專利名稱：硅基液晶屏生產(chǎn)系統(tǒng)及其生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種以硅基芯片為基板的液晶顯示器的生產(chǎn)線設(shè)備結(jié)構(gòu)及生產(chǎn)方法， 特別涉及硅基液晶屏生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)及其工藝流程方法。
背景技術(shù)：
硅基液晶(Liquid Crystal on Silicon，簡稱LCC^)顯示技術(shù)是液晶顯示(Liquid Crystal Display，簡稱LCD)技術(shù)與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(complementary metal oxide semiconductor，簡稱CMOS)集成電路技術(shù)有機(jī)結(jié)合的反射型新型顯示技術(shù)。首先在硅晶圓上運用CMOS器件工藝制作每行或每列的像素均擁有反射電極的硅基液晶芯片，然后將硅基液晶芯片與擁有透明電極的玻璃基板保持適當(dāng)距離貼合，且在硅基液晶芯片與擁有透明電極的玻璃基板之間灌入液晶材料，并用適量封結(jié)膠把液晶材料固定在硅基液晶芯片與擁有透明電極的玻璃基板之間形成反射式液晶屏，通過傳輸不同電壓于硅基液晶芯片上每行或每列的像素的反射電極，從而控制液晶材料導(dǎo)光強(qiáng)弱，實行對入射光的反射程度調(diào)制完成灰度圖像顯示。近年來迅速崛起的便攜移動通訊及無線顯示產(chǎn)品對硅基液晶屏的需求量日趨增大，硅基液晶屏固有的優(yōu)點決定了移動顯示產(chǎn)品的發(fā)展前景。目前生產(chǎn)硅基液晶屏的方法有以下兩種常見方法一首先將整片硅基板和氧化銦錫andium tin oxide，簡稱ΙΤ0)玻璃分別切割成單片，然后再進(jìn)行鍍膜、涂膠、壓合、固化、灌注液晶等工序，最后是成品。此種方法在切割單片時，破損率高、成品低，所以生產(chǎn)效率很低，增加了生產(chǎn)成本， 由于是單片制作，很難保證成品器件液晶層厚度的一致性，導(dǎo)致存在質(zhì)量問題。常見方法二詳見發(fā)明專利申請公開說明書申請?zhí)?0061003^20. 7，發(fā)明名稱“液晶顯示器LCOS的制作方法及其壓合裝置”主要是在整片硅基板上制作硅基液晶顯示器，設(shè)計多個硅基液晶Die的整片的硅基板和作為硅基液晶顯示器公共電極的氧化銦錫玻璃板， 工作表面分別經(jīng)過清洗和真空鍍制SiO2 (二氧化硅)取向膜，然后在硅基板上涂布對應(yīng)的液晶盒邊框膠，再將氧化銦錫玻璃板貼合在硅基板上，經(jīng)壓合預(yù)固化和熱固化后成一體，然后分別進(jìn)行下表面硅基板鋸割，上表面玻璃金剛刀劃痕，再裂片成一個個液晶盒，經(jīng)對液晶盒灌注后就成為成品。此方法的缺陷是真空鍍制SW2取向膜相關(guān)的工藝設(shè)備昂貴，且當(dāng)要求取向膜厚度小于50nm時，工件各批次之間、同一工件內(nèi)SiO2取向膜厚度較難做到偏差不超過士 10% ； 采用依靠氧化銦錫玻璃與硅基板自身缺口進(jìn)行對準(zhǔn)的方法其偏差非常大，批量生產(chǎn)中幾乎沒有使用價值；采用熱固化框膠，通常需要200度左右的穩(wěn)定烘烤才能固化框膠，容易引發(fā)硅晶圓和玻璃出現(xiàn)形變差異，從而影響硅基液晶屏的品質(zhì)；另外，所述工序陳述簡單，沒有對工藝細(xì)節(jié)進(jìn)行翔實描述以方便生產(chǎn)實際，因而缺乏實用價值。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種生產(chǎn)成本低并且提高了硅基液晶屏組裝品質(zhì)的硅基
5液晶屏生產(chǎn)系統(tǒng)及其生產(chǎn)方法。本發(fā)明的硅基液晶屏生產(chǎn)系統(tǒng)，它包括依次相連的氧化銦錫玻璃上料機(jī)架、氧化銦錫玻璃清洗機(jī)、聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)、聚酰亞胺凸版印刷機(jī)、聚酰亞胺預(yù)烘烤熱板傳輸線、聚酰亞胺堅膜無塵烘箱、聚酰亞胺摩擦機(jī)、聚酰亞胺摩擦后干法超聲清洗機(jī)、玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)、基板正壓貼合機(jī)、紫外框膠曝光機(jī)、框膠堅膜烘箱、基板密封滴膠機(jī)、紫外密封膠曝光機(jī)、激光切割標(biāo)識機(jī)、硅晶圓切割機(jī)、氧化銦錫玻璃劃片機(jī)、裂片機(jī)、灌晶機(jī)、紫外膠封口滴膠機(jī)，紫外膠封口曝光機(jī)，聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)的另一進(jìn)料端與硅晶圓上料機(jī)架出料端相連；玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)的另一工件輸出端與紫外框膠滴膠機(jī)工件輸入端相連并且紫外框膠滴膠機(jī)工件輸出端能夠?qū)⒃谧贤饪蚰z滴膠機(jī)內(nèi)涂覆了圖案膠框的氧化銦錫玻璃輸出到基板正壓貼合機(jī)的玻璃架上；所述的基板正壓貼合機(jī)包括貼合控制系統(tǒng)、攝像頭集成器、x/y/ θ動力平臺、貼合微動臺輔助系統(tǒng)和貼合微動臺，所述攝像頭集成器包括左攝像頭和右攝像頭，所述貼合微動臺輔助系統(tǒng)包括貼合結(jié)構(gòu)底座，在所述的貼合結(jié)構(gòu)底座中間固定連接有微動臺B柱并且在貼合結(jié)構(gòu)底座兩側(cè)分別固定連接有微動臺A柱、微動臺C柱，在所述的微動臺B柱頂面的兩端設(shè)置有鉸鏈支撐，在所述的鉸鏈支撐上轉(zhuǎn)動的連接有貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈轉(zhuǎn)軸，玻璃架架設(shè)在微動臺B柱和微動臺C柱的頂面上并且玻璃架架設(shè)在微動臺B柱的一端與所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈轉(zhuǎn)軸固定相連，玻璃架能夠繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線轉(zhuǎn)動并分別與所述微動臺C 柱、所述微動臺A柱的頂面相接觸配合，在所述的玻璃架內(nèi)開有玻璃架真空腔，在所述的玻璃架頂面上開有多個與玻璃架真空腔相連通的玻璃架真空孔，在所述玻璃架上連接有與玻璃架真空腔相連通的真空排氣孔B ；所述的貼合微動臺包括安裝在所述x/y/ θ動力平臺上的硅晶圓承片托氣缸，所述的x/y/ θ動力平臺位于所述微動臺A柱與微動臺B柱之間，硅晶圓承片托下部插在所述的硅晶圓承片托氣缸內(nèi)，硅晶圓承片托活塞密封圈設(shè)置在所述硅晶圓承片托氣缸與所述硅晶圓承片托之間并且與所述硅晶圓承片托氣缸、硅晶圓承片托的接觸面形成緊配合，由硅晶圓承片托氣缸、硅晶圓承片托和硅晶圓承片托活塞密封圈形成的封閉空間構(gòu)成硅晶圓承片托氣腔，進(jìn)氣孔A設(shè)置在所述硅晶圓承片托氣缸上且與所述硅晶圓承片托氣腔相連通，在所述的硅晶圓承片托上部開有硅晶圓承片托真空腔，硅晶圓承片托頂面上開有與硅晶圓承片托真空腔相連通的硅晶圓承片托真空孔，連接在硅晶圓承片托上的真空排氣孔A與硅晶圓承片托真空腔相連通；所述的貼合微動臺能夠隨著所述的χ/ y/ θ動力平臺在所述貼合控制系統(tǒng)的作用下沿χ軸、y軸方向移動并且能夠圍繞所述貼合微動臺中心點在χ軸和y軸構(gòu)成的平面內(nèi)做至少10度的往復(fù)旋轉(zhuǎn)，所述的攝像頭集成器能夠獲取設(shè)置在所述的硅晶圓承片托上的硅晶圓與設(shè)置在玻璃架上的氧化銦錫玻璃的圖案膠框的相對位置圖像信號并將該圖像信號輸出給工控機(jī)，工控機(jī)A通過x/y/ θ動力平臺驅(qū)動總線與x/y/ θ動力平臺相連接并且通過微動臺面板控制總線與微動臺面板相連接；所述的紫外框膠曝光機(jī)包括曝光臺、曝光控制系統(tǒng)、曝光臺掃描動力系統(tǒng)和紫外燈集成器，所述曝光臺包括其底部固定在曝光臺基座上的硅基液晶屏承載盤氣缸，在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸的頂部兩側(cè)分別固定有曝光臺A柱和曝光臺B柱，用于放置硅基液晶屏的硅基液晶屏承載盤的下部插在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸內(nèi)，硅基液晶屏承載盤活塞密封圈設(shè)置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸內(nèi)壁與所述硅基液晶屏承載盤外壁之間并且與所述硅基液晶屏承載盤氣缸和硅基液晶屏承載盤接觸面均形成緊配合，由硅基液晶屏承載盤、硅基液晶屏承載盤活塞密封圈與硅基液晶屏承載盤氣缸形成的密閉空間構(gòu)成硅基液晶屏承載盤氣腔，進(jìn)氣孔B設(shè)置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸上且與硅基液晶屏承載盤氣腔相連通，在所述的硅基液晶屏承載盤的上部開有硅基液晶屏承載盤真空腔，多個硅基液晶屏承載盤真空孔開在硅基液晶屏承載盤頂面上并與硅基液晶屏承載盤真空腔相連通，安裝在硅基液晶屏承載盤上的真空排氣孔C與硅基液晶屏承載盤真空腔相連通，曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸的兩端分別與固定在所述的曝光臺B柱頂面上的兩個鉸鏈支撐件轉(zhuǎn)動相連，所述曝光臺還包括其中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃直徑尺寸的透明石英玻璃的蓋板架，所述蓋板架的一側(cè)與所述的曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動相連并且蓋板架的另一側(cè)架設(shè)在安裝在曝光臺基座上的曝光臺C柱上，所述的蓋板架能夠繞所述曝光臺鉸鏈中軸線逆時針旋轉(zhuǎn)180度后接觸到所述曝光臺A柱頂面與之相接觸配合，所述曝光臺基座與曝光臺掃描動力系統(tǒng)相連并且在所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)的驅(qū)動下能夠沿χ軸和y軸方向運動，工控機(jī)B通過紫外光源總線與至少由6只紫外燈構(gòu)成的紫外燈集成器相連，所述曝光臺與所述的紫外燈集成器相對設(shè)置以使紫外燈能夠照射到安裝在硅基液晶屏承載盤頂部的氧化銦錫玻璃上的圖案框膠，工控機(jī)B通過掃描動力系統(tǒng)總線與所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)相連接并且工控機(jī)B通過曝光機(jī)面板控制總線與曝光機(jī)面板控制器相連接。