專利名稱：晶片透鏡的制造方法， 中間模具、光學(xué)部件、成型模具以及成型模具的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶片透鏡的制造方法、中間模具、光學(xué)部件、成型模具以及成型模具的制造方法
背景技術(shù)：
以往的光學(xué)透鏡制造領(lǐng)域中，有探討通過對玻璃基板設(shè)由固化性樹脂構(gòu)成的透鏡部從而得到耐熱性高的光學(xué)透鏡之技術(shù)。作為應(yīng)用了該技術(shù)的光學(xué)透鏡制造方法的一例， 有一種形成對玻璃基板表面作為固化性樹脂成型品形成了多個(gè)透鏡部、例如折射透鏡部的所謂“晶片透鏡”，然后按透鏡部切割玻璃基板的方法被提案。作為晶片透鏡的制造方法，有一種例如從模具(主模)制作樹脂制的第1中間模具(副模)，然后從第1中間模具制作同樣樹脂制的第2中間模具(副副模)，用第2中間模具制造樹脂制晶片透鏡的使用二個(gè)中間模具的情況(請參照例如專利文獻(xiàn)1、幻。尤其是專利文獻(xiàn)2中公開了一種對大徑玻璃基板依次形成透鏡部的所謂的步驟反復(fù)方式。以下，對使用二個(gè)中間模具制造晶片透鏡的方法作說明。圖觀仏)、(b)表示從模具7G成型第1中間模具8G的方法。首先如圖觀⑷所示，在具有與晶片透鏡IG凸透鏡部IlG(請參照圖30(b))光學(xué)面形狀相應(yīng)的負(fù)片形狀之成型部71G的模具7G上面上滴下樹脂84H(配給工序)，吸引、固定第1中間模具基板80G使之一部分的第1區(qū)域位于模具7G上方。然后，使第1中間模具基板80G向配置在下方的模具7G下降，在第1中間模具基板80G的第1區(qū)域部分模壓樹脂84H(轉(zhuǎn)印工序)。此時(shí)，為了避免在模具7G成型部71G周邊接著成型部71G設(shè)有的平坦部72G與第1中間模具基板 80G碰撞，在模具7G與第1中間模具基板80G之間設(shè)有一定間隙S4地使第1中間模具基板80G停止。該間隙S4量在圖^(a)中為ΔΗ。ΔH量不僅考慮為了防止機(jī)械性碰撞的需要，還從樹脂84Η成型方面考慮確保所需最低限度的間隙而決定。然后就此保持第1中間模具基板80G的高度位置，從第1中間模具基板80G上方對被充填在成型部71G中的樹脂 84Η照光，使樹脂84Η固化(曝光工序)。然后使第1中間模具基板80G上升，從模具7G脫模樹脂84Η (脫模工序)。然后如圖2所示使模具7G偏離所定量，在所定位置(與第1中間模具基板80G的第2區(qū)域部分對應(yīng))進(jìn)行上述配給工序、轉(zhuǎn)印工序、曝光工序，之后用反復(fù)上述工序進(jìn)行成型的所謂步驟反復(fù)方式進(jìn)行成型。這種結(jié)構(gòu)具有能夠從小模具形成廣面積的成型模具之優(yōu)點(diǎn)。但使用這種步驟反復(fù)方式進(jìn)行成型時(shí)，如圖2所示，在第1區(qū)域成型后，與鄰接的第2區(qū)域之間產(chǎn)生所定量的間隙X，這是由于不能完全對準(zhǔn)第1位置與鄰接的第2位置的位置精度而產(chǎn)生的。結(jié)果，如圖^(b)所示，制成的第1中間模具8在第1中間模具基板80G的下面上具有第1中間模具基板80G素材露出的槽部86G。這是因?yàn)闃渲?4H不連續(xù)的原因。采用上述步驟反復(fù)方式從模具成型第1中間模具、從第1中間模具成型第2中間模具、從第2中間模具成型光學(xué)元件時(shí)的構(gòu)成如下。圖四仏)、…)表示從第1中間模具8G成型第2中間模具9G的方法。如圖^(a) 所示，在第1中間模具8G的上面上滴下樹脂94H (配給工序)，在第1中間模具8G的上方吸弓丨、固定第2中間模具基板90G。然后使第2中間模具基板90G向配置在下方的第1中間模具8G下降，將樹脂94H壓到第2中間模具基板90G (轉(zhuǎn)印工序)。此時(shí)，為了避免第1中間模具8G的樹脂部84G中最突出的部分與第2中間模具基板90G碰撞，在第1中間模具8G 與第2中間模具基板90G之間設(shè)有ΔΗ間隙S5地使第1中間模具8G停止。然后同樣進(jìn)行曝光工序、脫模工序，如圖四…)所示，能夠制造在第2中間模具基板90G下面上具有成型部91G的第2中間模具9G。圖中的符號93G是進(jìn)入第1中間模具8G槽部86G的樹脂94H 固化后的部分，是第2中間模具9G樹脂部94G中最高的部分。圖30(a)、(b)表示從第2中間模具9G成型最終產(chǎn)品晶片透鏡IG的方法。如圖 30 (a)所示，在第2中間模具9G上面上滴下樹脂4H (配給工序)，在第2中間模具9G的上方吸引、固定晶片透鏡用玻璃基板2G。然后使玻璃基板2G向配置在下方的第2中間模具9G 下降，將樹脂4H壓到玻璃基板2G (轉(zhuǎn)印工序)。此時(shí)，為了避免第2中間模具9G的樹脂部 94G中最突出的部分與玻璃基板2G碰撞，在第2中間模具9G與玻璃基板2G之間設(shè)有Δ H 間隙S6地使第2中間模具9G停止。然后同樣進(jìn)行曝光工序、脫模工序，如圖30(b)所示， 能夠制造晶片透鏡1G。這樣，在晶片透鏡IG的凸透鏡部IlG周邊接著凸透鏡部IlG的平坦部12G距離玻璃基板2G的高度為2 Δ H，是上述一次成型中為了防止碰撞所必需的間隙Δ H 的2倍。也就是說，由于第1中間模具槽部86G的形成，從第1中間模具制作第2中間模具時(shí)所必需的間隙ΔΗ，最終在從第2中間模具制作透鏡時(shí)成為2倍的間隙。先行技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 特表2006-519711號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 美國專利申請公開2006/0259546號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明欲解決的課題如上所述，在從模具成型第1中間模具及第2中間模具、然后成型晶片透鏡時(shí)，為了避免轉(zhuǎn)印工序時(shí)各成型模具的突出部分與各基板碰撞，必須在成型模具與基板之間設(shè)適當(dāng)?shù)木嚯xΔΗ，在使用二個(gè)中間模具時(shí)，作為晶片透鏡，相對本來成型所必需的厚度來說，必須多余成型厚度2ΔΗ。結(jié)果，在上下疊層晶片透鏡構(gòu)成晶片透鏡單元時(shí)，光軸方向變厚，不利于小型化。另外上述專利文獻(xiàn)2中記載的步驟反復(fù)方式的情況，是在大徑玻璃基板上配給透鏡成型材料之后，將具有一個(gè)成型部的一個(gè)成型模具壓到基板上的成型材料上成型一個(gè)透鏡部，然后用同樣方法依次成型多個(gè)透鏡部。也就是說，不是使用具有多個(gè)成型部的陣列主模進(jìn)行步驟反復(fù)方式，而是一個(gè)成型模具只有一個(gè)成型部，所以是使一個(gè)成型部內(nèi)的成型材料固化、脫模之后，將下一環(huán)成型材料配給到成型部內(nèi)進(jìn)行固化。因?yàn)槭且粋€(gè)個(gè)固化、成型透鏡部，所以設(shè)想相鄰的透鏡部之間不會連在一起，沒有問題。
而使用具有多個(gè)成型部的陣列主模時(shí)，是在各成型部中分別配給成型材料進(jìn)行成型，所以由于配給量而會引起有的成型部中成型材料溢出，而一旦溢出，與該溢出成型部鄰接的成型部內(nèi)的成型材料因?yàn)檫€未固化而為液體，所以固化時(shí)連上，出現(xiàn)問題。而一旦成型材料之間連上，固化收縮時(shí)應(yīng)力大到好幾倍，會導(dǎo)致后階段中間模具、轉(zhuǎn)印模具的形狀惡化及脫模性惡化等問題。本發(fā)明鑒于上述情況，目的在于提供一種晶片透鏡的制造方法、中間模具、光學(xué)部件以及成型模具，同時(shí)提供一種形狀良好、脫模性優(yōu)異的成型模具的制造方法，其中，晶片透鏡中不會不必要地加厚形成在基板上的透鏡部等樹脂部分，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。用來解決課題的手段根據(jù)本發(fā)明的一形態(tài)，提供一種在基板的至少一面上設(shè)多個(gè)光固化性樹脂透鏡部的晶片透鏡的制造方法，晶片透鏡制造方法的特征在于，該制造方法備有下述各工序第1中間模具制造工序，在具有與所述透鏡部光學(xué)面形狀對應(yīng)的負(fù)片形狀的成型部的模具與第1中間模具基板之間充填、模壓光固化性樹脂，用光照射使之固化，由此制造具有與所述光學(xué)部件光學(xué)面形狀對應(yīng)的正片形狀的透鏡部的第1中間模具，該第1中間模具制造工序包括下述各副工序i) vii) :i)準(zhǔn)備第1中間模具基板；ii)在所述模具中配給光固化性樹脂，將所述第1中間模具基板表面一部分的第1區(qū)域壓到所述模具，由此將光固化性樹脂充填到所述模具的成型部內(nèi)；iii)對所述充填的光固化性樹脂照射光促使固化；iv)所述固化之后從光固化性樹脂脫模所述模具；ν)在脫模后的模具中配給光固化性樹脂，將第1中間模具基板表面上與所述第1區(qū)域持所定間隔配置的第2區(qū)域壓到所述模具，由此將光固化性樹脂充填到所述模具的成型部內(nèi)；vi)對所述充填的光固化性樹脂照射光促使固化；vii)所述固化之后從光固化性樹脂脫模所述模具；第2中間模具制造工序，在由所述第1中間模具制造工序得到的第1中間模具與不同于所述第1中間模具的第2中間模具基板之間充填、模壓光固化性樹脂，用光照射使之固化，由此制造具有與所述透鏡部光學(xué)面形狀對應(yīng)的負(fù)片形狀的成型部的第2中間模具；晶片透鏡制造工序，在所述第2中間模具與所述基板之間充填、模壓光固化性樹月旨，用光照射使之固化，由此制造備有多個(gè)所述透鏡部的晶片透鏡；在所述第1中間模具基板的對著所述模具的面上形成凹部，其中配置所述模具的所述成型部的頂部、或接著所述成型部的周邊部的至少接近所述第1中間模具基板的部分，在模壓充填在所述模具與所述第1中間模具基板之間的光固化性樹脂時(shí)，在所述凹部內(nèi)配置所述模具的所述頂部、或所述周邊部的至少接近所述第1中間模具基板的部分，并設(shè)所定間隙，使之不接觸形成所述凹部的凹面。