專利名稱：顯影液噴淋系統(tǒng)及方法、基板產(chǎn)品的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及液晶顯示技術領域，尤其涉及一種顯影液噴淋系統(tǒng)及方法、基板產(chǎn)品。
背景技術：
目前，在平板顯示(FPD，F(xiàn)lat Panel Display)技術中，由于液晶顯示器(LCD，Liquid Crystal Display)具備輕薄短小、大幅節(jié)省擺放空間等優(yōu)點，已經(jīng)逐漸取代陰極射線管顯示器(CRT，Cathode Ray Tube)，成為主流的顯示器。在各種類型的IXD中，薄膜場效應晶體管液晶顯不器(TFT-LCD, Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display)是有源矩陣類型液晶顯示器的一種，TFT-IXD性能優(yōu)良，適合大規(guī)模的自動化生產(chǎn)，且原材料成本低廉,因此在LCD中占據(jù)重要地位。TFT-LCD在生產(chǎn)中大體分為陣列、成盒、模塊三大工序，而陣列工序又大體分為成 膜、光刻、刻蝕三大工藝。其中光刻工藝是指在基板上涂布光刻膠，再進行曝光和顯影，光刻工藝可以說是整個TFT-IXD制造工藝中相當重要的工藝步驟。光刻工藝分為涂布光刻膠、曝光和顯影三個步驟。其中，在曝光步驟中，涂覆于基板上的光刻膠會發(fā)生化學反應，因此需要進行顯影，在進行顯影時，首先在曝光后的基板上噴涂顯影液，顯影液可以與曝光后的光刻膠發(fā)生化學反應，以去除在曝光過程中發(fā)生了化學反應的光刻膠，而未被曝光的光刻膠則留在基板上，之后洗凈基板上被顯影的光刻膠和殘留的顯影液。顯影之后的基板上覆蓋有光刻膠，由于在刻蝕的過程中有光刻膠的保護，因此覆蓋有光刻膠的相應位置的金屬或非金屬膜不會受到傷害，從而最后達到在基板上形成TFT電路的目的?，F(xiàn)有的顯影方法包含浸泡顯影方法和噴淋顯影方法兩種，隨著LCD技術的發(fā)展以及對LCD質量要求的提高，噴淋顯影方法越來越普遍。噴淋顯影方法包含噴淋顯影液步驟和水洗步驟，基板在噴淋顯影液步驟中被噴淋上顯影液，然后在水洗步驟中進行水洗及干燥，洗凈基板上被顯影的光刻膠和殘留的顯影液，從而完成基板的顯影過程。如圖I所示，為現(xiàn)有技術中的顯影液噴淋系統(tǒng)結構示意圖，包含用于噴淋顯影液的噴頭11、傳送帶12和驅動裝置13，噴頭11位置固定，傳送帶12位于噴頭11下方，傳送帶12承載基板14，驅動裝置13驅動傳送帶12以一定速度進行勻速運動，傳送帶12帶動基板14經(jīng)過噴頭11的噴淋區(qū)域，噴頭11將顯影液噴淋于基板14上，其中，基板14的起始端141先進入噴頭11的噴淋區(qū)域，當對端142離開噴頭11的噴淋區(qū)域之后，就完成了對基板14的顯影液噴淋過程。由上可見，現(xiàn)有技術中在向基板噴淋顯影液時，基板要隨著傳送帶進行勻速運動，那么最先進入噴淋區(qū)域的起始端上的顯影液會隨著基板的運動而向對端流動，導致起始端上的顯影液少于對端上的顯影液，也就是說噴淋到基板上的顯影液不均勻，這就會造成顯影不均勻，最終導致LCD面板顯示不均勻，在對大尺寸的基板進行顯影時，這種現(xiàn)象更為嚴重。

發(fā)明內容
本發(fā)明實施例提供一種顯影液噴淋系統(tǒng)及方法、基板產(chǎn)品，用以解決現(xiàn)有技術存在的噴淋到基板上的顯影液不均勻，造成顯影不均勻的問題。本發(fā)明實施例技術方案如下一種顯影液噴淋系統(tǒng)，包括噴頭、驅動裝置以及位于所述噴頭下方的固定機臺，其中所述固定機臺，用于承載基板；所述驅動裝置，用于驅動所述噴頭在所述基板的起始端和對端之間勻速往返預設次數(shù)；所述噴頭，用于在運動過程中，向所述基板噴淋顯影液。
