專利名稱：氣密密封裝置及具有該密封裝置的顯示裝置制造系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣密密封裝置及一種具有該密封裝置到顯示裝置制造系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
通常，一個(gè)顯示裝置包括一個(gè)供影像顥示用的液晶面板和一個(gè)用于把驅(qū)動(dòng)信號(hào)施加到該液晶面板的驅(qū)動(dòng)器。該液晶面板包括一個(gè)上基板、一個(gè)下基板、和一個(gè)置于互相連接的該上基板與該下基板之間的液晶層。近期，由于顯示裝置的孔徑與基板的尺寸增加，顯示裝置制造系統(tǒng)在尺寸方面變大。為了制造顯示裝置，必須有一個(gè)專屬的顯示裝置制造系統(tǒng)和一個(gè)能夠在從低真空 到超高真空的大真空范圍中運(yùn)作的像是氣密密封溝閥般的氣密密封裝置。然而，如果供顯示裝置用的基板被供應(yīng)到一制造系統(tǒng)而一閥是受控制關(guān)上的話，一個(gè)閥片是難以均稱地變成與一殼體入口的邊緣接觸。為此，一個(gè)普通的氣密密封裝置是被構(gòu)筑來(lái)對(duì)一運(yùn)作部份施加過(guò)度的壓力以變成緊密接觸。在這情況中，在一閥片與一殼體入口之間的過(guò)度緊密接觸會(huì)使那些組件受損及變形，導(dǎo)致故障的結(jié)果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種能夠藉由氣壓或液壓的使用來(lái)驅(qū)動(dòng)閥片的氣密密封裝置以改進(jìn)氣密密封性能。本發(fā)明的另一目的是提供一種能夠獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)用于隔離第一真空室的閥片與用于隔離第二真空室的閥片的氣密密封裝置。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，一種氣密密封裝置包括在一側(cè)具有第一入口和在另一側(cè)具有第二入口的殼體、置于該殼體內(nèi)部且分別開放與封閉該第一入口和該第二入口的第一閥片和第二閥片、置于該殼體內(nèi)部的支承面板、設(shè)于該支承面板的一側(cè)且水平地移動(dòng)該第一閥片的第一汽缸單元、置于該支承面板的另一側(cè)且水平地移動(dòng)該第二閥片的第二汽缸單元、及連接到該支承面板且上下移動(dòng)該第一閥片和第二閥片的至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元。該至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元可以包括供應(yīng)第一汽缸單元?dú)鈮夯蛘咭簤旱牡谝或?qū)動(dòng)單元、及供應(yīng)第二汽缸單元?dú)鈮夯蛘咭簤旱牡诙?qū)動(dòng)單元。該殼體可以具有該第一閥片和第二閥片在里面可上下移動(dòng)的內(nèi)部?jī)?chǔ)存空間，該第一入口可以是第一真空室的入口，而該第二入口可以是第二真空室的入口。要與該第一入口和第二入口成緊密接觸的密封組件可以被安裝到該第一閥片和第二閥片。該第一汽缸單元可以包括固定到該支承面板的一側(cè)的第一汽缸本體，和置于該第一汽缸本體內(nèi)部以線性地移動(dòng)、把該第一汽缸單元的內(nèi)部分割成第一空間與第二空間、及連接到該第一閥片的第一可移動(dòng)組件。一條把空氣供應(yīng)到第一空間及把空氣從第一空間排出的第一管線及一條把空氣供應(yīng)到第二空間及把空氣從第二空間排出的第二管線可以形成在該第一汽缸本體內(nèi)。該第二汽缸單元可以包括固定到該支承面板的另一側(cè)的第二汽缸本體，和置于該第二汽缸本體內(nèi)部以線性移動(dòng)、把該第二汽缸單元的內(nèi)部分割成第三空間與第四空間、并連接到該第二閥片的第二可移動(dòng)組件。一條把空氣供應(yīng)到第三空間及把空氣從第三空間排出的第三管線與一條把空氣供應(yīng)到第四空間及把空氣從第四空間排出的第四管線可以形成在該第二汽缸本體內(nèi)。