根據(jù)本發(fā)明的另一形態(tài)，提供一種中間模具，被用于制造在基板的至少一面上設(shè)光固化性樹脂光學(xué)部件的晶片透鏡，具有中間模具基板；設(shè)在所述中間模具基板上的與所述光學(xué)部件的光學(xué)面形狀對應(yīng)的正片形狀或負(fù)片形狀的成型部；中間模具的特征在于，所述中間模具基板上形成了凹部，其中配置所述成型部的頂部或接著所述成型部的周邊部的至少接近所述中間模具基板的部分，在所述凹部內(nèi)配置所述成型部的所述頂部或所述周邊部的至少接近所述中間模具基板的部分，并設(shè)所定的間隙，使之不接觸形成所述凹部的凹面。根據(jù)本發(fā)明的另一形態(tài)，提供一種形成了樹脂成型部的光學(xué)部件，包括基板；一部分在所述基板至少一面上固化光固化性樹脂得到的凹或凸的折射透鏡部；光學(xué)部件的特征在于，在所述基板的至少一面上設(shè)凹部，所述樹脂成型部至少在該基板的形成了凹部的一面上備有所述凹或凸的折射透鏡部和接著該折射透鏡部的樹脂平坦部，使所述折射透鏡部在從平行于光軸的方向向所述基板投影時(shí)的區(qū)域納入所述基板的凹部內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明的另一形態(tài)，提供一種成型模具，被用于制造在基板的至少一面上設(shè)多個(gè)光固化性樹脂折射透鏡部的晶片透鏡，具有與所述透鏡部的光學(xué)面形狀對應(yīng)的正片形狀或負(fù)片形狀的成型部，以及形成所述成型部周圍的周邊形成部，成型模具的特征在于，所述成型部以及所述周邊形成部中含有使所述光固化性樹脂固化的具有特定波長吸收作用的物質(zhì)。根據(jù)本發(fā)明的另一形態(tài)，提供一種成型模具的制造方法，是多次使用由凹部劃分多組透鏡成型部及接著該透鏡成型部周圍的突緣成型部的模具，在基板上制造固化性樹脂成型模具的成型模具制造方法，其特征在于，具有下述各工序配給工序，在所述基板的第1位置與形成在所述模具上的多組所述透鏡成型部及所述突緣成型部各個(gè)之間分別配給固化性樹脂；固化工序，在所述配給工序之后固化所述模具與所述基板之間的固化性樹脂；脫模工序，在所述固化工序之后從所述固化性樹脂脫模所述模具；配給工序，在不同于所述基板第1位置的第2位置與形成在所述模具上的多組所述透鏡成型部及所述突緣成型部各個(gè)之間分別配給固化性樹脂；固化工序，在所述配給工序之后固化所述模具與所述基板之間的固化性樹脂；脫模工序，在所述固化工序之后從所述固化性樹脂脫模所述模具；在所述模具的各突緣成型部以及接著該突緣成型部設(shè)有的形成所述凹部的高低差面上實(shí)施脫模處理，并且，在所述配給工序中，被配給到所述基板與所述模具的各透鏡成型部及突緣成型部之間的固化性樹脂的配給容量，大于在所述基板與所述模具的各透鏡成型部及突緣成型部之間形成的形成空間體積。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，在采用步驟反復(fù)方式從模具制造第1中間模具、第2中間模具、晶片透鏡時(shí)，也能夠降低由于采用該步驟反復(fù)方式而不可避免產(chǎn)生的起因于第1中間模具槽部的間隙的厚度，所以，不會不必要地加厚第1中間模具的成型部及周邊部等的樹脂部分，能夠使第1中間模具小型化。使用這種第1中間模具制造的晶片透鏡也能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。另外根據(jù)本發(fā)明，通過在各突緣成型部及高低差面上實(shí)施脫模處理，能夠使固化的固化性樹脂容易地從模具脫模。另外，因?yàn)槭构袒詷渲呐浣o容量大于基板與模具的各透鏡成型部及突緣成型部之間形成的形成空間體積，所以能夠防止固化性樹脂固化收縮時(shí)產(chǎn)生的沉陷，能夠制造形狀良好的成型模具。并且，模具是由凹部劃分為多組透鏡成型部及突緣成型部并在突緣成型部與凹部之間具有高低差面之結(jié)構(gòu)，所以，能夠防止配給到相鄰?fù)哥R成型部內(nèi)的固化性樹脂相互連接、固化。而且，固化性樹脂是向基板側(cè)展開的錐形形狀固化的，這又有利于相對模具的脫模性。


圖1 :晶片透鏡的概略結(jié)構(gòu)平面示意圖。圖2 :晶片透鏡的概略結(jié)構(gòu)側(cè)面示意圖。圖3 本發(fā)明第1實(shí)施方式晶片透鏡制造方法的一部分側(cè)面示意圖，是制造第1中間模具的情況。圖4 本發(fā)明第1實(shí)施方式晶片透鏡制造方法的一部分側(cè)面示意圖，是從圖3狀態(tài)制造第2中間模具的情況。圖5 本發(fā)明第1實(shí)施方式晶片透鏡制造方法的一部分側(cè)面示意圖，是從圖4狀態(tài)制造晶片透鏡的情況。圖6 制造裝置的概略結(jié)構(gòu)立體示意圖。
圖7 圖6制造裝置的平面圖。圖8 :X軸移動機(jī)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)示意圖，是沿圖7中A-A線的截面圖。圖9 Y軸移動機(jī)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)示意圖，是沿圖7中B-B線的截面圖。圖10 =XY臺與定盤內(nèi)的概略結(jié)構(gòu)截面示意圖。圖11 沿圖10中C-C線的截面圖。圖12 模具部的概略結(jié)構(gòu)截面示意圖。圖13 圖12的概略結(jié)構(gòu)平面示意圖。圖14 在模具對面配置配給器時(shí)的概略結(jié)構(gòu)截面示意圖。圖15 概略性控制結(jié)構(gòu)方框示意圖。圖16 用來時(shí)序性說明晶片透鏡制造方法的概略流程。圖17 從圖16的配給工序到脫模工序的壓力狀態(tài)概略定時(shí)圖表。圖18 用來調(diào)整玻璃基板與模具平行度的結(jié)構(gòu)概略說明圖。圖19 模具在二維平面上的坐標(biāo)軸變換概略說明圖。圖20 本發(fā)明第2實(shí)施方式晶片透鏡的概略結(jié)構(gòu)側(cè)面示意圖。圖21 本發(fā)明第2實(shí)施方式晶片透鏡的概略結(jié)構(gòu)側(cè)面示意圖。圖22 本發(fā)明第3實(shí)施方式晶片透鏡的概略結(jié)構(gòu)側(cè)面示意圖。圖23 本發(fā)明第3實(shí)施方式晶片透鏡的概略結(jié)構(gòu)側(cè)面示意圖。圖M 本發(fā)明第4實(shí)施方式晶片透鏡的概略結(jié)構(gòu)側(cè)面示意圖。圖25 晶片透鏡制造方法的一部分側(cè)面示意圖，是制造中間模具的情況。圖沈晶片透鏡制造方法的一部分側(cè)面示意圖，是從圖25狀態(tài)制造轉(zhuǎn)印模具的情況。圖27 晶片透鏡制造方法的一部分側(cè)面示意圖，是從圖沈狀態(tài)制造晶片透鏡的情況。圖觀以往例中晶片透鏡制造方法的一部分側(cè)面示意圖，是制造第1中間模具的情況。圖29 以往例中晶片透鏡制造方法的一部分側(cè)面示意圖，是從圖5狀態(tài)制造第2中間模具的情況。圖30 以往例中晶片透鏡制造方法的一部分側(cè)面示意圖，是從圖四狀態(tài)制造晶片透鏡的情況。
具體實(shí)施例方式以下參照附圖，對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式作說明。[第1實(shí)施方式]如圖1、2所示，晶片透鏡1備有圓形玻璃基板2以及形成在玻璃基板2 —面上的樹脂部4。如圖5(b)所示，樹脂部4具有為凸?fàn)罟鈱W(xué)面的凸透鏡部11以及凸透鏡部11周邊接著凸透鏡部11形成的周邊部17。周邊部17具有接著凸透鏡部11形成的環(huán)狀的平坦部 12以及接著該平坦部12形成的凸?fàn)畈?3。優(yōu)選凸透鏡部11是折射透鏡，但并不一定局限于此，也可以形成光學(xué)面表面衍射槽和臺階等微細(xì)構(gòu)造。樹脂部4用光固化性樹脂形成。作為該光固化性樹脂，可以采用例如丙烯樹脂、烯丙酯樹脂等，這些樹脂可以通過原子團(tuán)聚合反應(yīng)固化。凸?fàn)畈?3與凸透鏡部11不同，頂部13a為平坦面。凸?fàn)畈?3頂部13a的高度高于凸透鏡部11頂部Ila的高度。形成在凸透鏡部11與凸?fàn)畈?3之間以及鄰接的凸?fàn)畈?3之間的環(huán)狀平坦部(薄的部分)12，其從玻璃基板2起的高度為ΔΗ，尤其是凸透鏡部11與凸?fàn)畈?3之間的平坦部12，其高度是以往的一半。