一種顯影液噴淋方法，包括驅動裝置驅動噴頭在基板的起始端和對端之間勻速往返預設次數(shù)，其中所述基板置于所述噴頭下方的固定機臺上；所述噴頭在運動過程中，向下方的基板噴淋顯影液。一種顯影液噴淋系統(tǒng)，包括第一噴頭和第二噴頭、位于第一噴頭和第二噴頭下方的傳送裝置、驅動裝置以及旋轉裝置，其中所述傳送裝置，用于承載基板；所述驅動裝置，用于驅動所述傳送裝置勻速運動，帶動基板沿起始端到對端的方向經(jīng)過第一噴頭的噴淋區(qū)域；在所述基板到達第一噴頭和第二噴頭之間的設定位置處時，控制所述傳送裝置停止運動；在旋轉裝置旋轉所述基板后，繼續(xù)驅動所述傳送裝置勻速運動，帶動基板沿對端到起始端的方向經(jīng)過第二噴頭的噴淋區(qū)域；所述旋轉裝置，用于在所述傳送裝置停止運動后，旋轉所述基板；第一噴頭和第二噴頭，用于向經(jīng)過自身的噴淋區(qū)域的基板噴淋顯影液。一種顯影液噴淋方法，包括驅動裝置驅動位于第一噴頭和第二噴頭下方的傳送裝置勻速運動；所述傳送裝置帶動承載的基板沿起始端到對端的方向經(jīng)過所述第一噴頭的噴淋區(qū)域；第一噴頭向經(jīng)過自身的噴淋區(qū)域的基板噴淋顯影液；在所述基板到達第一噴頭和第二噴頭之間的設定位置處時，所述驅動裝置控制所述傳送裝置停止運動；旋轉裝置旋轉所述基板；所述驅動裝置繼續(xù)驅動所述傳送裝置勻速運動；所述傳送裝置帶動所述基板沿對端到起始端的方向經(jīng)過所述第二噴頭的噴淋區(qū)域；第二噴頭向經(jīng)過自身的噴淋區(qū)域的基板噴淋顯影液。本發(fā)明第一技術方案中，驅動裝置驅動噴頭在基板的起始端和對端之間勻速往返預設次數(shù)，其中基板置于噴頭下方的固定機臺上，噴頭在運動過程中，向基板噴淋顯影液，由上可見，本發(fā)明第一技術方案不是采用基板沿一個方向運動的方式進行顯影液噴淋，而是保持基板在噴淋顯影液時固定不動，噴頭在驅動裝置的驅動下進行往返運動，并在運動過程中向基板噴淋顯影液，也就是說噴頭沿基板的起始端到對端的方向進行一次顯影液噴淋的操作后，沿基板的對端到起始端的方向再進行一次顯影液噴淋操作，這就避免了起始端上的顯影液少于對端上的顯影液的問題，從而使得噴淋到基板上的顯影液比較均勻，顯影就比較均勻，進一步實現(xiàn)了 LCD面板的均勻顯示；本發(fā)明第二技術方案中，驅動裝置驅動位于第一噴頭和第二噴頭下方的傳送裝置勻速運動，傳送裝置帶動承載的基板沿起始端到對端的方向經(jīng)過第一噴頭的噴淋區(qū)域，第一噴頭向該基板噴淋顯影液，在基板到達第一噴頭和第二噴頭之間的設定位置處時，驅動裝置控制傳送裝置停止運動，旋轉裝置旋轉基板，驅動裝置繼續(xù)驅動傳送裝置勻速運動，傳送裝置帶動基板沿對端到起始端的方向經(jīng)過第二噴頭的噴淋區(qū)域，第二噴頭向該基板噴淋顯影液，由上可見，本發(fā)明第二技術方案不是采用基板沿一個方向運動的方式進行顯影液噴淋，而是采用兩個噴頭噴淋顯影液，驅動裝置驅動傳送裝置勻速運動，從而帶動位于傳送裝置上的基板依次經(jīng)過第一噴頭和第二噴頭的噴淋區(qū)域，其中在基板離開第一噴頭的噴淋區(qū)域之后，以及在到達第二噴頭的噴淋區(qū)域之前，要旋轉基板，基板沿對端到起始端的方向經(jīng)過第二噴頭的噴淋區(qū)域，也就是說先由第一噴頭沿基板的起始端到對端的方向進行一次顯影液噴淋的操作，然后再由第二噴頭沿基板的對端到起始端的方向進行一次顯影液噴淋操作，這就避免了起始端上的顯影液少于對端上的顯影液的問題，從而使得噴淋到基板上的顯影液比較均勻，顯影就比較均勻，進一步實現(xiàn)了 LCD面板的均勻顯示。


圖I為現(xiàn)有技術中，顯影液嗔淋系統(tǒng)結構不意圖；圖2為本發(fā)明實施例一中，顯影液噴淋系統(tǒng)結構示意圖；圖3為本發(fā)明實施例一中，顯影液噴淋方法流程示意圖；圖4為本發(fā)明實施例一中，噴頭從基板的起始端勻速運動到對端的示意圖；圖5為本發(fā)明實施例一中，噴頭從基板的對端勻速運動到起始端的示意圖；圖6為本發(fā)明實施例二中，顯影液噴淋系統(tǒng)結構示意圖；圖7為本發(fā)明實施例二中，顯影液噴淋方法流程示意圖。
具體實施例方式下面結合各個附圖對本發(fā)明實施例技術方案的主要實現(xiàn)原理具體實施方式