該至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元中的每一者可以包括具有被供應(yīng)有氣壓的內(nèi)部空間的本體；置于該本體110內(nèi)以移動(dòng)并把該內(nèi)部空間分割成第一腔室與第二腔室的活塞；連接到該活塞120、從該本體伸出、固定到該支承面板、并且在內(nèi)部具有第一通道與第二通道的活塞桿130，該第一通道連接到該第一空間而該第二通道連接到該第二空間；及置于該活塞桿內(nèi)部且在內(nèi)部具有第三通道與第四通道的導(dǎo)管，該第三通道被設(shè)置為能夠線性地移動(dòng)且連接到該第一通道而該第四通道連接到該第二通道。上蓋可以形成在該本體的一側(cè)，下蓋可以形成在該本體的另一側(cè)，用于把空氣供 應(yīng)到該第二腔室及將空氣從該第二腔室排放的第一入氣口是可以形成在該上蓋，而用于把空氣供應(yīng)到該第一腔室并將空氣自該第一腔室排放的第二入氣口是可以形成在該下蓋。該活塞桿可以包括形成該第一通道的第一桿，和設(shè)置為與該第一桿的外周緣表面分隔一預(yù)定間隙且形成該第二通道的第二桿。該導(dǎo)管可以包括形成該在該導(dǎo)管內(nèi)部的第三通道的第一管子，和設(shè)置為與該第一管子的外周緣表面分隔一預(yù)定間隙并形成該第二通道的第二管子。第二孔可以形成在該第一桿的下端部份，而第三孔可以形成在該第二管子的上端部份。如果該活塞桿被拉出該本體之外的話，該第二孔和該第三孔可以彼此連接。第一壓力傳感器可以設(shè)置在該第一閥片與該殼體的內(nèi)表面中的任一者上以測(cè)量第一閥片20施加到那里的壓力，而第二壓力傳感器可以設(shè)置在該第一閥片與該殼體的內(nèi)表面中的任一者上以測(cè)量第二閥片施加到那里的壓力。該氣密密封裝置可以還包括一條沿著該支承面板的縱長(zhǎng)方向布置的流體管線。在該結(jié)構(gòu)中，該第一汽缸單元與該第二汽缸單元可以連接到該液體管線而該第一閥片與該第二閥片可以由從該流體管線所供應(yīng)的流體的壓力驅(qū)動(dòng)。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一個(gè)顯示裝置制造系統(tǒng)可以包括以上所述的氣密密封裝置。本發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，汽缸單元被設(shè)置而氣壓或者流體壓用來(lái)驅(qū)動(dòng)閥片。因此，能夠改進(jìn)氣密密封性能。此外，氣壓或者流體壓可以經(jīng)由不同管線被供應(yīng)到該第一汽缸單元以供驅(qū)動(dòng)該第一閥片和供應(yīng)到該第二汽缸單元以供驅(qū)動(dòng)該第二閥片，藉此分開該第一閥片和該第二閥片。


圖I是描繪根據(jù)根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的顯示裝置制造系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的示圖；圖2是描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的氣密密封裝置的前示圖3是描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的氣密密封裝置的一側(cè)的橫截面圖；圖4是描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的氣密密封裝置的另一側(cè)的橫截面圖；圖5是描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的閥片的示圖；圖6是描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的運(yùn)作單元的示圖；圖7是描繪圖6的區(qū)域A的放大圖；圖8和9是為描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的氣密密封裝置的運(yùn)作的狀態(tài)的橫截面圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合顯示本發(fā)明的范例實(shí)施例的附圖來(lái)更徹底地描述本發(fā)明。