體4。與此同時,如圖9的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊32的前端部 32a與轉(zhuǎn)動體4抵接而支撐轉(zhuǎn)動體4的同時,將轉(zhuǎn)動體4向Y軸正方向側(cè)頂起。(第二相位)如圖8所示,在第二相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在-1. 0V,維持經(jīng)由第一配線11對圖7A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的電極部61a供給的電壓。另外,如圖8所示,在第二相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生-3. OV的電壓,經(jīng)由第三配線13對圖7B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖9的(a)所示,在第二相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊31向Y方向驅(qū)動的第一壓電元件61的變形,并維持前端部31a離開轉(zhuǎn)動體4的狀態(tài)(參照圖12的 (a)、第二相位)。在此狀態(tài)下,如圖9的(a)所示,在第二相位中,第二壓電元件71厚度切變變形,前端部31a相對于基部31b以及基底部2向Xl軸負方向側(cè)移動(參照圖12的(c))。 此時的前端部31a的移動量與供給至第二壓電元件71的電壓的絕對值成比例。如圖8所示,在第二相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,維持經(jīng)由第二配線12對圖7A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的電極部6 供給的電壓。另外,如圖8所示,在第二相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生1. OV的電壓,經(jīng)由第四配線14對圖7B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖9的(b)所示,在第二相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊32向Y方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形,并維持前端部3 與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖12 的(b)、第二相位)。在此狀態(tài)下,如圖9的(b)所示,在第二相位中,第二壓電元件72厚度切變變形,前端部3 相對于基部32b以及基底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖12的 (d)、第二相位)。此時的前端部32a的移動量與電壓的絕對值成比例,因此,小于第一組的前端部31a的向Xl軸負方向側(cè)的移動量。S卩,在第二相位中,如圖9的(b)所示,通過第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 的向 X2軸正方向側(cè)的移動,從前端部32a的上面對轉(zhuǎn)動體4的下面作用摩擦力。在此,如圖3 以及圖4所示,第二組驅(qū)動擋塊32沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R配置在基底部2的圓周方向上。前端部32a向沿著轉(zhuǎn)動體4旋轉(zhuǎn)方向R的驅(qū)動擋塊32的寬度w32方向(X2方向)位移。因此,轉(zhuǎn)動體4被驅(qū)動擋塊32的前端部32a向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動而開始以圖1及圖2所示的支撐軸5為中心的旋轉(zhuǎn)。(第三相位)如圖8所示,在第三相位中,電源部10對第一端子Tl產(chǎn)生正負翻轉(zhuǎn)的1. OV的電壓,經(jīng)由第一配線11對圖7A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的電極部61a供給電壓。另外,如圖8所示,在第三相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生-2. OV的電壓, 經(jīng)由第三配線13對圖7B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖9的(a)所示,在第三相位中,驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61向反方向厚度切變變形而使驅(qū)動擋塊31的基部31b向Y軸正方向側(cè)移動(參照圖12的(a)、第三相位)。與此同時,如圖9的(a)所示,在第三相位中,第二壓電元件71的向Xl軸負方向側(cè)的變形量減少,前端部31a相對于基部31b以及基底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖12的(C)、第三相位)。此時的移動量與在第三相位中新供給的-2. OV和在第二相位中供給的-3. OV的電壓的差成比例。如圖8所示,在第三相位中,電源部10維持第二端子T2的電壓,維持經(jīng)由第二配線12對圖7A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的電極部6 供給的電壓。另夕卜,如圖8所示,在第三相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生2. OV的電壓,經(jīng)由第四配線 14對圖7B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖9的(b)所示,在第三相位中,維持驅(qū)動第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的變形,維持前端部32a與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖12的(b)、第三相位)。在此狀態(tài)下,如圖9的(b)所示,在第三相位中,第二壓電元件72厚度切變變形,前端部3 相對于基部32b以及基底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖12的(d)、第三相位)。此時的移動量與在第三相位中新供給的2. OV和在第二相位中供給的1.0V的電壓的差成比例。S卩,在第三相位中,如圖9的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸正方向側(cè)移動而靠近轉(zhuǎn)動體4并抵接。與此同時,如圖9的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊32的前端部32a與轉(zhuǎn)動體4抵接而支撐轉(zhuǎn)動體4的同時,向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。(第四相位)如圖8所示,在第四相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線11對圖7A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的電極部61a供給的電壓。另外,如圖8所示,在第四相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生-1. OV的電壓,經(jīng)由第三配線13對圖7B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖10的(a)所示,在第四相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊31向Y軸正方向側(cè)驅(qū)動的第一壓電元件61的變形,維持前端部31a與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài)(參照圖 12的(a),第四相位)。與此同時,如圖10的(a)所示,在第四相位中,第二壓電元件71的向Xl軸負方向側(cè)的變形量減少,前端部31a相對于基部31b以及基底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖12的(C)、第四相位)。此時的移動量與在第四相位中新供給的-1. OV和在第三相位中供給的-2. OV的電壓的差的絕對值成比例。如圖8所示,在第四相位中,電源部10對第二端子T2產(chǎn)生正負翻轉(zhuǎn)的-1. OV的電壓,并經(jīng)由第二配線12對圖7A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的電極部62a 供給電壓。另外,如圖8所示,在第四相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生3. OV的電壓, 經(jīng)由第四配線14對圖7B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖10的(b)所示,在第四相位中,驅(qū)動第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62向反方向厚度切變變形而使驅(qū)動擋塊32的基部32b向Y軸負方向側(cè)移動(參照圖12的(b),第四相位)。與此同時,如圖10的(b)所示,在第四相位中,第二壓電元件 72的向X2軸正方向側(cè)的變形量增加,前端部3 相對于基部32b以及基底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖12的(d)、第四相位)。此時的移動量與在第四相位中新供給的3. OV 和在第二相位中供給的2. OV的電壓的差的絕對值成比例。S卩,在第四相位中,如圖10的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a在與轉(zhuǎn)動體4抵接狀態(tài)下向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動,而支撐轉(zhuǎn)動體4并向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。與此同時,如圖10的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊32的前端部32a向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的X2軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸負方向側(cè)移動而離開轉(zhuǎn)動體 4。由此,通過第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a以及第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 將轉(zhuǎn)動體4向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動的同時,將轉(zhuǎn)動體4從第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 傳遞到第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a。此時,在第四相位中,存在雙方的驅(qū)動擋塊31、32極短時間離開轉(zhuǎn)動體4的情況。 即使在這種情況下,轉(zhuǎn)動體4也因其慣性而幾乎不向Y方向位移而停留在被第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 所支撐的位置。因此,轉(zhuǎn)動體4維持Y方向的大致一定的位置,在向旋轉(zhuǎn)方向R被驅(qū)動的狀態(tài)下,被第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a支撐于Y方向,并向旋轉(zhuǎn)方向R被驅(qū)動。由此,轉(zhuǎn)動體4在Y方向的大致一定的位置上以支撐軸5為中心繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。(第五相位)如圖8所示,在第五相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線11對圖7A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的電極部61a供給的電壓。另外,如圖8所示,在第五相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生OV的電壓,經(jīng)由第三配線13對圖7B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給OV的電壓。如果這樣,則如圖10的(a)所示,在第五相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊31向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件61的變形,維持前端部31a與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖12 的(a),第五相位)。在此狀態(tài)下,如圖10的(a)所示,在第五相位中,第二壓電元件71恢復(fù)到原來的形狀,前端部31a相對于基部31b以及基底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖 12的(C)、第五相位)。此時的前端部31a的移動量與在第四相位中供給到第二壓電元件 71的電壓的絕對值成比例。如圖8所示,在第五相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在-1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線12對圖7A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的電極部6 供給的電壓。另外,如圖8所示,在第五相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生OV的電壓,經(jīng)由第四配線14對圖7B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給OV的電壓。如果這樣,則如圖10的(b)所示,在第五相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊32向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形,維持前端部3 離開轉(zhuǎn)動體4的狀態(tài)(參照圖12的 (b),第五相位)。與此同時,如圖10的(b)所示,在第五相位中,第二壓電元件72恢復(fù)到原來的形狀,前端部3 相對于基部32b以及基底部2向X2軸負方向側(cè)移動(參照圖12的 (d)、第五相位)。此時的前端部3 的移動量與在第四相位中供給到第二壓電元件72的電壓的絕對值成比例。S卩,在第五相位中,如圖10的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a維持與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體4的同時,向Xl軸正方向側(cè)移動而向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。與此同時,如圖10的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊32的前端部32a向Y軸負方向側(cè)移動而維持離開轉(zhuǎn)動體4的狀態(tài)的同時,相對于基部32b以及基底部2向與轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R相反的X2軸負方向側(cè)移動。(第六相位)如圖8所示,在第六相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線11對圖7A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的電極部61a供給的電壓。另外,如圖8所示,在第六相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生1. OV的電壓,經(jīng)由第三配線13對圖7B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖10的(a)所示,在第六相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊31向Y方向驅(qū)動的第一壓電元件61的變形,維持前端部31a與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖12的
(a),第六相位)。在此狀態(tài)下,如圖10的(a)所示,在第六相位中,第二壓電元件71厚度切變變形,前端部31a相對于基部31b以及基底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖12的
(c)、第六相位)。此時的移動量與在第六相位中新供給的電壓的絕對值成比例。如圖8所示,在第六相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在-1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線12對圖7A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的電極部6 供給的電壓。另外,如圖8所示,在第六相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生-3. OV的電壓,經(jīng)由第四配線14對圖7B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖10的(b)所示,在第六相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊32向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形,維持前端部3 離開轉(zhuǎn)動體4的狀態(tài)(參照圖12的
