專利名稱：防塵薄膜組件收納容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在制造半導(dǎo)體裝置、印刷電路板或液晶顯示器等時(shí)，作為防塵部件使用的光刻技術(shù)用防塵薄膜組件。
背景技術(shù)：
在大規(guī)模集成電路等的半導(dǎo)體裝置或液晶顯示器等的制造過程中，將光照射到半導(dǎo)體晶片或液晶用原板上而制造圖案，但此時(shí)有一個(gè)問題，即若有灰塵等異物附著于所使用的光掩?；蛑虚g光掩模(以下簡(jiǎn)稱為光掩模)上時(shí)，因?yàn)檫@些灰塵會(huì)遮蔽光或使光發(fā)生折射，所以會(huì)損害到轉(zhuǎn)印的圖案。所以，這些作業(yè)通常是在無塵室里進(jìn)行的。但即使如此，也難于保持光掩模的時(shí)常清潔。因此，通常采用在光掩模表面貼附防塵薄膜組件以作為防塵的方法。這種情況下，因?yàn)楫愇锊皇侵苯痈街诠庋谀５谋砻?，而是附著在防塵薄膜組件上，所以光刻時(shí)只要把焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)光掩模的圖案上，防塵薄膜組件上的異物就不會(huì)影響轉(zhuǎn)印。這種防塵薄膜組件，通常是在防塵薄膜組件框架的上端面涂布防塵薄膜材料的易溶溶劑，并將上述防塵薄膜風(fēng)干后進(jìn)行粘貼，或用粘著劑進(jìn)行粘貼。同時(shí)在防塵薄膜組件框架的下端面設(shè)有用以將防塵薄膜組件粘附于光掩模的粘接層，及以保護(hù)粘接層為目的而設(shè)置的分離層(分離部)。所述防塵薄膜是由對(duì)曝光用光具有高透過率的硝化纖維素、醋酸纖維素或氟樹脂等制成的透明防塵薄膜。所述防塵薄膜組件框架是由鋁、不銹鋼、聚乙烯等所形成。所述粘接劑為丙烯酸樹脂或環(huán)氧樹脂等。所述粘著劑層由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯酯樹脂、丙烯酸樹脂等構(gòu)成。另外，在防塵薄膜組件貼附于光掩模的狀態(tài)下，出于消除防塵薄膜組件內(nèi)部所包圍的空間與外部之間的氣壓差的目的，在防塵薄膜組件框架的一部分位置上開設(shè)有氣壓調(diào)節(jié)用的小孔，還可設(shè)置用來防止異物通過小孔移動(dòng)的從空氣中來的過濾器。近年來，隨著液晶顯示器的大型化所導(dǎo)致的光掩模的大型化，防塵薄膜組件也日趨大型化，當(dāng)然，隨之而來的防塵薄膜組件收納容器也趨于大型化。以往，防塵薄膜組件收納容器基于成本低、輕量、可一體成型以及形狀的自由度高等理由，使用通過真空成型或粘接劑而制成的樹脂產(chǎn)品。但是，在大型化的情況下，因?yàn)槌耸占{物的重量增加之外，外力所造成的變形量會(huì)增大，所以會(huì)使收納容器內(nèi)的收納物或收納容器本身發(fā)生移動(dòng)或擦傷。因此，為了防止在容器內(nèi)產(chǎn)生灰塵，必須提高收納容器的剛性，關(guān)于提高剛性的方法，通常所知的是在以往的樹脂制的防塵薄膜組件收納容器的外側(cè)裝設(shè)補(bǔ)強(qiáng)體等方法(參照專利文獻(xiàn)1)。但是，因?yàn)檫@種方法在裝設(shè)補(bǔ)強(qiáng)體上花費(fèi)工時(shí)較多，所以另外也有人提出將鋁合金、鎂合金或鋼鐵等沖壓成型或鑄造成型的金屬制防塵薄膜組件收納容器或補(bǔ)強(qiáng)體。這種金屬制的防塵薄膜組件收納容器，雖然存在有重量增加的問題，但因其能夠確保所需的剛性、以及當(dāng)考慮到裝設(shè)補(bǔ)強(qiáng)體時(shí)其成本與樹脂制的相當(dāng)，所以尤其針對(duì)防塵薄膜組件的邊長大于IOOOmm的特大型的品種，已有采用的實(shí)例。不過，采用金屬制的防塵薄膜組件收納容器本體時(shí)，也與樹脂制的情況同樣，存在運(yùn)送中產(chǎn)生灰塵的問題。通過對(duì)產(chǎn)生灰塵的原因進(jìn)行調(diào)查，發(fā)現(xiàn)灰塵主要是在防塵薄膜組件收納容器本體與蓋的接觸部分產(chǎn)生的。