本發(fā)明的一種用于硅基液晶屏生產(chǎn)的方法包括以下步驟(1)基板清洗步驟至少一片氧化銦錫玻璃與至少一片硅晶圓交替輸送進(jìn)入聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)完成清洗； (2)將清洗后的氧化銦錫玻璃和硅晶圓依次進(jìn)行涂覆、烘干、摩擦，干法超聲清洗；C3)將經(jīng)過干法超聲清洗機(jī)清洗后的至少一片氧化銦錫玻璃和至少一片硅晶圓送入玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)，從玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)輸出的氧化銦錫玻璃進(jìn)入紫外框膠滴膠機(jī)完成在氧化銦錫玻璃上涂布圖案框膠的加工，從玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)輸出的硅晶圓和完成在氧化銦錫玻璃上涂布圖案框膠加工的氧化銦錫玻璃輸送進(jìn)入基板正壓貼合機(jī)進(jìn)行硅基液晶屏貼合加工，然后通過紫外框膠曝光機(jī)完成框膠曝光固化；(4)經(jīng)過框膠曝光的硅基液晶屏依次進(jìn)行框膠再固化、密封、密封膠水固化處理；( 經(jīng)過密封膠水固化處理的硅基液晶屏進(jìn)行灌晶制得反射式液晶顯示器；所述的步驟(3)中的硅基液晶屏貼合加工包括以下步驟(a)將硅晶圓輸送承載到基板正壓貼合機(jī)的硅晶圓承片托上并將其真空吸附在硅晶圓承片托上；(b)將覆蓋有圖案框膠的氧化銦錫玻璃輸送承載到所述基板正壓貼合機(jī)的玻璃架上并將其吸附在所述玻璃架上；(c)將吸附著氧化銦錫玻璃的所述玻璃架逆時針旋轉(zhuǎn)180度后，使硅晶圓正對覆蓋有圖案框膠的氧化銦錫設(shè)置；(d)在保持所述硅晶圓與圖案框膠之間沒有產(chǎn)生接觸的狀態(tài)下，移動兩者之間的相對位置直至到達(dá)預(yù)定位置要求；(e)使吸附著硅晶圓的所述硅晶圓承片托接近所述吸附著氧化銦錫玻璃的玻璃架，直至所述硅晶圓與圖案框膠之間形成緊密接觸狀態(tài)；(f)當(dāng)所述硅晶圓與圖案框膠之間形成緊密接觸時就形成了至少由硅晶圓、圖案框膠和氧化銦錫玻璃構(gòu)成的所述硅基液晶屏，這時首先解除所述玻璃架對所述氧化銦錫玻璃的真空吸附，接著將所述玻璃架再順時針旋轉(zhuǎn)180度后返回到初始位置，然后解除所述硅晶圓承片托對所述硅晶圓的真空吸附作用，將所述硅基液晶屏從基板正壓貼合機(jī)的硅晶圓承片托上取下；所述的步驟(3)中的硅基液晶屏紫外框膠曝光包括以下步驟(g)將從所述基板正壓貼合機(jī)的硅晶圓承片托上取下的所述硅基液晶屏輸送進(jìn)入紫外框膠曝光機(jī)的硅基液晶屏承載盤上，并且硅基液晶屏中的硅晶圓與所述硅基液晶屏承載盤相接觸，然后將承載的硅基液晶屏吸附在所述硅基液晶屏承載盤上；(h)將在其中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃直徑尺寸的透明石英玻璃的蓋板架旋轉(zhuǎn)設(shè)置在硅基液晶屏上方；(i)使所述硅基液晶屏承載盤接近所述蓋板架的透明石英玻璃直至與所述硅基液晶屏的氧化銦錫玻璃與透明石英玻璃緊密接觸同時使所述圖案框膠在紫外燈照射下固化，(j)當(dāng)所述圖案框膠固化以后，通過對氣缸的進(jìn)氣孔放氣使得吸附著所述硅基液晶屏的所述硅基液晶屏承載盤在自身重力的作用下離開所述蓋板架的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃一定距離，接著將所述蓋板架旋轉(zhuǎn)離開，同時解除對所述硅基液晶屏的吸附作用完成框膠曝光過程。綜上所述，采用本發(fā)明系統(tǒng)和方法不僅保證了氧化銦錫玻璃與硅晶圓的準(zhǔn)確對位，而且實現(xiàn)了一邊壓擠硅基液晶屏達(dá)到規(guī)定的硅晶圓與氧化銦錫玻璃之間的間隙值而成型，一邊對圖案框膠進(jìn)行紫外曝光固化的模式，從而可以進(jìn)行硅基液晶屏批量生產(chǎn)，另外框膠固化可以在常溫條件下完成，避免了硅晶圓與氧化銦錫玻璃因材質(zhì)不同在加工溫度高于室溫時而帶來的形變差異現(xiàn)象；本發(fā)明通過采用整片硅基板與氧化銦錫玻璃直接封裝、涂覆聚酰亞胺取向膜而非真空鍍S^2薄膜，從而降低了生產(chǎn)線成本；另外采用框膠滴膠技術(shù)可以客觀上最大程度減少了設(shè)備自身對原材料的污染程度，從而提高了硅基液晶屏組裝品質(zhì)。


圖1是本發(fā)明提供的硅基液晶屏生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)框圖；圖2是本發(fā)明提供的基板正壓貼合機(jī)系統(tǒng)框圖；圖3是圖2所示的系統(tǒng)中貼合微動臺輔助系統(tǒng)和貼合微動臺載入基板時的頂視示意圖；圖4是圖3所示的裝置的中截面的示意圖；圖5是圖2所示的系統(tǒng)中貼合微動臺輔助系統(tǒng)和貼合微動臺的基板對準(zhǔn)時的頂視示意圖；圖6是圖5所示的裝置的中截面的示意圖；圖7是本發(fā)明提供的紫外框膠曝光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8是圖7所示的裝置載入硅基液晶屏?xí)r曝光臺的頂視示意圖；圖9是圖8所示的裝置的截面示意圖；圖10是采用圖8所示的裝置進(jìn)行硅基液晶屏紫外框膠固化曝光時曝光臺的頂視示意圖；圖11是圖10所示的裝置的截面示意圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。本發(fā)明的一種硅基液晶屏生產(chǎn)系統(tǒng)，參見圖1，它包括依次相連的氧化銦錫玻璃上料機(jī)架1、聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)3、聚酰亞胺凸版印刷機(jī)4、聚酰亞胺預(yù)烘烤熱板傳輸線6、 聚酰亞胺堅膜無塵烘箱7、聚酰亞胺摩擦機(jī)8、聚酰亞胺摩擦后干法超聲清洗機(jī)9、玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10、基板正壓貼合機(jī)12、紫外框膠曝光機(jī)13、框膠堅膜烘箱14、基板密封滴膠機(jī)15、紫外密封膠曝光機(jī)16、激光切割標(biāo)識機(jī)17、硅晶圓切割機(jī)18、氧化銦錫玻璃劃片機(jī) 19、裂片機(jī)20、灌晶機(jī)21、紫外膠封口滴膠機(jī)22，紫外膠封口曝光機(jī)23，聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)的另一進(jìn)口與硅晶圓上料機(jī)架5出料端相連；玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10的工件輸出端與紫外框膠滴膠機(jī)11工件輸入端相連并且紫外框膠滴膠機(jī)11工件輸出端能夠?qū)⒀趸熷a玻璃40輸出到基板正壓貼合機(jī)12的玻璃架41上；優(yōu)選的在所述的氧化銦錫玻璃上料機(jī)架 1和聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)2之間連接有氧化銦錫玻璃清洗機(jī)1。所述氧化銦錫玻璃上料機(jī)架1中放置的工件可以是直徑為200 300mm、厚度為 0. 7 0. 8mm的至少一片氧化銦錫玻璃40，且所述氧化銦錫玻璃上料機(jī)架1中的工件可以輸送進(jìn)入氧化銦錫玻璃清洗機(jī)2 ；氧化銦錫玻璃清洗機(jī)2具備刷洗、循環(huán)去離子水噴淋、超聲波循環(huán)去離子水清洗、風(fēng)刀干燥、自動接受/傳遞氧化銦錫玻璃40和硅晶圓M的功能。所述硅晶圓上料機(jī)架5中放置的工件至少是直徑為200 300mm、厚度為0. 7 0. 8mm的一片硅晶圓M，所述聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)3可以分別接受從所述氧化銦錫玻璃清洗機(jī)2、硅晶圓上料機(jī)架5輸送來的工件，并把處理完的工件輸送進(jìn)入所述聚酰亞胺凸版印刷機(jī)4。所述聚酰亞胺凸版印刷機(jī)4通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述聚酰亞胺預(yù)烘烤熱板傳輸線6，所述聚酰亞胺預(yù)烘烤熱板傳輸線6通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述聚酰亞胺堅膜無塵烘箱7，所述聚酰亞胺堅膜無塵烘箱7通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述聚酰亞胺摩擦機(jī)8，所述聚酰亞胺摩擦機(jī)8通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述聚酰亞胺摩擦后干法超聲清洗機(jī)9，所述聚酰亞胺摩擦后干法超聲清洗機(jī)9通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10，所述玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式分別將氧化銦錫玻璃40輸送進(jìn)入所述紫外框膠滴膠機(jī)11、硅晶圓 24輸送進(jìn)入所述基板正壓貼合機(jī)12，所述基板正壓貼合機(jī)12同時接受從所述玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10輸送來的硅晶圓M、從所述紫外框膠滴膠機(jī)11輸送來的氧化銦錫玻璃40，所述基板正壓貼合機(jī)12通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述紫外框膠曝光機(jī)13，所述紫外框膠曝光機(jī)13通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述框膠堅膜烘箱14，所述框膠堅膜烘箱14通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述基板密封滴膠機(jī)15，所述基板密封滴膠機(jī)15通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述紫外密封膠曝光機(jī)16， 所述紫外密封膠曝光機(jī)16通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述激光切割標(biāo)識機(jī)17，所述激光切割標(biāo)識機(jī)17通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述硅晶圓切割機(jī)18，所述硅晶圓切割機(jī)18通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述氧化銦錫玻璃劃片機(jī)19，所述氧化銦錫玻璃劃片機(jī)19通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述裂片機(jī)20，所述裂片機(jī)20通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述灌晶機(jī)21，所述灌晶機(jī)21通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述紫外膠封口滴膠機(jī)22，所述紫外膠封口滴膠機(jī)22通過現(xiàn)有機(jī)械手方式或者現(xiàn)有自動傳輸帶方式或者編排的人工傳遞方式將處理完的工件輸送進(jìn)入所述紫外膠封口曝光機(jī)23，經(jīng)工藝處理成為一種新型的反射式液晶顯示器。