然而，本發(fā)·明能夠以很多不同的形式實(shí)施而不應(yīng)被受限為這里所陳述的范例實(shí)施例。相反，被公布的實(shí)施例是被提供來(lái)使得該公布將是徹底且完整的，而且會(huì)完全把本發(fā)明的范圍表達(dá)給熟知此項(xiàng)技術(shù)的人仕。在該等示圖中，層與區(qū)域的尺寸及相對(duì)尺寸為了清楚起見會(huì)是夸大的。此夕卜，這里所描述與描繪的每個(gè)實(shí)施例也包括其互補(bǔ)的傳導(dǎo)型實(shí)施例。從頭到尾相同的標(biāo)號(hào)是用來(lái)標(biāo)示相同的組件。圖I是描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的顯示裝置制造系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的示圖。請(qǐng)參閱圖I所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的顯示裝置制造系統(tǒng)包括一個(gè)負(fù)載鎖定腔室200、傳輸腔室300、數(shù)個(gè)處理腔室400、及設(shè)置于該傳輸腔室300與單個(gè)的處理腔室400之間的氣密密封裝置100。該負(fù)載鎖定腔室200是一個(gè)有諸如玻璃基板的材料被加載或者卸載的場(chǎng)所，并且具有用于關(guān)閉與開啟該負(fù)載鎖定腔室200的一個(gè)門閥210和一個(gè)閘閥220。該門閥設(shè)置在該負(fù)載鎖定腔室的一側(cè)而該閘閥設(shè)置在該負(fù)載鎖定腔室的另一側(cè)。該傳輸腔室300是為一個(gè)維持KT6Torr的高真空的第一真空腔室，在內(nèi)部包括一個(gè)主機(jī)械臂軸、一個(gè)感應(yīng)器等等，而且使用連接到該主機(jī)械臂軸的機(jī)械臂負(fù)責(zé)在該負(fù)載鎖定腔室與執(zhí)行諸如沉積與蝕刻的各種處理的各所述處理腔室400之間的例如基板的傳輸。該數(shù)個(gè)處理腔室400是維持內(nèi)部處于真空狀態(tài)且在真空狀態(tài)下處理材料的第二真空腔室。該氣密密封裝置100是設(shè)置在該傳輸腔室300與單個(gè)的處理腔室400之間而且執(zhí)行在該傳輸腔室300與單個(gè)的處理腔室400之間的氣密密封操作。圖2是描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的氣密密封裝置的前視圖。圖3是描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的氣密密封裝置的一側(cè)的橫截面圖。圖4是描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的氣密密封裝置的另一側(cè)的橫截面圖。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的氣密密封裝置100包括一個(gè)殼體10、一個(gè)第一閥片20、一個(gè)第二閥片30、汽缸單元70和80、及驅(qū)動(dòng)單元40和50。該殼體10設(shè)置在該傳輸腔室300與處理腔室400之間并且具有一個(gè)第一入口 12和一個(gè)第二入口 14。該第一閥片20和該第二閥片30設(shè)置在該殼體內(nèi)，該第一閥片20開啟與關(guān)閉該第一入口 12，而該第二閥片30開啟與關(guān)閉該第二入口 14。所述汽缸單元70和80水平地移動(dòng)該第一閥片20和該第二閥片30以使他們分別與第一和第二入口 12和14緊密接觸。所述驅(qū)動(dòng)單元40和50使該第一閥片20和該第二閥片30上下移動(dòng)。