金屬制的防塵薄膜組件收納容器本體，出于為增加其洗凈性能的表面的平滑化、 防腐、以及為增加其異物的目視辨別性的黑色化等理由，通常是施以氧化膜、電鍍、涂裝等表面處理之后使用。同時(shí)，與防塵薄膜組件收納容器本體組裝在一起的蓋，是將鋁合金或鎂合金等的薄板沖壓成型而制成的金屬制品，或使用聚碳酸酯(PC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、丙烯腈-苯乙烯-丁二烯(ABQ等樹脂真空成型的制品。樹脂制制品由于其表面平滑可以直接使用，但對(duì)于金屬制制品，這種蓋體也需施以與防塵薄膜組件收納容器本體同樣的表面處理后使用。運(yùn)送中產(chǎn)生灰塵，無論蓋體是樹脂制還是金屬制都同樣會(huì)發(fā)生。盡管為了防止由防塵薄膜組件收納容器的撓曲、變形所產(chǎn)生的磨擦而提高剛性，但在防塵薄膜組件收納容器本體與蓋體字之間必會(huì)產(chǎn)生少許擦傷，而且盡管對(duì)相互表面施以處理使其平滑，但仍無法完全防止灰塵產(chǎn)生。此問題有可能通過提高防塵薄膜組件收納容器的剛性加以解決。但是，為了提高剛性可能使得重量進(jìn)一步增加，考慮到可以操作的重量，剛性不可能無限制地提高，故要完全防止撓曲及變形是不可能的。從以上所述，使用金屬制的防塵薄膜組件收納容器本體的防塵薄膜組件收納容器，未能得到產(chǎn)生灰塵少的防塵薄膜組件收納容器。專利文獻(xiàn)1 日本特開2009-037^9號(hào)公報(bào)鑒于以上所述的問題，本發(fā)明的目的是提供一種能收納至少有一邊的邊長大于 IOOOmm的大型防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器。其特征在于在運(yùn)送中產(chǎn)生的灰塵非常少，從而能保持所收納的防塵薄膜組件清潔。

發(fā)明內(nèi)容
1. 一種防塵薄膜組件收納容器，其為收納至少有一條邊的邊長大于IOOOmm的防塵薄膜組件的大型防塵薄膜組件收納容器，其特征在于防塵薄膜組件收納容器本體為金屬制，并且在其承載，固定的蓋與容器本體接觸的所述防塵薄膜組件收納容器的周緣部設(shè)置有保護(hù)部件，并且，所述保護(hù)部件為平板狀，位于所述防塵薄膜組件本體與所述蓋之間。2.如上述1所述的防塵薄膜組件收納容器，其中，所述保護(hù)部件至少由2層構(gòu)成， 其與蓋相接的層為樹脂，與防塵薄膜組件收納容器本體相接的層為硅酮粘著劑。3.如上述1所述的防塵薄膜組件收納容器，其中，所述保護(hù)部件至少由3層構(gòu)成， 其與蓋相接的層為樹脂，與防塵薄膜組件收納容器本體相接的層為硅酮粘著劑，并且其中間層為彈性體。4.如上述3所述的防塵薄膜組件收納容器，其中，所述保護(hù)部件中的彈性體為硅酮樹脂。
5.如上述2至4的任一項(xiàng)所述的防塵薄膜組件收納容器，其中，所述保護(hù)部件的與
蓋相接的層為聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯層。根據(jù)本發(fā)明，可以得到一種能收納邊長大于IOOOmm的大型防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于可避免收納容器本體與蓋相接觸，在運(yùn)送中產(chǎn)生的灰塵非常少，從而能保持所收納的防塵薄膜組件清潔。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的平面圖。圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的前視圖。圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的右視圖。圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的圖1中的A-A線剖面圖。圖5是表示在本發(fā)明中所用的保護(hù)構(gòu)件的一實(shí)施形態(tài)的剖面略圖。