專利名稱：提高光刻機(jī)工藝效率的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體來說，本發(fā)明涉及一種提高光刻機(jī)工藝效率的方法。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，某些光刻機(jī)屬于在線(Inline)光刻機(jī)類型(與涂膠機(jī)、顯影機(jī)等連線的)，但是由于半導(dǎo)體代工廠自動(dòng)化水平等原因，目前很多仍僅作為離線(Offline)光刻機(jī)使用(不與其他機(jī)臺(tái)連線的)，沒有完全發(fā)揮出在線光刻機(jī)的全部產(chǎn)能。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一個(gè)光刻機(jī)的平面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，該光刻機(jī)100可以包括光刻機(jī)主體111、機(jī)械手臂105和四個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口(簡(jiǎn)稱端口)101 104。其中， 由于該光刻機(jī)僅作為離線使用，因此端口 103和104處于空置不使用的狀態(tài)，僅有端口 101 和102處于使用中。在這兩個(gè)可以使用的端口 101、102中，只能選擇一個(gè)端口(例如端口 101)作晶圓盒送料口使用，另一個(gè)(例如端口 102)作接收端口使用。圖2為現(xiàn)有技術(shù)中一個(gè)光刻機(jī)對(duì)晶圓進(jìn)行光刻工藝流程的簡(jiǎn)單的路線示意圖。結(jié)合圖1和圖2來看，現(xiàn)有的光刻機(jī)100在實(shí)際使用的過程中，機(jī)械手臂105先從端口 101中的晶圓盒中取出一片晶圓，送入光刻機(jī)主體111的進(jìn)口 106。在光刻機(jī)主體111內(nèi)依次經(jīng)歷對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)107、曝光機(jī)構(gòu)108和等待機(jī)構(gòu)109，在出口 110處再由機(jī)械手臂105將晶圓放入端口 102中的晶圓盒內(nèi)，完成一片晶圓的光刻工藝流程。后續(xù)的晶圓也按照如此的流程，直至處理完端口 101中的晶圓盒中的所有晶圓(一般是25片)。然后，等待操作工巡視發(fā)現(xiàn)該晶圓盒已經(jīng)全部處理完畢，重新更換新的一盒晶圓，進(jìn)行下一盒晶圓的光刻工藝?？梢钥吹?，現(xiàn)有的光刻機(jī)由于只有2個(gè)晶圓料盒進(jìn)出端口能夠使用，因此只能一個(gè)端口作送料口使用，另一個(gè)作接受端口使用。所以同時(shí)只能有一盒晶圓在光刻機(jī)上進(jìn)行制造工藝，下一盒晶圓只有等前一盒晶圓全部跑完才能重新下貨。而光刻機(jī)在光刻之前將新的一盒晶圓放置到位，設(shè)置工藝菜單，進(jìn)行下一盒晶圓的光刻工藝等必要步驟往往需要耗費(fèi)工程師或操作工大量的時(shí)間，此時(shí)光刻機(jī)處于閑置不工作的狀態(tài)。另外，由于需要等前一盒晶圓全部跑完才能重新下貨，操作工一般不會(huì)事先站在旁邊準(zhǔn)備好下一盒晶圓，等著馬上替換，而是在巡視發(fā)現(xiàn)該晶圓盒已經(jīng)全部處理完畢之后再更換新的一盒晶圓。因此，在光刻機(jī)已經(jīng)處理完所有的晶圓到操作工發(fā)現(xiàn)該晶圓盒內(nèi)的所有晶圓已經(jīng)全部處理完畢這段時(shí)間內(nèi)，費(fèi)用昂貴的光刻機(jī)處于閑置狀態(tài)，沒有發(fā)揮出全部的產(chǎn)能。由此，現(xiàn)有技術(shù)的缺陷使光刻機(jī)不能持續(xù)不斷地進(jìn)行工藝流程，從而影響到產(chǎn)量和晶圓工藝效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種提高光刻機(jī)工藝效率的方法，使光刻機(jī)持續(xù)不斷地進(jìn)行工藝流程，縮短其閑置時(shí)間，提高工藝效率和產(chǎn)量。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種提高光刻機(jī)工藝效率的方法，所述光刻機(jī)包括一光刻機(jī)主體、第一晶圓盒進(jìn)出端口、第二晶圓盒進(jìn)出端口和一機(jī)械手臂，所述光刻機(jī)主體包括一對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)、一曝光機(jī)構(gòu)和一等待機(jī)構(gòu)，所述方法包括步驟取片步驟所述機(jī)械手臂從所述第一晶圓盒進(jìn)出端口取出一片晶圓，送入所述光刻機(jī)主體的所述對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)中；對(duì)準(zhǔn)步驟所述對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)將所述晶圓與光刻掩模版對(duì)準(zhǔn)；第一傳送步驟將所述晶圓從所述對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)傳送到所述曝光機(jī)構(gòu)中；曝光步驟所述曝光機(jī)構(gòu)對(duì)對(duì)準(zhǔn)后的所述晶圓進(jìn)行曝光；第二傳送步驟將所述晶圓從所述曝光機(jī)構(gòu)傳送到所述等待機(jī)構(gòu)中；等待步驟所述等待機(jī)構(gòu)將曝光后的所述晶圓暫時(shí)存放，等待所述機(jī)械手臂將其取出；送片步驟所述機(jī)械手臂從所述光刻機(jī)主體中的所述等待機(jī)構(gòu)中取回所述晶圓， 