該殼體10具有儲(chǔ)存空間16，該第一閥片20和該第二閥片30是儲(chǔ)存于該儲(chǔ)存空間16內(nèi)并且可垂直地移動(dòng)。該第一入口 12是形成在該殼體的要連接到該傳輸腔室300的一偵牝而該第二入口 14是形成在該殼體的要連接到該處理腔室400的另一側(cè)。該第一入口 12和該第二入口 14是彼此面對(duì)面設(shè)置，而且材料是通過(guò)該第一入口12和該第二入口 14來(lái)被插入與取出。在該殼體10的一側(cè)，一個(gè)密封組件22被安裝以使得該第一入口與該傳輸腔室300緊密接觸。在該殼體10的另一側(cè)，一個(gè)密封組件24是被安裝以使得該第二入口與該處理腔室400緊密接觸。一個(gè)支承面板60被設(shè)在該殼體10的儲(chǔ)存空間16內(nèi)。該第一閥片20連接到該支承面板60的一側(cè)而該第二閥片30連接到該支承面板60的另一側(cè)。該第一閥片20是平的而且具有比第一入口 12大的面積以覆蓋該第一入口 12。密封組件26設(shè)于該第一閥片20的一側(cè)的邊緣上以密封該第一入口 12。 該第二閥片30是平的而且具有比第二入口 14大的面積以覆蓋該第二入口 14。密封組件28設(shè)于該第二閥片30的一側(cè)的邊緣上以密封該第二入口 14。所述汽缸單元70和80由第一汽缸單元70與第二汽缸單元80構(gòu)成。該第一汽缸單元70是固定到該支承面板60的一側(cè)并且水平地移動(dòng)該第一閥片20，而該第二汽缸單元80是固定到該支承面板60的另一側(cè)且水平地移動(dòng)該第二閥片30。如在圖3中所示，該第一汽缸單元70包括第一汽缸本體72和第一可移動(dòng)組件75。該第一汽缸本體72固定到該支承面板60的一側(cè)并且具有供應(yīng)有氣壓的內(nèi)部空間(74和76)。該第一可移動(dòng)組件75被設(shè)置以線性地移動(dòng)、把該內(nèi)部空間分割成第一空間74和一第二空間76、并且是固定到該第一閥片20。在該第一汽缸本體72中，形成有供第一可移動(dòng)組件75的突出部份通過(guò)的通孔73、連接到該第一空間74的第一管線92、和連接到該第二空間76的第二管線94。此外，第三管線96形成于該支承面板60內(nèi)以連接到該第一管線92。然而，第一空間74連接到第二管線94而第二空間76連接到第一管線92和該第三管線96的一種結(jié)構(gòu)是有可能的。密封組件77安裝在該第一可移動(dòng)組件75的外周緣表面上以與內(nèi)部空間(74，76)的內(nèi)部表面緊密接觸，藉此維持氣密狀態(tài)。密封組件78安裝在該通孔73的內(nèi)表面上以與該第一可移動(dòng)組件75的外周緣表面緊密接觸，藉此維持該內(nèi)部空間在氣密狀態(tài)。如在圖5中所示，具有與第一汽缸單元70相同的結(jié)構(gòu)的一個(gè)或者多個(gè)汽缸單元可以沿著該支承面板60的縱長(zhǎng)方向設(shè)置。在設(shè)置有數(shù)個(gè)第一汽缸單元的情況中，數(shù)個(gè)第一可移動(dòng)組件75以預(yù)定的間隔固定到該第一閥片20。此外，至少第一壓力感應(yīng)器210會(huì)設(shè)置在該第一閥片20或者該殼體10的內(nèi)表面上以感測(cè)第一閥片20施加到殼體的內(nèi)表面的壓力。下面描述該第一汽缸單元70的操作。當(dāng)該第一驅(qū)動(dòng)單元40供應(yīng)氣壓到該第一空間74時(shí)，該第一可移動(dòng)組件75朝該第一入口移動(dòng)而據(jù)此該第一閥片20朝該第一入口移動(dòng)。然后，該第一閥片20變成與該殼體的內(nèi)表面緊密接觸，藉此關(guān)閉該第一入口 12。如果該第一驅(qū)動(dòng)單元40供應(yīng)氣壓到該第二空間76的話，該第一可移動(dòng)組件75朝該支承面板移動(dòng)。然后，該第一閥片20自該第一入口 12分離，藉此開啟該第一入口 12。當(dāng)該第一閥片20與該第一入口 12接觸時(shí)，該第一壓力感應(yīng)器210測(cè)量施加的壓力并且把一個(gè)壓力信號(hào)提供到控制器。