(b),第六相位)。在此狀態(tài)下,如圖10的(b)所示,在第六相位中,第二壓電元件72厚度切變變形,前端部3 相對于基部32b以及基底部2向X2軸負方向側(cè)移動(參照圖12的
(d)、第六相位)。此時的前端部3 的移動量與供給到第二壓電元件72的電壓的絕對值成比例。S卩,在第六相位中,如圖10的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a維持與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體4的同時,向Xl軸正方向側(cè)移動而向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。與此同時,如圖10的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 維持離開轉(zhuǎn)動體 4的狀態(tài)的同時,相對于基部32b以及基底部2向與轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R相反的X2軸負方向側(cè)進一步移動。(第七相位)如圖8所示,在第七相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線11對圖7A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的電極部61a供給的電壓。另外,如圖8所示,在第七相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生2. OV的電壓,經(jīng)由第三配線13對圖7B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖10的(a)所示,在第七相位中,維持驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的變形,維持前端部31a與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖12的(a),第七相位)。在此狀態(tài)下,如圖10的(a)所示,在第七相位中,第二壓電元件71厚度切變變形, 前端部31a相對于基部31b以及基底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖12的(c)、第七相位)。此時的移動量與在第七相位中新供給的2. OV和在第六相位中供給的1. OV的電壓的差的絕對值成比例。
如圖8所示,在第七相位中,電源部10對第二端子T2產(chǎn)生正負翻轉(zhuǎn)的1. OV的電壓,并經(jīng)由第二配線12對圖7A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的電極部62a 供給電壓。另外,如圖8所示,在第七相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生-2. OV的電壓, 經(jīng)由第四配線14對圖7B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖10的(b)所示,在第七相位中,驅(qū)動第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62向反方向厚度切變變形而使驅(qū)動擋塊32的基部32b向Y軸正方向側(cè)移動(參照圖12的(b),第七相位)。與此同時,如圖10的(b)所示,在第七相位中,第二壓電元件 72的向X2軸負方向側(cè)的變形量減少,前端部3 相對于基部32b以及基底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖12的(d)、第七相位)。此時的移動量與在第七相位中新供給的-2. OV 和在第六相位中供給的-3. OV的電壓的差的絕對值成比例。S卩,在第七相位中,如圖10的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a維持與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體4的同時,向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。與此同時,如圖 10的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊32的前端部32a向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的X2軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸正方向側(cè)移動而靠近轉(zhuǎn)動體4并抵接。(第八相位)如圖8所示,在第八相位中,電源部10對第一端子Tl產(chǎn)生正負翻轉(zhuǎn)的-1. OV的電壓,并經(jīng)由第一配線11對圖7A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的電極部61a 供給電壓。另外,如圖8所示,在第八相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生3. OV的電壓, 經(jīng)由第三配線13對圖7B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖11的(a)所示,在第八相位中,驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61向反方向厚度切變變形而使驅(qū)動擋塊的基部北向Y軸負方向側(cè)移動(參照圖 12的(a),第八相位)。與此同時,如圖11的(a)所示,在第八相位中,第二壓電元件71的向Xl軸正方向側(cè)的變形量增加,前端部31a相對于基部31b以及基底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖12的(c)、第八相位)。此時的移動量與在第八相位中新供給的3. OV和在第七相位中供給的2. OV的電壓的差的絕對值成比例。如圖8所示,在第八相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線12對圖7A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的電極部6 供給的電壓。另外,如圖8所示,在第八相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生-1.0V的電壓,經(jīng)由第四配線14對圖7B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖11的(b)所示,在第八相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊32向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形而維持前端部3 與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài)(參照圖12 的(b),第八相位)。與此同時,如圖11的(b)所示,在第八相位中,第二壓電元件72的向 X2軸負方向側(cè)的變形量減少,前端部3 相對于基部32b以及基底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖12的(d)、第八相位)。此時的移動量與在第八相位中新供給的-1. OV和在第七相位中供給的-2. OV的電壓的差的絕對值成比例。S卩,在第八相位中,如圖11的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸負方向側(cè)移動而離開轉(zhuǎn)動體4。 與此同時,如圖11的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 在與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài)下,向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的X2軸正方向側(cè)移動而支撐轉(zhuǎn)動體4并向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。由此,通過第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a以及第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 將轉(zhuǎn)動體4向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動的同時,將轉(zhuǎn)動體4從第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a傳遞到第二組驅(qū)動擋塊32的前端部32a。此時,在第八相位中,存在雙方的驅(qū)動擋塊31、32極短時間離開轉(zhuǎn)動體4的情況。 即使在這種情況下,轉(zhuǎn)動體4也因其慣性而幾乎不向Y方向位移而停留在被第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a所支撐的位置。因此,轉(zhuǎn)動體4維持Y方向的大致一定的位置,在向旋轉(zhuǎn)方向R被驅(qū)動的狀態(tài)下,被第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 支撐于Y方向,并向旋轉(zhuǎn)方向R被驅(qū)動。由此,轉(zhuǎn)動體4在Y方向的大致一定的位置上以支撐軸5為中心繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。(第九相位)如圖8所示,在第九相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在-1.0V,并維持經(jīng)由第一配線11對圖7A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的電極部61a供給的電壓。另外,如圖8所示,在第九相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生OV的電壓,經(jīng)由第三配線13對圖7B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給的電壓為0V。如果這樣,則如圖11的(a)所示,在第九相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊31向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件61的變形而維持前端部31a離開轉(zhuǎn)動體4的狀態(tài)(參照圖12的 (a),第九相位)。與此同時,如圖11的(a)所示,在第九相位中,第二壓電元件71恢復(fù)到原來的形狀,前端部31a相對于基部31b以及基底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖12的 (c)、第九相位)。此時的前端部31a的移動量與在第八相位中供給到第二壓電元件7的電壓的絕對值成比例。如圖8所示,在第九相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線12對圖7A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的電極部6 供給的電壓。另外,如圖8所示,在第九相位中,將電源部10產(chǎn)生于第四端子T4的電壓設(shè)為0V, 并將經(jīng)由第四配線14供給至圖7B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72的電壓設(shè)為0V。如果這樣,則如圖11的(b)所示,在第九相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊32向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形而維持前端部3 與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖12 的(b),第九相位)。在此狀態(tài)下,如圖11的(b)所示,在第九相位中,第二壓電元件72恢復(fù)到原來形狀,前端部3 相對于基部32b以及基底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖12 的(d)、第九相位)。此時的前端部32a的移動量與在第八相位中供給到第二壓電元件72 的電壓的絕對值成比例。S卩,在第九相位中,如圖11的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a向Y軸負方向側(cè)移動而維持離開轉(zhuǎn)動體4的狀態(tài)的同時,向與轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R相反的Xl軸負方向側(cè)移動。與此同時,如圖11的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 維持與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體4的同時,向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動而向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。(第十相位)如圖8所示,在第十相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在-1.0V,并維持經(jīng)由第一配線11對圖7A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的電極部61a供給的電壓。另外,如圖8所示,在第十相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生-3. OV的電壓,經(jīng)由第三配線13對圖7B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖11的(a)所示,在第十相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊31向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件61的變形而維持前端部31a離開轉(zhuǎn)動體4的狀態(tài)(參照圖12的 (a),第十相位)。在此狀態(tài)下,如圖11的(a)所示,在第十相位中,第二壓電元件71厚度切變變形,前端部31a相對于基部31b以及基底部2向Xl軸負方向側(cè)移動(參照圖12的 (c)、第十相位)。此時的前端部31a的移動量與供給到第二壓電元件71的電壓的絕對值成比例。如圖8所示,在第十相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線12對圖7A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的電極部6 供給的電壓。另外,如圖8所示,在第十相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生1. OV的電壓,并經(jīng)由第四配線14對圖7B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖11的(b)所示,在第十相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊32向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形而維持前端部3 與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖12 的(b),第十相位)。在此狀態(tài)下,如圖11的(b)所示,在第十相位中,第二壓電元件72厚度切變變形,前端部3 相對于基部32b以及基底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖12 的(d)、第十相位)。此時的移動量與在第十相位中新供給的電壓的絕對值成比例。S卩,在第十相位中,如圖11的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a維持離開轉(zhuǎn)動體4的狀態(tài)的同時,相對于基部31b以及基底部2向Xl軸負方向側(cè)進一步移動。與此同時,如圖11的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 維持與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體4的同時,向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的X2軸正方向側(cè)移動而向旋轉(zhuǎn)方向 R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。在第十一相位以后,重復(fù)進行與上述的自第三相位到第十相位的動作相同的動作而使轉(zhuǎn)動體4繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。由此,通過第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a和前端部3a和第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 交替(依次)地進行轉(zhuǎn)動體4的Y軸方向的支撐以及旋轉(zhuǎn)方向R的驅(qū)動,從而使轉(zhuǎn)動體4繼續(xù)圍繞支撐軸5旋轉(zhuǎn)。本實施方式的驅(qū)動裝置1分別獨立地設(shè)置有第一壓電元件6和第二壓電元件7,其中,該第一壓電元件6向與支撐軸5平行的方向(第二方向)驅(qū)動各驅(qū)動擋塊3,該第二壓電元件7向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的、驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向(第一方向)驅(qū)動驅(qū)動擋塊3的前端部3a。