圖6是表示在本發(fā)明中所用的保護(hù)構(gòu)件的另一實(shí)施形態(tài)的剖面略圖。圖7是表示在本發(fā)明中所用的保護(hù)構(gòu)件的另一實(shí)施形態(tài)的剖面略圖。圖8是表示在本發(fā)明的保護(hù)構(gòu)件配置的一實(shí)施形態(tài)即配置于整體的實(shí)施例的概略圖。圖9是表示在本發(fā)明的保護(hù)構(gòu)件配置的另一實(shí)施形態(tài)即在角接續(xù)部預(yù)留間隙的實(shí)施例的概略圖。圖10是表示在本發(fā)明的保護(hù)構(gòu)件配置的再一實(shí)施形態(tài)即斷續(xù)配置的實(shí)施例的概略圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明為一種防塵薄膜組件收納容器，其為收納至少有一條邊的邊長大于IOOOmm 的防塵薄膜組件的大型防塵薄膜組件收納容器，其特征在于防塵薄膜組件收納容器本體為金屬制，并且在其承載，固定的蓋與容器本體接觸的所述防塵薄膜組件收納容器的周緣部設(shè)置有保護(hù)部件，并且，所述保護(hù)部件為平板狀，位于所述防塵薄膜組件本體與所述蓋之間。金屬制的防塵薄膜組件收納容器本體與蓋體不會(huì)直接接觸，能大幅降低產(chǎn)生灰塵的量。在此，優(yōu)選前述保護(hù)構(gòu)件至少由2層所構(gòu)成，其中，與蓋相接觸的層為樹脂，而與防塵薄膜組件收納容器本體相接觸的層，即安裝在防塵薄膜組件收納容器本體的層為硅酮粘著劑。通過使與蓋體相接觸的層為樹脂，就能夠降低因與蓋磨擦所產(chǎn)生的灰塵的量。同時(shí)，因在與防塵薄膜組件收納容器本體相接觸的層使用硅酮粘著劑，不僅粘接強(qiáng)度提高，且由于隨時(shí)間變化或溫度等環(huán)境變化所引起的粘接力的劣化非常少，故而安定， 對(duì)于粘接強(qiáng)度的可靠性較高，十分合適。同時(shí)還具有因化學(xué)性分解而污染內(nèi)部的防塵薄膜組件的危險(xiǎn)性較小的優(yōu)點(diǎn)。再者，在更換該保護(hù)構(gòu)件時(shí)，可以剝離而不留殘?jiān)乙子谇逑醇霸俅伟惭b。更優(yōu)選的實(shí)施形態(tài)，是所述保護(hù)構(gòu)件至少由3層所構(gòu)成，其特征為與蓋體相接觸的層為樹脂，與防塵薄膜組件收納容器本體相接觸的層為硅酮粘著劑，且其中間層為彈性體。通過彈性體的緩沖效果，能進(jìn)一步得到防止灰塵發(fā)生的效果。這種彈性體，尤其使用硅酮樹脂為宜。此處所說的硅酮樹脂，是指硅酮橡膠或硅酮凝膠等的彈性體。即使在厚度較薄的情況下，緩沖性能也比較高，效果特別好。而與蓋相接的樹脂，使用聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)為宜。不僅其表面硬度高不易產(chǎn)生灰塵，而且與各種材質(zhì)的摩擦系數(shù)低，化學(xué)性能安定，尤為合適。以下說明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)，但本發(fā)明不限于此。圖1、圖2、圖3表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的防塵薄膜組件收納容器10的外觀。圖 1為其平面圖、圖2為其前視圖、圖3為其右視圖。以10表示防塵薄膜組件收納容器的全體。防塵薄膜組件收納容器本體11是將鋁合金或鎂合金等的輕合金鑄造成型，或者將鋁合金、鎂合金、不銹鋼或碳鋼等的薄板沖壓成型而制造。此時(shí)，該材質(zhì)并非必須以單一的材質(zhì)形成，基于補(bǔ)強(qiáng)等目的，也可組合使用2種以上的金屬、合金。該防塵薄膜組件收納容器本體11與其載置、固定所用的蓋12，是將金屬薄板沖壓成型而形成的，或者將樹脂板真空成型或壓空成型后而使用。優(yōu)選的實(shí)施形態(tài)，是為了確保內(nèi)部的目視辨識(shí)性，將透明或半透明的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚碳酸酯(PC)、丙烯腈-苯乙烯-丁二烯樹脂(ABQ等樹脂真空成型而使用，更優(yōu)選的實(shí)施形態(tài)，是具有防靜電性能。