專(zhuān)利名稱(chēng)：醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液及正性光致抗蝕劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性?xún)?yōu)異的醌重氮化物(キノンジアジド)類(lèi)感光劑溶液、醌重氮化物類(lèi)感光劑的析出得到抑制的正性光致抗蝕劑組合物。
背景技術(shù)：
向?qū)⒎尤?shù)脂等堿可溶性樹(shù)脂溶于有機(jī)溶劑而成的溶液中摻混環(huán)氧樹(shù)脂等交聯(lián)劑、醌重氮化物類(lèi)感光劑等的正性光致抗蝕劑組合物廣泛使用于半導(dǎo)體領(lǐng)域和電子零件領(lǐng)域。對(duì)于這樣的正性光致抗蝕劑組合物，在制備時(shí)實(shí)施通過(guò)過(guò)濾器濾去異物之類(lèi)的除異物處理。但是，即使對(duì)正性光致抗蝕劑組合物實(shí)施這樣的除異物處理，在其保管中也存在醌重氮化物類(lèi)感光劑析出之類(lèi)的問(wèn)題。因此，為防止醌重氮化物類(lèi)感光劑的析出，提出了將醌重氮化物類(lèi)感光劑熱變性的方法(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利t獻(xiàn)
專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)昭63-113451號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題
但是，當(dāng)將醌重氮化物類(lèi)感光劑熱變性吋，雖然析出的問(wèn)題得到緩解，但在熱變性時(shí)存在熱分解，作為感光劑的感光能力下降的情況。另外，預(yù)先將醌重氮化物類(lèi)感光劑以粉末固體形態(tài)進(jìn)行處理，制備正性光致抗蝕劑組合物時(shí)，還存在難以溶于組合物中的問(wèn)題。本發(fā)明為解決上述現(xiàn)有課題而實(shí)施，其目的在于，即使不實(shí)施熱變性處理，在使得能夠抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑從正性光致抗蝕劑組合物析出的同吋，在制備正性光致抗蝕劑組合物時(shí)使醌重氮化物類(lèi)感光劑易于溶于正性光致抗蝕劑組合物。解決課題的手段
本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，通過(guò)在正性光致抗蝕劑組合物中使巰基化合物相對(duì)于醌重氮化物類(lèi)感光劑共存，能夠抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑的析出，另外在使醌重氮化物類(lèi)感光劑和巰基化合物溶解于有機(jī)溶劑而成的溶液中也能夠抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑的析出， 而且能夠容易地將這樣的溶液混合于正性光致抗蝕劑組合物中，從而完成本發(fā)明。S卩，本發(fā)明提供醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液，所述溶液為將醌重氮化物類(lèi)感光劑溶于有機(jī)溶劑而成的醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液，其特征在干，含有巰基化合物作為醌重氮化物類(lèi)感光劑的防析出劑。另外，本發(fā)明提供正性光致抗蝕劑組合物，所述組合物為含有堿可溶性樹(shù)脂、交聯(lián)劑、醌重氮化物類(lèi)感光劑和有機(jī)溶劑的正性光致抗蝕劑組合物，此外含有巰基化合物作為醌重氮化物類(lèi)感光劑的防析出劑。此外，本發(fā)明提供抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑析出的方法，所述方法為抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑從含有堿可溶性樹(shù)脂、交聯(lián)劑、醌重氮化物類(lèi)感光劑和有機(jī)溶劑的正性光致抗蝕劑組合物析出的方法，其特征在干，向正性光致抗蝕劑組合物中摻混巰基化合物作為醌重氮化物類(lèi)感光劑的防析出劑。發(fā)明的效果
在本發(fā)明的醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液或正性光致抗蝕劑組合物中，使醌重氮化物類(lèi)感光劑與巰基化合物共存。因此，在醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液或正性光致抗蝕劑組合物中，能夠抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑的析出。實(shí)施發(fā)明的最佳方式