參見圖2、圖3、圖4、圖5、圖6，所述基板正壓貼合機(jī)12包括貼合控制系統(tǒng)88、攝像頭集成器75、貼合微動臺輔助系統(tǒng)78和貼合微動臺25，所述貼合控制系統(tǒng)88包括視頻信號傳輸總線70、工控機(jī)A71、x/y/ θ動力平臺驅(qū)動總線72、微動臺面板控制總線73和微動臺面板74，所述攝像頭集成器75包括左攝像頭77和右攝像頭79，所述貼合微動臺輔助系統(tǒng)78包括貼合結(jié)構(gòu)底座35，在所述的貼合結(jié)構(gòu)底座35中間固定連接有微動臺B柱43并且在貼合結(jié)構(gòu)底座35兩側(cè)分別固定連接有微動臺A柱32、微動臺C柱44，在所述的微動臺 B柱43頂面的兩端設(shè)置有固定相連的鉸鏈支撐93，在所述的鉸鏈支撐93上轉(zhuǎn)動的連接有貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈轉(zhuǎn)軸36，玻璃架41架設(shè)在微動臺B柱43和微動臺C柱44的頂面上并且玻璃架41架設(shè)在微動臺B柱43的一端與所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈轉(zhuǎn)軸36固定相連，玻璃架41能夠繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線45轉(zhuǎn)動并分別與所述微動臺C柱44、所述微動臺A柱32的頂面相接觸配合。玻璃架41的一端與所述微動臺C柱44相接觸且能夠繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線45逆時針旋轉(zhuǎn)180度后接觸到所述微動臺A柱32，且能夠停留，并且再順時針繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線45轉(zhuǎn)180度后接觸到所述微動臺C柱44。氧化銦錫玻璃40可以放置在所述玻璃架41上，氧化銦錫玻璃40上覆蓋具有灌晶口 47的圖案框膠37。在所述的玻璃架41內(nèi)開有玻璃架真空腔39，在所述的玻璃架41頂面上開有多個與玻璃架真空腔39 相連通的玻璃架真空孔42，在所述玻璃架41上連接有與玻璃架真空腔39相連通的真空排氣孔Β38，通過所述真空排氣孔Β38對所述玻璃架真空腔39抽真空或充氣。所述的貼合微動臺25包括安裝在所述x/y/ θ動力平臺76上的硅晶圓承片托氣缸四，所述的x/y/ θ動力平臺76位于所述微動臺A柱32與微動臺B柱43之間，硅晶圓承片托30下部插在所述的硅晶圓承片托氣缸四內(nèi)，硅晶圓承片托活塞密封圈31設(shè)置在所述硅晶圓承片托氣缸四與所述硅晶圓承片托30之間并且與所述硅晶圓承片托氣缸四、硅晶圓承片托30的接觸面形成緊配合，由硅晶圓承片托氣缸四、硅晶圓承片托30和硅晶圓承片托活塞密封圈31形成的封閉空間構(gòu)成硅晶圓承片托氣腔34。進(jìn)氣孔Α33設(shè)置在所述硅晶圓承片托氣缸四上且與所述硅晶圓承片托氣腔34相連通，硅晶圓承片托氣腔34通過所述進(jìn)氣孔Α33進(jìn)行充、放氣。在所述的硅晶圓承片托30上部開有硅晶圓承片托真空腔27，硅晶圓承片托30頂面上開有與硅晶圓承片托真空腔27相連通的硅晶圓承片托真空孔觀，連接在硅晶圓承片托30 上的真空排氣孔似6與硅晶圓承片托真空腔27相連通；通過所述真空排氣孔似6對所述硅晶圓承片托真空腔27抽真空或充氣。硅晶圓承片托30頂面上覆蓋有硅晶圓M。所述的貼合微動臺25能夠隨著所述的x/y/ θ動力平臺76在所述貼合控制系統(tǒng)88的作用下沿χ 軸92、y軸91移動并且能夠圍繞所述貼合微動臺中心點90在χ軸92和y軸91構(gòu)成的平面內(nèi)做至少10度的往復(fù)旋轉(zhuǎn)。所述的x/y/ θ動力平臺76可以為導(dǎo)軌滑塊結(jié)構(gòu)或者可以為絲杠螺母等常規(guī)現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，或者采用美國專利US0060M784A、中國專利CN2580470Y、中國專利CN2629^6Y、中國專利CN100573340C等所描述的微動臺結(jié)構(gòu)。由左攝像頭77和右攝像頭79構(gòu)成的攝像頭集成器75能夠獲取設(shè)置在硅晶圓承片托30上的硅晶圓M與設(shè)置在玻璃架41上的氧化銦錫玻璃40的圖案框膠37相對位置圖像信號并將該圖像信號通過視頻信號傳輸總線70輸出給工控機(jī)A71，工控機(jī)A71接收所述的圖像信號并通過x/y/θ動力平臺驅(qū)動總線72與x/y/θ動力平臺76相連接以控制χ/ y/ θ動力平臺76在χ軸92和y軸91構(gòu)成的平面內(nèi)做往復(fù)旋轉(zhuǎn)運動的角度。微動臺面板74通過微動臺面板控制總線73與工控機(jī)A71相連接，操作人員通過所述微動臺面板74向所述工控機(jī)A71發(fā)送指令，即可以控制所述x/y/ θ動力平臺76的運動方向與速度。參見圖7、圖8、圖9、圖10、圖11，所述紫外框膠曝光機(jī)13至少包括曝光臺66、曝光控制系統(tǒng)89、曝光臺掃描動力系統(tǒng)86和紫外燈集成器85，所述曝光臺66包括其底部固定在曝光臺基座59上的硅基液晶屏承載盤氣缸Μ，在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸M的頂部兩側(cè)分別固定有曝光臺A柱58和曝光臺B柱64，用于放置硅基液晶屏46的硅基液晶屏承載盤53的下部插在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸M內(nèi)，硅基液晶屏承載盤活塞密封圈55設(shè)置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸M內(nèi)壁與所述硅基液晶屏承載盤53外壁之間并且與所述硅基液晶屏承載盤氣缸M和硅基液晶屏承載盤53接觸面均形成緊配合，由硅基液晶屏承載盤53、硅基液晶屏承載盤活塞密封圈55與硅基液晶屏承載盤氣缸M形成的密閉空間構(gòu)成硅基液晶屏承載盤氣腔56，進(jìn)氣孔Β57設(shè)置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸M上且與硅基液晶屏承載盤氣腔56相連通，所述硅基液晶屏承載盤氣腔56通過所述進(jìn)氣孔Β57 進(jìn)行充、放氣。在所述的硅基液晶屏承載盤53的上部開有硅基液晶屏承載盤真空腔52，多個硅基液晶屏承載盤真空孔51開在硅基液晶屏承載盤53頂面上并與硅基液晶屏承載盤真空腔52相連通，安裝在硅基液晶屏承載盤53上的真空排氣孔C50與硅基液晶屏承載盤真空腔52相連通，通過所述真空排氣孔C50對所述硅基液晶屏承載盤真空腔52抽真空或充氣。曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸60與連接在所述的曝光臺B柱64頂面上的兩個鉸鏈支撐件94相連， 曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸60與固定在所述的曝光臺B柱64頂面上的兩個鉸鏈支撐件94轉(zhuǎn)動相連， 所述曝光臺66還包括其中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃40直徑尺寸的透明石英玻璃61的蓋板架62，所述蓋板架62的一側(cè)與所述的曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸60轉(zhuǎn)動相連并且蓋板架62的另一側(cè)架設(shè)在安裝在曝光臺基座59上的曝光臺C柱63上，所述的蓋板架62能夠繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48逆時針旋轉(zhuǎn)180度后接觸到所述曝光臺A柱58頂面相接觸配合。蓋板架62的中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃40直徑尺寸的透明石英玻璃 61，蓋板架62 —端與所述曝光臺C柱63相接觸且能夠繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48逆時針旋轉(zhuǎn)180度后接觸到所述曝光臺A柱58，且能夠停留，并且再順時針繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48轉(zhuǎn)180度后接觸到所述曝光臺C柱63。由氧化銦錫玻璃40、具有灌晶口 47的圖案框膠37、硅晶圓M構(gòu)成的硅基液晶屏46可以放置在硅基液晶屏承載盤53上。所述曝光臺基座59與曝光臺掃描動力系統(tǒng)86相連并且在所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)86的驅(qū)動下能夠沿 χ軸92和y軸91方向運動，所述曝光控制系統(tǒng)89包括紫外光源總線80、工控機(jī)B81、掃描動力系統(tǒng)總線82、曝光機(jī)面板控制總線83和曝光機(jī)面板控制器84，其中所述工控機(jī)B81通過所述紫外光源總線80與至少由6只紫外燈87構(gòu)成的所述紫外燈集成器85相連，所述曝光臺66與所述的紫外燈集成器85相對設(shè)置以使紫外燈87能夠照射到安裝在硅基液晶屏承載盤53頂部的紫外框膠，工控機(jī)B81通過掃描動力系統(tǒng)總線82與所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)86相連接并且工控機(jī)B81通過曝光機(jī)面板控制總線83與曝光機(jī)面板控制器84相連接以輸入運動控制信號。所述的曝光臺掃描動力系統(tǒng)86可以為導(dǎo)軌滑塊結(jié)構(gòu)或者可以為絲杠螺母等常規(guī)現(xiàn)有結(jié)構(gòu)。氧化銦錫玻璃上料機(jī)架1、氧化銦錫玻璃清洗機(jī)2、聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)3、硅晶圓上料機(jī)架5、聚酰亞胺凸版印刷機(jī)4、聚酰亞胺預(yù)烘烤熱板傳輸線6、聚酰亞胺堅膜無塵烘箱7、聚酰亞胺摩擦機(jī)8、聚酰亞胺摩擦后干法超聲清洗機(jī)9、玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10、紫外框膠滴膠機(jī)11、框膠堅膜烘箱14、基板密封滴膠機(jī)15、紫外密封膠曝光機(jī)16、激光切割標(biāo)識機(jī)17、硅晶圓切割機(jī)18、氧化銦錫玻璃劃片機(jī)19、裂片機(jī)20、灌晶機(jī)21、紫外膠封口滴膠機(jī)22，紫外膠封口曝光機(jī)23均可以采用現(xiàn)有的常規(guī)設(shè)備，在市場采購即可。