專(zhuān)利名稱(chēng)：顯微鏡和重影消除方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯微鏡和重影消除方法。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，已經(jīng)公開(kāi)了電動(dòng)式顯微鏡，其中，根據(jù)物鏡的切換自動(dòng)調(diào)節(jié)聚光透鏡、視場(chǎng)光闌、孔徑光闌、用于載物臺(tái)的物鏡的光軸方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、濾波器、關(guān)于光源的調(diào)光電源等(例如，見(jiàn)日本未審查專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)第11-133311號(hào))。

發(fā)明內(nèi)容
然而，為了實(shí)現(xiàn)關(guān)于在日本未審查專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)第11-133311號(hào)中所描述的顯微鏡的自動(dòng)聚焦功能，已經(jīng)考慮到將使用獲取待被觀察的散焦位置的相差光學(xué)系統(tǒng)的自動(dòng)聚焦設(shè)備安裝至顯微鏡。在這種情況下，光束分支元件設(shè)置在用于將透過(guò)樣本的光在攝像元件上成像的成像光學(xué)系統(tǒng)的光軸上，使得透過(guò)樣本的光的一部分光被導(dǎo)向至相差光學(xué)系統(tǒng)。通過(guò)本發(fā)明的發(fā)明人進(jìn)行的關(guān)于使用相差光學(xué)系統(tǒng)的自動(dòng)聚焦設(shè)備的深入研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)通過(guò)光束分支元件所引起的重影影響通過(guò)成像光學(xué)系統(tǒng)和相差光學(xué)系統(tǒng)所成像的圖像。本發(fā)明將解決以上問(wèn)題，并且期望提供具有使用相差光學(xué)系統(tǒng)的自動(dòng)聚焦功能的顯微鏡，并且提供關(guān)于顯微鏡的重影消除方法，其中消除光束分支元件所引起的重影。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，提供了一種顯微鏡，包括第一成像光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)透過(guò)設(shè)置在載物臺(tái)上的樣本的樣本透過(guò)光進(jìn)行攝像；以及第二成像光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)從第一成像光學(xué)系統(tǒng)分支出的樣本透過(guò)光的一部分進(jìn)行攝像。這里，第二成像光學(xué)系統(tǒng)可以包括光束分支元件，從該第一成像光學(xué)系統(tǒng)分支出樣本透過(guò)光的一部分，并且具有預(yù)定閾值以上的厚度； 攝像元件，對(duì)所分支出的樣本透過(guò)光的相差圖像進(jìn)行攝像；一個(gè)或多個(gè)光學(xué)元件，在攝像元件上對(duì)所分支出的樣本透過(guò)光的相差圖像進(jìn)行成像；以及濾波器，遮擋在該攝像元件上聚焦的所分支出的樣本透過(guò)光的一部分?？梢栽诘谝怀上窆鈱W(xué)系統(tǒng)中對(duì)光束分支元件所反射的樣本透過(guò)光進(jìn)行攝像，并且可以在第二成像光學(xué)系統(tǒng)中對(duì)透過(guò)光束分支元件的樣本透過(guò)光的相差圖像進(jìn)行攝像?？梢栽诘谝怀上窆鈱W(xué)系統(tǒng)中對(duì)透過(guò)光束分支元件的樣本透過(guò)光進(jìn)行攝像，并且可以在第二成像光學(xué)系統(tǒng)中對(duì)光束分支元件所反射的樣本透過(guò)光的相差圖像進(jìn)行攝像。濾波器可以為設(shè)置有通孔組的光闌，其中，該通孔組用于允許成為相差圖像的光通量組經(jīng)過(guò)，并且光束分支元件的厚度可以具有比根據(jù)通孔的直徑、通孔組的通孔的中心間距離和樣本透過(guò)光在濾波器的位置處的光通量直徑所計(jì)算的特征值更大的值。光束分支元件的厚度可以具有比根據(jù)下面不等式1所計(jì)算的特征值更大的值，不等式1被表示為[不等式1]
權(quán)利要求