然后，該控制器把來(lái)自該第一壓力感應(yīng)器210的壓力信號(hào)與一個(gè)參考值作比較并且控制要供應(yīng)到第一汽缸單元70的氣壓。如圖4所示，該第二汽缸單元80包括第二汽缸本體82和第二可移動(dòng)組件85。該第二汽缸本體82固定到該支承面板60的另一側(cè)且具有供應(yīng)有氣壓的內(nèi)部空間(84和86)。該第二可移動(dòng)組件85被置放以線性地移動(dòng)、把該內(nèi)部空間分割成第三空間84和第四空間86、且固定到該第二閥片30。在該第二汽缸本體82中，形成有供第二可移動(dòng)組件85的突出部份通過(guò)的通孔83、一條連接到該第一空間84的第四管線32、和一條連接到該第二空間86的第五管線34。此夕卜，一條第六管線36形成于該支承面板60內(nèi)以連接到該第四管線32。然而，第三空間84連接到第五管線34而第四空間86連接到第四管線32和該第六管線36的一種結(jié)構(gòu)是有可能的。具有與第二汽缸單元80相同的結(jié)構(gòu)的一個(gè)或者多個(gè)汽缸單元是可以設(shè)置在該支承面板60上。在設(shè)置有數(shù)個(gè)第二汽缸單元的情況中，數(shù)個(gè)第二可移動(dòng)組件85以預(yù)定間隔 固定到該第二閥片30。此外，至少一個(gè)第二壓力感應(yīng)器220可以設(shè)置在該第一閥片20或該殼體10的內(nèi)表面中的任一者上以感測(cè)第二閥片30施加到它那里的壓力。該第二汽缸單元80由該第二驅(qū)動(dòng)單元50驅(qū)動(dòng)。然而，該第二驅(qū)動(dòng)單元50是可以被省略。在這情況中，該第二汽缸單元80可以由該第一驅(qū)動(dòng)單元40驅(qū)動(dòng)。該第二汽缸單元80的其它操作實(shí)質(zhì)上與以上所述的第一汽缸單元70相同而因此其描述將會(huì)被省略。所述驅(qū)動(dòng)單元40和50包括第一驅(qū)動(dòng)單元40和第二驅(qū)動(dòng)單元50。該第一驅(qū)動(dòng)單元40連接到該支承面板60的一側(cè)、上下移動(dòng)該支承面板60、并供應(yīng)氣壓到該第一汽缸單元70。該第二驅(qū)動(dòng)單元50連接到該支承面板60的另一側(cè)、上下移動(dòng)該支承面板60、并且供應(yīng)氣壓到該第二汽缸單元80。如在圖6中所示，該第一驅(qū)動(dòng)單元40包括本體110、活塞120、活塞桿130、和導(dǎo)管140。該本體110具有一個(gè)被供應(yīng)有氣壓的內(nèi)部。該活塞120置于該本體110內(nèi)部以致于是可移動(dòng)并且把該本體的內(nèi)部分割成第一腔室112和第二腔室114。該活塞桿130連接到該活塞120、從該本體110延伸出來(lái)、固定到該支承面板60、并且在內(nèi)部具有第一通道132和一第二通道134。該第一通道132連接到該第一管線92而該第二通道134連接到該第二管線94。該導(dǎo)管140具有一個(gè)第三通道142和一個(gè)第四通道144。該第三通道142連接到該第一通道132而該第四通道144連接到該第二通道134。一個(gè)上蓋112形成在該本體110的一側(cè)而一個(gè)下蓋114形成在該本體110的另一偵U。通孔116形成于該上蓋112而該活塞桿130經(jīng)由該通孔116可線性地移動(dòng)。此外，用于把空氣供應(yīng)到該第二腔室114并把空氣自該第二腔室114排放的第一空氣入口 150形成于該上蓋112的一側(cè)。該導(dǎo)管140固定到該下蓋114以延伸到外部。用于把空氣供應(yīng)到該第一腔室112并把空氣自該第一腔室112排放的第二空氣入口 152形成于該下蓋114。該第一空氣入口 150和該第二空氣入口 152連接到，例如，空氣壓力機(jī)，及分別連接到第一軟管154和第二軟管156。如在圖7中所示，該活塞120置于該本體110內(nèi)部以線性地移動(dòng)而密封組件122安裝在該活塞的外周緣表面上以與該本體Iio的內(nèi)表面緊密接觸。通孔124形成在該活塞120的中央而該導(dǎo)管140通過(guò)該通孔。