如圖3 圖5所示，晶片透鏡1如下所述地成型從具有與凸透鏡部11光學(xué)面形狀對應(yīng)的負(fù)片形狀(凹狀)成型部71的模具7，成型具有正片形狀(凸形狀)成型部81的第1中間模具8，從第1中間模具8成型具有負(fù)片形狀(凹狀)成型部91的第2中間模具 9，由成型的第2中間模具9成型晶片透鏡1。本實(shí)施方式中，是以第2中間模具9單位對一張玻璃基板2依次形成樹脂部4(凸透鏡部11)(請參照圖1、圖2箭頭)，最后按每個(gè)凸透鏡部11切割玻璃基板2進(jìn)行單片化。圖1、圖2表示制造工序的中途階段，所以只在玻璃基板2表面的一部分上形成了樹脂部4。由于圖示的關(guān)系，圖1、圖2中的樹脂部4形狀是圖5 (b)所示的簡略。接下去，對制造晶片透鏡1的方法作說明。第1中間模具制造工序圖3(a)、(b)表示從模具7成型第1中間模具8的方法。如圖3(a)所示，在模具 7的上面上滴下樹脂84A (配給工序)，在模具7上方吸引、固定為玻璃基板的第1中間模具基板80。預(yù)先，在第1中間模具基板80下面上的對著模具7成型部71頂部71a和接著成型部71的周邊部77 (平坦部72及凹狀部73 —部分)的位置上，形成凹部85。然后，使模具7向配置在上方的第1中間模具基板80上升，將樹脂84A壓到第1 中間模具基板80(轉(zhuǎn)印工序)。本實(shí)施方式中，當(dāng)?shù)?中間模具基板80的下面和模具7平坦部72在相同高度位置時(shí)，停止模具7上升。此時(shí)，模具7平坦部72被置于第1中間模具基板80的凹部85內(nèi)，不接觸形成凹部85的凹面8 地形成了所定的間隙Si。也就是說， 防止模具7上最突出在第1中間模具基板80 —側(cè)的平坦部72與第1中間模具基板80的下面碰撞。然后就此保持模具7的高度位置，從第1中間模具基板80上方對充填在成型部71 中的樹脂84A照光，使樹脂部84A光固化(曝光工序)。光照射之后使模具7下降，從模具 7脫模樹脂84A (脫模工序)。由此制成如圖3(b)所示，在第1中間模具基板80的下面上具有與晶片透鏡1凸透鏡部11光學(xué)面形狀對應(yīng)的正片形狀成型部81的第1中間模具8。制成的第1中間模具8的成型部81周邊，接著成型部81設(shè)有周邊部87。周邊部 87是接著成型部81的平坦部82和接著平坦部82的凸?fàn)畈?3。在成型部81、平坦部82及凸?fàn)畈?3構(gòu)成的樹脂部84、84相互之間形成了槽部86，樹脂84A不連接，第1中間模具基板80素材露出。另外，第1中間模具8的平坦部82與第1中間模具基板80的下面是同樣的高度。凸?fàn)畈?3的高度高于成型部81的高度。第2中間樽具制造工序圖4(a)、(b)表示從第1中間模具8成型第2中間模具9的方法。如圖4(a)所示，在第1中間模具8的上面上滴下樹脂94A (配給工序)，在第1中間模具8上方吸引、固定為玻璃基板的第2中間模具基板90。然后使第1中間模具8向配置在上方的第2中間模具基板90上升，將樹脂94A壓到第2中間模具基板90 (轉(zhuǎn)印工序)。此時(shí)為了防止第1中間模具8的凸?fàn)畈?3碰撞第2 中間模具基板90的下面，使第1中間模具8的凸?fàn)畈?3與第2中間模具基板90之間設(shè)有一定間隙S2地停止第1中間模具8。然后就此保持第1中間模具8的高度位置，從第2中間模具基板90上方對充填在成型部81中的樹脂94A照光，使樹脂94A光固化(曝光工序)。光照射之后使第1中間模具8下降，從第1中間模具8脫模樹脂94A(脫模工序)。由此制成如圖4(b)所示，在第2 中間模具基板90的下面上具有與晶片透鏡1凸透鏡部11光學(xué)面形狀對應(yīng)的負(fù)片形狀成型部91的第2中間模具9。制成的第2中間模具9的成型部91周邊，接著成型部91設(shè)有周邊部97。周邊部 97是接著成型部91的平坦部92和接著平坦部92的凹狀部96及接著凹狀部96的凸?fàn)畈?93。另外，第2中間模具9的凸?fàn)畈?3是被充填到第1中間模具8槽部86中的樹脂94A 固化的部分，高度與第2中間模具9平坦部92 —樣。晶片透鏡制造工序圖5(a)、(b)表示從第2中間模具9成型晶片透鏡1的方法。如圖5(a)所示，在第2中間模具9的上面上滴下樹脂4A (配給工序)，在第2中間模具9上方吸引、固定晶片透鏡用玻璃基板2。然后，使第2中間模具9向配置在上方的玻璃基板2上升，將樹脂4A壓到玻璃基板2 (轉(zhuǎn)印工序)。此時(shí)為了防止第2中間模具9的平坦部92及凸?fàn)畈?3碰撞玻璃基板2 的下面，使第2中間模具9的平坦部92及凸?fàn)畈?3與玻璃基板2之間設(shè)有一定間隙S3地停止第2中間模具9。然后就此保持第2中間模具9的高度位置，從玻璃基板2上方對充填在成型部91 中的樹脂4A照光，使樹脂4A光固化(曝光工序)。光照射之后使第2中間模具9下降，從第2中間模具9脫模樹脂4A(脫模工序)。由此制成如圖5(b)所示，在玻璃基板2的下面上備有凸透鏡部11的晶片透鏡1。
制成的晶片透鏡1的凸透鏡部11周邊，接著凸透鏡部11設(shè)有具有平坦部12及凸?fàn)畈?3的周邊部17。晶片透鏡1的平坦部12距離玻璃基板2下面的高度為ΔΗ。這與以往一次成型中為了防止碰撞所必需的間隙ΔΗ相等，是圖30(b)中以往晶片透鏡IG的平坦部12G距離玻璃基板2G下面的高度2ΔΗ的一半。接下去對制造上述晶片透鏡1時(shí)使用的制造裝置10作說明。這里舉例說明在圖 3(a)、(b)說明的從模具7制造第1中間模具8時(shí)使用的裝置，從第1中間模具8制造第2 中間模具9以及從第2中間模具9制造晶片透鏡1時(shí)也可以使用同樣的制造裝置。如圖6、圖7所示，制造裝置10主要備有呈立方體狀的定盤20 ；設(shè)在定盤20上的 XY臺30 ；用來使XY臺30沿X軸方向移動的X軸移動機(jī)構(gòu)100 ；用來使XY臺30沿Y軸方向移動的一對Y軸移動機(jī)構(gòu)200。如圖7、圖8所示，X軸移動機(jī)構(gòu)100具有延伸在X軸方向的X軸導(dǎo)向102。如圖 5所示，XY臺30被配置在X軸導(dǎo)向102下方。XY臺30上形成了延伸在X軸方向的一對突條部31，X軸導(dǎo)向102被配置在突條部31之間。如圖8所示，X軸移動機(jī)構(gòu)100備有使XY臺30實(shí)際上沿X軸方向移動的線性馬達(dá) 110。線性馬達(dá)110具有周知的機(jī)構(gòu)，主要由固定子112、可動子114、刻度尺116、傳感118 構(gòu)成。設(shè)有被固定在XY臺30的一個(gè)突條部31上的可動子114，能夠沿X軸導(dǎo)向102移動?？潭瘸?16被固定在X軸導(dǎo)向102上。傳感118被固定在XY臺30的另一個(gè)突條部31上。X軸移動機(jī)構(gòu)100中，由傳感118檢測刻度尺116同時(shí)可動子114沿固定子112移動，由此，XY臺30能夠沿X軸導(dǎo)向102在X軸方向恰好移動所定距離。XY臺30的各突條部31上設(shè)有空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)120?？諝饣袑?dǎo)向機(jī)構(gòu)120具有噴出空氣的噴出孔122?？諝饣袑?dǎo)向機(jī)構(gòu)120能夠從各噴出孔122向X軸導(dǎo)向102噴出空氣，使XY臺30相對導(dǎo)向浮上。XY臺30的下部設(shè)有多個(gè)空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)130。各空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)130具有噴出空氣的2個(gè)噴出孔132、136和吸引空氣的1個(gè)吸引孔134?？諝饣袑?dǎo)向機(jī)構(gòu)130從各噴出孔132、136向定盤20噴出空氣并從吸引孔134吸引空氣，使XY臺30相對定盤20
以一定的高度位置浮上。如圖6、圖7所示，Y軸移動機(jī)構(gòu)200具有延伸在Y軸方向的1對Y軸導(dǎo)向202。Y 軸導(dǎo)向202上設(shè)有1對Y軸移動體210。各Y軸移動體210上固定著X軸導(dǎo)向102的兩端，Y軸移動體210在支撐X軸導(dǎo)向102 (XY臺30)的狀態(tài)下沿Y軸導(dǎo)向202在Y軸方向移動。詳細(xì)則是Y軸移動機(jī)構(gòu)200中設(shè)有線性馬達(dá)220。線性馬達(dá)220的結(jié)構(gòu)與X軸移動機(jī)構(gòu)100的線性馬達(dá)110相同，主要由固定子222、可動子224、刻度尺226、傳感(圖示省略)構(gòu)成，由傳感檢測刻度尺226同時(shí)可動子2M沿固定子222移動，由此，Y軸移動體210 能夠沿Y軸導(dǎo)向202在Y軸方向恰好移動所定距離。如圖9所示，Y軸移動體210的端部上形成了呈鉤狀的鉤部212、214，在各鉤部 212,214內(nèi)側(cè)嵌合埋設(shè)著Y軸導(dǎo)向202的端部204、206。鉤部212上設(shè)有空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)230，鉤部214上設(shè)有空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)M0?？諝饣袑?dǎo)向機(jī)構(gòu)230具有從3個(gè)方向(上方、側(cè)方、下方)噴出空氣的的噴出孔232、234、 236?？