結(jié)合附圖本發(fā)明的一種用于硅基液晶屏生產(chǎn)的方法包括以下步驟(1)基板清洗步驟至少一片氧化銦錫玻璃40與至少一片所述硅晶圓M交替輸送進(jìn)入所述聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)3完成清洗；( 將清洗后的氧化銦錫玻璃40和硅晶圓M依次進(jìn)行涂覆、烘干、 摩擦，干法超聲清洗；涂覆在聚酰亞胺凸版印刷機(jī)4中進(jìn)行，烘干可以在聚酰亞胺堅膜無塵烘箱7進(jìn)行，摩擦可以在聚酰亞胺摩擦機(jī)8中進(jìn)行，干法超聲清洗可以在干法超聲清洗機(jī)9 進(jìn)行；(3)將經(jīng)過干法超聲清洗機(jī)9清洗后的至少一片氧化銦錫玻璃40和至少一片硅晶圓 24送入玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10，從玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10輸出的氧化銦錫玻璃40輸送進(jìn)入紫外框膠滴膠機(jī)11完成在氧化銦錫玻璃40上涂布圖案框膠37的加工，從玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10輸出的硅晶圓M和完成在氧化銦錫玻璃40上涂布圖案框膠37的加工的氧化銦錫玻璃40輸送進(jìn)入基板正壓貼合機(jī)12進(jìn)行硅基液晶屏46貼合加工，然后通過紫外框膠曝光機(jī)13完成框膠曝光固化；(4)經(jīng)過框膠曝光的硅基液晶屏46依次進(jìn)行框膠再固化、密封、密封膠水固化處理；框膠再固化可以在框膠堅膜烘箱14中進(jìn)行，密封可以在基板密封滴膠機(jī)15中進(jìn)行，密封膠水固化處理可以在紫外密封膠曝光機(jī)16中進(jìn)行，(5)經(jīng)過密封膠水固化處理的硅基液晶屏46進(jìn)行灌晶制得反射式液晶顯示器。所述的步驟(3)中的硅基液晶屏46貼合加工包括以下步驟(a)將硅晶圓M輸送承載到基板正壓貼合機(jī)12的硅晶圓承片托30上并將其真空吸附在硅晶圓承片托30上； (b)將覆蓋有圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40輸送承載到所述基板正壓貼合機(jī)12的玻璃架 41上并將其吸附在所述玻璃架41上；(c)將吸附著氧化銦錫玻璃40的所述玻璃架41逆時針旋轉(zhuǎn)180度后，使硅晶圓M正對覆蓋有圖案框膠37的氧化銦錫40設(shè)置；(d)在保持所述硅晶圓M與圖案框膠37之間沒有產(chǎn)生接觸的狀態(tài)下，移動兩者之間的相對位置直至到達(dá)預(yù)定位置要求；(e)使吸附著硅晶圓M的所述硅晶圓承片托30接近所述吸附著氧化銦錫玻璃40的玻璃架41，直至所述硅晶圓M與圖案框膠37之間形成緊密接觸狀態(tài)；(f)當(dāng)所述硅晶圓M與圖案框膠37之間形成緊密接觸時就形成了至少由硅晶圓M、圖案框膠37 和氧化銦錫玻璃40構(gòu)成的硅基液晶屏46，這時分別解除所述硅晶圓承片托30對所述硅晶圓M的真空吸附作用、解除所述玻璃架41對所述氧化銦錫玻璃40的真空吸附，接著將所述玻璃架41再順時針旋轉(zhuǎn)180度后返回到初始位置，然后將所述硅基液晶屏46從基板正壓貼合機(jī)12的硅晶圓承片托30上取下；所述的步驟( 中的硅基液晶屏46框膠曝光包括以下步驟(g)將從所述基板正壓貼合機(jī)12的硅晶圓承片托30上取下的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入紫外框膠曝光機(jī)13 的硅基液晶屏承載盤53上，并且硅基液晶屏46中的硅晶圓M與所述硅基液晶屏承載盤53 相接觸，然后將承載的硅基液晶屏46吸附在所述硅基液晶屏承載盤53上；(h)將其中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃40直徑尺寸的透明石英玻璃61的蓋板架62旋轉(zhuǎn)設(shè)置在硅基液晶屏46上方；(i)根據(jù)所述硅基液晶屏46使用的圖案框膠37材質(zhì)情況、硅晶圓 24與氧化銦錫玻璃40之間的間隙要求，保持對所述進(jìn)氣孔B57有1個大氣壓 2個大氣壓的壓力1分鐘 10分鐘、且同時通過曝光控制系統(tǒng)89預(yù)設(shè)程序的控制，使得所述曝光臺 66受到所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)86的作用、所述硅基液晶屏46在點亮的所述紫外燈87照射下沿χ軸92運動或者沿y軸91運動30秒 2分鐘，使得所述圖案框膠37在承受來自所述硅晶圓M和氧化銦錫玻璃40的互作用力情況下，且同時接受到所述紫外燈87透過所述透明石英玻璃61的紫外光照射而實現(xiàn)化學(xué)反應(yīng)固化，(j)當(dāng)所述圖案框膠37固化以后， 對所述進(jìn)氣孔B57放氣使得吸附著所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承載盤53在自身重力的作用下離開所述蓋板架62的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃61 —定距離，接著將所述蓋板架62旋轉(zhuǎn)離開，同時解除對所述硅基液晶屏46的吸附作用完成框膠曝光過程。本發(fā)明方法中的吸附可以采用抽真空實現(xiàn)；硅晶圓M與所述硅基液晶屏承載盤53的接觸可以采用氣缸活塞結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的在所述的步驟(1)中的基板清洗步驟中所述的至少一片氧化銦錫玻璃40 在進(jìn)入聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)3進(jìn)行清洗前還包括在氧化銦錫玻璃清洗機(jī)2內(nèi)完成初步清洗步驟，從而通過兩步清洗保證氧化銦錫玻璃40的清洗質(zhì)量。優(yōu)選的所述的步驟O)中在至少一片氧化銦錫玻璃40與至少一片所述硅晶圓M 上涂覆的聚酰亞胺薄膜的厚度為20nm 40nm，避免使用SW2真空鍍膜工藝，降低了生產(chǎn)設(shè)備，提高了生產(chǎn)效率。優(yōu)選的將所述的步驟( 中涂覆有聚酰亞胺的所述氧化銦錫玻璃40、硅晶圓對輸送進(jìn)入同一臺所述聚酰亞胺摩擦機(jī)8進(jìn)行摩擦處理，每片氧化銦錫玻璃40的摩擦方向均相同，每片硅晶圓M的摩擦方向均相同，所述的氧化銦錫玻璃40與硅晶圓M摩擦方向至少存在20度角度的偏差。同一臺聚酰亞胺摩擦機(jī)實現(xiàn)了對氧化銦錫玻璃和硅晶圓這兩種不同材料的摩擦處理，降低了設(shè)備成本。所述的步驟(5)中的灌晶可以包括以下步驟(a)將經(jīng)過所述紫外密封膠曝光機(jī) 16處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述激光切割標(biāo)識機(jī)17內(nèi)，且參照所述圖案框膠37 的位置刻畫出所需的切割標(biāo)識線；(b)接著將刻畫有所需的切割標(biāo)識線的所述硅基液晶屏 46輸送進(jìn)入所述硅晶圓切割機(jī)18進(jìn)行切割，且對所述硅晶圓M的切割深度為0. 45mm 0. 65mm ； (c)接著將經(jīng)過所述硅晶圓切割機(jī)18處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述氧化銦錫玻璃劃片機(jī)19進(jìn)行劃片，且對所述氧化銦錫玻璃40的劃片深度為0. 05mm 0. 25mm ； (d)接著將經(jīng)過所述氧化銦錫玻璃40劃片處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述裂片機(jī)20進(jìn)行斷裂加工；(e)接著將經(jīng)過所述裂片機(jī)20處理產(chǎn)生的單枚硅基液晶屏46 輸送進(jìn)入所述灌晶機(jī)21進(jìn)行灌注液晶；(f)接著將灌注了液晶的單枚硅基液晶屏46輸送進(jìn)入紫外膠封口滴膠機(jī)22在液晶灌注口處滴注紫外膠；(g)接著將經(jīng)過紫外膠封口滴膠機(jī) 22處理的硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述紫外膠封口曝光機(jī)23對所述紫外膠封口滴膠機(jī)22 滴注的紫外膠進(jìn)行紫外光照射固化制得反射式液晶顯示器。實施例1(1)基板清洗步驟氧化銦錫玻璃40在所述氧化銦錫玻璃清洗機(jī)2內(nèi)完成初步清洗，至少一片經(jīng)過初步清洗的所述氧化銦錫玻璃40與至少一片所述硅晶圓M交替輸送進(jìn)入所述聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)3完成清洗；( 將清洗后的氧化銦錫玻璃40和硅晶圓M依次進(jìn)行涂覆、烘干、摩擦，干法超聲清洗；涂覆聚酰亞胺薄膜在聚酰亞胺凸版印刷機(jī)4中進(jìn)行，烘干可以在聚酰亞胺堅膜無塵烘箱7進(jìn)行，摩擦聚酰亞胺薄膜在聚酰亞胺摩擦機(jī)8中進(jìn)行，干法超聲清洗聚酰亞胺薄膜在干法超聲清洗機(jī)9進(jìn)行；在至少一片氧化銦錫玻璃與至少一片所述硅晶圓上涂覆的聚酰亞胺薄膜的厚度為30nm。( 將經(jīng)過干法超聲清洗機(jī)9清洗后的至少一片氧化銦錫玻璃40和至少一片硅晶圓M送入玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10分別將氧化銦錫玻璃40輸送進(jìn)入紫外框膠滴膠機(jī)11完成在氧化銦錫玻璃40上涂布圖案框膠37的加工，從玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10輸出的硅晶圓M和完成在氧化銦錫玻璃40上涂布圖案框膠37的加工的氧化銦錫玻璃40輸送進(jìn)入所述基板正壓貼合機(jī)12進(jìn)行硅基液晶屏46貼合加工，然后通過紫外框膠曝光機(jī)13完成框膠曝光；(4)經(jīng)過框膠曝光的硅基液晶屏46依次進(jìn)行框膠再固化、密封、密封膠水固化處理；框膠再固化在框膠堅膜烘箱14中無塵完成框膠再固化。密封在基板密封滴膠機(jī)15沿所述氧化銦錫玻璃40與所述硅晶圓M 的邊緣滴入紫外密封膠水；密封膠水固化可以采用紫外密封膠曝光機(jī)16進(jìn)行紫外燈照射， 使得紫外密封膠水固化；(5)從所述的紫外密封膠曝光機(jī)16輸出的硅基液晶屏46進(jìn)行灌晶制得反射式液晶顯示器；灌晶包括以下步驟(a)將經(jīng)過所述紫外密封膠曝光機(jī)16處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述激光切割標(biāo)識機(jī)17內(nèi)，且參照所述圖案框膠37的位置刻畫出所需的切割標(biāo)識線；(b)接著將刻畫有所需的切割標(biāo)識線的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述硅晶圓切割機(jī)18進(jìn)行切割，且對所述硅晶圓M的切割深度為0. 