密封組件126安裝于該通孔124的內(nèi)表面上以與該導(dǎo)管140的外周緣表面緊密接觸。該活塞桿130由第一桿136和第二桿138構(gòu)成。該第一桿136形成該第一通道132而該第二桿138被設(shè)置為與該第一桿136的外表面相隔ー預(yù)定間隙并且形成該第二通道134。在該第一桿136與該第二桿138之間的間隙為該第二通道134而該第一桿136的內(nèi)部是該第一通道132。密封組件160設(shè)置在該第一桿136與該第二桿之間以密封該第二通道134。第一孔洞162形成在該第二桿138的上側(cè)以連接該第二管線94和該第二通道134，而該第一通道132的上側(cè)連接到該第三管線96。該導(dǎo)管140由第一管子146和第二管子148構(gòu)成。該第一管子146形成在該導(dǎo)管內(nèi)部的第三通道142，而該第二管子148被設(shè)置為與該第一管子146的外周緣表面相隔預(yù)定間隙并形成該第四通道144。 該第三通道142連接到該第一通道132。此外，第三孔166形成于該第二管子148的上側(cè)而第二孔164是形成在該第一桿136的下側(cè)。該第二孔164和該第三孔166是選擇地彼此連接。即，如果該活塞桿130是最大限度地被拉出的話，該第二孔164和該第三孔166彼此連接。外部空氣經(jīng)由連接到該第一管子的第三軟管170來(lái)被供應(yīng)到該第一管子146以及經(jīng)由連接到該第二管子的第四軟管172來(lái)被供應(yīng)到該第二管子148。除了空氣是經(jīng)由連接到第一通道的第四管線32來(lái)供應(yīng)到該第一通道132或者從該第一通道132排放以及是經(jīng)由連接到第二通道的第五管線34來(lái)供應(yīng)到該第二通道134或者從該第二通道134排放之外，該第二驅(qū)動(dòng)單元50的結(jié)構(gòu)與以上所述的第一驅(qū)動(dòng)單元40相同。下面描述如上所述構(gòu)筑而成的根據(jù)實(shí)施例的氣密密封裝置的操作。首先，如在第3和4圖中所示，如果該第一閥片20和該第二閥片30位于該儲(chǔ)存空間16的下側(cè)的話，該第一入口 12和該第二入口 14被開啟。在這狀態(tài)中，為了關(guān)閉該第一入口 12和該第二入口 14，該第一驅(qū)動(dòng)單元40和該第ニ驅(qū)動(dòng)單元50被驅(qū)動(dòng)以把該第一閥片20和該第二閥片30向上移動(dòng)以致于該第一閥片20面對(duì)該第一入口 12而該第二閥片30面對(duì)該第二入口 14。具體地，如果空氣是供應(yīng)到該第一驅(qū)動(dòng)單元40的第一腔室112的話，該活塞120由于空氣的壓カ而向上移動(dòng)而因此該活塞桿130被拉出該本體110。然后，設(shè)于該活塞桿130的末端部份的支承面板60線性地移動(dòng)，而因此固定到該支承面板60的兩側(cè)的該第一閥片20與該第二閥片30向上移動(dòng)以分別面對(duì)該第一入口 12和該第二入口 14。在這狀態(tài)中，該第一入口 12和該第二入口 14會(huì)被關(guān)閉。即，如果空氣是供應(yīng)到該第一驅(qū)動(dòng)單元40的話，該第一汽缸單元70被驅(qū)動(dòng)而該第一閥片20關(guān)閉該第一入口 12。如果空氣是供應(yīng)到該第二驅(qū)動(dòng)單元50的話，該第二汽缸單元80被驅(qū)動(dòng)而該第二閥片30關(guān)閉該第二入口 14。下面詳細(xì)地作描述第一閥片20關(guān)閉第一入口 12的過(guò)程。如在圖9中所示，外部空氣供應(yīng)到該第一管子146的第三通道142。然后，空氣流到第一桿136的連接至第三通道142的第一通道132，并且經(jīng)由第一汽缸本體72的連接至第一通道132的第一管線92來(lái)供應(yīng)到該第一空間74。然后，該第一可移動(dòng)組件75朝該第一入口移動(dòng)而據(jù)此固定到該第一可移動(dòng)組件75的第一閥片20朝該第一入口移動(dòng)。然后,該第一閥片20與該第一入口 12緊密接觸。