專利名稱：振動(dòng)波馬達(dá)、透鏡鏡筒及相機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種振動(dòng)波馬達(dá)、透鏡鏡筒及相機(jī)。
背景技術(shù)：
如在JP特公平1-173M號(hào)公報(bào)等中公開的那樣，振動(dòng)波馬達(dá)利用壓電體的伸縮而在彈性體的驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生行進(jìn)性振動(dòng)波(以下稱為行進(jìn)波)。通過該行進(jìn)波在驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生橢圓運(yùn)動(dòng)，而驅(qū)動(dòng)與橢圓運(yùn)動(dòng)的波峰加壓接觸的移動(dòng)元件。這樣的振動(dòng)波馬達(dá)具有在低轉(zhuǎn)速下也具有高轉(zhuǎn)矩的特征。因此，在搭載到驅(qū)動(dòng)裝置時(shí)，可以省略驅(qū)動(dòng)裝置的齒輪，可以通過消除了齒輪噪聲而實(shí)現(xiàn)安靜化，并提高了定位精度。另一方面，該振動(dòng)波馬達(dá)使用在定子產(chǎn)生的1 μ m左右的振動(dòng)振幅，因此特性不穩(wěn)定。為了解決該問題，在JP特開昭61-35178號(hào)公報(bào)中公開了使振幅為驅(qū)動(dòng)面的表面粗糙度的1. 5倍以上來改善驅(qū)動(dòng)效率、驅(qū)動(dòng)性能。根據(jù)JP特開昭61-35178號(hào)公報(bào)所公開的技術(shù)，振幅為一定程度的大小時(shí)，可獲得合適的驅(qū)動(dòng)性能而安靜地驅(qū)動(dòng)。但是，若振動(dòng)振幅過大，則對(duì)移動(dòng)元件的加壓不利，出現(xiàn)產(chǎn)生異常噪聲、在移動(dòng)元件和振動(dòng)元件之間得不到適當(dāng)?shù)哪Σ两佑|的問題，無法獲得良好的驅(qū)動(dòng)性能。近年來，驅(qū)動(dòng)面的材料的耐磨損性得到發(fā)展，使振動(dòng)元件產(chǎn)生大振動(dòng)振幅而驅(qū)動(dòng)時(shí)的摩擦磨損降低，從而逐漸能夠使振動(dòng)元件產(chǎn)生大振幅。因此，產(chǎn)生了與以大振幅驅(qū)動(dòng)時(shí)速度控制的適當(dāng)化相對(duì)的新課題。此外，在如JP特公平1-17354號(hào)公報(bào)的構(gòu)成中，在振動(dòng)元件和移動(dòng)元件摩擦傳遞的構(gòu)成上，馬達(dá)的效率、驅(qū)動(dòng)特性受到振動(dòng)元件和移動(dòng)元件的接觸狀態(tài)的影響。例如，若移動(dòng)元件的剛性過低、變形量過大，則跟隨振動(dòng)元件的振幅而過于變形， 因此受到行進(jìn)波的節(jié)部(逆速度部)的影響，低速旋轉(zhuǎn)時(shí)的驅(qū)動(dòng)特性/效率變差。反之，若移動(dòng)元件的剛性過高、變形量過小，則在振動(dòng)元件的振幅變大時(shí)接觸狀態(tài)變得不穩(wěn)定，成為引發(fā)異常噪聲的原因。以往，因滑動(dòng)材料的磨損性不足而在振幅較小的區(qū)域驅(qū)動(dòng)，因此上述問題并不明顯。但近年來，驅(qū)動(dòng)面的材料的耐磨損性提升，使振動(dòng)元件產(chǎn)生大振動(dòng)振幅而驅(qū)動(dòng)時(shí)的摩擦磨損量降低，因此上述問題逐漸明顯。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明中，為了解決上述問題，其目的在于提供一種能夠獲得合適的驅(qū)動(dòng)性能且能安靜地驅(qū)動(dòng)的振動(dòng)波馬達(dá)、透鏡鏡筒及相機(jī)。本發(fā)明通過以下的解決手段來解決上述問題。根據(jù)本發(fā)明的第1方式，提供一種振動(dòng)波馬達(dá)，包括機(jī)電轉(zhuǎn)換元件，通過驅(qū)動(dòng)信號(hào)激振；振動(dòng)元件，與上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接合，通過上述激振在驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生行進(jìn)性振動(dòng)波；相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件，具有與上述振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的滑動(dòng)面，由上述行進(jìn)性振動(dòng)波驅(qū)動(dòng)；和驅(qū)動(dòng)裝置，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)，所述振動(dòng)波馬達(dá)的特征在于， 上述驅(qū)動(dòng)裝置，在將上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的振動(dòng)振幅定義為a值、上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的行進(jìn)波的波長定義為λ時(shí)，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使上述驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足a值/ λ < 0. 00025的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。