本發(fā)明的醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液將醌重氮化物類(lèi)感光劑溶于有機(jī)溶剤，并且含有巰基化合物作為其防析出劑。因此能夠抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑的析出。在本發(fā)明中，作為醌重氮化物類(lèi)感光劑的防析出劑使用巰基化合物。巰基化合物為分子中含有1個(gè)以上、優(yōu)選2個(gè)以上的巰基的芳族或脂族化合物，具體而言可列舉出ニ巰基噻ニ唑(ビスムチォール)(化學(xué)結(jié)構(gòu)式(A) =MTD,東京化成(株))、2-甲硫基-5-巰基噻ニ唑(化學(xué)結(jié)構(gòu)式(B ) :M1384，東京化成(株))、四(巰基丙酸)季戊四醇酯(化學(xué)結(jié)構(gòu)式(C) :PEMPII，堺化學(xué)(株))、四(巰基丁酸)季戊四醇酯(化學(xué)結(jié)構(gòu)式(D) :MTPE1，昭和電エ(株))、2-ニ丁基氨基-4，6-ニ硫-S-三嗪(化學(xué)結(jié)構(gòu)式(E) =Zisnet-DB,三協(xié)化成(株))等。它們也可合用2種以上。在它們中，可優(yōu)選使用抑制或防止析出的效果最高的ニ巰基噻ニ唑。
權(quán)利要求
1.醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液，所述溶液為醌重氮化物類(lèi)感光劑溶于有機(jī)溶劑而成的醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液，其特征在干，含有巰基化合物作為醌重氮化物類(lèi)感光劑的防析出劑。
2.權(quán)利要求1的醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液，其中，巰基化合物為選自ニ巰基噻ニ唑、 2-甲硫基-5-巰基噻ニ唑、四(巰基丙酸)季戊四醇酯、四(巰基丁酸)季戊四醇酯和2-丁基氨基_4，6- ニ硫-S-三嗪的ー種以上的化合物。
3.權(quán)利要求1或2的醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液，其中，醌重氮化物類(lèi)感光劑為下列化學(xué)結(jié)構(gòu)式所表示的萘醌重氮化物衍生物的至少ー種
4.權(quán)利要求廣3中任ー項(xiàng)的醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液，其中，相對(duì)于100質(zhì)量份醌重氮化物類(lèi)感光劑，含有0. 0Γ10質(zhì)量份的巰基化合物。
5.權(quán)利要求1、中任ー項(xiàng)的醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液，其中，有機(jī)溶劑含有Y-丁內(nèi)酯和/或三甘醇ニ甲醚。
6.正性光致抗蝕劑組合物，所述組合物為含有堿可溶性樹(shù)脂、交聯(lián)劑、醌重氮化物類(lèi)感光劑和有機(jī)溶劑的正性光致抗蝕劑組合物，此外含有巰基化合物作為醌重氮化物類(lèi)感光劑的防析出劑。
7.權(quán)利要求6的正性光致抗蝕劑組合物，其中，堿可溶性樹(shù)脂為線(xiàn)型酚醛類(lèi)樹(shù)脂、甲酚醛類(lèi)樹(shù)脂、堿可溶性聚亞胺樹(shù)脂或聚苯并噁唑前體。
8.抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑析出的方法，所述方法為抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑從含有堿可溶性樹(shù)脂、交聯(lián)劑、醌重氮化物類(lèi)感光劑和有機(jī)溶劑的正性光致抗蝕劑組合物析出的方法，其特征在干，向正性光致抗蝕劑組合物中摻混巰基化合物作為醌重氮化物類(lèi)感光劑的防析出劑。
9.權(quán)利要求8的抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑析出的方法，其中，巰基化合物向正性光致抗蝕劑組合物的摻混通過(guò)使用將醌重氮化物類(lèi)感光劑和巰基化合物溶于有機(jī)溶劑而成的醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液來(lái)進(jìn)行。
全文摘要
為了即使不實(shí)施熱變性處理，在能夠抑制或防止醌重氮化物類(lèi)感光劑從正性光致抗蝕劑組合物析出的同時(shí)在制備正性光致抗蝕劑組合物時(shí)使醌重氮化物類(lèi)感光劑易溶于正性光致抗蝕劑組合物，將醌重氮化物類(lèi)感光劑溶于有機(jī)溶劑而成的醌重氮化物類(lèi)感光劑溶液含有巰基化合物作為醌重氮化物類(lèi)感光劑的防析出劑。另外，正性光致抗蝕劑組合物含有堿可溶性樹(shù)脂、交聯(lián)劑、醌重氮化物類(lèi)感光劑、作為醌重氮化物類(lèi)感光劑的防析出劑的巰基化合物。
文檔編號(hào)G03F7/022GK102597876SQ20108005092
公開(kāi)日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2010年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月10日
發(fā)明者金谷纮希 申請(qǐng)人:索尼化學(xué)&信息部件株式會(huì)社