這時(shí)，在該第二空間76內(nèi)部的空氣經(jīng)由該第一汽缸單元70的第二管線94、該第二桿138的第二通道134、和該第二管子148的第四通道144來(lái)排放到外部。當(dāng)該第一閥片20與該第一入口 12緊密接觸時(shí)，該第一壓カ感應(yīng)器210測(cè)量第一閥片20施加到該第一入口 12的壓カ并且把壓力信號(hào)供應(yīng)到該控制器。然后，該控制器把來(lái)自第一壓カ感應(yīng)器210的壓カ信號(hào)與一設(shè)定值作比較并且控制供應(yīng)到第二汽缸單元80的空氣的壓力。因此，該第一閥片20通過(guò)適當(dāng)壓カ與該第一入口 12成緊密接觸。結(jié)果，要把第一閥片20的故障與損壞減至最小程度是有可能的。
如果氣壓是供應(yīng)到該第二汽缸單元80的話，該第二閥片30關(guān)閉該第二入口 14。在這里，該第二汽缸單元80的運(yùn)作與該把氣壓供應(yīng)到第二汽缸單元80的第二驅(qū)動(dòng)單元50的運(yùn)作是與以上所述的有關(guān)于第一閥片20的驅(qū)動(dòng)的那些相同而因此其描述將會(huì)被省略。在所述附圖與說(shuō)明書中，本發(fā)明的實(shí)施例業(yè)已作描述而且，雖然特定的名詞被使用，他們僅是通稱與描述用途而已，并非作為限制，本發(fā)明的范圍是在后面的權(quán)利要求中作陳述。例如，在沒有離開本發(fā)明的意g的下，該控制電路的結(jié)構(gòu)或者該內(nèi)部連接結(jié)構(gòu)是可以作變化的。
權(quán)利要求
1.一種氣密密封裝置，包含 殼體，該殼體在一側(cè)具有第一入口而在另一側(cè)具有第二入口； 置于該殼體內(nèi)部且分別開啟與關(guān)閉第一入口和第二入口的第一閥片和第二閥片； 置于該殼體內(nèi)部的支承面板； 設(shè)于該支承面板的一側(cè)且水平地移動(dòng)該第一閥片的第一汽缸單元； 設(shè)于該支承面板的另一側(cè)且水平地移動(dòng)該第二閥片的第二汽缸單元；及 連接到該支承面板且垂直地移動(dòng)該第一閥片和該第二閥片的至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元。
2.如權(quán)利要求I所述的氣密密封裝置，其中，該至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元包含 供應(yīng)氣壓或者流體壓力到該第一汽缸單元的第一驅(qū)動(dòng)單元；及 供應(yīng)氣壓或者流體壓力到該第二汽缸單元的第二驅(qū)動(dòng)單元。
3.如權(quán)利要求I所述的氣密密封裝置，其中 該殼體具有內(nèi)部?jī)?chǔ)存空間，該第一閥片與該第二閥片在該儲(chǔ)存空間可垂直地移動(dòng)， 該第一入口是進(jìn)入連接在所述殼體的一側(cè)的第一真空腔室的入口，及 該第二入口是進(jìn)入連接在所述殼體的另一側(cè)的第二真空腔室的入口。
4.如權(quán)利要求I所述的氣密密封裝置，其中，與第一入口和第二入口成緊密接觸的密封組件安裝到該第一閥片和該第二閥片。
5.如權(quán)利要求I所述的氣密密封裝置，其中，該第一汽缸單元包含 固定到該支承面板的一側(cè)的第一汽缸本體；及 第一可移動(dòng)組件，該第一可移動(dòng)組件置于該第一汽缸本體內(nèi)部以線性地移動(dòng)、把該第一汽缸單元的內(nèi)部分割成第一空間和第二空間、且連接到該第一閥片。
6.如權(quán)利要求5所述的氣密密封裝置，其中，一條把空氣供應(yīng)到該第一空間及從該第一空間排放空氣的第一管線以及一條把空氣供應(yīng)到該第二空間及從該第二空間排放空氣的第二管線形成在該第一汽缸本體中。
7.如權(quán)利要求6所述的氣密密封裝置，其中，該第二汽缸單元包含 固定到該支承面板的另一側(cè)的第二汽缸本體；及 第二可移動(dòng)組件，該第二可移動(dòng)組件是置于該第二汽缸本體內(nèi)部以線性地移動(dòng)、把該第二汽缸單元的內(nèi)部分割成第三空間和第四空間、且連接到該第二閥片。