此外，根據(jù)本發(fā)明的第2方式，提供一種振動(dòng)波馬達(dá)，包括機(jī)電轉(zhuǎn)換元件，通過驅(qū)動(dòng)信號(hào)激振；振動(dòng)元件，與上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接合，通過上述激振在驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生行進(jìn)性振動(dòng)波；相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件，具有與上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的滑動(dòng)面，由上述行進(jìn)性振動(dòng)波驅(qū)動(dòng)；和驅(qū)動(dòng)裝置，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)，所述振動(dòng)波馬達(dá)的特征在于，上述驅(qū)動(dòng)裝置，在將上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的振動(dòng)振幅定義為a值、與上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的上述滑動(dòng)面的加壓方向的變形量定義為b值時(shí)，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使上述驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足a值/b值< 3的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。優(yōu)選，上述驅(qū)動(dòng)裝置，在將上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的振動(dòng)振幅定義為a 值、與上述振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的上述滑動(dòng)面的加壓方向的變形量定義為b值時(shí)，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使上述驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足a值/b值< 3的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。優(yōu)選，上述驅(qū)動(dòng)裝置，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使上述驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足 0. 000003 < a值/ λ的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。優(yōu)選，上述驅(qū)動(dòng)裝置，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使上述驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足0. 04 < a 值/b值的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。優(yōu)選，在上述彈性體的上述驅(qū)動(dòng)面或上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的滑動(dòng)面涂敷有耐久性的薄膜。優(yōu)選，上述薄膜以聚酰胺酰亞胺為主成份，楊氏模量為4GPa以上IOGPa以下，膜厚為50μπι以下。根據(jù)本發(fā)明的第3方式，提供一種振動(dòng)波馬達(dá)，包括振動(dòng)元件，通過機(jī)電轉(zhuǎn)換元件的激振，在驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生行進(jìn)性振動(dòng)波；和相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件，具有與上述振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的滑動(dòng)面，由上述行進(jìn)性振動(dòng)波驅(qū)動(dòng)，所述振動(dòng)波馬達(dá)的特征在于，在將與上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的上述滑動(dòng)面的加壓方向的變形量定義為b值、上述振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的行進(jìn)波的波長定義為λ時(shí)，0.009%<b/ λ 彡 0. 03%。優(yōu)選，上述波長為4 15_。優(yōu)選，滑動(dòng)的中心直徑為5mm 40mm。優(yōu)選，上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的滑動(dòng)部的高度H滿足0. 7mm < H < 1. 2mm。優(yōu)選，在設(shè)上述振動(dòng)元件和上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件加壓接觸的加壓力為N、上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的滑動(dòng)直徑為D時(shí)，N/ Ji D = ρ處于0. 2N/mm彡ρ彡0. 9N/mm的范圍。根據(jù)本發(fā)明的第5方式，提供一種透鏡鏡筒，包括上述振動(dòng)波馬達(dá)。根據(jù)本發(fā)明的第6方式，提供一種相機(jī)，包括上述振動(dòng)波馬達(dá)。另外，上述構(gòu)成可以適當(dāng)改良，也可以將至少一部分替代為其他構(gòu)成物。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種可獲得合適的驅(qū)動(dòng)性能且可安靜驅(qū)動(dòng)的振動(dòng)波馬達(dá)、相機(jī)。


