專利名稱：一種光刻機直線運動驅動裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體制造設備技術領域，特別涉及一種光刻機直線運動驅動裝置。
背景技術：
在掃描光刻機設備中，通過直線運動驅動裝置帶動粗動臺做Y向長行程運動?，F(xiàn)有技術的直線運動驅動裝置中的粗動臺采用雙邊驅動的方式實現(xiàn)直線運動，粗動臺的兩側分別設置有粗動電機，通過粗動電機的推動，使得粗動臺沿著設置于其兩側的L型氣浮導軌進行運動。但由于粗動臺和粗動電機尺寸都比較大，粗動臺同粗動電機之間進行連接時連接點有多個，造成粗動臺同粗動電機之間的相對位置關系約束較多，活動空間不大，且在加工和裝配中，兩側L型導軌很難保證絕對平行，因此現(xiàn)有技術的光刻機直線運動驅動裝置中，粗動臺兩側的L型導軌一旦沒有保持平，而粗動臺由于同位于其兩側的粗動電機的連接較為固定，粗動臺在移動過程中即會遭遇到無法同其兩側的L型導軌相適應的情況，從而導致粗動臺無法順暢運動。

發(fā)明內容
本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種光刻機直線運動驅動裝置，以解決現(xiàn)有技術的光刻機直線運動驅動裝置在位于粗動臺兩側的導軌不平行的狀況下粗動臺無法順暢運動的問題。為解決上述技術問題，本發(fā)明一種光刻機直線運動驅動裝置，包括粗動臺、分別設置于所述粗動臺兩側的粗動電機以及分別設置于所述粗動電機外側的導軌，所述粗動電機置于所述導軌之上，所述粗動臺在所述粗動電機的驅動下沿所述導軌進行運動，還包括柔性件，所述粗動臺通過所述柔性件同所述粗動電機相連接?？蛇x的，所述柔性件包括第一類型柔性件，第二類型柔性件，第三類型柔性件以及黃片?？蛇x的，所述第一類型柔性件設置于所述粗動臺一側，連接所述粗動臺和所述粗動電機；所述第二類型柔性件設置于所述粗動臺的另一側，連接所述粗動臺和所述粗動電機；所述第三類型柔性件通過所述簧片連接所述粗動臺和所述粗動電機?？蛇x的，所述第一類型柔性件包括第一粗動臺固定部件及第一粗動電機固定部件；所述第一粗動臺固定部件同所述第一粗動電機固定部件相互交叉垂直固定；所述第一粗動電機固定部件固定于所述粗動電機上；所述第一粗動臺固定部件同所述粗動臺連接固定。可選的，所述第二類型柔性件包括第二粗動臺固定部件及第二粗動電機固定部件；所述第二粗動臺固定部件位于所述第二粗動電機固定部件的一側且所述第二粗動臺固定部件同所述粗動電機固定部件相互垂直固定；所述第二粗動電機固定部件固定于所述粗動電機上；所述第二粗動臺固定部件同所述粗動臺連接固定。可選的，所述第三類型柔性件包括底座和側板，所述底座位于所述側板的一側且所述底座同所述側板相互垂直固定?？蛇x的，所述簧片為薄板狀，所述第三類型柔性件的底座放置于所述粗動臺的底部對所述粗動臺提供支撐，所述第三類型柔性件的側板同所述簧片相固定，所述簧片同時固定在所述粗動電機上。可選的，設定平行于所述粗動臺表面的平面內，垂直于所述導軌的方向為X方向，平行于所述導軌的方向為Y方向；同時垂直于所述X方向和Y方向的為Z方向；所述第一類型柔性件中，X方向及Z方向的剛度高于Y方向的剛度；所述第二類型柔性件中Z方向的剛度高于X方向及Y方向的剛度；所述第三類型柔性件中Y方向的剛度高于X方向和Z方向的剛度；所述簧片中X方向的剛度低于Y方向和Z方向的剛度。 可選的，所述導軌為L型導軌?？蛇x的，所述柔性件的材質為彈簧鋼。本發(fā)明的光刻機直線運動驅動裝置中，通過柔性件使粗動臺同粗動電機相連接，該柔性件根據(jù)需要具有不同結構，且各類柔性件在各個方向的剛度設置不同，在保證粗動電機驅動力有效的作用在粗動臺上的同時，可消除粗動臺同粗動電機之間因具有的多個連接點對粗動臺沿導軌運動所造成的約束，同時能消除兩側導軌不平行對粗動臺運動所帶來的不利影響。


圖I為本發(fā)明的光刻機直線運動驅動裝置側視結構示意圖；圖2為本發(fā)明的光刻機直線運動驅動裝置俯視結構示意圖；圖3為本發(fā)明的第一類型柔性件的結構示意圖；圖4為本發(fā)明的第二類型柔性件的結構示意圖；圖5為本發(fā)明的第三類型柔性件的結構示意圖；圖6為本發(fā)明的簧片的結構示意圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面對本發(fā)明的具體實施方式