諝饣袑?dǎo)向機(jī)構(gòu)240也具有從3個(gè)方向(上方、側(cè)方、下方)噴出空氣的噴出孔M2、 244,246ο空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)230從各噴出孔232、234、236向Y軸導(dǎo)向202端部204噴出空氣，另外，空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)240從各噴出孔M2J44J46向Y軸導(dǎo)向202端部206噴出空氣，使Y軸移動體201空氣滑行。如圖6、圖7所示，XY臺30上設(shè)有在模具7上滴下樹脂的配給器32、測定模具7平面度(傾斜)和高度位置等的激光測長器34、模具7與第1中間模具基板80對準(zhǔn)時(shí)使用的顯微鏡36。如圖6所示，XY臺30上形成了貫通上下面的平面視形狀為圓形狀的貫通孔40，對貫通孔40設(shè)置第1中間模具基板80。詳細(xì)則是貫通孔40上形成了臺階，第1中間模具基板80由沒有圖示的彈簧固定在臺階上。XY臺30上設(shè)有蓋住貫通孔40的平面視形狀為四方形的蓋部42。蓋部42由石英板等光透過性部件構(gòu)成，蓋部42上方設(shè)有光源44。如圖10所示，定盤20上埋設(shè)著模具部50以及用來使模具部50沿Z軸方向移動的ζ軸移動機(jī)構(gòu)300。模具部50被設(shè)置在Z軸移動機(jī)構(gòu)300 (Ζ臺304)上部。Z軸移動機(jī)構(gòu)300主要備有上部具有突緣的4方筒狀Z軸導(dǎo)向302、在Z軸方向上在Z軸導(dǎo)向302內(nèi)移動的Z臺304、使Z臺304在Z軸方向(上下方向)上移動的馬達(dá)306。馬達(dá)306內(nèi)藏電位計(jì)，馬達(dá)上連接著軸308。Z軸移動機(jī)構(gòu)300中，馬達(dá)306運(yùn)轉(zhuǎn)， 軸308上下伸縮，Z臺304及模具部50隨之上下移動。如圖11(a)所示，在Z軸導(dǎo)向302內(nèi)周面和Z臺304側(cè)面之間設(shè)有間隙310。在Z軸導(dǎo)向302上設(shè)有空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)320?？諝饣袑?dǎo)向機(jī)構(gòu)320具有噴出空氣的噴出孔322、324、326、328?？諝饣袑?dǎo)向機(jī)構(gòu)320從各噴出孔322、324、326、328向 Z臺304噴出空氣，使Z臺304空氣滑行。如圖10所示，Z軸導(dǎo)向320形成突緣的內(nèi)周面上通過硅脂、油封、0環(huán)等密封部件 330密封，密封Z軸導(dǎo)向302與Z臺304之間的間隙，使間隙310內(nèi)的空氣不漏到Z軸導(dǎo)向 302上方(不泄漏)。另外沒有圖示，在作上下移動的Z臺304周圍設(shè)突緣部，用金屬制風(fēng)箱覆蓋與固定配置的Z軸導(dǎo)向302突緣部之間的間隙，同樣進(jìn)行密封，這對于得到上述效果來說更優(yōu)選。如圖10所示，由XY臺30、定盤20、Ζ軸導(dǎo)向302構(gòu)成上面開口的收容體。收容體的上面開口由蓋部42蓋住，在由蓋部42、XY臺30、定盤20、Z軸導(dǎo)向302圍起的區(qū)域中形成了空間部400?？臻g部400由設(shè)置在XY臺30上的第1中間模具基板80劃分為第1中間模具基板80與蓋部42之間構(gòu)成的上部空間部402 ；第1中間模具基板80與Z軸移動機(jī)構(gòu)300之間構(gòu)成的下部空間部404。第1中間模具基板80周緣部上形成了貫通上下面、相互連通上部空間部402和下部空間部404的連通孔3，構(gòu)造上兩空間部402、404沒有差壓。下部空間部404與真空泵等減壓機(jī)構(gòu)410連結(jié)，減壓機(jī)構(gòu)410運(yùn)轉(zhuǎn)，使空間部400處于減壓狀態(tài)。也可以例如如圖10所示在XY臺30上形成連通孔38，以此代替在第1中間模具基板80上形成的連通孔3。
另外，減壓機(jī)構(gòu)410是與下部空間部404連結(jié)的，但也可以與上部空間部402連結(jié)。如圖12所示，模具部50主要備有依次設(shè)置在Z臺304上的第1支撐臺52、壓力傳動裝置M、第2支撐臺56、壓力傳感58、第3支撐臺60、模具7 (或沒有圖示的第1中間模具8、第2中間模具9)。第1支撐臺52和第2支撐臺56通過預(yù)壓用螺桿66連結(jié)，受其作用而相互接近。 在第1支撐臺52和第2支撐臺56之間設(shè)置3個(gè)壓力傳動裝置M和L字形板彈簧68 (請參照圖13)。第2支撐臺56和第3支撐臺60通過螺桿N連結(jié)，在第2支撐臺56和第3支撐臺60之間設(shè)置壓力傳感58。在第3支撐臺60和模具7之間設(shè)置用來使模具7轉(zhuǎn)動的 θ 臺 62。如圖13所示，3個(gè)壓力傳動裝置M分別被設(shè)在第1支撐臺52的3個(gè)角部，用3點(diǎn)支撐第2支撐臺56。模具部50中，根據(jù)壓力傳感58的輸出值控制各壓力傳動裝置M運(yùn)轉(zhuǎn)，第2支撐臺56、第1支撐臺60及模具64的傾斜得到調(diào)整。結(jié)果，能夠使模具7與第1 中間模具基板80平行，能夠在向模具7中充填樹脂之后控制向樹脂的荷重為所望壓力地進(jìn)行關(guān)模和轉(zhuǎn)印成型。本實(shí)施方式中是3個(gè)壓力傳動裝置的結(jié)構(gòu)，但只要是適合于促進(jìn)上述平行達(dá)成及能夠進(jìn)行荷重控制的配置及個(gè)數(shù)，就都可以，個(gè)數(shù)并不局限于上述。模具7上如上述圖3 (a)所示，形成有凹狀成型部71、接著成型部71的平坦部72、 進(jìn)一步接著平坦部72設(shè)置的凹狀部73 (圖12中作了簡化)。成型部71的表面(成型面) 形狀是與晶片透鏡1中的凸透鏡部11對應(yīng)的負(fù)片形狀。如圖14所示，配給器32具有滴下樹脂的針部33，針部33貫通XY臺30。在XY臺 30的配給器32與模具部50對著配置的狀態(tài)下，在XY臺30、定盤20、Z軸移動機(jī)構(gòu)300圍起的區(qū)域中形成空間部406，配給器32針部33的先端置于空間部406。在該狀態(tài)下減壓機(jī)構(gòu)410工作，使空間部406處于減壓狀態(tài)。圖14中的其他結(jié)構(gòu)與圖10的相同，對同樣的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)相同的符號，省略說明。具有上述結(jié)構(gòu)的制造裝置10備有控制裝置500。控制裝置500上連接著配給器 32、激光測長器34、顯微鏡36、光源44、模具部50 (壓力傳動裝置M、壓力傳感58、θ臺62 等)、Χ軸移動機(jī)構(gòu)100、Y軸移動機(jī)構(gòu)200、Z軸移動機(jī)構(gòu)300、空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)120、130、 230、對0、320、減壓機(jī)構(gòu)410等，控制裝置500接受上述部件的檢測結(jié)果，控制它們的動作 (工作、停止等)。在上述制造裝置10制造第2中間模具9時(shí)，可以將模具7換為第1中間模具8，將第1中間模具基板80換為第2中間模具基板90。另外，制造晶片透鏡1時(shí)，可以將模具7 換為第2中間模具9，將第2中間模具基板90換為晶片透鏡用玻璃基板2。接下去參照圖16、17，對上述制造裝置10的動作作說明。這里也是舉例說明從模具7制造第1中間模具8的情況(第1中間模具制造工序)。首先，在XY臺30上設(shè)置第1中間模具基板80 (晶片裝載工序Si)，用蓋部42蓋住 XY臺30的貫通孔40 (請參照圖10)。在第1中間模具基板80的下面上預(yù)先形成上述凹部 85。然后控制X軸移動機(jī)構(gòu)100(線性馬達(dá)110)、Y軸移動機(jī)構(gòu)200(線性馬達(dá)220)、 空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)120、130、230、240等，使XY臺30在X軸方向及Y軸方向通過空氣滑行移動進(jìn)行位置對準(zhǔn)，使配給器32位于模具7上方(預(yù)對準(zhǔn)工序S2)。此時(shí)，定盤20的所定位置上事先標(biāo)有對準(zhǔn)標(biāo)志，在預(yù)對準(zhǔn)工序中，邊用顯微鏡36 確認(rèn)該對準(zhǔn)標(biāo)志，邊進(jìn)行配給器32的位置對準(zhǔn)。進(jìn)行配給器32的位置對準(zhǔn)后，至少使空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)130的動作停止使進(jìn)入XY 臺30與定盤20密貼的狀態(tài)，從配給器32針部33向模具部50的模具7上滴下所定量的樹脂84A (配給工序S3，請參照圖3 (a)、圖14)。此時(shí)，如圖17實(shí)線部分所示，控制減壓機(jī)構(gòu)410，對空間部406進(jìn)行減壓。減壓是指使空間部406基本上為真空狀態(tài)，具體則是使達(dá)到10-2MPa以下。