因此,能夠?qū)⒏鞣较虻恼駝幼鳛楠毩⒌恼駝佣〕?。因此,在通過驅(qū)動擋塊3旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體4來使轉(zhuǎn)動體4和驅(qū)動擋塊3相對驅(qū)動時,與以往相比能夠穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體4。另外,與夾住基部北的第一壓電元件6向相互不同的方向驅(qū)動基部北的情況相比,不容易發(fā)生損失,能夠提高能量效率,從而能夠提高驅(qū)動裝置1的輸出。另外,第一壓電元件6的電極部6a具有從基底部2露出的露出部6b。因此,在將具備電極部6a的第一壓電元件6安裝到基底部2時,能夠防止電極部6a被基底部2覆蓋而難以電連接。由此,能夠容易且可靠地進行驅(qū)動裝置1的組裝,能夠提高生產(chǎn)率以及成品率。另外,在本實施方式中,將電極部6a形成為通常的矩形形狀,將從基底部2露出的部分作為露出部6b。即,不需要將電極部6a形成為特殊的形狀。另外,第一壓電元件6的電極部6a與第一壓電元件6設(shè)置成一體。因此,與單獨設(shè)置電極部6a和第一壓電元件6 而分別組裝到基底部2的情況相比,能夠減少步驟數(shù)而容易組裝。另外,如圖5A、圖5B以及圖6所示,第一壓電元件6的電極部6a設(shè)置在與基底部 2的保持部加的支撐面2f相向的面上。因此,能夠使作為電極部6a的一部分的露出部6b 從基底部2露出。另外,在組裝驅(qū)動裝置1時,第一壓電元件6以及其電極部6a的轉(zhuǎn)動體4側(cè)的端部位置存在因制造工序上的誤差而較之基底部2的轉(zhuǎn)動體4側(cè)端面偏移到保持部加的底面2g側(cè)的情況。在本實施方式中,在基底部2設(shè)置有倒角部池而作為用于露出電極部6a的露出部6b的露出形成部。因此,即使在組裝時產(chǎn)生誤差的情況下,也能夠?qū)⒙冻霾?b可靠地從基底部2露出。另外,倒角部池設(shè)置在基底部2的轉(zhuǎn)動體4側(cè)端部的角部。因此,例如與將凹狀切口或缺口設(shè)置在外周側(cè)的角部和內(nèi)周側(cè)的角部之間的端面上的情況、將凹狀切口或缺口設(shè)置在保持部加的支撐面2f的局部的情況相比,能夠提高基底部2以及保持部加的剛性。 由此,能夠更加獨立地取出驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向(第一方向)和與支撐軸5平行的方向(第二方向)上的振動。另外,通過使露出形成部為倒角部2h,能夠在通常的制造工序中容易形成。因此, 能夠防止制造工序復(fù)雜化,能夠防止制造工序數(shù)的增加,能夠防止生產(chǎn)率下降。另外,由于露出部6b和電源部10電連接,因此能夠經(jīng)由露出部6b對電極部6a施加在電源部10中產(chǎn)生的電壓。另外,通過將電壓施加于電極部6a和驅(qū)動擋塊3的基部之間,能夠驅(qū)動第一壓電元件6。另外,第一壓電元件6從寬度w3方向夾住驅(qū)動擋塊3的基部北,第一壓電元件6 向與寬度《3方向不同的、平行于支撐軸5的方向驅(qū)動驅(qū)動擋塊3。另外,夾住基部北的一對第一壓電元件6、6的尺寸以及形狀大致相等。由此,能夠使驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向的剛性變得均勻。因此,能夠抑制驅(qū)動擋塊3的基部北的寬度w3方向的振動。另外,通過將所有的第一壓電元件6以及第二壓電元件7設(shè)為相同的形狀以及尺寸,能夠使制造變得容易且提高生產(chǎn)率。此外,在基底部2設(shè)置有將驅(qū)動擋塊3以能夠向與支撐軸5平行的方向驅(qū)動的方式保持的保持部加。在保持部加設(shè)置有從驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向支撐驅(qū)動擋塊3的基部北的支撐面2f。因此,能夠通過支撐面2f支撐第一壓電元件6,并經(jīng)由第一壓電元件6 從寬度《3方向支撐驅(qū)動擋塊3的基部北。由此,能夠進一步提高驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向的剛性,抑制驅(qū)動擋塊3的基部北的寬度w3方向的振動。在此,第一壓電元件6的厚度方向的彈性模量(縱彈性模量)和變形方向的彈性模量(橫彈性模量)之比例如為約3 1左右。因此,能夠提高驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向的剛性,降低基部北的驅(qū)動方向的剛性。由此,能夠防止基部北的寬度w3方向的移動而抑制振動。另外,能夠使基部北的驅(qū)動方向的位移變得容易。另外,如圖5A以及圖5B所示,保持部加的支撐面2f設(shè)置成向與驅(qū)動擋塊3的支撐軸5平行的方向傾斜,隨著離開轉(zhuǎn)動體4而越是靠近保持部加的底面2g,支撐面2f、2f 彼此的寬度《4就越窄。另外,支撐面2f、2f彼此的寬度w4’與底面2g相比在轉(zhuǎn)動體4側(cè)窄于驅(qū)動擋塊3的基部北和一對第一壓電元件6的寬度w5。因此,如果將驅(qū)動擋塊3的基部北和夾住其的第一壓電元件6、6從轉(zhuǎn)動體4側(cè)沿著與支撐軸5平行的方向插入到保持部加的底面2g側(cè),則基部北和第一壓電元件6在支撐面2f的途中被支撐面2f從寬度w4方向夾住而被支撐。由此,能夠?qū)Ⅱ?qū)動擋塊3定位到與支撐軸5平行的方向。另外,由于支撐面2f不限制驅(qū)動擋塊3的向轉(zhuǎn)動體4側(cè)的驅(qū)動, 因此能夠?qū)Ⅱ?qū)動擋塊3保持成能夠向轉(zhuǎn)動體4側(cè)驅(qū)動。另外,與支撐面2f相向的驅(qū)動擋塊3的基部北的側(cè)面3c設(shè)置成與支撐面2f相同地傾斜而大致平行于支撐面2f。因此,在將驅(qū)動擋塊3的基部北和夾住該基部北的第一壓電元件6、6從轉(zhuǎn)動體4側(cè)沿著與支撐軸5平行的方向插入到保持部加的底面2g側(cè)時, 使第一壓電元件6和保持部加的支撐面2f無間隙地接觸,從而能夠?qū)⒌谝粔弘娫?壓接在支撐面2f。由此,能夠抑制驅(qū)動擋塊3的基部北的寬度w3方向的振動。另外,由于支撐面2f相對于與支撐軸5平行的方向的傾斜角度α為2°以上6° 以下,因此能夠?qū)Ⅱ?qū)動擋塊3的與支撐軸5平行的方向上的定位誤差納入到容許誤差的范圍內(nèi)。在此,如果傾斜角度α小于2°,則不僅降低定位的精度,而且制作變得困難。另外, 如果傾斜角度α大于6°,則對驅(qū)動擋塊3的向與支撐軸5平行的方向驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。 在本實施方式中,通過將傾斜角度α設(shè)為4°,能夠獲得良好的定位精度、制作性以及驅(qū)動性。另外,在驅(qū)動擋塊3由保持部加的支撐面2f定位的中立位置上,驅(qū)動擋塊3的基部北的底面3d和保持部加的底面2g在驅(qū)動擋塊3的基部北的驅(qū)動方向即與支撐軸5 平行的方向上分離。因此,能夠?qū)Ⅱ?qū)動擋塊3從中立位置向基底部2側(cè)驅(qū)動。再有,在本實施方式中,在將驅(qū)動擋塊3從中立位置向基底部2側(cè)驅(qū)動時,基部北的底面3d和保持部加的底面2g也分離。因此,在將驅(qū)動擋塊3向基底部2側(cè)驅(qū)動時,能夠防止基部北的底面3d 和保持部加的底面2g碰撞,而防止因碰撞產(chǎn)生的壞影響波及到驅(qū)動擋塊3的驅(qū)動。另外,驅(qū)動擋塊3具備前端部3a,支撐轉(zhuǎn)動體4而使其向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動;以及基部3b,以被一對第一壓電元件6夾住的狀態(tài)被基底部2的保持部加所保持。再有,驅(qū)動擋塊3在前端部3a和基部北之間具備第二壓電元件7,該第二壓電元件7向沿著轉(zhuǎn)動體4 的旋轉(zhuǎn)方向R的、保持部加以及驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向驅(qū)動前端部3a。因此,通過將驅(qū)動擋塊3向?qū)挾葁3方向驅(qū)動,旋轉(zhuǎn)方向R的切線方向的摩擦力作用于轉(zhuǎn)動體4的下面和驅(qū)動擋塊3的前端部3a之間,從而能夠?qū)⑥D(zhuǎn)動體4向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。另外,能夠分別獨立地控制第一壓電元件6以及第二壓電元件7。由此,能夠獨立地控制驅(qū)動擋塊3的前端部3a的沿著支撐軸5的方向的驅(qū)動、和轉(zhuǎn)動體4的沿著旋轉(zhuǎn)方向R的方向的驅(qū)動。另外,通過使第一壓電元件6以及第二壓電元件7同時動作,能夠同時進行驅(qū)動擋塊3的前端部3a的沿著支撐軸5的方向的驅(qū)動、和轉(zhuǎn)動體4的沿著旋轉(zhuǎn)方向R的方向的驅(qū)動。因此,如圖9 圖11所示,在轉(zhuǎn)動體4和前端部3a接觸時以及分離時,使驅(qū)動擋塊3的前端部3a沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R移動,不妨礙轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)而能夠進行轉(zhuǎn)動體4的從第一組驅(qū)動擋塊31到第二組驅(qū)動擋塊32的傳遞。另外,構(gòu)成第一組和第二組兩組的驅(qū)動擋塊3組,該驅(qū)動擋塊3組中驅(qū)動擋塊3以及夾住其基部北的兩對第一壓電元件6、6各具備三個。因此,能夠以不同的時序驅(qū)動各組。 另外,能夠通過各組的驅(qū)動擋塊31、32的前端部31a、3h三點支撐轉(zhuǎn)動體4。因此,與兩點支撐、四點以上支撐的情況相比,能夠穩(wěn)定地進行轉(zhuǎn)動體4的支撐。另外,各組的驅(qū)動擋塊31、32均等地配置在轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R上。第一組驅(qū)動擋塊31和第二組驅(qū)動擋塊32交替地依次配置在旋轉(zhuǎn)方向R上。因此,通過各組驅(qū)動擋塊31、32高平衡地支撐轉(zhuǎn)動體4,并能夠高效率地向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。另外,驅(qū)動擋塊3的前端部3a驅(qū)動的方向是與驅(qū)動擋塊3的基部北被第一壓電元件6以及保持部加的支撐面2f夾住的方向相同的方向。因此,在驅(qū)動擋塊3的前端部3a 進行進給驅(qū)動以及返回驅(qū)動的情況下,能夠從驅(qū)動方向的前后支撐驅(qū)動擋塊3的基部北。 因此,能夠抑制驅(qū)動擋塊3從與支撐軸5平行的方向偏離,而防止對轉(zhuǎn)動體4的驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。另外,通過電源部10對第一組驅(qū)動擋塊31以及第二組驅(qū)動擋塊32供給具有相位差的電壓,而能夠通過各組的驅(qū)動擋塊31、32分別驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。另外,通過將電源部10對各組的第一壓電元件6以及第二壓電元件7供給的電壓的相位差設(shè)為180°,而能夠通過第一組驅(qū)動擋塊31和第二組驅(qū)動擋塊32交替地依次驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。另外,電源部10對各組的第一壓電元件6以及第二壓電元件7供給電壓,使得驅(qū)動擋塊3的前端部3a依次重復(fù)與轉(zhuǎn)動體4的接觸、向驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向的進給、從轉(zhuǎn)動體4的分離、驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向的返回,從而能夠連續(xù)進行轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。另外,如圖8的第三相位、第七相位、第十四相位所示,電源部10使供給到第一端子Tl的電壓和供給到第二端子T2的電壓交疊。由此,能夠連續(xù)且順利地進行轉(zhuǎn)動體4的從第一組驅(qū)動擋塊31到第二組驅(qū)動擋塊32的傳遞。另外,如圖8所示,電源部10在使驅(qū)動擋塊3的前端部3a進行向?qū)挾葁3方向的進給驅(qū)動時,使供給到第三端子T3以及第四端子T4的電壓的增加率(傾斜度)不同于返回驅(qū)動時的電壓的減少率(傾斜度)。例如,在第三端子T3中,在進給驅(qū)動前端部3a的第二相位至第八相位中的各相位中使電壓各增加1.0V,并且在返回驅(qū)動前端部3a的第九相位至第十相位中的各相位中使電壓各減少3. 0V。由此,能夠使驅(qū)動擋塊3的前端部3a的進給驅(qū)動的時間長于返回驅(qū)動的時間,能夠延長驅(qū)動擋塊3的前端部3a和轉(zhuǎn)動體4的接觸時間。因此,能夠?qū)Ⅱ?qū)動擋塊3的動力更加有效地傳遞到轉(zhuǎn)動體4。另外,電源部10供給至第一壓電元件6以及第二壓電元件7的電壓的頻率與支撐驅(qū)動部Ia的共振振動的振動頻率大致相等,其中,該支撐驅(qū)動部Ia由第一壓電元件6、第二壓電元件7、驅(qū)動擋塊3以及基底部2構(gòu)成。因此,能夠進一步加大通過驅(qū)動擋塊3的前端部3a進行的轉(zhuǎn)動體4的進給驅(qū)動以及返回驅(qū)動的振幅。支撐驅(qū)動部Ia的共振振動的頻率是通過適當(dāng)選定基底部2、壓電元件、驅(qū)動擋塊3的前端部3a以及基部北的材質(zhì)來調(diào)節(jié)。另外,在本實施方式中,如圖8所示,從第一端子Tl以及第二端子T2供給至各組的驅(qū)動擋塊31、32的第一壓電元件61、62的電壓的周期與從第三端子T3以及第四端子T4 供給至各組的第二壓電元件71、72的電壓的周期相等。因此,驅(qū)動擋塊31、32的與支撐軸 5平行方向的驅(qū)動、和驅(qū)動擋塊31、32的寬度w31、w32方向的前端部3la、32a的驅(qū)動的振動頻率相等。由此,能夠使與支撐軸5平行方向的驅(qū)動擋塊31、32的振幅、和驅(qū)動擋塊31、 32的寬度w31、w32方向的前端部3la、32a的振幅成為最大振幅。另外,驅(qū)動擋塊3的前端部3a以沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的截面積越靠近轉(zhuǎn)動體就越小的方式設(shè)置成前端狹窄狀。因此,與將前端部3a形成為長方體的形狀的情況相比,可以減少前端部3a和轉(zhuǎn)動體4的接觸面積,減小因前端部3a的磨損而產(chǎn)生的前端部3a 的體積變化率。由此,能夠減小因前端部3a的磨損而產(chǎn)生的前端部3a的重量的變化,能夠減小驅(qū)動擋塊3的共振頻率的變化。另外,通過將前端部3a設(shè)為六角柱的形狀,與其他形狀相比能夠提高前端部3a的剛性。另外,在與支撐軸5大致平行地設(shè)置且與驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向大致垂直地交叉的基部2的側(cè)面2c形成有槽部2d。S卩,槽部2d設(shè)置成相對于經(jīng)由基底部2傳播的與支撐軸5大致平行方向的振動大致垂直地交叉。因此,通過槽部2d吸收振動,從而能夠減少由基底部2進行的振動的傳播。另外,第一壓電元件6設(shè)置在轉(zhuǎn)動體4和槽部2d之間。因此,能夠減少從基底部 2的與轉(zhuǎn)動體4相反側(cè)越過槽部2d傳播的振動。另外,基底部2的與保持驅(qū)動擋塊3的保持部加相反側(cè)的端部固定在安裝部 IOla,槽部2d設(shè)置在較之驅(qū)動擋塊3靠近安裝部IOla的位置。因此,即使在安裝部IOla 的振動傳播到基底部2的情況下,在自驅(qū)動擋塊3比較遠的位置也使振動減少,從而能夠防止安裝部IOla的振動對驅(qū)動擋塊3的驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。另外,槽部2d的與支撐軸5平行的方向的寬度wl大于基底部2的振動的振幅。因此,能夠防止槽部2d的兩側(cè)的基底部2彼此碰撞。另外,槽部2d的與支撐軸5平行的方向的寬度wl大于支撐驅(qū)動部Ia的共振振動的振幅,其中,該支撐驅(qū)動部Ia由基底部2、驅(qū)動擋塊3、第一壓電元件6以及第二壓電元件 7構(gòu)成。因此,即使在支撐驅(qū)動部Ia以共振狀態(tài)振動的情況下,也能夠防止槽部2d的兩側(cè)的基底部2彼此碰撞。另外,通過將槽部2d的深度dl設(shè)為基底部2的半徑的40%以上80%以下,能夠在充分確?;撞?的強度的同時,獲得充分的抑制振動傳播的效果。另外,由于在基底部2和支撐軸5之間形成有間隙2e,因此能夠減少從基底部2向支撐軸5傳播的振動。另外,能夠減少從支撐軸5向基底部2傳播的振動。因此,能夠防止對驅(qū)動擋塊3以及轉(zhuǎn)動體4的驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。接著,說明具備本實施方式的驅(qū)動裝置1的鏡頭鏡筒以及相機的一例。本實施方式的可更換鏡頭與相機機身一起形成相機系統(tǒng)??筛鼡Q鏡頭能夠切換為AF(自動對焦)模式和MF(手動對焦)模式,其中,AF模式是根據(jù)公知的AF控制而進行對焦動作,MF模式是根據(jù)來自攝影者的手動輸入進行對焦動作。圖13是示意性地表示本實施方式中的相機101的構(gòu)成的概略構(gòu)成圖。如圖13所示,相機101具備內(nèi)置有攝像元件108的相機機身102、和具有透鏡107 的鏡頭鏡筒103。鏡頭鏡筒103是能夠裝卸于相機機身102的可更換鏡頭。鏡頭鏡筒103具備透鏡 107、凸輪筒106、驅(qū)動裝置1等。使用驅(qū)動裝置1作為在相機101的對焦動作時驅(qū)動透鏡 107的驅(qū)動源。從驅(qū)動裝置1的轉(zhuǎn)動體4獲得的驅(qū)動力直接傳遞到凸輪筒106。透鏡107被凸輪筒106所保持,是通過驅(qū)動裝置1的驅(qū)動力向與光軸L大致平行方向移動而進行焦點調(diào)節(jié)的對焦透鏡。在使用相機101時,通過設(shè)置在鏡頭鏡筒103內(nèi)的透鏡組(包括透鏡107),將被攝體像成像到攝像元件108的攝像面。通過攝像元件108成像的被攝體像轉(zhuǎn)換成電信號。通過A/D轉(zhuǎn)換該信號,獲得圖像數(shù)據(jù)。如以上所說明,本實施方式的相機101以及鏡頭鏡筒103具備在上述的實施方式中說明的驅(qū)動裝置1。