送回所述第一晶圓盒進(jìn)出端口；返回所述取片步驟，當(dāng)所述機(jī)械手臂從所述第一晶圓盒進(jìn)出端口取走最后一片晶圓后，其開始從所述第二晶圓盒進(jìn)出端口取出第一片晶圓，送入所述光刻機(jī)主體中；當(dāng)所述機(jī)械手臂從所述第二晶圓盒進(jìn)出端口取走最后一片晶圓后，其又開始從所述第一晶圓盒進(jìn)出端口取出第一片晶圓，送入所述光刻機(jī)主體中；兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口如此循環(huán)交替，直至所有晶圓處理完畢?？蛇x地，所述方法中前一片晶圓與其后的一片或者多片晶圓是并行處理的。
可選地，所述每個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口中的晶圓盒包括25片晶圓?？蛇x地，所述光刻機(jī)為阿斯麥步進(jìn)式光刻機(jī)或者步進(jìn)掃描式光刻機(jī)。可選地，所述光刻機(jī)作為離線光刻機(jī)使用。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明將兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口均作為送料端口和接收端口使用，兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口彼此可以循環(huán)交替，使得在一個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口中的那一盒晶圓全部處理完畢之前， 在另一個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口中事先放置好一盒新的待處理的晶圓，并做好所有的前期準(zhǔn)備工作。等待前一個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口中的晶圓全部處理完畢之后，即可以緊接著處理后一個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口中的晶圓。如此不斷循環(huán)交替，可以使離線光刻機(jī)也能持續(xù)不斷地進(jìn)行光刻工藝流程，大大縮短其閑置不工作的時(shí)間，提高工藝效率和產(chǎn)量。


本發(fā)明的上述的以及其他的特征、性質(zhì)和優(yōu)勢(shì)將通過下面結(jié)合附圖和實(shí)施例的描述而變得更加明顯，其中圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一個(gè)光刻機(jī)的平面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中一個(gè)光刻機(jī)對(duì)晶圓進(jìn)行光刻工藝流程的簡(jiǎn)單的路線示意圖；圖3為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的提高光刻機(jī)工藝效率的方法流程圖；圖4為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的光刻機(jī)的第一晶圓盒進(jìn)出端口中的晶圓開始光刻工藝的示意圖；圖5為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的光刻機(jī)的第一晶圓盒進(jìn)出端口中最后一片晶圓被取走后，開始從第二晶圓盒進(jìn)出端口取出第一片晶圓緊接著進(jìn)行光刻工藝的示意圖；圖6為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的光刻機(jī)的第一晶圓盒進(jìn)出端口中最后一片晶圓被送回第一晶圓盒進(jìn)出端口后，從第二晶圓盒進(jìn)出端口取出的多片晶圓緊接著進(jìn)行光刻工藝的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明，在以下的描述中闡述了更多的細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明顯然能夠以多種不同于此描述地其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下根據(jù)實(shí)際應(yīng)用情況作類似推廣、演繹，因此不應(yīng)以此具體實(shí)施例的內(nèi)容限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。圖3為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的提高光刻機(jī)工藝效率的方法流程圖。