及其對應能夠達到的有益效果進行詳細地闡述。實施例一如圖2所示，為本發(fā)明實施例一提出的顯影液噴淋系統(tǒng)結構示意圖，包括噴頭21、驅動裝置22以及位于所述噴頭21下方的固定機臺23，其中所述固定機臺23，用于承載基板24，例如，基板24可以是玻璃基板；所述驅動裝置22，用于驅動所述噴頭21在所述基板24的起始端241和對端242之間勻速往返預設次數(shù)；所述噴頭21，用于在運動過程中，向所述基板24噴淋顯影液?；灏鹗级撕蛯Χ耍景l(fā)明實施例一將先進入噴頭21的噴淋區(qū)域的一端稱為起始端，將另一端稱為對端。其中，噴頭21的各針頭可以但不限于為針狀針頭，噴頭21可以呈條狀噴淋顯影液。噴頭21與顯影液供給系統(tǒng)相連，顯影液供給系統(tǒng)中存儲有一定量的顯影液，用于向噴頭21供給顯影液。本發(fā)明實施例一中，控制噴頭21噴淋顯影液的方式可以但不限于為下述由傳感器檢測是否有基板24被置于固定機臺23上，若傳感器感應到有基板24被置于固定機臺23上，則向控制噴頭21的控制裝置發(fā)送啟動噴淋信號，控制裝置接收到上述啟動噴淋信號后，控制噴頭21開始向下方的基板24噴淋顯影液，若傳感器感應到置于固定機臺23上的基板24被拿走，則向控制噴頭21的控制裝置發(fā)送停止噴淋信號，控制裝置接 收到上述停止噴淋信號后，控制噴頭21停止向下方的基板24噴淋顯影液。噴頭21的噴淋寬度不小于基板24的寬度，這樣就能保證噴頭21能夠將顯影液噴淋到基板24的各個位置。
本發(fā)明實施例一中，驅動裝置22驅動噴頭21以預設的運動速度在基板24的起始端241和對端242之間往返預設次數(shù)，上述預設次數(shù)至少為一次，噴頭21往返一次的運動軌跡為噴頭21由基板24的起始端241勻速運動到對端242，再由對端242勻速運動到起始端241。預先設定噴淋顯影液的時間以及噴頭21在起始端241和對端242之間的往返次數(shù)，然后再根據(jù)設定的時間和往返次數(shù)，確定噴頭的運動速度，具體的，先根據(jù)設定的往返次數(shù)和基板24的長度，確定噴頭21的運動距離，然后再根據(jù)確定出的運動距離和設定的時間，確定出噴頭21的運動速度。本發(fā)明實施例一中的顯影液噴淋系統(tǒng)還可以進一步包括傳送裝置和水系裝置，傳送裝置可以但不限于為機器手。在基板24完成顯影液噴淋后，傳送裝置將基板24傳送到水洗裝置，水洗裝置對基板24進行水洗處理，其中，水洗裝置對基板24依次進行循環(huán)水洗處理、超聲水洗處理、直水洗處理以及風刀干燥處理。在水洗裝置對基板24進行水洗處理 后，就完成了基板24的顯影處理。此外，為了增大噴頭21噴淋顯影液時的沖擊力，進一步提高噴淋到基板24上的顯影液的均勻性，本發(fā)明實施例一提出，可以將顯影液與氮氣按照一定比例混合后由噴頭21噴淋到基板24上。與上述顯影液噴淋系統(tǒng)對應，本發(fā)明實施例一還提供一種顯影液噴淋方法，如圖3所示，其具體處理流程如下步驟31，驅動裝置驅動噴頭在基板的起始端和對端之間勻速往返預設次數(shù)，其中所述基板置于所述噴頭下方的固定機臺上；噴頭在基板的起始端和對端之間往返一次包含兩個過程，從基板的起始端勻速運動到對端，再從基板的對端勻速運動到起始端，其中，如圖4所示，為噴頭從基板的起始端勻速運動到對端的示意圖，如圖5所示,為噴頭從基板的對端勻速運動到起始端的示意圖。步驟32，所述噴頭在運動過程中，向所述基板噴淋顯影液。所述顯影液噴淋方法還包括傳送裝置將完成顯影液噴淋的基板傳送到水洗裝置，由水洗裝置對所述基板進行水洗處理。其中，水洗裝置對所述基板進行水洗處理時，依次進行循環(huán)水洗處理、超聲水洗處理、直水洗處理以及風刀干燥處理。本發(fā)明實施例一中的基板可以但不限于為TFT基板或彩色濾光片(CF，ColorFilter)基板。本發(fā)明實施例一還提供一種基于上述顯影液噴淋方法噴淋顯影液得到的基板。由上述處理過程可知，本發(fā)明實施例一技術方案中，驅動裝置驅動噴頭在基板的起始端和對端之間勻速往返預設次數(shù)，其中基板置于噴頭下方的固定機臺上，噴頭在運動過程中，向基板噴淋顯影液，由上可見，本發(fā)明第一技術方案不是采用基板沿一個方向運動的方式進行顯影液噴淋，而是保持基板在噴淋顯影液時固定不動，噴頭在驅動裝置的驅動下進行往返運動，并在運動過程中向基板噴淋顯影液，也就是說噴頭沿基板的起始端到對端的方向進行一次顯影液噴淋的操作后，沿基板的對端到起始端的方向再進行一次顯影液噴淋操作，這就避免了起始端上的顯影液少于對端上的顯影液的問題，從而使得噴淋到基板上的顯影液比較均勻，顯影就比較均勻，進一步實現(xiàn)了 IXD面板的均勻顯示。