在防塵薄膜組件收納容器本體11與蓋體12之間，設(shè)有平板狀的保護(hù)構(gòu)件17。另外，13為腳部，16為扣接防塵薄膜組件收納容器本體與蓋體的環(huán)扣。圖4表示圖1中A-A線的剖面概略圖。保護(hù)構(gòu)件17，在防塵薄膜組件收納容器本體11的外緣部，安裝于蓋12被載置、固定并接觸的面上。并且，18為收納于內(nèi)部的防塵薄膜組件。圖5至圖7，表示本發(fā)明的保護(hù)構(gòu)件17的剖面構(gòu)造的圖。圖5所示的一實(shí)施形態(tài)的保護(hù)構(gòu)件17為2層構(gòu)造，上層21 (保護(hù)層)，即與蓋體接觸的層，以樹脂構(gòu)成為宜。上層21所使用的樹脂，例如可列舉出聚乙烯(PE)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、 聚氯乙烯(PVC)、聚四氟乙烯(PTFE)等可形成薄膜狀的樹脂，而其中，以聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)尤為理想。因?yàn)槠渚哂腥缦聝?yōu)點(diǎn)表面硬度高，摩擦系數(shù)小，故不易產(chǎn)生灰塵，化學(xué)性能安定。此外，還具有價(jià)格低廉、對(duì)于可用作粘接劑層22的各類粘接劑、粘著劑，都具有良好的粘接性。下層(粘接劑層)22，即粘接防塵薄膜組件收納容器本體的粘接劑層，以丙烯酸粘著劑、硅酮粘著劑等的粘著劑，或熱熔粘接劑、環(huán)氧樹脂粘接劑、橡膠系粘接劑等的粘接劑構(gòu)成為宜。其中，以硅酮粘著劑最佳。使用硅酮粘著劑具有以下優(yōu)點(diǎn)不僅粘接力強(qiáng)，而且隨時(shí)間的變化及因溫度或濕度等環(huán)境變化所引起的粘接力的變化較少，所以粘接力的可靠度高。并且，由于化學(xué)性能安定，由分解等產(chǎn)生的化學(xué)物質(zhì)排出到防塵薄膜組件收納容器內(nèi)部的可能性小。此外，保護(hù)構(gòu)件17，當(dāng)其表面產(chǎn)生了污垢、損傷時(shí)需要更換，但在將其取下時(shí)，因?yàn)檎持鴦┎灰妆焕瓟?，所以防塵薄膜組件收納容器本體11上不易殘留殘?jiān)?，非常容易清洗，此點(diǎn)也是其優(yōu)點(diǎn)。其結(jié)果，使得保護(hù)構(gòu)件17容易更換。圖6表示保護(hù)構(gòu)件17的另一實(shí)施形態(tài)，以3層構(gòu)造為例。在此形態(tài)下，上層(保護(hù)層)21，與上述2層構(gòu)造的情況同樣，以樹脂特別是聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)為宜。下層(粘接劑)22也同樣是由丙烯酸粘著劑、硅酮粘著劑等粘著劑，或是熱熔粘接劑、環(huán)氧樹脂粘接劑、橡膠類粘接劑等粘接劑構(gòu)成為宜，尤其是優(yōu)選硅酮粘著劑。而中間層(緩沖層)23，宜使用樹脂發(fā)泡體、橡膠等彈性體。圖6所示的中間層23，是為了獲得比上述2層構(gòu)造更高的緩沖性，且降低灰塵的產(chǎn)生的效果而設(shè)置的。作為發(fā)泡體，雖可使用聚丙烯酸類、聚氨基甲酸乙酯類等的各種材料，但此時(shí)，宜采用獨(dú)立氣泡的發(fā)泡體，因其可防止清洗時(shí)的清洗水浸潤。另外，作為橡膠類材料，雖可利用丁腈橡膠、乙烯丙烯橡膠、硅酮橡膠、氟橡膠等， 但特別適合的是硅酮橡膠、硅酮凝膠等的硅酮樹脂。因?yàn)槭欠前l(fā)泡體，所以表面潔凈性能好，除此之外，即使在厚度較薄的情況下，其緩沖性能也高、復(fù)原能力大且不易減弱、化學(xué)性能安定，以上均為其優(yōu)點(diǎn)。 關(guān)于中間層23 (緩沖層)，如果以鑄造等方式能直接形成于上層(保護(hù)層)21上固然沒問題，但根據(jù)材質(zhì)，有時(shí)將分別形成的上層(保護(hù)層)21與中間層(緩沖層)23予以接合，再在該處形成下層(粘接層)。