因此,與以往相比能夠穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體4,通過提高了輸出的驅(qū)動裝置1能夠直接驅(qū)動凸輪筒106。因此,能量損失較少,能夠獲得節(jié)能的效果。另外,能夠減少部件件數(shù)。在本實施方式中示出了鏡頭鏡筒103為可更換鏡頭的例,但不限定于此。例如,也可以為與相機機身一體型的鏡頭鏡筒。此外,本發(fā)明的方式不限定于上述的實施方式,在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)能夠進行各種變形。例如,第一壓電元件的電極部也可以不與第一壓電元件一體地設(shè)置。 艮口,也可以分離電極部和第一壓電元件,在使保持部保持驅(qū)動擋塊時使電極部和第一壓電元件接合。另外,電極部也可以通過從基底部突出而具有從基底部露出的耳片狀(翼片 (tab)狀)的露出部。另外,在將第一壓電元件接合在驅(qū)動擋塊的側(cè)面的狀態(tài)下,在使保持部保持驅(qū)動擋塊時,事先調(diào)節(jié)第一壓電元件的尺寸、電極部的尺寸以及它們的粘貼位置,使得電極部從基底部的轉(zhuǎn)動體側(cè)的端部或從基底部的側(cè)面突出,從而將電極部從基底部突出而露出的部分作為露出部。另外,露出電極部的露出部的露出形成部不限定于在上述的實施方式中說明的倒角部。例如,在與上述的倒角部相同地在基底部端部的角部設(shè)置露出形成部的情況下,也可以通過僅在保持部的兩側(cè)部分的角部設(shè)置倒角部、切口部或缺口部,來露出露出部。另外, 在基底部的轉(zhuǎn)動體側(cè)的端部設(shè)置露出形成部的情況下,也可以在外周側(cè)的角部和內(nèi)周側(cè)的角部之間設(shè)置槽狀的倒角部、切口部或缺口部。另外,也可以在基底部的轉(zhuǎn)動體側(cè)的端部和保持部的底面之間的基底部的側(cè)面設(shè)置倒角部、切口部或缺口部而露出露出部。另外,在上述實施方式中,說明了使用導(dǎo)電性粘接劑作為導(dǎo)通電極部的露出部和電極面的導(dǎo)電性材料的情況,但導(dǎo)電性材料不限定于導(dǎo)電性粘接劑。作為其他的導(dǎo)電性材料,例如可以使用導(dǎo)電膏體、焊錫、焊料等。另外,在上述實施方式中說明了第一壓電元件以及第二壓電元件厚度切變變形的情況,但它們也可以是向厚度方向變形。在此情況下,驅(qū)動擋塊通過第一壓電元件向保持部的寬度方向(第一方向)移動,驅(qū)動擋塊的前端部通過第二壓電元件向與旋轉(zhuǎn)軸平行的方向(第二方向)移動。另外,如果基底部圍繞支撐軸而設(shè)置,則可以分割為多個,也可以不完全圍繞支撐軸。例如,基底部可以偏于圍繞支撐軸的圓周上的一半而配置,也可以配置成從兩側(cè)夾住支撐軸。另外,在上述實施方式中,雖然說明了用于向與支撐軸平行方向驅(qū)動驅(qū)動擋塊的第一壓電元件以夾住驅(qū)動擋塊的方式設(shè)置有一對的情況,但第一壓電元件可以僅設(shè)置在驅(qū)動擋塊的一個側(cè)面。另外,可以使用向厚度方向位移的壓電元件作為第一壓電元件,將第一壓電元件配置在基底部的保持部的底面和驅(qū)動擋塊的基部的底面之間。在此情況下,通過設(shè)置在基底部的保持部的支撐面不經(jīng)由壓電元件而從沿著轉(zhuǎn)動體旋轉(zhuǎn)方向的保持部的寬度方向的兩側(cè)直接支撐基部。另外,也可以使支撐面起到將基部保持成能夠向與支撐軸平行的方向滑動的導(dǎo)向部的作用。另外,在上述的實施方式中,雖然說明了具備兩組驅(qū)動擋塊組的情況,但驅(qū)動擋塊組也可以為三組以上,其中,該驅(qū)動擋塊組具備第一壓電元件以及第二壓電元件。另外,驅(qū)動擋塊組所具備的驅(qū)動擋塊的數(shù)量可以為一個、兩個或者四個以上。例如,在上述實施方式中,也可以將配置在基底部對角上的兩個驅(qū)動擋塊作為一組,而構(gòu)成三組驅(qū)動擋塊組。在此情況下,可以將各組電壓的相位差例如設(shè)為120度。由此,始終通過兩組驅(qū)動擋塊支撐并旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體。驅(qū)動擋塊各組的電壓相位差只要是將360度除以組數(shù)的值(即,兩組的情況下為180度、三組的情況下為120度)即可。另外,在上述的實施方式中,說明了第一壓電元件夾住驅(qū)動擋塊的基部的方向 (第一方向)與第二壓電元件驅(qū)動驅(qū)動擋塊的前端部的方向(第三方向)相同的情況,但可以使它們不同。例如,通過將第三方向設(shè)為與驅(qū)動擋塊的寬度w3方向交叉且沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向,而使轉(zhuǎn)動體容易旋轉(zhuǎn)。另外,基底部的支撐面也可以不傾斜于與支撐軸平行的方向(第二方向)。例如, 如圖14A所示,也可以設(shè)置凸起狀的卡止部,該卡止部將第一壓電元件的保持部的底面?zhèn)鹊亩瞬靠ㄖ褂诒3植?。另外,如圖14B所示,使第一壓電元件的保持部的底面?zhèn)鹊亩瞬客怀鲇诨康牡酌娑蛊淦鸬蕉ㄎ徊康淖饔?,可以通過使定位部接觸到保持部的底面來進行定位。另外,從確?;撞康膹姸鹊挠^點出發(fā),也可以將基底部和支撐軸之間的間隙形成至槽部的保持部側(cè)的邊緣。另外,從電源部的各端子向第一壓電元件以及第二壓電元件供給的電壓也可以為正弦波、正弦波狀的電壓波形。首先,使用圖15以以下的情況為例進行說明,即,與上述的實施方式相同地構(gòu)成第一組和第二組兩組驅(qū)動擋塊組,產(chǎn)生于電源部的第一端子和第二端子的正弦波的電壓波形的相位差為180°,產(chǎn)生于第三端子和第四端子的正弦波的電壓波形的相位差為180° 的情況。與圖12的(a) 圖12的(d)相同地,圖15的(a)表示第一組驅(qū)動擋塊的前端部的Y方向的位移。圖15的(b)表示第二組驅(qū)動擋塊的前端部的Y方向的位移。另外,圖15 的(c)表示第一組驅(qū)動擋塊的Xl方向的位移。圖15的(d)表示第二組驅(qū)動擋塊的X2方向的位移(參照圖9 圖11)。在產(chǎn)生于電源部的第一端子和第二端子的正弦波的電壓波形的相位差為180°的情況下,如圖15的(a)以及圖15的(b)所示,向Y軸方向驅(qū)動的第一組以及第二組驅(qū)動擋塊的前端部畫出具有180°相位差的正弦波狀的軌跡。此時,第一組驅(qū)動擋塊的前端部如在圖15的(a)中用粗線所表示那樣,如果Y軸方向的位移越過接觸位置yl,則與轉(zhuǎn)動體接觸 (參照圖9 圖11)。另外,如在圖15的(b)中用粗線所表示那樣,第二組驅(qū)動擋塊的前端部也同樣地與轉(zhuǎn)動體接觸。在此,在圖15的(a)中所示的第一組驅(qū)動擋塊的軌跡與在圖15的(b)的第二組驅(qū)動擋塊的軌跡具有180°的相位差。因此,第一組驅(qū)動擋塊的前端部和第二組驅(qū)動擋塊的前端部交替地與轉(zhuǎn)動體接觸而支撐轉(zhuǎn)動體(參照圖9 圖11)。此時,與上述的實施方式相同地,存在雙方的驅(qū)動擋塊的前端部離開轉(zhuǎn)動體的期間。但是,與上述的實施方式相同地, 在此期間,轉(zhuǎn)動體因其慣性而幾乎不向Y方向位移。同樣地,在產(chǎn)生于電源部的第二端子和第三端子的正弦波的電壓波形的相位差為 180°的情況下,如圖15的(c)以及圖15的(d)所示,向Xl軸方向以及X2軸方向驅(qū)動的第一組以及第二組的驅(qū)動擋塊的前端部畫出正弦波狀的軌跡(參照圖9 圖11)。在此,如在圖15的(c)中用粗線所表示那樣,第一組驅(qū)動擋塊的前端部在與轉(zhuǎn)動體接觸期間(在圖15的(a)中表示的粗線部分的期間)向沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向的Xl軸正方向移動(參照圖9 圖11)。另外,如在圖15的(d)中用粗線所表示那樣,第二組驅(qū)動擋塊的前端部也同樣地在與轉(zhuǎn)動體接觸期間(在圖15的(b)中表示的粗線部分的期間) 向沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向的X2軸正方向移動。因此,與上述的實施方式相同地,轉(zhuǎn)動體通過第一組驅(qū)動擋塊和第二組驅(qū)動擋塊交替地向旋轉(zhuǎn)方向驅(qū)動(參照圖9 圖11)。接著,使用圖16說明構(gòu)成第一組至第三組的三組驅(qū)動擋塊組且對電源部的各端子產(chǎn)生具有120°相位差的正弦波或正弦波狀的電壓波形的情況。在此情況下,作為電源部,除了具備上述的第一端子至第四端子之外,還具備分別向第三組驅(qū)動擋塊的第一壓電元件和第二壓電元件供給電壓的第五端子和第六端子。另外,與第一組驅(qū)動擋塊的Xl方向以及第二組驅(qū)動擋塊的X2方向(參照圖9 圖11)相同地,將垂直于支撐軸且沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向的第三組驅(qū)動擋塊的寬度方向(保持部的寬度方向)設(shè)為X3方向。圖16的(a)表示第一組至第三組驅(qū)動擋塊的前端部的Y方向的位移。圖16的 (b)表示第一組至第三組驅(qū)動擋塊的前端部的Xl X3方向的位移。在圖16的(a)以及圖16的(b)中,將第一組驅(qū)動擋塊的前端部的軌跡用實線表示,將第二組驅(qū)動擋塊的前端部的軌跡用虛線表示,第三組驅(qū)動擋塊的軌跡用點劃線表示。在電源部供給到各組第一壓電元件的電壓波形具有120°的相位差的情況下,如圖16的(a)所示,向Y軸方向驅(qū)動的各組驅(qū)動擋塊的前端部畫出具有120度相位差的正弦波狀的軌跡。此時,各組驅(qū)動擋塊的前端部如在圖16的(a)中用粗線所示那樣,如果Y方向的位移越過接觸位置yl,則與轉(zhuǎn)動體接觸(參照圖9 圖11)。在此,在圖16的(a)中所示的各組驅(qū)動擋塊的軌跡具有120°的相位差。因此,各組驅(qū)動擋塊的前端部依次與轉(zhuǎn)動體接觸而支撐轉(zhuǎn)動體(參照圖9 圖11)。在此時,與上述的餓實施方式相同地存在各組驅(qū)動擋塊的前端部離開轉(zhuǎn)動體的期間。但是,與上述的實施方式相同地,在此期間,轉(zhuǎn)動體因其慣性而幾乎不向Y方向位移。相同地,在電源部供給到各組的第二壓電元件的電壓波形具有120°相位差的情況下,如圖15的(b)所示,向Xl X3軸方向驅(qū)動的各組驅(qū)動擋塊的前端部畫出正弦波狀的軌道(參照圖9 圖11)。在此,如在圖16的(b)中用粗線所示那樣,各組驅(qū)動擋塊的前端部在與轉(zhuǎn)動體接觸期間(圖16的(a)中所示的粗線部分的期間),向沿著轉(zhuǎn)動體旋轉(zhuǎn)方向的Xl X3軸方正方向移動(參照圖9 圖11)。因此,與上述的實施方式相同地,轉(zhuǎn)動體通過各組驅(qū)動擋塊依次向旋轉(zhuǎn)方向驅(qū)動 (參照圖9 圖11)。
(2)第二實施方式參照
本發(fā)明的第二實施方式涉及的驅(qū)動裝置如下。本實施方式的驅(qū)動裝置201例如通過進行使轉(zhuǎn)動體等第二部件相對于驅(qū)動擋塊等第一部件相對位移的相對驅(qū)動,來驅(qū)動相機的鏡頭鏡筒等光學(xué)儀器、電子儀器。圖17是本實施方式的驅(qū)動裝置201的主視圖,圖18是其截面圖。如圖17以及圖18所示,驅(qū)動裝置201具備設(shè)置有多個保持部20 的基底部(基底部件)202、被保持部20 保持的驅(qū)動擋塊(第一部件)203、與驅(qū)動擋塊203相鄰而配置的轉(zhuǎn)動體(第二部件)204、和插通于基底部202的支撐軸205。在轉(zhuǎn)動體204的外周面上形成有例如用于驅(qū)動相機的鏡頭鏡筒等的齒輪204a。轉(zhuǎn)動體204的基底部202側(cè)的被支撐面204b由多個驅(qū)動擋塊203支撐。轉(zhuǎn)動體204經(jīng)由軸承2(Me被支撐軸205軸支撐,并以支撐軸205為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置。即,支撐軸205 沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)軸Rl而設(shè)置?;撞?03為具有導(dǎo)電性的彈性體,例如通過不銹鋼等金屬材料形成為中空圓筒狀。通過插通支撐軸205設(shè)置成圍繞支撐軸205?;撞?的一端部例如通過未圖示的螺栓等固定在安裝部301a上。在基底部202的與安裝部301a相向的面的中央部形成有凹部 202b。在凹部202b插入(嵌入)有形成在支撐軸205的基端的擴徑部20fe。通過在此狀態(tài)下將基底部202固定到安裝部301a,而將支撐軸205固定到基底部202以及安裝部301a。在基底部202的另一端部,在基底部202的圓周方向即轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R 設(shè)置多個凹狀的保持部20加。保持部20 從垂直于支撐軸205且沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的方向(第一方向)的兩側(cè)支撐驅(qū)動擋塊203,并且將驅(qū)動擋塊203保持成能夠向與支撐軸205平行的方向(第二方向)驅(qū)動。如圖18所示,基底部202的側(cè)面202c設(shè)置成與支撐軸205大致平行。在側(cè)面202c 的保持部20 和安裝部301a側(cè)的端部之間形成有作為振動抑制部的槽部202d,用于抑制從安裝部301a到保持部20 的振動的傳遞。即,槽部202d設(shè)置在大致垂直于支撐軸205 且與沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的方向(第一方向)交叉的基底部202的側(cè)面202c上。 槽部202d連續(xù)地設(shè)置在基底部202的圓周方向上,并且較之保持部20 和安裝部301a側(cè)的端部的中間,設(shè)置在靠近安裝部301a側(cè)的端部的位置。槽部202d的深度d201為例如基底部202的半徑r201的40%以上且80%以下的范圍。上述數(shù)值為一例,不限定于此。槽部202d的深度d201例如可以為基底部202的半徑 r201 的 10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80% 或 90%。另外,與支撐軸 205 平行方向(第二方向)的槽部202d的寬度w201形成為大于基底部202的振動振幅且大于后述的支撐驅(qū)動部(構(gòu)造部)201a的共振振動的振幅,其中,該支撐驅(qū)動部201a由第一壓電元件206、第二壓電元件(第二壓電元件)207、驅(qū)動擋塊203以及基底部202構(gòu)成。在一例中, 槽部202d的寬度w201短于基底部202的半徑。如圖18所示,在基底部202和支撐軸205之間設(shè)置有用于抑制從安裝部301a到保持部20 的振動的間隙(振動抑制部)20加。間隙20 設(shè)置在與支撐軸205平行的方向的、從基底部202的保持部20 側(cè)的端部到與槽部202d的安裝部301a側(cè)的邊緣相同的位置。另外,間隙20 的寬度w202與槽部202d的寬度w201相同地形成為大于基底部202 的振動振幅且大于后述的支撐驅(qū)動部201a的共振振動的振幅。
在基底部202的表面成膜有絕緣膜202g而被實施了絕緣處理。絕緣膜202g是例如通過將丙烯酸系、環(huán)氧系等絕緣材料涂敷到基底部202的表面來進行成膜。絕緣膜202g 在比槽部202d靠向驅(qū)動擋塊203側(cè)的基底部202的側(cè)面、保持部20 以及間隙20 側(cè)的面上連續(xù)成膜?;撞?02的形成有絕緣膜202g的部分的絕緣電阻值以沿面測量值為大約數(shù)ΜΩ。絕緣膜202g例如使用具有鉛筆硬度2H以上的高硬度且?guī)缀鯚o阻尼成分的材料。 絕緣膜202g的耐壓例如優(yōu)選為約200VDC以上。絕緣膜202g的膜厚在能夠維持上述的耐壓的范圍內(nèi)盡量薄地形成。膜厚例如優(yōu)選為約10 μ m以上且20 μ m以下。另外,膜厚的波動為平均膜厚士50%以下,優(yōu)選為平均膜厚士30%以下。本實施方式的絕緣膜202g例如由含有氧化硅系組成的絕緣材料形成,硬度為3H 以上,膜厚為約15口111士3左右,耐壓為約27(^^以上。圖19是在與支撐軸205平行且沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的截面中的、驅(qū)動擋塊203以及保持部20 的轉(zhuǎn)動體204的放大截面圖。如圖19所示,絕緣膜202g以均勻的膜厚形成在包含支撐驅(qū)動擋塊203的支撐面 202f、202f的、保持部20 整體上。第一壓電元件206通過具有導(dǎo)電性的粘接劑固定在驅(qū)動擋塊203的側(cè)面203c以及形成有絕緣膜202g的保持部20 的支撐面202f上。粘接絕緣膜202g和第一壓電元件206的粘接劑優(yōu)選使用含有與絕緣膜202g同系的材料的粘接劑。例如,在使用含有丙烯酸系的材料作為絕緣膜202g的情況下,使用含有丙烯酸系材料的粘接劑。另外,在使用含有環(huán)氧系的材料作為絕緣膜202g的情況下,使用含有環(huán)氧系材料的粘接劑。在本實施方式中,在所有的第一壓電元件206和基底部202之間設(shè)置有絕緣膜 202g。另外,第一壓電元件206在與絕緣膜202g接觸的面上設(shè)置有電極206a。圖20A是圖17所示的驅(qū)動裝置201的支撐驅(qū)動部201a的立體圖,圖20B是其俯視圖。如圖20A以及圖20B所示,驅(qū)動擋塊203具有截面為山形六角柱形狀的前端部 203a和截面為大致長方體形狀的基部20北。前端部203a例如由不銹鋼等形成?;?0 例如由輕金屬合金等形成,兩者都具有導(dǎo)電性?;?0 通過保持部20 支撐成可在與支撐軸205平行的方向上驅(qū)動,前端部203a從保持部20 突出而支撐轉(zhuǎn)動體204。前端部 203a設(shè)置成與轉(zhuǎn)動體204接觸的上面的面積小于基部20 側(cè)的底面面積的前端狹窄狀的形狀。如圖20B所示,從寬度w203方向的兩側(cè)夾住驅(qū)動擋塊203的基部20 的一對第一壓電元件206、206,在驅(qū)動擋塊203的寬度w203方向(第一方向)上設(shè)置兩對。驅(qū)動擋塊203的寬度w203方向為垂直于支撐軸205且沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的方向,且為在基底部202的俯視中大致垂直于中心線CL的方向。第一壓電元件206形成為沿著保持部20 的深度d202方向延伸的細長的長方形形狀,夾持于基部20 和保持部20 之間。 由此,第一壓電元件206配置在設(shè)置于基底部202的槽部202d(參照圖17、圖18)和轉(zhuǎn)動體 204之間。