做詳細的說明。本發(fā)明所述的光刻機直線運動驅動裝置可利用多種替換方式實現(xiàn)，下面是通過較佳的實施例來加以說明，當然本發(fā)明并不局限于該具體實施例，本領域內的普通技術人員所熟知的一般的替換無疑涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內。請參看圖1，圖I為本發(fā)明的光刻機直線運動驅動裝置側視結構示意圖。如圖I所示，本發(fā)明的光刻機直線運動驅動裝置包括粗動臺11、分別設置于所述粗動臺11兩側的粗動電機12、分別設置于所述粗動電機12外側的L型導軌15以及柔性件13，所述粗動電機12置于所述L型導軌15之上，所述粗動臺11在所述粗動電機12的驅動下沿所述L型導軌15進行運動，所述粗動臺11通過柔性件13同所述粗動電機12相連接。請參看圖2，圖2為本發(fā)明的光刻機直線運動驅動裝置俯視結構示意圖。如圖2所示，本發(fā)明的光刻機直線運動驅動裝置中，所述柔性件13包括兩個第一類型柔性件131，兩個第二類型柔性件132，兩個第三類型柔性件133以及兩個簧片14。所述兩個第一類型柔性件131均設置于所述粗動臺11的同一側且連接粗動臺11和粗動臺電機12 ;所述兩個第二類型柔性件132均設置于所述粗動臺11的另一側且連接粗動臺11和粗動臺電機12 ;所述第一類型柔性件131及所述第二類型柔性件132均位于所述粗動臺11之下，對所述粗動臺11起到承托作用；所述兩個第三類型柔性件133則分別設置于所述粗動臺11的兩側，通過簧片14連接粗動臺11和粗動臺電機12，所述第三類型柔性件133的一端同所述簧片14相固定，另一端與粗動臺電機12連接，所述簧片14同所述粗動電機12相固定，通過所述第三類型柔性件133支撐所述粗動臺11。通過所述第一類型柔性件131、第二類型柔性件132、第三類型柔性件133以及簧片14使得所述粗動臺11同所述粗動電機12相連接。所述第一類型柔性件131、第二類型柔性件132、第三類型柔性件133以及所述簧片14的材質均優(yōu)選采用彈簧鋼。請參看圖3，圖3為本發(fā)明的第一類型柔性件的結構示意圖。如圖3所示，本發(fā)明的第一類型柔性件131包括第一粗動臺固定部件131a及第一粗動電機固定部件131b ;所述第一粗動臺固定部件131a同所述第一粗動電機固定部件131b相互交叉垂直固定；所述第一粗動電機固定部件131b貼合于所述粗動電機12的表面，所述第一粗動電機固定部件131b上設置有第一連接孔131c，使用螺栓(圖中未示)穿過所述第一連接孔131c將所述第一粗動電機固定部件131b固定于所述粗動電機12上；所述第一粗動臺固定部件131a位于所述第一粗動電機固定部件131b的一側為懸空的橫梁結構，所述懸空的橫梁結構置于所述粗動電機12之下，用于增強所述第一類型柔性件131位于X向的剛度，所述第一粗動臺固定部件131a上位于所述第一粗動電機固定部件131b另一側的結構上設置有第一連接銷131d，所述第一連接銷131d插入所述粗動臺11的底部將所述第一粗動臺固定部件131a同所述粗動臺11連接固定。請參看圖4，圖4為本發(fā)明的第二類型柔性件的結構示意圖。如圖4所示，本發(fā)明的第二類型柔性件132同樣包括第二粗動臺固定部件132a及第二粗動電機固定部件132b ；所述第二粗動臺固定部件132a位于所述第二粗動電機固定部件132b的一側且所述第二粗動臺固定部件132a同所述第二粗動電機固定部件132b相互垂直固定；所述第二粗動電機固定部件132b貼合于所述粗動電機12的表面，所述第二粗動電機固定部件132b上設置有第二連接孔132c，使用螺栓(圖中未示)穿過所述第二連接孔132c將所述第二粗動電機固定部件132b固定于所述粗動電機12上；所述第二粗動臺固定部件132a上設置有第二連接銷132d，所述第二連接銷132d插入所述粗動臺11的底部將所述第二粗動臺固定部件132a同所述粗動臺11連接固定。請參看圖5，圖5為本發(fā)明的第三類型柔性件的結構示意圖。如圖5所示，本發(fā)明的第三類型柔性件133包括底座133a和側板133b，所述底座133a位于所述側板133b的一側且所述底座133a同所述側板133b相互垂直固定；所述側板133b上設置有第三連接孔133c。請結合參閱圖6，圖6為本發(fā)明的簧片的結構示意圖。