通過在減壓狀態(tài)下進(jìn)行配給工序S3處理，這樣能夠防止氣泡混入樹脂84A內(nèi)。本實(shí)施方式中，使從配給工序S3到脫模工序S7基本上處于減壓狀態(tài)，減壓的定義如上所述。然后控制X軸移動機(jī)構(gòu)100 (線性馬達(dá)110)、Y軸移動機(jī)構(gòu)200 (線性馬達(dá)220)、 空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)120、130、230、240等，使XY臺30在X軸方向及Y軸方向通過空氣滑行移動進(jìn)行位置對準(zhǔn)，使預(yù)先設(shè)置的第1中間模具基板80位于模具部50的模具7上方(對準(zhǔn)工序S4，請參照圖10)。然后，(1)如圖18所示，將周知的激光測長器34配置到模具7上方，使空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)120、130、230、240停止工作，在其位置鎖定第1中間模具基板80，使XY臺30與定盤20 處于密貼狀態(tài)。同時(shí)控制空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)320，如圖11(b)所示，例如只從噴出孔322、3觀噴出空氣，使Z臺304 —部分接觸Z軸導(dǎo)向302內(nèi)壁。由此能夠鎖定模具部50位置(定位)，并由Z臺304與Z軸導(dǎo)向302之間的摩擦力將模具部50位置保持在一定。(2)然后，由激光測長器34進(jìn)行3點(diǎn)以上的高度測定，從測定結(jié)果算出模具上面的傾斜和模具的高度位置，根據(jù)輸出值(角度α的偏離值)，控制壓力傳動裝置Μ，使第1中間模具基板80的下面與模具7的上面相互平行。解除鎖定狀態(tài)，在模具7上方配置顯微鏡。使空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)120、130、230、Μ0 停止工作，在此位置鎖定第1中間模具基板80，使XY臺30與定盤20處于密貼狀態(tài)。同時(shí)控制空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu)320，如圖11(b)所示，例如只從噴出孔322、328噴出空氣，使Z臺304 —部分接觸Z軸導(dǎo)向302內(nèi)壁。由此鎖定模具部50位置(定位)，并由Z 臺304與Z軸導(dǎo)向302之間的摩擦力將模具部50位置保持在一定。這樣，通過Z軸導(dǎo)向302與Z臺304接觸，能夠相對導(dǎo)向保持以定出的位置和角度支撐被安裝在上面的模具。于是具有下述優(yōu)點(diǎn)在解除鎖定狀態(tài)時(shí)臺及模具能夠順暢動作； 并且，在鎖定狀態(tài)時(shí)能夠以調(diào)整時(shí)同樣的姿勢進(jìn)行成型動作。C3)然后，用顯微鏡36檢測模具，根據(jù)檢測結(jié)果，掌握模具7的現(xiàn)狀配置位置，根據(jù)其現(xiàn)實(shí)配置位置，在控制裝置500中，作為軸坐標(biāo)，變換預(yù)先設(shè)定好的模具7的初期位置的軸坐標(biāo)。詳細(xì)則是用顯微鏡36從模具7上方至少識別2點(diǎn)位置，識別其一個(gè)位置為原點(diǎn)， 另一個(gè)位置為修正點(diǎn)。例如事先對模具7在對角上標(biāo)對準(zhǔn)標(biāo)志，識別一個(gè)對準(zhǔn)標(biāo)志為原點(diǎn)， 另一個(gè)對準(zhǔn)標(biāo)志為修正點(diǎn)。本實(shí)施方式中，作為檢測模具7配置位置的位置檢測器一例，使用顯微鏡36。然后，算出從原點(diǎn)向修正點(diǎn)的坐標(biāo)變換用直線，算出該算出的直線與預(yù)先設(shè)定的軸坐標(biāo)的偏離(角度θ的偏離值)，根據(jù)該偏離變換軸坐標(biāo)。也就是說，在控制裝置500 中，預(yù)先設(shè)定模具7的平面上的配置位置作為軸坐標(biāo)，對于該設(shè)定的軸坐標(biāo)，掌握與用顯微鏡36識別算出的坐標(biāo)變換用的直線的偏離，如圖19所示，將預(yù)先設(shè)定的軸坐標(biāo)(請參照虛線部)變換到從該偏離算出的軸坐標(biāo)(請參照實(shí)線部)。由此，能夠2維固定模具7與第1 中間模具基板80的相對位置關(guān)系，能夠相對模具7正確移動第1中間模具基板80。也可以在模具部50中設(shè)使模具7轉(zhuǎn)動的θ臺62(請參照圖12)，控制θ臺62使模具7旋轉(zhuǎn)移動與預(yù)先設(shè)定的坐標(biāo)軸對應(yīng)(使偏離的軸坐標(biāo)回復(fù)原位)，以此代替控制裝置 500所作的上述軸坐標(biāo)變換。在該狀態(tài)下，對模具部50進(jìn)行位置控制，使模具7相對第1中間模具基板80上升移動至所定位置，將模具7保持在所定位置(轉(zhuǎn)印工序S5)。詳細(xì)則是使Z軸移動機(jī)構(gòu)(馬達(dá)306)工作，向上方伸出軸308，使Z臺304向上方移動。此時(shí)，根據(jù)馬達(dá)306內(nèi)藏的電位計(jì)的輸出值控制馬達(dá)306的動作，使Z臺304移動到所定的高度位置。于是樹脂84Α被押到第1中間模具基板80上漸漸展開，充填到模具7 的成型部71中。在該轉(zhuǎn)印工序S5中也控制減壓機(jī)構(gòu)410，對空間部400減壓。通過在減壓狀態(tài)下將樹脂84Α押到第1中間模具基板80上，這樣能夠防止氣泡混入樹脂84Α內(nèi)。另外，因?yàn)槭箍臻g部400為減壓狀態(tài)，所以，上部空間部402和下部空間部 404之間沒有差壓，又能夠防止第1中間模具基板80的翹曲和變形。然后將Z臺304保持在設(shè)定位置，在該狀態(tài)下控制光源44，對樹脂84Α照射光，使樹脂84Α固化(曝光工序S6)。此時(shí)因?yàn)榭刂茰p壓機(jī)構(gòu)410使空間部400為減壓狀態(tài)，所以能夠防止向樹脂84Α 的氧障礙，能夠確切地使樹脂84Α固化。樹脂84Α固化時(shí)(樹脂84Α固化時(shí)或之后)，如果Z臺304就此被保持在所定高度位置的話，則樹脂84Α中產(chǎn)生固化收縮時(shí)第1中間模具基板80不追隨其收縮，有樹脂84Α 內(nèi)部出現(xiàn)變形、還有成型部71對樹脂84Α的面形狀轉(zhuǎn)印不充分的可能性。在此使光源44點(diǎn)燈一定時(shí)間對樹脂84Α照射一定量的光，然后對模具部50進(jìn)行壓力控制，保持模具7對第1中間模具基板80的壓力在所定壓力。詳細(xì)則是根據(jù)壓力傳感58的輸出值，使壓力傳動裝置M工作，使模具7移動到上方。然后使光源44消燈，停止對樹脂84Α的光照射。光照射停止后使馬達(dá)306工作， 使軸308縮回下方，使Z臺304移動到下方。于是，與第1中間模具基板80 —起從模具7 脫模固化后的樹脂84Α (脫模工序S7)。此時(shí)，控制減壓機(jī)構(gòu)410，使空間部400處于減壓狀態(tài)，這樣就沒有大氣壓作用，所以容易脫模。于是，與1個(gè)模具7的成型部71對應(yīng)的第1中間模具8的成型部81被形成在第1中間模具基板80上。然后，反復(fù)所定次數(shù)的配給工序S3、轉(zhuǎn)印工序S5、曝光工序S6、脫模工序S7，在第1中間模具基板80上順次形成更多個(gè)成型部71 (請參照圖1、圖幻，制造第1中間模具8(請參照圖3(b))。對第1中間模具基板80形成了所定數(shù)目的成型部71之后，使空氣滑行導(dǎo)向機(jī)構(gòu) 120、130、230、240、320工作，使XY臺30和Z臺304移動到所定位置，最終從XY臺30去掉蓋部42，取出第1中間模具基板80(取出工序S8)。如上所述制造第1中間模具8之后，接下去將上述模具7換為第1中間模具8，將第1中間模具基板80換為第2中間模具基板90，進(jìn)行上述各工序Sl S8，制造第2中間模具9。進(jìn)一步在制造第2中間模具9之后，將第1中間模具8換為第2中間模具9，將第 2中間模具基板90換為晶片透鏡用玻璃基板2，同樣進(jìn)行上述工序Sl S8,制造晶片透鏡