第一壓電元件206例如通過導(dǎo)電性粘接劑粘接在驅(qū)動擋塊203的基部20 和成膜有絕緣膜202g的保持部20 上。另外,配置在與通過基底部202中心的中心線CL大致2平行的驅(qū)動擋塊203的進深p201方向上的兩個第一壓電元件206、206相互大致平行。各第一壓電元件206的形狀以及尺寸均大致相等。如圖20A所示,一對第二壓電元件207、207相互大致平行地設(shè)置在驅(qū)動擋塊203 的基部20 和前端部203a之間。第二壓電元件207形成為與驅(qū)動擋塊203的寬度w203 方向大致平行地延伸的細長的長方形狀。第二壓電元件207夾持于前端部203a的底面和基部20 的上面之間,例如通過導(dǎo)電性粘接劑粘接在前端部203a的底面和基部20 的上面。各第二壓電元件207的形狀以及尺寸均大致相等。第一壓電元件206以及第二壓電元件207例如由鋯鈦酸鉛(PZT)形成,其振動模式為厚度切變振動。即,第一壓電元件206使驅(qū)動擋塊203相對于基底部202向與支撐軸 205大致平行的保持部20 的深度d202方向相對驅(qū)動。第二壓電元件207使驅(qū)動擋塊203 的前端部203a相對于基部20 以及基底部202向驅(qū)動擋塊203的寬度w203方向(第三方向)相對驅(qū)動。即,在本實施方式中,第一壓電元件206夾住驅(qū)動擋塊203的方向(第一方向)與第二壓電元件207驅(qū)動驅(qū)動擋塊203的前端部203a的方向(第三方向)大致相寸。通過該多個第一壓電元件206、第二壓電元件207、驅(qū)動擋塊203以及基底部202 構(gòu)成支撐驅(qū)動部201a,該支撐驅(qū)動部201a支撐轉(zhuǎn)動體204且相對于驅(qū)動擋塊203以及基底部202驅(qū)動轉(zhuǎn)動體204。如圖20A所示,保持部202設(shè)置在基底部202的端部,在基底部202形成有王冠狀的凹凸。如圖20B所示,保持部20 大致每隔60°均等地形成在基底部202的圓周方向上。保持部20 具備與俯視中通過基底部202的中心的中心線CL大致平行地設(shè)置的一對支撐面202f、202f。支撐面202f以從與基底部202的中心線CL大致垂直的保持部20 的寬度《204方向(第一方向)的兩側(cè)經(jīng)由一對第一壓電元件206、206夾住驅(qū)動擋塊203的基部20 的方式保持該驅(qū)動擋塊203的基部20 。本實施方式的驅(qū)動擋塊203在前端部203a和基部20 之間具備一對第二壓電元件207、207,在基部20 的側(cè)面具備兩對第一壓電元件206、206。驅(qū)動裝置201具備第一組和第二組的兩組驅(qū)動擋塊203組,該驅(qū)動擋塊203組中該驅(qū)動擋塊203以及兩對第一壓電元件206各具備三個。第一組驅(qū)動擋塊231和第二組驅(qū)動擋塊231配置在同一個圓周上。 另外,各組的驅(qū)動擋塊231、232分別均等地配置在轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R上,不同組的驅(qū)動擋塊231、232交替地(依次)配置在旋轉(zhuǎn)方向R上。圖21A是第一壓電元件206的示意性的配線圖,圖21B是第二壓電元件207的示意性的配線圖。如圖21A以及圖21B所示,本實施方式的驅(qū)動裝置201具備對第一壓電元件206 的電極206a以及第二壓電元件207的電極(省略圖示)分別供給電壓的電源部210。電源部210對第一壓電元件206以及第二壓電元件207供給電壓,以便圖20A以及圖20B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a以及第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 依次重復(fù) 與圖17以及圖18所示的轉(zhuǎn)動體204的接觸、向轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的進給、從轉(zhuǎn)動體 204的分離、與轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向相反方向的返回。如圖21A所示,第一組驅(qū)動擋塊231各自具備的第一壓電元件的第一電極 261a經(jīng)由第一配線211與電源部210的第一端子Tl連接。第二組驅(qū)動擋塊232各自具備的第一壓電元件262的第一電極沈加經(jīng)由第二配線212與電源部210的第二端子T2連接。如圖21B所示,第一組驅(qū)動擋塊231各自具備的第二壓電元件271的電極經(jīng)由與驅(qū)動擋塊231的前端部231a連接的第三配線213而與電源部210的第三端子T3連接。第二組驅(qū)動擋塊232各自具備的第二壓電元件272的電極經(jīng)由與驅(qū)動擋塊232的前端部23 連接的第四配線214而與電源部210的第四端子T4連接。另外,雖然在圖21A以及圖21B中省略圖示,但驅(qū)動擋塊231、232的基部231b、 232b被接地。通過以上的構(gòu)成,驅(qū)動第一壓電元件206的規(guī)定的驅(qū)動電壓被施加到第一壓電元件206的電極206a和驅(qū)動擋塊203的基部20 之間。另外,驅(qū)動第二壓電元件207的規(guī)定的驅(qū)動電壓被施加到驅(qū)動擋塊203的前端部203a和基部20 之間。圖22是電源部210在各端子T 1、T2、T3、T4產(chǎn)生的電壓的時序圖的一例。如圖22所示,電源部210對第一端子Tl在第一相位 第二相位期間產(chǎn)生OV 的電壓,在第三相位 第七相位的五個相位期間產(chǎn)生1. OV的電壓,在第八相位 第十相位的三個相位期間產(chǎn)生-1. OV的電壓。在之后的相位中重復(fù)在五個相位產(chǎn)生1. OV的電壓、在三個相位產(chǎn)生-1. OV的電壓。S卩,電源部210對第一端子產(chǎn)生以八個相位為一個周期的電壓。電源部210對第二端子T2產(chǎn)生如下的電壓,即,與產(chǎn)生于第一端子Tl的電壓具有180°的相位差且并與產(chǎn)生于第一端子Tl的電壓相同的以八個相位為一個周期的電壓。 艮口,產(chǎn)生于第一端子的電壓和產(chǎn)生于第二端子的電壓具有半個周期量的四個相位的相位差。 電源部210在第一相位中將產(chǎn)生于第三端子T3的電壓維持在0V,在第二相位中產(chǎn)生-3. OV的電壓,在從第三相位到第八相位的各相位中使電壓各增加1. 0V。在以后的相位中,重復(fù)該第一相位 第八相位的電壓產(chǎn)生圖案。即,電源部210對第三端子T3產(chǎn)生以八個相位為一個周期的電壓。電源部210對第四端子T4產(chǎn)生如下的電壓,S卩,與產(chǎn)生于第三端子T3的電壓具有 180°的相位差且與產(chǎn)生于第三端子T3的電壓相同的以八個相位為一個周期的電壓。艮口, 產(chǎn)生于第三端子的電壓和產(chǎn)生于第四端子的電壓具有半個周期量的四個相位的相位差。在本實施方式中,電源部210供給至第一壓電元件206以及第二壓電元件207的電壓的頻率與支撐驅(qū)動部(構(gòu)造部)201a的共振振動的振動頻率大致相等,其中,該支撐驅(qū)動201a由第一壓電元件206、第二壓電元件207、驅(qū)動擋塊203以及基底部202構(gòu)成。接著,使用圖23至圖沈說明本實施方式的驅(qū)動裝置201的作用。圖23 圖25是表示第一組驅(qū)動擋塊231、第二組驅(qū)動擋塊232的動作和轉(zhuǎn)動體 204的動作的放大主視圖。圖沈是表示第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a以及第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 的各軸方向的位移和時間t的關(guān)系的圖表。在圖沈的(a)以及圖沈的(b)中,Y 軸方向上的與轉(zhuǎn)動體204的接觸位置yl用虛線表示。在圖23的(a) 圖25的(a)中,使用以下的直角坐標系進行說明,即,將沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R(參照圖20B)的第一組驅(qū)動擋塊231的寬度w231方向(第一方向) 設(shè)為Xl方向,將與支撐軸205(參照圖18)平行的方向(第二方向)設(shè)為Y方向的直角坐標系。在圖23的(b) 圖25的(b)中,使用以下的直角坐標系進行說明,即,將沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的第二組驅(qū)動擋塊232的寬度w232方向(第一方向)設(shè)為X2方向, 將與支撐軸205平行的方向(第二方向)設(shè)為Y方向的直角坐標系。(第零相位)如圖22所示,在第零相位中,電源部210未對各端子T 1、T2、T3、T4產(chǎn)生電壓 (OV),是對圖21A以及圖21B所示的第一壓電元件206以及第二壓電元件207供給OV的電壓(未供給電壓)的狀態(tài)。如圖23的(a)以及圖23的(b)所示,在第零相位中,第一組驅(qū)動擋塊231和第二組驅(qū)動擋塊232分別以前端部231a、232a的上面與轉(zhuǎn)動體204接觸的狀態(tài)靜止。轉(zhuǎn)動體 204以被驅(qū)動擋塊231、232的前端部231a、23h支撐的狀態(tài)靜止。(第一相位)如圖22所示,在第一相位中,電源部210對第一端子Tl產(chǎn)生-1. OV的電壓,經(jīng)由第一配線211對圖2IA所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件的電極部^la供給電壓。另外,如圖22所示,在第一相位中,電源部210將第三端子T3的電壓維持在0V,經(jīng)由第三配線213對圖21B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第二壓電元件271供給OV的電壓。如果這樣,則如圖23的(a)所示,在第一相位中,驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件261厚度切變變形而使驅(qū)動擋塊231的基部231b相對于保持部2 的支撐面22f 向Y方向的基底部202側(cè)(Y軸負方向側(cè))移動(參照圖沈的(a)、第一相位)。另外,如圖23的(a)所示,在第一相位中,第二壓電元件271不變形,前端部231a不向Xl方向移動 (參照圖沈的(C)、第一相位)。由此,驅(qū)動擋塊231的前端部231a向Y軸負方向側(cè)移動而離開轉(zhuǎn)動體204。如圖22所示,在第一相位中,電源部210對第二端子T2產(chǎn)生1. OV的電壓,經(jīng)由第二配線212對圖21A所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件沈2的電極部沈加供給電壓。另外,如圖22所示,在第一相位中,電源部210將第四端子T4的電壓維持在0V,經(jīng)由第四配線214對圖21B所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第二壓電元件272供給OV的電壓。如果這樣,則如圖23的(b)所示,在第一相位中,驅(qū)動第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件262厚度切變變形而使驅(qū)動擋塊232的基部232b相對于保持部20 的支撐面 202f向Y方向的轉(zhuǎn)動體204側(cè)(Y軸正方向側(cè))移動(參照圖沈的(b)、第一相位)。另夕卜,如圖21B所示,在第一相位中,第二壓電元件272不變形,前端部23 不向X2方向移動 (參照圖沈的(d)、第一相位)。由此,驅(qū)動擋塊232向Y軸正方向側(cè)移動,前端部23 將轉(zhuǎn)動體204向Y軸正方向側(cè)頂起。S卩,在第一相位中,如圖23的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a向Y 軸負方向側(cè)移動而離開轉(zhuǎn)動體204。與此同時,如圖23的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 與轉(zhuǎn)動體204抵接而支撐轉(zhuǎn)動體204的同時,將轉(zhuǎn)動體204向Y軸正方向側(cè)頂起。(第二相位)如圖22所示,在第二相位中,電源部210將第一端子Tl的電壓維持在-1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線211對圖21A所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件沈1的電極部 261a供給的電壓。另外,如圖22所示,在第二相位中,電源部210對第三端子T3產(chǎn)生-3. OV的電壓,經(jīng)由第三配線213對圖21B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第二壓電元件271供給電壓。如果這樣,則如圖23的(a)所示,在第二相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊231向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件的變形,并維持前端部231a離開轉(zhuǎn)動體204的狀態(tài)(參照圖沈的(a)、第二相位)。在此狀態(tài)下,如圖23的(a)所示,在第二相位中,第二壓電元件271 厚度切變變形,前端部231a相對于基部231b以及基底部202向Xl軸負方向側(cè)移動(參照圖沈的(c))。此時的前端部231a的移動量與供給至第二壓電元件271的電壓的絕對值成比例。如圖22所示,在第二相位中,電源部210將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線212對圖21A所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件沈2的電極部 262a供給的電壓。另外,如圖22所示,在第二相位中,電源部210對第四端子T4產(chǎn)生1. OV 的電壓,經(jīng)由第四配線214對圖21B所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第二壓電元件272供給電壓。如果這樣,則如圖23的(b)所示,在第二相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊232向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件沈2的變形,并維持前端部23 與轉(zhuǎn)動體204接觸的狀態(tài)(參照圖沈的(b)、第二相位)。在此狀態(tài)下,如圖23的(b)所示,在第二相位中,第二壓電元件272厚度切變變形,前端部23 相對于基部232b以及基底部202向X2軸正方向側(cè)移動 (參照圖沈的(d)、第二相位)。此時的前端部23 的移動量與電壓的絕對值成比例,因此小于第一組的前端部231a的向Xl軸負方向側(cè)的移動量。S卩,在第二相位中,如圖23的(b)所示,通過第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 的向X2軸正方向側(cè)的移動,從前端部23 的上面對轉(zhuǎn)動體204的下面(非接觸面204b)作用摩擦力。在此,如圖20A以及圖20B所示,第二組驅(qū)動擋塊232沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R配置在基底部202的圓周方向上。前端部23 向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的驅(qū)動擋塊232的寬度w232方向(X2方向)位移。因此,轉(zhuǎn)動體204被驅(qū)動擋塊232的前端部 232a向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動而開始以圖17以及圖18所示的支撐軸205為中心的旋轉(zhuǎn)。(第三相位)如圖22所示,在第三相位中,電源部210對第一端子Tl產(chǎn)生正負翻轉(zhuǎn)的1.0V的電壓,經(jīng)由第一配線211對圖21A所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件沈1的電極部 261a供給電壓。另外,如圖22所示,在第三相位中,電源部210對第三端子T3產(chǎn)生-2. OV 的電壓,經(jīng)由第三配線213對圖21B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第二壓電元件271供給電壓。如果這樣,則如圖23的(a)所示,在第三相位中,驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件向反方向厚度切變變形而使驅(qū)動擋塊231的基部231b向Y軸正方向側(cè)移動 (參照圖沈的(a)、第三相位)。與此同時,如圖23的(a)所示,在第三相位中,第二壓電元件271的向Xl軸負方向側(cè)的變形量減少,前端部231a相對于基部231b以及基底部202向 Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖26的(c)、第三相位)。此時的移動量與在第三相位中新供給的-2. OV和在第二相位中供給的-3. OV的電壓的差成比例。如圖22所示,在第三相位中,電源部210維持第二端子T2的電壓,并維持經(jīng)由第二配線212對圖21A所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件沈2的電極部沈加供給的電壓。另外,如圖22所示,在第三相位中,電源部210對第四端子T4產(chǎn)生2. OV的電壓, 經(jīng)由第四配線214對圖21B所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第二壓電元件272供給電壓。如果這樣,則如圖23的(b)所示,在第三相位中,維持驅(qū)動第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件262的變形,并維持前端部23 與轉(zhuǎn)動體204接觸的狀態(tài)(參照圖沈的(b)、 第三相位)。在此狀態(tài)下,如圖23的(b)所示,在第三相位中,第二壓電元件272的厚度切變變形,前端部23 相對于基部232b以及基底部202向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖26 的(d)、第三相位)。