這種情況下，需要在上層21或中間層23上薄薄地涂布粘接劑或粘著劑而加以粘接。如此粘接后的斷面如圖7所示，其構(gòu)造為在上層21與中間層23之間夾著中間粘接層對(duì)。此時(shí)，下層22的厚度至少要有30 μ m,而從提高與防塵薄膜組件收納容器本體的粘接性的觀點(diǎn)，優(yōu)選為50μπι以上。但從橫方向承受荷重時(shí)防止上層21的橫向偏移的觀點(diǎn)，在足以維持粘接力的情況下，厚度要盡可能的薄，優(yōu)選為30μπι以下。另一種方法，是使用類似雙面膠帶狀的材料，將其堆疊并貼合(未圖示)。此時(shí)，雖然整體的層數(shù)有5層或6層以上，但只要考慮到使雙面膠帶的部分的材料厚度盡可能的薄， 便可防止承受橫向負(fù)荷時(shí)的橫方向偏移等，從而可供實(shí)用。圖8、圖9及圖10表示防塵薄膜組件收納容器本體11上的保護(hù)構(gòu)件17的配置形態(tài)的平面圖，圖8為配置于全周的實(shí)施形態(tài)，圖9為在角部有間隙地不連續(xù)地配置于全周的實(shí)施形態(tài)，圖10為在全周斷續(xù)配置的實(shí)施形態(tài)。如圖1所示，因?yàn)樯w12在整個(gè)周緣部被載置、固定于防塵薄膜組件收納容器本體 11，故可以在幾乎全部范圍都夾著保護(hù)構(gòu)件，如此，在任一實(shí)施形態(tài)均可得到防止灰塵發(fā)生這一所期望的效果。有間隙地配置的情況，因?yàn)樵诖蜷_蓋時(shí)外面空氣易于流入防塵薄膜組件收納容器內(nèi)，所以可期待能使因?yàn)榉缐m薄膜組件收納容器內(nèi)成為負(fù)壓而卷入異物的程度得到緩和的效果。因?yàn)橐脖仨毧紤]到保護(hù)構(gòu)件17的粘接力的安定性以及制造時(shí)的操作性等，所以， 可綜合考慮防塵薄膜組件收納容器的大小、及作業(yè)所費(fèi)工時(shí)，從而選擇適當(dāng)?shù)呐渲?。間隙配置的情況，應(yīng)考慮到至少在以用來將蓋12固定于防塵薄膜組件收納容器本體11的環(huán)扣16 扣接的部分設(shè)置保護(hù)構(gòu)件。以下說明本發(fā)明的實(shí)施例，但本發(fā)明不限于此。實(shí)施例1在本實(shí)施例中制作了圖1、圖2、圖3所示的防塵薄膜組件收納容器10。該防塵薄膜組件收納容器的大小為外部尺寸為1950 X 1750 X高度190mm (不包含腳部13)，重量約為 80kg。
防塵薄膜組件收納容器本體11，是將鋁合金AC4C以砂模鑄造成型之后，以研磨布對(duì)其表面精加工，對(duì)外周部以及搭載防塵薄膜組件的面以銑床進(jìn)行切削加工。機(jī)械加工結(jié)束后，以油灰填補(bǔ)表面的鑄孔等的鑄造缺陷施以精加工，讓油灰自然干燥并硬化，涂布導(dǎo)電性材料，在烘箱施以烘烤干燥。腳部13，是將SUS304冷軋板彎曲加工制成，通過螺栓(未圖示)，安裝于防塵薄膜組件收納容器本體11的底面。同時(shí)，為便于操作，在外面以螺栓(未圖示)安裝有鋁合金制的把手14以及用以固定蓋體12的環(huán)扣16。在如此制成的防塵薄膜組件收納容器本體11的外緣部安裝保護(hù)構(gòu)件17。保護(hù)構(gòu)件17的制造步驟如下。將硅酮粘著劑(商品名稱KR3700，信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造)以涂布棒涂布于寬度500mm，厚度180 μ m的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制膠膜(商品名稱路米納(Lumirror)， 東麗(TORAY)株式會(huì)社制造)，以使其干燥后的厚度為50 μ m,并加熱使其硬化。將此聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制膠膜與分離紙貼合，維持此貼合狀態(tài)而纏繞在直徑 75mm的聚乙烯制的卷芯部之后，將其裁斷成寬度20mm的膠帶狀。