Io如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，在第1中間模具制造工序中，是在第1中間模具基板 80的下面上的對著模具7成型部71頂部71a、平坦部72及凹狀部73 —部分的位置上形成凹部85，模壓充填在模具7與第1中間模具基板80之間的光固化性樹脂84A時(shí)，將模具7 樹脂部4中最接近第1中間模具基板80的平坦部72配置在凹部85內(nèi)，并且不接觸形成凹部85的凹面8 地設(shè)所定的間隙Si，所以，能夠防止模具7與第1中間模具基板80碰撞。 另外，與不在第1中間模具基板80上設(shè)凹部85的情況相比，能夠使模具7接近第1中間模具基板80，能夠避免不必要地加厚第1中間模具8的成型部81及周邊部87等樹脂部84， 使第1中間模具8小型化。使用這樣的第1中間模具8制造的晶片透鏡1也能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。[第2實(shí)施方式]第2實(shí)施方式與第1實(shí)施方式不同，是晶片透鏡的玻璃基板上也設(shè)有凹部的情況。圖20是晶片透鏡IB的光學(xué)面為凸形狀的情況，在玻璃基板2B下面上面臨凸透鏡部11B、接著該凸透鏡部IlB的平坦部12B及凸?fàn)畈? 一部分的位置上形成凹部15B。也就是說，使得在平行于凸透鏡部IlB光軸的方向?qū)⒄麄€(gè)凸透鏡部IlB投影到基板2B上時(shí)的區(qū)域(投影區(qū)域)以及將整個(gè)平坦部12B投影到基板2B上時(shí)的區(qū)域(投影區(qū)域)納入凹部15B內(nèi)，平坦部12B被配置、并與形成凹部15B的凹面15aB之間設(shè)有所定的間隙。而圖21是晶片透鏡IC的光學(xué)面為凹形狀的情況，在玻璃基板2C下面上面臨凹透鏡部lie的位置上形成凹部15C。凹部15C內(nèi)，與上述相同，使得在平行于凹透鏡部IlC光軸的方向?qū)⒄麄€(gè)凹透鏡部IlC投影到基板2B上時(shí)的區(qū)域(投影區(qū)域)納入凹部15C內(nèi)，并且，使凹透鏡部IlC的頂部不接觸形成凹部15C的凹面15aC地設(shè)有所定的間隙。通過如此在晶片透鏡1B、1C的玻璃基板2B、2C上設(shè)凹部15B、15C，能夠使樹脂部 4B、4C距離玻璃基板2B、2C下面的高度Hb、Hc比第1實(shí)施方式的樹脂部4的高度Ha (請參照圖5(b))低，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)晶片透鏡1B、1C的小型化。另外不減薄玻璃基板整體的厚度，在玻璃基板2B、2C的一部分上設(shè)凹部15B、15C，這樣既能夠確保必要的玻璃基板2B、2C 的強(qiáng)度，又能夠達(dá)成小型化。另外，具有形成在凸透鏡部IlB或凹透鏡部IlC周圍的平坦部12B、12C時(shí)，通過使從光軸平行方向投影所述凸透鏡部IlB或凹透鏡部IlC整體時(shí)的區(qū)域納入基板2B、2C的凹部15B、15C內(nèi)，這樣與透鏡部一部分越出凹部的結(jié)構(gòu)相比，如后面將要敘述的那樣，透鏡部 IlD固化時(shí)能夠較寬廣地形成從周圍向透鏡部IlD供給樹脂的供給口，所以不易發(fā)生沉陷。
17這一點(diǎn)在構(gòu)成凸透鏡部時(shí)尤其顯著。[第3實(shí)施方式]第3實(shí)施方式如圖22所示，與第2實(shí)施方式的圖20相同，是在晶片透鏡ID的玻璃基板2D上設(shè)凹部15D的情況，凸?fàn)畈?3D的高度Hd與第2實(shí)施方式的凸?fàn)畈?3B的高度Hb相等，但是，使平坦部12D的厚度Hdl比第2實(shí)施方式的平坦部12B的厚度Hbl厚。此時(shí)，在從第2中間模具9固化、制作凸?fàn)畈?3D時(shí)，一旦照射紫外線凸透鏡部IlD開始固化， 則樹脂經(jīng)由平坦部12D從周圍按箭頭X所示被補(bǔ)充，所以不易發(fā)生沉陷。而圖23與圖22相比，除了去掉玻璃基板2D的凹部15D之外，其他相同。此時(shí)，如果平坦部12E的厚度特別薄的話平坦部12E會先固化，所以凸折射透鏡部IlE固化時(shí)容易產(chǎn)生沉陷。[第4實(shí)施方式]第4實(shí)施方式如圖M所示，是在從第2中間模具9F成型鏡片透鏡IF時(shí)，在第2中間模具9F的樹脂部94F中添加了紫外線吸收劑。另外第4實(shí)施方式中是從第2中間模具 9F 一側(cè)進(jìn)行光照射。因此，晶片透鏡IF樹脂部4F的平坦部12F是通過穿過第2中間模具 9F樹脂部94F厚層的紫外線而固化的，由于用弱紫外線照射，所以固化時(shí)間長。而凸透鏡部IlF頂部和凸?fàn)畈?3F頂部卻因?yàn)榈?中間模具9F的樹脂部94F薄，紫外線幾乎沒有降低，所以固化開始得快。因此，到凸折射透鏡部IlF和凸?fàn)畈?3F的幾乎全區(qū)域固化結(jié)束， 平坦部12F也不固化，能夠防止沉陷。[第5實(shí)施方式]以下說明第5實(shí)施方式。如圖1、圖2所示，晶片透鏡1備有圓形玻璃基板2和形成在玻璃基板2 —面上的樹脂部4。如圖27(c)所示，樹脂部4具有為凸?fàn)罟鈱W(xué)面的凸透鏡部11、在凸透鏡部11周邊接著凸透鏡部11形成的環(huán)狀平坦突緣部912、接著突緣部912形成的凹部913。相互鄰接的凸透鏡部11、11之間配置著突緣部912及凹部913。優(yōu)選凸透鏡部11是折射透鏡，但并不一定局限于此，也可以形成光學(xué)面表面衍射槽和臺階等微細(xì)構(gòu)造。優(yōu)選凸透鏡部11間的間距在ΙΟμπι 5mm左右。為了減輕切割成片時(shí)對刀刃的負(fù)擔(dān)，凹部913寬M(請參照圖25 (a))比后述切割成片時(shí)的切割寬m(通常為0. 2 0. 3mm, 請參照圖27 (c))寬，優(yōu)選在30 μ m Imm程度。樹脂部4由光固化性樹脂形成。作為該光固化性樹脂，可以采用例如丙烯樹脂、烯丙酯樹脂等，這些樹脂可以通過原子團(tuán)聚合反應(yīng)固化。如圖25 圖27所示，晶片透鏡1通過下述成型從具有與凸透鏡部11光學(xué)面對應(yīng)的負(fù)片形狀(凹狀)透鏡成型部971的陣列主模7，成型具有正片形狀(凸形狀)透鏡成型部981的第1中間模具8，從第1中間模具8成型具有負(fù)片形狀(凹形狀)成型部91的第2中間模具9，用成型的第2中間模具9成型晶片透鏡1。本實(shí)施方式中，用第2中間模具9單位對一張大徑玻璃基板2依次形成樹脂部4 (凸透鏡部11及突緣部91 (請參照圖 1、圖2箭頭)，最終按每個(gè)凸透鏡部11及突緣部912切割玻璃基板2進(jìn)行單個(gè)化。圖1、圖2表示制造工序的中途階段，所以只在玻璃基板2表面的一部分上形成了樹脂部4。由于圖示的關(guān)系，圖1、圖2中的樹脂部4形狀是圖27 (c)所示的簡略。接下去對制造晶片透鏡1的方法作說明。中間樽具制造工序圖25(a) (d)表示從陣列主模7 (以下稱之為模具7)成型第1中間模具8的方法。如圖25(a)所示，模具7備有形成第1中間模具8透鏡成型部981的凹狀透鏡成型部 971 ；在透鏡成型部971周邊接著透鏡成型部971形成的環(huán)狀平坦突緣成型部972 ；接著突緣成型部972形成的位于鄰接的透鏡成型部971、71之間的凹部973。形成凹部973的內(nèi)壁面(側(cè)面)是高低差面73a，高低差面73a是略垂直于突緣成型部972的面。作為模具7材料，優(yōu)選金屬或金屬玻璃。另外，優(yōu)選事先在突緣成型部972和高低差面73a上涂布脫模劑，提高與配給樹脂 84A的脫模性。本發(fā)明中，通過最初在模具7的突緣成型部972及高低差面73a表面涂布脫模劑提高脫模性。此時(shí)，優(yōu)選的方法是在該突緣成型部972及高低差面73a表面進(jìn)行表面改質(zhì)處理之后，涂布所定脫模劑提高脫模性。具體則是在模具7表面立羥基。表面改質(zhì)方法可以是UV臭氧洗滌、氧等離子灰化等在模具7表面立羥基的任何方法。作為脫模劑，可以舉出像硅烷耦合劑構(gòu)造那樣、具有在末端結(jié)合了加水分解可能官能團(tuán)的材料、即與存在于金屬表面的羥基之間發(fā)生脫水縮合或氫結(jié)合等進(jìn)行結(jié)合之構(gòu)造的物質(zhì)。末端持硅烷耦合構(gòu)造、他端持脫模性功能之脫模劑的場合，模具7表面越形成羥基，模具7表面的共有結(jié)合處越增加，能夠更強(qiáng)固結(jié)合。這樣，多次成型脫模效果也不降低，耐久性提高。另外，因?yàn)椴恍枰虻淄苛?底層SW2涂層等)，所以能夠保持薄膜得到耐久性提高的效果。如圖25(b)所示，在第1中間模具基板80的第1位置與模具7的多個(gè)透鏡成型部 971之間分別配給樹脂84A(配給工序)。在模具7的多個(gè)透鏡成型部971內(nèi)分別配給樹脂84A。使樹脂84A的配給容量大于在第1中間模具基板80與模具7的各透鏡成型部971 及凸緣成型部972之間形成的形成空間體積Tl (請參照圖25(c))。詳細(xì)則配給成使樹脂 84A固化時(shí)形成第1中間模具基板80的下面與固化的樹脂84A(高低差面83a)所成的角度 θ 1(請參照圖25(d))為30° 45°的錐形。另外，在模具7上方吸引、固定為玻璃基板的第1中間模具基板80。作為在第1中間模具基板80下面上提高樹脂84Α濕潤性的處理，優(yōu)選實(shí)施等離子、UV臭氧處理。然后如圖25(c)所示，使模具7向配置在上方的第1中間模具基板80上升，將樹脂84Α壓到第1中間模具基板80 (轉(zhuǎn)印工序)。此時(shí)，在第1中間模具基板80的下面與模具7突緣成型部972之間設(shè)有一定的間隙Sl地使模具7停止，防止第1中間模具基板80 的下面與模具7突緣成型部972碰撞。然后就此保持模具7的高度位置，從第1中間模具基板80上方對充填在透鏡成型部971中的樹脂84Α照光，使樹脂部84Α光固化(曝光工序)。光照射之后使模具7下降， 從模具7脫模樹脂84Α(脫模工序)。由此如圖25(d)所示，在第1中間模具基板80下面的第1位置上，形成由凹部983劃分的多組透鏡成型部981及突緣成型部982。透鏡成型部981是與晶片透鏡1凸透鏡部11光學(xué)面形狀對應(yīng)的正片形狀，呈凸?fàn)?。突緣成型?82在透鏡成型部981周邊接著透鏡成型部981，是呈環(huán)狀的平坦面。凹部 983接著突緣成型部982形成在透鏡成型部981、981之間。