此時的移動量與在第三相位中新供給的2. OV和在第二相位中供給的 1. OV的電壓的差的絕對值成比例。S卩,在第三相位中,如圖23的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸正方向側(cè)移動而靠近轉(zhuǎn)動體204并抵接。與此同時,如圖23的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 與轉(zhuǎn)動體204抵接而支撐裝置204的同時,向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體204。(第四相位)如圖22所示,在第四相位中,電源部210將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線211對圖21A所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件的電極部 ^la供給的電壓。另外,如圖22所示,在第四相位中,電源部210對第三端子T3產(chǎn)生-1.0V 的電壓,經(jīng)由第三配線213對圖21B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第二壓電元件271供給電壓。如果這樣,則如圖M的(a)所示,在第四相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊231向Y 軸正方向側(cè)驅(qū)動的第一壓電元件261的變形,維持前端部231a與轉(zhuǎn)動體204抵接的狀態(tài) (參照圖沈的(a),第四相位)。與此同時,如圖對的(a)所示,在第四相位中,第二壓電元件271的向Xl軸負方向側(cè)的變形量減少,前端部231a相對于基部231b以及基底部202向 Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖26的(C)、第四相位)。此時的移動量與在第四相位中新供給的-1. OV和在第三相位中供給的-2. OV的電壓的差的絕對值成比例。如圖22所示,在第四相位中,電源部210對第二端子T2產(chǎn)生正負翻轉(zhuǎn)的OV的電壓,并經(jīng)由第二配線212對圖21A所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件262的電極部26 供給電壓。另外,如圖22所示,在第四相位中,電源部210對第四端子T4產(chǎn)生3. OV 的電壓,經(jīng)由第四配線214對圖21B所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第二壓電元件272供給電壓。如果這樣,則如圖M的(b)所示,在第四相位中,驅(qū)動第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件沈2向反方向厚度切變變形而使驅(qū)動擋塊232的基部232b向Y軸負方向側(cè)移動 (參照圖沈的(b),第四相位)。與此同時,如圖對的(b)所示,在第四相位中,第二壓電元件272的向X2軸正方向側(cè)的變形量增加,前端部23 相對于基部232b以及基底部202向 X2軸正方向側(cè)移動(參照圖沈的(d)、第四相位)。此時的移動量與在第四相位中新供給的3. OV和在第二相位中供給的2. OV的電壓的差的絕對值成比例。S卩,在第四相位中,如圖M的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a在與轉(zhuǎn)動體204抵接狀態(tài)下向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動,支撐轉(zhuǎn)動體204并向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。與此同時,如圖M的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的X2軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸負方向側(cè)移動而離開轉(zhuǎn)動體204。由此,通過第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a以及第二組驅(qū)動擋塊 232的前端部23 將轉(zhuǎn)動體204向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動的同時,將轉(zhuǎn)動體204從第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 傳遞到第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a。此時,在第四相位中,存在雙方的驅(qū)動擋塊231、232極短時間離開轉(zhuǎn)動體204的情況。即使在這種情況下,轉(zhuǎn)動體204也因其慣性而幾乎不向Y方向位移而停留在被第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 所支撐的位置。因此,轉(zhuǎn)動體204維持Y方向的大致一定的位置,在向旋轉(zhuǎn)方向R被驅(qū)動的狀態(tài)下,在Y方向被第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a支撐, 并向旋轉(zhuǎn)方向R被驅(qū)動。由此,轉(zhuǎn)動體204在Y方向的大致一定的位置上以支撐軸205為中心繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。(第五相位)如圖22所示,在第五相位中,電源部210將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線211對圖21A所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件的電極部 261a供給的電壓。另外,如圖22所示,在第五相位中,電源部210對第三端子T3產(chǎn)生OV的電壓,經(jīng)由第三配線213對圖21B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第二壓電元件271供給OV 的電壓。如果這樣,則如圖M的(a)所示,在第五相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊231向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件的變形,維持前端部231a與轉(zhuǎn)動體204接觸的狀態(tài)(參照圖沈的(a),第五相位)。在此狀態(tài)下,如圖對的(a)所示,在第五相位中,第二壓電元件271 恢復(fù)到原來的形狀,前端部231a相對于基部231b以及基底部202向Xl軸正方向側(cè)移動 (參照圖26的(c)、第五相位)。此時的前端部231a的移動量與在第四相位中供給到第二壓電元件271的電壓的絕對值成比例。如圖22所示,在第五相位中,電源部210將第二端子T2的電壓維持在-1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線212對圖21A所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件沈2的電極部 262a供給的電壓。另外,如圖22所示,在第五相位中,電源部210對第四端子T4產(chǎn)生OV的電壓,經(jīng)由第四配線214對圖21B所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第二壓電元件272供給OV 的電壓。如果這樣,則如圖M的(b)所示,在第五相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊232向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件262的變形,維持前端部23 離開轉(zhuǎn)動體204的狀態(tài)(參照圖沈的(b),第五相位)。與此同時,如圖M的(b)所示,在第五相位中,第二壓電元件272恢復(fù)到原來的形狀,前端部23 相對于基部232b以及基底部202向X2軸負方向側(cè)移動(參照圖沈的(d)、第五相位)。此時的前端部23 的移動量與在第四相位中供給到第二壓電元件272的電壓的絕對值成比例。S卩,在第五相位中,如圖M的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a維持與轉(zhuǎn)動體204抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體204的同時,向Xl軸正方向側(cè)移動而向旋轉(zhuǎn)方向R 驅(qū)動轉(zhuǎn)動體204。與此同時,如圖M的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 向Y 軸負方向側(cè)移動而維持離開轉(zhuǎn)動體204的狀態(tài)的同時,相對于基部232b以及基底部202向與轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R相反的X2軸負方向側(cè)移動。(第六相位)如圖22所示,在第六相位中,電源部210將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線211對圖21A所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件的電極部 261a供給的電壓。另外,如圖22所示,在第六相位中,電源部210對第三端子T3產(chǎn)生1. OV 的電壓,經(jīng)由第三配線213對圖21B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第二壓電元件271供給電壓。如果這樣,則如圖M的(a)所示,在第六相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊231向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件的變形,維持前端部231a與轉(zhuǎn)動體204接觸的狀態(tài)(參照圖 26的(a),第六相位)。在此狀態(tài)下,如圖對的(a)所示,在第六相位中,第二壓電元件271 厚度切變變形,前端部231a相對于基部231b以及基底部202向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖沈的(C)、第六相位)。此時的移動量與在第六相位中新供給的電壓的絕對值成比例。如圖22所示,在第六相位中,電源部210將第二端子T2的電壓維持在-1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線212對圖21A所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件262的電極部沈加供給的電壓。另外,如圖22所示,在第六相位中,電源部210對第四端子T4產(chǎn)生-3. OV 的電壓,經(jīng)由第四配線214對圖21B所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第二壓電元件272供給電壓。如果這樣,則如圖M的(b)所示,在第六相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊232向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件262的變形,維持前端部23 離開轉(zhuǎn)動體204的狀態(tài)(參照圖沈的(b),第六相位)。在此狀態(tài)下,如圖M的(b)所示,在第六相位中,第二壓電元件272厚度切變變形,前端部23 相對于基部232b以及基底部202向X2軸負方向側(cè)移動(參照圖 26的(d)、第六相位)。此時的前端部23 的移動量與供給到第二壓電元件272的電壓的絕對值成比例。S卩,在第六相位中,如圖M的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a維持與轉(zhuǎn)動體204抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體204的同時,向Xl軸正方向側(cè)移動而向旋轉(zhuǎn)方向R 驅(qū)動轉(zhuǎn)動體204。與此同時,如圖對的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 維持離開轉(zhuǎn)動體204的狀態(tài)的同時,相對于基部232b以及基底部202向與轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R相反的X2軸負方向側(cè)進一步移動。(第七相位)如圖22所示,在第七相位中,電源部210將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線211對圖21A所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件的電極部 261a供給的電壓。另外,如圖22所示,在第七相位中,電源部210對第三端子T3產(chǎn)生2. OV 的電壓,經(jīng)由第三配線213對圖21B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第二壓電元件271供給電壓。如果這樣,則如圖M的(a)所示,在第七相位中,維持驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件261的變形,維持前端部231a與轉(zhuǎn)動體204接觸的狀態(tài)(參照圖沈的(a), 第七相位)。在此狀態(tài)下,如圖M的(a)所示,在第七相位中,第二壓電元件271厚度切變變形,前端部231a相對于基部231b以及基底部202向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖沈的 (c)、第七相位)。此時的移動量與在第七相位中新供給的2. OV和在第六相位中供給的1. OV 的電壓的差的絕對值成比例。如圖22所示,在第七相位中,電源部210對第二端子T2產(chǎn)生正負翻轉(zhuǎn)的1. OV的電壓,并經(jīng)由第二配線212對圖21A所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件262的電極部262a供給電壓。另外,如圖22所示,在第七相位中,電源部210對第四端子T4產(chǎn)生-2. OV 的電壓,經(jīng)由第四配線214對圖21B所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第二壓電元件272供給電壓。如果這樣,則如圖M的(b)所示,在第七相位中,驅(qū)動第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件沈2向反方向厚度切變變形而使驅(qū)動擋塊232的基部232b向Y軸正方向側(cè)移動 (參照圖沈的(b),第七相位)。與此同時,如圖對的(b)所示,在第七相位中,第二壓電元件272的向X2軸負方向側(cè)的變形量減少,前端部23 相對于基部232b以及基底部202向 X2軸正方向側(cè)移動(參照圖沈的(d)、第七相位)。此時的移動量與在第七相位中新供給的-2. OV和在第六相位中供給的-3. OV的電壓的差的絕對值成比例。S卩,在第七相位中,如圖M的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a維持與轉(zhuǎn)動體204抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體204的同時,向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體204。與此同時,如圖對的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向 R的X2軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸正方向側(cè)移動而靠近轉(zhuǎn)動體204并抵接。(第八相位)如圖22所示,在第八相位中,電源部210對第一端子Tl產(chǎn)生正負翻轉(zhuǎn)的-1. OV的電壓,并經(jīng)由第一配線211對圖21A所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件261的電極部261a供給電壓。另外,如圖22所示,在第八相位中,電源部210對第三端子T3產(chǎn)生3. OV 的電壓,經(jīng)由第三配線213對圖21B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第二壓電元件271供給電壓。如果這樣,則如圖25的(a)所示,在第八相位中,驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件向反方向厚度切變變形而使驅(qū)動擋塊203的基部20 向Y軸負方向側(cè)移動 (參照圖沈的(a),第八相位)。與此同時,如圖25的(a)所示,在第八相位中,第二壓電元件71的向Xl軸正方向側(cè)的變形量增加,前端部231a相對于基部231b以及基底部202向 Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖26的(C)、第八相位)。此時的移動量與在第八相位中新供給的3. OV和在第七相位中供給的2. OV的電壓的差的絕對值成比例。如圖22所示,在第八相位中,電源部210將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線212對圖21A所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件沈2的電極部沈加供給的電壓。另外,如圖22所示,在第八相位中,電源部210對第四端子T4產(chǎn)生-1.0V 的電壓,經(jīng)由第四配線214對圖21B所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第二壓電元件272供給電壓。