制成的保護(hù)構(gòu)件17的剖面構(gòu)造如圖5所示，上層21為聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯，下層22為硅酮粘著劑。清潔防塵薄膜組件收納容器本體11的外周部，一邊注意不要讓氣泡、異物等侵入，一邊將此保護(hù)構(gòu)件17以橡膠滾筒滾壓，以圖9所示的配置貼合。另外，在角部中各保護(hù)構(gòu)件之間的接縫預(yù)留約為20mm的間隙。接下來，對(duì)厚度3mm的聚甲基丙烯酸甲酯板施以環(huán)氧樹脂類的防靜電涂裝之后， 將其真空成型，制成蓋體12。將其外周以NC起槽機(jī)加工切削加工，以使其與防塵薄膜組件收納容器本體的外周為相同尺寸。在其外面為便于操作以螺栓(未圖示)安裝尼龍制的把手15。將如此制成的防塵薄膜組件收納容器本體11與蓋體12送入等級(jí)10的無塵室內(nèi)， 以表面活性劑與純水清洗干凈之后，讓其完全干燥。對(duì)于如此制成的防塵薄膜組件收納容器10，關(guān)掉無塵室內(nèi)的照明，一邊照射聚光燈(光量40萬勒克司)，一邊進(jìn)行防塵薄膜組件收納容器本體及蓋體的內(nèi)面?zhèn)鹊漠愇餀z查， 確認(rèn)無附著異物。接下來，將蓋12輕緩地嵌合包覆于防塵薄膜組件收納容器本體11，周緣部以粘著膠帶密封，且以配置于各邊的環(huán)扣16將蓋體12與防塵薄膜組件收納容器本體11固定。進(jìn)而以防靜電的聚乙烯制膜片(未圖示)包裝整體，開口部，以熱封方式密封。其后，再次從無塵室運(yùn)送出，收納于底部設(shè)有緩沖材料的包裝箱(未圖示)。其次，將此包裝箱以卡車載送，使其移動(dòng)約IOOOkm的距離。運(yùn)送結(jié)束的防塵薄膜組件收納容器10，再次送入上述無塵室內(nèi)，以純水將其外面洗凈擦拭之后，打開蓋體，確認(rèn)其內(nèi)部產(chǎn)生灰塵的狀況。在關(guān)掉無塵室的照明的狀態(tài)下，以聚光燈(光量40萬勒克司)，照射蓋體與防塵薄膜組件收納容器本體的各自的內(nèi)側(cè)面，觀察異物的附著狀況。其結(jié)果，在防塵薄膜組件收納容器本體11上，在保護(hù)構(gòu)件17的表面及與其緊鄰附近發(fā)現(xiàn)有4個(gè)大小為10-50 μ m左右的異物附著。另一方面，在蓋12上，在與保護(hù)構(gòu)件的接觸部發(fā)現(xiàn)3個(gè)大小為10-50 μ m左右的異物。這些異物的附著位置均限于保護(hù)構(gòu)件17的附近，而在搭載防塵薄膜組件的內(nèi)側(cè)完全未發(fā)現(xiàn)異物。此外，在保護(hù)構(gòu)件的表面及粘著層完全未發(fā)生損傷。實(shí)施例2以與上述實(shí)施例1完全相同的方式制成防塵薄膜組件收納容器。不過，這里所用的保護(hù)構(gòu)件的構(gòu)造與圖7所示，上層21為聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(商品名稱路米納 (Lumirror)，東麗株式會(huì)社制造)，中間粘接層M為硅酮粘著劑(厚度20 μ m，商品名稱 KR-3700，信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造)，中間層23為硅酮橡膠(硬度計(jì)(Durometer)硬度A31，商品名稱KE-931-U，信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造)，下層22為硅酮粘著劑(厚度 50 μ m，商品名稱KR-3700，信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造)。關(guān)于此防塵薄膜組件收納容器，以與實(shí)施例1相同的方式進(jìn)行運(yùn)送實(shí)驗(yàn)，確認(rèn)內(nèi)部產(chǎn)生灰塵的狀況。其結(jié)果，在防塵薄膜組件收納容器本體11，發(fā)現(xiàn)有3個(gè)50 μ m左右的異物附著。