5mm ； (c)接著將經(jīng)過所述硅晶圓切割機(jī)18處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述氧化銦錫玻璃劃片機(jī)19 進(jìn)行劃片，且對所述氧化銦錫玻璃40的劃片深度為0. 2mm ； (d)接著將經(jīng)過所述氧化銦錫玻璃40劃片處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述裂片機(jī)20進(jìn)行斷裂加工；(e)接著將經(jīng)過所述裂片機(jī)20處理產(chǎn)生的單枚硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述灌晶機(jī)21進(jìn)行灌注液晶； (f)接著將灌注了液晶的單枚硅基液晶屏46輸送進(jìn)入紫外膠封口滴膠機(jī)22在液晶灌注口處滴注紫外膠；(g)接著將經(jīng)過紫外膠封口滴膠機(jī)22處理的硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述紫外膠封口曝光機(jī)23對所述紫外膠封口滴膠機(jī)22滴注的紫外膠進(jìn)行紫外光照射固化制得反射式液晶顯示器。所述的步驟(3)中的硅基液晶屏46貼合加工包括以下步驟1)所述硅晶圓M直接輸送承載到所述硅晶圓承片托30上；幻接著所述硅晶圓承片托真空腔27通過所述真空排氣孔似6排氣形成真空狀態(tài)、且通過所述硅晶圓承片托真空孔觀將承載的所述硅晶圓M 吸附在所述硅晶圓承片托30上并等待所述玻璃架41承載所述氧化銦錫玻璃40 ；3)將覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40輸送承載到所述玻璃架41上；4)所述玻璃架真空腔 39通過所述真空排氣孔B38排氣形成真空狀態(tài)并且通過所述玻璃架真空孔42將承載的覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40吸附在所述玻璃架41上力)將后吸附著覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40的所述玻璃架41繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線45逆時針旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述玻璃架41的一端接觸到所述微動臺A柱32 ；6)接著所述硅晶圓承片托氣腔34通過所述進(jìn)氣孔A33充氣使得吸附著所述硅晶圓M的所述硅晶圓承片托30靠近所述吸附著覆蓋有圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40的所述玻璃架41 ；7)在保持所述硅晶圓M與所述圖案框膠37之間沒有產(chǎn)生接觸的狀態(tài)下，所述貼合微動臺25隨著所述x/y/ θ動力平臺76在所述貼合控制系統(tǒng)88的作用下沿χ軸92運動、沿y軸91運動、 圍繞所述貼合微動臺中心點90在χ軸92和y軸91構(gòu)成的平面內(nèi)做往復(fù)旋轉(zhuǎn)，且最后通過所述左攝像頭77和所述右攝像頭79觀察到的圖案證明所述硅晶圓M與所述圖案框膠37 已經(jīng)對準(zhǔn)；8)接著通過所述進(jìn)氣孔A33充氣使得吸附著所述硅晶圓M的所述硅晶圓承片托30接近所述吸附著覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40的所述玻璃架41，直至所述硅晶圓對與所述圖案框膠37之間形成緊密接觸狀態(tài)，停止對所述進(jìn)氣孔A33充氣；9) 當(dāng)所述硅晶圓M與所述圖案框膠37之間形成緊密接觸時就形成了至少由硅晶圓24、圖案框膠37、氧化銦錫玻璃40構(gòu)成的所述硅基液晶屏46，這時首先對真空排氣孔B38放氣直至解除所述玻璃架41通過所述玻璃架真空孔42對所述氧化銦錫玻璃40的真空吸附，接著將所述玻璃架41再順時針至少繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線45轉(zhuǎn)180度后接觸到所述微動臺 C柱44，然后對真空排氣孔似6放氣直至解除所述硅晶圓承片托30通過所述硅晶圓承片托真空孔觀對所述硅晶圓M的真空吸附作用；10)最后將所述硅基液晶屏46從所述基板正壓貼合機(jī)12的硅晶圓承片托30上取下完成貼合工藝流程。 所述的步驟( 中的硅基液晶屏46框膠曝光包括以下步驟(g)將從所述基板正壓貼合機(jī)12的硅晶圓承片托30上取下的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入紫外框膠曝光機(jī)13 的硅基液晶屏承載盤53上，并且硅基液晶屏46中的硅晶圓M與所述硅基液晶屏承載盤 53相接觸，接著所述硅基液晶屏承載盤真空腔52通過所述真空排氣孔C50排氣形成真空狀態(tài)、且通過所述硅基液晶屏承載盤真空孔51將承載的硅基液晶屏46吸附在所述硅基液晶屏承載盤53上，(h)所述蓋板架62在其中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃40直徑尺寸的透明石英玻璃61繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48逆時針至少旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述蓋板架62的一端接觸到所述曝光臺A柱58，且與所述曝光臺A柱58保持接觸；(i) 所述硅基液晶屏承載盤氣腔56通過所述進(jìn)氣孔B57充氣使得吸附著所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承載盤53接近所述蓋板架62的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃61直至與所述硅基液晶屏46的氧化銦錫玻璃40與所述透明石英玻璃61緊密接觸，保持對所述進(jìn)氣孔B57 有1. 5個大氣壓的壓力5分鐘、且同時通過曝光控制系統(tǒng)89預(yù)設(shè)程序的控制，使得所述曝光臺66受到所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)86的作用、在點亮的所述紫外燈87照射下沿χ軸92 運動或者沿y軸91運動，使得所述圖案框膠37在所述紫外燈87照射下固化，(j)當(dāng)所述圖案框膠37固化以后，這時對所述進(jìn)氣孔B57放氣使得吸附著所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承載盤53離開所述蓋板架62的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃61 —定距離，接著將所述蓋板架62繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48順時針至少旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述蓋板架 62的一端接觸到所述曝光臺C柱63，且同時對真空排氣孔C50充氣直至解除所述硅基液晶屏承載盤真空孔51對所述硅基液晶屏46的吸附作用，得以完成框膠曝光過程。經(jīng)測試，采用本發(fā)明系統(tǒng)和方法具有以下優(yōu)點(1)可以保證氧化銦錫玻璃與硅晶圓的準(zhǔn)確對位，可以進(jìn)行硅基液晶屏批量生產(chǎn)；(2)因為采用紫外框膠代替常規(guī)的熱固化框膠，所以可以在常溫條件下完成框膠固化，避免了高溫情況下硅晶圓與氧化銦錫玻璃因材質(zhì)不同而帶來的熱膨脹形變現(xiàn)象；(3)通過采用整片硅晶圓與氧化銦錫玻璃直接封裝、涂覆聚酰亞胺取向膜而非真空鍍SiO2薄膜，避免了使用成本較高的真空鍍膜設(shè)備，從而降低了生產(chǎn)線成本。(4)在硅基液晶屏成盒工藝流程中，實現(xiàn)了一邊壓擠硅基液晶屏達(dá)到規(guī)定的硅晶圓與氧化銦錫玻璃之間的間隙值而成型，一邊對紫外框膠進(jìn)行曝光固化的模式，從而得以實現(xiàn)常溫條件下完成框膠固化，避免了硅晶圓與氧化銦錫玻璃材質(zhì)不同帶來的形變差異現(xiàn)象，可以提高硅基液晶屏組裝品質(zhì)。實施例2(1)基板清洗步驟氧化銦錫玻璃40在所述氧化銦錫玻璃清洗機(jī)2內(nèi)完成初步清洗，至少一片經(jīng)過初步清洗的所述氧化銦錫玻璃40與至少一片所述硅晶圓M交替輸送進(jìn)入所述聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)3完成清洗；( 將清洗后的氧化銦錫玻璃40和硅晶圓M依次進(jìn)行涂覆、烘干、摩擦，干法超聲清洗；涂覆聚酰亞胺薄膜在聚酰亞胺凸版印刷機(jī)4中進(jìn)行，烘干可以在聚酰亞胺堅膜無塵烘箱7進(jìn)行，摩擦聚酰亞胺薄膜在聚酰亞胺摩擦機(jī)8中進(jìn)行，干法超聲清洗聚酰亞胺薄膜在干法超聲清洗機(jī)9進(jìn)行；在至少一片氧化銦錫玻璃與至少一片所述硅晶圓上涂覆的聚酰亞胺薄膜的厚度為40nm。( 將經(jīng)過干法超聲清洗機(jī)9清洗后的至少一片氧化銦錫玻璃40和至少一片硅晶圓24送入玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10分別將氧化銦錫玻璃40輸送進(jìn)入紫外框膠滴膠機(jī)11完成在氧化銦錫玻璃40上涂布圖案框膠37的加工，從玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10輸出的硅晶圓M和完成在氧化銦錫玻璃40上涂布圖案框膠37的加工的氧化銦錫玻璃40輸送進(jìn)入所述基板正壓貼合機(jī)12進(jìn)行硅基液晶屏46貼合加工，然后通過紫外框膠曝光機(jī)13完成框膠曝光；(4)經(jīng)過框膠曝光的硅基液晶屏46依次進(jìn)行框膠再固化、密封、密封膠水固化處理；框膠再固化在框膠堅膜烘箱14中無塵完成框膠再固化。密封在基板密封滴膠機(jī)15沿所述氧化銦錫玻璃40與所述硅晶圓M 的邊緣滴入紫外密封膠水；密封膠水固化可以采用紫外密封膠曝光機(jī)16進(jìn)行紫外燈照射， 使得紫外密封膠水固化；(5)從所述的紫外密封膠曝光機(jī)16輸出的硅基液晶屏46進(jìn)行灌晶制得反射式液晶顯示器；灌晶包括以下步驟(a)將經(jīng)過所述紫外密封膠曝光機(jī)16處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述激光切割標(biāo)識機(jī)17內(nèi)，且參照所述圖案框膠37的位置刻畫出所需的切割標(biāo)識線；(b)接著將刻畫有所需的切割標(biāo)識線的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述硅晶圓切割機(jī)18進(jìn)行切割，且對所述硅晶圓M的切割深度為0. 65mm ； (c)接著將經(jīng)過所述硅晶圓切割機(jī)18處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述氧化銦錫玻璃劃片機(jī)19 進(jìn)行劃片，且對所述氧化銦錫玻璃40的劃片深度為0. 25mm ； (d)接著將經(jīng)過所述氧化銦錫玻璃40劃片處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述裂片機(jī)20進(jìn)行斷裂加工；(e)接著將經(jīng)過所述裂片機(jī)20處理產(chǎn)生的單枚硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述灌晶機(jī)21進(jìn)行灌注液晶；