如果這樣,則如圖25的(b)所示,在第八相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊232向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件沈2的變形,并維持前端部23 與轉(zhuǎn)動體204抵接的狀態(tài)(參照圖沈的(b),第八相位)。與此同時,如圖25的(b)所示,在第八相位中,第二壓電元件272 的向X2軸負方向側(cè)的變形量減少,前端部23 相對于基部232b以及基底部202向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖26的(d)、第八相位)。此時的移動量與在第八相位中新供給的-1.0V 和在第七相位中供給的-2. OV的電壓的差的絕對值成比例。S卩,在第八相位中,如圖25的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸負方向側(cè)移動而離開轉(zhuǎn)動體204。與此同時,如圖25的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 在與轉(zhuǎn)動體204抵接的狀態(tài)下,向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的X2軸正方向側(cè)移動,支撐轉(zhuǎn)動體204 并向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。由此,通過第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a以及第二組驅(qū)動擋塊 232的前端部23 將轉(zhuǎn)動體204向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動的同時,將轉(zhuǎn)動體204從第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a傳遞到第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23加。此時,在第八相位中,存在雙方的驅(qū)動擋塊231、232極短時間離開轉(zhuǎn)動體204的情況。即使在這種情況下,轉(zhuǎn)動體204也因其慣性而幾乎不向Y方向位移,而停留在被第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a所支撐的位置。因此,轉(zhuǎn)動體204維持Y方向的大致一定的位置,在向旋轉(zhuǎn)方向R被驅(qū)動的狀態(tài)下,在Y方向被第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 支撐, 并向旋轉(zhuǎn)方向R被驅(qū)動。由此,轉(zhuǎn)動體204在Y方向的大致一定的位置上以支撐軸205為中心繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。(第九相位)如圖22所示,在第九相位中,電源部210將第一端子Tl的電壓維持在_1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線211對圖21A所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件沈1的電極部 261a供給的電壓。另外,如圖22所示,在第九相位中,電源部210對第三端子T3產(chǎn)生OV的電壓,經(jīng)由第三配線213對圖21B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第二壓電元件271供給的電壓為0V。如果這樣,則如圖25的(a)所示,在第九相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊231向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件的變形而維持前端部231a離開轉(zhuǎn)動體204的狀態(tài)(參照圖 26的(a),第九相位)。與此同時,如圖25的(a)所示,在第九相位中,第二壓電元件271恢復(fù)到原來的形狀,前端部231a相對于基部231b以及基底部202向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖沈的(c)、第九相位)。此時的前端部231a的移動量與在第八相位中供給到第二壓電元件207的電壓的絕對值成比例。如圖22所示,在第九相位中,電源部210將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線212對圖21A所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件沈2的電極部沈加供給的電壓。另外,如圖22所示,在第九相位中,將電源部210產(chǎn)生于第四端子T4的電壓設(shè)為0V,并將經(jīng)由第四配線214產(chǎn)生于圖21B所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第二壓電元件272的電壓設(shè)為OV。如果這樣,則如圖25的(b)所示,在第九相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊232向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件沈2的變形,并維持前端部23 與轉(zhuǎn)動體204接觸的狀態(tài)(參照圖沈的(b),第九相位)。在此狀態(tài)下,如圖25的(b)所示,在第九相位中,第二壓電元件 272恢復(fù)到原來形狀,前端部23 相對于基部232b以及基底部202向X2軸正方向側(cè)移動 (參照圖26的(d)、第九相位)。此時的前端部23 的移動量與在第八相位中供給到第二壓電元件272的電壓的絕對值成比例。S卩,在第九相位中,如圖25的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a向Y軸負方向側(cè)移動而維持離開轉(zhuǎn)動體204的狀態(tài)的同時,向與轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R相反的Xl 軸負方向側(cè)移動。與此同時,如圖25的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 維持與轉(zhuǎn)動體204抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體204的同時,向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl 軸正方向側(cè)移動而向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體204。(第十相位)
如圖22所示,在第十相位中,電源部210將第一端子Tl的電壓維持在_1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線211對圖21A所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件沈1的電極部 ^la供給的電壓。另外,如圖22所示,在第十相位中,電源部210對第三端子T3產(chǎn)生-3. OV 的電壓,經(jīng)由第三配線213對圖21B所示的第一組驅(qū)動擋塊231的第二壓電元件271供給電壓。如果這樣,則如圖25的(a)所示,在第十相位中,維持將第一組驅(qū)動擋塊231向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件的變形,并維持前端部231a離開轉(zhuǎn)動體204的狀態(tài)(參照圖 26的(a),第十相位)。在此狀態(tài)下,如圖25的(a)所示,在第十相位中,第二壓電元件271 厚度切變變形,前端部231a相對于基部231b以及基底部202向Xl軸負方向側(cè)移動(參照圖沈的(c)、第十相位)。此時的前端部231a的移動量與供給到第二壓電元件271的電壓的絕對值成比例。如圖22所示,在第十相位中,電源部210將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線212對圖21A所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件沈2的電極部 262a供給的電壓。另外,如圖22所示,在第十相位中,電源部210對第四端子T4產(chǎn)生1. OV 的電壓,并經(jīng)由第四配線214對圖21B所示的第二組驅(qū)動擋塊232的第二壓電元件272供給電壓。如果這樣,則如圖25的(b)所示,在第十相位中,維持將第二組驅(qū)動擋塊232向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件沈2的變形,并維持前端部23 與轉(zhuǎn)動體204接觸的狀態(tài)(參照圖沈的(b),第十相位)。在此狀態(tài)下,如圖25的(b)所示,在第十相位中,第二壓電元件 272厚度切變變形,前端部23 相對于基部232b以及基底部202向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖沈的(d)、第十相位)。此時的移動量與在第十相位中新供給的電壓的絕對值成比例。即,在第十相位中,如圖25的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a維持離開轉(zhuǎn)動體204的狀態(tài)的同時,相對于基部231b以及基底部202向Xl軸負方向側(cè)進一步移動。與此同時,如圖25的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 維持與轉(zhuǎn)動體204 抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體204的同時,向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的X2軸正方向側(cè)移動而向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體204。在第十一相位以后,重復(fù)進行與上述的自第三相位到第十相位的動作相同的動作而使轉(zhuǎn)動體204繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。由此,通過第一組驅(qū)動擋塊231的前端部231a和前端部23a和第二組驅(qū)動擋塊232的前端部23 交替(依次)地進行轉(zhuǎn)動體204的Y軸方向的支撐以及旋轉(zhuǎn)方向R的驅(qū)動,從而使轉(zhuǎn)動體204繼續(xù)圍繞支撐軸205而旋轉(zhuǎn)。本實施方式的驅(qū)動裝置201分別獨立地設(shè)置有第一壓電元件206和第二壓電元件 207,其中,該第一壓電元件206向與支撐軸205平行的方向(第二方向)驅(qū)動各驅(qū)動擋塊 203,該第二壓電元件207向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的、驅(qū)動擋塊203的寬度w203方向(第一方向)驅(qū)動驅(qū)動擋塊203的前端部203a。因此,能夠?qū)⒏鞣较虻恼駝幼鳛楠毩⒌恼駝尤〕?。因此,在通過驅(qū)動擋塊203旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體204來使轉(zhuǎn)動體204和驅(qū)動擋塊203相對驅(qū)動時,與以往相比能夠穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體204。另外,與夾住基部20 的第一壓電元件 206向相互不同的方向驅(qū)動基部20 的情況相比,不容易發(fā)生損失,能夠提高能量效率,從而能夠提高驅(qū)動裝置201的輸出。
在此,由于基底部202具有導(dǎo)電性,因此在將第一壓電元件206直接粘接在基底部 202的表面的情況下,基底部202成為第一壓電元件206的共同電極。因此,驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊231的第一壓電元件的電極^la、和驅(qū)動第二組驅(qū)動擋塊232的第一壓電元件 262的電極沈加成為共同電位。如果這樣,則難以對各組第一壓電元件沈1、262單獨施加不同的電壓,因此難以單獨地驅(qū)動驅(qū)動擋塊231、232。但是,在本實施方式中,如圖19所示,在所有的第一壓電元件206和基底部件202 之間設(shè)置有絕緣膜202g。因此,能夠容易單獨對驅(qū)動各組驅(qū)動擋塊231、232的第一壓電元件261、262施加不同的電壓。因此,能夠單獨地驅(qū)動各組驅(qū)動擋塊231、232而能夠穩(wěn)定且連續(xù)地旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體204。另外,如圖19所示,第一壓電元件206在與設(shè)置在基底部202的表面的絕緣膜接觸的一側(cè)的面設(shè)置有電極206a,具有導(dǎo)電性的驅(qū)動擋塊203的基部20 被接地。因此,通過對第一組驅(qū)動擋塊231以及第二組驅(qū)動擋塊232各自的第一壓電元件沈1、沈2的電極 261a,262a分別連接圖21A以及圖21B所示的第一配線211以及第二配線212,能夠?qū)㈦妷菏┘佑诘谝粔弘娫?、沈2的電極沈13、26加和驅(qū)動擋塊231、232的基部23lb、232b之間。在此,如果絕緣膜202g的膜厚例如厚于20 μ m,則通常以數(shù)μ m左右的振幅使用的第一壓電元件206的振動因絕緣膜202g而衰減,難以傳播到基底部202。另外,在膜厚的波動例如大于平均膜厚士50%的情況、硬度例如在鉛筆硬度下小于2H的情況、高密度的情況等下,振動衰減效果變大,振動難以傳播到基底部202。但是,本實施方式的絕緣膜202g的膜厚為10 μ m以上20 μ m以下。此外,絕緣膜 202g的膜厚的波動在平均膜厚士50%以下。這樣,通過在能夠維持所期望的耐壓的范圍內(nèi)盡量薄地形成絕緣膜202g的膜厚,能夠使絕緣膜202g的振動衰減效果變得最小。由此,能夠?qū)⒌谝粔弘娫?06的振動經(jīng)由絕緣膜202g可靠地傳播到作為彈性體的基底部202。另外,絕緣膜202g的硬度以鉛筆硬度具有2H以上。這樣,通過將絕緣膜202g的硬度設(shè)為規(guī)定值以上的硬度,來防止因絕緣膜202g使得支撐驅(qū)動部201的振動衰減。因此,能夠防止驅(qū)動裝置201的輸出下降。另外,在粘接第一壓電元件206的電極206a和基底部202的表面的絕緣膜202g的粘接劑不包含與絕緣膜202g同系的材料的情況下,存在第一壓電元件206的電極206a和絕緣膜202g的粘接不夠充分而無法獲得所期望的粘接強度的情況。在這種情況下,因作用于第一壓電元件206的電極206a和絕緣膜202g之間的剪切力、剝離力而使粘接面剝離、分離,從而存在驅(qū)動擋塊203從基底部202脫落的問題。但是,在本實施方式中,將第一壓電元件206固定到絕緣膜202g的粘接劑含有與絕緣膜202g同系的材料。由此,粘接劑和絕緣膜202g成為一體,第一壓電元件206的電極 206a和絕緣膜202g牢固地粘接,能夠維持粘接劑的粘接力。因此,能夠提高對作用于第一壓電元件206的電極206a和絕緣膜202g之間的剪切力、剝離力的強度。另外,第一壓電元件206將驅(qū)動擋塊203的基部20 從寬度w203方向夾住,第一壓電元件206向與寬度w203方向不同的、平行于支撐軸205的方向驅(qū)動驅(qū)動擋塊203。另夕卜,夾住基部20 的一對第一壓電元件206、206的尺寸以及形狀大致相等。由此,能夠使驅(qū)動擋塊203的寬度w203方向的剛性變得均等。因此,能夠抑制驅(qū)動擋塊203的基部20 的寬度《203方向的振動。另外,通過將所有的第一壓電元件206以及第二壓電元件207設(shè)為相同的形狀以及尺寸,使制造變得容易,從而能夠提高生產(chǎn)率。此外,在基底部202設(shè)置有將驅(qū)動擋塊203保持成可向與支撐軸205平行的方向驅(qū)動的保持部202a。在保持部20 設(shè)置有從驅(qū)動擋塊203的寬度w203方向支撐驅(qū)動擋塊 203的基部20 的支撐面202f。因此,能夠通過支撐面202f支撐第一壓電元件206,經(jīng)由第一壓電元件206從寬度w203方向支撐驅(qū)動擋塊203的基部20 。由此,能夠進一步提高驅(qū)動擋塊203的寬度w203方向的剛性,而抑制驅(qū)動擋塊203的基部20 的寬度w203方向的振動。在此,第一壓電元件206的厚度方向的彈性模量(縱彈性模量)和變形方向的彈性模量(橫彈性模量)的比例如為約3 1左右。因此,能夠提高驅(qū)動擋塊203的寬度w203 方向的剛性,降低基部20 的驅(qū)動方向的剛性。由此,能夠防止基部20 的寬度w203方向的移動而抑制振動。另外,能夠使基部20 的驅(qū)動方向的位移變得容易。另外,驅(qū)動擋塊203具備前端部203a,支撐轉(zhuǎn)動體204而使其向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動; 以及基部20 ,以被一對第一壓電元件206夾住的狀態(tài)被基底部202的保持部20 保持。 再有,驅(qū)動擋塊203在前端部203a和基部20 之間具備第二壓電元件207,該第二壓電元件207向沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的、保持部20 以及驅(qū)動擋塊203的寬度w203方向驅(qū)動前端部203a。因此,通過將驅(qū)動擋塊203的前端部203a向?qū)挾葁203方向驅(qū)動,旋轉(zhuǎn)方向R的切線方向的摩擦力作用于轉(zhuǎn)動體204的下面和前端部203a之間,從而能夠?qū)⑥D(zhuǎn)動體204向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。另外,能夠?qū)⒌谝粔弘娫?06以及第二壓電元件207分別獨立地控制。由此,能夠獨立地控制驅(qū)動擋塊203的前端部203a的沿著支撐軸205的方向的驅(qū)動、和轉(zhuǎn)動體204的沿著旋轉(zhuǎn)方向R的方向的驅(qū)動。另外,通過使第一壓電元件206以及第二壓電元件207同時動作,能夠同時進行驅(qū)動擋塊203的前端部203a的沿著支撐軸205的方向的驅(qū)動、和轉(zhuǎn)動體204的沿著旋轉(zhuǎn)方向 R的方向的驅(qū)動。 