實施例二如圖6所示，為本發(fā)明實施例二提出的顯影液噴淋系統(tǒng)結構示意圖，包括第一噴頭61和第二噴頭62、位于第一噴頭61和第二噴頭62下方的傳送裝置63、驅動裝置64以及旋轉裝置65，其中所述傳送裝置63，用于承載基板66，其中，傳送裝置63可以為傳送帶，也可以為傳送滾輪組；所述驅動裝置64，用于驅動所述傳送裝置63以預設的運動速度進行勻速運動，帶動基板66沿起始端661到對端662的方向經(jīng)過第一噴頭61的噴淋區(qū)域，其中，基板66包含起始端661和對端662，本發(fā)明實施例二將先進入第一噴頭61的噴淋區(qū)域的一端稱為起始端661,將另一端稱為對端662 ;在所述基板66到達第一噴頭61和第二噴頭62之間的設定位置處時，控制所述傳送裝置63停止運動；在旋轉裝置65旋轉所述基板66后，繼續(xù)驅動所述傳送裝置63勻速運動，帶動基板66沿對端662到起始端661的方向經(jīng)過第二噴頭62 的噴淋區(qū)域；所述旋轉裝置65，用于在所述傳送裝置63停止運動后，旋轉所述基板66，其中可以但不限于將基板66旋轉180度；第一噴頭61和第二噴頭62，用于向經(jīng)過自身的噴淋區(qū)域的基板66噴淋顯影液。其中，第一噴頭61和第二噴頭62的各針頭可以但不限于為針狀針頭，第一噴頭61和第二噴頭62可以呈條狀噴淋顯影液。第一噴頭61和第二噴頭62分別與顯影液供給系統(tǒng)相連，顯影液供給系統(tǒng)中存儲有一定量的顯影液，用于向噴頭供給顯影液。為了提高噴淋到基板66上的顯影液的均勻性，第一噴頭61和第二噴頭62可以但不限于采用搖擺噴淋的方式噴淋顯影液。本發(fā)明實施例二中，控制第一噴頭61和第二噴頭62噴淋顯影液的方式可以但不限于為下述由第一傳感器檢測是否有基板66在傳送裝置63的帶動下進入第一噴頭61的噴淋區(qū)域，若第一傳感器感應到有基板66進入第一噴頭61的噴淋區(qū)域，則向控制第一噴頭61的第一控制裝置發(fā)送第一啟動噴淋信號，第一控制裝置接收到上述第一啟動噴淋信號后，控制第一噴頭61開始向下方的基板66噴淋顯影液,若第一傳感器感應到基板66離開第一噴頭61的噴淋區(qū)域，則向控制第一噴頭61的第一控制裝置發(fā)送第一停止噴淋信號，第一控制裝置接收到上述第一停止噴淋信號后，控制第一噴頭61停止向下方的基板66噴淋顯影液；由第二傳感器檢測是否有基板66在傳送裝置63的帶動下進入第二噴頭62的噴淋區(qū)域，若第二傳感器感應到有基板66進入第二噴頭62的噴淋區(qū)域，則向控制第二噴頭62的第二控制裝置發(fā)送第二啟動噴淋信號，第二控制裝置接收到上述第二啟動噴淋信號后，控制第二噴頭62開始向下方的基板66噴淋顯影液，若第二傳感器感應到基板66離開第二噴頭62的噴淋區(qū)域，則向控制第二噴頭62的第二控制裝置發(fā)送第二停止噴淋信號，第二控制裝置接收到上述第二停止噴淋信號后，控制第二噴頭62停止向下方的基板66噴淋顯影液。其中第一控制裝置和第二控制裝置可以單獨設置，也可以設置在一個實體設備中。第一噴頭61和第二噴頭62的噴淋寬度不小于基板66的寬度,這樣就能保證第一噴頭61和第二噴頭62均能夠將顯影液噴淋到基板66的各個位置。顯影液噴淋系統(tǒng)還可以進一步包括第一水洗裝置，第一水洗裝置按照傳送裝置63的運動方向，位于所述第二噴頭52之后，第一水洗裝置用于對經(jīng)過所述第一水洗裝置的基板66進行水洗處理。若基板66在傳送帶63的帶動下離開第二噴頭62的噴淋區(qū)域之后，則可以認為基板66完成了顯影液的噴淋，驅動裝置64驅動傳送裝置63繼續(xù)勻速運動，將基板66傳送到第一水洗裝置，第一水洗裝置對基板66進行水洗處理，其中，第一水洗裝置對基板66依次進行循環(huán)水洗處理、超聲水洗處理、直水洗處理以及風刀干燥處理。