16(f)接著將灌注了液晶的單枚硅基液晶屏46輸送進(jìn)入紫外膠封口滴膠機(jī)22在液晶灌注口處滴注紫外膠；(g)接著將經(jīng)過紫外膠封口滴膠機(jī)22處理的硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述紫外膠封口曝光機(jī)23對所述紫外膠封口滴膠機(jī)22滴注的紫外膠進(jìn)行紫外光照射固化制得反射式液晶顯示器。所述的步驟(3)中的硅基液晶屏46貼合加工包括以下步驟1)所述硅晶圓M直接輸送承載到所述硅晶圓承片托30上；幻接著所述硅晶圓承片托真空腔27通過所述真空排氣孔似6排氣形成真空狀態(tài)、且通過所述硅晶圓承片托真空孔觀將承載的所述硅晶圓M 吸附在所述硅晶圓承片托30上并等待所述玻璃架41承載所述氧化銦錫玻璃40 ；3)將覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40輸送承載到所述玻璃架41上；4)所述玻璃架真空腔 39通過所述真空排氣孔B38排氣形成真空狀態(tài)并且通過所述玻璃架真空孔42將承載的覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40吸附在所述玻璃架41上力)將后吸附著覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40的所述玻璃架41繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線45逆時針旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述玻璃架41的一端接觸到所述微動臺A柱32 ；6)接著所述硅晶圓承片托氣腔34通過所述進(jìn)氣孔A33充氣使得吸附著所述硅晶圓M的所述硅晶圓承片托30靠近所述吸附著覆蓋有圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40的所述玻璃架41 ；7)在保持所述硅晶圓M與所述圖案框膠37之間沒有產(chǎn)生接觸的狀態(tài)下，所述貼合微動臺25隨著所述x/y/ θ動力平臺76在所述貼合控制系統(tǒng)88的作用下沿χ軸92運動、沿y軸91運動、 圍繞所述貼合微動臺中心點90在χ軸92和y軸91構(gòu)成的平面內(nèi)做往復(fù)旋轉(zhuǎn)，且最后通過所述左攝像頭77和所述右攝像頭79觀察到的圖案證明所述硅晶圓M與所述圖案框膠37 已經(jīng)對準(zhǔn)；8)接著通過所述進(jìn)氣孔A33充氣使得吸附著所述硅晶圓M的所述硅晶圓承片托30接近所述吸附著覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40的所述玻璃架41，直至所述硅晶圓M與所述圖案框膠37之間形成緊密接觸狀態(tài)，停止對所述進(jìn)氣孔A33充氣；9) 當(dāng)所述硅晶圓M與所述圖案框膠37之間形成緊密接觸時就形成了至少由硅晶圓24、圖案框膠37、氧化銦錫玻璃40構(gòu)成的所述硅基液晶屏46，這時首先對真空排氣孔B38放氣直至解除所述玻璃架41通過所述玻璃架真空孔42對所述氧化銦錫玻璃40的真空吸附，接著將所述玻璃架41再順時針至少繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線45轉(zhuǎn)180度后接觸到所述微動臺 C柱44，然后對真空排氣孔k2&放氣直至解除所述硅晶圓承片托30通過所述硅晶圓承片托真空孔觀對所述硅晶圓M的真空吸附作用；10)最后將所述硅基液晶屏46從所述基板正壓貼合機(jī)12的硅晶圓承片托30上取下完成貼合工藝流程。所述的步驟( 中的硅基液晶屏46框膠曝光包括以下步驟(g)將從所述基板正壓貼合機(jī)12的硅晶圓承片托30上取下的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入紫外框膠曝光機(jī)13 的硅基液晶屏承載盤53上，并且硅基液晶屏46中的硅晶圓M與所述硅基液晶屏承載盤 53相接觸，接著所述硅基液晶屏承載盤真空腔52通過所述真空排氣孔C50排氣形成真空狀態(tài)、且通過所述硅基液晶屏承載盤真空孔51將承載的硅基液晶屏46吸附在所述硅基液晶屏承載盤53上，(h)所述蓋板架62在其中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃40直徑尺寸的透明石英玻璃61繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48逆時針至少旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述蓋板架62的一端接觸到所述曝光臺A柱58，且與所述曝光臺A柱58保持接觸；(i) 所述硅基液晶屏承載盤氣腔56通過所述進(jìn)氣孔B57充氣使得吸附著所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承載盤53接近所述蓋板架62的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃61直至與所述硅基液晶屏46的氧化銦錫玻璃40與所述透明石英玻璃61緊密接觸，保持對所述進(jìn)氣孔B57 有1. 5個大氣壓的壓力5分鐘、且同時通過曝光控制系統(tǒng)89預(yù)設(shè)程序的控制，使得所述曝光臺66受到所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)86的作用、在點亮的所述紫外燈87照射下沿χ軸92 運動或者沿y軸91運動，使得所述圖案框膠37在所述紫外燈87照射下固化，(j)當(dāng)所述圖案框膠37固化以后，這時對所述進(jìn)氣孔B57放氣使得吸附著所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承載盤53離開所述蓋板架62的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃61 —定距離，接著將所述蓋板架62繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48順時針至少旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述蓋板架 62的一端接觸到所述曝光臺C柱63，且同時對真空排氣孔C50充氣直至解除所述硅基液晶屏承載盤真空孔51對所述硅基液晶屏46的吸附作用，得以完成框膠曝光過程。經(jīng)測試，采用本發(fā)明系統(tǒng)和方法具有以下優(yōu)點(5)可以保證氧化銦錫玻璃與硅晶圓的準(zhǔn)確對位，可以進(jìn)行硅基液晶屏批量生產(chǎn)；(6)因為采用紫外框膠代替常規(guī)的熱固化框膠，所以可以在常溫條件下完成框膠固化，避免了高溫情況下硅晶圓與氧化銦錫玻璃因材質(zhì)不同而帶來的熱膨脹形變現(xiàn)象；(7)通過采用整片硅晶圓與氧化銦錫玻璃直接封裝、涂覆聚酰亞胺取向膜而非真空鍍SiO2薄膜，避免了使用成本較高的真空鍍膜設(shè)備，從而降低了生產(chǎn)線成本。(8)在硅基液晶屏成盒工藝流程中，實現(xiàn)了一邊壓擠硅基液晶屏達(dá)到規(guī)定的硅晶圓與氧化銦錫玻璃之間的間隙值而成型，一邊對紫外框膠進(jìn)行曝光固化的模式，從而得以實現(xiàn)常溫條件下完成框膠固化，避免了硅晶圓與氧化銦錫玻璃材質(zhì)不同帶來的形變差異現(xiàn)象，可以提高硅基液晶屏組裝品質(zhì)。實施例3(1)基板清洗步驟氧化銦錫玻璃40在所述氧化銦錫玻璃清洗機(jī)2內(nèi)完成初步清洗，至少一片經(jīng)過初步清洗的所述氧化銦錫玻璃40與至少一片所述硅晶圓M交替輸送進(jìn)入所述聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)3完成清洗；( 將清洗后的氧化銦錫玻璃40和硅晶圓M依次進(jìn)行涂覆、烘干、摩擦，干法超聲清洗；涂覆聚酰亞胺薄膜在聚酰亞胺凸版印刷機(jī)4中進(jìn)行，烘干可以在聚酰亞胺堅膜無塵烘箱7進(jìn)行，摩擦聚酰亞胺薄膜在聚酰亞胺摩擦機(jī)8中進(jìn)行，干法超聲清洗聚酰亞胺薄膜在干法超聲清洗機(jī)9進(jìn)行；在至少一片氧化銦錫玻璃與至少一片所述硅晶圓上涂覆的聚酰亞胺薄膜的厚度為20nm。( 將經(jīng)過干法超聲清洗機(jī)9清洗后的至少一片氧化銦錫玻璃40和至少一片硅晶圓M送入玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10分別將氧化銦錫玻璃40輸送進(jìn)入紫外框膠滴膠機(jī)11完成在氧化銦錫玻璃40上涂布圖案框膠37的加工，從玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)10輸出的硅晶圓M和完成在氧化銦錫玻璃40上涂布圖案框膠37的加工的氧化銦錫玻璃40輸送進(jìn)入所述基板正壓貼合機(jī)12進(jìn)行硅基液晶屏46貼合加工，然后通過紫外框膠曝光機(jī)13完成框膠曝光；(4)經(jīng)過框膠曝光的硅基液晶屏46依次進(jìn)行框膠再固化、密封、密封膠水固化處理；框膠再固化在框膠堅膜烘箱14中無塵完成框膠再固化。密封在基板密封滴膠機(jī)15沿所述氧化銦錫玻璃40與所述硅晶圓M 的邊緣滴入紫外密封膠水；密封膠水固化可以采用紫外密封膠曝光機(jī)16進(jìn)行紫外燈照射， 使得紫外密封膠水固化；(5)從所述的紫外密封膠曝光機(jī)16輸出的硅基液晶屏46進(jìn)行灌晶制得反射式液晶顯示器；灌晶包括以下步驟(a)將經(jīng)過所述紫外密封膠曝光機(jī)16處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述激光切割標(biāo)識機(jī)17內(nèi)，且參照所述圖案框膠37的位置刻畫出所需的切割標(biāo)識線；(b)接著將刻畫有所需的切割標(biāo)識線的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述硅晶圓切割機(jī)18進(jìn)行切割，且對所述硅晶圓M的切割深度為0. 45mm ； (c)接著將經(jīng)過所述硅晶圓切割機(jī)18處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述氧化銦錫玻璃劃片機(jī)19 進(jìn)行劃片，且對所述氧化銦錫玻璃40的劃片深度為0. 