如圖6所示，本發(fā)明的簧片14為薄板狀，所述簧片14上設置有柔性件連接孔141及粗動電機連接孔142，所述柔性件連接孔141同所述粗動電機連接孔142相互垂直。請結合參閱圖2、圖5和圖6,如圖所示,本發(fā)明的第三類型柔性件133的底座133a放置于所述粗動臺11的底部并同所述粗動臺11相固定，所述第三類型柔性件133的側板133b同所述簧片14相疊，所述側板133b上的第三連接孔133c的位置同所述簧片14上柔性件連接孔141的位置相對應，通過螺栓(圖中未示)穿過所述第三連接孔133c及柔性件連接孔141將所述側板133b固定于所述簧片14上，通過螺栓(圖中未示)穿過所述簧片14上的粗動電機連接孔142將所述簧片14同時固定在所述粗動電機12上。請參看下表1，表I所示為本發(fā)明的第一類型柔性件131、第二類型柔性件132以及第三類型柔性件133分別在X向、Y向及Z向上的剛度數(shù)據(jù)。
權利要求
1.一種光刻機直線運動驅動裝置，包括粗動臺、分別設置于所述粗動臺兩側的粗動電機以及分別設置于所述粗動電機外側的導軌，所述粗動電機置于所述導軌之上，所述粗動臺在所述粗動電機的驅動下沿所述導軌進行運動，其特征在于，還包括柔性件，所述粗動臺通過所述柔性件同所述粗動電機相連接。
2.如權利要求I所述的光刻機直線運動驅動裝置，其特征在于，所述柔性件包括第一類型柔性件，第二類型柔性件，第三類型柔性件以及簧片。
3.如權利要求2所述的光刻機直線運動驅動裝置，其特征在于，所述第一類型柔性件設置于所述粗動臺一側，連接所述粗動臺和所述粗動電機； 所述第二類型柔性件設置于所述粗動臺的另一側，連接所述粗動臺和所述粗動電機； 所述第三類型柔性件通過所述簧片連接所述粗動臺和所述粗動電機。、
4.如權利要求2或3所述的光刻機直線運動驅動裝置，其特征在于，所述第一類型柔性件包括第一粗動臺固定部件及第一粗動電機固定部件；所述第一粗動臺固定部件同所述第一粗動電機固定部件相互交叉垂直固定；所述第一粗動電機固定部件固定于所述粗動電機上；所述第一粗動臺固定部件同所述粗動臺連接固定。
5.如權利要求2或3所述的光刻機直線運動驅動裝置，其特征在于，所述第二類型柔性件包括第二粗動臺固定部件及第二粗動電機固定部件；所述第二粗動臺固定部件位于所述第二粗動電機固定部件的一側且所述第二粗動臺固定部件同所述粗動電機固定部件相互垂直固定；所述第二粗動電機固定部件固定于所述粗動電機上；所述第二粗動臺固定部件同所述粗動臺連接固定。
6.如權利要求2或3所述的光刻機直線運動驅動裝置，其特征在于，所述第三類型柔性件包括底座和側板，所述底座位于所述側板的一側且所述底座同所述側板相互垂直固定。
7.如權利要求6所述的光刻機直線運動驅動裝置，其特征在于，所述簧片為薄板狀，所述第三類型柔性件的底座放置于所述粗動臺的底部對所述粗動臺提供支撐，所述第三類型柔性件的側板同所述簧片相固定，所述簧片同時固定在所述粗動電機上。
8.如權利要求2或3所述的光刻機直線運動驅動裝置，其特征在于，設定平行于所述粗動臺表面的平面內，垂直于所述導軌的方向為X方向,平行于所述導軌的方向為Y方向；同時垂直于所述X方向和Y方向的為Z方向；所述第一類型柔性件中，X方向及Z方向的剛度高于Y方向的剛度；所述第二類型柔性件中Z方向的剛度高于X方向及Y方向的剛度；所述第三類型柔性件中Y方向的剛度高于X方向和Z方向的剛度；所述簧片中X方向的剛度低于Y方向和Z方向的剛度。
9.如權利要求I所述的光刻機直線運動驅動裝置，其特征在于，所述導軌為L型導軌。
10.如權利要求I所述的光刻機直線運動驅動裝置，其特征在于，所述柔性件的材質為彈簧鋼。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光刻機直線運動驅動裝置，通過柔性件使粗動臺同粗動電機相連接，該柔性件根據(jù)需要具有不同結構，且各類柔性件在各個方向的剛度設置不同，在保證粗動電機驅動力有效的作用在粗動臺上的同時，可消除粗動臺同粗動電機之間因具有的多個連接點對粗動臺沿導軌運動所造成的約束，同時能消除兩側導軌不平行對粗動臺運動所帶來的不利影響。
文檔編號G03F7/20GK102736435SQ20111009502
公開日2012年10月17日 申請日期2011年4月15日 優(yōu)先權日2011年4月15日
發(fā)明者范哲光, 齊芊楓 申請人:上海微電子裝備有限公司, 上海微高精密機械工程有限公司