在第一水洗裝置對基板66進行水洗處理后，就完成了基板66的顯影處理。 為了使第一噴頭61沿基板66的起始端661到對端662的方向噴淋顯影液,而第二噴頭62沿對端662到起始端661的方向噴淋顯影液，需要在基板66在第一噴頭61和第二噴頭62中間旋轉180度，即在基板66離開第一噴頭61的噴淋區(qū)域之后，以及在進入第二噴頭62的噴淋區(qū)域之前，將基板66旋轉180度。在旋轉裝置65旋轉基板66時，需要停止基板66的運動，因此需要驅動裝置64控制傳送裝置63停止運動，本發(fā)明實施例二提出，在第一噴頭61和第二噴頭62之間設置傳感器，為了與上面提高的第一傳感器和第二傳感 器進行區(qū)別，這里將在第一噴頭61和第二噴頭62之間設置的傳感器稱為第三傳感器，第三傳感器檢測是否有基板66到達設定位置處，若第三傳感器感應到基板66到達設定位置處時，則認為此時基板66離開了第一噴頭61的噴淋區(qū)域，且未進入第二噴頭62的噴淋區(qū)域，此時應該將該基板66進行旋轉，因此第三傳感器向驅動裝置64發(fā)送停止運動信號以及向旋轉裝置65發(fā)送旋轉信號，驅動裝置64接收到所述停止運動信號之后，控制所述傳送裝置63停止運動，旋轉裝置65接收到所述旋轉信號之后，將所述基板66旋轉180度。旋轉裝置65在旋轉所述基板66后，可以向驅動裝置64發(fā)送繼續(xù)運動信號，驅動裝置64接收到所述繼續(xù)運動信號之后，繼續(xù)驅動所述傳送裝置63勻速運動，帶動基板66經(jīng)過第二噴頭的噴淋區(qū)域。旋轉裝置65可以但不限于由旋轉控制單元和機械手組成，旋轉控制單元用于接收第三傳感器發(fā)送的信號、向驅動裝置64發(fā)送繼續(xù)運動信號以及控制機器手旋轉基板66，機器手可以采用夾取的方式旋轉基板66，具體為先將基板66向上抬起，順時針(或逆時針)旋轉180度后，向下降落，將基板66置于傳送裝置63上。機器手也可以采用真空吸附的方式旋轉基板66，具體為現(xiàn)將機械手的吸附部位采用真空吸附的方式吸附在基板66的表面，將基板66向上抬起，順時針(或逆時針)旋轉180度后，向下降落，將基板66置于傳送裝置63上。若機械手采用真空吸附的方式旋轉基板66，則為了避免基板66表面過于光滑導致真空吸附不穩(wěn)固，本發(fā)明實施例二提出，在旋轉裝置65旋轉基板66之前，對該基板66先進行水洗處理，也就是說在第一噴頭61和旋轉裝置65之間的第二水洗裝置，第二水洗裝置對經(jīng)過所述第二水洗裝置的基板66進行水洗處理，其中，第二水洗裝置對基板66依次進行循環(huán)水洗處理、超聲水洗處理、直水洗處理以及風刀干燥處理。 此外，為了增大第一噴頭61和第二噴頭62噴淋顯影液時的沖擊力，進一步提高噴淋到基板66上的顯影液的均勻性，本發(fā)明實施例二提出，可以將顯影液與氮氣按照一定比例混合后由第一噴頭61和第二噴頭62噴淋到基板66上。與上述顯影液噴淋系統(tǒng)對應，本發(fā)明實施例二還提供一種顯影液噴淋方法，如圖7所示，其具體處理流程如下步驟71，驅動裝置驅動位于第一噴頭和第二噴頭下方的傳送裝置勻速運動；
步驟72，所述傳送裝置帶動承載的基板沿起始端到對端的方向經(jīng)過所述第一噴頭的噴淋區(qū)域；步驟73，第一噴頭向經(jīng)過自身的噴淋區(qū)域的基板噴淋顯影液；第一噴頭沿基板的起始端向對端的方向噴淋顯影液。步驟74，在所述基板到達第一噴頭和第二噴頭之間的設定位置處時，認為基板離開第一噴頭的噴淋區(qū)域，且未進入第二噴頭的噴淋區(qū)域，此時所述驅動裝置控制所述傳送