05mm ； (d)接著將經(jīng)過所述氧化銦錫玻璃40劃片處理的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述裂片機(jī)20進(jìn)行斷裂加工；(e)接著將經(jīng)過所述裂片機(jī)20處理產(chǎn)生的單枚硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述灌晶機(jī)21進(jìn)行灌注液晶； (f)接著將灌注了液晶的單枚硅基液晶屏46輸送進(jìn)入紫外膠封口滴膠機(jī)22在液晶灌注口處滴注紫外膠；(g)接著將經(jīng)過紫外膠封口滴膠機(jī)22處理的硅基液晶屏46輸送進(jìn)入所述紫外膠封口曝光機(jī)23對所述紫外膠封口滴膠機(jī)22滴注的紫外膠進(jìn)行紫外光照射固化制得反射式液晶顯示器。所述的步驟(3)中的硅基液晶屏46貼合加工包括以下步驟1)所述硅晶圓M直接輸送承載到所述硅晶圓承片托30上；幻接著所述硅晶圓承片托真空腔27通過所述真空排氣孔似6排氣形成真空狀態(tài)、且通過所述硅晶圓承片托真空孔觀將承載的所述硅晶圓M 吸附在所述硅晶圓承片托30上并等待所述玻璃架41承載所述氧化銦錫玻璃40 ；3)將覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40輸送承載到所述玻璃架41上；4)所述玻璃架真空腔 39通過所述真空排氣孔B38排氣形成真空狀態(tài)并且通過所述玻璃架真空孔42將承載的覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40吸附在所述玻璃架41上力)將后吸附著覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40的所述玻璃架41繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線45逆時針旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述玻璃架41的一端接觸到所述微動臺A柱32 ；6)接著所述硅晶圓承片托氣腔34通過所述進(jìn)氣孔A33充氣使得吸附著所述硅晶圓M的所述硅晶圓承片托30靠近所述吸附著覆蓋有圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40的所述玻璃架41 ；7)在保持所述硅晶圓M與所述圖案框膠37之間沒有產(chǎn)生接觸的狀態(tài)下，所述貼合微動臺25隨著所述x/y/ θ動力平臺76在所述貼合控制系統(tǒng)88的作用下沿χ軸92運動、沿y軸91運動、 圍繞所述貼合微動臺中心點90在χ軸92和y軸91構(gòu)成的平面內(nèi)做往復(fù)旋轉(zhuǎn)，且最后通過所述左攝像頭77和所述右攝像頭79觀察到的圖案證明所述硅晶圓M與所述圖案框膠37 已經(jīng)對準(zhǔn)；8)接著通過所述進(jìn)氣孔A33充氣使得吸附著所述硅晶圓M的所述硅晶圓承片托30接近所述吸附著覆蓋有所述圖案框膠37的氧化銦錫玻璃40的所述玻璃架41，直至所述硅晶圓M與所述圖案框膠37之間形成緊密接觸狀態(tài)，停止對所述進(jìn)氣孔A33充氣；9) 當(dāng)所述硅晶圓M與所述圖案框膠37之間形成緊密接觸時就形成了至少由硅晶圓24、圖案框膠37、氧化銦錫玻璃40構(gòu)成的所述硅基液晶屏46，這時首先對真空排氣孔B38放氣直至解除所述玻璃架41通過所述玻璃架真空孔42對所述氧化銦錫玻璃40的真空吸附，接著將所述玻璃架41再順時針至少繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線45轉(zhuǎn)180度后接觸到所述微動臺 C柱44，然后對真空排氣孔似6放氣直至解除所述硅晶圓承片托30通過所述硅晶圓承片托真空孔觀對所述硅晶圓M的真空吸附作用；10)最后將所述硅基液晶屏46從所述基板正壓貼合機(jī)12的硅晶圓承片托30上取下完成貼合工藝流程。所述的步驟( 中的硅基液晶屏46框膠曝光包括以下步驟(g)將從所述基板正壓貼合機(jī)12的硅晶圓承片托30上取下的所述硅基液晶屏46輸送進(jìn)入紫外框膠曝光機(jī)13 的硅基液晶屏承載盤53上，并且硅基液晶屏46中的硅晶圓M與所述硅基液晶屏承載盤 53相接觸，接著所述硅基液晶屏承載盤真空腔52通過所述真空排氣孔C50排氣形成真空狀態(tài)、且通過所述硅基液晶屏承載盤真空孔51將承載的硅基液晶屏46吸附在所述硅基液晶屏承載盤53上，(h)所述蓋板架62在其中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃40直徑尺寸的透明石英玻璃61繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48逆時針至少旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述蓋板架62的一端接觸到所述曝光臺A柱58，且與所述曝光臺A柱58保持接觸；(i) 所述硅基液晶屏承載盤氣腔56通過所述進(jìn)氣孔B57充氣使得吸附著所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承載盤53接近所述蓋板架62的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃61直至與所述硅基液晶屏46的氧化銦錫玻璃40與所述透明石英玻璃61緊密接觸，保持對所述進(jìn)氣孔B57 有1. 5個大氣壓的壓力5分鐘、且同時通過曝光控制系統(tǒng)89預(yù)設(shè)程序的控制，使得所述曝光臺66受到所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)86的作用、在點亮的所述紫外燈87照射下沿χ軸92 運動或者沿y軸91運動，使得所述圖案框膠37在所述紫外燈87照射下固化，(j)當(dāng)所述圖案框膠37固化以后，這時對所述進(jìn)氣孔B57放氣使得吸附著所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承載盤53離開所述蓋板架62的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃61 —定距離，接著將所述蓋板架62繞所述曝光臺鉸鏈中軸線48順時針至少旋轉(zhuǎn)180度以后，且使得所述蓋板架 62的一端接觸到所述曝光臺C柱63，且同時對真空排氣孔C50充氣直至解除所述硅基液晶屏承載盤真空孔51對所述硅基液晶屏46的吸附作用，得以完成框膠曝光過程。經(jīng)測試，采用本發(fā)明系統(tǒng)和方法具有以下優(yōu)點(9)可以保證氧化銦錫玻璃與硅晶圓的準(zhǔn)確對位，可以進(jìn)行硅基液晶屏批量生產(chǎn)；(10)因為采用紫外框膠代替常規(guī)的熱固化框膠，所以可以在常溫條件下完成框膠固化，避免了高溫情況下硅晶圓與氧化銦錫玻璃因材質(zhì)不同而帶來的熱膨脹形變現(xiàn)象；(11)通過采用整片硅晶圓與氧化銦錫玻璃直接封裝、涂覆聚酰亞胺取向膜而非真空鍍SiO2薄膜，避免了使用成本較高的真空鍍膜設(shè)備，從而降低了生產(chǎn)線成本。(12)在硅基液晶屏成盒工藝流程中，實現(xiàn)了一邊壓擠硅基液晶屏達(dá)到規(guī)定的硅晶圓與氧化銦錫玻璃之間的間隙值而成型，一邊對紫外框膠進(jìn)行曝光固化的模式，從而得以實現(xiàn)常溫條件下完成框膠固化，避免了硅晶圓與氧化銦錫玻璃材質(zhì)不同帶來的形變差異現(xiàn)象，可以提高硅基液晶屏組裝品質(zhì)。
權(quán)利要求
1.硅基液晶屏生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于它包括依次相連的氧化銦錫玻璃上料機(jī)架、聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)、聚酰亞胺凸版印刷機(jī)、聚酰亞胺預(yù)烘烤熱板傳輸線、聚酰亞胺堅膜無塵烘箱、聚酰亞胺摩擦機(jī)、聚酰亞胺摩擦后干法超聲清洗機(jī)、玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)、基板正壓貼合機(jī)、紫外框膠曝光機(jī)、框膠堅膜烘箱、基板密封滴膠機(jī)、紫外密封膠曝光機(jī)、激光切割標(biāo)識機(jī)、硅晶圓切割機(jī)、氧化銦錫玻璃劃片機(jī)、裂片機(jī)、灌晶機(jī)、紫外膠封口滴膠機(jī)，紫外膠封口曝光機(jī)，聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)的另一進(jìn)料端與硅晶圓上料機(jī)架出料端相連；玻璃 /硅晶圓分流系統(tǒng)的另一工件輸出端與紫外框膠滴膠機(jī)工件輸入端相連并且紫外框膠滴膠機(jī)工件輸出端能夠?qū)⒃谧贤饪蚰z滴膠機(jī)內(nèi)涂覆了圖案膠框的氧化銦錫玻璃輸出到基板正壓貼合機(jī)的玻璃架上，所述的基板正壓貼合機(jī)包括貼合控制系統(tǒng)、攝像頭集成器、χ/y/ θ動力平臺、貼合微動臺輔助系統(tǒng)和貼合微動臺，所述攝像頭集成器包括左攝像頭和右攝像頭， 所述貼合微動臺輔助系統(tǒng)包括貼合結(jié)構(gòu)底座，在所述的貼合結(jié)構(gòu)底座中間固定連接有微動臺B柱并且在貼合結(jié)構(gòu)底座兩側(cè)分別固定連接有微動臺A柱、微動臺C柱，在所述的微動臺 B柱頂面的兩端設(shè)置有鉸鏈支撐，在所述的鉸鏈支撐上轉(zhuǎn)動的連接有貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈轉(zhuǎn)軸，玻璃架架設(shè)在微動臺B柱和微動臺C柱的頂面上并且玻璃架架設(shè)在微動臺B柱的一端與所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈轉(zhuǎn)軸固定相連，玻璃架能夠繞所述貼合結(jié)構(gòu)鉸鏈中軸線轉(zhuǎn)動并分別與所述微動臺C柱、所述微動臺A柱的頂面相接觸配合，在所述的玻璃架內(nèi)開有玻璃架真空腔，在所述的玻璃架頂面上開有多個與玻璃架真空腔相連通的玻璃架真空孔，在所述玻璃架上連接有與玻璃架真空腔相連通的真空排氣孔B ；所述的貼合微動臺包括安裝在所述x/y/ θ動力平臺上的硅晶圓承片托氣缸，所述的x/y/ θ動力平臺位于所述微動臺A柱與微動臺B柱之間，硅晶圓承片托下部插在所述的硅晶圓承片托氣缸內(nèi)，硅晶圓承片托活塞密封圈設(shè)置在所述硅晶圓承片托氣缸與所述硅晶圓承片托之間并且與所述硅晶圓承片托氣缸、硅晶圓承片托的接觸面形成緊配合，由硅晶圓承片托氣缸、硅晶圓承片托和硅晶圓承片托活塞密封圈形成的封閉空間構(gòu)成硅晶圓承片托氣腔，進(jìn)氣孔A設(shè)置在所述硅晶圓承片托氣缸上且與所述硅晶圓承片托氣腔相連通，在所述的硅晶圓承片托上部開有硅晶圓承片托真空腔，硅晶圓承片托頂面上開有與硅晶圓承片托真空腔相連通的硅晶圓承片托真空孔，連接在硅晶圓承片托上的真空排氣孔A與硅晶圓承片托真空腔相連通；所述的貼合微動臺能夠隨著所述的x/y/ θ動力平臺在所述貼合控制系統(tǒng)的作用下沿χ軸、y軸方向移動并且能夠圍繞所述貼合微動臺中心點在χ軸和y軸構(gòu)成的平面內(nèi)做至少10度的往復(fù)旋轉(zhuǎn)，所述的攝像頭集成器能夠獲取設(shè)置在所述的硅晶圓承片托上的硅晶圓與設(shè)置在玻璃架上的氧化銦錫玻璃的圖案膠框的相對位置圖像信號并將該圖像信號輸出給工控機(jī)，工控機(jī)A通過x/y/ θ動力平臺驅(qū)動總線與x/y/ θ動力平臺相連接并且通過微動臺面板控制總線與微動臺面板相連接；所述的紫外框膠曝光機(jī)包括曝光臺、曝光控制系統(tǒng)、曝光臺掃描動力系統(tǒng)和紫外燈集成器，所述曝光臺包括其底部固定在曝光臺基座上的硅基液晶屏承載盤氣缸，在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸的頂部兩側(cè)分別固定有曝光臺A柱和曝光臺B柱，用于放置硅基液晶屏的硅基液晶屏承載盤的下部插在所述的硅基液晶屏承載盤氣缸內(nèi)，硅基液晶屏承載盤活塞密封圈設(shè)置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸內(nèi)壁與所述硅基液晶屏承載盤外壁之間并且與所述硅基液晶屏承載盤氣缸和硅基液晶屏承載盤接觸面均形成緊配合，由硅基液晶屏承載盤、硅基液晶屏承載盤活塞密封圈與硅基液晶屏承載盤氣缸形成的密閉空間構(gòu)成硅基液晶屏承載盤氣腔，進(jìn)氣孔B設(shè)置在所述硅基液晶屏承載盤氣缸上且與硅基液晶屏承載盤氣腔相連通，在所述的硅基液晶屏承載盤的上部開有硅基液晶屏承載盤真空腔，多個硅基液晶屏承載盤真空孔開在硅基液晶屏承載盤頂面上并與硅基液晶屏承載盤真空腔相連通，安裝在硅基液晶屏承載盤上的真空排氣孔C與硅基液晶屏承載盤真空腔相連通，曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸的兩端分別與固定在所述的曝光臺B柱頂面上的兩個鉸鏈支撐件轉(zhuǎn)動相連，所述曝光臺還包括其中央鑲嵌有直徑尺寸不小于氧化銦錫玻璃直徑尺寸的透明石英玻璃的蓋板架，所述蓋板架的一側(cè)與所述的曝光臺鉸鏈轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動相連并且蓋板架的另一側(cè)架設(shè)在安裝在曝光臺基座上的曝光臺C柱上，所述的蓋板架能夠繞所述曝光臺鉸鏈中軸線逆時針旋轉(zhuǎn)180 度后接觸到所述曝光臺A柱頂面與之相接觸配合，所述曝光臺基座與曝光臺掃描動力系統(tǒng)相連并且在所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)的驅(qū)動下能夠沿χ軸和y軸方向運動，工控機(jī)B通過紫外光源總線與至少由6只紫外燈構(gòu)成的紫外燈集成器相連，所述曝光臺與所述的紫外燈集成器相對設(shè)置以使紫外燈能夠照射到安裝在硅基液晶屏承載盤頂部的氧化銦錫玻璃上的圖案框膠，工控機(jī)B通過掃描動力系統(tǒng)總線與所述曝光臺掃描動力系統(tǒng)相連接并且工控機(jī)B通過曝光機(jī)面板控制總線與曝光機(jī)面板控制器相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基液晶屏生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于在所述的氧化銦錫玻璃上料機(jī)架和聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)之間連接有氧化銦錫玻璃清洗機(jī)。
3.一種用于硅基液晶屏生產(chǎn)的方法，其特征在于它包括以下步驟(1)基板清洗步驟至少一片氧化銦錫玻璃與至少一片硅晶圓交替輸送進(jìn)入聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)完成清洗；(2)將清洗后的氧化銦錫玻璃和硅晶圓依次進(jìn)行涂覆、烘干、摩擦，干法超聲清洗；(3)將經(jīng)過干法超聲清洗機(jī)清洗后的至少一片氧化銦錫玻璃和至少一片硅晶圓送入玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)，從玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)輸出的氧化銦錫玻璃進(jìn)入紫外框膠滴膠機(jī)完成在氧化銦錫玻璃上涂布圖案框膠的加工，從玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)輸出的硅晶圓和完成在氧化銦錫玻璃上涂布圖案框膠加工的氧化銦錫玻璃輸送進(jìn)入基板正壓貼合機(jī)進(jìn)行硅基液晶屏貼合加工，然后通過紫外框膠曝光機(jī)完成框膠曝光固化；(4)經(jīng)過框膠曝光的硅基液晶屏依次進(jìn)行框膠再固化、密封、密封膠水固化處理；(5)經(jīng)過密封膠水固化處理的硅基液晶屏進(jìn)行灌晶制得反射式液晶顯示器；所述的步驟(3)中的硅基液晶屏貼合加工包括以下步驟(a)將硅晶圓輸送承載到基板正壓貼合機(jī)的硅晶圓承片托上并將其真空吸附在硅晶圓承片托上；(b)將覆蓋有圖案框膠的氧化銦錫玻璃輸送承載到所述基板正壓貼合機(jī)的玻璃架上并將其吸附在所述玻璃架上；(c)將吸附著氧化銦錫玻璃的所述玻璃架逆時針旋轉(zhuǎn)180度后，使硅晶圓正對覆蓋有圖案框膠的氧化銦錫設(shè)置；(d)在保持所述硅晶圓與圖案框膠之間沒有產(chǎn)生接觸的狀態(tài)下， 移動兩者之間的相對位置直至到達(dá)預(yù)定位置要求；(e)使吸附著硅晶圓的所述硅晶圓承片托接近所述吸附著氧化銦錫玻璃的玻璃架，直至所述硅晶圓與圖案框膠之間形成緊密接觸狀態(tài)；(f)當(dāng)所述硅晶圓與圖案框膠之間形成緊密接觸時就形成了至少由硅晶圓、圖案框膠和氧化銦錫玻璃構(gòu)成的所述硅基液晶屏，這時首先解除所述玻璃架對所述氧化銦錫玻璃的真空吸附，接著將所述玻璃架再順時針旋轉(zhuǎn)180度后返回到初始位置，然后解除所述硅晶圓承片托對所述硅晶圓的真空吸附作用，將所述硅基液晶屏從基板正壓貼合機(jī)的硅晶圓承片托上取下；所述的步驟(3)中的硅基液晶屏框膠曝光包括以下步驟(g)將從所述基板正壓貼合機(jī)的硅晶圓承片托上取下的所述硅基液晶屏輸送進(jìn)入紫外框膠曝光機(jī)的硅基液晶屏承載盤上，并且硅基液晶屏中的硅晶圓與所述硅基液晶屏承載盤相接觸，然后將承載的硅基液晶屏吸附在所述硅基液晶屏承載盤上；(h)將在凹槽內(nèi)嵌有透明石英玻璃的蓋板架旋轉(zhuǎn)設(shè)置在硅基液晶屏上方；(i)使所述硅基液晶屏承載盤接近所述蓋板架的透明石英玻璃直至與所述硅基液晶屏的氧化銦錫玻璃與透明石英玻璃緊密接觸同時使所述圖案框膠在紫外燈照射下固化，(j)當(dāng)所述圖案框膠固化以后，通過對氣缸的進(jìn)氣孔放氣使得吸附著所述硅基液晶屏的所述硅基液晶屏承載盤在自身重力的作用下離開所述蓋板架的內(nèi)嵌所述透明石英玻璃一定距離，接著將所述蓋板架旋轉(zhuǎn)離開，同時解除對所述硅基液晶屏的吸附作用完成框膠曝光過程。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅基液晶屏生產(chǎn)的方法，其特征在于所述的步驟(1) 中的基板清洗步驟中所述的至少一片氧化銦錫玻璃在進(jìn)入聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)進(jìn)行清洗前包括在氧化銦錫玻璃清洗機(jī)內(nèi)完成初步清洗步驟。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅基液晶屏生產(chǎn)的方法，其特征在于所述的步驟 (2)中在至少一片氧化銦錫玻璃與至少一片所述硅晶圓上涂覆的聚酰亞胺薄膜的厚度為 20nm 40nmo
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅基液晶屏生產(chǎn)的方法，其特征在于將所述的步驟(2) 中涂覆有聚酰亞胺的所述氧化銦錫玻璃、硅晶圓輸送進(jìn)入同一臺所述聚酰亞胺摩擦機(jī)進(jìn)行摩擦處理，每片氧化銦錫玻璃的摩擦方向均相同，每片硅晶圓的摩擦方向均相同，所述的氧化銦錫玻璃與硅晶圓摩擦方向至少存在20度角度的偏差。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅基液晶屏生產(chǎn)的方法，其特征在于所述的步驟(5) 中的灌晶包括以下步驟(a)將經(jīng)過所述紫外密封膠曝光機(jī)處理的所述硅基液晶屏輸送進(jìn)入所述激光切割標(biāo)識機(jī)內(nèi)，且參照所述圖案框膠的位置刻畫出所需的切割標(biāo)識線；(b)接著將刻畫有所需的切割標(biāo)識線的所述硅基液晶屏輸送進(jìn)入所述硅晶圓切割機(jī)進(jìn)行切割，且對所述硅晶圓的切割深度為0. 45mm 0. 65mm ； (c)接著將經(jīng)過所述硅晶圓切割機(jī)處理的所述硅基液晶屏輸送進(jìn)入所述氧化銦錫玻璃劃片機(jī)進(jìn)行劃片，且對所述氧化銦錫玻璃的劃片深度為0. 05mm 0. 25mm ； (d)接著將經(jīng)過所述氧化銦錫玻璃劃片處理的所述硅基液晶屏輸送進(jìn)入所述裂片機(jī)進(jìn)行斷裂加工；(e)接著將經(jīng)過所述裂片機(jī)處理產(chǎn)生的單枚硅基液晶屏輸送進(jìn)入所述灌晶機(jī)進(jìn)行灌注液晶；(f)接著將灌注了液晶的單枚硅基液晶屏輸送進(jìn)入紫外膠封口滴膠機(jī)在液晶灌注口處滴注紫外膠；(g)接著將經(jīng)過紫外膠封口滴膠機(jī)處理的硅基液晶屏輸送進(jìn)入所述紫外膠封口曝光機(jī)對所述紫外膠封口滴膠機(jī)滴注的紫外膠進(jìn)行紫外光照射固化制得反射式液晶顯示器。
全文摘要
本發(fā)明公開了硅基液晶屏生產(chǎn)系統(tǒng)及其生產(chǎn)方法，本方法包括(1)基板清洗步驟氧化銦錫玻璃與硅晶圓交替輸送進(jìn)入聚酰亞胺涂覆前清洗機(jī)完成清洗；(2)將清洗后的氧化銦錫玻璃和硅晶圓依次進(jìn)行涂覆、烘干、摩擦，干法超聲清洗；(3)將清洗后的氧化銦錫玻璃和硅晶圓送入玻璃/硅晶圓分流系統(tǒng)，氧化銦錫玻璃輸送進(jìn)入紫外框膠滴膠機(jī)，硅晶圓和完成在氧化銦錫玻璃上涂布圖案框膠加工的氧化銦錫玻璃進(jìn)行硅基液晶屏貼合加工，然后完成框膠曝光固化；(4)經(jīng)過框膠曝光的硅基液晶屏依次進(jìn)行框膠再固化、密封、密封膠水固化處理；(5)經(jīng)過密封膠水固化處理的硅基液晶屏進(jìn)行灌晶制得反射式液晶顯示器，采用本方法提高了硅基液晶屏組裝品質(zhì)。
文檔編號G02F1/1333GK102305978SQ201110255320
公開日2012年1月4日 申請日期2011年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月31日
發(fā)明者代永平, 范義, 范偉, 董續(xù)懷 申請人:深圳市長江力偉股份有限公司