如圖所示，該方法的流程可以包括執(zhí)行步驟S301，取片步驟機(jī)械手臂從第一晶圓盒進(jìn)出端口取出一片晶圓，送入光刻機(jī)主體的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)中；執(zhí)行步驟S302，對(duì)準(zhǔn)步驟對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)將晶圓與光刻掩模版對(duì)準(zhǔn)；執(zhí)行步驟S303，第一傳送步驟將晶圓從對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)傳送到曝光機(jī)構(gòu)中；執(zhí)行步驟S304，曝光步驟曝光機(jī)構(gòu)對(duì)對(duì)準(zhǔn)后的晶圓進(jìn)行曝光；執(zhí)行步驟S305，第二傳送步驟將晶圓從曝光機(jī)構(gòu)傳送到等待機(jī)構(gòu)中；執(zhí)行步驟S306，等待步驟等待機(jī)構(gòu)將曝光后的晶圓暫時(shí)存放，等待機(jī)械手臂將其取出；執(zhí)行步驟S307，送片步驟機(jī)械手臂從光刻機(jī)主體中的等待機(jī)構(gòu)中取回晶圓，送回第一晶圓盒進(jìn)出端口；執(zhí)行步驟S308，返回取片步驟，直至機(jī)械手臂從第一晶圓盒進(jìn)出端口取走最后一片晶圓后，其開始從第二晶圓盒進(jìn)出端口取出第一片晶圓，送入到光刻機(jī)主體中；執(zhí)行步驟S309，當(dāng)機(jī)械手臂從第二晶圓盒進(jìn)出端口取走最后一片晶圓后，其又開始從第一晶圓盒進(jìn)出端口取出第一片晶圓，送入光刻機(jī)主體中；執(zhí)行步驟S310，兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口如此循環(huán)交替，直至所有晶圓均處理完畢。圖4為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的光刻機(jī)的第一晶圓盒進(jìn)出端口中的晶圓開始光刻工藝的示意圖。如圖所示，該光刻機(jī)200可以為阿斯麥(ASML)步進(jìn)式光刻機(jī)或者步進(jìn)掃描式光刻機(jī)，目前作為離線光刻機(jī)使用。該光刻機(jī)200可以包括一光刻機(jī)主體220、第一晶圓盒進(jìn)出端口 201、第二晶圓盒進(jìn)出端口 202和一機(jī)械手臂205。該光刻機(jī)主體220包括一對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207、一曝光機(jī)構(gòu)208和一等待機(jī)構(gòu)209。每個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口 201、202中的晶圓盒可以包括25片晶圓。在本實(shí)施例中，該光刻機(jī)200首先進(jìn)行取片步驟機(jī)械手臂205從第一晶圓盒進(jìn)出端口 201取出一片晶圓301，送入光刻機(jī)主體220的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207中。然后進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)步驟對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207將晶圓301與光刻掩模版(未圖示)對(duì)準(zhǔn)。與此同時(shí)，機(jī)械手臂205可以從第一晶圓盒進(jìn)出端口 201再取出一片晶圓302，等待前一片晶圓301從對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207轉(zhuǎn)移到后續(xù)的曝光機(jī)構(gòu)208中時(shí)，再送入到光刻機(jī)主體220的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207中。即本實(shí)施例所述的方法中前一片晶圓與其后的一片晶圓甚至多片晶圓可以是并行處理的，只要它們處在不同的步驟中。當(dāng)然，本發(fā)明也可以設(shè)定必須等待前一片晶圓完成全部的工藝流程之后，后一片晶圓才可以送入光刻機(jī)主體中，但是這么做往往會(huì)犧牲工藝效率。接著進(jìn)行第一傳送步驟將晶圓301從對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207傳送到曝光機(jī)構(gòu)208中。此時(shí)，由于對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207騰出了空位，第二片晶圓302也經(jīng)由機(jī)械手臂205及時(shí)送入光刻機(jī)主體220的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207中。另外，機(jī)械手臂205可以從第一晶圓盒進(jìn)出端口 201再取出一片晶圓303，等待前一片晶圓302從對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207轉(zhuǎn)移到后續(xù)的曝光機(jī)構(gòu)208中時(shí)，再送入到光刻機(jī)主體220的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207中。此瞬間光刻機(jī)內(nèi)的上述三片晶圓301、302、303所處的位置即如圖4所示。重新關(guān)注先前的第一片晶圓301，再接下來進(jìn)行曝光步驟曝光機(jī)構(gòu)208對(duì)對(duì)準(zhǔn)后的晶圓301進(jìn)行曝光。隨后進(jìn)行第二傳送步驟將晶圓301從曝光機(jī)構(gòu)208傳送到等待機(jī)構(gòu)209中。再進(jìn)行等待步驟等待機(jī)構(gòu)209將曝光后的晶圓301暫時(shí)存放，等待機(jī)械手臂205 將其取出。