裝置停止運動；若旋轉裝置采用真空吸附的方式旋轉基板，為了避免基板表面過于光滑導致真空 吸附不穩(wěn)固，在旋轉裝置旋轉基板之前，由位于第一噴頭和旋轉裝置之間的第二水洗裝置對該基板先進行水洗處理，第二水洗裝置對經(jīng)過所述第二水洗裝置的基板依次進行循環(huán)水洗處理、超聲水洗處理、直水洗處理以及風刀干燥處理。當位于第一噴頭和第二噴頭之間的傳感器感應到基板到達所述設定位置處時，向所述驅動裝置發(fā)送停止運動信號以及向所述旋轉裝置發(fā)送旋轉信號，驅動裝置接收到所述停止運動信號之后，控制所述傳送裝置停止運動。步驟75，旋轉裝置旋轉所述基板；旋轉裝置接收到傳感器發(fā)送的旋轉信號之后，可以但不限于將所述基板旋轉180度，然后向所述驅動裝置發(fā)送繼續(xù)運動信號。步驟76，所述驅動裝置繼續(xù)驅動所述傳送裝置勻速運動；驅動裝置接收到旋轉裝置發(fā)送的繼續(xù)運動信號之后，繼續(xù)驅動所述傳送裝置勻速運動。步驟77，所述傳送裝置帶動所述基板沿對端到起始端的方向經(jīng)過所述第二噴頭的噴淋區(qū)域；第二噴頭沿基板的起始端向對端的方向噴淋顯影液。步驟78，第二噴頭向經(jīng)過自身的噴淋區(qū)域的基板噴淋顯影液?；褰?jīng)過第二噴頭的噴淋區(qū)域之后，傳送裝置將基板傳送到第一水洗裝置，第一水洗裝置對經(jīng)過所述第一水洗裝置的基板進行水洗處理，第一水洗裝置對基板依次進行循環(huán)水洗處理、超聲水洗處理、直水洗處理以及風刀干燥處理。其中，第一水洗裝置按照所述傳送裝置的運動方向，位于所述第二噴頭之后。本發(fā)明實施例二中的基板可以但不限于為TFT基板或CF基板。本發(fā)明實施例二還提供一種基于上述顯影液噴淋方法噴淋顯影液得到的基板。由上述處理過程可知，本發(fā)明實施例二技術方案中，驅動裝置驅動位于第一噴頭和第二噴頭下方的傳送裝置勻速運動，傳送裝置帶動承載的基板沿起始端到對端的方向經(jīng)過第一噴頭的噴淋區(qū)域，第一噴頭向該基板噴淋顯影液，在基板到達第一噴頭和第二噴頭之間的設定位置處時，驅動裝置控制傳送裝置停止運動，旋轉裝置旋轉基板，驅動裝置繼續(xù)驅動傳送裝置勻速運動，傳送裝置帶動基板沿對端到起始端的方向經(jīng)過第二噴頭的噴淋區(qū)域，第二噴頭向該基板噴淋顯影液，由上可見，本發(fā)明第二技術方案不是采用基板沿一個方向運動的方式進行顯影液噴淋，而是采用兩個噴頭噴淋顯影液，驅動裝置驅動傳送裝置勻速運動，從而帶動位于傳送裝置上的基板依次經(jīng)過第一噴頭和第二噴頭的噴淋區(qū)域，其中在基板離開第一噴頭的噴淋區(qū)域之后，以及在到達第二噴頭的噴淋區(qū)域之前，要旋轉基板，基板沿對端到起始端的方向經(jīng)過第二噴頭的噴淋區(qū)域，也就是說先由第一噴頭沿基板的起始端到對端的方向進行一次顯影液噴淋的操作，然后再由第二噴頭沿基板的對端到起始端的方向進行一次顯影液噴淋操作，這就避免了起始端上的顯影液少于對端上的顯影液的問題，從而使得噴淋到基板上的顯影液比較均勻，顯影就比較均勻，進一步實現(xiàn)了 LCD面板的均勻顯示。本發(fā)明實施例一技術方案中，在對基板進行顯影液噴淋時，基板位置固定，由驅動裝置驅動噴頭在基板的起始端和對端之間進行往返運動；本發(fā)明實施例二技術方案中，在對基板進行顯影液噴淋時，兩個噴頭位置固定，由驅動裝置驅動傳送裝置帶動基板進行勻速運動，一個噴頭沿基板的起始端到對端的方向噴淋顯影液，另外一個噴頭沿基板的對端到起始端的方向噴淋顯影液。因此本發(fā)明實施例一技術方案和本發(fā)明實施例二技術方案，基板和噴頭之間均是相對運動，而且均是沿基板的起始端到對端的方向噴淋顯影液之后，再沿基板的對端到起始端的方向噴淋顯影液，因此均能夠避免起始端上的顯影液少于對端上的顯影液的問題，從而使得噴淋到基板上的顯影液比較均勻，顯影就比較均勻，進一步實現(xiàn)了 IXD面板的均勻顯示。
顯然，本發(fā)明的保護范圍以權利要求界定范圍為準，本發(fā)明中的具體實施方式
并不用于對本發(fā)明的保護范圍進行界定。本領域的技術人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的保護范圍。
權利要求
1.一種顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，包括噴頭(21)、驅動裝置(22)以及位于所述噴頭(21)下方的固定機臺(23)，其中 所述固定機臺(23)，用于承載基板； 所述驅動裝置(22)，用于驅動所述噴頭(21)在所述基板的起始端和對端之間勻速往返預設次數(shù)； 所述噴頭(21)，用于在運動過程中，向所述基板噴淋顯影液。