圖1是用于說明具備振動(dòng)波馬達(dá)的相機(jī)的圖。圖2是用于說明振動(dòng)波馬達(dá)的圖。圖3是用于說明利用了行進(jìn)波的振動(dòng)波馬達(dá)的振動(dòng)元件和移動(dòng)元件的接觸狀態(tài)的圖。圖4是用于說明利用了行進(jìn)波的振動(dòng)波馬達(dá)的振動(dòng)元件和移動(dòng)元件的接觸狀態(tài)的圖。圖5是用于說明振動(dòng)波馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)裝置的框圖。圖6是用于說明振動(dòng)波馬達(dá)的頻率和速度的關(guān)系的圖。圖7是用于說明本發(fā)明第三實(shí)施方式的振動(dòng)波馬達(dá)的圖。
具體實(shí)施例方式(第一實(shí)施方式)以下參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的振動(dòng)波馬達(dá)10。圖1是說明具備第一實(shí)施方式的振動(dòng)波馬達(dá)10的相機(jī)1的圖。相機(jī)1包括具有攝像元件8的相機(jī)主體2 ；和具有透鏡7的透鏡鏡筒3。透鏡鏡筒3是可相對(duì)于相機(jī)主體2拆裝的可換透鏡。另外，在本實(shí)施方式中，示出了透鏡鏡筒3為可換透鏡的例子，但不限于此，例如也可以是與相機(jī)主體一體型的透鏡鏡筒。透鏡鏡筒3包括透鏡7 ；凸輪筒6 ；齒輪4、5 ；振動(dòng)波馬達(dá)10等。在本實(shí)施方式中， 從振動(dòng)波馬達(dá)10獲得的驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由齒輪4、5而傳遞到凸輪筒6。透鏡7經(jīng)由透鏡框7a保持在凸輪筒6中，通過振動(dòng)波馬達(dá)10的驅(qū)動(dòng)力而與光軸方向(圖1中所示的箭頭L方向) 大致平行地移動(dòng)。在圖1中，通過設(shè)于透鏡鏡筒3內(nèi)的未圖示的透鏡組(包括透鏡7)，將被拍攝體像成像到攝像元件8的攝像面上。通過攝像元件8將成像的被拍攝體像轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，并對(duì)該信號(hào)進(jìn)行A/D變換，從而獲得圖像數(shù)據(jù)。圖2是用于說明本發(fā)明第一實(shí)施方式的振動(dòng)波馬達(dá)10的圖。在本實(shí)施方式中，成為使振動(dòng)元件11側(cè)固定、驅(qū)動(dòng)相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件(移動(dòng)元件)12 的方式。振動(dòng)元件11由機(jī)電轉(zhuǎn)換元件(以下稱為壓電體1 和接合了壓電體13的彈性體 14構(gòu)成。所述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件如之后所說明的那樣，將電能轉(zhuǎn)換成機(jī)械能，可以是壓電元件、 電致伸縮元件等。使振動(dòng)元件11產(chǎn)生行進(jìn)波，而在本實(shí)施方式中作為一例說明了 4波的行進(jìn)波。彈性體14由諧振尖銳度大的金屬材料形成，其形狀為圓環(huán)形狀。在接合壓電體13 的相反面上切出槽17，突起部分18 (沒有槽17的部位)的前端面成為驅(qū)動(dòng)面18a而與移動(dòng)元件12加壓接觸。切出槽17的理由是，使行進(jìn)波的中立面盡可能靠近壓電體13側(cè)，從而放大驅(qū)動(dòng)面 18a的行進(jìn)波的振幅。在本實(shí)施方式中將沒有切出槽17的部分稱為基部19。將壓電體13
6與該基部19的與槽17側(cè)的相反面接合。為了確保高速驅(qū)動(dòng)時(shí)的耐磨損性，對(duì)彈性體14的驅(qū)動(dòng)面18a進(jìn)行了潤滑性的表面處理。其材料為以聚酰胺酰亞胺為主成份并添加了 PTFE的物質(zhì)，作為物性，其楊氏模量為 4 IOGPa左右，優(yōu)選8GPa以下。厚度為5μπι以上50 μ m以下。壓電體13 —般由通稱為PZT的鋯鈦酸鉛之類的材料構(gòu)成，然而近年來由于環(huán)境問題，也存在由作為無鉛材料的鈮酸鉀鈉、鈮酸鉀、鈮酸鈉、鈦酸鋇、鈦酸鉍鈉、鈦酸鉍鉀等構(gòu)成的情況。在壓電體13表面配置電極(未圖示)，其沿圓周方向分為兩相(A相、B相)。在各相中，按照每1/2波長交替極化，在A相和B相之間隔開1/4波長間隔地配置電極。移動(dòng)元件12由鋁之類的輕金屬構(gòu)成，在滑動(dòng)面1 的表面進(jìn)行了用于提高耐磨損性的鋁陽極化處理。輸出軸20經(jīng)由橡膠部件21與移動(dòng)元件12結(jié)合，而與移動(dòng)元件12 —體地旋轉(zhuǎn)。輸出軸20和移動(dòng)元件21之間的橡膠部件21，要求通過橡膠的粘著性結(jié)合移動(dòng)元件12和輸出軸20的功能以及吸收振動(dòng)以避免將來自移動(dòng)元件12的振動(dòng)傳遞到輸出軸20的功能，優(yōu)選
丁基橡膠等。加壓部件22設(shè)置在固定于輸出軸20的齒輪部件23和軸承支架部件M之間。齒輪部件23被插入成與軸的D切口嵌合，并由E形夾等止動(dòng)器25固定，而形成為在旋轉(zhuǎn)方向及軸向上與輸出軸20成為一體。此外，軸承支架部件M插入到軸承沈的內(nèi)徑側(cè)，軸承沈插入到固定部件27的內(nèi)徑側(cè)。通過成為這樣的結(jié)構(gòu)，移動(dòng)元件12與振動(dòng)元件11的驅(qū)動(dòng)面18a加壓接觸。圖3和圖4是用于說明利用了行進(jìn)波的振動(dòng)波馬達(dá)10的振動(dòng)元件11和移動(dòng)元件 12的接觸狀態(tài)的圖。在振動(dòng)元件11產(chǎn)生行進(jìn)波，設(shè)其振幅為a值(p-p)、波的波長為λ (mm)。在行進(jìn)波波峰產(chǎn)生的橢圓運(yùn)動(dòng)的加壓方向的大小和周向的大小基本為1 1，因此a值的大小用下式近似。a=無負(fù)載轉(zhuǎn)速(rpm) /60 X π XDX2 π XfX2其中，D為移動(dòng)元件12的滑動(dòng)面12a的直徑(mm)，f為驅(qū)動(dòng)信號(hào)的頻率(Hz)。