因此,如圖23 圖25所示,在轉(zhuǎn)動體204和前端部203a接觸時以及分離時,將驅(qū)動擋塊203的前端部203a沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R移動,不妨礙轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)而能夠進行轉(zhuǎn)動體204從第一組驅(qū)動擋塊231到第二組驅(qū)動擋塊232的傳遞。另外,構(gòu)成第一組和第二組兩組驅(qū)動擋塊203組,該驅(qū)動擋塊203組中驅(qū)動擋塊 203以及夾住其基部20 的兩對第一壓電元件206、206分別具備三個。因此,能夠以不同的時序驅(qū)動各組。另外,能夠通過各組的驅(qū)動擋塊231、232的前端部231a、23h三點支撐轉(zhuǎn)動體204。因此,與兩點支撐、四點以上支撐的情況相比,能夠穩(wěn)定地進行轉(zhuǎn)動體204的支撐。另外,各組的驅(qū)動擋塊231、232均等地配置在轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R上。第一組驅(qū)動擋塊231和第二組驅(qū)動擋塊232交替依次配置在旋轉(zhuǎn)方向R上。因此,能夠通過各組驅(qū)動擋塊231、232高平衡地支撐轉(zhuǎn)動體204,并高效率地向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。另外,驅(qū)動擋塊203的前端部203a驅(qū)動的方向是與驅(qū)動擋塊203的基部20 被第一壓電元件206以及保持部20 的支撐面202f夾住的方向相同的方向。因此,在驅(qū)動擋塊203的前端部203a進行進給驅(qū)動以及返回驅(qū)動的情況下,能夠從驅(qū)動方向的前后支撐驅(qū)動擋塊203的基部20北。因此,能夠抑制驅(qū)動擋塊203從與支撐軸205平行的方向偏離, 而防止對轉(zhuǎn)動體204的驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。另外,通過電源部210對第一組驅(qū)動擋塊231以及第二組驅(qū)動擋塊232供給具有相位差的電壓,能夠通過各組的驅(qū)動擋塊231、232分別驅(qū)動轉(zhuǎn)動體204。另外,通過將電源部210對各組的第一壓電元件206以及第二壓電元件207供給的電壓的相位差設(shè)為180°,能夠通過第一組驅(qū)動擋塊231和第二組驅(qū)動擋塊232交替地依次驅(qū)動轉(zhuǎn)動體204。另外,電源部210對各組的第一壓電元件206以及第二壓電元件207供給電壓,使得驅(qū)動擋塊203的前端部203a依次重復(fù)與轉(zhuǎn)動體204的接觸、向驅(qū)動擋塊203的寬度w203 方向的進給、從轉(zhuǎn)動體204的離開、驅(qū)動擋塊203的寬度w203方向的返回,從而能夠連續(xù)進行轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。另外,如圖22的第三相位、第七相位、第i^一相位、第十五相位所示,電源部210使供給到第一端子Tl的電壓和供給到第二端子T2的電壓交疊。由此,能夠連續(xù)且順利地進行從第一組驅(qū)動擋塊231到第二組驅(qū)動擋塊232的轉(zhuǎn)動體204的傳遞。另外,電源部210供給至第一壓電元件206以及第二壓電元件207的電壓的頻率與支撐驅(qū)動部201a的共振振動的振動頻率大致相等,其中,該支撐驅(qū)動部201a由第一壓電元件206、第二壓電元件207、驅(qū)動擋塊203以及基底部202構(gòu)成。因此,能夠進一步加大通過驅(qū)動擋塊203的前端部203a進行的轉(zhuǎn)動體204的進給驅(qū)動以及返回驅(qū)動的振幅。支撐驅(qū)動部201a的共振振動的頻率能夠通過適當(dāng)選定基底部202、壓電元件、驅(qū)動擋塊203的前端部203a以及基部20 的材質(zhì)來調(diào)節(jié)。另外,在本實施方式中,如圖22所示,從第一端子Tl以及第二端子T2供給至各組的驅(qū)動擋塊231、232的第一壓電元件沈1、沈2的電壓的周期與從第三端子T3以及第四端子T4供給至各組的第二壓電元件271、272的電壓的周期相等。因此,驅(qū)動擋塊231、232的與支撐軸205平行方向的驅(qū)動、和驅(qū)動擋塊231、232的寬度w231、w232方向的前端部23la、 232a的驅(qū)動的振動頻率相等。由此,能夠使與支撐軸205平行的方向的驅(qū)動擋塊231、232 的振幅、和驅(qū)動擋塊231、232的寬度w231、w232方向的前端部231a、232a的振幅成為最大振幅。另外,驅(qū)動擋塊203的前端部203a以沿著轉(zhuǎn)動體204的旋轉(zhuǎn)方向R的截面積越靠近轉(zhuǎn)動體就越小的方式設(shè)置成前端狹窄狀。因此,與將前端部203a形成為長方形的形狀的情況相比,能夠減少前端部203a和轉(zhuǎn)動體204的接觸面積,減小因前端部203a的磨損而產(chǎn)生的前端部203a的體積變化率。由此,能夠減小因前端部203a的磨損而產(chǎn)生的前端部 203a的重量的變化,能夠減小驅(qū)動擋塊203的共振頻率的變化。另外,通過將前端部203a 設(shè)為六角柱的形狀,與其他形狀相比能夠提高前端部203a的剛性。另外,在與支撐軸205大致平行地設(shè)置且與驅(qū)動擋塊203的寬度w203方向大致垂直地交叉的基部202的側(cè)面202c形成有槽部202d。S卩,槽部202d設(shè)置成對于經(jīng)由基底部 202傳播的與支撐軸205大致平行方向的振動大致垂直地交叉。因此,能夠通過槽部202d 吸收振動,而減少由基底部202進行的振動的傳播。另外,第一壓電元件206設(shè)置在轉(zhuǎn)動體204和槽部202d之間。因此,能夠減少從基底部202的與轉(zhuǎn)動體204相反側(cè)越過槽部202d傳播的振動。
另外,基底部202的與保持驅(qū)動擋塊203的保持部20 相反側(cè)的端部固定在安裝部301a,槽部202d設(shè)置在與驅(qū)動擋塊203相比靠近安裝部301a的位置。因此,即使安裝部 301a的振動傳播到基底部202,在自驅(qū)動擋塊203比較遠的位置也使振動減少,從而能夠防止安裝部301a的振動對驅(qū)動擋塊203的驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。另外,槽部202d的與支撐軸205平行的方向的寬度w201大于基底部202的振動的振幅。因此,能夠防止槽部202d的兩側(cè)的基底部202彼此碰撞。另外,槽部202d的與支撐軸205平行的方向的寬度w201大于支撐驅(qū)動部201a的共振振幅,其中,該支撐驅(qū)動部201a由基底部202、驅(qū)動擋塊203、第一壓電元件206以及第二壓電元件207構(gòu)成。因此,即使在支撐驅(qū)動部201a以共振狀態(tài)振動的情況下,也能夠防止槽部202d的兩側(cè)的基底部202彼此碰撞。另外,通過將槽部202d的深度d201設(shè)為基底部202的半徑的40%以上80%以下, 能夠在充分確保基底部202的強度的同時,獲得充分的抑制振動傳播的效果。另外,由于在基底部202和支撐軸205之間形成有間隙20 ,因此能夠減少從基底部202向支撐軸205傳播的振動。另外,能夠減少從支撐軸205向基底部202傳播的振動。 因此,能夠防止對驅(qū)動擋塊203以及轉(zhuǎn)動體204的驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。接著,說明具備本實施方式的驅(qū)動裝置201的鏡頭鏡筒以及相機的一例。本實施方式的可更換鏡頭與相機機身一起形成相機系統(tǒng)??筛鼡Q鏡頭能夠切換為AF(自動對焦) 模式和MF(手動對焦)模式,其中,AF模式是根據(jù)公知的AF控制而進行對焦動作,MF模式是根據(jù)來自攝影者的手動輸入進行對焦動作。圖27是示意性地表示本實施方式中的相機301的構(gòu)成的概略構(gòu)成圖。如圖27所示,相機301具備內(nèi)置有攝像元件308的相機機身302、和具有透鏡307 的鏡頭鏡筒303。鏡頭鏡筒303是能夠裝卸于相機機身302的可更換鏡頭。鏡頭鏡筒303具備透鏡 307、凸輪筒306、驅(qū)動裝置201等。使用驅(qū)動裝置201作為在相機201的對焦動作時驅(qū)動透鏡307的驅(qū)動源。從驅(qū)動裝置201的轉(zhuǎn)動體204獲得的驅(qū)動力直接傳遞到凸輪筒306。透鏡307被凸輪筒306保持,是通過驅(qū)動裝置201的驅(qū)動力向與光軸方向L大致平行方向移動而進行焦點調(diào)節(jié)的對焦透鏡。在使用相機301時,通過設(shè)置在鏡頭鏡筒303內(nèi)的透鏡組(包括透鏡307)將被攝體像成像到攝像元件308的攝像面。通過攝像元件308成像的被攝體像被轉(zhuǎn)換成電信號。 通過A/D轉(zhuǎn)換該信號,獲得圖像數(shù)據(jù)。如以上所說明,本實施方式的相機301以及鏡頭鏡筒303具備在上述的實施方式中說明的驅(qū)動裝置201。因此,與以往相比能夠穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體204,能夠通過提高了輸出的驅(qū)動裝置201直接驅(qū)動凸輪筒306。因此,能量損失較少,能夠獲得節(jié)能的效果。另外, 能夠減少部件件數(shù)。在本實施方式中示出了鏡頭鏡筒303為可更換鏡頭的例子,但不限定于此。例如, 也可以為與相機機身一體型的鏡頭鏡筒。此外,上述的實施方式可以進行多種變形來實施。例如,在上述實施方式中說明了在所有的第一壓電元件和基底部之間設(shè)置有絕緣膜的構(gòu)成,但例如絕緣膜只要至少設(shè)置在第一組或第二組的任何一組的驅(qū)動擋塊所具備的第一壓電元件和基底部之間即可。
另外,在上述實施方式中說明了第一壓電元件以及第二壓電元件厚度切變變形的情況,但其也可以向厚度方向變形。在此情況下,驅(qū)動擋塊通過第一壓電元件向保持部的寬度方向(第一方向)移動,驅(qū)動擋塊的前端部通過第二壓電元件向與旋轉(zhuǎn)軸平行的方向 (第二方向)移動。另外,如果基底部圍繞支撐軸而設(shè)置,則可以分割為多個,也可以不完全圍繞支撐軸。例如,基底部可以偏于圍繞支撐軸的圓周上的一半而配置,也可以配置成從兩側(cè)夾住支撐軸。另外,在上述實施方式中,雖然說明了一對用于向與支撐軸平行方向驅(qū)動驅(qū)動擋塊的第一壓電元件設(shè)置成夾住驅(qū)動擋塊的情況,但第一壓電元件可以僅設(shè)置在驅(qū)動擋塊的一個側(cè)面。另外,可以使用向厚度方向位移的壓電元件作為第一壓電元件而將第一壓電元件配置在基底部的保持部底面和驅(qū)動擋塊的基部底面之間。在此情況下,通過設(shè)置在基底部的保持部的支撐面不經(jīng)由壓電元件而從沿著轉(zhuǎn)動體旋轉(zhuǎn)方向的保持部的寬度方向的兩側(cè)直接支撐基部。另外,也可以使支撐面起到將基部保持成能夠向與支撐軸平行的方向滑動的導(dǎo)向部的作用。另外,在上述的實施方式中,雖然說明了具備兩組驅(qū)動擋塊組的情況,但驅(qū)動擋塊組也可以為三組以上,其中,該驅(qū)動擋塊組具備第一壓電元件以及第二壓電元件。另外,驅(qū)動擋塊組所具備的驅(qū)動擋塊的數(shù)量可以為一個、兩個或者四個以上。例如,在上述實施方式中,也可以將配置在基底部對角上的兩個驅(qū)動擋塊為一組,而構(gòu)成三組驅(qū)動擋塊組。在此情況下,也可以將各組電壓的相位差例如設(shè)為120度。由此,始終通過兩組驅(qū)動擋塊支撐并旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體。驅(qū)動擋塊各組的電壓的相位差只要是將360度除以組數(shù)的值(即,兩組的情況下為180度、三組的情況下為120度)即可。另外,在上述的實施方式中,說明了第一壓電元件夾住驅(qū)動擋塊的基部的方向 (第一方向)與第二壓電元件驅(qū)動驅(qū)動擋塊的前端部的方向(第三方向)相同的情況,但可以使它們不同。例如,通過將第三方向設(shè)為與驅(qū)動擋塊的寬度《203方向交叉且沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向,而使轉(zhuǎn)動體容易旋轉(zhuǎn)。另外,基底部的支撐面也可以不傾斜于與支撐軸平行的方向(第二方向)。例如, 也可以設(shè)置凸起狀的卡止部,該卡止部將第一壓電元件的保持部的底面?zhèn)鹊亩瞬靠ㄖ褂诒3植?。另外,使第一壓電元件的保持部的底面?zhèn)鹊亩瞬客怀鲇诨康牡酌娑蛊淦鸬蕉ㄎ徊康淖饔?,可以通過使定位部接觸到保持部的底面來進行定位。另外,從確保基底部的強度的觀點出發(fā),也可以將基底部和支撐軸之間的間隙形成至槽部的保持部側(cè)的邊緣。另外,從電源部的各端子向第一壓電元件以及第二壓電元件供給的電壓也可以為正弦波、正弦波狀的電壓波形。
權(quán)利要求
1.一種驅(qū)動裝置,用于相對驅(qū)動第一部件和第二部件,其特征在于, 具備壓電元件,驅(qū)動上述第一部件;基底部,經(jīng)由上述壓電元件能夠驅(qū)動地支撐上述第一部件;以及電極部,被施加上述壓電元件的驅(qū)動電壓, 上述電極部具有從上述基底部露出的露出部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置,其特征在于,上述電極部設(shè)置在上述壓電元件的與上述基底部相向的面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的驅(qū)動裝置,其特征在于, 在上述基底部設(shè)置有用于使上述露出部露出的露出形成部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的驅(qū)動裝置,其特征在于,上述露出形成部設(shè)置在上述基底部的上述第二部件側(cè)的端部的角部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的驅(qū)動裝置,其特征在于, 上述露出形成部為上述基底部的倒角部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項所述的驅(qū)動裝置,其特征在于,上述第一部件具備前端部,支撐上述第二部件;基部,從第一方向被一對上述壓電元件夾住;以及第二壓電元件,設(shè)置在上述前端部和上述基部之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的驅(qū)動裝置,其特征在于,上述壓電元件向與上述第一方向不同的第二方向驅(qū)動上述第一部件, 上述第二壓電元件向與上述第二方向不同的第三方向驅(qū)動上述前端部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任一項所述的驅(qū)動裝置,其特征在于, 還具備向上述電極部供給電壓的電源部,上述露出部與上述電源部電連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中的任一項所述的驅(qū)動裝置,其特征在于, 在上述電極部和上述第一部件之間施加電壓。
10.一種鏡頭透鏡,具備權(quán)利要求1至9中的任一項所述的驅(qū)動裝置。
11.一種相機,具備權(quán)利要求10所述的鏡頭透鏡和攝像元件。
12.—種驅(qū)動裝置,其特征在于, 具有壓電元件;第一部件,被上述壓電元件驅(qū)動;第二部件,與上述第一部件抵接而設(shè)置,通過驅(qū)動上述第一部件而相對于上述第一部件移動;以及基底部件,具有導(dǎo)電性,經(jīng)由上述壓電元件能夠驅(qū)動地支撐上述第一部件, 所述驅(qū)動裝置具備多組上述第一部件以及上述壓電元件的組, 至少在一個上述組的上述壓電元件和上述基底部件之間設(shè)置有絕緣膜。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的驅(qū)動裝置,其特征在于,在上述壓電元件的與上述絕緣膜接觸的一側(cè)的面上設(shè)置有電極。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的驅(qū)動裝置,其特征在于,還具備電源部,該電源部對上述壓電元件的上述電極供給電壓。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的驅(qū)動裝置,其特征在于,上述電源部對各上述組供給具有相位差的上述電壓。
16.根據(jù)權(quán)利要求12至15中的任一項所述的驅(qū)動裝置,其特征在于, 上述絕緣膜設(shè)置在上述多組的所有的壓電元件和上述基底部件之間。
17.根據(jù)權(quán)利要求12至16中的任一項所述的驅(qū)動裝置,其特征在于, 上述絕緣膜形成在上述基底部件上。
18.根據(jù)權(quán)利要求12至17中的任一項所述的驅(qū)動裝置,其特征在于,上述第一部件具有基部,經(jīng)由上述壓電元件而被上述基底部件支撐;前端部,與上述第二部件能夠接觸地設(shè)置;以及第二壓電元件,設(shè)置在上述基部和上述前端部之間。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的驅(qū)動裝置,其特征在于, 上述基部被接地。
20.根據(jù)權(quán)利要求12至19中的任一項所述的驅(qū)動裝置,其特征在于, 上述絕緣膜的硬度以鉛筆硬度為2H以上。
21.根據(jù)權(quán)利要求12至20中的任一項所述的驅(qū)動裝置,其特征在于, 上述絕緣膜的膜厚為10 μ m以上20 μ m以下。
22.根據(jù)權(quán)利要求12至21中的任一項所述的驅(qū)動裝置,其特征在于, 將上述壓電元件固定到上述絕緣膜的粘接劑和上述絕緣膜包含同系材料。
23.一種鏡頭鏡筒,具備權(quán)利要求12至22中的任一項所述的驅(qū)動裝置。
24.一種相機,具備權(quán)利要求12至22中的任一項所述的驅(qū)動裝置。
全文摘要
該驅(qū)動裝置(1)是相對驅(qū)動第一部件(3)和第二部件(4)的驅(qū)動裝置,具備壓電元件(6),驅(qū)動上述第一部件;基底部(2),經(jīng)由上述壓電元件能夠驅(qū)動地支撐上述第一部件;以及電極部(6a),被施加上述壓電元件的驅(qū)動電壓,上述電極部具有從上述基底部露出的露出部(6b)。
文檔編號G02B7/04GK102460937SQ201080025258
公開日2012年5月16日 申請日期2010年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月10日
發(fā)明者刈谷智志, 桑野邦宏 申請人:株式會社尼康