2.如權利要求I所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，還包括 傳送裝置，用于將完成顯影液噴淋的基板傳送到水洗裝置； 水洗裝置，用于對所述基板進行水洗處理。
3.如權利要求2所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述水洗裝置對所述基板依次進行循環(huán)水洗處理、超聲水洗處理、直水洗處理以及風刀干燥處理。
4.如權利要求I所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述噴頭(21)進行勻速運動的運動速度是根據(jù)所述預設次數(shù)以及預設噴淋時間設定的。
5.如權利要求I所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述顯影液中混有氮氣。
6.一種顯影液噴淋方法，其特征在于，包括 驅動裝置驅動噴頭在基板的起始端和對端之間勻速往返預設次數(shù)，其中所述基板置于所述噴頭下方的固定機臺上； 所述噴頭在運動過程中，向所述基板噴淋顯影液。
7.如權利要求6所述的顯影液噴淋方法，其特征在于，還包括 傳送裝置將完成顯影液噴淋的基板傳送到水洗裝置； 所述水洗裝置對所述基板進行水洗處理。
8.如權利要求7所述的顯影液噴淋方法，其特征在于，所述水洗裝置對所述基板進行水洗處理，具體包括 所述水洗裝置對所述基板依次進行循環(huán)水洗處理、超聲水洗處理、直水洗處理以及風刀干燥處理。
9.一種基于權利要求6 8任一權利要求所述的顯影液噴淋方法噴淋顯影液得到的基板產(chǎn)品。
10.一種顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，包括第一噴頭(61)和第二噴頭(62)、位于第一噴頭￠1)和第二噴頭￠2)下方的傳送裝置(63)、驅動裝置￠4)以及旋轉裝置(65)，其中 所述傳送裝置(63)，用于承載基板； 所述驅動裝置(64)，用于驅動所述傳送裝置￠3)勻速運動，帶動基板沿起始端到對端的方向經(jīng)過第一噴頭￠1)的噴淋區(qū)域；在所述基板到達第一噴頭￠1)和第二噴頭(62)之間的設定位置處時，控制所述傳送裝置￠3)停止運動；在旋轉裝置￠5)旋轉所述基板后，繼續(xù)驅動所述傳送裝置￠3)勻速運動，帶動基板沿對端到起始端的方向經(jīng)過第二噴頭(62)的噴淋區(qū)域； 所述旋轉裝置(65)，用于在所述傳送裝置￠3)停止運動后，旋轉所述基板； 第一噴頭￠1)和第二噴頭(62)，用于向經(jīng)過自身的噴淋區(qū)域的基板噴淋顯影液。
11.如權利要求10所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，還包括按照所述傳送裝置(63)的運動方向，位于所述第二噴頭￠2)之后的第一水洗裝置，所述第一水洗裝置用于對經(jīng)過所述第一水洗裝置的基板進行水洗處理。
12.如權利要求11所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，還包括位于所述第一噴頭(61)和旋轉裝置￠5)之間的第二水洗裝置，所述第二水洗裝置用于對經(jīng)過所述第二水洗裝置的基板進行水洗處理。
13.如權利要求12所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述第一水洗裝置和第二水洗裝置對基板依次進行循環(huán)水洗處理、超聲水洗處理、直水洗處理以及風刀干燥處理。
14.如權利要求10所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，還包括位于第一噴頭(61)和第二噴頭￠2)之間的傳感器，所述傳感器用于當感應到基板到達所述設定位置處時，向所述驅動裝置￠4)發(fā)送停止運動信號以及向所述旋轉裝置￠5)發(fā)送旋轉信號； 所述驅動裝置￠4)接收到所述停止運動信號之后，控制所述傳送裝置￠3)停止運動； 所述旋轉裝置￠5)接收到所述旋轉信號之后，旋轉所述基板。