最后進(jìn)行送片步驟機(jī)械手臂205從光刻機(jī)主體220中的等待機(jī)構(gòu)209中取回晶圓301，送回第一晶圓盒進(jìn)出端口 201。至此，對(duì)于來自第一晶圓盒進(jìn)出端口 201的第一片晶圓301來說，一個(gè)完整的光刻工藝流程已經(jīng)結(jié)束。但是，對(duì)于第一晶圓盒進(jìn)出端口 201中的一般包括25片晶圓的整個(gè)晶圓盒來說，光刻工藝流程才剛剛開始。在本實(shí)施例中，本方法還需要返回取片步驟。圖5為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的光刻機(jī)的第一晶圓盒進(jìn)出端口中最后一片晶圓被取走后，開始從第二晶圓盒進(jìn)出端口取出第一片晶圓緊接著進(jìn)行光刻工藝的示意圖。如圖所示，當(dāng)機(jī)械手臂205從第一晶圓盒進(jìn)出端口 201 取走最后一片晶圓325后，其開始從第二晶圓盒進(jìn)出端口 202取出第一片晶圓401，送入光刻機(jī)主體220中，緊接著之前的一片晶圓325進(jìn)行光刻工藝。然后類似地進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)步驟對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207將晶圓401與光刻掩模版(未圖示)對(duì)準(zhǔn)。與此同時(shí)，機(jī)械手臂205可以從第二晶圓盒進(jìn)出端口 202再取出一片晶圓402，等待前一片晶圓401從對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207轉(zhuǎn)移到后續(xù)的曝光機(jī)構(gòu)208中時(shí)，再送入到光刻機(jī)主體220 的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207中進(jìn)行并行處理。如圖5所示的是第一晶圓盒進(jìn)出端口 201中的最后一片晶圓325處于等待機(jī)構(gòu)209中，第二晶圓盒進(jìn)出端口 202中的第一片晶圓401處于曝光機(jī)構(gòu)208中，而第二晶圓盒進(jìn)出端口 202中的第二片晶圓403即將由機(jī)械手臂205送入光刻機(jī)主體220的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)207中而還沒有送入的那一瞬間。圖6為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的光刻機(jī)的第一晶圓盒進(jìn)出端口中最后一片晶圓被送回第一晶圓盒進(jìn)出端口后，從第二晶圓盒進(jìn)出端口取出的多片晶圓緊接著進(jìn)行光刻工藝的示意圖。此時(shí)，第一晶圓盒進(jìn)出端口 201中的最后一片晶圓325已經(jīng)被機(jī)械手臂205送回第一晶圓盒進(jìn)出端口 201中了，第二晶圓盒進(jìn)出端口 202中的第一一片晶圓401即將傳送到等待機(jī)構(gòu)209中。而第二晶圓盒進(jìn)出端口 202中的后續(xù)晶圓402和403也都分別處于對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)208和機(jī)械手臂205處，等待進(jìn)行下一步的動(dòng)作。那么類似地，當(dāng)機(jī)械手臂205從第二晶圓盒進(jìn)出端口 202取走最后一片晶圓后，其又開始從第一晶圓盒進(jìn)出端口 201取出第一片晶圓，送入光刻機(jī)主體220中。兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口 201、202如此循環(huán)交替，直至所有晶圓處理完畢。當(dāng)然，之前第一晶圓盒進(jìn)出端口 201中的那一個(gè)晶圓盒全部處理完畢后，操作工完全可以有時(shí)間(整個(gè)晶圓盒的曝光工藝大約需要10 15分鐘)在第二晶圓盒進(jìn)出端口 202中的那一個(gè)晶圓盒也處理完畢之前，在第一晶圓盒進(jìn)出端口 201中放入一個(gè)新的待處理的晶圓盒，設(shè)置好工藝菜單等必要步驟。而且同樣重要的是，由于本發(fā)明是兩個(gè)進(jìn)出端口都可以取送晶圓，操作工只要發(fā)現(xiàn)其中一個(gè)端口的晶圓盒已經(jīng)處理完畢，就可以更換新的一盒晶圓以待備用。如此，費(fèi)用昂貴的光刻機(jī)處于閑置不工作狀態(tài)的情形就可以大大避免，能夠發(fā)揮出更多的產(chǎn)能。本發(fā)明將兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口均作為送料端口和接收端口使用，兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口彼此可以循環(huán)交替，使得在一個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口中的那一盒晶圓全部處理完畢之前， 在另一個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口中事先放置好一盒新的待處理的晶圓，并做好所有的前期準(zhǔn)備工作。等待前一個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口中的晶圓全部處理完畢之后，即可以緊接著處理后一個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口中的晶圓。