1.一種顯微鏡，包括第一成像光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)透過(guò)設(shè)置在載物臺(tái)上的樣本的樣本透過(guò)光進(jìn)行攝像；以及第二成像光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)所述樣本透過(guò)光的從所述第一成像光學(xué)系統(tǒng)分支出的一部分進(jìn)行攝像，其中，所述第二成像光學(xué)系統(tǒng)包括光束分支元件，從所述第一成像光學(xué)系統(tǒng)分支出所述樣本透過(guò)光的一部分，并且具有預(yù)定閾值以上的厚度；攝像元件，對(duì)所述分支出的樣本透過(guò)光的相差圖像進(jìn)行攝像；一個(gè)或多個(gè)光學(xué)元件，將所述分支出的樣本透過(guò)光的相差圖像成像在所述攝像元件上；以及濾波器，遮擋在所述攝像元件上成像的所述分支出的樣本透過(guò)光的一部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡，其中，在所述第一成像光學(xué)系統(tǒng)中對(duì)所述光束分支元件所反射的所述樣本透過(guò)光進(jìn)行攝像，并且在所述第二成像光學(xué)系統(tǒng)中對(duì)透過(guò)所述光束分支元件的所述樣本透過(guò)光的所述相差圖像進(jìn)行攝像。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡，其中，在所述第一成像光學(xué)系統(tǒng)中對(duì)透過(guò)所述光束分支元件的所述樣本透過(guò)光進(jìn)行攝像，并且在所述第二成像光學(xué)系統(tǒng)中對(duì)所述光束分支元件所反射的所述樣本透過(guò)光的相差圖像進(jìn)行攝像。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其中，所述濾波器為設(shè)置有通孔組的光闌，其中，所述通孔組用于使成為所述相差圖像的光通量組經(jīng)過(guò)，并且所述光束分支元件的厚度具有比根據(jù)所述通孔的直徑、所述通孔組的所述通孔的中心間距離和所述樣本透過(guò)光在所述濾波器位置處的光通量直徑所計(jì)算的特征值更大的值。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯微鏡，其中，所述光束分支元件的厚度具有比根據(jù)以下不等式1所計(jì)算的特征值更大的值，所述不等式1表示為
6.一種重影消除方法，包括通過(guò)具有預(yù)定閾值以上的厚度的光束分支元件分支出透過(guò)設(shè)置在載物臺(tái)上的樣本的樣本透過(guò)光的一部分；以及通過(guò)設(shè)置在用于對(duì)所述分支出的樣本透過(guò)光的像差圖像進(jìn)行攝像的攝像元件和所述光束分支元件之間的濾波器來(lái)遮擋所述光束分支元件所分支出的所述樣本透過(guò)光的一部分中的由相應(yīng)的光束分支元件所引起的重影光。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了顯微鏡和重影消除方法。該顯微鏡包括第一成像光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)透過(guò)設(shè)置在載物臺(tái)上的樣本的樣本透過(guò)光進(jìn)行攝像；以及第二成像光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)從該第一成像光學(xué)系統(tǒng)分支出的樣本透過(guò)光的一部分進(jìn)行攝像。這里，該第二成像光學(xué)系統(tǒng)包括光束分支元件，從該第一成像光學(xué)系統(tǒng)分支樣本透過(guò)光的一部分，并具有預(yù)定閾值以上的厚度；攝像元件，對(duì)所分支出的樣本透過(guò)光的相差圖像進(jìn)行攝像；一個(gè)或多個(gè)光學(xué)元件，在該攝像元件上對(duì)所分支出的樣本透過(guò)光的相差圖像進(jìn)行成像；以及濾波器，遮擋在該攝像元件上成像的所分支的樣本透過(guò)光的一部分。
文檔編號(hào)G02B21/00GK102375227SQ201110227638
公開(kāi)日2012年3月14日 申請(qǐng)日期2011年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月16日
發(fā)明者山本隆司, 田部典宏 申請(qǐng)人:索尼公司