15.如權利要求10所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述旋轉裝置(65)在旋轉所述基板后，向所述驅動裝置￠4)發(fā)送繼續(xù)運動信號； 所述驅動裝置￠4)接收到所述繼續(xù)運動信號之后，繼續(xù)驅動所述傳送裝置￠3)勻速運動，帶動基板經(jīng)過第二噴頭￠2)的噴淋區(qū)域。
16.如權利要求10所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述旋轉裝置(65)在所述傳送裝置￠3)停止運動后，將所述基板旋轉180度。
17.如權利要求10所述的顯影液噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述顯影液中混有氮氣。
18.—種顯影液噴淋方法，其特征在于，包括 驅動裝置驅動位于第一噴頭和第二噴頭下方的傳送裝置勻速運動； 所述傳送裝置帶動承載的基板沿起始端到對端的方向經(jīng)過所述第一噴頭的噴淋區(qū)域； 第一噴頭向經(jīng)過自身的噴淋區(qū)域的基板噴淋顯影液； 在所述基板到達第一噴頭和第二噴頭之間的設定位置處時，所述驅動裝置控制所述傳送裝置停止運動； 旋轉裝置旋轉所述基板； 所述驅動裝置繼續(xù)驅動所述傳送裝置勻速運動； 所述傳送裝置帶動所述基板沿對端到起始端的方向經(jīng)過所述第二噴頭的噴淋區(qū)域； 第二噴頭向經(jīng)過自身的噴淋區(qū)域的基板噴淋顯影液。
19.如權利要求18所述的顯影液噴淋方法，其特征在于，還包括 按照所述傳送裝置的運動方向，位于所述第二噴頭之后的第一水洗裝置對經(jīng)過所述第一水洗裝置的基板進行水洗處理。
20.如權利要求19所述的顯影液噴淋方法，其特征在于，還包括 位于所述第一噴頭和旋轉裝置之間的第二水洗裝置對經(jīng)過所述第二水洗裝置的基板進行水洗處理。
21.如權利要求20所述的顯影液噴淋方法，其特征在于，第一水洗裝置和第二水洗裝置對基板進行水洗處理，具體包括第一水洗裝置和第二水洗裝置對基板依次進行循環(huán)水洗處理、超聲水洗處理、直水洗處理以及風刀干燥處理。
22.如權利要求18所述的顯影液噴淋方法，其特征在于，所述驅動裝置控制所述傳送裝置停止運動之前還包括 當位于第一噴頭和第二噴頭之間的傳感器感應到基板到達所述設定位置處時，向所述驅動裝置發(fā)送停止運動信號以及向所述旋轉裝置發(fā)送旋轉信號； 所述驅動裝置控制所述傳送裝置停止運動，具體包括 所述驅動裝置接收到所述停止運動信號之后，控制所述傳送裝置停止運動； 旋轉裝置旋轉所述基板，具體包括 所述旋轉裝置接收到所述旋轉信號之后，旋轉所述基板。
23.如權利要求18所述的顯影液噴淋方法，其特征在于，所述旋轉裝置在旋轉所述基板后,還包括 向所述驅動裝置發(fā)送繼續(xù)運動信號； 所述驅動裝置繼續(xù)驅動所述傳送裝置勻速運動，具體包括 所述驅動裝置接收到所述繼續(xù)運動信號之后，繼續(xù)驅動所述傳送裝置勻速運動。
24.一種基于權利要求18 23任一權利要求所述的顯影液噴淋方法噴淋顯影液得到的基板廣品。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種顯影液噴淋系統(tǒng)及方法、基板產(chǎn)品，顯影液噴淋系統(tǒng)包括噴頭、驅動裝置以及位于所述噴頭下方的固定機臺，其中所述固定機臺，用于承載基板；所述驅動裝置，用于驅動所述噴頭在所述基板的起始端和對端之間勻速往返預設次數(shù)；所述噴頭，用于在運動過程中，向所述基板噴淋顯影液。采用本發(fā)明技術方案，解決了現(xiàn)有技術存在的噴淋到基板上的顯影液不均勻，造成顯影不均勻的問題。
文檔編號G03F7/30GK102645854SQ201110099270
公開日2012年8月22日 申請日期2011年4月20日 優(yōu)先權日2011年4月20日
發(fā)明者何璇, 王燦, 郭煒 申請人:京東方科技集團股份有限公司