8.如權(quán)利要求7所述的氣密密封裝置，其中，一條把空氣供應(yīng)到該第三空間及從該第三空間排放空氣的第三管線以及一條把空氣供應(yīng)到該第四空間及從該第四空間排放空氣的第四管線形成在該第二汽缸本體中。
9.如權(quán)利要求5所述的氣密密封裝置，其中，該至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元中的每一個(gè)包含 具有內(nèi)部空間的本體，氣壓是供應(yīng)到該內(nèi)部空間； 活塞，該活塞是置于該本體內(nèi)部并可移動(dòng)，并且把該內(nèi)部空間分割成第一腔室和第二腔室； 活塞桿，該活塞桿連接到該活塞、被拉出該本體、固定到該支承面板、并且在內(nèi)部具有第一通道和第二通道，該第一通道連接到該第一空間而該第二通道連接到該第二空間；及置于該活塞桿內(nèi)部的導(dǎo)管，且該導(dǎo)管內(nèi)部具有第三通道和一個(gè)第四通道，該第三通道連接到該第一通道而該第四通道是連接到該第二通道。
10.如權(quán)利要求9所述的氣密密封裝置，其中，上蓋形成在該本體的一側(cè)，下蓋形成在該本體的另一側(cè)，把空氣供應(yīng)到該第二腔室并把空氣從該第二腔室排放的第一空氣入口形成在該上蓋中，而把空氣供應(yīng)到該第一腔室并把空氣從該第一腔室排放的第二空氣入口形成在該下蓋中。
11.如權(quán)利要求9所述的氣密密封裝置，其中，該活塞桿包含 形成該第一通道的第一桿；及 被設(shè)置為與該第一桿的外周緣表面相隔一預(yù)定間隙且形成該第二通道的第二桿。
12.如權(quán)利要求9所述的氣密密封裝置，其中，該導(dǎo)管包含 形成該導(dǎo)管內(nèi)部的第三通道的第一管子；及 被設(shè)置為與該第一管子的外周緣表面相隔一預(yù)定間隙且形成該第四通道的第二管子。
13.如權(quán)利要求12所述的氣密密封裝置，其中 第二孔形成在該第一桿的下端部份， 第三孔形成在該第二管子的上端部份，及 如果該活塞桿被拉出該本體之外的話，該第二孔洞和該第三孔洞彼此連接。
14.如權(quán)利要求I所述的氣密密封裝置，其中，第一壓力感應(yīng)器設(shè)置在該第一閥片與該殼體的內(nèi)表面中的任一者上以測(cè)量該第一閥片施加到那里的壓力，而第二壓力感應(yīng)器設(shè)置在該第一閥片與該殼體的內(nèi)表面中的任一者上以測(cè)量該第二閥片施加到那里的壓力。
15.如權(quán)利要求I所述的氣密密封裝置，還包含 沿著該支承面板的縱長(zhǎng)方向設(shè)置的流體管線， 其中，該第一汽缸單元與該第二汽缸單元連接到該液體管線且該第一閥片和該第二閥片由從該流體管線供應(yīng)的流體的壓力驅(qū)動(dòng)。
16.一種包括權(quán)利要求I至15中的任何一項(xiàng)所述的氣密密封裝置的顯示裝置制造系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明系有關(guān)于一種氣密密封裝置，其包括一個(gè)在一側(cè)具有一第一入口而在另一側(cè)具有一第二入口的殼體、置于該殼體內(nèi)部且分別開啟和關(guān)閉該第一入口與該第二入口的一第一閥片與一第二閥片、一個(gè)置于該殼體內(nèi)部的支承面板、一個(gè)設(shè)于該支承面板的一側(cè)且水平地移動(dòng)該第一閥片的第一汽缸單元、一個(gè)設(shè)于該支承面板的另一側(cè)且水平地移動(dòng)該第二閥片的第二汽缸單元、及至少一個(gè)連接至該支承面板且垂直地移動(dòng)該第一閥片和該第二閥片的驅(qū)動(dòng)單元。每個(gè)閥片是由由一汽缸單元所供應(yīng)的氣壓或流體壓力驅(qū)動(dòng)。
文檔編號(hào)G02F1/13GK102754017SQ201080063676
公開日2012年10月24日 申請(qǐng)日期2010年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月4日
發(fā)明者樸榮男, 高大云 申請(qǐng)人:Ltl株式會(huì)社