另外，滑動(dòng)面12a有寬度，因此D定義為外徑和內(nèi)徑的中央值。另一方面，移動(dòng)元件12與振動(dòng)元件11的驅(qū)動(dòng)面18a加壓接觸，因此滑動(dòng)面12a沿著行進(jìn)波變形。其變形量設(shè)為b值。b值的大小用下式近似。b = 1/384Xρ X λ 4+ (Ε X (BXH3/12))其中，ρ為荷重(N) + (DX Ji)每單位長度的荷重(N/mm)E為移動(dòng)元件12的滑動(dòng)部的楊氏模量(N/mm2)B為移動(dòng)元件12的滑動(dòng)部的寬度(mm)H為移動(dòng)元件12的滑動(dòng)部的高度(mm)。a值、b值、λ的關(guān)系之前被認(rèn)為無關(guān)，但實(shí)驗(yàn)的結(jié)果表明存在適當(dāng)?shù)姆秶?。? 表示實(shí)驗(yàn)結(jié)果。[表 1]
權(quán)利要求
1.一種振動(dòng)波馬達(dá)，包括 機(jī)電轉(zhuǎn)換元件，通過驅(qū)動(dòng)信號(hào)激振；振動(dòng)元件，與上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接合，通過上述激振在驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生行進(jìn)性振動(dòng)波； 相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件，具有與上述振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的滑動(dòng)面，由上述行進(jìn)性振動(dòng)波驅(qū)動(dòng)；和驅(qū)動(dòng)裝置，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)， 所述振動(dòng)波馬達(dá)的特征在于， 上述驅(qū)動(dòng)裝置，在將上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的振動(dòng)振幅定義為a值、上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的行進(jìn)波的波長定義為λ時(shí)，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使上述驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足a值/ λ < 0. 00025的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
2.一種振動(dòng)波馬達(dá)，包括 機(jī)電轉(zhuǎn)換元件，通過驅(qū)動(dòng)信號(hào)激振；振動(dòng)元件，與上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接合，通過上述激振在驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生行進(jìn)性振動(dòng)波； 相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件，具有與上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的滑動(dòng)面，由上述行進(jìn)性振動(dòng)波驅(qū)動(dòng)；和驅(qū)動(dòng)裝置，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)， 所述振動(dòng)波馬達(dá)的特征在于， 上述驅(qū)動(dòng)裝置，在將上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的振動(dòng)振幅定義為a值、與上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的上述滑動(dòng)面的加壓方向的變形量定義為b值時(shí)， 向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使上述驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足a值/b值< 3的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于， 上述驅(qū)動(dòng)裝置，在將上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的振動(dòng)振幅定義為a值、與上述振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的上述滑動(dòng)面的加壓方向的變形量定義為b值時(shí)，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使上述驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足a值/b值< 3的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于， 上述驅(qū)動(dòng)裝置，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使上述驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足0. 000003 < a值/ λ的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于， 上述驅(qū)動(dòng)裝置，向上述機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使上述驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足0. 04 < a值/b值的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于，在上述彈性體的上述驅(qū)動(dòng)面或上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的滑動(dòng)面涂敷有耐久性的薄膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于，上述薄膜以聚酰胺酰亞胺為主成份，楊氏模量為4GPa以上IOGPa以下，膜厚為50 μ m 以下。