另外，在蓋12，發(fā)現(xiàn)1個(gè)10 μ m左右的異物。與實(shí)施例1 一樣，這些附著位置均限于保護(hù)構(gòu)件17的附近，在搭載防塵薄膜組件的內(nèi)側(cè)完全未發(fā)現(xiàn)異物，保護(hù)構(gòu)件17也未發(fā)生損傷。比較例以與上述實(shí)施例1、2相同的方式制成防塵薄膜組件收納容器本體11及蓋體12。 但在防塵薄膜組件收納容器本體11上，沒有安裝保護(hù)構(gòu)件17。對(duì)于未設(shè)此保護(hù)構(gòu)件17的防塵薄膜組件收納容器，以與上述實(shí)施例1完全相同的方式進(jìn)行運(yùn)送實(shí)驗(yàn)，確認(rèn)內(nèi)部產(chǎn)生灰塵的狀況。其結(jié)果，在防塵薄膜組件收納容器本體上發(fā)現(xiàn)數(shù)百個(gè)大小為10-100 μ m的異物， 在蓋體上也有數(shù)十個(gè)異物。其附著位置，不僅是外周部，而且擴(kuò)散到內(nèi)面整體。并且，在防塵薄膜組件收納容器本體11上，到處都存在有因與蓋體12接觸所造成的擦痕。符號(hào)說明10 防塵薄膜組件收納容器(整體)11 防塵薄膜組件收納容器本體12:蓋體13 腳部14 把手15 把手16 環(huán)扣17 保護(hù)構(gòu)件18:防塵薄膜組件21 上層(保護(hù)層)22:下層(粘接層)23:中間層(緩沖層)24:中間粘接層
權(quán)利要求
1.一種防塵薄膜組件收納容器，其為收納至少有一條邊的邊長大于IOOOmm的防塵薄膜組件的大型防塵薄膜組件收納容器，其特征在于防塵薄膜組件收納容器本體為金屬制，并且在其承載，固定的蓋與容器本體接觸的所述防塵薄膜組件收納容器的周緣部設(shè)置有保護(hù)部件，并且，所述保護(hù)部件為平板狀，位于所述防塵薄膜組件本體與所述蓋之間。
2.如權(quán)利要求1所述的防塵薄膜組件收納容器，其中，所述保護(hù)部件至少由2層構(gòu)成， 其與蓋相接的層為樹脂，與防塵薄膜組件收納容器本體相接的層為硅酮粘著劑。
3.如權(quán)利要求1所述的防塵薄膜組件收納容器，其中，所述保護(hù)部件至少由3層構(gòu)成， 其與蓋相接的層為樹脂，與防塵薄膜組件收納容器本體相接的層為硅酮粘著劑，并且其中間層為彈性體。
4.如權(quán)利要求3所述的防塵薄膜組件收納容器，其中，所述保護(hù)部件中的彈性體為硅酮樹脂。
5.如權(quán)利要求2至4的任一項(xiàng)所述的防塵薄膜組件收納容器，其中，所述保護(hù)部件的與蓋相接的層為聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯層。
全文摘要
一種用于收納大型防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器，其在運(yùn)送過程中極少產(chǎn)生灰塵，從而能保持所收納的防塵薄膜組件清潔。一種大型的防塵薄膜組件收納容器，用來收納至少有一邊的邊長大于1000mm的防塵薄膜組件，其特征為防塵薄膜組件收納容器的本體為金屬制，且于在其周緣載置、固定的蓋體所接觸的防塵薄膜組件收納容器的表面，設(shè)有保護(hù)構(gòu)件，防塵薄膜組件收納容器本體與蓋體之間介于該保護(hù)構(gòu)件來載置和固定。該保護(hù)構(gòu)件宜由至少2層所構(gòu)成，與蓋體相接觸的層(上層)為樹脂，而與防塵薄膜組件收納容器本體相接觸的層(下層)為硅粘合劑；更理想的是具有由彈性體所構(gòu)成的中間層。
文檔編號(hào)G03F1/62GK102236249SQ20111010415
公開日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2011年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月23日
發(fā)明者關(guān)原一敏 申請(qǐng)人:信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社