形成凹部983的內(nèi)壁面(側(cè)面) 是高低差面83a，通過上述模具7的突緣成型部972及高低差面73a的脫模處理的濕潤性，以及使配給容量多于第1中間模具基板80與所述模具7的各透鏡成型部971及突緣成型部972之間形成的形成空間體積Tl地進(jìn)行配給，形成從模具7向第1中間模具基板80展開的高低差面83a，即高低差面83a呈錐形。該低差面83a與第1中間模具基板80下面所成的角度θ 1為30° 45°。然后使用模具7，對沒有圖示的不同于第1中間模具基板80第1位置的第2位置， 如上所述進(jìn)行配給工序、轉(zhuǎn)印工序、固化工序、脫模工序，形成多組透鏡成型部981及突緣成型部982。這樣，多次使用模具7，對大徑第1中間模具基板80依次形成透鏡成型部981及突緣成型部982，形成所定數(shù)目的透鏡成型部981及突緣成型部982，由此制成第1中間模具 8。轉(zhuǎn)印樽具制造工序圖26(a) (c)所示表示從第1中間模具8成型第2中間模具9的方法。如圖 26(a)所示，在為玻璃基板的第2中間模具基板90的第1位置與第1中間模具8的多個(gè)透鏡成型部981之間分別配給樹脂94A (配給工序)。這里是在第2中間模具基板90的上面對著透鏡成型部981的部位上分別配給。此時(shí)，也使樹脂94A的配給容量是大于第2中間模具基板90與第1中間模具8的各透鏡成型部981及突緣成型部982之間形成的形成空間體積T2(請參照圖26(b))的容量。并且，優(yōu)選事先在突緣成型部982和高低差面83a上涂布脫模劑提高與樹脂94A 的脫模性。進(jìn)一步優(yōu)選涂布脫模劑時(shí)進(jìn)行突緣成型部982及高低差面83a的表面改質(zhì)。另外，將第1中間模具8吸弓丨、固定在第2中間模具基板90的上方。然后如圖^(b)所示，使第2中間模具基板90向配置在上方的第1中間模具8上升，將樹脂94A壓到第1中間模具8 (轉(zhuǎn)印工序)。此時(shí)，在第1中間模具8的透鏡成型部 981與第2中間模具基板90的上面之間設(shè)有一定間隙S2地使第2中間模具基板90停止， 防止第1中間模具8的透鏡成型部981與第2中間模具基板90的上面碰撞。然后就此保持第2中間模具基板90的高度位置，從第2中間模具基板90上方對充填在透鏡成型部981中的樹脂94A照光，使樹脂部94A光固化(曝光工序)。光照射之后使第2中間模具基板90下降，從第1中間模具8脫模樹脂94A(脫模工序)。由此如圖 26(c)所示，在第1中間模具基板90下面的第1位置上形成由凸部993劃分的多組透鏡成型部991及突緣成型部992。透鏡成型部991是與晶片透鏡1凸透鏡部11光學(xué)面形狀對應(yīng)的負(fù)片形狀，呈凹狀。突緣成型部992在透鏡成型部991周邊接著透鏡成型部991，是呈環(huán)狀的平坦面。凸部 993接著突緣成型部992形成在透鏡成型部991、991之間。然后使用第1中間模具8，對沒有圖示的不同于第2中間模具基板90第1位置的第2位置，如上所述進(jìn)行配給工序、轉(zhuǎn)印工序、固化工序、脫模工序，形成多組透鏡成型部 991及突緣成型部992。這樣，多次使用第1中間模具8，對大徑第2中間模具基板90依次形成透鏡成型部991及突緣成型部992，形成所定數(shù)目的透鏡成型部991及突緣成型部992，由此制成第 2中間模具9。晶片透鏡制造工序
圖27(a) (c)所示表示從第2中間模具9成型晶片透鏡1的方法。如圖27(a) 所示，在玻璃基板2的第1位置與第2中間模具9的多個(gè)透鏡成型部991之間分別配給樹脂4A(配給工序)。這里是在第2中間模具9的透鏡成型部991內(nèi)分別配給。此時(shí)，也使樹脂4A的配給容量是大于玻璃基板2與第2中間模具9各透鏡成型部991及突緣成型部 992之間形成的形成空間體積T3(請參照圖27(b))的容量。并且，優(yōu)選事先在突緣成型部992和高低差面93a上涂布脫模劑提高與樹脂4A的脫模性。進(jìn)一步優(yōu)選涂布脫模劑時(shí)進(jìn)行突緣成型部992及高低差面93a的表面改質(zhì)。另外，將晶片透鏡用玻璃基板2吸引、固定在第2中間模具9的上方。然后如圖27(b)所示，使第2中間模具9向配置在上方的玻璃基板2上升，將樹脂 4A壓到玻璃基板2 (轉(zhuǎn)印工序)。此時(shí)，在玻璃基板2的下面與第2中間模具9的凸?fàn)畈?993之間設(shè)有一定間隙S 3地使第2中間模具9停止，防止玻璃基板2的下面與第2中間模具9的凸?fàn)畈?93碰撞。然后就此保持第2中間模具9的高度位置，從玻璃基板2上方對充填在透鏡成型部991中的樹脂4A照光，使樹脂部4A光固化(曝光工序)。光照射之后使第2中間模具9 下降，從第2中間模具9脫模樹脂4A(脫模工序)。由此如圖27(c)所示，在玻璃基板2的第1位置上形成由凹部913劃分的多組凸透鏡部11及突緣部912。然后使用第2中間模具9，對沒有圖示的不同于玻璃基板2第1位置的第2位置，如上所述進(jìn)行配給工序、轉(zhuǎn)印工序、固化工序、脫模工序，形成多組凸透鏡部11及突緣部912。這樣，多次使用第2中間模具9，對大徑玻璃基板2依次形成凸透鏡部11及突緣部 912，形成所定數(shù)目的凸透鏡部11及突緣部912，由此制成晶片透鏡1。最后在凹部913位置切割玻璃基板2成片，由此按每1組凸透鏡部11及凸緣部 912進(jìn)行單片化(切割成片工序)。如上所述，制造第1中間模具8之后，將上述模具7換成第2中間模具基板90，將第1中間模具基板80換成第1中間模具8，進(jìn)行上述各工序Sl S8,由此制造第2中間模具。進(jìn)一步在制造第2中間模具9之后，將第1中間模具8換成晶片透鏡用玻璃基板2，將第2中間模具基板90換成第2中間模具9，同樣進(jìn)行上述工序Sl S8,由此制造晶片透鏡
Io如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，因?yàn)樵谀＞?的各突緣成型部972及高低差面73a上實(shí)施了脫模處理，所以，容易從固化后的樹脂84A脫模模具7。另外，在制造第1中間模具8時(shí)的配給工序中，配給到第1中間模具基板80與模具7的各透鏡成型部971及突緣成型部972之間的樹脂84A的配給容量，大于第1中間模具基板80與模具7的各透鏡成型部971及突緣成型部972之間形成的形成空間體積Tl。使樹脂84A的配給容量小于形成空間體積Tl時(shí)，樹脂84A固化時(shí)由于收縮而容易出現(xiàn)沉陷， 得到的第1中間模具8變形，結(jié)果，使用第1中間模具8制造以后的第2中間模具9和晶片透鏡1等的話會影響它們的形狀，而本發(fā)明中通過使配給容量大于形成空間體積Tl來防止上述問題，能夠制造形狀良好的第1中間模具8。這樣，也能夠良好從第1中間模具8成型的第2中間模具9以及晶片透鏡1的形狀。另外，因?yàn)槟＞?由凹部973劃分成多組透鏡成型部971及突緣成型部972，在突緣成型部972與凹部973之間具有高低差面73a，所以，樹脂84A固化為向第1中間模具基板80—側(cè)展開的錐形狀。因此，能夠防止配給在相鄰?fù)哥R成型部971、71內(nèi)的樹脂84A之間相連、固化。而且樹脂84A向第1中間模具基板80 —側(cè)展開，固化成錐形，所以對模具7 的脫模性良好。并且，即使是配給容量過多、與鄰接的透鏡成型部971內(nèi)的樹脂84A連著固化時(shí)， 也能夠經(jīng)凹部973排氣。也就是說，沒有凹部973時(shí)鄰接的透鏡成型部971、71內(nèi)的樹脂 84A之間有時(shí)完全連上，但現(xiàn)在能夠防止這種現(xiàn)象。并且，通過在模具7上設(shè)凹部973，晶片透鏡1上與模具7凹部973對應(yīng)的部位(凹部913)厚度變薄，容易切割成片。在制造第1中間模具8時(shí)的配給工序中，是使樹脂84A固化時(shí)形成第1中間模具基板80的下面與固化后的樹脂84A所成的角度為30° 45°的錐形形狀地進(jìn)行配給的， 所以，固化后的樹脂84A與模具7的脫模性優(yōu)異。并且，因?yàn)槟＞?上形成的凹部973的寬M寬于切割寬m，所以，不會在晶片透鏡1 的突緣部912位置切割，能夠得到所望大小的晶片透鏡1。在制造第1中間模具8時(shí)的配給工序中，優(yōu)選樹脂84A被配給的一側(cè)是成型模具 (模具7)與基板(第1中間模具基板80)中的成型模具一側(cè)。配給在基板一側(cè)時(shí)，基板通常是用玻璃基板，但玻璃基板的濕潤性為了避免產(chǎn)生切割不足而必需比模具良好，在濕潤性良好的玻璃基板上配給樹脂的話，樹脂延展與鄰接的樹脂結(jié)合，模壓成型模具時(shí)有流入不要部分的危險(xiǎn)，另外延展變薄的樹脂在成型凸面形狀時(shí)有時(shí)樹脂到達(dá)不了光學(xué)面中心的高度而出現(xiàn)氣泡。另外，濕潤性良好的玻璃基板時(shí)配給的樹脂垂延成平面，難以制作厚度厚的透鏡形狀，即形成的透鏡形成受到制約，存在不利點(diǎn)ο如上所述，因?yàn)閷渲?4A配給在模具7上，所以，與在第1中間模具基板80上配給樹脂84A的情況相比，形成的透鏡形狀的制約以及配給的樹脂的粘度制約也少，也不易出現(xiàn)如上所述不要的樹脂延到成型模具周圍和氣泡問題。這意味著在鉛直上側(cè)配置基板、在下側(cè)配置成型模具的情況時(shí)更優(yōu)選。本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施方式，在不逸出其要旨的范圍可以有適宜的變更。符合說明LlB 晶片透鏡2，2B 玻璃基板4樹脂部4A 樹脂11，IlB 凸透鏡部IlC 凹透鏡部11D，11E，11F 凸折射透鏡部Ila 頂部12,12B 平坦部13，13B 凸?fàn)畈?5B 凹部17周邊部