如此不斷循環(huán)交替，可以使離線光刻機(jī)也能持續(xù)不斷地進(jìn)行光刻工藝流程，大大縮短其閑置不工作的時(shí)間，提高工藝效率和產(chǎn)量。本發(fā)明雖然以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動(dòng)和修改。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何修改、等同變化及修飾，均落入本發(fā)明權(quán)利要求所界定的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種提高光刻機(jī)工藝效率的方法，所述光刻機(jī)包括一光刻機(jī)主體、第一晶圓盒進(jìn)出端口、第二晶圓盒進(jìn)出端口和一機(jī)械手臂，所述光刻機(jī)主體包括一對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)、一曝光機(jī)構(gòu)和一等待機(jī)構(gòu)，所述方法包括步驟取片步驟所述機(jī)械手臂從所述第一晶圓盒進(jìn)出端口取出一片晶圓，送入所述光刻機(jī)主體的所述對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)中；對(duì)準(zhǔn)步驟所述對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)將所述晶圓與光刻掩模版對(duì)準(zhǔn)；第一傳送步驟將所述晶圓從所述對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)傳送到所述曝光機(jī)構(gòu)中；曝光步驟所述曝光機(jī)構(gòu)對(duì)對(duì)準(zhǔn)后的所述晶圓進(jìn)行曝光；第二傳送步驟將所述晶圓從所述曝光機(jī)構(gòu)傳送到所述等待機(jī)構(gòu)中；等待步驟所述等待機(jī)構(gòu)將曝光后的所述晶圓暫時(shí)存放，等待所述機(jī)械手臂將其取出；送片步驟所述機(jī)械手臂從所述光刻機(jī)主體中的所述等待機(jī)構(gòu)中取回所述晶圓，送回所述第一晶圓盒進(jìn)出端口；返回所述取片步驟，當(dāng)所述機(jī)械手臂從所述第一晶圓盒進(jìn)出端口取走最后一片晶圓后，其開始從所述第二晶圓盒進(jìn)出端口取出第一片晶圓，送入所述光刻機(jī)主體中；當(dāng)所述機(jī)械手臂從所述第二晶圓盒進(jìn)出端口取走最后一片晶圓后，其又開始從所述第一晶圓盒進(jìn)出端口取出第一片晶圓，送入所述光刻機(jī)主體中； 兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口如此循環(huán)交替，直至所有晶圓處理完畢。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法中前一片晶圓與其后的一片或者多片晶圓是并行處理的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述每個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口中的晶圓盒包括25片晶圓。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述光刻機(jī)為阿斯麥步進(jìn)式光刻機(jī)或者步進(jìn)掃描式光刻機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述光刻機(jī)作為離線光刻機(jī)使用。
全文摘要
本發(fā)明提供一種提高光刻機(jī)工藝效率的方法，光刻機(jī)包括光刻機(jī)主體、兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口和機(jī)械手臂，光刻機(jī)主體包括對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)、曝光機(jī)構(gòu)和等待機(jī)構(gòu)，包括步驟取片、對(duì)準(zhǔn)、曝光、等待、送片由機(jī)械手臂從等待機(jī)構(gòu)取回晶圓，送回第一端口；返回取片步驟，當(dāng)機(jī)械手臂從第一端口取走最后一片晶圓后，其開始從第二端口取出第一片晶圓，送入光刻機(jī)主體中；當(dāng)機(jī)械手臂從第二端口取走最后一片晶圓后，其又開始從第一端口取出第一片晶圓，送入光刻機(jī)主體中；兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口如此循環(huán)交替。本發(fā)明將兩個(gè)晶圓盒進(jìn)出端口均作為送料端口和接收端口，彼此不斷循環(huán)交替，使離線光刻機(jī)可持續(xù)不斷地工作，縮短其閑置時(shí)間，提高工藝效率和產(chǎn)量。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102231050SQ201110218748
公開日2011年11月2日 申請(qǐng)日期2011年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月1日
發(fā)明者劉慶鋒, 王誠(chéng) 申請(qǐng)人:上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造股份有限公司