8.一種振動(dòng)波馬達(dá)，包括振動(dòng)元件，通過機(jī)電轉(zhuǎn)換元件的激振，在驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生行進(jìn)性振動(dòng)波；和相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件，具有與上述振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的滑動(dòng)面，由上述行進(jìn)性振動(dòng)波驅(qū)動(dòng)，所述振動(dòng)波馬達(dá)的特征在于，在將與上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的上述滑動(dòng)面的加壓方向的變形量定義為b值、上述振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的行進(jìn)波的波長定義為λ時(shí)， 0. 009%≤ b/λ ≤ 0. 03%。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于，在上述振動(dòng)元件的上述驅(qū)動(dòng)面或上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的上述滑動(dòng)面涂敷有耐久性的薄膜。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于，上述耐久性的薄膜以聚酰胺酰亞胺為主成份，楊氏模量為4GPa以上，膜厚為50μπι以下。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于， 上述波長為4 15_。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于， 滑動(dòng)的中心直徑為5mm 40mm。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于，上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的滑動(dòng)部的高度H滿足0. 7mm < H < 1. 2mm。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的振動(dòng)波馬達(dá)，其特征在于，在設(shè)上述振動(dòng)元件和上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件加壓接觸的加壓力為N、上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的滑動(dòng)直徑為D時(shí)，N/ π D = ρ處于0. 2N/W1彡ρ彡0. 9NAim的范圍。
15.一種透鏡鏡筒，包括權(quán)利要求1 14中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)波馬達(dá)。
16.一種相機(jī)，包括權(quán)利要求1 14中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)波馬達(dá)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠獲得合適的驅(qū)動(dòng)性能且能安靜驅(qū)動(dòng)的振動(dòng)波馬達(dá)、透鏡鏡筒及相機(jī)。振動(dòng)波馬達(dá)包括機(jī)電轉(zhuǎn)換元件，通過驅(qū)動(dòng)信號(hào)激振；振動(dòng)元件，與機(jī)電轉(zhuǎn)換元件接合，通過激振在驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生行進(jìn)性振動(dòng)波；相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件，具有與振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的滑動(dòng)面，由行進(jìn)性振動(dòng)波驅(qū)動(dòng)；和驅(qū)動(dòng)裝置，向機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)。其特征在于，在將振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的振動(dòng)振幅定義為a值、振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)面上產(chǎn)生的行進(jìn)波的波長定義為λ時(shí)，驅(qū)動(dòng)裝置向機(jī)電轉(zhuǎn)換元件提供使驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生滿足a值/λ≤0.00025的行進(jìn)性振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
文檔編號(hào)G02B7/02GK102158124SQ20111003629
公開日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2011年2月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月8日
發(fā)明者森桶利和, 蘆澤隆利 申請(qǐng)人:株式會(huì)社尼康