22
7 模具71 成型部71a 頂部72 平坦部73 凹狀部77周邊部8第1中間模具80第1中間模具基板81 成型部82 平坦部83 凸?fàn)畈?4樹脂部84A 樹脂85 凹部85a 凹面86 槽部87 周邊部9，9F第2中間模具90第2中間模具基板91 成型部92 平坦部93 凸?fàn)畈?4，94F 樹脂部94A 樹脂96 凹狀部97周邊部
權(quán)利要求
1.一種在基板的至少一面上設(shè)多個(gè)光固化性樹脂透鏡部的晶片透鏡的制造方法，晶片透鏡制造方法的特征在于，該制造方法備有下述各工序第1中間模具制造工序，在具有與所述透鏡部光學(xué)面形狀對應(yīng)的負(fù)片形狀的成型部的模具與第1中間模具基板之間充填、模壓光固化性樹脂，用光照射使之固化，由此制造具有與所述光學(xué)部件光學(xué)面形狀對應(yīng)的正片形狀的透鏡部的第1中間模具，該第1中間模具制造工序包括下述各副工序i) vii) :i)準(zhǔn)備第1中間模具基板；ii)在所述模具中配給光固化性樹脂，將所述第1中間模具基板表面一部分的第1區(qū)域壓到所述模具，由此將光固化性樹脂充填到所述模具的成型部內(nèi)；iii)對所述充填的光固化性樹脂照射光促使固化； iv)所述固化之后從光固化性樹脂脫模所述模具；ν)在脫模后的模具中配給光固化性樹月旨，將第1中間模具基板表面上與所述第1區(qū)域持所定間隔配置的第2區(qū)域壓到所述模具， 由此將光固化性樹脂充填到所述模具的成型部內(nèi)；vi)對所述充填的光固化性樹脂照射光促使固化；vii)所述固化之后從光固化性樹脂脫模所述模具；第2中間模具制造工序，在由所述第1中間模具制造工序得到的第1中間模具與不同于所述第1中間模具的第2中間模具基板之間充填、模壓光固化性樹脂，用光照射使之固化，由此制造具有與所述透鏡部光學(xué)面形狀對應(yīng)的負(fù)片形狀的成型部的第2中間模具；晶片透鏡制造工序，在所述第2中間模具與所述基板之間充填、模壓光固化性樹脂，用光照射使之固化，由此制造備有多個(gè)所述透鏡部的晶片透鏡；在所述第1中間模具基板的對著所述模具的面上形成凹部，其中配置所述模具的所述成型部的頂部、或接著所述成型部的周邊部的至少接近所述第1中間模具基板的部分，在模壓充填在所述模具與所述第1中間模具基板之間的光固化性樹脂時(shí)，在所述凹部內(nèi)配置所述模具的所述頂部或所述周邊部的至少接近所述第1中間模具基板的部分，并設(shè)所定間隙，使之不接觸形成所述凹部的凹面。
2.如權(quán)利要求1中記載的鏡片透鏡的制造方法，其特征在于，在所述晶片透鏡的制造工序中，在所述基板的對著所述第2中間模具的面上形成凹部，其中配置所述第2中間模具的所述成型部的頂部或接著所述成型部的周邊部的至少接近所述基板的部分，在模壓充填在所述第2中間模具與所述基板之間的光固化性樹脂時(shí)，在所述凹部內(nèi)配置所述第2中間模具的頂部以及所述周邊部的至少接近所述基板的部分，并設(shè)所定間隙， 使之不接觸形成所述凹部的凹面。
3.如權(quán)利要求1或2中記載的鏡片透鏡的制造方法，其特征在于，使所述第2中間模具的所述成型部以及接著所述成型部的周邊部中，含有使所述光學(xué)部件的所述光固化性樹脂固化的具有特定波長吸收作用的物質(zhì)。
4.一種中間模具，被用于制造在基板的至少一面上設(shè)光固化性樹脂光學(xué)部件的晶片透鏡，具有中間模具基板；設(shè)在所述中間模具基板上的與所述光學(xué)部件的光學(xué)面形狀對應(yīng)的正片形狀或負(fù)片形狀的成型部；中間模具的特征在于，所述中間模具基板上形成了凹部，其中配置所述成型部的頂部或接著所述成型部的周邊部的至少接近所述中間模具基板的部分，在所述凹部內(nèi)配置所述成型部的所述頂部或所述周邊部的至少接近所述中間模具基板的部分，并設(shè)所定的間隙，使之不接觸形成所述凹部的凹面。
5.如權(quán)利要求4中記載的中間模具，其特征在于，使所述成型部以及接著所述成型部的所述周邊部中，含有使所述光學(xué)部件的所述光固化性樹脂固化的具有特定波長吸收作用的物質(zhì)。
6.一種形成了樹脂成型部的光學(xué)部件，包括基板；一部分在所述基板至少一面上固化光固化性樹脂得到的凹或凸的折射透鏡部；光學(xué)部件的特征在于，在所述基板的至少一面上設(shè)凹部，所述樹脂成型部至少在該基板的形成了凹部的一面上備有所述凹或凸的折射透鏡部和接著該折射透鏡部的樹脂平坦部，使所述折射透鏡部在從平行于光軸的方向向所述基板投影該折射透鏡部時(shí)的區(qū)域納入所述基板的凹部內(nèi)。
7.如權(quán)利要求6中記載的光學(xué)部件，其特征在于，所述折射透鏡部是凸的折射透鏡部， 所述樹脂成型部中，在所述樹脂平坦部的周圍，具有比折射透鏡部光軸方向的最高位置還要突出的成型部。
8.如權(quán)利要求6或7中記載的光學(xué)部件，其特征在于，所述光學(xué)部件由下述得到將形成了多個(gè)所述樹脂成型部的凹或凸的折射透鏡部的晶片透鏡，按折射透鏡部各個(gè)切斷使之獨(dú)立而得到。
9.一種成型模具，被用于制造在基板的至少一面上設(shè)多個(gè)光固化性樹脂折射透鏡部的晶片透鏡，具有與所述透鏡部的光學(xué)面形狀對應(yīng)的正片形狀或負(fù)片形狀的成型部，以及形成所述成型部周圍的周邊形成部，成型模具的特征在于，使所述成型部以及所述周邊形成部中，含有使所述光固化性樹脂固化的具有特定波長吸收作用的物質(zhì)。
10.一種成型模具的制造方法，是多次使用由凹部劃分多組透鏡成型部及接著該透鏡成型部周圍的突緣成型部的模具，在基板上制造固化性樹脂成型模具的成型模具制造方法，其特征在于，具有下述各工序配給工序，在所述基板的第1位置與形成在所述模具上的多組所述透鏡成型部及所述突緣成型部各個(gè)之間分別配給固化性樹脂；固化工序，在所述配給工序之后固化所述模具與所述基板之間的固化性樹脂；脫模工序，在所述固化工序之后從所述固化性樹脂脫模所述模具；配給工序，在不同于所述基板第1位置的第2位置與形成在所述模具上的多組所述透鏡成型部及所述突緣成型部各個(gè)之間分別配給固化性樹脂；固化工序，在所述配給工序之后固化所述模具與所述基板之間的固化性樹脂；脫模工序，在所述固化工序之后從所述固化性樹脂脫模所述模具；在所述模具的各突緣成型部以及接著該突緣成型部設(shè)有的形成所述凹部的高低差面上實(shí)施脫模處理，并且，在所述配給工序中，被配給到所述基板與所述模具的各透鏡成型部及突緣成型部之間的固化性樹脂的配給容量，大于在所述基板與所述模具的各透鏡成型部及突緣成型部之間形成的形成空間體積。
11.如權(quán)利要求10中記載的成型模具的制造方法，其特征在于，在所述配給工序中按下述進(jìn)行配給使所述固化性樹脂在固化時(shí)，以向所述基板對著所述模具的面展開的錐形形狀，與所述對著面所成的角度為30° 45°。
12.如權(quán)利要求10或11中記載的成型模具的制造方法，其特征在于，備有切割成片工序，在所述脫模工序之后，在固化后的固化性樹脂的與所述模具的所述凹部對應(yīng)的位置上分別切割所述基板，形成在所述模具上的所述凹部的寬，比所述切割成片工序中的切割寬寬。
13.如權(quán)利要求10至12的任何一項(xiàng)中記載的成型模具的制造方法，其特征在于，所述配給工序中，是在所述模具上配給所述固化性樹脂。
14.如權(quán)利要求13中記載的成型模具的制造方法，其特征在于，所述模具被配置在所述基板的鉛直下側(cè)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種晶片透鏡的制造方法、中間模具、光學(xué)部件以及成型模具，同時(shí)提供一種形狀良好、脫模性優(yōu)異的成型模具的制造方法，其中，晶片透鏡中不會不必要地加厚形成在基板上的透鏡部等樹脂部分，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。晶片透鏡1的制造方法備有從模具7制造第1中間模具(8)的第1中間模具制造工序；從第1中間模具(8)制造第2中間模具(9)的第2中間模具制造工序；從第2中間模具(9)制造晶片透鏡1的晶片透鏡制造工序。在第1中間模具基板(80)對著模具(7)的面上，形成模具(7)成型部(71)頂部(71a)或周邊部(77)的至少接近第1中間模具基板(80)部分被配置的凹部(85)，在模壓光固化性樹脂(84A)時(shí)，在凹部(85)內(nèi)配置模具(7)頂部(71a)或周邊部(77)的至少接近第1中間模具基板(80)部分，并設(shè)所定間隙，使之不接觸凹部(85)的凹面(85a)。
文檔編號G02B3/00GK102458807SQ20108002555
公開日2012年5月16日 申請日期2010年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月12日
發(fā)明者今井利幸, 佐藤彰, 寺本東吾, 細(xì)江秀, 藤井雄一 申請人:柯尼卡美能達(dá)精密光學(xué)株式會社